JP2000258368A - X-ray microanalyzer having sound monitor function - Google Patents
X-ray microanalyzer having sound monitor functionInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、サウンドモニタ
機能を備えたＸ線マイクロアナライザに関する。[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an X-ray microanalyzer having a sound monitor function.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、波長分散形Ｘ線分光器（ＷＤＳ）
又はエネルギー分散形Ｘ線分光器（ＥＤＳ）を用いた電
子プローブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ）などのＸ線
マイクロアナライザにおいては、電子線などの一次線を
試料に照射して試料から発生するＸ線を検出し、そのカ
ウント値等を標準試料によるＸ線強度との比較により定
量分析や定性分析を行うようになっている。次に、ＥＰ
ＭＡを例として、その概略構成を図３に基づいて説明す
る。図３において、１はＥＰＭＡ本体で、電子線発生
部、光学顕微鏡、光学系、試料ステージ、分光素子、Ｘ
線分光検出器などで構成されている。２はコンピュータ
で、ＥＰＭＡ本体１の各部の制御を行い、分析測定の指
示を行ったり、分析測定結果、すなわちＸ線測定値を取
り込んでＸ線カウント値を測定するＸ線カウント測定処
理部２ａを含んでいる。また、表示装置（モニタ）３に
は試料の光学顕微鏡像又は電子像を表示したり、Ｘ線カ
ウント値を棒グラフや数値で表示したりするようになっ
ている。更に、コンピュータ２には記憶部２ｂを備え、
種々のプログラム等が記憶されていて、所定のプログラ
ムが読み出されて実行されるようになっており、この記
憶プログラム中にはＸ線カウント測定処理部２ａのＸ線
カウント測定プログラムも含まれている。そして、入力
装置４は、試料の分析領域の設定などが行えるようにな
っている。2. Description of the Related Art Conventionally, wavelength dispersion type X-ray spectrometer (WDS)
In an X-ray microanalyzer such as an electron probe microanalyzer (EPMA) using an energy dispersive X-ray spectrometer (EDS), a sample is irradiated with a primary beam such as an electron beam to detect X-rays generated from the sample. Then, quantitative analysis and qualitative analysis are performed by comparing the count value and the like with the X-ray intensity of a standard sample. Next, EP
The schematic configuration of the MA will be described with reference to FIG. In FIG. 3, reference numeral 1 denotes an EPMA main body, an electron beam generator, an optical microscope, an optical system, a sample stage, a spectroscopic element, X
It is composed of a line spectroscopic detector and the like. Reference numeral 2 denotes a computer, which controls each unit of the EPMA main body 1 and issues an analysis measurement instruction, and receives an analysis measurement result, that is, an X-ray count measurement processing unit 2a which takes in an X-ray measurement value and measures an X-ray count value. Contains. The display device (monitor) 3 displays an optical microscope image or an electronic image of the sample, and displays the X-ray count value as a bar graph or a numerical value. Further, the computer 2 includes a storage unit 2b,
Various programs and the like are stored, and a predetermined program is read and executed. The storage program includes the X-ray count measurement program of the X-ray count measurement processing unit 2a. I have. The input device 4 can set an analysis area of the sample.
【０００３】また、従来のＥＰＭＡにおいては、Ｘ線カ
ウント値の表示をコンピュータの表示装置３上に視覚的
に表示する他に、聴覚で判断できるように、別個のＸ線
カウント値判断部５ａとスピーカ５ｂとを備えたＸ線サ
ウンドモニタ５をハードウェアとして設け、Ｘ線カウン
ト値を音を変えて出力し、例えばコンピュータの表示装
置で電子像を観察し試料ステージ等の調整を行いなが
ら、Ｘ線カウント値を確認できるようにすることも行わ
れている。In the conventional EPMA, in addition to displaying the display of the X-ray count value visually on the display device 3 of the computer, a separate X-ray count value determination unit 5a is provided so as to be able to be judged by hearing. An X-ray sound monitor 5 provided with a speaker 5b is provided as hardware, and the X-ray count value is output after changing the sound. For example, while observing an electronic image on a display device of a computer and adjusting a sample stage, etc. In some cases, the line count value can be checked.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＥＰＭＡにおいて、聴覚的にＸ線カウント値を表示する
ためには、別個にＸ線カウント値判断部を有するＸ線サ
ウンドモニタをハードウェアとして設け、該Ｘ線サウン
ドモニタにおいてＸ線のカウント量を判断して、出力す
る音の高さや間隔等を決め、スピーカから出力させるよ
うにしているので、別個のＸ線サウンドモニタを必要と
しコストが高くなるばかりでなく、その設置のスペース
も余分に必要とするという問題点がある。However, in the conventional EPMA, in order to display the X-ray count value aurally, an X-ray sound monitor having a separate X-ray count value judgment unit is provided as hardware. Since the X-ray sound monitor determines the count amount of X-rays, determines the pitch and interval of the output sound, and outputs the sound from the speaker, a separate X-ray sound monitor is required and the cost increases. In addition, there is a problem that an extra space for installation is required.
【０００５】本発明は、従来のＥＰＭＡにおける上記問
題点を解消するためになされたもので、別個の聴覚的表
示のためのユニットを必要としないサウンドモニタ機能
を備えたＸ線マイクロアナライザを提供することを目的
とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems in the conventional EPMA, and provides an X-ray microanalyzer having a sound monitor function which does not require a separate unit for an auditory display. The purpose is to:
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記問題点を解消するた
め、本発明は、試料に一次線を照射して該試料から放出
されるＸ線に基づいて試料表面の元素分析を行うＸ線マ
イクロアナライザにおいて、該Ｘ線マイクロアナライザ
の動作を制御すると共に、試料から放出されたＸ線の測
定値に基づいてＸ線カウント値を測定するＸ線カウント
処理部と、Ｘ線カウント値に対応する音を発生させる音
発生処理部とを有するコンピュータと、該コンピュータ
のＸ線カウント測定処理部に対してＸ線カウント測定処
理を実行させるプログラムと、音発生処理部に対してＸ
線カウント値に応じた音の発生処理を実行させるサウン
ドモニタプログラムとを記録したコンピュータ読み取り
可能な記録媒体とを設けて、サウンド機能を備えたＸ線
マイクロアナライザを構成するものである。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an X-ray micrometer for irradiating a sample with a primary beam and performing elemental analysis of the sample surface based on X-rays emitted from the sample. An analyzer controls an operation of the X-ray microanalyzer, measures an X-ray count value based on a measured value of the X-ray emitted from the sample, and a sound corresponding to the X-ray count value. A computer having a sound generation processing unit for generating X, a program for causing the X-ray count measurement processing unit of the computer to execute the X-ray count measurement process, and a computer
An X-ray microanalyzer having a sound function is provided by providing a computer-readable recording medium on which a sound monitor program for executing a sound generation process according to a line count value is recorded.
【０００７】このように構成したサウンド機能を備えた
Ｘ線マイクロアナライザにおいては、コンピュータの音
発生処理部に対してＸ線カウント値に応じた音の発生処
理を実行させるサウンドモニタプログラムを記録した記
録媒体を備えていて、Ｘ線カウントサウンドモニタ機能
をコンピュータ上にもたせることができるため、別個の
ハードウェアとしてのサウンドモニタを必要とせず、そ
のための設置スペースも必要としない。In the X-ray microanalyzer having a sound function configured as described above, a sound monitor program for causing a sound generation processing unit of a computer to execute a sound generation process according to the X-ray count value is recorded. Since the medium is provided and the X-ray count sound monitor function can be provided on the computer, the sound monitor as a separate hardware is not required, and no installation space is required.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】次に、実施の形態について説明す
る。図１は、本発明に係るサウンドモニタ機能を備えた
Ｘ線マイクロアナライザの実施の形態を示す概略構成図
で、この実施の形態ではＥＰＭＡに本発明を適用したも
のを示しており、図３に示した従来例と同一又は対応す
る構成要素には同一符号を付して示している。本発明に
おいては、コンピュータ２には、Ｘ線測定値に基づいて
Ｘ線カウント値を測定するＸ線カウント測定処理部２ａ
の他に、該Ｘ線カウント測定処理部２ａの処理動作によ
り得られたＸ線カウント値を随時判断して、記憶部２ｂ
内に予め用意してある音ファイル中から対応する音ファ
イルを選択し、選択した音ファイルに基づいて音を、コ
ンピュータに標準的に装備されているスピーカ２ｄから
出力させる、音発生処理部２ｃを備えている。そして、
コンピュータ２を構成する記憶部２ｂには、Ｘ線カウン
ト測定処理部２ａの動作を実行させるＸ線カウント測定
プログラムの他に、前記音発生処理部２ｃの動作を実行
させるサウンドモニタプログラムが記憶されている。Next, an embodiment will be described. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an X-ray microanalyzer having a sound monitor function according to the present invention. In this embodiment, the present invention is applied to EPMA, and FIG. Components that are the same as or correspond to those of the conventional example shown are denoted by the same reference numerals. In the present invention, the computer 2 includes an X-ray count measurement processing unit 2a that measures an X-ray count value based on the X-ray measurement value.
In addition to the above, the X-ray count value obtained by the processing operation of the X-ray count measurement processing unit 2a is determined at any time, and is stored in the storage unit 2b.
A sound generation processing unit 2c for selecting a corresponding sound file from among the sound files prepared in advance and outputting a sound from a speaker 2d provided as standard in the computer based on the selected sound file. Have. And
The storage unit 2b of the computer 2 stores an X-ray count measurement program for executing the operation of the X-ray count measurement processing unit 2a and a sound monitor program for executing the operation of the sound generation processing unit 2c. I have.
【０００９】次に、このように構成されている本実施の
形態の動作を、図２に示したフローチャートに基づいて
説明する。まず、コンピュータ２の制御によりＥＰＭＡ
本体１によるＸ線分析動作を開始させ、試料から発生す
るＸ線の測定を開始する。そして、検出されたＸ線測定
値をコンピュータ２のＸ線カウント測定処理部２ａへ入
力し、Ｘ線カウント値の測定を行う（ステップ11）。そ
して、標準試料のＸ線強度との比較による定量、定性分
析結果やＸ線カウント値などを表示装置３に表示する。
この定量、定性分析と並行して音発生処理部２ｃにおい
て、サウンドモニタプログラムに基づいて、Ｘ線カウン
ト測定処理部２ａにおいて得られたＸ線カウント値を随
時判断して、記憶部２ｂ内に予め用意されている音ファ
イルの中から、スピーカに出力すべき音ファイルを選択
して読み出し（ステップ12）、選択された音ファイルに
よりスピーカ２ｄよりＸ線カウント値に対応した音、例
えばＸ線カウント値が少ないときは低音、多いときは高
音等を随時出力する（ステップ13）。Next, the operation of the embodiment constructed as described above will be described with reference to the flowchart shown in FIG. First, the EPMA is controlled by the computer 2.
The X-ray analysis operation by the main body 1 is started, and measurement of X-rays generated from the sample is started. Then, the detected X-ray measurement value is input to the X-ray count measurement processing section 2a of the computer 2, and the X-ray count value is measured (Step 11). Then, the quantitative and qualitative analysis results and the X-ray count value based on the comparison with the X-ray intensity of the standard sample are displayed on the display device 3.
In parallel with the quantitative and qualitative analysis, the sound generation processing unit 2c determines the X-ray count value obtained by the X-ray count measurement processing unit 2a at any time based on the sound monitor program, and stores the X-ray count value in the storage unit 2b in advance. From the prepared sound files, a sound file to be output to the speaker is selected and read (step 12), and the sound corresponding to the X-ray count value from the speaker 2d, for example, the X-ray count value, is output from the selected sound file from the speaker 2d. If the number is small, a low tone is output, and if the number is large, a high tone is output as needed (step 13).
【００１０】このように、Ｘ線カウント値のサウンドモ
ニタ機能をコンピュータ上にもたせることにより、別個
のユニットは必要とせず、また近年コンピュータには殆
ど標準でスピーカが装備されており、これを利用するこ
とにより、ハードウェアの作成コストは特に必要なく、
ソフトウェアの対応だけで済ませることができる。As described above, by providing a sound monitor function of the X-ray count value on a computer, a separate unit is not required. In recent years, almost all computers are equipped with speakers as standard, and this is used. As a result, there is no special hardware creation cost,
It can be done only with software.
【００１１】上記実施の形態では、音ファイルを記憶部
（ハードディスク）に用意しておいて、音発生処理部に
よりＸ線カウント値に対応する音ファイルを読み出すよ
うにしたものを示したが、記憶部から音ファイルを読み
出すのに時間がかかるときは、予め全ての音ファイルを
メモリ上にロードしておいて対応する音ファイルを選択
するようにしてもよい。また、音ファイルを予め用意せ
ず、Ｘ線カウント値に応じて、その都度、音データを作
成するようにしてもよい。また、上記実施の形態におい
ては、Ｘ線カウント値に応じて選択される音ファイルに
より音の高低を変えるようにしたものを示したが、音の
高低ばかりでなく音の出力間隔をＸ線カウント値に応じ
て変えるようにしてもよい。In the above embodiment, the sound file is prepared in the storage unit (hard disk), and the sound generation processing unit reads out the sound file corresponding to the X-ray count value. If it takes time to read a sound file from a unit, all the sound files may be loaded on the memory in advance, and the corresponding sound file may be selected. Alternatively, sound data may be created each time according to the X-ray count value without preparing a sound file in advance. In the above embodiment, the pitch of the sound is changed by the sound file selected according to the X-ray count value. However, not only the pitch but also the output interval of the sound is changed by the X-ray count. You may make it change according to a value.
【００１２】[0012]
【発明の効果】以上実施の形態に基づいて説明したよう
に、本発明によれば、Ｘ線カウント値に応じて音を発生
させるサウンドモニタプログラムを記録した記録媒体を
備え、Ｘ線カウントサウンドモニタ機能をコンピュータ
上にもたせるようにしているので、別個のハードウェア
としてのサウンドモニタを必要とせず、設置スペースも
要せずコストを低減させることができる。As described above with reference to the embodiments, according to the present invention, a recording medium storing a sound monitor program for generating a sound in accordance with an X-ray count value is provided. Since the functions are provided on the computer, the cost can be reduced without the need for a separate sound monitor as hardware and no installation space.
【図１】本発明に係るサウンドモニタ機能を備えたＸ線
マイクロアナライザの実施の形態を示す概略構成図であ
る。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an embodiment of an X-ray microanalyzer having a sound monitor function according to the present invention.
【図２】図１に示した実施の形態の動作を説明するため
のフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart for explaining the operation of the embodiment shown in FIG. 1;
【図３】従来のサウンドモニタ機能を備えたＥＰＭＡの
構成を示す概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a configuration of a conventional EPMA having a sound monitor function.
１ ＥＰＭＡ本体 ２ コンピュータ ２ａ Ｘ線カウント測定処理部 ２ｂ 記憶部 ２ｃ 音発生処理部 ２ｄ スピーカ ３ 表示装置 ４ 入力装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 EPMA main body 2 Computer 2a X-ray count measurement processing part 2b Storage part 2c Sound generation processing part 2d Speaker 3 Display device 4 Input device
Claims (1)
されるＸ線に基づいて試料表面の元素分析を行うＸ線マ
イクロアナライザにおいて、該Ｘ線マイクロアナライザ
の動作を制御すると共に、試料から放出されたＸ線の測
定値に基づいてＸ線カウント値を測定するＸ線カウント
処理部と、Ｘ線カウント値に対応する音を発生させる音
発生処理部とを有するコンピュータと、該コンピュータ
のＸ線カウント測定処理部に対してＸ線カウント測定処
理を実行させるプログラムと音発生処理部に対してＸ線
カウント値に応じた音の発生処理を実行させるサウンド
モニタプログラムとを記録したコンピュータ読み取り可
能な記録媒体とを備えていることを特徴とするサウンド
モニタ機能を備えたＸ線マイクロアナライザ。An X-ray microanalyzer for irradiating a sample with a primary beam and performing an elemental analysis of a sample surface based on X-rays emitted from the sample, controlling the operation of the X-ray microanalyzer, A computer having an X-ray count processing unit for measuring an X-ray count value based on a measurement value of X-rays emitted from the computer, a sound generation processing unit for generating a sound corresponding to the X-ray count value, Computer readable recording a program for causing the X-ray count measurement processing unit to execute the X-ray count measurement process and a sound monitor program for causing the sound generation processing unit to execute a sound generation process in accordance with the X-ray count value An X-ray microanalyzer having a sound monitor function, comprising: a recording medium.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11065747A JP2000258368A (en) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | X-ray microanalyzer having sound monitor function |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11065747A JP2000258368A (en) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | X-ray microanalyzer having sound monitor function |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000258368A true JP2000258368A (en) | 2000-09-22 |
Family
ID=13295932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11065747A Pending JP2000258368A (en) | 1999-03-12 | 1999-03-12 | X-ray microanalyzer having sound monitor function |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000258368A (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54122184A (en) * | 1978-03-16 | 1979-09-21 | Jeol Ltd | Sound monitor in radiation measuring apparatus |
| JPH0587749A (en) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Limes:Kk | Method for measuring angle-resolved spectrum of characteristic x-rays |
| JPH07318569A (en) * | 1994-05-27 | 1995-12-08 | Hitachi Ltd | Scanning probe microscope |
| WO1999005323A1 (en) * | 1997-07-25 | 1999-02-04 | Affymetrix, Inc. | Gene expression and evaluation system |
-
1999
- 1999-03-12 JP JP11065747A patent/JP2000258368A/en active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54122184A (en) * | 1978-03-16 | 1979-09-21 | Jeol Ltd | Sound monitor in radiation measuring apparatus |
| JPH0587749A (en) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Limes:Kk | Method for measuring angle-resolved spectrum of characteristic x-rays |
| JPH07318569A (en) * | 1994-05-27 | 1995-12-08 | Hitachi Ltd | Scanning probe microscope |
| WO1999005323A1 (en) * | 1997-07-25 | 1999-02-04 | Affymetrix, Inc. | Gene expression and evaluation system |
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