JP2000223020A - Manufacture of display device - Google Patents

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a display device capable of suppressing degradation of brightness in burning a phosphor layer with a simple process without using a large-scaled processing device. SOLUTION: After completing assembly of a PDP, argon gas is sealed in a discharge space 23, and a discharge pulse voltage is repetitively applied between a retaining discharge electrode 8 and an address electrode 10. Argon ions 41 generated by discharge are accelerated by the discharge pulse voltage, and a surface layer of a phosphor layer 4 is sputtered. During the process of burning the phosphor layer 4, the surface layer causing transformation and degradation of brightness is removed by sputtering, and the phosphor layer 4 develops original brightness. A large-scaled processing device is not necessary because a discharge mechanism of the PDP itself is used. After the discharging process, the argon gas is eliminated and neon.xenon mixed gas suitable for normal operation is filled and a PDP as a product is completed.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【０００１】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、ＰＤＰ（プラズ
マディスプレイパネル）の製造方法に好適な、表示装置
の製造方法に関し、特に、輝度を向上させるための改良
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display device manufacturing method suitable for a PDP (plasma display panel) manufacturing method, and more particularly to an improvement for improving luminance.

【０００２】[0002]

【従来の技術】図１３および図１４は、それぞれ、この
発明の背景となる従来の表示装置の平面断面図および断
面斜視図である。この表示装置は、交流型のＰＤＰとし
て構成されており、図１３および図１４には、その基本
単位をなす一つの発光セル２０が、代表として描かれて
いる。この装置では、画像を映出する表示側に位置する
前面パネル２１と、その反対側に位置する背面パネル２
２とが、所定の距離を保って、互いに対向している。2. Description of the Related Art FIGS. 13 and 14 are a plan sectional view and a sectional perspective view, respectively, of a conventional display device as a background of the present invention. This display device is configured as an AC type PDP, and FIG. 13 and FIG. 14 illustrate one light emitting cell 20 as a basic unit as a representative. In this device, a front panel 21 located on a display side for displaying an image and a rear panel 2 located on the opposite side are provided.
2 are opposed to each other while maintaining a predetermined distance.

【０００３】そして、前面パネル２１と背面パネル２２
との間に、放電空間２３が形成されている。また、前面
パネル２１と背面パネル２２との間の距離は、それらの
間に介在する隔壁５によって、一定に保たれている。ま
た、平行に配列した複数の隔壁５によって、放電空間２
３が、溝状の複数の放電空間９へと分割されている。[0003] A front panel 21 and a rear panel 22 are provided.
A discharge space 23 is formed between the two. The distance between the front panel 21 and the rear panel 22 is kept constant by the partition 5 interposed therebetween. The plurality of partition walls 5 arranged in parallel form the discharge space 2.
3 is divided into a plurality of groove-shaped discharge spaces 9.

【０００４】前面パネル２１では、ガラス基板１の背面
パネル２２に対向する表面の上に、維持放電電極８が、
Ｘ電極およびＹ電極の一対として、形成されている。維
持放電電極８は、隔壁５で仕切られた溝状の放電空間９
の延在方向に直交する、ストライプ状に形成されてい
る。また、維持放電電極８は、蛍光体が発する光をガラ
ス基板１へと透過させるように構成された透明電極と、
抵抗値を下げるために、その上に形成された図示しない
金属電極とを、備えている。金属電極は、透明電極より
も狭い幅で形成されている。In the front panel 21, a sustain discharge electrode 8 is provided on a surface of the glass substrate 1 facing the rear panel 22.
It is formed as a pair of an X electrode and a Y electrode. The sustain discharge electrodes 8 are formed in a groove-shaped discharge space 9 partitioned by the partition walls 5.
Are formed in a stripe shape perpendicular to the extending direction of The sustain discharge electrode 8 includes a transparent electrode configured to transmit light emitted from the phosphor to the glass substrate 1,
In order to lower the resistance value, a metal electrode (not shown) formed thereon is provided. The metal electrode has a smaller width than the transparent electrode.

【０００５】そして、ガラス基板１と維持放電電極８と
を有する構造体の背面パネル２２に対向する表面の全体
を覆うように、誘電体層２が形成されている。さらに、
誘電体層２の表面全体を覆うように、保護層３が形成さ
れている。[0005] A dielectric layer 2 is formed so as to cover the entire surface of the structure having the glass substrate 1 and the sustaining discharge electrode 8 facing the back panel 22. further,
Protective layer 3 is formed so as to cover the entire surface of dielectric layer 2.

【０００６】他方の背面パネルでは、ガラス基板７の前
面パネル２１に対向する表面に、アドレス電極１０が、
ストライプ状に形成されている。アドレス電極１０は、
隣り合う隔壁５に挟まれた溝状の放電空間９に沿って、
延在している。すなわち、アドレス電極１０と維持放電
電極８とは、互いに直交している。On the other rear panel, address electrodes 10 are provided on the surface of glass substrate 7 facing front panel 21.
It is formed in a stripe shape. The address electrode 10
Along a groove-shaped discharge space 9 sandwiched between adjacent partition walls 5,
Extending. That is, the address electrode 10 and the sustain discharge electrode 8 are orthogonal to each other.

【０００７】ガラス基板７とアドレス電極１０とを有す
る構造体の前面パネル２１に対向する表面の全体を覆う
ように、誘電体層６が形成されている。上記した隔壁５
の一端は、誘電体層６に固定され、他端は、保護層３に
当接している。アドレス電極１０は、隣接する隔壁５に
挟まれた溝状の放電空間９の中央に位置するように、配
設される。The dielectric layer 6 is formed so as to cover the entire surface of the structure having the glass substrate 7 and the address electrodes 10 facing the front panel 21. Partition wall 5 described above
Has one end fixed to the dielectric layer 6 and the other end in contact with the protective layer 3. The address electrode 10 is provided so as to be located at the center of the groove-shaped discharge space 9 sandwiched between the adjacent partition walls 5.

【０００８】一つの放電空間９を形成する誘電体層６の
表面および隔壁５の側壁面を覆うように、蛍光体層４が
形成されている。このように、誘電体層６は、蛍光体層
４に対する下地層として機能する。フルカラー表示型の
ＰＤＰでは、蛍光体層４として、赤色発光用、緑色発光
用、および、青色発光用の蛍光体層が、放電空間９ごと
に、順に形成される。The phosphor layer 4 is formed so as to cover the surface of the dielectric layer 6 forming one discharge space 9 and the side wall of the partition wall 5. Thus, the dielectric layer 6 functions as a base layer for the phosphor layer 4. In a full-color display type PDP, phosphor layers for red light emission, green light emission, and blue light emission are sequentially formed for each discharge space 9 as the phosphor layer 4.

【０００９】一つのアドレス電極１０と一対の維持放電
電極８とが交差する部分が、一つの発光セル２０に相当
する。そして、単色表示型のＰＤＰでは、一つの発光セ
ル２０が１個の画素を構成する。一方、フルカラー表示
型のＰＤＰでは、三原色に対応する３個の隣接する発光
セル２０が、１個の画素を構成する。多数の画素が、維
持放電電極８およびアドレス電極１０に沿って、マトリ
クス状に配列されており、それによって、画面が構成さ
れる。A portion where one address electrode 10 and a pair of sustain discharge electrodes 8 intersect corresponds to one light emitting cell 20. In a single color display type PDP, one light emitting cell 20 constitutes one pixel. On the other hand, in a full-color display type PDP, three adjacent light emitting cells 20 corresponding to the three primary colors constitute one pixel. A large number of pixels are arranged in a matrix along the sustain discharge electrodes 8 and the address electrodes 10, thereby forming a screen.

【００１０】前面パネル２１と背面パネル２２の図示し
ない外周部は、低融点ガラスなどのシール材（図示せ
ず）により封着されている。これら前面パネル２１、背
面パネル２２、および、シール材により形成される放電
空間２３には、放電ガスとして、例えば、キセノンとネ
オンの混合ガスが封入されている。The outer peripheral portions (not shown) of the front panel 21 and the rear panel 22 are sealed with a sealing material (not shown) such as low-melting glass. A discharge gas, for example, a mixed gas of xenon and neon is sealed in the discharge space 23 formed by the front panel 21, the rear panel 22, and the sealing material.

【００１１】以上のように構成された交流型ＰＤＰは、
以下のように動作する。画面に映出される画像の動きに
応じて、画面を構成する多数の発光セル２０の中で、発
光するものと、発光しないものとが、一般に、フレーム
ごとに変化する。また、発光する発光セル２０であって
も、その発光量、すなわち、明るさは、一般に、フレー
ムごとに変化する。The AC-type PDP configured as described above is
It works as follows. Depending on the movement of the image projected on the screen, among the many light emitting cells 20 constituting the screen, those that emit light and those that do not emit light generally change for each frame. Further, even in the light emitting cell 20 that emits light, the amount of light emission, that is, brightness, generally changes for each frame.

【００１２】１フレームの期間の中で、まず、発光すべ
き発光セル２０のアドレス電極１０とＸ維持放電電極８
との間にのみ、選択的に、書き込み放電パルス電圧が印
加される。それにより、発光すべき発光セル２０の放電
空間９の中で、放電が発生する。この書き込み放電によ
り、発光すべき発光セル２０に属する保護膜３の上に
は、壁電荷と称される電荷が蓄積される。In one frame period, first, the address electrodes 10 and the X sustain discharge electrodes 8 of the light emitting cells 20 to emit light are emitted.
Only during this period, the write discharge pulse voltage is selectively applied. Thereby, a discharge occurs in the discharge space 9 of the light emitting cell 20 to emit light. Due to this write discharge, charges called wall charges are accumulated on the protective film 3 belonging to the light emitting cells 20 to emit light.

【００１３】つぎに、一対のＸ維持放電電極８とＹ維持
放電電極８との間に、維持放電電圧パルスが、極性を反
転しつつ反復的に印加される。それにより、壁電荷を有
する発光セル２０に属するＸ維持放電電極８とＹ維持放
電電極８との間で放電が反復的に発生する。この維持放
電により、放電空間９の中のガスが紫外線を発生し、こ
の紫外線は蛍光体４を励起する。その結果、蛍光体層４
が発光する。Next, a sustain discharge voltage pulse is repeatedly applied between the pair of X sustain discharge electrodes 8 and Y sustain discharge electrodes 8 while reversing the polarity. Accordingly, discharge is repeatedly generated between X sustain discharge electrode 8 and Y sustain discharge electrode 8 belonging to light emitting cell 20 having wall charges. Due to the sustain discharge, the gas in the discharge space 9 generates ultraviolet rays, and the ultraviolet rays excite the phosphor 4. As a result, the phosphor layer 4
Emits light.

【００１４】壁電荷が形成されていない発光セル２０、
すなわち、書き込み放電が行われなかった発光セル２０
においても、共通に、維持放電パルスは印加される。し
かしながら、壁電荷の蓄積がない発光セル２０では、放
電空間９に印加される電圧が、放電開始電圧を越えない
ので、維持放電は発生せず、したがって、発光は生じな
い。このようにして、赤、緑、青の三原色の発光および
非発光が制御される。The light emitting cell 20 on which no wall charges are formed,
That is, the light emitting cell 20 in which the write discharge has not been performed.
, A sustain discharge pulse is commonly applied. However, in the light emitting cell 20 in which no wall charges are accumulated, the voltage applied to the discharge space 9 does not exceed the discharge starting voltage, so that no sustain discharge occurs, and therefore no light emission occurs. In this way, emission and non-emission of the three primary colors of red, green, and blue are controlled.

【００１５】以上の書き込み放電から反復的な維持放電
までの動作が、サブフレームとして、１フレームの中
で、維持放電の反復数を変えつつ、複数回にわたって繰
り返し行われる。このため、１フレームの中で、書き込
み放電の後につづく維持放電の反復数を、変えることが
でき、それによって、発光セル２０の明るさが制御され
る。The above-described operation from the write discharge to the repetitive sustain discharge is repeated a plurality of times as a subframe while changing the number of repetitions of the sustain discharge in one frame. Therefore, the number of repetitions of the sustain discharge following the write discharge in one frame can be changed, whereby the brightness of the light emitting cell 20 is controlled.

【００１６】[0016]

【発明が解決しようとする課題】ところで、図１３およ
び図１４に示した従来のＰＤＰの製造工程では、蛍光体
層４は、つぎのようにして形成される。まず、背面パネ
ル２２が形成され、さらに、背面パネル２２の上に隔壁
５が形成された後に、蛍光体層４の材料を含有する蛍光
体ペーストが、印刷などの方法で、隔壁５で分離された
溝状の放電空間９に、三原色に分けて注入される。その
後、乾燥焼成によって、蛍光体ペーストに含まれる樹脂
成分や溶剤成分が分解し、その結果、隔壁５の側壁面お
よび誘電体層６の表面に、蛍光体の粉末が、蛍光体層４
として固定される。By the way, in the conventional PDP manufacturing process shown in FIGS. 13 and 14, the phosphor layer 4 is formed as follows. First, after the rear panel 22 is formed, and after the partition walls 5 are formed on the rear panel 22, the phosphor paste containing the material of the phosphor layer 4 is separated at the partition walls 5 by a method such as printing. The three primary colors are injected into the grooved discharge space 9. Thereafter, the resin component and the solvent component contained in the phosphor paste are decomposed by drying and firing, and as a result, the phosphor powder is deposited on the side wall surface of the partition wall 5 and the surface of the dielectric layer 6.
Fixed as

【００１７】蛍光体ペーストには、維持放電電極８、ア
ドレス電極１０、その他を構成するための構造用ペース
トとは異なり、ガラス成分は含まれない。しかしなが
ら、蛍光体ペーストには、隔壁５の側壁面にも適切な膜
厚をもって付着することを可能にする樹脂成分、印刷の
ための粘度調整材、および、沈降を防ぐための分散材な
どが、多量に含まれる。これらはいずれも、有機樹脂
や、有機溶剤であり、焼成によって、ほぼ完全に分解す
るが、十分に分解するためには、大量の空気と500℃程
度の加熱が必要である。Unlike the structural paste for forming the sustain discharge electrodes 8, the address electrodes 10, and the like, the phosphor paste does not contain a glass component. However, the phosphor paste includes a resin component that enables the phosphor paste to adhere to the side wall surface of the partition wall 5 with an appropriate thickness, a viscosity adjusting material for printing, and a dispersing material for preventing sedimentation. It is contained in large quantities. These are all organic resins and organic solvents, and are almost completely decomposed by firing. However, in order to decompose sufficiently, a large amount of air and heating at about 500 ° C. are required.

【００１８】従来の製造方法では、蛍光体ペーストが、
熱分解温度まで加熱されることによって、蛍光体の種類
によっては、輝度劣化が大きく現れるという問題点があ
った。特に、従来、ＰＤＰの青色蛍光体として多用され
ているユーロピウム付活バリウム・アルミニウム・マグ
ネシウム・オキサイド（BaMgAl₁₀O₁₇:Eu,通常、BAM:Eu
と略称され、以下では、BAMと表記する）において、そ
の傾向が強い。In the conventional manufacturing method, the phosphor paste is
When heated to the thermal decomposition temperature, depending on the type of phosphor, there is a problem that the luminance is significantly deteriorated. In particular, europium-activated barium aluminum magnesium oxide (BaMgAl ₁₀ O ₁₇ : Eu, usually BAM: Eu
In the following, this tendency is strong.

【００１９】図１５は、大気中で酸化焼成を行ったとき
の各種の蛍光体の輝度劣化の度合いと、焼成温度との関
係を示すグラフである。図１５が示すように、焼成温度
が500℃の下では、BAMの輝度は、焼成前の90％まで劣化
し、緑色蛍光体として多用されるマンガン付活珪酸亜鉛
（ジンクシリケート・マンガン；Zn₂Si0₄：Mn）の輝度
は、95%まで劣化する。FIG. 15 is a graph showing the relationship between the degree of luminance degradation of various phosphors and the firing temperature when oxidizing and firing in the atmosphere. As shown in FIG. 15, when the firing temperature is lower than 500 ° C., the brightness of BAM is reduced to 90% of that before firing, and manganese-activated zinc silicate (zinc silicate; manganese; Zn ₂₎ frequently used as a green phosphor is used. Si0 _4: luminance Mn) is degraded to 95%.

【００２０】図１５は、蛍光体粉末を大気中で加熱した
場合の輝度劣化を示しているのに対し、ＰＤＰの中の蛍
光体層４では、樹脂が分解する時の局所加熱などが加わ
るために、劣化率は更に大きくなる。経験的には、プロ
セスによって変動はあるが、少なくとも１０％以上の輝
度劣化が発生することが解っている。FIG. 15 shows the luminance degradation when the phosphor powder is heated in the air, whereas the phosphor layer 4 in the PDP is subjected to local heating when the resin is decomposed. Furthermore, the deterioration rate is further increased. Empirically, it has been found that although there is a variation depending on the process, at least 10% or more of luminance degradation occurs.

【００２１】輝度劣化の原因は、BAMを例にすると、発
光を受け持つ付活材（発光中心）である２価のユーロピ
ウム（Eu₂ ⁺）が、大気焼成によって酸化され、それによ
って、発光特性が変化するためであると考えられてい
る。ただし、酸化される部分は、ＰＤＰの製造工程にお
ける焼成温度の下では、蛍光体粒子の表層部にとどまる
と考えられている。表層部において、酸化を裏付けるよ
うに、一部のユーロピウムの価数変化に伴う、発光色シ
フトが観察されている。The cause of the luminance degradation is, for example, in the case of BAM, divalent europium (Eu ₂ ⁺ ), which is an activator (emission center) responsible for light emission, is oxidized by sintering in the air, whereby the light emission characteristic is reduced It is thought to change. However, it is considered that the oxidized portion remains at the surface layer of the phosphor particles under the firing temperature in the PDP manufacturing process. In the surface layer, a luminescent color shift accompanying a change in the valence of some europium is observed to support oxidation.

【００２２】このため、輝度劣化を抑える技術として、
蛍光体層４を背面パネル２２の上に焼成した後に、ドラ
イエッチングを行って、蛍光体層４の表面層を除去する
方法が試みられている。しかしながら、この方法を実行
するためには、例えばスパッタリング装置などのドライ
エッチングを行う装置を用いて、蛍光体層４が焼成され
た背面パネル２２を処理する必要がある。通常のパネル
サイズである、４０インチ〜５０インチの大きさの背面
パネル２２をエッチング処理するためには、装置が大が
かりなものとならざるを得ない。Therefore, as a technique for suppressing the luminance deterioration,
After baking the phosphor layer 4 on the back panel 22, dry etching is performed to remove the surface layer of the phosphor layer 4. However, in order to perform this method, it is necessary to treat the back panel 22 on which the phosphor layer 4 has been fired, using an apparatus for performing dry etching such as a sputtering apparatus. In order to etch back panel 22 having a size of 40 inches to 50 inches, which is a normal panel size, the apparatus must be large-scale.

【００２３】この発明は、従来の技術における上記した
問題点を解消するためになされたもので、大規模な処理
装置を要することなく、簡便な工程で、蛍光体層の焼成
にともなう輝度の劣化を抑制することを可能にする表示
装置の製造方法を提供することを、目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems in the prior art, and does not require a large-scale processing apparatus, and is a simple process that can reduce the luminance degradation accompanying the firing of the phosphor layer. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a display device that can suppress the occurrence of a display device.

【００２４】[0024]

【課題を解決するための手段】第１の発明の製造方法
は、互いの間に放電空間を規定するように対向する一対
のパネルの双方が、電極を有し、前記放電空間に露出す
る蛍光体層が、前記一対のパネルの少なくとも一方に形
成されている表示装置を製造するための表示装置の製造
方法において、前記一対のパネルを形成する第１工程
と、前記一対のパネルの前記少なくとも一方に、前記蛍
光体層のもとになる材料を付着させる第２工程と、前記
材料を焼成することによって、前記蛍光体層を形成する
第３工程と、当該第３工程の後で、前記放電空間を規定
するように、前記一対のパネルを互いに対向させて結合
する第４工程と、当該第４工程の後で、前記放電空間
へ、第１の放電ガスを導入する第５工程と、当該第５工
程の後に、前記一対のパネルの前記電極の間に、電圧パ
ルスを印加することにより、前記放電空間に放電を発生
させ、それにより、前記蛍光体層の表面層を除去する第
６工程と、当該第６工程の後に、前記第１の放電ガスを
前記放電空間から除去する第７工程と、当該第７工程の
後に、前記放電空間へ、第２の放電ガスを導入する工程
と、を備える。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a fluorescent device, wherein both of a pair of panels facing each other to define a discharge space therebetween have electrodes and are exposed to the discharge space. In a display device manufacturing method for manufacturing a display device in which a body layer is formed on at least one of the pair of panels, a first step of forming the pair of panels, and at least one of the pair of panels A second step of adhering a material that is a source of the phosphor layer, a third step of forming the phosphor layer by firing the material, and the discharge step after the third step. A fourth step of joining the pair of panels so as to face each other so as to define a space, a fifth step of introducing a first discharge gas into the discharge space after the fourth step, After the fifth step, the pair of A sixth step of generating a discharge in the discharge space by applying a voltage pulse between the electrodes of the phosphor layer, thereby removing a surface layer of the phosphor layer; and after the sixth step, A seventh step of removing the first discharge gas from the discharge space; and a step of introducing a second discharge gas into the discharge space after the seventh step.

【００２５】第２の発明の製造方法では、第１の発明の
表示装置の製造方法において、前記第１の放電ガスが、
不活性ガスである。According to a second aspect of the present invention, in the method of the first aspect, the first discharge gas may be:
Inert gas.

【００２６】第３の発明の装置では、第２の発明の表示
装置の製造方法において、前記不活性ガスが、アルゴン
ガスである。According to a third aspect of the invention, in the method of manufacturing a display device of the second aspect, the inert gas is an argon gas.

【００２７】第４の発明の装置では、第１ないし第３の
いずれかの発明の表示装置の製造方法において、前記材
料が、蛍光体として、ユーロピウム付活バリウム・アル
ミニウム・マグネシウム・オキサイドを含んでいる。According to a fourth aspect of the present invention, in the method for manufacturing a display device according to any one of the first to third aspects, the material contains europium-activated barium aluminum magnesium oxide as a phosphor. I have.

【００２８】第５の発明の装置では、第１ないし第４の
いずれかの発明の表示装置の製造方法において、前記材
料が、蛍光体として、マンガン付活珪酸亜鉛を含んでい
る。According to a fifth aspect of the invention, in the method for manufacturing a display device of any one of the first to fourth aspects, the material contains manganese-activated zinc silicate as a phosphor.

【００２９】[0029]

【発明の実施の形態】＜１．概略＞実施の形態の製造方
法は、ＰＤＰの組立てが完了し、通常動作のための放電
ガスの封入が行われる前に、それと同一または異なる放
電ガスが、仮に封入された上で、放電処理が行われる。
放電処理は、ＰＤＰが備える電極に電圧パルスを印加す
ることにより行われる。その結果、蛍光体層４の表面部
分に配列する蛍光体粒子の表層部、すなわち、蛍光体層
４の表面層が、スパッタされることにより、除去され
る。放電処理が完了すると、通常動作のための放電ガス
が、あらためて封入されることにより、ＰＤＰが製品と
して完成する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS <1. Outline> In the manufacturing method according to the embodiment, before assembling of the PDP is completed and before the discharge gas for normal operation is filled, the same or different discharge gas is temporarily filled, and then the discharge process is performed. Done.
The discharge process is performed by applying a voltage pulse to an electrode included in the PDP. As a result, the surface layer portion of the phosphor particles arranged on the surface portion of the phosphor layer 4, that is, the surface layer of the phosphor layer 4 is removed by sputtering. When the discharge process is completed, the discharge gas for normal operation is sealed again to complete the PDP as a product.

【００３０】このように、輝度が劣化した層である蛍光
体粒子の表層部が除去されるので、蛍光体粒子の本来の
輝度が回復する。しかも、組立てが完了したＰＤＰそれ
自体が備える放電機構が用いられるので、エッチング処
理等のための大規模な装置を用いることなく、簡便に、
輝度の向上を達成することができる。また、放電処理の
ために封入される放電ガスの圧力は、大気圧以下であれ
ば、任意の圧力に設定することができるので、最適な条
件下で放電処理を容易に実行することが可能である。以
下に、実施の形態の製造方法を詳述する。As described above, since the surface layer portion of the phosphor particles, which is the layer whose luminance has deteriorated, is removed, the original luminance of the phosphor particles is restored. Moreover, since the discharge mechanism provided in the assembled PDP itself is used, a large-scale apparatus for an etching process or the like is not used, so that the PDP can be easily and simply used.
An improvement in brightness can be achieved. In addition, the pressure of the discharge gas sealed for the discharge process can be set to an arbitrary pressure as long as it is equal to or lower than the atmospheric pressure, so that the discharge process can be easily performed under optimal conditions. is there. Hereinafter, the manufacturing method of the embodiment will be described in detail.

【００３１】＜２．組立て工程＞図１〜図７、および図
１２は、この実施の形態の製造方法を示す製造工程図で
ある。この製造方法では、図１の工程と、図２〜図４の
工程とは、互いに前後して、あるいは、同時並行して、
実行される。図１の工程では、まず、ガラス基板１が準
備される。つぎに、ＣＶＤ（化学気相成長法）、スパッ
タ法、または、蒸着法などを用いることにより、ガラス
基板１の上に、透明電極の材料が堆積される。<2. Assembly Process> FIGS. 1 to 7 and FIG. 12 are manufacturing process diagrams showing a manufacturing method of this embodiment. In this manufacturing method, the step of FIG. 1 and the steps of FIG. 2 to FIG.
Be executed. In the step of FIG. 1, first, a glass substrate 1 is prepared. Next, the material of the transparent electrode is deposited on the glass substrate 1 by using a CVD (Chemical Vapor Deposition) method, a sputtering method, an evaporation method, or the like.

【００３２】つづいて、エッチングまたはリフトオフな
どの方法を用いることにより、透明電極の材料がパター
ニングされる。その結果、透明電極が形成される。その
後、透明電極の上に、蒸着もしくはスパッタリングなど
の薄膜形成法、または、スクリーン印刷法などをもちい
ることによって、金属電極が形成される。その結果、ガ
ラス基板１の上に、維持放電電極８が出来上がる。Subsequently, the material of the transparent electrode is patterned by using a method such as etching or lift-off. As a result, a transparent electrode is formed. Then, a metal electrode is formed on the transparent electrode by using a thin film forming method such as vapor deposition or sputtering, or a screen printing method. As a result, the sustain discharge electrodes 8 are formed on the glass substrate 1.

【００３３】つぎに、例えば印刷法を用いることによ
り、維持放電電極８とガラス基板１の表面の上に、誘電
体層２が形成される。その後、焼成工程を経ることによ
って、誘電体層２がガラス化される。つづいて、例え
ば、電子ビーム蒸着またはスパッタリングを用いて、酸
化マグネシウムを誘電体層２の表面の上に堆積させるこ
とによって、保護層３が形成される。以上により、前面
パネル２１が完成する。保護層３は、放電による損傷か
ら誘電体層２を保護するために設けられる。Next, the dielectric layer 2 is formed on the sustain discharge electrodes 8 and the surface of the glass substrate 1 by using, for example, a printing method. Then, the dielectric layer 2 is vitrified through a firing step. Subsequently, the protective layer 3 is formed by depositing magnesium oxide on the surface of the dielectric layer 2 using, for example, electron beam evaporation or sputtering. Thus, the front panel 21 is completed. The protection layer 3 is provided to protect the dielectric layer 2 from damage due to discharge.

【００３４】図２の工程では、まず、ガラス基板７が準
備される。つぎに、蒸着またはスパッタリングなどの薄
膜形成方法、あるいは、スクリーン印刷法などをを用い
ることにより、ガラス基板７の上に、金属成分およびガ
ラス成分を含むペーストを堆積させた後に、焼成が行わ
れる。それによって、ガラス基板７の上に、アドレス電
極１０が形成される。In the step of FIG. 2, first, a glass substrate 7 is prepared. Next, after depositing a paste containing a metal component and a glass component on the glass substrate 7 by using a thin film forming method such as vapor deposition or sputtering, or a screen printing method, baking is performed. Thereby, the address electrode 10 is formed on the glass substrate 7.

【００３５】つづいて、スクリーン印刷法などを用いる
ことにより、ガラス成分を含むペーストを、アドレス電
極１０およびガラス基板７の表面の全体にわたって堆積
させた後、焼成が行われる。その結果、アドレス電極１
０およびガラス基板７の表面の上に、誘電体層６が形成
される。その後、例えば、印刷による積み重ね法、ロー
ルコータで形成した厚膜のサンドブラストによる方法、
または、厚膜プレス法を、用いることにより、誘電体層
６の表面の上に、無機粒子を含むガラスを材料とする隔
壁５が形成される。Subsequently, by using a screen printing method or the like, a paste containing a glass component is deposited over the entire surface of the address electrode 10 and the glass substrate 7 and then baked. As a result, the address electrode 1
The dielectric layer 6 is formed on the surface of the substrate 0 and the glass substrate 7. Thereafter, for example, a stacking method by printing, a method by sandblasting of a thick film formed by a roll coater,
Alternatively, the partition wall 5 made of glass containing inorganic particles is formed on the surface of the dielectric layer 6 by using a thick film pressing method.

【００３６】つぎに、図３の工程が実行される。図３の
工程では、まず、隔壁５によって形成された溝に、例え
ば印刷法を用いることにより、蛍光体ペースト３０が、
注入される。蛍光体ペーストは、溝ごとに、三原色に分
けて、注入される。その後、乾燥焼成が行われることに
より、蛍光体ペーストに含まれる樹脂成分および溶剤成
分などが分解する。Next, the step of FIG. 3 is performed. In the step of FIG. 3, first, the phosphor paste 30 is applied to the groove formed by the partition wall 5 by using, for example, a printing method.
Injected. The phosphor paste is injected into the three primary colors for each groove. After that, the resin component and the solvent component contained in the phosphor paste are decomposed by performing the drying and firing.

【００３７】その結果、図４が示すように、溝の表面、
すなわち、隔壁５の側壁面および誘電体層６の表面に、
蛍光体粉末が、蛍光体層４として固定される。すでに述
べたように、蛍光体ペーストには、有機樹脂や有機溶剤
が大量に含まれており、これらの成分を焼成によって十
分に分解するためには、大量の空気と500℃程度の加熱
が必要である。As a result, as shown in FIG.
That is, on the side wall surface of the partition wall 5 and the surface of the dielectric layer 6,
The phosphor powder is fixed as the phosphor layer 4. As already mentioned, phosphor paste contains a large amount of organic resin and organic solvent, and a large amount of air and heating at about 500 ° C are required to decompose these components sufficiently by firing. It is.

【００３８】図１の工程と図２〜図４の工程との双方が
終了すると、図５の工程が実行される。図５の工程で
は、まず、維持放電電極８の端部に接続される端子３３
が、前面パネル２１の水平方向の一端縁に沿って取り付
けられ、アドレス電極１０の端部に接続される端子３４
が、背面パネル２２の鉛直方向の一端縁に沿って取り付
けられる。When both the step of FIG. 1 and the steps of FIGS. 2 to 4 are completed, the step of FIG. 5 is executed. In the step of FIG. 5, first, the terminal 33 connected to the end of the sustain discharge electrode 8
Are attached along one edge of the front panel 21 in the horizontal direction, and are connected to an end of the address electrode 10.
Are attached along one vertical edge of the back panel 22.

【００３９】その後、前面パネル２１と、隔壁５および
蛍光体層４が表面に形成された背面パネル２２とが、重
ね合わされた上で、それらの外周端縁が、全体にわたっ
て、例えば低融点ガラスフリットを用いることにより、
互いに融着される。これにより、前面パネル２１と背面
パネル２２とが一体に結合する。Thereafter, the front panel 21 and the rear panel 22 on which the partition walls 5 and the phosphor layers 4 are formed are superposed, and their outer peripheral edges are entirely formed of, for example, a low melting glass frit. By using
Fused together. Thereby, front panel 21 and rear panel 22 are integrally coupled.

【００４０】以上の工程により、ＰＤＰの組立てが完了
する。ＰＤＰの内部には、前面パネル２１と背面パネル
２２とに挟まれてなる放電空間２３（図１３）が形成さ
れている。Through the above steps, the assembly of the PDP is completed. Inside the PDP, a discharge space 23 (FIG. 13) sandwiched between a front panel 21 and a rear panel 22 is formed.

【００４１】＜３．放電処理＞つぎに、図６が示すよう
に、組立てが完了したＰＤＰが、加熱炉３５の中に投入
される。同時に、背面パネル２２にあらかじめ設けられ
ているガス導入管３２に、ガス供給部３６と排気部３７
とが、例えば、切り替え自在に接続される。ガス導入管
３２は、放電空間２３に連通している。また、ガス導入
管３２は、後工程で行われる再度のガスの入れ替えが可
能な程度に、長く設定される。<3. Discharge Process> Next, as shown in FIG. 6, the assembled PDP is put into a heating furnace 35. At the same time, the gas supply unit 36 and the exhaust unit 37 are connected to the gas introduction pipe 32 provided in the back panel 22 in advance.
Are connected, for example, in a switchable manner. The gas introduction pipe 32 communicates with the discharge space 23. Further, the gas introduction pipe 32 is set long so that the gas can be replaced again in a later step.

【００４２】ＰＤＰは、加熱炉３５によって加熱されつ
つ、その内部の放電空間２３が、排気部３７によって排
気される。排気が終了すると、ＰＤＰが常温度まで冷却
された後、ガス供給部３６によって、アルゴンガスが、
100Torrの圧力で、放電空間２３へと導入される。その
後、ガス導入管３２を封じる（チップオフする）ことに
よって、放電空間２３が密封される。While the PDP is heated by the heating furnace 35, the discharge space 23 inside the PDP is exhausted by the exhaust part 37. When the evacuation is completed, the PDP is cooled to a normal temperature, and then the argon gas is supplied by the gas supply unit 36.
It is introduced into the discharge space 23 at a pressure of 100 Torr. Thereafter, the discharge space 23 is sealed by sealing (chip-off) the gas introduction tube 32.

【００４３】つぎに、図７が示すように、端子３３と端
子３４とに、電源３９が接続される。そして、電源３９
によって、維持放電電極８とアドレス電極１０の間に、
通常の維持放電パルス電圧と同様のパルス電圧が、反復
的に印加される。維持放電パルス電圧は、10kHzの周波
数、200Vの高さで、１時間にわたって、継続的に印加さ
れた。Next, as shown in FIG. 7, a power supply 39 is connected to the terminals 33 and 34. And the power supply 39
Thereby, between the sustain discharge electrode 8 and the address electrode 10,
A pulse voltage similar to a normal sustain discharge pulse voltage is repeatedly applied. The sustain discharge pulse voltage was continuously applied at a frequency of 10 kHz and a height of 200 V for one hour.

【００４４】図８の動作説明図が示すように、パルス電
圧の印加によって、放電空間２３に放電が引き起こさ
れ、アルゴンガスが電離してなるイオン４１が形成され
る。ガスの圧力と放電開始電圧との間には、図９のグラ
フが示す関係が知られている。図９の横軸は、ガスの圧
力に長さを乗じた量を表している。As shown in the operation explanatory diagram of FIG. 8, a discharge is caused in the discharge space 23 by application of the pulse voltage, and ions 41 formed by ionization of the argon gas are formed. The relationship shown in the graph of FIG. 9 is known between the gas pressure and the discharge starting voltage. The horizontal axis of FIG. 9 represents the amount obtained by multiplying the gas pressure by the length.

【００４５】図９が示すように、アルゴンガスでは、圧
力×長さが、1Torr・cmであるときに、放電開始電圧が
最小値（約100V）となる。このことは、ＰＤＰの放電ギ
ャップ（前面パネル２１と背面パネル２２の間隔）が、
代表的な100μmであって、アルゴンガスの圧力が100Tor
rであれば、印加電圧が約100Vもあれば、放電が発生す
ることを意味する。上記したアルゴンガスの圧力、およ
び、パルス電圧は、この条件を十分に満たしている。As shown in FIG. 9, when the pressure × length of the argon gas is 1 Torr · cm, the discharge starting voltage becomes the minimum value (about 100 V). This means that the discharge gap of the PDP (the distance between the front panel 21 and the back panel 22) is
Typical 100μm, pressure of argon gas is 100Tor
If it is r, it means that the discharge occurs if the applied voltage is about 100 V. The argon gas pressure and the pulse voltage described above sufficiently satisfy this condition.

【００４６】図８に戻って、放電によって発生したイオ
ン４１は、維持放電電極８とアドレス電極１０との間に
印加された電圧によって加速され、蛍光体層４の表面に
衝突する。粉末として構成される蛍光体層４には、蛍光
体粒子４２が含まれている。図８の符号「Ａ」が示す蛍
光体層４の表面近傍を拡大すると、図１０のように模式
的に描かれる。Returning to FIG. 8, the ions 41 generated by the discharge are accelerated by the voltage applied between the sustain discharge electrode 8 and the address electrode 10, and collide with the surface of the phosphor layer 4. The phosphor layer 4 configured as a powder contains the phosphor particles 42. When the vicinity of the surface of the phosphor layer 4 indicated by the symbol “A” in FIG. 8 is enlarged, it is schematically drawn as shown in FIG.

【００４７】蛍光体層４に含まれる蛍光体粒子４２の表
層部には、蛍光体層４を焼成する過程で変質した変質部
４４が形成されている。その内部には、変質を免れた非
変質部４３が残されている。紫外線照射を受けると、非
変質部４３は、蛍光体粒子４２が持つ本来の輝度を発揮
するのに対し、変質部４４では、輝度が劣化している。In the surface layer portion of the phosphor particles 42 included in the phosphor layer 4, a deteriorated portion 44 that has been transformed in the process of firing the phosphor layer 4 is formed. Inside, a non-degraded part 43 which escaped degeneration is left. When irradiated with ultraviolet rays, the unaltered portion 43 exhibits the original luminance of the phosphor particles 42, whereas the altered portion 44 has deteriorated luminance.

【００４８】蛍光体層４の表面に衝突したイオン４１
は、蛍光体層４の表面に配列する蛍光体粒子４２の表層
部を構成する原子を、スパッタ粒子４５として、はじき
飛ばす。すなわち、蛍光体粒子４２の表層部が、イオン
４１によってスパッタされる。その結果、一定時間の後
には、図１１が示すように、蛍光体層４の表面に並んだ
蛍光体粒子４２の表層部、すなわち、蛍光体層４の表面
層が除去され、本来の高い輝度を発揮する非変質部４３
が露出する。The ions 41 that have collided with the surface of the phosphor layer 4
Repels the atoms constituting the surface layer of the phosphor particles 42 arranged on the surface of the phosphor layer 4 as sputtered particles 45. That is, the surface layer of the phosphor particles 42 is sputtered by the ions 41. As a result, after a certain period of time, as shown in FIG. 11, the surface layer of the phosphor particles 42 arranged on the surface of the phosphor layer 4, that is, the surface layer of the phosphor layer 4 is removed, and the original high luminance is obtained. Non-altered part 43
Is exposed.

【００４９】以上の放電処理が完了すると、図１２が示
すように、ガス導入管３２に、ガス供給部３６と排気部
３７とが、再び接続される。そして、排気部３７によっ
て、放電空間２３の排気が行われた後、通常動作のため
の放電ガス、例えば、ネオン・キセノン混合ガスが、ガ
ス供給部３６により、放電空間２３へと導入される。つ
ぎに、ガス導入管３２が再度チップオフされた後に、エ
ージングを経て、製品としてのＰＤＰが完成する。When the above discharge processing is completed, as shown in FIG. 12, the gas supply section 36 and the exhaust section 37 are connected to the gas introduction pipe 32 again. Then, after the discharge space 23 is evacuated by the exhaust unit 37, a discharge gas for normal operation, for example, a mixed gas of neon and xenon is introduced into the discharge space 23 by the gas supply unit 36. Next, after the gas introduction pipe 32 is again chipped off, aging is performed to complete a PDP as a product.

【００５０】＜４．実証実験＞以上の工程を通じて製造
されるＰＤＰの輝度の改善効果を実証するために、実証
実験を行った。実験では、蛍光体層４には、青色蛍光体
として、BAMが用いられ、緑色蛍光体として、マンガン
付活珪酸亜鉛が用いられ、赤色蛍光体として、ユーロピ
ウム付活イットリウム・ガドリウム・ボレート［（Y,G
d）BO₃:Eu］が用いられた。いずれも、代表的な材料で
ある。また、効果を比較するために、放電処理（図７）
は、アドレス電極１０に接続される端子３４の半分に絶
縁が施されることにより、電源３９の電圧が、多数のア
ドレス電極１０の中の半分にしか印加されない条件下で
実行された。<4. Demonstration Experiment> In order to demonstrate the effect of improving the luminance of the PDP manufactured through the above steps, a demonstration experiment was performed. In the experiments, BAM was used as the blue phosphor, manganese-activated zinc silicate was used as the green phosphor, and europium-activated yttrium gadolinium borate [(Y , G
d) BO _3: Eu] was used. All are typical materials. Also, in order to compare the effects, discharge treatment (FIG. 7)
Was performed under the condition that the half of the terminal 34 connected to the address electrodes 10 is insulated so that the voltage of the power supply 39 is applied to only half of the many address electrodes 10.

【００５１】その後の図１２の工程、および、エージン
グが完了したＰＤＰについて、輝度の測定が行なわれ
た。その結果、放電処理の過程で電源３９の電圧の印加
を受けない発光セルの輝度は、従来の製造方法で製造さ
れたＰＤＰの発光セルの輝度と同等であった。The luminance of the PDP after the process shown in FIG. 12 and the aging was completed was measured. As a result, the luminance of the light emitting cells not receiving the voltage of the power supply 39 during the discharging process was equal to the luminance of the light emitting cells of the PDP manufactured by the conventional manufacturing method.

【００５２】これに対して、電圧の印加を受けた発光セ
ルの輝度は、電圧の印加を受けなかった発光セルに比べ
て、青色の発光セルについては、12〜15％高く、緑色の
発光セルについては、5〜7%高く、赤色の発光セルにつ
いては、変化が見られなかった。すなわち、実証実験の
結果は、蛍光体層４の焼成にともなって劣化した輝度
が、アルゴンガスを放電ガスとして用いた放電処理によ
って、本来の輝度と同等程度にまで回復することを、示
している。On the other hand, the luminance of the light emitting cell to which the voltage is applied is higher by 12 to 15% for the blue light emitting cell than the light emitting cell to which the voltage is not applied, and the luminance of the green light emitting cell is increased. Was 5-7% higher, and no change was seen in the red light emitting cells. In other words, the results of the demonstration experiment indicate that the luminance that has deteriorated due to the firing of the phosphor layer 4 can be restored to approximately the same level as the original luminance by the discharge treatment using the argon gas as the discharge gas. .

【００５３】上記のように、マンガン付活珪酸亜鉛で
は、BAMほどには、輝度が大きく向上しない。しかしな
がら、緑色発光は、白色の輝度に対する寄与率が高く、
三原色のすべての寄与の約70%にも相当する。このた
め、緑色の輝度改善は、白色の輝度の向上へ有効に寄与
する。As described above, manganese-activated zinc silicate does not significantly improve luminance as much as BAM. However, green light emission has a high contribution to white luminance,
It also accounts for about 70% of all contributions of the three primary colors. Therefore, the improvement of the luminance of green effectively contributes to the improvement of the luminance of white.

【００５４】ＰＤＰの通常動作では、すでに述べたよう
に、サブフレームごとに、書き込み放電と維持放電とが
行われるが、放電の回数に関しては、対をなす維持放電
電極８の間で行われる維持放電の方が圧倒的に多く、維
持放電電極８とアドレス電極１０の間で生じる書き込み
放電は、それよりもはるかに少ない。また、書き込み放
電に先立って、前面パネル２１の表面に壁電荷を、一
旦、均一に形成するプライミング放電と、それに続い
て、壁電荷を消去するための消去放電とが、行われるタ
イプのＰＤＰも知られているが、これらのプライミング
放電、消去放電のいずれにおいても、放電は、対をなす
維持放電電極８の間で行われる。In the normal operation of the PDP, as described above, the write discharge and the sustain discharge are performed for each sub-frame. However, the number of discharges is determined with respect to the number of discharges between the sustain discharge electrodes 8 forming a pair. The discharge is overwhelmingly large, and the write discharge generated between the sustain discharge electrode 8 and the address electrode 10 is far less. Further, prior to the writing discharge, a PDP in which a priming discharge in which wall charges are once formed uniformly on the surface of the front panel 21 and an erasing discharge for erasing the wall charges is performed subsequently is also available. As is known, in both of the priming discharge and the erasing discharge, the discharge is performed between the pair of sustain discharge electrodes 8.

【００５５】このように、通常動作においては、反復さ
れる放電のほとんどすべてが、対をなす維持放電電極８
の間で行われる。このために、前面パネル２１の表面部
分には、放電で発生するイオンによるスパッタリング損
傷から保護するために、保護層３が設けられている。こ
れに対して、背面パネル２２の表面の上には、蛍光体層
４が形成されているが、この蛍光体層４には、保護層は
設けられない。As described above, in the normal operation, almost all of the repetitive discharge is performed by the pair of the sustain discharge electrodes 8.
Done between. For this purpose, a protective layer 3 is provided on the surface of the front panel 21 in order to protect the front panel 21 from sputtering damage caused by ions generated by discharge. On the other hand, the phosphor layer 4 is formed on the surface of the back panel 22, but the phosphor layer 4 is not provided with a protective layer.

【００５６】それは、放電ガスが放射し、蛍光体層４を
励起して発光させる147nmの波長の紫外線が、蛍光体層
４の表面層にしか進入しないために、保護層を設けるこ
とができないことに加えて、維持放電電極８とアドレス
電極１０の間で行われる書き込み放電の回数が少ないた
めに、そもそも、保護層の必要性が乏しいからである。The reason for this is that ultraviolet rays having a wavelength of 147 nm, which is emitted by the discharge gas and excites the phosphor layer 4 to emit light, enter only the surface layer of the phosphor layer 4, so that the protective layer cannot be provided. In addition, since the number of write discharges performed between the sustain discharge electrode 8 and the address electrode 10 is small, the necessity of the protective layer is scarce in the first place.

【００５７】また、蛍光体層４へ紫外線が深く侵入でき
ないので、蛍光体層４の表面層に輝度を低める層があれ
ば、深い層にわたって励起および発光を生じるＣＲＴ
（陰極線管）、あるいは、蛍光灯などに比べて、輝度の
劣化へとより強くその影響が現れる。したがって、ＰＤ
Ｐそれ自体を用いた放電処理をともなう実施の形態の製
造方法は、ＰＤＰが持つ構造上の特殊性に由来する問題
点を、その特殊性を逆に有効に生かして、効果的に解決
するものであると云える。Further, since ultraviolet rays cannot penetrate deeply into the phosphor layer 4, if there is a layer for lowering the brightness on the surface layer of the phosphor layer 4, a CRT which causes excitation and emission over a deep layer
(Cathode ray tube) or a fluorescent lamp has a stronger effect on the deterioration of luminance. Therefore, PD
The manufacturing method according to the embodiment involving the discharge treatment using P itself solves the problem derived from the structural specialty of the PDP effectively by effectively utilizing the specialty. It can be said that.

【００５８】＜５．放電ガスに関する別の例＞放電処理
（図７）を行う際に封入される放電ガスとして、アルゴ
ンガスの代わりに、通常動作のための放電ガスの代表例
であるネオン・キセノン混合ガスを用いて、さらに、同
様の実証試験が行われた。この放電ガスは、100Torrの
圧力で封止され、放電処理では、10kHz、200Vの維持放
電パルス電圧が、１時間にわたって印加された。電圧の
印加は、アドレス電極１０の半分に対してのみ行われ
た。<5. Another Example Regarding Discharge Gas> Instead of argon gas, a neon-xenon mixed gas, which is a typical example of a discharge gas for normal operation, is used as a discharge gas sealed when performing a discharge process (FIG. 7). , And a similar demonstration test was conducted. The discharge gas was sealed at a pressure of 100 Torr, and in the discharge treatment, a sustaining discharge pulse voltage of 10 kHz and 200 V was applied for one hour. The voltage was applied only to half of the address electrodes 10.

【００５９】その後、新たなネオン・キセノン混合ガス
が導入され（図１２）、さらに、エージングが完了した
後に、輝度の測定が行なわれた。その結果、電圧の印加
を受けた発光セルの輝度は、電圧の印加を受けなかった
発光セルに比べて、青色の発光セルについては、8〜10
％高く、緑色の発光セルについては、3〜8%高いという
結果が得られた。このように、ネオン・キセノン混合ガ
スを用いて放電処理を行っても、劣化した輝度の相当部
分が回復することが実証された。Thereafter, a new mixed gas of neon and xenon was introduced (FIG. 12), and after the aging was completed, the luminance was measured. As a result, the luminance of the light-emitting cell to which the voltage was applied was 8 to 10 for the blue light-emitting cell compared to the light-emitting cell to which no voltage was applied.
% For the green light emitting cells, 3 to 8% higher. As described above, it has been demonstrated that even when the discharge treatment is performed using the neon-xenon mixed gas, a considerable portion of the deteriorated luminance is recovered.

【００６０】一般に、放電ガスとして、幅広い種類のガ
スが使用可能である。その中で、アルゴン、ネオン、キ
セノンなどの不活性ガスは、蛍光体層４の表面に化合物
を生じないので、特に望ましい。中でも、アルゴンガス
は、低価格であるとともに、上記のように、輝度回復の
効果においても、優れている。また、ネオン・キセノン
混合ガスなど、通常動作のための放電ガスと同一の放電
ガスを使用することによって、不純ガスが残留すること
を防ぐことができる。Generally, a wide variety of gases can be used as the discharge gas. Among them, an inert gas such as argon, neon, or xenon is particularly desirable because it does not generate a compound on the surface of the phosphor layer 4. Among them, argon gas is inexpensive and excellent in the effect of luminance recovery as described above. Further, by using the same discharge gas as a discharge gas for normal operation, such as a mixed gas of neon and xenon, it is possible to prevent the impurity gas from remaining.

【００６１】＜６．拡張性＞以上では、交流型ＰＤＰを
例として、その製造方法を説明したが、この発明は、直
流型ＰＤＰについても、適用可能である。また、ＰＤＰ
に限らず、互いに対向して放電空間を形成する一対の基
板状のパネルの双方が電極を有し、放電空間に露出する
蛍光体層が、少なくとも一方のパネルに付設されている
表示装置一般に、適用が可能である。<6. Extensibility> In the above, the method of manufacturing the AC type PDP has been described as an example, but the present invention is also applicable to a DC type PDP. Also, PDP
Not limited to this, both of a pair of substrate-like panels forming a discharge space facing each other have electrodes, and a phosphor layer exposed to the discharge space is generally provided in at least one of the display devices, Applicable.

【００６２】[0062]

【発明の効果】第１の発明の製造方法では、焼成によっ
て変質し、輝度の劣化をもたらす蛍光体層の表面層が、
放電を用いて除去されるので、蛍光体層の本来の輝度が
回復する。しかも、パネルの結合工程が完了した表示装
置それ自体が備える放電機構が利用されるので、エッチ
ング処理等のための大規模な装置を用いることなく、簡
便に、輝度の向上を達成することができる。また、導入
される放電ガスの圧力は、大気圧以下であれば、任意の
高さに設定することができるので、最適な条件で放電を
発生させることが可能である。According to the manufacturing method of the first aspect of the present invention, the surface layer of the phosphor layer, which is degraded by firing and deteriorates the luminance,
Since the phosphor layer is removed using discharge, the original luminance of the phosphor layer is restored. In addition, since the discharge mechanism included in the display device itself after the panel bonding process is completed is used, the luminance can be easily and simply improved without using a large-scale device for etching or the like. . Further, the pressure of the introduced discharge gas can be set to an arbitrary height as long as the pressure is equal to or lower than the atmospheric pressure, so that it is possible to generate a discharge under optimal conditions.

【００６３】第２の発明の製造方法では、第１の放電ガ
スが不活性ガスであるので、放電にともなって、蛍光体
層の表面に、発光を妨げる化合物を生じない。In the manufacturing method according to the second aspect of the present invention, since the first discharge gas is an inert gas, a compound that hinders light emission does not occur on the surface of the phosphor layer with the discharge.

【００６４】第３の発明の製造方法では、第１の放電ガ
スが、特にアルゴンガスであるので、輝度回復の効果が
大きい。また、低価格で入手可能である。In the manufacturing method according to the third aspect of the present invention, since the first discharge gas is particularly an argon gas, the effect of luminance recovery is great. It is also available at a low price.

【００６５】第４の発明の製造方法では、蛍光体層の材
料が、ユーロピウム付活バリウム・アルミニウム・マグ
ネシウム・オキサイドを含んでいるので、輝度回復の効
果が著しい。In the manufacturing method according to the fourth aspect of the present invention, since the material of the phosphor layer contains europium-activated barium, aluminum, magnesium, and oxide, the effect of luminance recovery is remarkable.

【００６６】第５の発明の製造方法では、蛍光体層の材
料が、マンガン付活珪酸亜鉛を含んでいるので、輝度回
復の効果が大きい。また、表示装置がフルカラー型であ
って、マンガン付活珪酸亜鉛が、緑色の蛍光体として用
いられるときには、白色の輝度向上への寄与が大きい。In the manufacturing method according to the fifth aspect of the present invention, since the material of the phosphor layer contains manganese-activated zinc silicate, the effect of luminance recovery is large. Further, when the display device is of a full-color type and manganese-activated zinc silicate is used as a green phosphor, it greatly contributes to the improvement of white luminance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図１】 実施の形態の製造方法の工程図である。FIG. 1 is a process chart of a manufacturing method according to an embodiment.

【図２】 実施の形態の製造方法の工程図である。FIG. 2 is a process chart of a manufacturing method according to the embodiment.

【図３】 実施の形態の製造方法の工程図である。FIG. 3 is a process chart of a manufacturing method according to the embodiment.

【図４】 実施の形態の製造方法の工程図である。FIG. 4 is a process chart of the manufacturing method according to the embodiment;

【図５】 実施の形態の製造方法の工程図である。FIG. 5 is a process chart of a manufacturing method according to the embodiment.

【図６】 実施の形態の製造方法の工程図である。FIG. 6 is a process chart of the manufacturing method according to the embodiment.

【図７】 実施の形態の製造方法の工程図である。FIG. 7 is a process chart of the manufacturing method according to the embodiment.

【図８】 放電処理の動作説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram of an operation of a discharge process.

【図９】 放電特性に関するグラフである。FIG. 9 is a graph relating to discharge characteristics.

【図１０】 図８の部分拡大図である。FIG. 10 is a partially enlarged view of FIG. 8;

【図１１】 図８の部分拡大図である。11 is a partially enlarged view of FIG.

【図１２】 実施の形態の製造方法の工程図である。FIG. 12 is a process chart of a manufacturing method according to the embodiment.

【図１３】 ＰＤＰの平面断面図である。FIG. 13 is a plan sectional view of the PDP.

【図１４】 ＰＤＰの断面斜視図である。FIG. 14 is a sectional perspective view of a PDP.

【図１５】 蛍光体層の輝度劣化に関するグラフであ
る。FIG. 15 is a graph relating to luminance degradation of a phosphor layer.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

４ 蛍光体層、８ 維持放電電極、１０ アドレス電
極、２１ 前面パネル、２２ 背面パネル、２３ 放電
空間、３０ 蛍光体ペースト（材料）。Reference Signs List 4 phosphor layers, 8 sustain discharge electrodes, 10 address electrodes, 21 front panel, 22 rear panel, 23 discharge space, 30 phosphor paste (material).

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 互いの間に放電空間を規定するように対
向する一対のパネルの双方が、電極を有し、前記放電空
間に露出する蛍光体層が、前記一対のパネルの少なくと
も一方に形成されている表示装置を製造する方法におい
て、 前記一対のパネルを形成する第１工程と、 前記一対のパネルの前記少なくとも一方に、前記蛍光体
層のもとになる材料を付着させる第２工程と、 前記材料を焼成することによって、前記蛍光体層を形成
する第３工程と、 当該第３工程の後で、前記放電空間を規定するように、
前記一対のパネルを互いに対向させて結合する第４工程
と、 当該第４工程の後で、前記放電空間へ、第１の放電ガス
を導入する第５工程と、 当該第５工程の後に、前記一対のパネルの前記電極の間
に、電圧パルスを印加することにより、前記放電空間に
放電を発生させ、それにより、前記蛍光体層の表面層を
除去する第６工程と、 当該第６工程の後に、前記第１の放電ガスを前記放電空
間から除去する第７工程と、 当該第７工程の後に、前記放電空間へ、第２の放電ガス
を導入する工程と、を備える表示装置の製造方法。1. A pair of panels facing each other so as to define a discharge space therebetween have electrodes, and a phosphor layer exposed to the discharge space is formed on at least one of the pair of panels. A method for manufacturing a display device, wherein: a first step of forming the pair of panels; and a second step of attaching a material that forms the phosphor layer to at least one of the pair of panels. A third step of forming the phosphor layer by firing the material, and after the third step, defining the discharge space,
A fourth step of connecting the pair of panels so as to face each other, a fifth step of introducing a first discharge gas into the discharge space after the fourth step, and a step of: A sixth step of generating a discharge in the discharge space by applying a voltage pulse between the electrodes of the pair of panels, thereby removing a surface layer of the phosphor layer; A method for manufacturing a display device, comprising: a seventh step of removing the first discharge gas from the discharge space; and a step of introducing a second discharge gas into the discharge space after the seventh step. . 【請求項２】 前記第１の放電ガスが、不活性ガスであ
る、請求項１に記載の表示装置の製造方法。2. The method according to claim 1, wherein the first discharge gas is an inert gas. 【請求項３】 前記不活性ガスが、アルゴンガスであ
る、請求項２に記載の表示装置の製造方法。3. The method according to claim 2, wherein the inert gas is an argon gas. 【請求項４】 前記材料が、蛍光体として、ユーロピウ
ム付活バリウム・アルミニウム・マグネシウム・オキサ
イドを含んでいる、請求項１ないし請求項３のいずれか
に記載の表示装置の製造方法。4. The method of manufacturing a display device according to claim 1, wherein the material contains europium-activated barium aluminum magnesium oxide as a phosphor. 【請求項５】 前記材料が、蛍光体として、マンガン付
活珪酸亜鉛を含んでいる、請求項１ないし請求項４のい
ずれかに記載の表示装置の製造方法。5. The method for manufacturing a display device according to claim 1, wherein said material contains manganese-activated zinc silicate as a phosphor.