JP2000221208A - 静電容量式加速度センサ - Google Patents
静電容量式加速度センサInfo
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- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
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- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/084—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass the mass being suspended at more than one of its sides, e.g. membrane-type suspension, so as to permit multi-axis movement of the mass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低コストで且つ優れた感度を有する静電容量
式加速度センサを提供すること。 【解決手段】 基板１に形成した固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ
−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋群と、弾性を有する導電性
ゴム又は導電性樹脂により形成した可動電極２とから、
可変静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−，Ｃｚ
＋を構成してあり、加速度が作用したときには慣性によ
り導電性ゴム又は導電性樹脂が変形又は変位せしめられ
て上記可変静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ
−，Ｃｚ＋の静電容量が変化するようにしてある。
式加速度センサを提供すること。 【解決手段】 基板１に形成した固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ
−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋群と、弾性を有する導電性
ゴム又は導電性樹脂により形成した可動電極２とから、
可変静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−，Ｃｚ
＋を構成してあり、加速度が作用したときには慣性によ
り導電性ゴム又は導電性樹脂が変形又は変位せしめられ
て上記可変静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ
−，Ｃｚ＋の静電容量が変化するようにしてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、静電容量式加速
度センサに関するものである。
度センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の静電容量式加速度センサとして
は、例えば図９に示すようなものがあり、基本的には同
図に示す如く、固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ
−，Ｄｚ＋を有したシリコン基板90と、可動電極Ｄを有
したシリコン基板91と、前記シリコン基板91の中央部に
固着された重錐体92と、前記シリコン基板91の外周部に
重錐体92を包囲する態様で固着された取付用台座93とを
具備すると共に、前記固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ
＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋と可動電極Ｄにより可変静電容量部
Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−，Ｃｚ＋が構成される
ようにしてある。なお、上記加速度センサは、図９に示
す如く取付用台座93を介して被計測物Ｋに取り付けられ
る。
は、例えば図９に示すようなものがあり、基本的には同
図に示す如く、固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ
−，Ｄｚ＋を有したシリコン基板90と、可動電極Ｄを有
したシリコン基板91と、前記シリコン基板91の中央部に
固着された重錐体92と、前記シリコン基板91の外周部に
重錐体92を包囲する態様で固着された取付用台座93とを
具備すると共に、前記固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ
＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋と可動電極Ｄにより可変静電容量部
Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−，Ｃｚ＋が構成される
ようにしてある。なお、上記加速度センサは、図９に示
す如く取付用台座93を介して被計測物Ｋに取り付けられ
る。
【０００３】この加速度センサに加速度が作用すると、
重錐体92の慣性によりシリコン基板91及びこれに形成さ
れた電極Ｄが変形せしめられて可変静電容量部Ｃｘ＋，
Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−，Ｃｚ＋の静電容量が変化し、
例えば加速度の大きさを電圧値の大きさとして検出でき
る。
重錐体92の慣性によりシリコン基板91及びこれに形成さ
れた電極Ｄが変形せしめられて可変静電容量部Ｃｘ＋，
Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−，Ｃｚ＋の静電容量が変化し、
例えば加速度の大きさを電圧値の大きさとして検出でき
る。
【０００４】しかしながら、上記加速度センサでは、シ
リコン基板に電極を形成したり、シリコン基板にガラス
等の重錐体を固着する必要があり、製造プロセスの複雑
さから高コストであるという問題があった。また、重錐
体の慣性によりシリコン基板を変形させるものであるた
め変形量が小さく、感度が悪いという問題もあった。
リコン基板に電極を形成したり、シリコン基板にガラス
等の重錐体を固着する必要があり、製造プロセスの複雑
さから高コストであるという問題があった。また、重錐
体の慣性によりシリコン基板を変形させるものであるた
め変形量が小さく、感度が悪いという問題もあった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、低コストで且つ優れた感度を有する静電容量式加速
度センサを提供することを課題とする。
は、低コストで且つ優れた感度を有する静電容量式加速
度センサを提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】（請求項１記載の発明）
この発明の静電容量式加速度センサは、基板に形成した
固定電極群と、弾性を有する導電性ゴム又は導電性樹脂
により形成した可動電極とから、可変静電容量部を構成
してあり、加速度が作用したときには慣性により導電性
ゴム又は導電性樹脂が変形又は変位せしめられて上記可
変静電容量部の静電容量が変化するようにしてある。 （請求項２記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項１記載の発明に関して、可動電極が板状
に形成されていると共に、前記可動電極にはゴム又は樹
脂から成る重錐部が一体成形されており、加速度が作用
したときには重錐部の慣性により可動電極が変形せしめ
られて上記可変静電容量部の静電容量が変化するように
してある。 （請求項３記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項１記載の発明に関して、可動電極が、固
定電極群と小間隔を設けて対向配置させた重錐部であ
り、前記重錐部を弾性を有したゴム又は樹脂から成る支
持部により基板に支持させたものとしてあり、加速度が
作用したときには重錐部の変位により可変静電容量部の
静電容量が変化するようにしてある。 （請求項４記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明に関し
て、固定電極群は、１８０°間隔で電極が配置されたも
のであり、二つの可変静電容量部の静電容量の変化によ
りＸ軸方向の加速度が検出できるようにしてある。 （請求項５記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明に関し
て、固定電極群は、９０°間隔で電極が配置されたもの
であり、一方の対向する可変静電容量部の静電容量の変
化によりＸ軸方向の加速度が検出でき、他方の対向する
可変静電容量部の静電容量の変化によりＹ軸方向の加速
度が検出できるようにしてある。 （請求項６記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項５記載の発明に関して、Ｘ軸及びＹ軸方
向の加速度を検出するための四個の電極により囲まれた
基板部分に、Ｚ軸方向の加速度を検出するための電極を
配置させてある。 （請求項７記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項２又は３記載の発明に関して、加速度検
出の感度を上げるべく重錐部の内部に重い塊状物を埋設
して成る。
この発明の静電容量式加速度センサは、基板に形成した
固定電極群と、弾性を有する導電性ゴム又は導電性樹脂
により形成した可動電極とから、可変静電容量部を構成
してあり、加速度が作用したときには慣性により導電性
ゴム又は導電性樹脂が変形又は変位せしめられて上記可
変静電容量部の静電容量が変化するようにしてある。 （請求項２記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項１記載の発明に関して、可動電極が板状
に形成されていると共に、前記可動電極にはゴム又は樹
脂から成る重錐部が一体成形されており、加速度が作用
したときには重錐部の慣性により可動電極が変形せしめ
られて上記可変静電容量部の静電容量が変化するように
してある。 （請求項３記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項１記載の発明に関して、可動電極が、固
定電極群と小間隔を設けて対向配置させた重錐部であ
り、前記重錐部を弾性を有したゴム又は樹脂から成る支
持部により基板に支持させたものとしてあり、加速度が
作用したときには重錐部の変位により可変静電容量部の
静電容量が変化するようにしてある。 （請求項４記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明に関し
て、固定電極群は、１８０°間隔で電極が配置されたも
のであり、二つの可変静電容量部の静電容量の変化によ
りＸ軸方向の加速度が検出できるようにしてある。 （請求項５記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明に関し
て、固定電極群は、９０°間隔で電極が配置されたもの
であり、一方の対向する可変静電容量部の静電容量の変
化によりＸ軸方向の加速度が検出でき、他方の対向する
可変静電容量部の静電容量の変化によりＹ軸方向の加速
度が検出できるようにしてある。 （請求項６記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項５記載の発明に関して、Ｘ軸及びＹ軸方
向の加速度を検出するための四個の電極により囲まれた
基板部分に、Ｚ軸方向の加速度を検出するための電極を
配置させてある。 （請求項７記載の発明）この発明の静電容量式加速度セ
ンサは、請求項２又は３記載の発明に関して、加速度検
出の感度を上げるべく重錐部の内部に重い塊状物を埋設
して成る。
【０００７】なお、上記発明の静電容量式加速度センサ
の機能については、以下の発明の実施の形態の欄で詳述
する。
の機能については、以下の発明の実施の形態の欄で詳述
する。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に従って説明する。 （実施形態１）図１は、この発明の実施形態１の静電容
量式加速度センサＳの断面図を示している。
面に従って説明する。 （実施形態１）図１は、この発明の実施形態１の静電容
量式加速度センサＳの断面図を示している。
【０００９】上記静電容量式加速度センサＳは、図１や
図２に示すように、固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，
Ｄｙ−，Ｄｚ＋が形成された基板１と、前記基板１に接
着され且つ導電性ゴムより成る可動電極Ｄと、前記可動
電極Ｄと一体成形され且つ円筒状の取付用台座部21とこ
れの中央部に位置させた重錐部20とを薄膜部22により連
結して成るシリコンゴム体２とから構成されており、前
記固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋と
可動電極Ｄにより可変静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ
＋，Ｃｙ−，Ｃｚ＋が形成されるようにしてある。
図２に示すように、固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，
Ｄｙ−，Ｄｚ＋が形成された基板１と、前記基板１に接
着され且つ導電性ゴムより成る可動電極Ｄと、前記可動
電極Ｄと一体成形され且つ円筒状の取付用台座部21とこ
れの中央部に位置させた重錐部20とを薄膜部22により連
結して成るシリコンゴム体２とから構成されており、前
記固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋と
可動電極Ｄにより可変静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ
＋，Ｃｙ−，Ｃｚ＋が形成されるようにしてある。
【００１０】ここで、この加速度センサＳにＸ軸方向の
加速度Ａｘ−が作用すると、重錐部20の慣性により可動
電極Ｄは図３のように弾性変形する。これにより、固定
電極Ｄｘ＋と可動電極Ｄとの間隔は小さくなり、可変静
電容量部Ｃｘ＋の静電容量は大きくなる。逆に固定電極
Ｄｘ−と可動電極Ｄとの間隔は大きくなり、可変静電容
量部Ｃｘ−の静電容量は小さくなる。何故ならば、一般
に、静電容量＝誘電率ε×（電極面積ｓ／電極間距離
ｄ）であるからである。なお、固定電極Ｄｚ＋と可動電
極Ｄとの間隔は相対的にはほとんど変化しない。
加速度Ａｘ−が作用すると、重錐部20の慣性により可動
電極Ｄは図３のように弾性変形する。これにより、固定
電極Ｄｘ＋と可動電極Ｄとの間隔は小さくなり、可変静
電容量部Ｃｘ＋の静電容量は大きくなる。逆に固定電極
Ｄｘ−と可動電極Ｄとの間隔は大きくなり、可変静電容
量部Ｃｘ−の静電容量は小さくなる。何故ならば、一般
に、静電容量＝誘電率ε×（電極面積ｓ／電極間距離
ｄ）であるからである。なお、固定電極Ｄｚ＋と可動電
極Ｄとの間隔は相対的にはほとんど変化しない。
【００１１】上記したことは加速度Ａｘ＋，Ａｙ＋，Ａ
ｙ−の場合も同様のことが言える。
ｙ−の場合も同様のことが言える。
【００１２】次に、この加速度センサＳにＸ軸方向の加
速度Ａｚ−が作用すると、重錐部20の慣性により可動電
極Ｄは図４のように弾性変形する。これにより、固定電
極Ｄｚ＋と可動電極Ｄの間隔は小さくなり、可変静電容
量部Ｃｚ＋の静電容量は大きくなる。なお、この場合に
おいて、可変静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ
−も大きくなるが、その変化量は機械的対称性により同
じである。
速度Ａｚ−が作用すると、重錐部20の慣性により可動電
極Ｄは図４のように弾性変形する。これにより、固定電
極Ｄｚ＋と可動電極Ｄの間隔は小さくなり、可変静電容
量部Ｃｚ＋の静電容量は大きくなる。なお、この場合に
おいて、可変静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ
−も大きくなるが、その変化量は機械的対称性により同
じである。
【００１３】以上、加速度の方向と、静電容量の変化を
まとめると表１のようになる。この場合の変化の度合い
は加速度の大きさに応じて大きくなる。
まとめると表１のようになる。この場合の変化の度合い
は加速度の大きさに応じて大きくなる。
【００１４】
【表１】
【００１５】ここで、表１の特性を利用して図５に示す
回路を構成すれば、加速度の大きさと方向に応じた電圧
値として出力することができる。
回路を構成すれば、加速度の大きさと方向に応じた電圧
値として出力することができる。
【００１６】また、この静電容量式加速度センサＳは以
下のに示す作用・効果を有する。 板状の導電性ゴムがそのまま可動電極Ｄとなると共
に、前記可動電極Ｄと重錐部20とがゴム部材により一体
成形できることから、製造プロセスは容易になり、その
結果、低コストになる。 可動電極Ｄは導電性ゴムにより構成されているから、
重錐部20の慣性により大きく変形し、その結果、感度は
良いものとなる。 （実施形態２）図６は、この発明の実施形態２の静電容
量式加速度センサＳの断面図を示しており、図７は、前
記静電容量式加速度センサＳの外観図を示している。
下のに示す作用・効果を有する。 板状の導電性ゴムがそのまま可動電極Ｄとなると共
に、前記可動電極Ｄと重錐部20とがゴム部材により一体
成形できることから、製造プロセスは容易になり、その
結果、低コストになる。 可動電極Ｄは導電性ゴムにより構成されているから、
重錐部20の慣性により大きく変形し、その結果、感度は
良いものとなる。 （実施形態２）図６は、この発明の実施形態２の静電容
量式加速度センサＳの断面図を示しており、図７は、前
記静電容量式加速度センサＳの外観図を示している。
【００１７】この加速度センサＳは、基本的には図６に
示す如く実施形態１の加速度センサと同様の構成として
あり、相違するところは、プリント基板１上にスペーサ
３を設けて空間Ａを形成してある点、前記空間Ａ内のプ
リント基板１上に加速度検出回路用電子部品４を配設し
てある点、固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，
Ｄｚ＋を包囲する態様でプリント基板１に接続用ランド
Ｌを形成してある点、センサの構成部材の全てを金属フ
レーム５で覆って一体化してある点である。なお、この
加速度センサＳでは、図６に示すように、可動電極Ｄと
電気的接続状態に接触させてあり、固定電極Ｄｘ＋，Ｄ
ｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋、接続用ランドＬ及び加
速度検出回路用電子部品４を所定に入出力端子50に電気
的接続状態にしている。
示す如く実施形態１の加速度センサと同様の構成として
あり、相違するところは、プリント基板１上にスペーサ
３を設けて空間Ａを形成してある点、前記空間Ａ内のプ
リント基板１上に加速度検出回路用電子部品４を配設し
てある点、固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，
Ｄｚ＋を包囲する態様でプリント基板１に接続用ランド
Ｌを形成してある点、センサの構成部材の全てを金属フ
レーム５で覆って一体化してある点である。なお、この
加速度センサＳでは、図６に示すように、可動電極Ｄと
電気的接続状態に接触させてあり、固定電極Ｄｘ＋，Ｄ
ｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋、接続用ランドＬ及び加
速度検出回路用電子部品４を所定に入出力端子50に電気
的接続状態にしている。
【００１８】したがって、この加速度センサＳは上記実
施形態１のものと同様に機能し、さらに取扱いが非常に
容易なものとなる。 （実施形態３）この発明の実施形態３の静電容量式加速
度センサＳは、図８に示すように、基板１に形成された
固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋と、
前記固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋
と小間隙を設けて対向配置された導電性ゴム製の重錐部
20と、前記重錐部20を保持する円筒状の支持部21（前記
重錐部20と一体成形されている弾性体：導電性ゴムやシ
リコンゴム等が採用できる）とにより構成されており、
前記重錐部20の下端面が可動電極Ｄとして機能するもの
としてある。このものでは、重錐部20の変位により可変
静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−，Ｃｚ＋の
静電容量が変化する。
施形態１のものと同様に機能し、さらに取扱いが非常に
容易なものとなる。 （実施形態３）この発明の実施形態３の静電容量式加速
度センサＳは、図８に示すように、基板１に形成された
固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋と、
前記固定電極Ｄｘ＋，Ｄｘ−，Ｄｙ＋，Ｄｙ−，Ｄｚ＋
と小間隙を設けて対向配置された導電性ゴム製の重錐部
20と、前記重錐部20を保持する円筒状の支持部21（前記
重錐部20と一体成形されている弾性体：導電性ゴムやシ
リコンゴム等が採用できる）とにより構成されており、
前記重錐部20の下端面が可動電極Ｄとして機能するもの
としてある。このものでは、重錐部20の変位により可変
静電容量部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−，Ｃｚ＋の
静電容量が変化する。
【００１９】したがって、この加速度センサＳは上記実
施形態１，２のものとほぼ同様に機能することとなる。 （その他の実施形態）上記実施形態２に関して、スペー
サ３をゴム等の弾性体により構成することができ、この
構成を採った場合、空間Ａは外周水密状態となり防水効
果が期待できる。
施形態１，２のものとほぼ同様に機能することとなる。 （その他の実施形態）上記実施形態２に関して、スペー
サ３をゴム等の弾性体により構成することができ、この
構成を採った場合、空間Ａは外周水密状態となり防水効
果が期待できる。
【００２０】上記実施形態１〜３に関して、加速度検出
の感度を上げるべく重錐部20の内部に重い塊状物を埋設
するようにしてもよい。
の感度を上げるべく重錐部20の内部に重い塊状物を埋設
するようにしてもよい。
【００２１】上記実施形態にかえて、固定電極群は、１
８０°間隔で電極が配置されたものであり、二つの可変
静電容量部の静電容量の変化によりＸ軸方向の加速度が
検出できるようにしてあるものとすることができる。ま
た、固定電極群は、９０°間隔で電極が配置されたもの
であり、一方の対向する可変静電容量部の静電容量の変
化によりＸ軸方向の加速度が検出でき、他方の対向する
可変静電容量部の静電容量の変化によりＹ軸方向の加速
度が検出できるようにしてあるものとすることができ
る。
８０°間隔で電極が配置されたものであり、二つの可変
静電容量部の静電容量の変化によりＸ軸方向の加速度が
検出できるようにしてあるものとすることができる。ま
た、固定電極群は、９０°間隔で電極が配置されたもの
であり、一方の対向する可変静電容量部の静電容量の変
化によりＸ軸方向の加速度が検出でき、他方の対向する
可変静電容量部の静電容量の変化によりＹ軸方向の加速
度が検出できるようにしてあるものとすることができ
る。
【００２２】
【発明の効果】この発明は上記構成を有するものである
から以下の効果を奏する。
から以下の効果を奏する。
【００２３】発明の実施の形態段の欄の説明から明らか
なように、低コストで且つ優れた感度を有する静電容量
式加速度センサを提供できた。
なように、低コストで且つ優れた感度を有する静電容量
式加速度センサを提供できた。
【図１】この発明の実施形態１の静電容量式加速度セン
サの断面図。
サの断面図。
【図２】前記加速度センサの固定電極の平面図。
【図３】前記加速度センサにＸ軸方向の加速度が生じた
ときの断面図。
ときの断面図。
【図４】前記加速度センサにＺ軸方向の加速度が生じた
ときの断面図。
ときの断面図。
【図５】前記加速度センサに採用される回路図。
【図６】この発明の実施形態２の静電容量式加速度セン
サの断面図。
サの断面図。
【図７】前記実施形態２の静電容量式加速度センサの外
観斜視図。
観斜視図。
【図８】この発明の実施形態３の静電容量式加速度セン
サの断面図。
サの断面図。
【図９】先行技術の静電容量式加速度センサの断面図。
Ｄ 可動電極 Ｄｘ＋ 固定電極 Ｄｘ− 固定電極 Ｄｙ＋ 固定電極 Ｄｙ− 固定電極 Ｄｚ＋ 固定電極 Ｃｘ＋ 可変静電容量部 Ｃｘ− 可変静電容量部 Ｃｙ＋ 可変静電容量部 Ｃｙ− 可変静電容量部 Ｃｚ＋ 可変静電容量部 １ 基板 ２ シリコンゴム体 20 重錐部 21 支持部
Claims (7)
- 【請求項１】 基板に形成した固定電極群と、弾性を有
する導電性ゴム又は導電性樹脂により形成した可動電極
とから、可変静電容量部を構成してあり、加速度が作用
したときには慣性により導電性ゴム又は導電性樹脂が変
形又は変位せしめられて上記可変静電容量部の静電容量
が変化するようにしてあることを特徴とする静電容量式
加速度センサ。 - 【請求項２】 可動電極が板状に形成されていると共
に、前記可動電極にはゴム又は樹脂から成る重錐部が一
体成形されており、加速度が作用したときには重錐部の
慣性により可動電極が変形せしめられて上記可変静電容
量部の静電容量が変化するようにしてあることを特徴と
する請求項１記載の静電容量式加速度センサ。 - 【請求項３】 可動電極が、固定電極群と小間隔を設け
て対向配置させた重錐部であり、前記重錐部を弾性を有
したゴム又は樹脂から成る支持部により基板に支持させ
たものとしてあり、加速度が作用したときには重錐部の
変位により可変静電容量部の静電容量が変化するように
してあることを特徴とする請求項１記載の静電容量式加
速度センサ。 - 【請求項４】 固定電極群は、１８０°間隔で電極が配
置されたものであり、二つの可変静電容量部の静電容量
の変化によりＸ軸方向の加速度が検出できるようにして
あることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載
の静電容量式加速度センサ。 - 【請求項５】 固定電極群は、９０°間隔で電極が配置
されたものであり、一方の対向する可変静電容量部の静
電容量の変化によりＸ軸方向の加速度が検出でき、他方
の対向する可変静電容量部の静電容量の変化によりＹ軸
方向の加速度が検出できるようにしてあることを特徴と
する請求項１乃至３のいずれかに記載の静電容量式加速
度センサ。 - 【請求項６】 Ｘ軸及びＹ軸方向の加速度を検出するた
めの四個の電極により囲まれた基板部分に、Ｚ軸方向の
加速度を検出するための電極を配置させてあることを特
徴とする請求項５記載の静電容量式加速度センサ。 - 【請求項７】 加速度検出の感度を上げるべく重錐部の
内部に重い塊状物を埋設して成ることを特徴とする請求
項２又は３記載の静電容量式加速度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11025127A JP2000221208A (ja) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | 静電容量式加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11025127A JP2000221208A (ja) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | 静電容量式加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000221208A true JP2000221208A (ja) | 2000-08-11 |
Family
ID=12157296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11025127A Pending JP2000221208A (ja) | 1999-02-02 | 1999-02-02 | 静電容量式加速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000221208A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006137230A1 (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Micro Precision Co. & Ltd. | 容量検出型加速度センサ |
| WO2018179764A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | 株式会社ミクニ | 自動二輪車の転倒検出装置 |
-
1999
- 1999-02-02 JP JP11025127A patent/JP2000221208A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006137230A1 (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Micro Precision Co. & Ltd. | 容量検出型加速度センサ |
| WO2018179764A1 (ja) * | 2017-03-31 | 2018-10-04 | 株式会社ミクニ | 自動二輪車の転倒検出装置 |
| JP2018171973A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | 株式会社ミクニ | 自動二輪車の転倒検出装置 |
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Legal Events
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080229 |