JP2000211145A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法

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JP2000211145A
JP2000211145A JP1797599A JP1797599A JP2000211145A JP 2000211145 A JP2000211145 A JP 2000211145A JP 1797599 A JP1797599 A JP 1797599A JP 1797599 A JP1797599 A JP 1797599A JP 2000211145 A JP2000211145 A JP 2000211145A
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discharge port
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Haruhiko Terai
晴彦 寺井
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、接着剤の塗布ならびに、貼り合わせ
の際、接着剤が、吐出口や、インク流路などに入り込む
ことを防止し、接着剤からの脱ガス等が発生しても吐出
口プレート表面の平坦性を確保し、接合時の信頼性が高
く、かつ、生産性の高い、インクジェット記録ヘッドお
よびその製造方法を提供することを目的としている。 【解決手段】本発明は、インク吐出口を有する吐出口プ
レートが、ヘッド本体のインク路に連通する開口が形成
されている面に接着された構成を備えるインクジェット
記録ヘッドまたはその製造方法であって、前記吐出口プ
レートの接着面側に、接着剤逃げ用の凹部、または表面
ヘの貫通孔を形成するようにしたことを特徴とするもの
である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッド、特に文字や画像の記録に必要なときのみイン
クを噴射させて記録するオンデマンド形インクジェット
記録ヘッド、および、その製造方法に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】近年、インクジェット記録装置は小型
化、低価格化のみならず、カラー記録化、高階調化、高
画質化への要求が高まってきている。したがって、本装
置に適用されるインクジェット記録ヘッドも小型化、低
価格化のみならず、カラー記録化、高階調化、高画質化
への要求に対応する必要がある。図8は、従来のインク
ジェット記録ヘッドの概観斜視図であり、図7は、図8
における各構成部分を説明するための分解斜視図であ
る。図7において、720は、インクを吐出するための
エネルギー発生素子101が設けられた基板であり、3
00は、この基板720と、エネルギー発生素子の配設
部位に対応してインク流路を形成するための流路形成部
400および、前記流路に連通して、該インク路にイン
クを供給するための共通液室450を備えた天板であ
り、さらに、前記流路に連通して、複数のインクの吐出
口630が構成されている吐出口プレート(吐出口形成
部材)600が、基板720と、流路形成部材400と
の接合面とに当接された構成である。そして、これらの
各構成部材には、これらの各構成部材の接合部分を所定
位置に固定するための接着剤200(斜線部)が塗布さ
れている。また、100(図8)はこれらの構成部材
を、組立時に保持するための支持部材である。
【0003】また、図6(a)は、図8のインクジェッ
ト記録ヘッドを吐出口630の中心軸として吐出方向に
対し側面方向(図7のA方向)から切った断面図であ
る。また、図6(b)は、インクを吐出するためのエネ
ルギー発生素子101が設けられた基板と、エネルギー
発生素子の配設部位に対応してインク流路を形成するた
めの流路形成部を備えた天板300との接合面に、各接
合部分を所定位置に固定するための接着剤200(斜線
部)が塗布され、それぞれのインク流路に応じた吐出口
630を有する吐出口プレート600を位置決めし、貼
り合わせる前の断面図である。接着剤200は吐出口プ
レート600側に塗布しても良い。
【0004】インクジェット記録ヘッドにおいては、小
型化、低価格化のみならず、カラー記録化に伴い、異な
る複数のインク色の吐出を行うため、上記、吐出口63
0が複数で構成され、かつ、異なるインクがそれぞれの
対応する吐出口から吐出するインクジェット記録ヘッド
も考案されており、吐出口は、より微細化され、また複
数の吐出口列の配列密度も高いものが要求されている。
そのため、上記接着剤の塗布、ならびに、貼り合わせの
際に、何らかの接着剤が用いられているが、この接着剤
の塗布において、接着剤がインク流路に流れ込ませず確
実に行い、かつ、貼り合わせの際に、余剰な接着剤が、
吐出口や、インク流路などに入り込むことを防止するこ
とが重要となってくる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、貼り合
わせの際に、吐出口プレートとの位置ズレ、または、接
着剤の塗布量、塗布位置のばらつき等が生じると、余剰
な接着剤が、吐出口や、インク流路などに入り込む可能
性がある。また、そもそも、インクを吐出するためのエ
ネルギー発生素子が設けられた基板と、エネルギー発生
素子の配設部位に対応してインク流路を形成するための
流路形成部を備えた天板との接合面を、完全に平らに組
み立てるのは不可能である。樹脂の射出成形で作る天板
の場合は±3μm程度の部品精度ばらつきを持ち、切断
で作る基板の場合は±1μm程度の部品精度ばらつきを
持つ。そこにさらに組立誤差の±1μm以上程度が加わ
るため、合計で±5μm程度の段差が存在する。この段
差があると、吐出口プレートとヘッド本体のインク路に
連通する開口が形成されている面との間に隙間が出来、
ノズル間でクロストークが発生して印字品位が劣化す
る。
【0006】これを防止するには、段差の部分を接着剤
で完全に充填して空間を無くし、ノズル間のクロストー
クを防がなければならない。そのためには、最大段差よ
り厚い接着層を作成して張り合わせる必要がある。段差
は吐出口形成部分すべてに均一な大きさであるわけでは
なく、ある部分では大きく、ある部分では小さい。吐出
口プレート表面は平坦さが要求されるので平坦性を保っ
たまま張り付けようとすると、隙間を充填した以外の余
分の接着剤は吐出口を埋めるか、内部応力を持ったまま
固まって経時的に変形するか、吐出口プレートを凸に変
形させようとするかする。又、加熱硬化型接着剤の場合
は、ベーキング時にガスが発生し、体積膨張により、吐
出口プレートを変形させようとする。接着剤の塗布量、
塗布位置を調整して、これらの問題を防止することは、
事実上不可能である。また接着剤が、吐出口や、インク
流路などに入り込んだ場合に、これを、吐出口プレート
の吐出側から、レーザ等を用いて除去することが考案さ
れているが、接着剤の粘度が低いものを用いたときな
ど、インク流路の奥にまで流れ、除去を確実に行うこと
が困難である。かつ、上記接着剤のパターンニング法と
同様、製造工数が増加する。
【0007】そこで、本発明は、上述した課題を解決
し、接着剤の塗布ならびに、貼り合わせの際、接着剤
が、吐出口や、インク流路などに入り込むことを防止
し、接着剤からの脱ガス等が発生しても吐出口プレート
表面の平坦性を確保し、接合時の信頼性が高く、かつ、
生産性の高い、インクジェット記録ヘッドおよびその製
造方法を提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成するために、インクジェット記録ヘッドおよびその製
造方法を、つぎのように構成したことを特徴とするもの
である。すなわち、本発明のインクジェット記録ヘッド
は、インク吐出口を有する吐出口プレートが、ヘッド本
体のインク路に連通する開口が形成されている面に接着
された構成を備えるインクジェット記録ヘッドであっ
て、前記吐出口プレートの接着面側に、接着剤逃げ用の
凹部、または表面ヘの貫通孔が形成され、あるいは、前
記ヘッド本体の吐出口プレートを接着する面に、接着剤
逃げ用の凹部が形成されていることを特徴としている。
また、本発明のインクジェット記録ヘッドの製造方法
は、インク吐出口を有する吐出口プレートを、ヘッド本
体のインク路に連通する開口が形成されている面に接着
し、インクジェット記録ヘッドを形成するインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法であって、前記吐出口プレート
の接着面側に、接着剤逃げ用の凹部、または表面ヘの貫
通孔を形成し、該吐出口プレートを前記ヘッド本体の接
着面に接着し、あるいは前記ヘッド本体の吐出口プレー
トを接着する面に接着剤逃げ用の凹部を形成し、該ヘッ
ド本体の吐出口プレートを接着する面に前記吐出口プレ
ートを接着することを特徴としている。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明は、上記構成によって前述
した本発明の課題を達成するものであるが、より具体的
には、本発明の吐出口プレートは、インクを吐出するた
めのエネルギー発生素子が設けられた基板と、該エネル
ギー発生素子の配設部位に対応してインク流路を形成す
るための流路形成部および、前記流路に連通して、該イ
ンク路にインクを供給するための共通液室を備えた天板
とを接合し、該接合部分の接合面の各々に対応して設け
られた複数のインク吐出口を有する吐出口プレート(吐
出口形成部材)とを備えたインクジェット記録ヘッド、
またはその製造方法に適用される。従来においては、こ
のようなインクジェットヘッド本体のインク路に連通す
る開口が形成されている面に、吐出口プレートを平坦性
を保ったまま張り付けようとすると、隙間を充填した以
外の余分の接着剤は、吐出口を埋めるか、または内部応
力を持ったまま固まって経時的に変形するか、あるいは
吐出口プレートを凸に変形させようとするため、吐出口
プレートの平坦性を保つことが困難であった。しかしな
がら、本発明においては、吐出口プレートの接着面側に
接着剤逃げ用の凹部または表面への貫通孔を形成するこ
とにより、あるいは、ヘッド本体の吐出口プレートを接
着する面に接着剤逃げ用の凹部を形成することにより、
余分の接着剤やベーク時に発生する脱ガスは逃げ用の凹
部または表面への貫通孔へ導かれ、吐出口の詰まりも発
生せず、吐出口プレートの平坦性を容易に保つことがで
きる。
【0010】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。 [実施例]図1は、本発明の実施例1における貫通孔付
吐出口プレートの説明図である。また、図4は本発明に
係わるインクジェット記録ヘッドの概観斜視図であり、
さらに図5は図4の断面部分(B−B断面)を示す内部
拡大斜視図である。本実施例における貫通孔付吐出口プ
レートは、これら図4及び図5に示される吐出口プレー
ト600を構成するものである。本実施例においては、
Ni電鋳法を用いて板厚15μmの吐出口プレートを制
作した。ここでは、電鋳法を用いて吐出口と接着剤逃げ
用の貫通穴を制作したが、プレス打ち抜きやエッチング
などの手法を用いても良い。また、吐出口は表面側、接
着面側ともに直径41μmの寸法の物を71μmピッチ
で128個配置した。接着剤逃げ用の貫通穴径は表面
側、接着面側ともに直径78μmで、吐出口列からそれ
ぞれ78μm離れた位置から98μmピッチで、接着範
囲全面にわたって配置した。この吐出口プレートに接着
剤を3μm塗布した。接着剤はヘッド本体の吐出口プレ
ートを接着する面のほうに塗布しても良い。 図4にお
いて、20は吐出させるためのインクが貯蔵されるイン
クタンクであり、10はインクをインク流路へと導くた
めの供給路で、天板のインク供給口(不図示)と連通し
ている。600は複数の吐出口630を有する吐出口プ
レートであり、100はこれらの構成部材を、組立上支
持する保持部材である。さらに、図4の断面部分(B−
B断面)を示す内部拡大斜視図である図5において、吐
出口プレート600内部にインクを吐出するためのエネ
ルギー発生素子が設けられた基板720と、該エネルギ
ー発生素子の配設部位に対応してインク流路を形成する
ための流路形成部および、前記流路に連通して、該イン
ク路にインクを供給するための共通液室を備えた天板3
00とが接合されている。
【0011】この接合面の各インク流路と、これらに対
応する吐出口プレート600の各吐出口とを、接着剤を
介して貼り合わせて固定する。比較例として接着剤逃げ
用の貫通穴が無いこと以外は全く同様な吐出口プレート
を制作し、同様な方法で各インク流路とこれらに対応す
る吐出口プレートの各吐出口とを、接着剤を介して貼り
合わせ固定してインクジェットヘッドを制作した。比較
例の場合は、吐出口プレートの吐出口の詰まりが全吐出
口のうち、30%ほど発生したが、本実施例の場合は詰
まりの発生は無く、全ノズルが良好に吐出した。本実施
例のように、吐出口プレートに表面への貫通孔が形成さ
れていると、余分の接着剤は表面への貫通孔へ導かれる
ので、吐出口の詰まりは発生せず、吐出口プレートの平
坦性は保たれる。
【0012】[実施例2]図2は、本発明の実施例2に
おける接着剤逃げ用の凹部付吐出口プレートの説明図で
ある。本実施例においては、Ni電鋳法を用いて板厚1
5μmの吐出口プレートを制作した。吐出口は表面側、
接着面側ともに直径41μmの寸法の物を71μmピッ
チで128個配置した。接着剤逃げ用の凹部は直径78
μm、深さ7μmで、吐出口列からそれぞれ78μm離
れた位置から98μmピッチで、接着範囲全面にわたっ
て配置した。この吐出口プレートに接着剤を3μm塗布
した。接着剤はヘッド本体の吐出口プレートを接着する
面のほうに塗布しても良い。
【0013】次に実施例1と同様な方法でインクジェッ
トヘッドを制作した。比較例として接着剤逃げ用の貫通
穴が無いこと以外は全く同様な吐出口プレートを制作
し、同様な方法で各インク流路とこれらに対応する吐出
口プレートの各吐出口とを、接着剤を介して貼り合わせ
固定してインクジェットヘッドを制作した。比較例の場
合は吐出口プレートの吐出口の詰まりが全吐出口のう
ち、30%ほど発生したが、本実施例の場合は詰まりの
発生は無く、全ノズルが良好に吐出した。本実施例のよ
うに、吐出口プレートの接着剤層に接着剤逃げ用の凹部
が形成されていると、余分の接着剤は接着剤逃げ用の凹
部へ導かれるので、吐出口の詰まりは発生せず、吐出口
プレートの平坦性は保たれる。
【0014】[実施例3]図3は、本発明の実施例3に
おける本体側接着剤逃げ用凹部付ヘッド説明図である。
本実施例においては、Ni電鋳法を用いて板厚15μm
の吐出口プレートを制作した。吐出口は表面側、接着面
側ともに直径41μmの寸法の物を71μmピッチで1
28個配置した。この吐出口プレートに接着剤を3μm
塗布した。次にヘッド本体の吐出口プレートを接着する
面に接着剤逃げ用の凹部を直径78μm、深さ3μm
で、吐出口列からそれぞれ78μm離れた位置から98
μmピッチで、接着範囲全面にわたって加工した。この
後、接着剤をヘッド本体の吐出口プレートを接着する面
のほうに塗布しても吐出口プレートに塗布する場合と同
様な効果がある。
【0015】次に、実施例1と同様な方法でインクジェ
ットヘッドを制作した。比較例として接着剤逃げ用の貫
通穴が無いこと以外は全く同様な吐出口プレートを制作
し、同様な方法で各インク流路とこれらに対応する吐出
口プレートの各吐出口とを、接着剤を介して貼り合わせ
固定してインクジェットヘッドを制作した。比較例の場
合は吐出口プレートの吐出口の詰まりが全吐出口のう
ち、30%ほど発生したが、本実施例の場合は詰まりの
発生は無く、全ノズルが良好に吐出した。本実施例のよ
うに、ヘッド本体の吐出口プレートを接着する面に接着
剤逃げ用の凹部が形成されていると、余分の接着剤は接
着剤逃げ用の凹部へ導かれるので、吐出口の詰まりは発
生せず、吐出口プレートの平坦性は保たれる。
【0016】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は吐出口プ
レートの接着面側に接着剤逃げ用の凹部または表面への
貫通孔を形成し、あるいは、ヘッド本体の吐出口プレー
トを接着する面に接着剤逃げ用の凹部を形成した構成に
よって、接着剤の塗布ならびに、貼り合わせの際、接着
剤が、吐出口や、インク流路などに入り込むことを防止
することができ、接着剤からの脱ガス等が発生しても吐
出口プレート表面の平坦性を確保することが可能とな
り、接合時の信頼性が高く、かつ、生産性の高い、イン
クジェット記録ヘッドおよびその製造方法を実現するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1における貫通孔付吐出口プレ
ート説明図である。
【図2】本発明の実施例2における接着剤逃げ用凹部付
吐出口プレート説明図である。
【図3】本発明の実施例3における本体側接着剤逃げ用
凹部付ヘッド説明図である。
【図4】本発明に係わるインクジェット記録ヘッドの概
観斜視図である。
【図5】図4の断面部分(B−B断面)を示す内部拡大
斜視図である。
【図6】(a)及び(b)は本発明に係わる製造方法を
説明するための断面図である。
【図7】図8の従来のインクジェット記録ヘッドの内部
構成を説明するための斜視図である。
【図8】従来のインクジェット記録ヘッドの概観斜視図
である。
【符号の説明】
10:インク供給路 20:インクタンク 100:支持部材 101:エネルギー発生素子 200:本体側接着面 300:天板 400:流路形成部 450:共通液室 600:吐出口プレート 630:吐出口 650:接着剤逃げ用貫通穴 670:接着剤逃げ用凹部 690:本体側接着剤逃げ用凹部 720:基板

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】インク吐出口を有する吐出口プレートが、
    ヘッド本体のインク路に連通する開口が形成されている
    面に接着された構成を備えるインクジェット記録ヘッド
    であって、 前記吐出口プレートの接着面側に、接着剤逃げ用の凹
    部、または表面ヘの貫通孔が形成されていることを特徴
    とするインクジェット記録ヘッド。
  2. 【請求項2】インク吐出口を有する吐出口プレートが、
    ヘッド本体のインク路に連通する開口が形成されている
    面に接着された構成を備えるインクジェット記録ヘッド
    であって、 前記ヘッド本体の吐出口プレートを接着する面に、接着
    剤逃げ用の凹部が形成されていることを特徴とするイン
    クジェット記録ヘッド。
  3. 【請求項3】インク吐出口を有する吐出口プレートを、
    ヘッド本体のインク路に連通する開口が形成されている
    面に接着し、インクジェット記録ヘッドを形成するイン
    クジェット記録ヘッドの製造方法であって、 前記吐出口プレートの接着面側に、接着剤逃げ用の凹
    部、または表面ヘの貫通孔を形成し、該吐出口プレート
    を前記ヘッド本体の接着面に接着することを特徴とする
    インクジェット記録ヘッドの製造方法。
  4. 【請求項4】インク吐出口を有する吐出口プレートを、
    ヘッド本体のインク路に連通する開口が形成されている
    面に接着し、インクジェット記録ヘッドを形成するイン
    クジェット記録ヘッドの製造方法であって、 前記ヘッド本体の吐出口プレートを接着する面に接着剤
    逃げ用の凹部を形成し、該ヘッド本体の吐出口プレート
    を接着する面に前記吐出口プレートを接着することを特
    徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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