JP2000210800A - 産業機械のモニタ方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 現地に出向かなくても異常発生前に分散した
ラインの機械状態を定量的に把握し、機械の故障診断効
率の向上を図る。 【解決手段】 各工場Ａ，Ｂ，Ｃ，…に診断用のサーバ
端末５を１台設け、このサーバ端末５のクライアントと
して、プレスコントローラ２、ワーク搬送装置制御用モ
ーションコントローラ３、ライン生産管理コンピュータ
６をイーサネット７で接続する。また、サーバ端末５
を、モデム１０および電話回線１１を介してメーカーサ
イド８に設置されるモデム１０付きの診断端末１２と接
続する。そして、プレス１の稼動状態を測定してアナロ
グ入力カード９を用いて時系列的に連続する波形データ
として記録し、この記録された波形データを処理して診
断端末１２等に図形表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば大型プレ
ス、工作機械のような産業機械の稼動状態を監視する産
業機械のモニタ方法およびその装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】各種成形品の生産ラインに用いられる大
型プレスのような産業機械においては、この機械が全ラ
インの最上流に位置していることから、これが故障する
とライン全体が停止することになり、大きな損失を招い
てしまう。一方、この種の産業機械の場合、近年その性
能向上やマンマシンインターフェイスの改善のため、メ
カトロニクス化が進むとともに、ブラックボックス的な
部分が増加し、その保全のためには様々な知識や経験が
要求されており、ユーザーサイドの保全員では対処でき
なくなってきているのが実情である。このようなことか
ら、機械故障が発生した場合に、メーカー側の迅速な保
全支援体制が必要不可欠なものとなってきており、特に
機械の状態を遠隔地から正確に把握して予防保全ができ
るようなシステムの構築が待ち望まれている。

【０００３】ところで、機械の故障診断に関わる従来技
術として、次に示すような技術が知られている。 （１）特開平３−１５４８４６号公報 シーケンス制御システムにおける制御対象が故障したと
き、その故障原因を究明するための故障診断装置に関わ
るものであって、フォールトツリーを用いて質問と回答
の選択とを対話形式で行うことにより、一つの故障原因
を得るとともに、その故障の修復原因を表示するように
したもの。 （２）特開平４−１１３０５１号公報 機械の運転により発生する音、振動、熱等の電気的に検
出可能な物理現象を検出することに基づいて機械の故障
を診断する装置に関わるものであって、機械の２検出位
置のそれぞれの検出値相互間の偏差を求め、その偏差値
が予め設定された設定値を超えているときに故障である
と判定するようにしたもの。 （３）特開平４−３６１８１４号公報 圧下装置を含む圧下系のガタ診断、伸び特性診断、レベ
リングの良否判定を行うための異常診断方法に関わるも
のであって、上下ワークロールの軸受箱の変位を測定
し、時間に対する前記軸受箱の変位の変動波形変化に基
づいて圧下系の伸び特性および圧下系の異常を診断する
ようにしたもの。 （４）特開平５−２００６５８号公報 通信網で結んだ複数の加工機械を有するシステムに生じ
たトラブルの原因を解析する生産管理システムに関わる
ものであって、通信網に接続した各端末装置に加工機械
の故障診断部および自己診断部を持たせるようにしたも
の。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記
（１）に記載の方法では、異常発生時にその原因を究明
するのには有効であっても、異常発生前に異常発生の兆
候をとらえることができないという問題点がある。ま
た、前記（２）に記載の方法では、時間軸のある一点の
情報に基づく故障の判定であるために、検出値を得るた
めのセンサにノイズが混入した場合に誤検出が生じると
いう問題点があるほか、その検出点の前後の情報がない
と判定が困難であるという問題点がある。また、前記
（３）に記載の方法では、圧延機等の圧下系に特化した
方法であるために、複数のラインにそれぞれ設置されて
いる各産業機械の状態を一箇所で把握するような用途に
は適用することはできない。さらに、前記（４）に記載
の方法では、分散した機械が稼動しているか否かのオン
・オフ情報のみに着目しているものであるので、機械の
異常発生前に機械状態をリアルタイムで観測することが
できないという問題点がある。

【０００５】本発明は、このような問題点を解消するた
めになされたもので、現地に出向かなくても異常発生前
に分散したラインの機械状態を定量的に把握することが
でき、これによって機械の故障診断効率の向上を図るこ
とのできる産業機械のモニタ方法およびその装置を提供
することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段および作用・効果】前記目
的を達成するために、第１発明による産業機械のモニタ
方法は、産業機械の稼動状態を測定して時系列的に連続
する波形データとして記録し、この記録された波形デー
タを処理して端末装置の画面に図形表示することを特徴
とするものである。

【０００７】本発明によれば、異常発生前に、機械状態
が時系列的に連続する波形データとして、言い換えれば
時系列データのかたまり（パケット）として記録され、
この記録されたデータが端末装置の画面に表示されるの
で、分散したラインの機械状態を画面上で定量的に一目
で把握することができ、波形の変化傾向から保全箇所や
保全方法を的確に指示することができる。また、各機械
の設置場所に行かなくても機械状態のモニタが可能であ
るので、機械の状態診断の効率を向上させることがで
き、また機械の故障によるダウンタイムを低減させるこ
とができる。

【０００８】本発明において、前記記録された波形デー
タは通信回線を介して遠隔地の端末装置に表示されるの
が好ましい。こうすることで、ユーザーへの機械の納入
後においても、ユーザーに対するメーカー側の迅速な保
全支援サービスを提供することができ、保全箇所や保全
時期のリコメンドを適切に行うことができる。

【０００９】本発明においては、産業機械の正常状態が
予め時系列的に連続する波形データとして記録されて前
記端末装置の画面に図形表示できるようにされ、この正
常状態での波形データと特定の稼動状態での波形データ
とを比較参照してその特定の稼動状態での波形データの
傾向が把握できるようにされるのが好ましい。このよう
にすることで、正常状態と現在の稼動状態との波形比較
により、機械の故障診断のための情報をその機械の異常
発生前に観測することができ、より的確な状態診断が可
能となる。

【００１０】この場合、前記正常状態での波形データと
特定の稼動状態での波形データとを比較参照した結果に
基づき、表示画面が産業機械の異常状態を診断する診断
ガイダンス画面に移動できるようにされているのが好ま
しい。さらに、前記表示画面が、前記診断ガイダンス画
面より故障発生部位を指示する画面に移動できるように
されているのが好ましい。このようにすれば、故障の原
因や対応方法を容易に判定することができ、メンテ箇所
を個別に調査する必要はなく、指示部位のみを調査すれ
ば良いので、調査時間、保全時間の短縮化を図ることが
できる。

【００１１】次に、第２発明による産業機械のモニタ装
置は、産業機械の稼動状態を測定する測定手段と、この
測定手段により測定されるデータを時系列的に連続する
波形データとして記録する記録手段と、この記録された
波形データを処理して図形表示する表示手段を備えるこ
とを特徴とするものである。

【００１２】この第２発明は、第１発明による産業機械
のモニタ方法の実施に使用されるモニタ装置に関わるも
のであって、前記第１発明と同様の作用効果を奏するも
のである。

【００１３】本発明においては、さらに、前記記録され
た波形データを通信回線を介して遠隔地の端末装置に送
信してその端末装置に表示させる送信手段が設けられる
のが好ましい。この場合、前記表示手段は、予め時系列
的に連続する波形データとして記録された産業機械の正
常状態が図形表示できるようにされ、この正常状態での
波形データと特定の稼動状態での波形データとを比較参
照してその特定の稼動状態での波形データの傾向が把握
できるようにされているのが好適である。また、前記表
示手段は、前記正常状態での波形データと特定の稼動状
態での波形データとを比較参照した結果に基づき、異常
原因およびその対応方法を示す診断ガイダンスが表示で
きるようにされているのが良い。

【００１４】

【発明の実施の形態】次に、本発明による産業機械のモ
ニタ方法およびその装置の具体的な実施の形態につい
て、図面を参照しつつ説明する。

【００１５】図１には、大型プレス機に適用した本発明
の一実施例に係るモニタ装置のシステム構成図が示され
ている。

【００１６】本実施例のシステムにおいて、各工場Ａ，
Ｂ，Ｃ，…には複数の生産ラインが備えられ、各ライン
毎に大型のトランスファプレス（以下、単に「プレス」
という。）１が備えられている。各プレス１は、ワーク
に対してプレス成形を行うために各加工ステーション毎
に分割されてなるプレス本体と、このプレス本体内に配
設されてワークをフィード方向に搬送するワーク搬送装
置とを備えて構成されている。前記プレス１は、プレス
制御用のシーケンサ（プレスコントローラ）２によって
その駆動、停止等が制御される。また、前記ワーク搬送
装置は、プレスコントローラ２のサブコントローラとし
てのワーク搬送装置制御用モーションコントローラ３に
より、各サーボドライバー４を介して各サーボモータが
制御されることによって、その位置、速度等が制御され
る。

【００１７】各工場Ａ，Ｂ，Ｃ，…には診断用のサーバ
端末５が１台備えられ、このサーバ端末５のクライアン
トとして、前記プレスコントローラ２、ワーク搬送装置
制御用モーションコントローラ３、ライン生産管理コン
ピュータ６などがイーサネット７で接続されており、こ
のサーバ端末５を経由して、各ラインからの情報を外部
（プレス１のメーカーサイド）８に配信したり、逆に、
メーカーサイド８からプレスコントローラ２等のクライ
アントにアクセスすることができるようにされている。
ここで、各ラインに備えられているライン生産管理コン
ピュータ６は、プレス１の振動や電流状態といったリア
ルタイム性の必要なデータを収集するための端末であっ
て、この端末には、後述するアナログ情報の入力のため
のアナログ入力カード９と、サーバ端末５との接続のた
めのイーサネットカード（図示せず）とを挿入可能なボ
ードが備えられている。

【００１８】前記サーバ端末５は、モデム１０および電
話回線１１を介してメーカーサイド８に設置されるモデ
ム１０付きの診断端末１２と接続できるようにされてい
る。こうして、診断端末１２から電話回線１１を経由し
てサーバ端末５にダイヤルアップＰＰＰ接続し、プレス
コントローラ２、ワーク搬送装置制御用モーションコン
トローラ３等の各クライアントにログインし、遠隔地に
いながらシステムの監視および調整を実行することがで
きるようにされている。基本的なアクセス方法は、ま
ず、ダイアルアップ接続（図２参照）によりアクセスし
たい工場に電話をかけ、サーバ端末５にログオンする。
次に、診断端末１２の画面に表示されるトップメニュー
（図３参照）からモニタ項目、本実施例ではプレス荷重
モニタ、ピーク荷重ヒストグラム履歴モニタ、金型ショ
ット履歴モニタ、フライホイール振動周波数分析モニ
タ、アナログ量トレンドモニタ、搬送装置サーボモータ
トルクモニタ、搬送装置搬送精度モニタもしくは搬送装
置異常履歴モニタのいずれかのモニタ項目を選択する。
続いて、アクセスしたい工場のライン番号を聞いてくる
ので（図４参照）、ライン番号（本実施例ではＣＴＲ１
７ライン）を選択すると、モニタがスタートする。な
お、同様のモニタについては各工場のライン生産管理コ
ンピュータ６においても可能である。ここで、診断端末
１２を各工場に分散しているローカルネットワークへ接
続する際の形態としては、インターネット接続や、専用
回線での接続、公衆電話回線経由の接続のいずれであっ
ても良い。

【００１９】次に、本システムにおいて準備する２つの
ソフトウエアについて説明する。１つは、入力するチャ
ンネル、データサンプリング時間、データサンプリング
数、トリガ条件などの各計測条件および計測の起動停止
指示をネットワーク経由でもらい、計測起動信号により
指定された条件で各センサからの情報をアナログ入力カ
ード９を経由して取り込み、この取り込んだデータ列を
計測依頼元の端末に配信する機能を有する入力プログラ
ムモジュールである。このプログラムはネットワーク上
の他の端末から起動される。もう一つは、計測するライ
ン名、入力するチャンネル、データサンプリング時間、
データサンプリング数、トリガ条件などの各計測条件を
入力するマンマシンインターフェイスを有し、これら計
測条件を入力モジュールの起動指示とともにネットワー
ク経由で転送し、入力モジュールプログラムからの計測
データ列を端末画面に波形として表示する表示モジュー
ルプログラムである。

【００２０】前記ライン生産管理コンピュータ６には入
力モジュールプログラムがセットされており、前記診断
端末１２には表示モジュールプログラムがセットされて
いる。なお、工場のラインにおいて診断を実施したい場
合には、ライン生産管理コンピュータ６に入力モジュー
ルプログラムと表示モジュールプログラムの両方をセッ
トするようにすれば良い。

【００２１】このように構成されているので、プレス１
の各所に設けられるセンサ（測定手段）からの計測情報
が、時間軸における連続した波形データの１つの固まり
（パケット）としてアナログ入力カード（記録手段）９
を経由してライン生産管理コンピュータ６に取り込ま
れ、この取り込まれたデータがネットワーク経由で診断
端末１２に電送されるので、診断端末１２の表示モジュ
ールにて表示されるデータは連続した波形データとな
る。また、表示モジュールは、表示とともにその波形デ
ータをファイルに保存する機能と過去に記録した波形を
表示させる機能を有しているので、現状波形をモニタし
ながら、過去の波形をも窓表示させることで、両波形の
違いを比較することが可能である。なお、この波形デー
タを電送するに際して、当然ネットワークの時間遅れが
あるため、時間軸の全てのデータを電送することはでき
ないが、故障診断を行うのに必要な程度の連続データを
送信することは可能である。

【００２２】次に、プレス１の診断のための基本的なソ
フトウエアについて説明する。この基本的なソフトウエ
アは主として以下のようなパッケージからなっている。 １）オシロスコープ機能 ２）周波数分析機能 ３）データロガー機能 ４）ファイル転送機能 ５）搬送装置精度モニタ機能 ６）ラダープログラムコンソール機能 ７）保全支援オンラインマニュアル

【００２３】次に、個々のソフトウエアの機能概略を説
明する。 １）オシロスコープ機能 オシロスコープはセンサからの信号をリアルタイムに波
形として観測したい場合に使用される。具体的には機械
の振動波形や、サーボモータ電流や速度波形、プレスの
荷重波形などをモニタするために使われる。図５には、
搬送装置サーボモータトルクモニタに係るオシロスコー
プの画面例が示されている。基本機能は汎用のオシロス
コープと同様であるが、その特徴は、過去に計測した波
形を保存しておき、この保存波形を読み出して（図６参
照）、現状の波形と比較し、波形の変化から、保全個所
を特定するオンラインマニュアルにジャンプする機能を
備えている点である。計測した波形からは、ズーム、パ
ン、カーソルによる数値読み込み等ができるようになっ
ている。また、表示チャンネルの選択や、波形のシフト
も可能となっている。遠隔地からでもモニタできる原理
としては、読み出したいデータが入ってくるアナログ入
力カード９のデータ取り込みドライバに対し、引数とし
て、データの送信先（遠隔地の場合にはサーバ端末５と
なる）を指定して起動をかけると、このデータ取り込み
ドライバは、規定のサンプリング数のデータを１パケッ
トとして電送する。これにより、起動側の端末には、送
られてきたデータが表示される。したがって、通信の時
間遅れがあったとしても、サンプリングしたデータにつ
いては連続性のあるデータとなる。また、トリガ条件
や、スタート／ストップ、水平垂直軸のレンジ等につい
ては、ボタン１３，１４，１５，１６，１７，１８等
（図５参照）で変更できるようになっている。

【００２４】２）周波数分析機能 周波数分析機能は振動センサからの信号を周波数分析し
周波数スペクトルを表示する機能である。この機能は、
軸受けや、機械駆動系の異常兆候をモニタするために使
用される。図７に周波数分析の画面例が示されている。
この画面において、上段の画面は振動の生波形であり、
下段の画面は振動波形の周波数スペクトルである。スペ
クトル中のピーク周波数は、カーソル計測により見つけ
出される。また、分析周波数域により、ボタン１９によ
りスキャンレートを４段階に変えられるようになってい
る。また、傾向管理するため計測したデータはファイル
に保存でき、また保存してあるファイルを呼び出して両
者の傾向比較も可能とされている。図８には、保存波形
例の画面が示されている。オシロスコープと同様に、こ
の機能も遠隔地において使用可能である。

【００２５】３）データロガー機能 オシロスコープや、周波数分析機能はリアルタイム性の
要求されるデータをモニタするためのものであり、モニ
タのためにはセンサや、アナログ入力カード等の追設が
必要であるが、データロガー機能は、シーケンサ経由で
データをモニタするため、センサの追加なしに、シーケ
ンサ経由で取り込まれた情報であればなんでも表示可能
である。但し、データの取り込み周期はシーケンサの処
理時間に影響されるため、温度や圧力など、比較的リア
ルタイムでのモニタが必要ない情報をモニタするために
使用するのが好ましい。具体的には、稼動部分の温度の
トレンドから、ベアリングの摩耗を予測したり、エア圧
のトレンドからエア漏れの有無などに使用するのが良
い。図９には、このデータロガーの画面例が示されてい
る。この画面において、表示するアナログ量（シーケン
サレジスタ番号）、データ収集周期（１００ｍｓｅｃ〜
２４ｈ）およびサンプリング数は設定ファイルで設定さ
れる。このデータについても保存可能であり、保存デー
タと取り込みデータとを傾向比較することができる。

【００２６】４）搬送装置異常履歴のファイル転送機能 ワーク搬送装置は、サーボ駆動方式であり、フェイルセ
ーフのため、何重もにインタロックがかけられている。
したがって、ある異常が発生した場合、異常メッセージ
が表示されるが、２次的、３次的に発生する異常もあ
り、１次原因の発見の障害となる。サーボ式ワーク搬送
装置のコントロール内には、異常発生時の前後数秒間の
位置情報や異常発生の順番などがファイルとして記憶さ
れている。これらの情報を読み出すことにより、異常発
生時に搬送装置がどのような挙動をしていたか、また1
次異常が何だったのかがわかり、２次、３次の異常メッ
セージに惑わされずに真の停止要因の推定ができる。図
１０に異常時の履歴情報画面例が示されている。この画
面はコントロール内部の履歴ファイルをＦＴＰファイル
転送により読み出し表示される。画面左上の秒表示は最
初の異常発生までの時間を表し、画面内の数値は現在
値、偏差値、偏差最大値、軸間ずれ量などを表してい
る。Ｎｅｘｔキー２０により、１５０ｍｓｅｃ間隔にこ
れらの位置情報を変化させることができる。また、Ｅｒ
ｒｏｒ Ｌｉｓｔキー２１にてその時点でワーク搬送装
置制御用モーションコントローラ３が検出しているエラ
ーメッセージが参照できるようになっている。

【００２７】５）搬送装置の精度モニタ機能 ワーク搬送装置はサーボ駆動方式であり、モーション精
度モニタによりモータが理論軌跡からどれくらいずれて
いるかの情報を得ることができる。このデータを定期的
にモニタし、工場出荷時の波形と定期的に計測した波形
とを比較することにより、状態が変化しつつあることが
わかり、駆動系や、エンコーダ系、エアーバランサ系の
異常を推定できる。図１１にモーション精度モニタ画面
が示されている。この画面は、ワーク搬送装置制御用モ
ーションコントローラ３に対し、ネットワーク経由で、
モーション精度計測を指示し、計測結果をファイルとし
て受信し、表示している。また、モニタ画面のｈｅｌｐ
入力で波形診断のオンラインマニュアルが表示され、波
形形状の選択により、保全箇所、方法の詳細が表示され
る。

【００２８】６）ラダープログラムコンソール機能 大型プレスのメインコントロールとしてのプレスコント
ローラ２は、シーケンサが司っている。システムが複雑
化しており、フェイルセーフのために多くのインタロッ
クが存在し複雑にからみ合っているので、あるセンサが
故障し、正常動作しなくなった場合にセンサのインタロ
ックを殺し、仮に運転を続けることや、また、操作ガイ
ダンスに現れないインタロックなどを確認することなど
は、プログラムコンソールにて行われる。本機能は、こ
のような場合に、機械異常発生時のインタロックの確認
や、異常復帰処理のため支援を遠隔地から実施するため
のものである。本機能は、ダイヤルアップ接続により接
続した後は、シーケンサメーカのプログラムコンソール
ソフトの拡張機能を使い実現しており、プログラムコン
ソールのイーサネット接続がサポートされているシーケ
ンサならば、遠隔モニタが可能になっている。図１２に
ラダープログラムモニタ画面例が示されている。

【００２９】７）保全支援オンラインマニュアル この機能は計測した波形から、故障個所をガイダンスす
るマニュアルであり、ワーク搬送装置制御用モーション
コントローラ３の画面に表示できるようになっている。
図１３に搬送装置の電流波形からのガイド例が示されて
いる。この画面は波形形状を診断のためのキーワードと
しており、似たような波形形状を選択すると、その原因
や対応方法が表示されるようになっている。したがっ
て、メンテ箇所を個別に調査する必要はなく、指示部位
のみを調査すれば良いので、調査時間、保全時間の短縮
化を図ることができる。本マニュアルはｈｔｍｌファイ
ルとしてサーバ端末５上に保存されているので、マニュ
アルのメンテナンス性がよい。

【００３０】以上のように、本実施例によれば、リアル
タイム性の必要な情報については、アナログ入力カード
９を介して、機械の異常発生前に、機械状態が時系列的
に連続する波形データとして、言い換えれば時系列デー
タのかたまり（パケット）として記録され、この記録さ
れたデータが電話回線１１を介して診断端末１２の画面
に表示されるので、遠隔地から分散したラインの機械状
態を画面上で定量的に一目で把握することができる。し
たがって、機械の診断効率の向上が図れるとともに、機
械の故障によるダウンタイムを低減させることができ
る。また、正常状態での波形との比較により、波形の変
化傾向を容易に得ることができ、また波形をキーにし
て、故障原因や保全方法がガイダンスできるので、保全
時間を短縮させることができるという効果を奏する。

【００３１】本実施例においては、大型プレスに適用し
たものを説明したが、本発明は、その他、工作機械等の
他の産業機械に対しても適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の一実施例に係る産業機械のモ
ニタ装置のシステム構成図である。

【図２】図２は、ダイヤルアップ接続画面例を示す図で
ある。

【図３】図３は、モニタ項目選択画面例を示す図であ
る。

【図４】図４は、ライン番号選択画面例を示す図であ
る。

【図５】図５は、オシロスコープの画面例を示す図であ
る。

【図６】図６は、オシロスコープの保存波形画面例を示
す図である。

【図７】図７は、周波数分析の画面例を示す図である。

【図８】図８は、周波数分析の保存波形画面例を示す図
である。

【図９】図９は、データロガーの画面例を示す図であ
る。

【図１０】図１０は、搬送装置の異常時の履歴情報画面
例を示す図である。

【図１１】図１１は、モーション精度モニタ画面例を示
す図である。

【図１２】図１２は、ラダープログラムモニタ画面例を
示す図である。

【図１３】図１３は、故障個所のガイダンス画面例を示
す図である。

【符号の説明】

１ トランスファプレス ２ プレス制御用のシーケンサ（プレスコントロ
ーラ） ３ ワーク搬送装置制御用モーションコントロー
ラ ４ サーボドライバー ５ サーバ端末 ６ ライン生産管理コンピュータ ７ イーサネット ８ メーカーサイド ９ アナログ入力カード １０ モデム １１ 電話回線 １２ 診断端末

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 産業機械の稼動状態を測定して時系列的
   に連続する波形データとして記録し、この記録された波
   形データを処理して端末装置の画面に図形表示すること
   を特徴とする産業機械のモニタ方法。
2. 【請求項２】 前記記録された波形データは通信回線を
   介して遠隔地の端末装置に表示される請求項１に記載の
   産業機械のモニタ方法。
3. 【請求項３】 産業機械の正常状態が予め時系列的に連
   続する波形データとして記録されて前記端末装置の画面
   に図形表示できるようにされ、この正常状態での波形デ
   ータと特定の稼動状態での波形データとを比較参照して
   その特定の稼動状態での波形データの傾向が把握できる
   ようにされる請求項１または２に記載の産業機械のモニ
   タ方法。
4. 【請求項４】 前記正常状態での波形データと特定の稼
   動状態での波形データとを比較参照した結果に基づき、
   表示画面が産業機械の異常状態を診断する診断ガイダン
   ス画面に移動できるようにされている請求項３に記載の
   産業機械のモニタ方法。
5. 【請求項５】 さらに、前記表示画面が、前記診断ガイ
   ダンス画面より故障発生部位を指示する画面に移動でき
   るようにされている請求項４に記載の産業機械のモニタ
   方法。
6. 【請求項６】 産業機械の稼動状態を測定する測定手段
   と、この測定手段により測定されるデータを時系列的に
   連続する波形データとして記録する記録手段と、この記
   録された波形データを処理して図形表示する表示手段を
   備えることを特徴とする産業機械のモニタ装置。
7. 【請求項７】 さらに、前記記録された波形データを通
   信回線を介して遠隔地の端末装置に送信してその端末装
   置に表示させる送信手段が設けられる請求項６に記載の
   産業機械のモニタ装置。
8. 【請求項８】 前記表示手段は、予め時系列的に連続す
   る波形データとして記録された産業機械の正常状態が図
   形表示できるようにされ、この正常状態での波形データ
   と特定の稼動状態での波形データとを比較参照してその
   特定の稼動状態での波形データの傾向が把握できるよう
   にされている請求項６または７に記載の産業機械のモニ
   タ装置。
9. 【請求項９】 前記表示手段は、前記正常状態での波形
   データと特定の稼動状態での波形データとを比較参照し
   た結果に基づき、異常原因およびその対応方法を示す診
   断ガイダンスが表示できるようにされている請求項８に
   記載の産業機械のモニタ装置。