JP2000208797A - 太陽電池モジュ―ル用表面保護シ―トおよびそれを使用した太陽電池モジュ―ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−
ト層として、フッ素系樹脂シ−トを使用するも、水分、
酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、更
に、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性についても、
その長期的な性能劣化を最小限に抑え、保護能力性に優
れ、更に、防汚性等にも優れ、より低コストで安全な太
陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−トを安定的に
提供することである。 【解決手段】 フッ素系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着
薄膜を有する樹脂フィルムとを積層し、更に、該フッ素
系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィ
ルムとからなる積層体のいずれかの一方の面あるいは両
面に、防汚層および／または紫外線吸収剤層を設けたこ
とを特徴とする太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トお
よびそれを使用した太陽電池モジュ−ルに関するもので
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルに関し、更に詳しくは、耐光性、耐熱性、耐水
性、防湿性、防汚性等に優れ、極めて保護能力が高い太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。而して、上記の太陽電池モジ
ュ−ルとしては、通常、表面保護シ−ト層、充填剤層、
光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、およ
び、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して加
熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されてい
る。そして、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する表面
保護シ−ト層としては、現在、ガラス板等が、最も一般
的に使用され、その他、近年、フッ素系樹脂シ−ト等の
樹脂シ−トも、注目され、その開発が、急速に進められ
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、太陽電池
は、太陽光を吸収して光起電力することから、一般に、
太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として
は、入射する太陽光を全て透過する性質を有すると共に
耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性に優れ、かつ、水
分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、更に、表面
硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止
し、その保護能力性が高いこと、その他等の条件が挙げ
られるものである。しかしながら、太陽電池モジュ−ル
を構成する表面保護シ−ト層として、現在、最も一般的
に使用されているガラス板等は、太陽光の透過性に優
れ、かつ、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性に優
れ、また、防湿性にも優れ、更に、表面硬度が硬く、ま
た、防汚性等にも優れ、その保護能力性が高い等の利点
を有するが、可塑性、耐衝撃性、軽量化等に欠け、更
に、その加工性、施工性等に劣り、かつ、低コスト化等
に欠けるという問題点がある。また、上記の太陽電池モ
ジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として、フッ素系
樹脂等の樹脂シ−トを使用する場合には、ガラス板等と
比較して、可塑性、耐衝撃性、軽量化、低コスト化等に
富むものではあるが、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅
牢性に劣り、特に、防湿性等に欠けるという問題点があ
る。更に、上記のフッ素系樹脂シ−トを使用する場合に
は、その表面にゴミ等が蓄積し、防汚性等に欠けるとい
う問題点もある。そこで本発明は、太陽電池モジュ−ル
を構成する表面保護シ−ト層として、フッ素系樹脂シ−
トを使用するも、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性
を著しく向上させ、更に、耐光性、耐熱性、耐水性等の
諸堅牢性についても、その長期的な性能劣化を最小限に
抑え、保護能力性に優れ、更に、防汚性等にも優れ、よ
り低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成する表面
保護シ−トを安定的に提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層につ
いての問題点を解決すべく種々研究の結果、太陽電池モ
ジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として使用されて
いるガラス板の特性、光触媒粉末、紫外線吸収剤等に着
目し、まず、フッ素系樹脂シ−トを基材シ−トとして使
用し、他方、その片面に、酸化珪素、あるいは、酸化ア
ルミニウム等の透明な、ガラス質からなる無機酸化物の
蒸着薄膜を有する樹脂フィルムを使用し、而して、上記
のフッ素系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着薄膜を有する
樹脂フィルムとを積層し、更に、該フッ素系樹脂シ−ト
と無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィルムとからな
る積層体のいずれかの一方の面および／または両面に、
光触媒粉末を含む組成物による塗布膜からなる防汚層お
よび／または紫外線吸収剤を含む組成物による塗布膜か
らなる紫外線吸収剤層を設けて太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トを製造し、これを表面保護シ−ト層とし、
その防汚層を最表面とし、その他方の面に、充填剤層、
光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、およ
び、裏面保護シ−ト層等を順次に積層し、次いで、これ
らを一体的に真空吸引して加熱圧着するラミネ−ション
法等を利用して太陽電池モジュ−ルを製造したところ、
水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上さ
せ、更に、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性につい
ても、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、保護能力
性に優れ、また、ゴミ等が蓄積してその表面を汚染する
汚染性等を防止し、より低コストで安全な太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池
モジュ−ルを製造し得ることを見出して本発明を完成し
たものである。

【０００５】すなわち、本発明は、フッ素系樹脂シ−ト
と無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィルムとを積層
し、更に、該フッ素系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着薄
膜を有する樹脂フィルムとからなる積層体のいずれかの
一方の面あるいは両面に、防汚層および／または紫外線
吸収剤層を設けたことを特徴とする太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ
−ルに関するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。なお、本発明におい
て、シ−トとは、フィルムあるいはシ−トのいずれの場
合も意味するものであり、また、本発明において、フィ
ルムとは、フィルムあるいはシ−トのいずれの場合も意
味するものである。本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ
−ルについてその層構成を図面等を用いて更に具体的に
説明すると、図１、図２、図３および図４は、本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの層構成に
ついてその二三例を例示する概略的断面図であり、図５
は、図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルの
層構成についてその一例を例示する概略的断面図であ
る。

【０００７】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トＡは、図１に示すように、フッ素系樹
脂シ−ト１と、その片面に、無機酸化物の蒸着薄膜２を
有する樹脂フィルム３とを積層し、更に、該フッ素系樹
脂シ−ト１と無機酸化物の蒸着薄膜２を有する樹脂フィ
ルム３とからなる積層体４のいずれかの一方の面または
両面に、防汚層５および／または紫外線吸収剤層６を設
け、かつ、該防汚層５が最表面を形成する構成からなる
ことを基本構造とするものである。本発明にかかる太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トについて、具体例を例
示すると、図２に示すように、フッ素系樹脂シ−ト１
と、その片面に、物理気相成長法による無機酸化物の蒸
着薄膜２ａの１層、または、その２層以上の多層膜（図
示せず）を有する樹脂フィルム３とを積層し、更に、該
フッ素系樹脂シ−ト１と無機酸化物の蒸着薄膜２ａを有
する樹脂フィルム３とからなる積層体４を構成するフッ
素系樹脂シ−ト１面に、防汚層５と紫外線吸収剤層６と
を設け、該防汚層５を最表面とすることを特徴とする太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トＡ₁を挙げることが
できる。更に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トについて、別の具体例を例示すると、図３
に示すように、フッ素系樹脂シ−ト１と、その片面に、
化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜２ｂの１
層、または、その２層以上の多層膜（図示せず）を有す
る樹脂フィルム３とを積層し、更に、該フッ素系樹脂シ
−ト１と無機酸化物の蒸着薄膜２ｂを有する樹脂フィル
ム３とからなる積層体４を構成するフッ素系樹脂シ−ト
１面に、防汚層５を設け、また、該積層体４を構成する
無機酸化物の蒸着薄膜２ｂを有する樹脂フィルム３面
に、紫外線吸収剤層６を設け、該防汚層５を最表面とす
ることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トＡ₂ を挙げることができる。また、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トについて、更に別の
具体例を例示すると、図４に示すように、フッ素系樹脂
シ−ト１と、その片面に、化学気相成長法による無機酸
化物の蒸着薄膜２ｂを設け、次に、該無機酸化物の蒸着
薄膜２ｂの上に、物理気相成長法による無機酸化物の蒸
着薄膜２ａを設けて該無機酸化物の蒸着薄膜２ａ、２ｂ
とからなる２層以上の多層膜７を有する樹脂フィルム３
とを積層し、更に、該フッ素系樹脂シ−ト１と無機酸化
物の蒸着薄膜２ａ、２ｂとからなる２層以上の多層膜７
を有する樹脂フィルム３とからなる積層体４を構成する
フッ素系樹脂シ−ト１面に、防汚層５を設け、また、該
積層体４を構成する無機酸化物の蒸着薄膜２ａ、２ｂと
からなる２層以上の多層膜７を有する樹脂フィルム３面
に、紫外線吸収剤層６を設け、該防汚層５を最表面とす
ることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トＡ₃ を挙げることができる。上記の例示は、本発明に
かかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トについてそ
の二三例を例示するものであり、本発明はこれにより限
定されるものではないことは言うまでもないことであ
る。例えば、図示しないが、上記において、フッ素系樹
脂シ−ト１と無機酸化物の蒸着薄膜２を有する樹脂フィ
ルム３との両者を積層するに際しては、フッ素系樹脂シ
−ト１の面と無機酸化物の蒸着薄膜２の面、あるいは、
フッ素系樹脂シ−ト１の面と樹脂フィルム３の面とのい
ずれの面を対向させて積層してもよい。また、上記にお
いて、紫外線吸収剤層は、フッ素系樹脂シ−ト１側、あ
るいは、樹脂フィルム３側等のいずれの位置に設けても
よい。

【０００８】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを使用して製
造した太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示する
と、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図５
に示すように、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−トＡに、その防汚層５を最
表面とし、その他方の面に、順次に、充填剤層１１、光
起電力素子としての太陽電池素子１２、充填剤層１３、
および、裏面保護シ−ト層１４等を積層し、次いで、こ
れらを一体として、真空吸引しながら加熱圧着するラミ
ネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各層を
一体成形体として成形して、本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ルＴを製造することができる。なお、図中、１、
２、３、４、６等は、前述と同じ意味である。上記の例
示は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ
−トを使用して製造した太陽電池モジュ−ルについてそ
の一例を例示するものであり、本発明はこれにより限定
されるものではない。例えば、図示しないが、上記の太
陽電池モジュ−ルにおいては、太陽光の吸収性、補強、
その他等の目的の基に、更に、他の基材を任意に加えて
積層することができるものである。

【０００９】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等につい
て更に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成するフッ素系樹脂シ−トとしては、例えば、ポリ
テトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロ
エチレンとペルフルオロアルキルビニルエ−テルとの共
重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂（ＰＦ
Ａ）、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピ
レンコポリマ−（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチレンと
ペルフルオロアルキルビニルエ−テルとヘキサフルオロ
プロピレンコポリマ−（ＥＰＥ）、テトラフルオロエチ
レンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ−（ＥＴ
ＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂（ＰＣＴ
ＦＥ）、エチレンとクロロトリフルオロエチレンとのコ
ポリマ−（ＥＣＴＦＥ）、フッ化ビニリデン系樹脂（Ｐ
ＶＤＦ）、または、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）等の
フッ素系樹脂からなる透明なフッ素系樹脂のフィルムな
いしシ−トを使用することができる。なお、本発明にお
いて、フッ素系樹脂シ−トのシ−トとは、フィルム状物
あるいはシ−ト状物等のいずれのものでもよいものであ
る。また、本発明においては、上記のフッ素系樹脂シ−
トの中でも、特に、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）、ま
たは、テトラフルオロエチレンとエチレンまたはプロピ
レンとのコポリマ−（ＥＴＦＥ）からなるフッ素系樹脂
シ−トが、透明性を有し、太陽光の透過性等の観点から
好ましいものである。而して、本発明において、上記の
ようなフッ素系樹脂シ−トを使用することにより、該フ
ッ素系樹脂シ−トが有する優れた特性、特に、機械的特
性、化学的特性、光学的特性等、更には、耐光性、耐熱
性、耐水性、その他等の超耐候性、耐汚染性、耐薬品性
等の諸特性を利用し、太陽電池を構成する表面保護シ−
トとするものであり、これにより、従来のガラス板等と
同等の光学特性、耐久性等を有し、また、そのフレキシ
ブル性や機械的特性等からガラス板等よりも軽く、か
つ、加工性等に優れ、そのハンドリングし易い等の利点
を有するものである。

【００１０】ところで、本発明において、上記のフッ素
系樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、上記
のフッ素系樹脂の１種ないしそれ以上を使用し、押し出
し法、キャスト成形法、Ｔダイ法、切削法、インフレ−
ション法、その他等の製膜化法を用いて、上記のフッ素
系樹脂を単独で製膜化する方法、あるいは、２種以上の
フッ素系樹脂を使用して多層共押し出し製膜化する方
法、更には、２種以上のフッ素系樹脂を使用し、製膜化
する前に混合して製膜化する方法等により、フッ素系樹
脂のフィルムないしシ−トを製造し、更に、要すれば、
例えば、テンタ−方式、あるいは、チュ−ブラ−方式等
を利用して１軸ないし２軸方向に延伸してなるフッ素系
樹脂のフィルムないしシ−トを使用することができる。
本発明において、フッ素系樹脂シ−トの膜厚としては、
１２〜２００μｍ位、より好ましくは、２５〜１５０μ
ｍ位が望ましい。また、本発明において、フッ素系樹脂
シ−トとしては、可視光透過率が、９０％以上、好まし
くは、９３％以上であって、入射する太陽光を全て透過
する性質を有することが望ましいものである。なお、上
記において、フッ素系樹脂の製膜化に際して、例えば、
フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法
安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ
性、電気的特性、その他等を改良、改質する目的で、種
々のプラスチック配合剤や添加剤等を添加することがで
き、その添加量としては、太陽光の透過に影響しない程
度の極く微量から数十％まで、その目的に応じて、任意
に添加することができる。また、上記において、一般的
な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止
剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化剤、補強
剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、
顔料、その他等を使用することができ、更には、改質用
樹脂等も使用することがてきる。本発明においては、上
記の添加剤の中でも、紫外線吸収剤および／または酸化
防止剤を練り込み加工してなるフッ素系樹脂シ−トを使
用することが好ましいものである。

【００１１】また、本発明において、フッ素系樹脂シ−
トの表面は、必要に応じて、例えば、コロナ放電処理、
オゾン処理、酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いて低温
プラズマ処理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処
理する酸化処理、その他等の前処理を任意に施すことが
できる。上記の表面前処理は、フッ素系樹脂シ−トと無
機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィルムとの密着性を
改善するため、その他として実施するものであるが、上
記の密着性を改善する方法として、その他、例えば、フ
ッ素系樹脂シ−トの表面に、予め、プライマ−コ−ト剤
層、アンダ−コ−ト剤層、あるいは、蒸着アンカ−コ−
ト剤層等を任意に形成することもできる。上記の前処理
のコ−ト剤層としては、例えば、ポリエステル系樹脂、
ポリウレタン系樹脂、その他等をビヒクルの主成分とす
る樹脂組成物を使用することができる。また、上記にお
いて、コ−ト剤層の形成法としては、例えば、溶剤型、
水性型、あるいは、エマルジョン型等のコ−ト剤を使用
し、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ
−ト法、その他等のコ−ト法を用いてコ−トすることが
でき、そのコ−ト時期としては、フッ素系樹脂シ−トの
製膜後、あるいは、２軸延伸処理後の後工程として、あ
るいは、製膜、あるいは、２軸延伸処理のインライン処
理等で実施することができる。

【００１２】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィ
ルムについて説明すると、まず、無機酸化物の蒸着薄膜
としては、例えば、物理気相成長法、または、化学気相
成長法、あるいは、その両者を併用して、無機酸化物の
蒸着薄膜の１層あるいは２層以上からなる多層膜を形成
して、製造することができるものである。上記の物理気
相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜について更に詳し
く説明すると、かかる物理気相成長法による無機酸化物
の蒸着薄膜としては、例えば、真空蒸着法、スパッタリ
ング法、イオンプレ−ティング法等の物理気相成長法
（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ法、ＰＶＤ法）を用いて無機酸化物の蒸着薄膜を形成
することができる。本発明において、具体的には、金属
の酸化物を原料とし、これを加熱して樹脂フィルムの上
に蒸着する真空蒸着法、または、原料として金属または
金属の酸化物を使用し、酸素を導入して酸化させて樹脂
フィルムの上に蒸着する酸化反応蒸着法、更に酸化反応
をプラズマで助成するプラズマ助成式の酸化反応蒸着法
等を用いて蒸着膜を形成することができる。本発明にお
いて、物理気相成長法による無機酸化物の薄膜薄膜を形
成する方法について、その具体例を挙げると、図６は、
巻き取り式真空蒸着装置の一例を示す概略的構成図であ
る。図６に示すように、巻き取り式真空蒸着装置２１の
真空チャンバ−２２の中で、巻き出しロ−ル２３から繰
り出す樹脂フィルむム３は、ガイドロ−ル２４、２５を
介して、冷却したコ−ティングドラム２６に案内され
る。而して、上記の冷却したコ−ティングドラム２６上
に案内された樹脂フィルム３の上に、るつぼ２７で熱せ
られた蒸着源２８、例えば、金属アルミニウム、あるい
は、酸化アルミニウム等を蒸発させ、更に、必要なら
ば、酸素ガス吹出口２９より酸素ガス等を噴出し、これ
を供給しながら、マスク３０、３０を介して、例えば、
酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着薄膜を成膜化
し、次いで、上記において、例えば、酸化アルミニウム
等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成した樹脂フィルム３
を、ガイドロ−ル２５′、２４′を介して送り出し、巻
き取りロ−ル３１に巻き取ることによって、本発明にか
かる物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を形成
することができる。

【００１３】上記において、無機酸化物の蒸着薄膜とし
ては、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使
用可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム
（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎ
ａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジ
ルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸
化物の蒸着薄膜を使用することができる。而して、好ま
しいものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物の蒸着薄膜を挙げることができ
る。而して、上記の金属の酸化物の蒸着薄膜は、ケイ素
酸化物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等の
ように金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、
例えば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ
_X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓ
ｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．
５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃ
ａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ
（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．
５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、
０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）
は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の
値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の薄膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の酸
化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜２００
０Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内で
任意に選択して形成することが望ましい。また、本発明
においては、無機酸化物の蒸着薄膜としては、無機酸化
物の蒸着薄膜の１層だけではなく、２層あるいはそれ以
上を積層した積層体の状態でもよく、また、使用する金
属、または金属の酸化物としては、１種または２種以上
の混合物で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物の
薄膜を構成することもできる。

【００１４】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜について更に説明
すると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着
薄膜としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化
学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法
（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ法、ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着薄膜を形
成することができる。本発明においては、具体的には、
樹脂フィルムの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用
モノマ−ガスを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アル
ゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更
に、酸素供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プ
ラズマ発生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長
法（ＣＶＤ法）を用いて酸化珪素等の無機酸化物の蒸着
薄膜を形成することができる。上記において、低温プラ
ズマ発生装置としては、例えば、高周波プラズマ、パル
ス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用
することがてき、而して、本発明においては、高活性の
安定したプラズマを得るためには、高周波プラズマ方式
による発生装置を使用することが望ましい。

【００１５】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法についてその
一例を例示して説明すると、図７は、上記のプラズマ化
学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法につ
いてその概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概
略的構成図である。上記の図７に示すように、本発明に
おいては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チャン
バ−４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から樹脂フ
ィルム３を繰り出し、更に、該樹脂フィルム３を、補助
ロ−ル４４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム４５
周面上に搬送する。而して、本発明においては、ガス供
給装置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等から
酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノ
マ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混
合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通し
て真空チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導
入し、そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬
送された樹脂フィルム３の上に、グロ−放電プラズマ５
０によってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化
珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、製膜化する。
本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム４５
は、チャンバ−外に配置されている電源５１から所定の
電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム４５の
近傍には、マグネット５２を配置してプラズマの発生が
促進されており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化
物の蒸着薄膜を形成した樹脂フィルム３は、補助ロ−ル
５３を介して巻き取りロ−ル５４に巻き取って、本発明
にかかるプラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸
着薄膜を製造することができるものである。なお、図
中、５５は、真空ポンプを表す。上記の例示は、その一
例を例示するものであり、これによって本発明は限定さ
れるものではないことは言うまでもないことである。図
示しないが、本発明においては、無機酸化物の蒸着薄膜
としては、無機酸化物の蒸着薄膜の１層だけではなく、
２層あるいはそれ以上を積層した積層体の状態でもよ
く、また、使用する材料も１種または２種以上の混合物
で使用し、また、異種の材質で混合した無機酸化物の蒸
着薄膜を構成することもできる。

【００１６】上記において、酸化珪素等の無機酸化物の
蒸着薄膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチル
ジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリ
メチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチル
ジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチル
シラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシ
シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシ
シラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他
等を使用することができる。本発明において、上記のよ
うな有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラ
メチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサ
ンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成
された蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、上記において、不活性ガスとしては、例え
ば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することがで
きる。

【００１７】本発明において、上記で形成される酸化珪
素の蒸着薄膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸
素ガス等とが化学反応し、その反応生成物が樹脂フィル
ムの上に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成
することができ、通常、一般式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘ
は、０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体とす
る連続状の蒸着薄膜である。而して、上記の酸化珪素の
蒸着薄膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般
式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表
す。）で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜で
あることが好ましいものである。上記において、Ｘの値
は、モノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネ
ルギ−等により変化するが、一般的に、Ｘの値が小さく
なればガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯
び、透明性が悪くなる。また、上記の酸化珪素の蒸着薄
膜は、珪素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）を必須構成元素として
有し、更に、炭素（Ｃ）と水素（Ｈ）のいずれが一方、
または、その両者の元素を微量構成元素として含有する
酸化珪素の蒸着膜からなり、かつ、その膜厚が、５０Å
〜２０００Åの範囲であり、更に、上記の必須構成元素
と微量構成元素の構成比率が、膜厚方向において連続的
に変化しているものである。更に、上記の酸化珪素の蒸
着薄膜は、炭素からなる化合物を含有する場合には、そ
の膜厚の深さ方向において炭素の含有量が減少している
ことを特徴とするものである。而して、本発明におい
て、上記の酸化珪素の蒸着薄膜について、例えば、Ｘ線
光電子分光装置（Ｘｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏ
ｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン
質量分析装置（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ
Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析
装置を用い、深さ方向にイオンエッチングする等して分
析する方法を利用して、酸化珪素の蒸着薄膜の元素分析
を行うことより、上記のような物性を確認することがで
きるものである。また、本発明において、上記の酸化珪
素の蒸着薄膜の膜厚としては、膜厚５０Å〜２０００Å
位であることが望ましく、具体的には、その膜厚として
は、より好ましくは、１００〜１０００Å位が望まし
く、而して、上記において、１０００Å、更には、２０
００Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生し易
くなるので好ましくなく、また、１００Å、更には、５
０Å未満であると、バリア性の効果を奏することが困難
になることから好ましくないものである。上記のおい
て、その膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光Ｘ線分
析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を用いて、ファン
ダメンタルパラメ−タ−法で測定することができる。ま
た、上記において、上記の酸化珪素の蒸着薄膜の膜厚を
変更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きくする
こと、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス量を多くする
方法や蒸着する速度を遅くする方法等によって行うこと
ができる。

【００１８】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジ
ュ−ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜として、例え
ば、物理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して
無機酸化物の蒸着薄膜の２層以上からなる多層膜を形成
する場合には、まず、樹脂フィルムの上に、化学気相成
長法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラック
の発生を防止し得る無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次い
で、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、物理気相成長法に
よる無機酸化物の蒸着薄膜を設けて、２層以上の多層膜
からなる無機酸化物の蒸着薄膜を構成することが望まし
いものである。なお、本発明においては、上記の無機酸
化物の蒸着薄膜面は、例えば、他の基材との密接着性、
親和性等を向上させるために、プラズマ放電処理、ある
いは、コロナ放電処理等を行い、プラズマ処理面、ある
いは、コロナ処理面等を形成することもできる。

【００１９】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィ
ルムにおいて、その樹脂フィルムとしては、例えば、ポ
リエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン系樹
脂、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリエチレンナフタ
レ−ト等のポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポ
リカ−ボネ−ト系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリビニ
ルアルコ−ル、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化
部等のポリビニルアルコ−ル系樹脂、ポリアクリルニト
リル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリビニルアセタ
−ル系樹脂、ポリビニルブチラ−ル系樹脂、フッ素系樹
脂、その他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使
用することができる。而して、本発明において、上記の
樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、上記の
樹脂の１種ないしそれ以上を使用し、インフレ−ション
法、Ｔダイ法、その他等の製膜化法を用いて、上記の樹
脂を単独で製膜化する方法、あるいは、２種以上の異な
る樹脂を使用して多層共押し出し製膜化する方法、更に
は、２種以上の樹脂を使用し、製膜化する前に混合して
製膜化する方法等により、樹脂のフィルムないしシ−ト
を製造し、更に、例えば、テンタ−方式、あるいは、チ
ュ−ブラ−方式等を利用して１軸ないし２軸方向に延伸
してなる樹脂のフィルムないしシ−トを使用することが
できる。本発明において、樹脂フィルムの膜厚として
は、５〜２００μｍ位、より好ましくは、１０〜５０μ
ｍ位が望ましい。なお、上記において、樹脂の製膜化に
際して、例えば、フィルムの加工性、耐熱性、耐候性、
機械的性質、寸法安定性、抗酸化性、滑り性、離形性、
難燃性、抗カビ性、電気的特性、その他等を改良、改質
する目的で、種々のプラスチック配合剤や添加剤等を添
加することができ、その添加量としては、太陽光の透過
に影響しない極く微量から数十％まで、その目的に応じ
て、任意に添加することができる。また、上記におい
て、一般的な添加剤としては、例えば、滑剤、架橋剤、
酸化防止剤、紫外線吸収剤、充填剤、強化剤、補強剤、
帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔
料、その他等を使用することができ、更には、改質用樹
脂等も使用することがてきる。

【００２０】また、本発明において、樹脂フィルムは、
必要に応じて、例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、
酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いて低温プラズマ処
理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化
処理、その他等の前処理を任意に施すことができる。上
記の表面前処理は、無機酸化物の蒸着薄膜を形成する前
に別工程で実施してもよく、また、例えば、低温プラズ
マ処理やグロ−放電処理等による表面処理の場合は、上
記の無機酸化物の蒸着薄膜を形成する前処理としてイン
ライン処理により前処理で行うことができ、このような
場合は、その製造コストを低減することができるという
利点がある。上記の表面前処理は、樹脂フィルムと無機
酸化物の蒸着薄膜との密着性を改善するための方法とし
て実施するものであるが、上記の密着性を改善する方法
として、その他、例えば、基材フィルムの表面に、予
め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、ある
いは、蒸着アンカ−コ−ト剤層等を任意に形成すること
もできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、その他
等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用すること
ができる。また、上記において、コ−ト剤層の形成法と
しては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジ
ョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビ
アロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法
を用いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期として
は、基材フィルムの２軸延伸処理後の後工程として、あ
るいは、２軸延伸処理のインライン処理等で実施するこ
とができる。なお、本発明において、基材フィルムとし
ては、具体的には、２軸延伸ポリプロピレンフィルム等
の２軸延伸ポリプロピレン系樹脂フィルム、２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム等の２軸延伸ポリエ
ステル系樹脂フィルム、または、２軸延伸ナイロンフィ
ルム等の２軸延伸ポリアミド系樹脂フィルムを使用する
ことが望ましいものである。

【００２１】次に、本発明において、フッ素系樹脂シ−
トと無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィルムとを積
層し、その両者からなる積層体を製造する方法について
説明すると、かかる積層体の積層法としては、例えば、
ラミネ−ト用接着剤によるラミネ−ト用接着剤層を介し
て積層するドライラミネ−ション法、あるいは、溶融押
し出し接着性樹脂による溶融押し出し樹脂層を介して積
層する押し出しラミネ−ション法等で行うことができ
る。上記において、ラミネ−ト用接着剤としては、例え
ば、１液、あるいは、２液型の硬化ないし非硬化タイプ
のビニル系、（メタ）アクリル系、ポリアミド系、ポリ
エステル系、ポリエ−テル系、ポリウレタン系、エポキ
シ系、ゴム系、その他等の溶剤型、水性型、あるいは、
エマルジョン型等のラミネ−ト用接着剤を使用すること
ができる。而して、上記のラミネ−ト用接着剤のコ−テ
ィング法としては、例えば、ダイレクトグラビアロ−ル
コ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、リ
バ−スロ−ルコ−ト法、フォンテン法、トランスファ−
ロ−ルコ−ト法、その他等の方法で塗布することがで
き、そのコ−ティング量としては、０．１〜１０ｇ／ｍ
² （乾燥状態）位、より好ましくは、１〜５ｇ／ｍ
² （乾燥状態）位が望ましい。なお、本発明において
は、上記のラミネ−ト用接着剤には、例えば、シランカ
ップリング剤等の接着促進剤を任意に添加することがで
きる。次にまた、上記において、溶融押し出し接着性樹
脂としては、低〜高密度ポリエチレン、エチレン−酢酸
ビニル共重合体、サ−リン樹脂、エチレン−アクリル酸
またはメタクリル酸共重合体、ポリエチレンあるいはポ
リプロピレンをアクリル酸、メタクリル酸、マレイン
酸、フマ−ル酸、イタコン酸等の不飽和カルボン酸で変
性した酸変性ポリオレフィン系樹脂、ポリプロピレン、
その他等を使用することができ、特に、線状低密度ポリ
エチレン、酸変性ポリエチレンを使用することが好まし
いものである。上記の溶融押し出し接着性樹脂による溶
融押し出し樹脂層の膜厚としては、５〜１００μｍ位、
より好ましくは、１０〜５０μｍ位が望ましい。なお、
本発明において、上記の積層を行う際に、より強固な接
着強度を得る必要がある場合には、必要ならば、例え
ば、アンカ−コ−ト剤等の接着改良剤等をコ−トするこ
ともできる。上記のアンカ−コ−ト剤としては、具体的
には、例えば、アルキルチタネ−ト等の有機チタン系ア
ンカ−コ−ト剤、イソシアネ−ト系アンカ−コ−ト剤、
ポリエチレンイミン系アンカ−コ−ト剤、ポリブタジエ
ン系アンカ−コ−ト剤、その他等の水性あるいは油性等
の各種のアンカ−コ−ト剤を使用することができる。而
して、本発明においては、上記のアンカ−コ−ト剤を、
例えば、ロ−ルコ−ト、グラビアコ−ト、ナイフコ−
ト、デップコ−ト、スプレイコ−ト、その他のコ−ティ
ング法でコ−ティングし、溶剤、希釈剤等を乾燥して、
アンカ−コ−ト剤層を形成することができる。上記のお
いて、アンカ−コ−ト剤の塗布量としては、０．１〜５
ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望ましい。

【００２２】次に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成する防
汚層について説明すると、かかる防汚層は、表面保護シ
−トの最表面に形成するものである。すなわち、本発明
においては、太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを構
成するフッ素系樹脂シ−トの他方の片面（最表面）に、
ゴミ等の蓄積を防止する防汚層を形成するものである。
而して、上記の防汚層としては、光触媒粉末または光触
媒ゾルを含む組成物による塗布膜から構成されるもので
ある。上記において、光触媒粉末または光触媒ゾルを含
む組成物による塗布膜としては、例えば、光触媒粉末ま
たは光触媒ゾルの１種ないし２種以上に、ビヒクルとし
ての結合剤の１種ないし２種以上を添加し、更に、必要
ならば、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸
収剤、光安定剤、充填剤、強化剤、補強剤、帯電防止
剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、顔料、その他
等の添加剤の１種ないし２種以上を太陽光の透過に影響
しない範囲内で任意に添加し、更に、溶剤、希釈剤等で
十分に混練して、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、
エマルジョン型等の組成物を調整し、次いで、該組成物
を、例えば、フロ−ティングナイフコ−ト法、ナイフオ
−バ−ロ−ルコ−ト法、インバ−ティドナイフコ−ト
法、スクイ−ズロ−ルコ−ト法、リバ−スロ−ルコ−ト
法、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスロ
−ルコ−ト法、エア−ブレ−ドコ−ト法、エクストル−
ジョンコ−ト法、カ−テンフロ−コ−ト法、その他等の
コ−ティング法、あるいは、グラビア印刷、オフセット
印刷、シルクスクリ−ン印刷、転写印刷、その他等の印
刷法を用いて、塗布ないし印刷することにより塗布膜を
形成することができる。上記において、塗布膜の膜厚と
しては、０．１〜１０ｇ／ｍ² 位（乾燥状態）、より好
ましくは、０．５〜１ｇ／ｍ² 位が望ましい。

【００２３】上記において、光触媒粉末または光触媒ゾ
ルとしては、太陽光等の光の作用により、例えば、樹脂
が、酸化等により劣化、破壊、あるいは、分解し、また
は、低分子化し、防汚層の表面に付着した塵埃等を、そ
の粘着性を破壊し、風雨等で洗浄、除去し、その表面を
清掃に保持することを容易にする作用を有する化学物質
を使用することができる。具体的には、例えば、光触媒
粉末または光触媒ゾルとしては、例えば、ＴｉＯ ₂ 、Ｚ
ｎＯ、ＳｒＴｉＯ₃ 、ＣｄＳ、ＣａＰ、ＩｎＰ、ＧａＡ
ｓ、ＢａＴｉＯ₂、Ｋ₂ ＴｉＯ₃ 、Ｋ₂ ＮｂＯ₃ 、Ｆｅ
₂ Ｏ₃ 、Ｔａ₂ Ｏ₃ 、ＷＯ₃ 、ＳｎＯ₂ 、Ｂｉ₂ Ｏ₈ 、
ＮｉＯ、Ｃｕ₂ Ｏ、ＳｉＣ、ＳｉＯ₂ 、ＭｏＳ₂ 、Ｉｎ
Ｐｂ、ＲｕＯ₂ 、ＣｅＯ₂ 等、あるいは、これらにＰ
ｔ、Ｒｈ、ＲｕＯ₂ 、Ｎｂ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｆｅ等
の金属および／またはこれらの金属酸化物とを混合した
組成物を使用することができる。上記の組成物におい
て、光触媒粉末または光触媒ゾルの含有量としては、そ
の粒子形状、密度等によって異なるが、約０．１〜３０
重量％位が好ましい。また、上記において、防汚層とし
ては、酸化チタンを主成分とする光触媒粉末、若しくは
ゾルに含まれる微粒子からなる組成物による塗布膜から
なるものが望ましいものである。

【００２４】また、上記において、ビヒクルとしての結
合剤としては、製膜性を有し、更に、耐光性、耐熱性、
耐水性等の諸堅牢性に優れ、また、塗布膜の硬度を増
し、耐擦傷性、耐磨耗性等に優れ、特に、光触媒粉末ま
たは光触媒ゾルの光活性に影響を受けない結合剤を使用
することができ、具体的には、例えば、ポリエチレン系
樹脂、ポリプロピレン系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸エチ
ル共重合体、エチレン−アクリル酸またはメタクリル酸
共重合体、メチルペンテンポリマ−、ポリブテン系樹
脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、塩
化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メタ）アク
リル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポリスチレ
ン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ
系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−スチレン共
重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹脂、ポリア
ミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリビニルアル
コ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体のケン化
物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセタ−ル系樹
脂、ポリウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂、フェノ−ル
系樹脂、アミノプラスト系樹脂、シリコ−ン系樹脂、ニ
トロセルロ−ス、無機系ポリマ−、その他等の公知の樹
脂、あるいは、その変性樹脂、その他等の１種ないし２
種以上を使用することができる。而して、本発明におい
ては、光触媒粉末または光触媒ゾルの影響を受けない結
合剤としては、上記のような結合剤の中でも、特に、低
融点ガラス、アルカリ金属シリケ−ト、ホスフェ−ト、
または、コロイダルシリカ、その他等の無機系ポリマ−
の１種ないしそれ以上を使用することが好ましいもので
ある。

【００２５】ところで、本発明においては、上記の防汚
層を構成する塗布膜中の光触媒粉末または光触媒ゾルの
光活性が、該防汚層の下層に位置する、例えば、フッ素
系樹脂シ−ト等に影響を与え、その劣化、分解、あるい
は、破壊等に起こさないように、その相互の接触を遮断
する無機質膜等からなる光触媒粉末または光触媒ゾルの
活性を遮断する活性遮断層を設けることができる。上記
の活性遮断層は、通常、防汚層の下層に設けるものであ
る。上記の活性遮断層を構成する無機質膜としては、例
えば、前述の透明性を有する酸化珪素、あるいは、酸化
アルミニウム等の無機酸化物の蒸着膜等を使用すること
ができる。上記の無機酸化物の蒸着膜の形成は、前述と
同様にして製膜化して、活性遮断層を形成することがで
き、その膜厚としては、１００〜３０００Å位、より好
ましくは、１００〜１５００Å位が望ましい。

【００２６】また、本発明においては、上記の防汚層の
密接着性を強固にするために、該防汚層を構成する光触
媒粉末または光触媒ゾルを含む組成物による塗布膜を設
けるに際し、必要ならば、接着用プライマ−層等を設け
ることができる。上記のプライマ−層を構成する材料と
しては、例えば、防汚層中の光触媒粉末または光触媒ゾ
ルの光活性等によって分解されない無機系のプライマ−
層を構成する材料を使用することができ、具体的には、
有機チタン化合物として代表的なテトライソプロピルチ
タネ−ト、テトラブチルチタネ−ト、テトラステアリル
チタネ−ト等のアルキルチタネ−トやチタンキレ−ト等
の加水分解による生成物等を使用することができ、その
他、無機ポリシラザン（ペルヒドロポリシラザラン）等
も使用することができる。本発明において、特に、加水
分解の速度が極めて早く、溶液を塗工後に分解できるテ
トライソプロピルチタネ−ト、テトラブチルチタネ−ト
が好ましい材料である。

【００２７】次に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成する紫
外線吸収剤層について説明すると、かかる紫外線吸収剤
層としては、例えば、紫外線吸収剤の１種ないし２種以
上に、ビヒクルとしての結合剤の１種ないし２種以上を
添加し、更に、必要ならば、例えば、滑剤、架橋剤、酸
化防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化剤、
補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ
剤、顔料、その他等の添加剤の１種ないし２種以上を太
陽光の透過に影響しない範囲内で任意に添加し、更に、
溶剤、希釈剤等で十分に混練して、例えば、溶剤型、水
性型、あるいは、エマルジョン型等の組成物を調整し、
次いで、該組成物を、例えば、フロ−ティングナイフコ
−ト法、ナイフオ−バ−ロ−ルコ−ト法、インバ−ティ
ドナイフコ−ト法、スクイ−ズロ−ルコ−ト法、リバ−
スロ−ルコ−ト法、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ルコ
−ト法、キスロ−ルコ−ト法、エア−ブレ−ドコ−ト
法、エクストル−ジョンコ−ト法、カ−テンフロ−コ−
ト法、その他等のコ−ティング法、あるいは、グラビア
印刷、オフセット印刷、シルクスクリ−ン印刷、転写印
刷、その他等の印刷法を用いて、塗布ないし印刷するこ
とにより塗布膜を形成することができる。上記におい
て、塗布膜の膜厚としては、０．１〜１０ｇ／ｍ² 位
（乾燥状態）、より好ましくは、１．０〜５ｇ／ｍ² 位
が望ましい。

【００２８】上記において、紫外線吸収剤としては、例
えば、太陽光中の有害な紫外線を吸収し、分子内で無害
な熱エネルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開始の活
性種が励起されるのを防止するものであり、具体的に
は、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチ
レ−ト系、アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−
ドアミン系、超微粒子酸化チタン（粒径、０．０１〜
０．０６μｍ）、超微粒子酸化亜鉛（ 粒径、０．０１
〜０．０４μｍ）等の無機系等の紫外線吸収剤の１種な
いしそれ以上を使用することができる。上記の組成物に
おいて、紫外線吸収剤の含有量としては、約０．１〜２
０重量％位が好ましい。また、上記において、上記の組
成物には、例えば、高分子の光劣化、あるいは、熱劣化
等を防止するものであり、具体的には、フェノ−ル系、
アミン系、硫黄系、りん酸系、その他等の酸化防止剤の
１種ないしそれ以上を使用することが望ましいものであ
る。更に、上記において、ビヒクルとしての結合剤とし
ては、前述の防汚層を構成する際に例示した結合剤を同
様に使用することができる。

【００２９】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下
に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤
層としては、太陽光が入射し、これを透過して吸収する
ことから透明性を有することが必要であり、また、表面
保護シ−トとの接着性を有することも必要であり、更
に、光起電力素子としての太陽電池素子の表面の平滑性
を保持する機能を果たすために熱可塑性を有すること、
更には、光起電力素子としての太陽電池素子の保護とう
いことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れてい
ることが必要である。具体的には、上記の充填剤層とし
ては、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共
重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、ま
たは、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリ
プロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン
等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、
マレイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性し
た酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−
ル樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）
アクリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上
の混合物を使用することができる。なお、本発明におい
ては、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐
光性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透
明性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。而して、本発明においては、太陽光の入射側の充
填剤としては、耐光性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考
慮すると、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル系樹脂
が望ましい素材である。なお、上記の充填剤層の厚さと
しては、２００〜１０００μｍ位、より好ましくは、３
５０〜６００μｍ位が望ましい。

【００３０】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、結晶性シリコン太陽電池素子、多結晶
シリコン太陽電池素子、アモルファスシリコン太陽電池
素子、銅インジウムセレナイド太陽電池素子、化合物半
導体太陽電池素子、その他等を使用することができる。
更に、本発明においては、薄膜多結晶シリコン太陽電池
素子、薄膜微結晶シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリ
コン太陽電池素子とアモルファスシリコン太陽電池素子
とのハイブリット素子、その他等を使用することができ
る。

【００３１】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル
樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）ア
クリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の
混合物を使用することができる。なお、本発明において
は、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光
性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明
性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００〜
１０００μｍ位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ
位が望ましい。

【００３２】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する裏面保護シ−ト層について説明すると、か
かる裏面保護シ−トとしては、絶縁性の樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することができ、更に、耐熱性、耐
光性、耐水性等の耐候性を有し、物理的あるいは化学的
強度性、強靱性等に優れ、更に、光起電力素子としての
太陽電池素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、
衝撃吸収性等に優れていることが必要である。上記の裏
面保護シ−トとしては、具体的には、例えば、ポリアミ
ド系樹脂（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポ
リエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレ
ン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹
脂、セルロ−ス系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その
他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができる。上記の樹脂のフィルムないしシ−トとして
は、例えば、２軸延伸した樹脂のフィルムないしシ−ト
も使用することができる。また、上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トにおいて、その膜厚としては、１２〜２０
０μｍ位、より好ましくは、２５〜１５０μｍ位が望ま
しい。

【００３３】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、低密度ポリエチレン、
中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度
ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン
共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ
−樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレ
ン−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペ
ンテンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系
樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ塩化ビニリデン系樹
脂、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、ポリ（メ
タ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリル系樹脂、ポ
リスチレン系樹脂、アクリロニトリル−スチレン共重合
体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブタジェン−ス
チレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエステル系樹
脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリ
ビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合
体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹脂、ポリアセ
タ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニトロセルロ−
ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないしシ−トから
任意に選択して使用することができる。本発明におい
て、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、一軸ない
し二軸方向に延伸されたもの等のいずれのものでも使用
することができる。また、その厚さは、任意であるが、
数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使用するこ
とができる。更に、本発明においては、フィルムないし
シ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−ション成
膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよい。

【００３４】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、上記に挙げた本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
表面保護シ−トを使用し、これに、その一方の面を内側
にし、順次に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電
池素子、充填剤層、および、裏面保護シ−ト層等を積層
し、更に、必要ならば、各層間に、その他の素材を任意
に積層し、次いで、これらを、真空吸引等により一体化
して加熱圧着するラミネ−ション法等の通常の成形法を
利用し、上記の各層を一体成形体として加熱圧着成形し
て、太陽電池モジュ−ルを製造することができる。上記
において、必要ならば、各層間の接着性等を高めるため
に、（メタ）アクリル系樹脂、オレフィン系樹脂、ビニ
ル系樹脂、その他等の樹脂をビヒクルの主成分とする加
熱溶融型接着剤、溶剤型接着剤、光硬化型接着剤、その
他等を使用することができる。

【００３５】

【実施例】次に、本発明について実施例を挙げて更に具
体的に説明する。 実施例１ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これを巻き取り
式真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、こ
れをコ−ティングドラムの上に繰り出して、下記の条件
で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しな
がら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応
真空蒸着法により、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルムの易接着処理面に、膜厚３００Åの酸
化アルミニウムの蒸着薄膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で膜厚３００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄
膜を形成した後、その蒸着直後に、その酸化アルミニウ
ムの蒸着薄膜面に、グロ−放電プラズマ発生装置を使用
し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素ガス（Ｏ₂ ）：ア
ルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からなる混合ガスを使用
し、混合ガス圧６Ｘ１０^-5Ｔｏｏｒ、処理速度４２０ｍ
／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプラズマ処理を行っ
た。 （２）．次に、基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化
ビニル樹脂フィルム（ＰＶＦ）を使用し、その一方の面
に、低密度ポリエチレンを使用し、これを厚さ２０μｍ
に溶融押し出ししながら、上記の２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルムの酸化アルミニウムの蒸着薄膜
のプラズマ処理面を対向させて、上記のポリフッ化ビニ
ル樹脂フィルムと２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムとを押し出しラミネ−トして積層体を製造し
た。次に、上記で製造した積層体の２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム面に、０．０３μｍの酸化チ
タン超微粒子５重量部とエチレン−ビニルアルコ−ル共
重合体液（固形分２０％溶液）９５重量部からなる紫外
線吸収剤組成物をグラビアロ−ルコ−ト法を用いてコ−
ティングし、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）の紫外線
吸収剤層を形成して、本発明にかかる表面保護シ−トを
製造した。 （３）．次に、上記で製造した表面保護シ−トの紫外線
吸収剤層面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム（受光面）を、その太陽電
池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介し
て積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造
した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィルム（ＰＶＦ）の
代わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエ
チレンとのコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（Ｅ
ＴＦＥ）を使用し、それ以外は、上記と全く同様にし
て、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太
陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００３６】実施例２ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ３００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を上記の２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの易接着処理面
に形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚３００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着薄膜面
に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロ
ナ放電処理を行って、蒸着薄膜面の表面張力を３５ｄｙ
ｎｅより６０ｄｙｎｅに向上させた。 （２）、基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル
樹脂フィルム（ＰＶＦ）を使用し、その一方の面に、低
密度ポリエチレンを使用し、これを厚さ２０μｍに溶融
押し出ししながら、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルムの酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面
を対向させて、上記のポリフッ化ビニル樹脂フィルムと
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムとを押し
出しラミネ−トして積層体を製造した。次に、上記で製
造した積層体の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフ
ィルム面に、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤１重量部と
熱硬化型アクリル系樹脂液（固形分２０％溶液）９９重
量部からなる紫外線吸収剤組成物をグラビアロ−ルコ−
ト法を用いてコ−ティングし、膜厚２．０ｇ／ｍ² （乾
燥状態）の紫外線吸収剤層を形成して、本発明にかかる
表面保護シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した表面保護シ−トの紫外線
吸収剤層面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム（受光面）を、その太陽電
池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介し
て積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造
した。 （４）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィルム（ＰＶＦ）の
代わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエ
チレンとのコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（Ｅ
ＴＦＥ）を使用し、それ以外は、上記と全く同様にし
て、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太
陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００３７】実施例３ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、上記の実
施例２と同じ蒸着条件で厚さ３００Åの酸化珪素の蒸着
薄膜を上記の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルムの易接着処理面形成した。次に、上記で形成した膜
厚３００Åの酸化珪素の蒸着薄膜に、上記の実施例２と
全く同様にしてコロナ処理面を形成した。 （２）．次に、上記でコロナ処理を行った酸化珪素の蒸
着薄膜を形成した２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムを使用し、これを巻き取り式真空蒸着装置の送
り出しロ−ルに装着し、次いで、これをコ−ティングド
ラムの上に繰り出して、上記の実施例１と同じ蒸着条件
で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給しな
がら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による反応
真空蒸着法により、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルムの酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面
に、膜厚３００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成
した。次に、上記で形成した膜厚３００Åの酸化アルミ
ニウムの蒸着薄膜面に、上記の実施例１と全く同様にし
てプラズマ処理面を形成した。 （３）．基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル
樹脂フィルム（ＰＶＦ）を使用し、その一方の面に、低
密度ポリエチレンを使用し、これを厚さ２０μｍに溶融
押し出ししながら、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフ
タレ−トフィルムの酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラ
ズマ処理面を対向させて、上記のポリフッ化ビニル樹脂
フィルムと２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィル
ムとを押し出しラミネ−トして積層体を製造した。更
に、上記で製造した積層体を構成するポリフッ化ビニル
樹脂フィルムの他方の面（最表面）に、粒径０．０３μ
ｍの酸化チタン超微粒子１０重量部とテトラエトキシシ
ラン液９０重量部（固形分２０％）とからなる光触媒塗
工液をグラビアロ−ルコ−ト法を用いて塗布し、膜厚１
ｇ／ｍ² （乾燥状態）の防汚層を形成した。他方、上記
で製造した積層体を構成する２軸延伸ポリエチレンテレ
フタレ−トフィルム面に、０．０３μｍの酸化チタン超
微粒子５重量部とエチレン−ビニルアルコ−ル共重合体
液（固形分２０％溶液）９５重量部からなる紫外線吸収
剤組成物をグラビアロ−ルコ−ト法を用いてコ−ティン
グし、膜厚０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）の紫外線吸収剤
層を形成して、本発明にかかる表面保護シ−トを製造し
た。 （４）．次に、上記で製造した表面保護シ−トの紫外線
吸収剤層面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム（受光面）を、その太陽電
池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介し
て積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造
した。 （５）．なお、上記において、上記の基材としての厚さ
５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィルム（ＰＶＦ）の
代わりに、厚さ５０μｍのテトラフルオロエチレンとエ
チレンとのコポリマ−からなるフッ素系樹脂シ−ト（Ｅ
ＴＦＥ）を使用し、それ以外は、上記と全く同様にし
て、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、および、太
陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００３８】実施例４ 上記の実施例１の（２）において、紫外線吸収剤層を形
成した後、更に、積層体を構成するポリフッ化ビニル樹
脂フィルムの他方の面（最表面）に、粒子径０．０３μ
ｍの酸化チタン超微粒子１０重量部とテトラエトキシシ
ラン液（固形分１５％）９０重量部からなる光触媒組成
物を使用し、グラビアロ−ルコ−ト法を用いて、膜厚
１．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）塗布、乾燥して防汚層を形
成して、本発明にかかる表面保護シ−トを製造した。そ
れ以外は、上記の実施例１と全く同様にして、同様な太
陽電池モジュ−ルを製造した。

【００３９】実施例５ 上記の実施例２の（２）において、紫外線吸収剤層を形
成した後、更に、積層体を構成するポリフッ化ビニル樹
脂フィルムの他方の面（最表面）に、粒子径０．０３μ
ｍの酸化チタン超微粒子１０重量部とテトラエトキシシ
ラン液（固形分１５％）９０重量部からなる光触媒組成
物を使用し、グラビアロ−ルコ−ト法を用いて、膜厚
１．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）塗布、乾燥して防汚層を形
成して、本発明にかかる表面保護シ−トを製造した。そ
れ以外は、上記の実施例２と全く同様にして、同様な太
陽電池モジュ−ルを製造した。

【００４０】実施例６ 上記の実施例１の（２）において、積層体を形成した
後、該積層体を構成するポリフッ化ビニル樹脂フィルム
の他方の面（最表面）に、粒子径０．０３μｍの酸化チ
タン超微粒子１０重量部とテトラエトキシシラン液（固
形分１５％）９０重量部からなる光触媒組成物を使用
し、グラビアロ−ルコ−ト法を用いて、膜厚１．０ｇ／
ｍ² （乾燥状態）塗布、乾燥して防汚層を形成して、本
発明にかかる表面保護シ−トを製造した（紫外線吸収剤
層は、形成しなかった。）。それ以外は、上記の実施例
１と全く同様にして、同様な太陽電池モジュ−ルを製造
した。

【００４１】比較例１ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィ
ルム（ＰＶＦ）を使用し、これを表面保護シ−トとし、
その片面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池素
子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルム（受光面）を、その太陽電池
素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介して
積層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００４２】比較例２ 基材として、厚さ５０μｍのポリテトラフルオロエチレ
ン−エチレンコポリマ−からなるフッ素系樹脂フィルム
（ＥＴＦＥ）を使用し、これを表面保護シ−トとし、そ
の片面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム（受光面）を、その太陽電池素
子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積
層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００４３】比較例３ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィ
ルム（ＰＶＦ）を使用し、その表裏両面に、上記の実施
例３と同様にして、防汚層と紫外線吸収剤層を形成して
表面保護シ−トとし、その片面に、アモルファスシリコ
ンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍ
の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム（受光
面）を、その太陽電池素子面を対向させ、アクリル系樹
脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを
製造した。

【００４４】比較例４ 基材として、厚さ５０μｍのポリテトラフルオロエチレ
ン−エチレンコポリマ−からなるフッ素系樹脂フィルム
（ＥＴＦＥ）を使用し、その表裏両面に、上記の実施例
３と同様にして、防汚層と紫外線吸収剤層とを形成して
表面保護シ−トとし、その片面に、アモルファスシリコ
ンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚さ３８μｍ
の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム（受光
面）を、その太陽電池素子面を対向させ、アクリル系樹
脂の接着剤層を介して積層して、太陽電池モジュ−ルを
製造した。

【００４５】実験例 上記の実施例１〜６で製造した本発明にかかる表面保護
シ−トと比較例１〜４にかかる表面保護シ−トについ
て、全光線透過率を測定し、また、上記の実施例１〜６
で製造した太陽電池モジュ−ルと比較例１〜４で製造し
た太陽電池モジュ−ルについて太陽電池モジュ−ル評価
試験を行った。 （１）．全光線透過率の測定 これは、基材シ−トを基準とし、実施例１〜６で製造し
た本発明にかかる表面保護シ−トと比較例１〜４にかか
る表面保護シ−トについてカラ−コンピュ−タ−により
全光線透過率（％）を測定した。 （２）．太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 （３）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例１〜６で製造した本発明にかか
る表面保護シ−トと比較例１〜４にかかる表面保護シ−
トについて、温度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米
国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−
マトラン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定し、更に、
酸素透過度は、上記と同様の対象物について、温度２３
℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯ
Ｎ）社製の測定機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡ
Ｎ）〕にて測定した。上記の測定結果について下記の表
１に示す。

【００４６】

【表１】 上記の表１において、水蒸気透過度は、〔ｇ／ｍ² ／ｄ
ａｙ・４０℃・１００％ＲＨ〕の単位であり、また、酸
素透過度は、〔ｃｃ／ｍ² ／ｄａｙ・２３℃・９０％Ｒ
Ｈ〕の単位である。

【００４７】上記の表１に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例１〜６にかかる表面保護シ−トは、全光線
透過率が高く、また、水蒸気バリア性、酸素バリア性に
優れていた。また、実施例１〜６にかかる表面保護シ−
トを使用した太陽電池モジュ−ルは、その出力低下率も
低いものであった。これに対し、比較例１〜４にかかる
表面保護シ−トは、全光線透過率が高いものの、水蒸気
バリア性、酸素バリア性にに劣り、そのため、これを使
用した太陽電池モジュ−ルは、その出力低下率が高いと
いう問題点があった。

【００４８】

【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として
使用されているガラス板の特性、光触媒粉末、紫外線吸
収剤等に着目し、まず、フッ素系樹脂シ−トを基材シ−
トとして使用し、他方、その片面に、酸化珪素、あるい
は、酸化アルミニウム等の透明な、ガラス質からなる無
機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィルムを使用し、而
して、上記のフッ素系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着薄
膜を有する樹脂フィルムとを積層し、更に、該フッ素系
樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィル
ムとからなる積層体のいずれかの一方の面および／また
は両面に、光触媒粉末を含む組成物による塗布膜からな
る防汚層および／または紫外線吸収剤を含む組成物によ
る塗布膜からなる紫外線吸収剤層を設けて太陽電池モジ
ュ−ル用表面保護シ−トを製造し、これを表面保護シ−
ト層とし、その防汚層を最表面とし、その他方の面に、
充填剤層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤
層、および、裏面保護シ−ト層等を順次に積層し、次い
で、これらを一体的に真空吸引して加熱圧着するラミネ
−ション法等を利用して太陽電池モジュ−ルを製造した
ところ、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく
向上させ、更に、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性
についても、その長期的な性能劣化を最小限に抑え、保
護能力性に優れ、また、ゴミ等が蓄積してその表面を汚
染する汚染性等を防止し、より低コストで安全な太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用した太
陽電池モジュ−ルを製造し得ることができるというもの
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図３】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図４】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図５】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−
ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図で
ある。

【図６】物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す巻き取り式真空蒸
着装置の概略的構成図である。

【図７】化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す低温プラズマ化学
気相成長装置の概略的構成図である。

【符号の説明】

Ａ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト Ａ₁ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト Ａ₂ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト Ａ₃ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト １ フッ素系樹脂シ−ト ２ 無機酸化物の蒸着薄膜 ２ａ 無機酸化物の蒸着薄膜 ２ｂ 無機酸化物の蒸着薄膜 ３ 樹脂フィルム ４ 積層体 ５ 防汚層 ６ 紫外線吸収剤層 ７ 多層膜 Ｔ 太陽電池モジュ−ル １１ 充填剤層 １２ 太陽電池素子 １３ 充填剤層 １４ 裏面保護シ−ト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ３２Ｂ 27/36 Ｂ３２Ｂ 27/36 Ｃ２３Ｃ 14/08 Ｃ２３Ｃ 14/08 Ｎ 16/40 16/40 // Ｈ０１Ｍ 14/00 Ｈ０１Ｍ 14/00 Ｐ (72)発明者 山本 浩 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 今野 克俊 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4F100 AA17B AA19 AA21D AA21H AK01C AK04A AK04J AK06 AK07C AK17A AK18A AK18J AK41C AK42 AK46C AK69 AL01A AR00D AR00E BA04 BA05 BA07 BA10A BA10C BA10D BA10E BA13 CA07E DE01D DE01H EH46D EH46E EH66B EJ38C GB41 JB07 JD03 JD04 JD09E JJ03 JL06D JL08D JL08H JL09 JM01D JM02B JN01A YY00A 4K029 AA11 AA25 BA43 BA44 BA46 BB02 BD00 BD01 CA02 DB03 DB21 GA02 JA10 KA03 4K030 AA06 AA09 AA14 AA16 BA42 BA43 BA44 BB13 CA07 CA12 DA02 DA08 FA03 GA14 HA03 LA11 LA16 5F051 AA05 EA18 GA05 GA06 5H032 AA00 AS16 CC14 EE02 EE05 EE13

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フッ素系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着
   薄膜を有する樹脂フィルムとを積層し、更に、該フッ素
   系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィ
   ルムとからなる積層体のいずれかの一方の面あるいは両
   面に、防汚層および／または紫外線吸収剤層を設けたこ
   とを特徴とする太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
2. 【請求項２】 フッ素系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着
   薄膜を有する樹脂フィルムとを積層し、更に、該フッ素
   系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィ
   ルムとからなる積層体を構成するフッ素系樹脂シ−ト面
   に、防汚層と紫外線吸収剤層を設け、該防汚層を最表面
   とすることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用表面保護
   シ−ト。
3. 【請求項３】 フッ素系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着
   薄膜を有する樹脂フィルムとを積層し、更に、該フッ素
   系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フィ
   ルムとからなる積層体を構成するフッ素系樹脂シ−ト面
   に、防汚層を設け、また、該積層体を構成する無機酸化
   物の蒸着薄膜を有する樹脂フィルム面に、紫外線吸収剤
   層を設け、該防汚層を最表面とすることを特徴とする太
   陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
4. 【請求項４】 フッ素系樹脂シ−トが、可視光透過率が
   ９０％以上である透明フッ素系樹脂シ−トからなること
   を特徴とする上記の請求項１〜３に記載する太陽電池モ
   ジュ−ル用表面保護シ−ト。
5. 【請求項５】 フッ素系樹脂シ−トが、フッ化ビニル系
   樹脂、または、テトラフルオロエチレン−エチレンとの
   コポリマ−からなる透明フッ素系樹脂シ−トであること
   を特徴とする上記の請求項１〜４に記載する太陽電池モ
   ジュ−ル用表面保護シ−ト。
6. 【請求項６】 無機酸化物の蒸着薄膜が、物理気相成長
   法による無機酸化物の１層ないし２層以上の多層膜から
   なることを特徴とする上記の請求項１〜５に記載する太
   陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
7. 【請求項７】 無機酸化物の蒸着薄膜が、化学気相成長
   法による無機酸化物の１層ないし２層以上の多層膜から
   なることを特徴とする上記の請求項１〜５に記載する太
   陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
8. 【請求項８】 無機酸化物の蒸着薄膜が、物理気相成長
   法および化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜の
   ２層以上の多層膜からなることを特徴とする上記の請求
   項１〜５に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
   ト。
9. 【請求項９】 無機酸化物の蒸着薄膜が、化学気相成長
   法による無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次に、該無機酸
   化物の蒸着薄膜の上に、物理気相成長法による無機酸化
   物の蒸着薄膜を設けた２層以上の多層膜からなることを
   特徴とする上記の請求項８に記載する太陽電池モジュ−
   ル用表面保護シ−ト。
10. 【請求項１０】 樹脂フィルムが、二軸延伸ポリエステ
    ル系樹脂フィルム、二軸延伸ポリアミド系樹脂フィル
    ム、または、二軸延伸ポリプロピレン系樹脂フィルムか
    らなることを特徴とする上記の請求項１〜９に記載する
    太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
11. 【請求項１１】 防汚層が、酸化チタンを主成分とする
    光触媒粉末、またはゾルに含まれる微粒子からなる組成
    物による塗布膜からなることを特徴とする上記の請求項
    １〜１０に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
    ト。
12. 【請求項１２】 紫外線吸収剤層が、紫外線吸収剤を含
    む組成物による塗布膜からなることを特徴とする上記の
    請求項１〜１０に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保
    護シ−ト。
13. 【請求項１３】 フッ素系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸
    着薄膜を有する樹脂フィルムとを積層し、更に、該フッ
    素系樹脂シ−トと無機酸化物の蒸着薄膜を有する樹脂フ
    ィルムとからなる積層体のいずれかの一方の面または両
    面に、防汚層および／または紫外線吸収剤層を設けた太
    陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの片面に、充填剤
    層、光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、お
    よび、裏面保護シ−ト層を順次に積層し、これらを真空
    吸引して加熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形体
    としたことを特徴とする太陽電池モュジュ−ル。