JP2000203868A

JP2000203868A - 光ファイバ母材の製造方法

Info

Publication number: JP2000203868A
Application number: JP11008706A
Authority: JP
Inventors: Masataka Kin; 正▲高▼ 金; Hideaki Ito; 秀明伊藤; Yoshio Shimoyama; 義夫下山
Original assignee: Mitsubishi Cable Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Cable Industries Ltd
Priority date: 1999-01-18
Filing date: 1999-01-18
Publication date: 2000-07-25

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】大口径の光ファイバ母材を短時間で製造し得
る製造方法を提供する。【解決手段】堆積初期（母材径＝出発材径＝２５ｍ
ｍ）には第１原料ガス噴出口からの原料ガス流量Ｑ1を
大値に、第２原料ガス噴出口からの原料ガス流量Ｑ2を
小値に設定する。堆積初期から終期（母材径＝２００ｍ
ｍ）に向けて、Ｑ1を連続的に低減させる一方、Ｑ2を連
続的に増大させて終期では大小関係を逆転させる。堆積
初期から終期に向けて、第１原料ガス噴出口からの添加
ガス流量Ｗ1をわずかずつ連続的に低減させる一方、第
２原料ガス噴出口からの添加ガス流量Ｗ2を急勾配で連
続的に低減させることにより、Ｗ2をＱ2の増加割合を上
回る低減割合で低減させ、結果として外周側からのＱ2
＋Ｗ2が堆積初期から堆積終期に至るまで連続的に低減
させ、かつ、Ｑ2＋Ｗ2がＱ1＋Ｗ1にほぼ等しいか、Ｑ1
＋Ｗ1よりも常に多くなるように制御している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＯＶＤ（Outside
Vapor-phase Deposition）法等により光ファイバ用多孔
質母材を製造するために用いられる光ファイバ母材の製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の光ファイバ母材の製
造方法として、両端をそれぞれ把持手段により把持され
た棒状の出発材をその長手方向に往復移動させながら、
その出発材に対し直交する方向からバーナにより原料ガ
ス，可燃ガス，助燃ガス等を噴出させ、この原料ガスの
酸水素火炎中での加水分解により生じたガラス微粒子を
上記出発材の周囲に対し順次堆積することにより光ファ
イバ用多孔質母材を製造するものが知られている（例え
ば、特開平７−１２６０３１号公報参照）。

【０００３】また、ＶＡＤ法に用いるバーナとして、原
料ガスと酸化ガスとの混合ガスを噴出する第１原料ガス
噴出口と、この第１原料ガス噴出口に対しシールガス噴
出口を挟んで外方に配置されて原料ガスと可燃ガスとの
混合ガスを噴出する第２原料ガス噴出口とを備えたもの
が知られている（例えば特開平９−１００１３３号公報
参照）。このものでは、出発材に堆積される光ファイバ
母材の外径が所定値以下の間は原料ガスを上記第１原料
ガス噴出口からのみ噴出させ、上記所定値を超えると第
１に加え第２原料ガス噴出口からも原料ガスを噴出させ
る方法を採用している。また、他の方法として、上記第
１及び第２原料ガス噴出口から共に原料ガスとＯ₂との
混合ガスを噴出させるようにし、かつ、第２原料ガス噴
出口からの原料ガスに含まれる原料の量を第１原料ガス
噴出口よりも少なくなるように設定して出発材への堆積
を継続することにより堆積速度の向上を図るようにして
いる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、光フ
ァイバの製造コスト削減のために、より大口径の光ファ
イバ母材を高速（短時間）で製造することが要求されて
いる。これを達成させるために、原料ガスの噴出量（流
量）をより増大させて堆積速度（堆積重量／堆積時間）
を向上させることが考えられる。

【０００５】ところが、単純に原料ガスの流量を増大さ
せても、原料ガスの流量を増大させる程、反応効率や堆
積効率（堆積収率；堆積重量／理論合成量）が低下する
ため（図９参照）、堆積速度の向上自体は図れるものの
その堆積速度の向上割合は上記原料ガスの流量の増大ほ
どには大きくならず、さほどの堆積速度の向上は図れな
い。ここで、図９によれば、原料ガスの流量を４リット
ル／分（同図の黒丸参照）から８リットル／分（同図の
黒三角参照）、８リットル／分から１２リットル／分
（同図の黒四角参照）に増大させるに従い堆積収率は低
下する傾向にある。また、原料ガスの流量を増大すれば
する程、排気されるガス量も増大するため、その排気さ
れるガスの処理コストの増大により結果として製造コス
トの増大を招くことになる。

【０００６】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであり、その目的とするところは、大量の原料ガ
スを堆積初期から堆積終期の全過程において高効率で反
応させて堆積効率の増大を図り大口径の光ファイバ母材
を短時間で製造し得る製造方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明者は、出発材に堆積された母材が製造開始後
の間もない頃は細径であり堆積面が小さいため堆積収率
も低いものの、製造時間の経過とともに母材径が太くな
って堆積面が拡大し、これに伴い堆積収率も増大する傾
向にある点に鑑み、母材が細径時には原料ガスの噴出態
様を堆積面に対しできるだけ収束させる一方、太径時に
は原料ガスの噴出態様を堆積面に対しできるだけ拡散さ
せれば良いことに着目して本発明を完成させるに至っ
た。

【０００８】具体的に、本発明は、バーナの中心位置に
設けられた第１原料ガス噴出口から原料ガスを出発材に
向けて噴出させると同時に、上記第１原料ガス噴出口の
周囲を囲むように設けられた第２原料ガス噴出口からも
原料ガスを上記出発材に向けて噴出させ、これら原料ガ
スの酸水素火炎中での加水分解反応により生じたガラス
微粒子を上記出発材に堆積させて光ファイバ母材を製造
する光ファイバ母材の製造方法を対象として、以下のよ
うに第１原料ガス噴出口及び第２原料ガス噴出口からの
原料ガスの両噴出量を出発材の直径（例えば２０〜３０
ｍｍ）から出発する細径の堆積初期から太径（例えば１
６０〜２３０ｍｍ）の堆積終期までの時間経過に応じて
それぞれ変化させるようにしたものである。

【０００９】すなわち、上記出発材に対する光ファイバ
母材の堆積過程の堆積初期において第１原料ガス噴出口
からの噴出量を第２原料ガス噴出口からの噴出量よりも
大となるように設定し、堆積初期から堆積中期までの
間、上記第１原料ガス噴出口からの噴出量を徐々に低減
させる一方、上記第２原料ガス噴出口からの噴出量を徐
々に増大させる。そして、堆積中期において上記第１及
び第２の各原料ガス噴出口からの両噴出量を互いに等し
くなるようにし、堆積中期から堆積終期までの間、上記
第１原料ガス噴出口からの噴出量をさらに徐々に低減さ
せる一方、上記第２原料ガス噴出口からの噴出量をさら
に増大させるようにするものである。この場合、原料ガ
スの噴出量は第１と第２との各原料ガス噴出口によって
変化させるものの、その第１と第２との各原料ガス噴出
口の両噴出量の合計は堆積初期から堆積終期に至る間で
一定に維持するようにするのが経済性の観点から好まし
い。また、第１及び第２の各原料ガス噴出口からは上記
の原料ガスの他に酸化ガスもしくは助燃ガス（例えばＯ
₂），可燃ガス（例えばＨ２），又は，シールガス（例
えばＡｒ）等の添加ガスを加えてこれらの混合ガスを噴
出させるようにしてもよい。さらに、上記の助燃ガス、
可燃ガスもしくはシールガスを上記第１及び第２の各原
料ガス噴出口の外周側から噴出させるようにしてもよ
い。なお、上記の「原料ガス」としては例えばＳｉＣｌ
₄等が挙げられる。また、上記の「徐々に」とは、連続
的に量を変更させる場合の他に、階段状に量を変更させ
る場合をも含む。

【００１０】上記の本発明の場合、堆積初期には第１原
料ガス噴出口、つまりバーナの中心位置からの原料ガス
の噴出量が外周側位置の第２原料ガス噴出口からの原料
ガスの噴出量よりも多量に設定されているため、出発材
に対し吹き付けられる原料ガスの流速は中心側位置の方
が外周側よりも速くなり、外周側の原料ガスが中心側に
引き寄せられて火炎全体が中心側に収束してその中心側
の方が原料濃度が高くなる（図６参照）。これにより、
堆積初期の細径状態の出発材もしくは母材に対し火炎の
中心側の原料濃度の高い部分が当たることになり、細径
母材であってもその母材に対しガラス微粒子が効率よく
付着されて堆積効率の増大が図られる。

【００１１】堆積中期までは上記の堆積初期の状態から
第１原料ガス噴出口からの噴出量が徐々に低減される一
方、第２原料ガス噴出口からの噴出量が徐々に増大され
るため、上記の原料濃度の高い部分が中心側から母材径
の増大に応じて徐々に外周側に移行することになる。そ
して、堆積中期に至って第１及び第２の両原料ガス噴出
口からの原料ガス噴出量が互いに等しくなり、火炎全体
が均一な流速となる。

【００１２】そして、堆積中期から堆積終期にかけて時
間の経過とともに母材径が徐々に太くなる一方、原料ガ
スの噴出量も中心側の第１原料ガス噴出口よりも外周側
の第２原料ガス噴出口の方が徐々に多くなるように変化
するため、火炎の中の原料ガスの流れにおいて外周側の
方の流速がより速くなり、中心側の原料ガスが外周側に
引き寄せられて原料濃度の高い部分が外周側に拡散する
ように徐々に変化することになる。これにより、母材径
の増大に応じて原料濃度の高い部分が外方に広がり太径
となった母材の全体に当たるように変更される。この結
果、堆積効率の増大が図られ、それに伴い堆積速度の増
大が図られることになる。

【００１３】堆積終期に至って母材径が最大になると、
中心側の第１原料ガス噴出口から噴出する原料ガスの量
が最小になる一方、外周側の第２原料ガス噴出口から噴
出する原料ガスの量が最大になって火炎が最大径の母材
の周囲に沿って効果的に当たることになる（図７参
照）。これにより、太径の母材に対してもその全体に対
してもガラス微粒子が効果的に付着されて堆積効率の増
大及び堆積速度の増大が図られることになる。

【００１４】以上により、堆積初期から堆積終期の全過
程において高効率で反応させて堆積効率の増大を図り大
口径の光ファイバ母材を短時間で製造し得ることにな
る。

【００１５】また、上記の如く堆積過程に応じて第１及
び第２の各原料ガス噴出口からの原料ガスの噴出量を徐
々に変更させるという発明において、さらに、上記第１
及び第２原料ガス噴出口から噴出させるガスを原料ガス
だけではなく原料ガスに加え添加ガスを混合させた混合
ガスを噴出させるようにし、この添加ガスの量を変更調
整することにより、母材に当たる火炎の状態を母材径に
応じて変化させるようにしてもよい。

【００１６】具体的には、堆積初期から堆積終期に至る
まで、第１及び第２の各原料ガス噴出口からの混合ガス
の両噴出量が共に徐々に低減しかつ第１原料ガス噴出口
から噴出する混合ガスの噴出量が第２原料ガス噴出口か
ら噴出する混合ガスの噴出量よりも徐々に少なくなるよ
うに、上記第１及び第２の各原料ガス噴出口から噴出さ
せる添加ガスの添加量をそれぞれ変更するようにすれば
よい。

【００１７】この場合、第１及び第２の両原料ガス噴出
口からの原料ガス自体の量は堆積初期と堆積終期とで大
小逆転して堆積終期には外周側の第２原料ガス噴出口か
らの原料ガス量の方がより多くなるように徐々に変更さ
れながらも、上記両原料ガス噴出口からそれぞれ噴出す
る原料ガスと添加ガスとの各合計噴出量は堆積初期から
堆積終期に近付くに従い共に低減されかつ第１原料ガス
噴出口からの合計噴出量の方が第２原料ガス噴出口から
のそれよりも少なくされることになる。このため、堆積
終期に近付いて母材径がより太くなるに従い火炎の外周
側に原料濃度の高い部分を拡散させつつ、火炎全体の流
速が遅くされて火炎が太径の母材表面の全体に行き渡る
ようになる。これにより、堆積効率のより増大が図られ
て堆積時間のより短縮化が図られることになる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明における光
ファイバ母材の製造方法によれば、堆積初期から堆積終
期の全過程において大量の原料ガスを高効率で反応させ
て堆積効率の増大を図ることができる結果、堆積速度の
増大が図られて大口径の光ファイバ母材を短時間で製造
することができるようになる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基いて説明する。

【００２０】図１は、本発明の実施形態に係る製造方法
を実施するための光ファイバ母材の製造装置を示し、１
は出発材２に対し堆積された光ファイバ多孔質母材（以
下、単に母材という）、３は上記出発材２に対し直交す
る方向から火炎を吹き付けるバーナ、４は上記母材１を
挟んでバーナ３と相対向する排気管である。

【００２１】上記出発材２はその両端がそれぞれ把持手
段５により把持され、この両把持手段５，５は出発材２
を把持してその軸Ｘ回りに回転させながら軸Ｘ方向（同
図の左右方向）に往復移動可能に基台（図示省略）上に
配設されている。また、上記母材１を含む出発材２と、
バーナ３及び排気管４の各先端部とが反応容器（図示省
略）内に収容されている。

【００２２】上記バーナ３は、原料ガス、可燃ガス、助
燃ガス及びシールガスが供給されこれらのガスを先端か
ら噴出させて上記原料ガス中の原料を酸水素火炎中で加
水分解させることによりガラス微粒子を上記出発材２に
対し順次堆積させるものである。上記バーナ３を詳細に
説明すると、図２及び図３に示すように中心位置に配置
されて原料ガス及び添加ガスの混合ガスが噴出される第
１原料ガス噴出口３１と、この第１原料ガス噴出口３１
の外周側位置に同心状に配置されて同じく原料ガス及び
添加ガスの混合ガスが噴出される環状の第２原料ガス噴
出口３２と、この第２原料ガス噴出口の外周側位置に同
心状に配置されてシールガスが噴出される環状のシール
ガス噴射口３３とを備えている。さらに、上記バーナ３
は、そのシールガス噴射口３３の外周側位置に径方向に
広幅にされて可燃ガスが噴出される可燃ガス噴射口３４
と、この可燃ガス噴射口３４の空間内にそれぞれ周方向
に等間隔でかつ径方向に２列に互いに千鳥状に配置され
た多数の細管により構成されて助燃ガスが噴出される第
１助燃ガス噴射口３５と、上記可燃ガス噴射口３４の外
周側位置に同心状に配置されて同じく助燃ガスが噴出さ
れる環状の第２助燃ガス噴射口３６を備えている。

【００２３】上記原料ガスとしてはＳｉＣｌ₄等のケイ
素化合物が用いられる。また、上記シールガスとしては
Ａｒ、可燃ガスとしてはＨ₂、上記助燃ガスとしてはＯ₂
がそれぞれ用いられる。この場合、酸水素火炎中で上記
原料ガスが加水分解され（ＳｉＣｌ₄＋２Ｈ₂Ｏ→ＳｉＯ
₂＋４ＨＣｌ）、ＳｉＯ₂のガラス微粒子がターゲット
（出発材２及び母材１）に対し堆積されることになる。

【００２４】上記バーナ３には、このバーナ３に対し少
なくとも上記原料ガス及び添加ガスを供給する図示省略
の供給装置が接続されており、この供給装置には上記原
料ガス及び添加ガスのそれぞれについて、また、第１及
び第２の両原料ガス噴出口３１，３２のそれぞれにつて
いの流量調整手段（例えばマスフローコントローラ）が
設けられている。そして、この４つの流量調整手段が図
示省略の流量制御手段からの制御信号により作動制御さ
れて上記第１及び第２の両原料ガス噴出口３１，３２に
対しそれぞれ堆積過程に応じた後述の流量制御特性に基
づいた所定流量の原料ガスと所定流量の添加ガスとが供
給されるようになっている。

【００２５】図４は上記の第１及び第２の両原料ガス噴
出口からそれぞれ噴出させる原料ガスと添加ガスとの各
噴出量（流量）についての堆積初期から堆積終期までの
制御特性を示している。ここで、堆積初期とは母材１の
径（以下、母材径という）が出発材２の外径（図４では
２５ｍｍ）である時点、つまり、母材１の堆積厚が０ｍ
ｍの堆積開始時点をいい、堆積終期とは母材径が最大径
（図４では２００ｍｍ）にまで堆積された時点をいい、
堆積中期とは上記の堆積初期と堆積終期との中間時点を
いうものである。

【００２６】上記の図４を参照しながらまず原料ガスの
流量制御特性について説明すると、堆積初期（堆積開始
時）においては第１原料ガス噴出口３１からの原料ガス
の流量Ｑ1を大値に、第２原料ガス噴出口３２からの原
料ガスの流量Ｑ2を小値にそれぞれ設定し、堆積初期か
ら堆積中期までの間、上記流量Ｑ1を徐々に低減させる
一方、上記流量Ｑ2を徐々に増大させて堆積中期におい
て上記両流量Ｑ1，Ｑ2が互いに等しくなるようにする。
そして、堆積中期から堆積終期までの間、上記流量Ｑ1
をさらに徐々に低減させる一方、上記流量Ｑ2をさらに
徐々に増大させるようにして、堆積終期においては上記
の両流量Ｑ1，Ｑ2との大小関係が堆積初期とは逆転し、
第２原料ガス噴出口の堆積終期での流量Ｑ2が第１原料
ガス噴出口の堆積初期での流量Ｑ1と等しく、第１原料
ガス噴出口の堆積終期での流量Ｑ1が第２原料ガス噴出
口の堆積初期での流量Ｑ2と等しくなる。すなわち、堆
積初期から堆積終期に至るまで両流量Ｑ1，Ｑ2は個別の
流量値はそれぞれ変化するものの両流量Ｑ1とＱ2との和
は常に比較的大量の流量に設定された一定値になるよう
にしている。

【００２７】一方、上記各原料ガスに添加される添加ガ
スの流量制御特性について説明すると、堆積初期（堆積
開始時）においては第１原料ガス噴出口３１からの添加
ガスの流量Ｗ1として堆積初期の原料ガスの流量Ｑ1とＱ
2との中間値よりもやや小さい値に設定し、この設定値
から堆積終期に至るまでわずかずつ連続的に低減させ
る。これに対し、第２原料ガス噴出口３２からの添加ガ
スの流量Ｗ2として堆積初期においては上記の堆積初期
の原料ガスの流量Ｑ1よりもかなり大量の値に設定し、
この設定値から堆積終期に至るまで急勾配の傾きで連続
的に大きく低減させ、堆積終期においてはその堆積終期
の原料ガスの流量Ｑ1よりも小さくほぼゼロ値に近い値
にまで低減させる。つまり、第２原料ガス噴出口３２か
らの添加ガスの流量Ｗ2を原料ガスの流量Ｑ2の増加割合
を上回る低減割合で低減させ、結果として外周側に配置
された第２原料ガス噴出口３２からの噴出量の合計値が
堆積初期から堆積終期に至るまで連続的に低減するよう
に制御している。これにより、図５に示すように第２原
料ガス噴出口３２からの原料ガスと添加ガスとの混合ガ
スの流速が堆積初期から堆積終期に至るまで連続的に低
減するようにしている。

【００２８】加えて、上記の第１及び第２の両原料ガス
噴出口３１，３２からの噴出量の各合計値が堆積初期か
ら堆積終期に至るまで共に連続的に低減し、かつ、外周
側の第２原料ガス噴出口３１からの噴出量の合計値が中
心側の第１原料ガス噴出口３１からの噴出量の合計値に
ほぼ等しいか、若しくは、中心側の第１原料ガス噴出口
３１からの噴出量の合計値よりも常に多くなるように制
御することが好ましい。

【００２９】以上の流量制御により、堆積初期には図６
に示すように第１及び第２の両原料ガス噴出口３１，３
２からの大量の混合ガスの噴出によりバーナ３（図示省
略）からの火炎８が堆積開始時の出発材２に対しかなり
速い流速で放射され、これにより、上記火炎８の広がり
が母材の最小径に相当する細径の出発材２に対応して中
心側に収束されることになる。しかも、その収束された
火炎８内の原料ガスが外周側の第２原料ガス噴出口３２
よりも中心側の第１原料ガス噴出口３１から噴出する量
（Ｑ1）の方が多く設定されて中心側の方が原料濃度が
高くなっているため、加水分解により生じるガラス微粒
子８１が中心側に多く存在した状態で上記出発材２に対
し吹き付けられることになる。これにより、ガラス微粒
子を小径の出発材２に対し効率よく付着されて堆積速度
の増大が図られることになる。

【００３０】そして、上記のガラス微粒子の堆積により
出発材２の周囲に母材１が形成され、その母材１が図７
に示すように徐々に太径化すると、その母材１の太径化
（堆積過程）が進行に従い上記両原料ガス噴出口３１，
３２からの混合ガスの噴出量が低減されて火炎８全体の
流速が低減される。これにより、火炎８が太径の母材１
の外表面に沿ってより回り込み易くなる。その上に、上
記火炎８内の外周側の原料ガスの流量（Ｑ2）の方が中
心側の原料ガスの流量（Ｑ1）よりも多くなるため、上
記火炎８内の原料濃度が外周側の方が高くなって加水分
解により生じるガラス微粒子８１の量が外周側の方が多
くなる。このため、太径の母材１の外表面に沿ってより
多くのガラス微粒子が回り込むようになり、より多くの
ガラス微粒子が母材１に対し付着して堆積速度の増大が
図られることになる。

【００３１】以上の結果、より大口径の光ファイバ多孔
質母材１をより短時間で製造することが可能になる。

【００３２】＜他の実施形態＞なお、本発明は上記実施
形態に限定されるものではなく、その他種々の実施形態
を包含するものである。すなわち、上記実施形態では、
第１及び第２の両原料ガス噴出口３１，３２から共に原
料ガスと添加ガスとの混合ガスを噴出させるようにして
いるが、これに限らず、例えば上記の両原料ガス噴出口
３１，３２のいずれか一方のみ上記の混合ガスを噴出さ
せ、他方は原料ガスのみを噴出させるようにしてもよ
い。また、上記の両原料ガス噴出口３１，３２から共に
原料ガスのみを噴出させるようにしてもよい。これらの
場合においても、第１及び第２の各原料ガス噴出口３
１，３２から噴出させる原料ガスの流量制御を上記実施
形態と同様の特性により行えばよい。すなわち、両原料
ガス噴出口３１，３２から共に原料ガスのみを噴出させ
る場合には、図８に示すように堆積初期においては第１
原料ガス噴出口３１からの原料ガスの流量Ｑ1を大に、
第２原料ガス噴出口３２からの原料ガスの流量Ｑ2を小
にそれぞれ設定し、堆積初期から堆積中期までの間、上
記流量Ｑ1を徐々に低減させる一方、上記流量Ｑ2を徐々
に増大させて堆積中期において上記両流量Ｑ1，Ｑ2が互
いに等しくなるようにする。そして、堆積中期から堆積
終期までの間、上記流量Ｑ1をさらに徐々に低減させる
一方、上記流量Ｑ2をさらに徐々に増大させるようにし
て、堆積終期においては上記の両流量Ｑ1，Ｑ2との大小
関係が上記堆積初期とは逆転し、第２原料ガス噴出口の
堆積終期での流量Ｑ2が第１原料ガス噴出口の堆積初期
での流量Ｑ1と等しく、第１原料ガス噴出口の堆積終期
での流量Ｑ1が第２原料ガス噴出口の堆積初期での流量
Ｑ2と等しくなるようにする。すなわち、堆積初期から
堆積終期に至るまで第１及び第２の各原料ガス噴出口３
１，３２からの原料ガスの噴出量は互いに逆傾向で共に
連続的に変化させるものの、両原料ガス噴出口３１，３
２からの両原料ガスの合計値は堆積初期から堆積終期ま
で常に一定になるようにするのが好ましい。

【００３３】また、本発明に用いるバーナとしては、上
記実施形態におけるバーナ３に限らず、中心位置に配置
された第１原料ガス噴出口３１と、その外周側に配置さ
れた第２原料ガス噴出口３２とを有するものであれば、
他の形態のバーナも用いることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を適用する母材製造装置の概
要を示す平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線における拡大断面説明図であ
る。

【図３】図２のＢ−Ｂ線における一部省略断面説明図で
ある。

【図４】母材外径とガス流量との関係図である。

【図５】母材外径と第２原料ガス噴出口から噴出される
混合ガスの流速との関係図である。

【図６】堆積初期における火炎の状態を示す断面説明図
である。

【図７】堆積終期に近付いた段階の火炎の状態を示す図
６対応図である。

【図８】母材外径と原料ガス流量との関係図である。

【図９】母材外径と堆積収率との関係図である。

【符号の説明】

１母材（光ファイバ母材）２出発材３バーナ３１第１原料ガス噴出口３２第２原料ガス噴出口

フロントページの続き (72)発明者下山義夫兵庫県伊丹市池尻４丁目３番地三菱電線工業株式会社伊丹製作所内Ｆターム(参考） 4G021 EA03 EB13 EB26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】バーナの中心位置に設けられた第１原料
ガス噴出口から原料ガスを出発材に向けて噴出させると
同時に、上記第１原料ガス噴出口の周囲を囲むように設
けられた第２原料ガス噴出口からも原料ガスを上記出発
材に向けて噴出させ、これら原料ガスの酸水素火炎中で
の加水分解反応により生じたガラス微粒子を上記出発材
に堆積させて光ファイバ母材を製造する光ファイバ母材
の製造方法であって、上記出発材に対する光ファイバ母材の堆積過程の堆積初
期において第１原料ガス噴出口からの噴出量を第２原料
ガス噴出口からの噴出量よりも大となるように設定し、堆積初期から堆積中期までの間、上記第１原料ガス噴出
口からの噴出量を徐々に低減させる一方、上記第２原料
ガス噴出口からの噴出量を徐々に増大させ、堆積中期において上記第１及び第２の各原料ガス噴出口
からの両噴出量を互いに等しくなるようにし、堆積中期から堆積終期までの間、上記第１原料ガス噴出
口からの噴出量をさらに徐々に低減させる一方、上記第
２原料ガス噴出口からの噴出量をさらに徐々に増大させ
るようにすることを特徴とする光ファイバ母材の製造方
法。
【請求項２】請求項１において、第１及び第２の各原料ガス噴出口からの両原料ガス噴出
量の合計が堆積初期から堆積終期に至るまで常に一定量
となるように制御することを特徴とする光ファイバ母材
の製造方法。
【請求項３】請求項１または請求項２において、第１原料ガス噴出口から原料ガスと添加ガスとの混合ガ
スを噴出させる一方、第２原料ガス噴出口からも原料ガ
スと添加ガスとの混合ガスを噴出させるようにし、堆積初期から堆積終期に至るまで、第１及び第２の各原
料ガス噴出口からの混合ガスの両噴出量が共に徐々に低
減しかつ第１原料ガス噴出口から噴出する混合ガスの噴
出量が第２原料ガス噴出口から噴出する混合ガスの噴出
量よりも徐々に少なくなるように、上記第１及び第２の
各原料ガス噴出口から噴出させる添加ガスの添加量をそ
れぞれ変更するようにすることを特徴とする光ファイバ
母材の製造方法。