JP2000186925A - 移動台の姿勢誤差に起因する誤差を除去した測長装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 直角２方向に移動する移動台のＹ方向の
移動量を複数の検出手段で検出し、Ｙ座標値に生ずる姿
勢誤差の影響を除いた測長装置において、Ｘ軸を決定す
る時に発生した移動台の姿勢誤差に起因して座標系に生
ずる直角度誤差を排除した高精度な測長装置を提供する
ことにある。 【解決手段】少なくとも直角２方向に移動する移動台を
有し、該移動台の所定の１方向における位置を求める第
１及び第２の位置検出手段を前記移動台の前記移動方向
と直角方向に所定距離離れた位置に夫々備えると共に、
前記移動台の他の１方向における位置を求める第３の位
置検出手段を更に備え、前記第１及び第２の位置検出手
段の夫々の検出値と、前記第３の位置検出手段の検出値
とに基づいて前記移動台の観察位置における前記所定方
向の位置を求める演算手段を有する測長装置において、
前記演算手段は、前記移動台の前記所定方向の位置の基
準位置を、所定の位置近傍の所定の範囲において前記第
１及び第２の位置検出手段が検出した夫々複数の検出値
に基づいて求めることを特徴とする測長装置とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも直角２
方向に移動する移動台を有する測長装置において、移動
台の基準位置について移動台の姿勢誤差に起因する誤差
を除去した測長装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】直角２方向に移動自在な移動台と該移動
台の前記直角２方向における位置を検出する位置検出手
段を有するステージ装置は、例えば顕微鏡や投影検査器
の載物台部として用いられ、前記位置検出手段によっ
て、顕微鏡や投影検査器の対物レンズで観察している位
置、即ち観察位置の２次元座標値を求める。前記２次元
座標値に基づいて、前記ステージ装置に載置された被検
物の寸法が求められる。

【０００３】任意の観察位置の２次元座標値は、前記移
動台が所定の位置にある時の観察位置を原点とし、前記
直角２方向を座標軸方向とする座標における座標値とし
て決定される。さて、前記ステージ装置の移動台をヨー
イング、ピッチング、ローリング等の姿勢誤差なく、完
全に真直に移動させることは困難である。従って、前記
被検物が観察される位置、即ち前記対物レンズの位置と
前記位置検出手段との位置関係がアッベの条件を満足し
ていないとき、換言すれば前記対物レンズと前記位置検
出手段の検出方向とが移動台の測定すべき移動方向にお
いて一直線上にないときには、測長結果はアッベの１次
誤差を含んだものとなる。

【０００４】特に、載物台の直角２方向のうちの一方向
（以下、Ｙ方向と言うことがある）への移動機構が他方
向（以下、Ｘ方向と言うことがある）への移動機構上に
設けられ、Ｙ方向への移動機構全体がＸ方向に移動する
構成のステージ装置においては、Ｘ方向における前記位
置検出手段から前記対物レンズまでの距離が変化するの
で前記距離が大きくなる場合があることを排除できず、
結果的に大きな誤差を生じ易い。

【０００５】前記アッベの１次誤差を除去するために、
前記Ｙ方向の位置を検出する位置検出手段をＸ方向に所
定の距離隔てた２カ所に備え、前記２つの位置検出手段
が夫々検出した値Ｙ１、Ｙ２と、その時の前記Ｘ方向に
おける前記位置検出手段から前記対物レンズまでの距離
とに基づく内挿又は外挿演算によって、前記観察位置に
対する値を求める測長機が知られている（特公昭５０−
２３３０４）。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前記アッベの１次誤差
を除去した装置では、前記Ｘ方向の座標軸、即ちＸ軸
を、移動台が所定の基準位置にあるときの前記２つの位
置検出手段の検出値Ｙ１、Ｙ２に基づいて、前記２つの
位置検出手段がＹ１、Ｙ２を検出した前記位置検出手段
の位置を結ぶ直線として決定している。この為、前記Ｘ
軸を決定する時に移動台に姿勢誤差が発生していると、
前記決定したＸ軸は本来のＸ軸に対して傾いたものとな
り、直角度誤差を有する座標系が設定されてしまう。そ
の結果、任意の観察位置を示す座標値もこの座標系の直
角度誤差を含む値となるという問題があった。その詳細
は、発明の実施の形態の説明の中で説明する。

【０００７】本発明の目的は、上記アッベの１次誤差を
除去した装置における前記直角度誤差を排除した高精度
な測長装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成する本発
明装置は、少なくとも直角２方向に移動する移動台を有
し、該移動台の所定の１方向における位置を求める第１
及び第２の位置検出手段を前記移動台の前記移動方向と
直角方向に所定距離離れた位置に夫々備えると共に、前
記移動台の他の１方向における位置を求める第３の位置
検出手段を更に備え、前記第１及び第２の位置検出手段
の夫々の検出値と、前記第３の位置検出手段の検出値と
に基づいて前記移動台の観察位置における前記所定方向
の位置を求める演算手段を有する測長装置において、前
記演算手段は、前記移動台の前記所定方向の位置の基準
位置を、所定の位置近傍の所定の範囲において前記第１
及び第２の位置検出手段が検出した夫々複数の検出値に
基づいて求めることを特徴とする測長装置である。

【０００９】上記装置において前記基準位置は、前記第
１及び／又は第２の位置検出手段に設けられた基準点信
号生成手段によって基準点信号が生成される位置とする
ことができる。上記装置において、前記第１及び第２の
位置検出手段が検出した夫々複数の検出値は、前記第１
及び第２の位置検出手段の検出値を１対とする複数組の
検出値であり、前記基準位置は、前記各対の検出値の差
の平均値に基づいて求めることが好ましい。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を説
明するが、本発明の技術的範囲はこれによって限定され
るものではない。図１は、本発明の１実施の形態例とし
てのステージ装置を備えた測定装置の斜視図である。測
定装置１００は載置された図示しない被検物を水平面内
で直角２方向に移動させるステージ装置１０と、前記被
検物を光学的に観察する観察部１２とを備える。観察部
１２は、その光学系の光軸上に位置する被検物を観察す
る。ステージ装置１０は観察中の被検物の前記光軸上の
点、即ち測定点の位置を求める位置検出手段としてリニ
アエンコーダ及びカウンタを備え、該求めた位置に基づ
いて被検物の寸法が求められる。

【００１１】図２は前記ステージ装置１０である。この
図を用いてステージ装置１０について詳説する。ステー
ジ装置１０の下板１０Ｘは測定装置１０の基台１０Ａ
（図１も参照）に支持・案内され左右方向（Ｘ方向）に
移動自在である。ステージ装置１０の上板１０Ｙは下板
１０Ｘに支持・案内され前後方向（Ｙ方向）に移動自在
である。従って上板１０ＹはＸ、Ｙ方向に移動自在であ
る。

【００１２】下板１０Ｘと基台１０Ａとの間には図示し
ないリニアエンコーダ（以下、リニアエンコーダＸと言
う）が設けられ、下板１０Ｘの移動信号を検出し、該移
動信号を受けたカウンタが下板１０ＸのＸ方向の位置を
表す座標値を求める。下板１０Ｘと上板１０Ｙとの間に
はリニアエンコーダ２２、２４が設けられている。リニ
アエンコーダ２２は上板１０Ｙの左端面に、リニアエン
コーダ２４は右端面に、互いに距離Ｗ隔てて配置され、
それぞれのリニアエンコーダ２２、２４は上板１０Ｙの
左右両端面の移動量を検出する。そして、リニアエンコ
ーダ２２、２４から移動信号を受けたカウンタが上板の
Ｙ方向の位置を表す座標値を求める。

【００１３】上板１０Ｙは下板１０Ｘと共にＸ方向にも
移動するから、前記カウンタは上板１０Ｙの２次元的位
置を２次元座標値として検出する。この２次元座標値は
前記測定点の２次元座標を示すものである。なお、前記
２次元座標値は、リニアエンコーダＸの所定の位置、及
びリニアエンコーダ２２、２４の一方の所定の位置にそ
れぞれ設けられた基準位置信号生成手段の位置を基準と
している。

【００１４】前記カウンタは後述する処理部３０に設け
られている。前記カウンタの詳細については後述する。
図３は、リニアエンコーダＸ、リニアエンコーダ２２、
２４の移動信号に基づいて前記測定点の位置を求める処
理部３０の構成の概要を示す図である。処理部３０は前
述したカウンタ２１を有する。前記カウンタ２１はリニ
アエンコーダＸの信号Ｌｘを受けるカウンタ２１Ａと、
リニアエンコーダ２２の信号Ｌｙ１を受けるカウンタ２
１Ｂと、リニアエンコーダ２４の信号Ｌｙ２を受けるカ
ウンタ２１Ｃとで構成される。

【００１５】カウンタ２１Ａは、リニアエンコーダＸの
検出範囲の所定の位置、例えば左端に設けられた基準位
置信号発生手段からの基準位置信号によってゼロリセッ
トされ、その位置を基準とする測定点のＸ座標値を求め
る。以上説明した内容は、従来のステージ装置も同様で
ある。さて、従来のステージ装置においては、カウンタ
２１Ｂ、２１Ｃは、リニアエンコーダ２２又は２４の基
準位置信号発生手段からの基準位置信号Ｒｅｆによって
同時にゼロリセットされ、その位置を基準とする測定点
のＹ座標値を求めていた。つまり、カウンタ２１Ｂ、２
１Ｃが求める測定点のＹ座標値は、前記基準位置信号の
生成位置を基準とする座標値であり、両者の値は本来的
には常に一致するものである。

【００１６】しかし、リニアエンコーダ２２と２４とが
検出する移動量は、上板１０Ｙの移動に伴う姿勢誤差
（ヨーイング）のためにわずかに異なる値となることが
ある。即ち、１つの測定点に対して２種類のＹ座標値Ｙ
１、Ｙ２が求められる。そこで、前記姿勢誤差の影響を
除去したＹ座標値を求めるために、処理部３０で前記特
許公告公報に記載の技術である、以下の処理を行ってい
た。即ち、各カウンタ２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃが求めた
座標値Ｘ、Ｙ１、Ｙ２をそれぞれ演算手段３２に入力
し、演算手段３２で前記入力された座標値Ｘ、Ｙ１、Ｙ
２に基づいて、 Ｙ＝Ｙ１＋Ｘ＊（Ｙ２−Ｙ１）／Ｗ …式１ を演算して上板１０Ｙの観察位置におけるＹ方向の位置
を表す座標値を求めていた。

【００１７】図４は、式１による観察位置のＹ座標値の
算出原理を説明する図である。同図においてＲｅｆＡ、
ＲｅｆＢは基準位置信号Ｒｅｆが検出されたときのリニ
アエンコーダ２２、２４の検出位置（以下、リセット位
置という）である。Ｏｂは観察装置１２の観察位置であ
る。その他の構成等は図２及び式１と符号を一致させて
説明は省略する。そして、式１で求めたＹ座標値と前記
Ｘ座標値とによって前記観察位置Ｏｂの２次元座標
（Ｘ、Ｙ）が表される。この２次元座標値はヨーイング
に起因する誤差が除かれたものである。

【００１８】なお、各カウンタ２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ
は、ステージ装置の電源がＯＮされたときに同時にゼロ
リセットされるので、前記基準位置信号に基づくゼロリ
セットをしない場合であっても上記と同様となる。しか
しながら、前述のように、式１の処理によってもまだ除
去できない姿勢誤差に起因する誤差が存在する。即ち、
式１からわかるように、カウンタ２１Ｂ、２１Ｃの値Ｙ
１、Ｙ２が等しい位置を結んだ直線上においては、Ｘの
値に関わらず前記式１で求めたＹの値は一定である。換
言すれば前記直線はＸ軸に平行な直線であり、前記Ｙの
値が「０」の直線、即ちリセット位置ＲｅｆＡ、Ｒｅｆ
Ｂを結んだ直線はＸ軸である。そして、基準位置信号Ｒ
ｅｆが入力されたとき、ヨーイングが発生していなけれ
ば前記直線は下板１０Ｘの移動方向と平行である。

【００１９】ところが、上板１０Ｙは基準位置信号Ｒｅ
ｆが入力される位置においてもヨーイングをもって移動
する。これが前記式１によっても除去しきれない誤差の
原因である。図５は基準位置信号Ｒｅｆが入力される位
置においてヨーイングが発生したときのリニアエンコー
ダ２２、２４の検出位置を説明する図である。同図にお
いて、基準位置信号Ｒｅｆが入力されたとき、角Δのヨ
ーイングが発生すると、前記基準位置信号Ｒｅｆによる
リニアエンコーダ２４のリセット位置ＲｅｆＢはＲｅｆ
Ｂ’となる。その結果、基準位置信号Ｒｅｆによるリニ
アエンコーダ２２、２４のリセット位置ＲｅｆＡとＲｅ
ｆＢ’とを結ぶ直線Ｌ１は、ヨーイングが発生していな
い場合のリセット位置ＲｅｆＡとＲｅｆＢとを結ぶ直線
Ｌ２に対して角Δをなす。つまり、基準位置信号Ｒｅｆ
が入力されたとき角Δのヨーイングが発生すると、Ｘ軸
の方向が左右の移動方向に対して角Δだけ傾き、直角度
誤差Δを有する２次元座標系が設定されてしまう。その
結果、図５に示したように、Ｘ座標値がｘである任意点
の座標値（Ｘ、Ｙ）のＹ座標値Ｙは (Δ*ｘ)の誤差を含
むものとなる。

【００２０】以下、本発明において、この誤差を除去す
るために式１の処理に加えて行う処理の詳細を説明す
る。なお、本発明においては、リニアエンコーダ２２ま
たは２４からの基準位置信号Ｒｅｆは図３に示したよう
に処理部３０の演算手段３２に入力される。前記上板１
０Ｙのヨーイングは、その発生状況の観察からヨーイン
グ誤差＝０を中心としてほぼ正規分布することが知られ
ている。そこで、基準信号Ｒｅｆの生成位置の付近の所
定の範囲におけるリニアエンコーダ２２、２４のそれぞ
れ複数の検出値ｙ１１〜ｙ１ｎ（カウンタ２１Ｂの
値）、ｙ２１〜ｙ２ｎ（カウンタ２１Ｃの値）の差ｙ１
ｎ−ｙ２ｎの平均値ｙを求め、カウンタ２１Ｃの値に−
ｙを加算する。即ち、（現在の値−ｙ）にプリセットす
る。これによって基準位置信号Ｒｅｆが生成された位置
におけるカウンタ２１Ｂの値とカウンタ２１Ｃの値とが
平均的に一致する。なお、ｙの期待値は０である。

【００２１】なお、前記−ｙの加算に際し、基準位置信
号Ｒｅｆが生成された位置におけるカウンタ２１Ｂおよ
びカウンタ２１Ｃの値が０になるようにプリセットする
ことが好ましい。その結果、カウンタ２１Ｂが「０」と
なる位置と２１Ｃが「０」となる位置とを結ぶ直線、即
ちＸ軸は図５のＲｅｆＡとＲｅｆＢとを結ぶ直線とな
る。ｙの期待値は０であるから前記直線（Ｘ軸）は左右
の移動方向と平行になると期待される。

【００２２】したがって、これ以降、前記プリセット値
を含むカウンタ２１Ｂ、２１Ｃの値を式１の演算に用い
れば、求めた測定点のＹ座標値は前記座標系の直角度誤
差も除去された値となる。前記プリセットに用いられ
る、前記検出値の差の平均値ｙを求める処理は第１の処
理と第２の処理とからなり、演算手段３２によって行わ
れる。

【００２３】前記第１の処理において、演算手段３２
は、リニアエンコーダ２２または２４の基準位置検出手
段が設けられた側のリニアエンコーダに対応するカウン
タの値が所定量変化する毎にカウンタ２１Ｂ及び２１Ｃ
の値ｙ１、ｙ２を読み込んで両者の差ｙ１−ｙ２を求
め、該差の値を最新の値から過去の所定の数量、ｎ個を
記憶する。演算手段３２はカウンタ２１Ｂ、２１Ｃから
最新の差の値を求めると、最も古い記憶値を放棄し、最
新の値を記憶に加える。前記第１の処理は、ステージ装
置の電源がＯＮされ、カウンタ２１Ａ〜２１Ｃが夫々ゼ
ロリセットされたときに開始される。

【００２４】前記第２の処理は、外部からの割り込み信
号によって起動され、該割り込み信号以降に記憶した前
記差ｙ１−ｙ２の数、ｍを計数し、ｍ＝ｎ／２となった
ときに、記憶しているｎ個の差ｙ１−ｙ２の平均値ｙを
求め、該平均値ｙを出力する。ｎが奇数の時、ｍの端数
は切り捨て又は切り上げとする。演算処理手段３２は、
更に、第３の処理として前記座標系の直角度誤差に起因
する誤差を除去するための処理、即ち前記プリセット及
び測定点における姿勢誤差に起因する誤差を除去するた
めの処理を行う。図６は、演算手段３２による第３処理
の手順を説明するフローチャートである。

【００２５】ステージ装置の電源がＯＮされ、第１の処
理が開始されると演算手段３２は、リニアエンコーダか
らの基準位置信号Ｒｅｆが既に検出済みであるか否かを
判断し（Ｓ１１）、検出済みであればＳ２１以降の測定
点における姿勢誤差に起因する誤差を除去するための処
理に進む。未検出であればＳ１２に進み、基準位置信号
Ｒｅｆの検出を待つ（Ｓ１２）。

【００２６】ステージ装置の電源ＯＮ直後は基準位置信
号Ｒｅｆは未検出であるから、まずはＳ１２に進む。そ
して、基準位置信号Ｒｅｆが検出されたならばＳ１３に
進む。Ｓ１３では、基準位置信号Ｒｅｆが検出されたと
きのカウンタ２１Ｂ、２１Ｃの値ｙ１ｒｅｆ、ｙ２ｒｅ
ｆを記憶し、Ｓ１４に進む。Ｓ１４では、第２の処理に
対して平均値の算出及び出力を行わせる割り込み信号を
出力し、第２の処理から出力される前記平均値ｙを受け
取る。そしてＳ１５に進む。

【００２７】Ｓ１５では、現在のカウンタ２１Ｂ、カウ
ンタ２１Ｃの値ｙ１、ｙ２を夫々ｙ１−ｙ１ｒｅｆ、ｙ
２−ｙ２ｒｅｆ−ｙにプリセットしてＳ１１に戻る。Ｓ
１５の処理によって、姿勢誤差が発生していない状態で
基準位置信号Ｒｅｆが生成されたときの、リニアエンコ
ーダ２２及び２４の検出位置ＲｅｆＡ、ＲｅｆＢに対応
するカウンタ２１Ｂ、２１Ｃの値は共に０となる。

【００２８】Ｓ１５から戻ったＳ１１では、基準位置信
号Ｒｅｆは検出済みであるからＳ２１に進み、カウンタ
２１ＡからＸを、カウンタ２１Ｂ、２１ＣからＹ１、Ｙ
２を読み込む（Ｓ２１）。読み込んだＹ１、Ｙ２は前記
プリセット値を含む値である。そして、これらの値を前
記式１に適用して、観察位置におけるＹ座標値を算出す
る（Ｓ２２）。そして、２次元座標値（Ｘ、Ｙ）を、例
えば座標表示部や外部の装置に出力し（Ｓ２３）、Ｓ２
１に戻る。

【００２９】上記処理中に求めた差の平均ｙを記憶して
おき、次回以降のステージ装置使用開始時にはこの値を
用いることができる。第１、第２の処理をステージ装置
を初めて使用する時だけとすることができるので、日常
の装置の立ち上げ時間が短縮される。次に、前記検出値
の差の平均ｙを求める処理に用いる差（ｙ１−ｙ２）の
数についてｔ−検定を用いて検討する。基準位置信号Ｒ
ｅｆが検出されたときのリニアエンコーダ２２、２４そ
れぞれの検出位置の差（ｙ１−ｙ２）を求めることをｎ
回実行した時のｎ個の差（ｙ１−ｙ２）の平均値Ｄは、
Δ＝０の時を基準とすると、式２である。

【００３０】 Ｄ ＝Σ（ｙ１−ｙ２）ｋ／ｎ …式２ 但し、ｋはｎ個の差（ｙ１−ｙ２）の夫々を識別する添
え字で、１〜ｎ。ここで、ｎ個の差（ｙ１−ｙ２）のバ
ラツキの巾が２σで１μｍ（σは前記バラツキの標準偏
差）、要求される基準位置の再現性を０．０１μｍとす
ると、前記平均値Ｄの分布はｔ−分布となり、そのバラ
ツキの標準偏差σ（Ｄ）は式３である。

【００３１】 σ（Ｄ）＝σ／√ｎ＝０．５／√ｎ …式３ ｔ−分布の９５％信頼値ｔは式４である。 ±ｔ＝ｔ０．０５・σ（Ｄ）＝ｔ０．０５・σ／√ｎ …式４ ｔ０．０５の値は９５％信頼値を与えるｔ分布表の値
で、ｎが無限大の時１．９６である。そこで、ｔ０．０
５＝２とし、ｔを前記要求される基準位置の再現性から
０．０１μｍとして平均化に用いるデータの数ｎを求め
る。

【００３２】 ０．０１＝２・０．５／√ｎ …式５ ｎ＝１０，０００ …式６ 即ち、基準位置信号Ｒｅｆによって検出されるリニアエ
ンコーダ２２、２４それぞれの位置の差（ｙ１−ｙ２）
が、その近傍における上板１０Ｙ移動時のヨーイングに
よって２σ＝１μｍのバラツキがあっても、本発明の演
算部３２によって前記検出位置の近傍１０，０００点の
値を平均化することによって０．０１μｍの再現性を得
ることができる。その結果、前記ヨーイングのためにＸ
座標軸が傾いて設定され、求める２次元座標値に直角度
誤差に起因する誤差が生ずることを防止することができ
る。

【００３３】リニアエンコーダ２２、２４が、共に基準
位置信号発生手段を有する場合、先に検出された基準位
置信号Ｒｅｆ１によって前記説明した処理を行い、後に
検出された基準位置信号Ｒｅｆ２は無効とする。上記説
明の基準位置信号Ｒｅｆの位置は、ステージ装置の電源
がＯＮにされたときの位置に代えても良い。この場合
は、基準位置信号の位置を再現することができないの
で、ステージ装置の使用時毎に演算手段３２の第１の処
理、第２の処理を行う必要がある。

【００３４】なお、本発明は測長装置に限定されるもの
ではなく、対象物を載置して直角２方向に移動すると共
に、該２方向への移動量を検出する移動台を有する装置
全般、例えば所定の１カ所で切削等の各種加工を行う加
工装置や所定の１カ所でマーキングを行うマーキング装
置にも適用することができる。

【００３５】

【発明の効果】アッベの１次誤差を除去した装置におい
て、更に座標軸の直角度誤差が排除され、高精度な測長
装置が実現される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の、位置実施の形態例としたのステージ
装置を備える測定装置の斜視図。

【図２】図１の装置のステージ装置の斜視図。

【図３】処理部の構成の概要を示す図。

【図４】処理部の演算手段による演算の原理を説明する
図。

【図５】直角度誤差発生の様子を説明する図。

【図６】演算手段による演算の手順の流れ図。

【符号の説明】

１０……………ステージ装置 １０Ｘ…………下板 １０Ｙ…………上板 ２１Ａ〜Ｃ……カウンタ ２２、２４……リニアエンコーダ ３２……………演算手段 ３３……………記憶手段

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも直角２方向に移動する移動台
   を有し、該移動台の所定の１方向における位置を求める
   第１及び第２の位置検出手段を前記移動台の前記移動方
   向と直角方向に所定距離離れた位置に夫々備えると共
   に、前記移動台の他の１方向における位置を求める第３
   の位置検出手段を更に備え、前記第１及び第２の位置検
   出手段の夫々の検出値と、前記第３の位置検出手段の検
   出値とに基づいて前記移動台の観察位置における前記所
   定方向の位置を求める演算手段を有する測長装置におい
   て、 前記演算手段は、前記移動台の前記所定方向の位置の基
   準位置を、所定の位置近傍の所定の範囲において前記第
   １及び第２の位置検出手段が検出した夫々複数の検出値
   に基づいて求めることを特徴とする測長装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記所定の位置は、前記第１及び／又は第２の位置検出
   手段に設けられた基準位置信号生成手段によって基準位
   置信号が生成される位置であることを特徴とする測長装
   置。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２において、 前記第１及び第２の位置検出手段が検出した夫々複数の
   検出値は、前記第１及び第２の位置検出手段の検出値を
   １対とする複数組の検出値であり、 前記基準位置は、前記各対の検出値の差の平均値に基づ
   いて求めることを特徴とする測長装置。