JP2000140552A - 共通制御された生成物産出量および生成物圧力を有するｐｓａまたはｖｓａユニット - Google Patents
共通制御された生成物産出量および生成物圧力を有するｐｓａまたはｖｓａユニットInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 PSA又はVSAユニットの下流での余分な産出量
／圧力制御なしに、最適化された比エネルギーを伴って
縮小された運転を可能にするPSA又はVSAユニットの制御
を可能にするプロセスを提供する。 【解決手段】 生成サイクルで運転し、少なくとも１つ
の吸着器を有するガス流を分離するPSAプラントを制御
するためのプロセスである。各生成サイクルは、供給持
続時間(TA)の少なくとも１つの供給工程と、少なくとも
１つの生成工程と、ポンピング持続時間(TP)の少なくと
も１つのポンピング工程とを具備し、生成工程は、前も
って決められた生成物圧力(PP)において前もって決めら
れた公称生成物産出量(DN)をもって製造されるガスの流
れを回収する。TAとTPとは、PSAプラントの下流で、DN
以下の少なくとも１つの実生成物産出量(DR)について、
ほぼ一定の生成物圧力(PP)を維持するために共通して制
御される。
／圧力制御なしに、最適化された比エネルギーを伴って
縮小された運転を可能にするPSA又はVSAユニットの制御
を可能にするプロセスを提供する。 【解決手段】 生成サイクルで運転し、少なくとも１つ
の吸着器を有するガス流を分離するPSAプラントを制御
するためのプロセスである。各生成サイクルは、供給持
続時間(TA)の少なくとも１つの供給工程と、少なくとも
１つの生成工程と、ポンピング持続時間(TP)の少なくと
も１つのポンピング工程とを具備し、生成工程は、前も
って決められた生成物圧力(PP)において前もって決めら
れた公称生成物産出量(DN)をもって製造されるガスの流
れを回収する。TAとTPとは、PSAプラントの下流で、DN
以下の少なくとも１つの実生成物産出量(DR)について、
ほぼ一定の生成物圧力(PP)を維持するために共通して制
御される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス流、特に、空
気のような実質的に酸素と窒素とを含むガス流を分離す
るためのＰＳＡタイプ、より具体的にはＶＳＡタイプの
プロセスに係り、その生成物産出量および生成物圧力が
時間にわたって可変で調節可能なプロセスに関する。
気のような実質的に酸素と窒素とを含むガス流を分離す
るためのＰＳＡタイプ、より具体的にはＶＳＡタイプの
プロセスに係り、その生成物産出量および生成物圧力が
時間にわたって可変で調節可能なプロセスに関する。
【０００２】
【従来の技術】空気中のガス、特に酸素および窒素は、
工業的に、特に製紙およびガラス製造の分野において非
常に重要なものである。
工業的に、特に製紙およびガラス製造の分野において非
常に重要なものである。
【０００３】これらのガスを製造するために用いられる
非低温技術の１つは、“ＰＳＡ”（圧力スイング吸着
（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏ
ｎ）を表す）と称される技術であり、この技術は、厳密
な意味でのＰＳＡプロセスのみならず、ＶＳＡ（真空ス
イング吸着（Ｖａｃｕｕｍ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐ
ｔｉｏｎ））およびＭＰＳＡ（混合圧力スイング吸着
（Ｍｉｘｅｄ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓ
ｏｒｐｔｉｏｎ））プロセスのような同様のプロセスも
含む。
非低温技術の１つは、“ＰＳＡ”（圧力スイング吸着
（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏ
ｎ）を表す）と称される技術であり、この技術は、厳密
な意味でのＰＳＡプロセスのみならず、ＶＳＡ（真空ス
イング吸着（Ｖａｃｕｕｍ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐ
ｔｉｏｎ））およびＭＰＳＡ（混合圧力スイング吸着
（Ｍｉｘｅｄ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓ
ｏｒｐｔｉｏｎ））プロセスのような同様のプロセスも
含む。
【０００４】このＰＳＡ技術によれば、分離されるガス
混合物が空気であり、回収される成分が酸素である場
合、酸素は、少なくとも窒素を優先的に吸着する材料へ
の少なくとも窒素の優先的な吸着によりガス混合物から
分離され、分離領域内で与えられた圧力のサイクルに供
される。
混合物が空気であり、回収される成分が酸素である場
合、酸素は、少なくとも窒素を優先的に吸着する材料へ
の少なくとも窒素の優先的な吸着によりガス混合物から
分離され、分離領域内で与えられた圧力のサイクルに供
される。
【０００５】酸素は、ほとんどまたは全く吸着されない
ものであり、生産物として分離領域から回収され；これ
は一般に、９０％を越える、さらには９３％を越える純
度を有する。
ものであり、生産物として分離領域から回収され；これ
は一般に、９０％を越える、さらには９３％を越える純
度を有する。
【０００６】より一般には、吸着材料に優先的に吸着さ
れる第１の成分と、この第１の成分ほど優先的に吸着材
料に吸着されない第２の成分とを含むガス混合物の非低
温分離のためのＰＳＡプロセスは、第２の成分を生成す
るために、 ・このようにして生成される第２の成分の少なくともい
くらかの回収を伴って、“高圧”と称される吸着圧力
で、吸着材料に少なくとも第１の成分の優先的な吸着の
工程； ・こうして吸着剤に捕捉された第１の成分の、吸着圧力
より低い“低圧”と称される脱着圧力での脱着の工程； ・低圧から高圧に変化させることによる、吸着剤を含む
分離領域の再圧縮の工程 を少なくとも周期的に含む。
れる第１の成分と、この第１の成分ほど優先的に吸着材
料に吸着されない第２の成分とを含むガス混合物の非低
温分離のためのＰＳＡプロセスは、第２の成分を生成す
るために、 ・このようにして生成される第２の成分の少なくともい
くらかの回収を伴って、“高圧”と称される吸着圧力
で、吸着材料に少なくとも第１の成分の優先的な吸着の
工程； ・こうして吸着剤に捕捉された第１の成分の、吸着圧力
より低い“低圧”と称される脱着圧力での脱着の工程； ・低圧から高圧に変化させることによる、吸着剤を含む
分離領域の再圧縮の工程 を少なくとも周期的に含む。
【０００７】しかしながら、空気のようなガス混合物の
分離の効率は、多くのパラメータ、特に高圧、低圧、用
いられる吸着材料のタイプ、および分離される成分につ
いての吸着材料の親和性、分離されるガス混合物の組
成、分離される混合物の吸着温度、吸着剤粒子のサイ
ズ、これらの粒子の組成および吸着剤の床内に設定され
る温度勾配に依存することが知られている。
分離の効率は、多くのパラメータ、特に高圧、低圧、用
いられる吸着材料のタイプ、および分離される成分につ
いての吸着材料の親和性、分離されるガス混合物の組
成、分離される混合物の吸着温度、吸着剤粒子のサイ
ズ、これらの粒子の組成および吸着剤の床内に設定され
る温度勾配に依存することが知られている。
【０００８】現在、ゼオライトはＰＳＡプロセスにおい
て最も広く用いられている吸着剤である。ゼオライト粒
子は、一価、二価および／または三価の金属カチオン、
例えばアルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属およ
び／またはランタノイドのカチオンを一般に含み、これ
らのカチオンは、ゼオライト粒子の合成の間に取り込ま
れる、および／または、イオン交換技術を用いて引き続
いて挿入され、このイオン交換技術は、一般に、ゼオラ
イト構造に取り込まれるカチオンを含む１つ以上の金属
塩の溶液に未交換のまたは原料ゼオライト粒子を接触さ
せ、こうして交換されたゼオライト、すなわち与えられ
た量の金属カチオンを含むゼオライトの粒子を引き続い
て回収することによって行われる。例として、８０％を
越える、さらには９０％を越える金属カチオン、特にリ
チウム、カルシウムおよび／または亜鉛カチオンを含有
する、タイプＸまたはＬＳＸ（低シリカＸ（Ｌｏｗ Ｓ
ｉｌｉｃａ Ｘ））のゼオライトが挙げられる。
て最も広く用いられている吸着剤である。ゼオライト粒
子は、一価、二価および／または三価の金属カチオン、
例えばアルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属およ
び／またはランタノイドのカチオンを一般に含み、これ
らのカチオンは、ゼオライト粒子の合成の間に取り込ま
れる、および／または、イオン交換技術を用いて引き続
いて挿入され、このイオン交換技術は、一般に、ゼオラ
イト構造に取り込まれるカチオンを含む１つ以上の金属
塩の溶液に未交換のまたは原料ゼオライト粒子を接触さ
せ、こうして交換されたゼオライト、すなわち与えられ
た量の金属カチオンを含むゼオライトの粒子を引き続い
て回収することによって行われる。例として、８０％を
越える、さらには９０％を越える金属カチオン、特にリ
チウム、カルシウムおよび／または亜鉛カチオンを含有
する、タイプＸまたはＬＳＸ（低シリカＸ（Ｌｏｗ Ｓ
ｉｌｉｃａ Ｘ））のゼオライトが挙げられる。
【０００９】そのようなゼオライトは、特に、ＥＰ−Ａ
−４８６，３８４、ＥＰ−Ａ−６０６，８４８、ＥＰ−
Ａ−５８９，３９１、ＥＰ−Ａ−５８９，４０６、ＥＰ
−Ａ−５４８，７５５、ＥＰ−Ａ−１０９，０６３およ
びＥＰ−Ａ−７６０，２４８に記載されている。
−４８６，３８４、ＥＰ−Ａ−６０６，８４８、ＥＰ−
Ａ−５８９，３９１、ＥＰ−Ａ−５８９，４０６、ＥＰ
−Ａ−５４８，７５５、ＥＰ−Ａ−１０９，０６３およ
びＥＰ−Ａ−７６０，２４８に記載されている。
【００１０】しかしながら、ＰＳＡプロセス、特にＶＳ
Ａプロセスを用いたガス製造において頻発する関心事
は、顧客または、例えば燃焼炉のような製造されるガス
を用いた現場に、この顧客またはこのユーザーの現場に
固有の要求および／または必要性に応じた生成物産出量
および生成物圧力の種々の組み合わせを提供すること、
および、標準のＰＳＡ特にＶＳＡによって、装置または
場所に取り付けられたユニットをそのように行うのを可
能にすることである。
Ａプロセスを用いたガス製造において頻発する関心事
は、顧客または、例えば燃焼炉のような製造されるガス
を用いた現場に、この顧客またはこのユーザーの現場に
固有の要求および／または必要性に応じた生成物産出量
および生成物圧力の種々の組み合わせを提供すること、
および、標準のＰＳＡ特にＶＳＡによって、装置または
場所に取り付けられたユニットをそのように行うのを可
能にすることである。
【００１１】言い換えれば、要求における前述の変動に
もかかわらず、工業的な観点から許容し得る性能および
許容し得る製造コストを保証するために、ＰＳＡユニッ
トの選択された公称運転点を越えて、顧客またはユーザ
ーの現場による要求における変動に最適に適合するのを
可能にすることである。
もかかわらず、工業的な観点から許容し得る性能および
許容し得る製造コストを保証するために、ＰＳＡユニッ
トの選択された公称運転点を越えて、顧客またはユーザ
ーの現場による要求における変動に最適に適合するのを
可能にすることである。
【００１２】これを行うために、顧客により望まれる生
成産出量と生成圧力との組み合わせを得るのを可能にす
るように、ＰＳＡまたはＶＳＡユニットを制御すること
は、通常の慣行である。
成産出量と生成圧力との組み合わせを得るのを可能にす
るように、ＰＳＡまたはＶＳＡユニットを制御すること
は、通常の慣行である。
【００１３】ＰＳＡ、特にＶＳＡプロセスの制御に関す
る従来の技術において、かなりの教示が存在し、それ
は、与えられた工業的ユニットにおいて、プロセスの全
体のエネルギー消費量に過度に影響を及ぼさずに、生成
物ガス消費量における変化に応じることを可能にする。
る従来の技術において、かなりの教示が存在し、それ
は、与えられた工業的ユニットにおいて、プロセスの全
体のエネルギー消費量に過度に影響を及ぼさずに、生成
物ガス消費量における変化に応じることを可能にする。
【００１４】したがって、制御の第１の知られているタ
イプは、文献ＥＰ−Ａ−４５８，３５０およびＥＰ−Ａ
−８１９，４６３に特に記載されているように、生成サ
イクルへの不動作時間（ｄｅａｄ ｔｉｍｅ）、これは
一定または可変の持続時間（ｄｕｒａｔｉｏｎ）のもの
である、の導入に基づく。
イプは、文献ＥＰ−Ａ−４５８，３５０およびＥＰ−Ａ
−８１９，４６３に特に記載されているように、生成サ
イクルへの不動作時間（ｄｅａｄ ｔｉｍｅ）、これは
一定または可変の持続時間（ｄｕｒａｔｉｏｎ）のもの
である、の導入に基づく。
【００１５】この不動作時間の間、吸着器は隔離され、
装置は仕込みなしで運転され、意図される目的はそれゆ
え、エネルギー消費量を改善することであり、それは、
この不動作時間が存在しない場合に、消費される産出量
における減少に直接比例して低下するであろう。
装置は仕込みなしで運転され、意図される目的はそれゆ
え、エネルギー消費量を改善することであり、それは、
この不動作時間が存在しない場合に、消費される産出量
における減少に直接比例して低下するであろう。
【００１６】しかしながら、このタイプの制御は、ＰＳ
Ａ、特にＶＳＡユニットの縮小された運転の間、比エネ
ルギーの低下が非常に部分的のみに制限されるのを許す
という結果になる。
Ａ、特にＶＳＡユニットの縮小された運転の間、比エネ
ルギーの低下が非常に部分的のみに制限されるのを許す
という結果になる。
【００１７】さらに、バッチ製造プロセスについて、特
に１つまたは２つの吸着器を有するＶＳＡユニットの場
合、ＶＳＡによる生成物ガス産出量の圧力における必然
的な減少が存在し、それは、ユニットの下流の付加的な
圧縮により相殺されなければならない。
に１つまたは２つの吸着器を有するＶＳＡユニットの場
合、ＶＳＡによる生成物ガス産出量の圧力における必然
的な減少が存在し、それは、ユニットの下流の付加的な
圧縮により相殺されなければならない。
【００１８】言い換えれば、製造容量における圧力変化
量ＤＰは、バッチ製造ユニットについて、例えばＭＰＳ
Ａタイプの場合、次のとおりである：
量ＤＰは、バッチ製造ユニットについて、例えばＭＰＳ
Ａタイプの場合、次のとおりである：
【００１９】
【数１】
【００２０】ここで：ＤＰ0は、公称運転における過度
の圧力の間の差であり；Ｔcはサイクル時間または持続
時間（秒）であり、ｄは製造が起こらない間の時間
（秒）であり；Ｙは縮小運転の不動作時間の持続時間
（秒）である。
の圧力の間の差であり；Ｔcはサイクル時間または持続
時間（秒）であり、ｄは製造が起こらない間の時間
（秒）であり；Ｙは縮小運転の不動作時間の持続時間
（秒）である。
【００２１】言い換えれば、ほとんどの場合、不動作時
間の導入を伴うこのタイプの制御は、完全に一定の作用
を維持するために、特に、生成される酸素の固定された
純度および固定された圧力について、および消費される
産出量にかかわらず、単独では充分でなく、それゆえ第
２の制御がＰＳＡまたはＶＳＡユニットの下流で、例え
ばコンプレッサーにより行われることを仮定する。
間の導入を伴うこのタイプの制御は、完全に一定の作用
を維持するために、特に、生成される酸素の固定された
純度および固定された圧力について、および消費される
産出量にかかわらず、単独では充分でなく、それゆえ第
２の制御がＰＳＡまたはＶＳＡユニットの下流で、例え
ばコンプレッサーにより行われることを仮定する。
【００２２】別の解決策は、ＰＳＡまたはＶＳＡユニッ
トの供給速度を減少させること、すなわち、シーブ床の
吸着段階の間、システムに注入される材料の量を減少さ
せることを含む。
トの供給速度を減少させること、すなわち、シーブ床の
吸着段階の間、システムに注入される材料の量を減少さ
せることを含む。
【００２３】これは、文献ＦＲ ９７／１６０８６また
はＵＳ−Ａ−４，５３９，０１９に記載されているよう
に供給持続時間を修正すること、または文献ＵＳ−Ａ−
５，２５８，０５６に提案されているように吸着器の再
圧縮バルブの隙間を調節することのいずれかによって達
成することができる。
はＵＳ−Ａ−４，５３９，０１９に記載されているよう
に供給持続時間を修正すること、または文献ＵＳ−Ａ−
５，２５８，０５６に提案されているように吸着器の再
圧縮バルブの隙間を調節することのいずれかによって達
成することができる。
【００２４】この解決策は、エネルギー消費量の１つの
点に関して前者のものに、極めて頻繁に好ましいもの
の、ＦＲ９７／１６０８６に記載されているように公称
産出量の８５％まで一定の比エネルギーを、それが維持
することが可能であると仮定すると、ある種の場合に
は、生成物ガスの圧力における強制的な減少に導くとい
う不都合を特に有する。これは、圧力サイクルの高い圧
力が必然的に低められるからである。
点に関して前者のものに、極めて頻繁に好ましいもの
の、ＦＲ９７／１６０８６に記載されているように公称
産出量の８５％まで一定の比エネルギーを、それが維持
することが可能であると仮定すると、ある種の場合に
は、生成物ガスの圧力における強制的な減少に導くとい
う不都合を特に有する。これは、圧力サイクルの高い圧
力が必然的に低められるからである。
【００２５】加えて、第１の制御方法の場合のように、
この第２の解決策は一定の作用を維持するために充分で
はないであろう。これは、縮小された運転、例えば公称
産出量の８５％で、１２，０００Ｐａの製造圧力におけ
る低下に導くことが見出されたためである。
この第２の解決策は一定の作用を維持するために充分で
はないであろう。これは、縮小された運転、例えば公称
産出量の８５％で、１２，０００Ｐａの製造圧力におけ
る低下に導くことが見出されたためである。
【００２６】他の文献は、反対に、サイクルの間にガス
流を修正することによって、低圧を特別に制御すること
を提案している。これに関しては、ＥＰ−Ａ−０，６８
９，８６２を参照されたい。
流を修正することによって、低圧を特別に制御すること
を提案している。これに関しては、ＥＰ−Ａ−０，６８
９，８６２を参照されたい。
【００２７】しかしながら、後者の解決策は、前者の変
形と比較して、実行するのが相当に複雑であり、ときお
り付加的な制御手段を必要とし、さらに、容積式マシン
を有するユニットについて、サイクルの高い圧力へ、そ
れゆえ製造圧力へ修正を引き起こす。
形と比較して、実行するのが相当に複雑であり、ときお
り付加的な制御手段を必要とし、さらに、容積式マシン
を有するユニットについて、サイクルの高い圧力へ、そ
れゆえ製造圧力へ修正を引き起こす。
【００２８】さらに、顧客または顧客の現場の要求にお
けるときどきの変動に従うために、または、種々の最少
の製造圧力の要求、例えば、標準ユニットの単一の範囲
でこうして製造されるガスの種々の適用について適合す
るために、産出されるガスの圧力が最小限に調節される
のを可能にするＰＳＡまたはＶＳＡを制御するためのシ
ステムまたはプロセスは１つも存在しないことが、これ
まで述べられてきたようである。
けるときどきの変動に従うために、または、種々の最少
の製造圧力の要求、例えば、標準ユニットの単一の範囲
でこうして製造されるガスの種々の適用について適合す
るために、産出されるガスの圧力が最小限に調節される
のを可能にするＰＳＡまたはＶＳＡを制御するためのシ
ステムまたはプロセスは１つも存在しないことが、これ
まで述べられてきたようである。
【００２９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、それゆえ、
生成されるガスについての顧客または顧客の現場の要求
が、産出量および／または圧力に関して変化する場合
に、ＰＳＡ特にＶＳＡの、それらがいかなるもの、すな
わち１つまたはいくつかの吸着器を有するものであって
も、より精密な制御の方法を提供することを目的とす
る。
生成されるガスについての顧客または顧客の現場の要求
が、産出量および／または圧力に関して変化する場合
に、ＰＳＡ特にＶＳＡの、それらがいかなるもの、すな
わち１つまたはいくつかの吸着器を有するものであって
も、より精密な制御の方法を提供することを目的とす
る。
【００３０】特に、本発明の目的は、製造圧力が修正さ
れること、すなわち、ＰＳＡまたはＶＳＡユニットの下
流での余分な産出量／圧力制御なしに、最適化された比
エネルギーを伴って縮小された運転を可能にするＰＳＡ
またはＶＳＡユニットの制御を可能にすることにある。
れること、すなわち、ＰＳＡまたはＶＳＡユニットの下
流での余分な産出量／圧力制御なしに、最適化された比
エネルギーを伴って縮小された運転を可能にするＰＳＡ
またはＶＳＡユニットの制御を可能にすることにある。
【００３１】
【課題を解決するための手段】本発明の主題は、生成サ
イクルで運転し、少なくとも１つの吸着器を有し、各生
成サイクルは以下の工程を含む、ガス流を分離するため
のＰＳＡプラントを制御するためのプロセスである： ・供給持続時間（ＴＡ）の少なくとも１つの供給工程で
あり、それは分離されるガス流の少なくとも１つの吸着
器内への少なくとも１つの導入を含む工程； ・少なくとも１つの生成工程であり、前もって決められ
た生成物圧力（ＰＰ）において前もって決められた公称
生成物産出量で（ＤＮ）をもって生成されるガスの流れ
の少なくとも１つの回収を含む工程；および ・ポンピング持続時間（ＴＰ）の少なくとも１つのポン
ピング工程であり、少なくとも１つの吸着器からのガス
流の少なくとも１つの抜き取りを含む工程を具備し；そ
れにおいて、供給持続時間（ＴＡ）およびポンピング持
続時間（ＴＰ）は、ＰＳＡプラントの下流で、ほぼ一定
の生成物圧力（ＰＰ）を維持し、少なくとも、公称生成
物産出量（ＤＮ）未満またはこれに等しい実生成物産出
量（ＤＲ）について、好ましくは、公称生成産出量（Ｄ
Ｎ）未満またはこれに等しい任意の実生成産出量（Ｄ
Ｒ）について、エネルギー消費量を最少にするために共
通して調節される。
イクルで運転し、少なくとも１つの吸着器を有し、各生
成サイクルは以下の工程を含む、ガス流を分離するため
のＰＳＡプラントを制御するためのプロセスである： ・供給持続時間（ＴＡ）の少なくとも１つの供給工程で
あり、それは分離されるガス流の少なくとも１つの吸着
器内への少なくとも１つの導入を含む工程； ・少なくとも１つの生成工程であり、前もって決められ
た生成物圧力（ＰＰ）において前もって決められた公称
生成物産出量で（ＤＮ）をもって生成されるガスの流れ
の少なくとも１つの回収を含む工程；および ・ポンピング持続時間（ＴＰ）の少なくとも１つのポン
ピング工程であり、少なくとも１つの吸着器からのガス
流の少なくとも１つの抜き取りを含む工程を具備し；そ
れにおいて、供給持続時間（ＴＡ）およびポンピング持
続時間（ＴＰ）は、ＰＳＡプラントの下流で、ほぼ一定
の生成物圧力（ＰＰ）を維持し、少なくとも、公称生成
物産出量（ＤＮ）未満またはこれに等しい実生成物産出
量（ＤＲ）について、好ましくは、公称生成産出量（Ｄ
Ｎ）未満またはこれに等しい任意の実生成産出量（Ｄ
Ｒ）について、エネルギー消費量を最少にするために共
通して調節される。
【００３２】“ＰＳＡプラントの下流の生成物圧力（Ｐ
Ｐ）”という表現は、少なくとも１つの吸着器の生産側
で、または少なくとも１つの吸着器の下流に位置して接
続された少なくとも１つの生成物バッファータンクの生
産側のいずれかで、直接得られる最少圧力を意味すると
理解されるべきである。
Ｐ）”という表現は、少なくとも１つの吸着器の生産側
で、または少なくとも１つの吸着器の下流に位置して接
続された少なくとも１つの生成物バッファータンクの生
産側のいずれかで、直接得られる最少圧力を意味すると
理解されるべきである。
【００３３】言い換えれば、本発明は、ＰＳＡまたはＶ
ＳＡプラントを制御するためのプロセスに関し、それに
おいては、有効供給持続時間（ＴＡ）および有効ポンピ
ング持続時間（ＴＰ）の共通の制御が存在し、これは以
下に基づく： ・一方で、一組の生成物の産出量／圧力／純度の組み合
わせを得るための、公称持続時間ＴＡ0およびＴＰ0の設
定；および ・他方で、特に最も経済的な条件のもとで、消費される
ガスの任意の産出量、または公称ガス産出量（ＤＮ）未
満またはこれに等しい実産出量（ＤＲ）について、純度
／圧力の対を維持するためのＴＡ／ＴＰの対の制御。
ＳＡプラントを制御するためのプロセスに関し、それに
おいては、有効供給持続時間（ＴＡ）および有効ポンピ
ング持続時間（ＴＰ）の共通の制御が存在し、これは以
下に基づく： ・一方で、一組の生成物の産出量／圧力／純度の組み合
わせを得るための、公称持続時間ＴＡ0およびＴＰ0の設
定；および ・他方で、特に最も経済的な条件のもとで、消費される
ガスの任意の産出量、または公称ガス産出量（ＤＮ）未
満またはこれに等しい実産出量（ＤＲ）について、純度
／圧力の対を維持するためのＴＡ／ＴＰの対の制御。
【００３４】本発明において、以下の用語が用いられ
る： ・ＴＡ：供給持続期間、すなわち、処理されるガス混合
物が吸着剤床に接触する間の時間； ・ＴＢ：ポンピング持続期間、すなわち、残留ガスが吸
着剤床から除去される間の時間； ・ＤＮ：ユニットの公称産出量； ・ＰＰ：生成ガスの最少圧力； ・ＰＧ：生成ガスの純度； ・添え字０は、ＰＳＡユニットの初期設定条件のもと
で、これらの変数により得られる値を示す。
る： ・ＴＡ：供給持続期間、すなわち、処理されるガス混合
物が吸着剤床に接触する間の時間； ・ＴＢ：ポンピング持続期間、すなわち、残留ガスが吸
着剤床から除去される間の時間； ・ＤＮ：ユニットの公称産出量； ・ＰＰ：生成ガスの最少圧力； ・ＰＧ：生成ガスの純度； ・添え字０は、ＰＳＡユニットの初期設定条件のもと
で、これらの変数により得られる値を示す。
【００３５】本発明の範囲内において、ＰＳＡユニット
の初期運転の設定、すなわち（ＴＡ 0、ＴＰ0）の対は、
ユニットが使える状態となったときに得られる。
の初期運転の設定、すなわち（ＴＡ 0、ＴＰ0）の対は、
ユニットが使える状態となったときに得られる。
【００３６】単一の吸着器を有するユニットの場合、供
給工程およびポンピング工程の持続時間の設定は、独立
して行うことができる。
給工程およびポンピング工程の持続時間の設定は、独立
して行うことができる。
【００３７】一方、少なくとも２つの吸着器を有するＰ
ＳＡプラントについては、それは工程の適合に追随しな
ければならず、供給またはポンピングの工程の１つまた
は他に、工程の有効持続時間を改善する特定の不動作時
間を挿入することが必要である。
ＳＡプラントについては、それは工程の適合に追随しな
ければならず、供給またはポンピングの工程の１つまた
は他に、工程の有効持続時間を改善する特定の不動作時
間を挿入することが必要である。
【００３８】状況に依存して、本発明のプロセスは、以
下の特性の１つ以上を含むことができる。
下の特性の１つ以上を含むことができる。
【００３９】・有効供給持続時間（ＴＡ）は、実生成物
圧力（ＰＰ）の関数として制御され、有効供給持続時間
に対する有効ポンピング持続時間の比（ＴＰ／ＴＡ）
は、公称生成物産出量に対する実生成物産出量の比（Ｄ
Ｒ／ＤＮ）の関数として制御される； ・有効ポンピング持続期間（ＴＰ）は、生成されるガス
の設定純度（ＰＧ）を維持するためにさらに制御され
る； ・初期供給持続期間（ＴＡ0）の供給工程の間、第１の
不動作時間持続期間（Ｘ）の少なくとも第１の不動作時
間は、実供給持続期間（ＴＡ）がＴＡ0−Ｘに等しくな
るように導入される； ・初期ポンピング持続期間（ＴＰ0）のポンピング工程
の間、第２の不動作時間持続期間（Ｙ）の少なくとも第
２の不動作時間は、有効ポンピング持続期間（ＴＰ）が
ＴＰ0−Ｙに等しくなるように導入される； ・第３の不動作時間持続時間（Ｚ）を有する第３の不動
作時間は、各サイクルに任意に導入される； ・供給持続時間（ＴＡ）は、５から６０秒、好ましくは
１０から４０秒の間； ・ポンピング持続時間（ＴＰ）は、５から６０秒、好ま
しくは１０から４０秒の間； ・前もって決められた生成物圧力（ＰＰ）は、１０5か
ら１０7Ｐａの間、好ましくは１０5から１０6Ｐａの間
である； ・分離されるガス流は、窒素、および少なくとも１種の
極性のより少ない気相成分、特に酸素および／または水
素を含み、好ましくはガス流は空気であり、第１の気相
成分は窒素であり、第２の気相成分は酸素であり、空気
は、本発明の範囲内では、建物、または加熱または未加
熱容器の内部に含まれる空気、または外部の空気すなわ
ち大気条件の空気であり、そのまま取り込まれ、または
必要に応じて予備処理される； ・第１の気相成分は窒素であり、第２の気相成分は酸素
であり、酸素リッチ、すなわち一般に、少なくとも９０
％の酸素を含有するなガス流が生成される； ・高い吸着圧力は１０5Ｐａから１０7Ｐａの間、好まし
くは約１０5Ｐａから１０6Ｐａの間であり、および／ま
たは低い脱着圧力は１０4Ｐａから１０6Ｐａの間、好ま
しくは１０4Ｐａから１０5Ｐａの間であり； ・供給温度は１０℃から８０℃の間、好ましくは２５℃
から６０℃の間である。
圧力（ＰＰ）の関数として制御され、有効供給持続時間
に対する有効ポンピング持続時間の比（ＴＰ／ＴＡ）
は、公称生成物産出量に対する実生成物産出量の比（Ｄ
Ｒ／ＤＮ）の関数として制御される； ・有効ポンピング持続期間（ＴＰ）は、生成されるガス
の設定純度（ＰＧ）を維持するためにさらに制御され
る； ・初期供給持続期間（ＴＡ0）の供給工程の間、第１の
不動作時間持続期間（Ｘ）の少なくとも第１の不動作時
間は、実供給持続期間（ＴＡ）がＴＡ0−Ｘに等しくな
るように導入される； ・初期ポンピング持続期間（ＴＰ0）のポンピング工程
の間、第２の不動作時間持続期間（Ｙ）の少なくとも第
２の不動作時間は、有効ポンピング持続期間（ＴＰ）が
ＴＰ0−Ｙに等しくなるように導入される； ・第３の不動作時間持続時間（Ｚ）を有する第３の不動
作時間は、各サイクルに任意に導入される； ・供給持続時間（ＴＡ）は、５から６０秒、好ましくは
１０から４０秒の間； ・ポンピング持続時間（ＴＰ）は、５から６０秒、好ま
しくは１０から４０秒の間； ・前もって決められた生成物圧力（ＰＰ）は、１０5か
ら１０7Ｐａの間、好ましくは１０5から１０6Ｐａの間
である； ・分離されるガス流は、窒素、および少なくとも１種の
極性のより少ない気相成分、特に酸素および／または水
素を含み、好ましくはガス流は空気であり、第１の気相
成分は窒素であり、第２の気相成分は酸素であり、空気
は、本発明の範囲内では、建物、または加熱または未加
熱容器の内部に含まれる空気、または外部の空気すなわ
ち大気条件の空気であり、そのまま取り込まれ、または
必要に応じて予備処理される； ・第１の気相成分は窒素であり、第２の気相成分は酸素
であり、酸素リッチ、すなわち一般に、少なくとも９０
％の酸素を含有するなガス流が生成される； ・高い吸着圧力は１０5Ｐａから１０7Ｐａの間、好まし
くは約１０5Ｐａから１０6Ｐａの間であり、および／ま
たは低い脱着圧力は１０4Ｐａから１０6Ｐａの間、好ま
しくは１０4Ｐａから１０5Ｐａの間であり； ・供給温度は１０℃から８０℃の間、好ましくは２５℃
から６０℃の間である。
【００４０】好ましくはＰＳＡユニットは、１から３の
吸着器を有し、および／または半径流（ｒａｄｉａｌ−
ｆｌｏｗ）タイプのものであり、および／またはＶＳＡ
（Ｖａｃｕｕｍ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）
タイプのものであり、および／または１つ以上の吸着
剤、例えばマルチプロセスを用いる。
吸着器を有し、および／または半径流（ｒａｄｉａｌ−
ｆｌｏｗ）タイプのものであり、および／またはＶＳＡ
（Ｖａｃｕｕｍ Ｓｗｉｎｇ Ａｄｓｏｒｐｔｉｏｎ）
タイプのものであり、および／または１つ以上の吸着
剤、例えばマルチプロセスを用いる。
【００４１】
【発明の実施の形態】添付された図面を参照してより詳
細に本発明を説明するが、それは例示のために与えら
れ、いかなる限定も含まない。
細に本発明を説明するが、それは例示のために与えら
れ、いかなる限定も含まない。
【００４２】図１および２は、単一の吸着器、またはモ
ノアドゾーバーユニットを有するＰＳＡユニットの操作
を示し、適切な吸着剤、例えば、少なくとも８６％のリ
チウムまたはカルシウムカチオンで交換されたフォージ
ャサイトタイプのゼオライトへの窒素分子の優先的な吸
着によって、空気から酸素を製造するために用いられ
る。
ノアドゾーバーユニットを有するＰＳＡユニットの操作
を示し、適切な吸着剤、例えば、少なくとも８６％のリ
チウムまたはカルシウムカチオンで交換されたフォージ
ャサイトタイプのゼオライトへの窒素分子の優先的な吸
着によって、空気から酸素を製造するために用いられ
る。
【００４３】このモノアドゾーバーユニットは標準型の
ＶＳＡユニットであり、図１に示されるような操作サイ
クル、または、必要に応じて図２に示されるようなサイ
クルに付随するために設計される。
ＶＳＡユニットであり、図１に示されるような操作サイ
クル、または、必要に応じて図２に示されるようなサイ
クルに付随するために設計される。
【００４４】より具体的には、図１のサイクルは模式的
には以下の工程を含む： ・単独での供給工程（ａ）； ・生成物タンクＣＰへの同時生成を伴う供給工程
（ｂ）； ・平衡タンクＣＥへの並流平衡工程（ｃ）； ・ポンピング工程（ｄ）； ・溶離工程（ｅ）、すなわち、平衡タンクＣＥからの平
衡ガスの同時向流導入を伴って吸着剤床の入口を通して
ガスが引き出される工程； ・生成物タンクＣＰからの生成物ガスによる向流再圧縮
工程（ｆ）。
には以下の工程を含む： ・単独での供給工程（ａ）； ・生成物タンクＣＰへの同時生成を伴う供給工程
（ｂ）； ・平衡タンクＣＥへの並流平衡工程（ｃ）； ・ポンピング工程（ｄ）； ・溶離工程（ｅ）、すなわち、平衡タンクＣＥからの平
衡ガスの同時向流導入を伴って吸着剤床の入口を通して
ガスが引き出される工程； ・生成物タンクＣＰからの生成物ガスによる向流再圧縮
工程（ｆ）。
【００４５】有効供給期間（ＴＡ）は、最初の２つの工
程の持続時間の和である。有効ポンピング持続時間（Ｔ
Ｐ）は、４番目の工程の持続時間、または４番目および
５番目の工程の持続時間の和である。
程の持続時間の和である。有効ポンピング持続時間（Ｔ
Ｐ）は、４番目の工程の持続時間、または４番目および
５番目の工程の持続時間の和である。
【００４６】さらに、図２に示される操作サイクルに関
しては、これは、模式的には、以下の工程を含む： ・単独での供給工程（ａ）； ・再圧縮タンクＣＲに向けられた床出口において、より
容易に吸着されない成分の同時回収を伴う供給工程
（ｂ）； ・生成物タンクＣＰへの同時生成を伴う供給工程
（ｃ）； ・平衡タンク（ＣＥ）への並流平衡工程（ｄ）； ・ポンピング工程（ｅ）； ・溶離工程（ｆ）、すなわち、吸着床の入口を通してガ
スが引き出され、平衡タンクＣＥからの平衡ガスの同時
向流導入を伴う工程； ・再圧縮タンクＣＲからの再圧縮ガスによる向流再圧縮
工程（ｇ）である。
しては、これは、模式的には、以下の工程を含む： ・単独での供給工程（ａ）； ・再圧縮タンクＣＲに向けられた床出口において、より
容易に吸着されない成分の同時回収を伴う供給工程
（ｂ）； ・生成物タンクＣＰへの同時生成を伴う供給工程
（ｃ）； ・平衡タンク（ＣＥ）への並流平衡工程（ｄ）； ・ポンピング工程（ｅ）； ・溶離工程（ｆ）、すなわち、吸着床の入口を通してガ
スが引き出され、平衡タンクＣＥからの平衡ガスの同時
向流導入を伴う工程； ・再圧縮タンクＣＲからの再圧縮ガスによる向流再圧縮
工程（ｇ）である。
【００４７】有効供給持続時間（ＴＡ）は、最初の３つ
の工程の持続時間の総和である。有効ポンピング持続時
間（ＴＰ）は、５番目の工程の持続時間、または５番目
および６番目の工程の持続時間の和である。
の工程の持続時間の総和である。有効ポンピング持続時
間（ＴＰ）は、５番目の工程の持続時間、または５番目
および６番目の工程の持続時間の和である。
【００４８】事実、標準ＶＳＡユニットについて、ＶＳ
Ａユニットの標準運転は、生成物タンクの与えられた容
量と同様に、設計段階において、工程の標準圧力および
持続時間の選択に依存する。
Ａユニットの標準運転は、生成物タンクの与えられた容
量と同様に、設計段階において、工程の標準圧力および
持続時間の選択に依存する。
【００４９】ＶＳＡユニットの標準運転は、他の仕様ま
たは抑制を、特に生成物、生成物圧力または比エネルギ
ーに関して達成するため、およびＴＡ／ＴＰ対を単純に
調節することによってそのように行うために、引き続い
て修正することができる。
たは抑制を、特に生成物、生成物圧力または比エネルギ
ーに関して達成するため、およびＴＡ／ＴＰ対を単純に
調節することによってそのように行うために、引き続い
て修正することができる。
【００５０】図３は、与えられたＴＡ／ＴＰ対を変化さ
せることによって、それを達成するのが可能であること
を示す。
せることによって、それを達成するのが可能であること
を示す。
【００５１】より具体的には、図３は、ＶＳＡユニット
の性能に及ぼす最少生成圧力の設定の影響をグラフ的に
示す。
の性能に及ぼす最少生成圧力の設定の影響をグラフ的に
示す。
【００５２】すなわち、（生成物；生成物圧力；比エネ
ルギー）に組み合わせについて、ＶＳＡユニットの標準
運転が（１００；１００；１００）を与える場合には、
ＶＳＡユニットは、（９７；１１１；１０１）を得るた
めに現場で設定することができ、それは、より経済的に
特定の環境に適合し得る組み合わせである。
ルギー）に組み合わせについて、ＶＳＡユニットの標準
運転が（１００；１００；１００）を与える場合には、
ＶＳＡユニットは、（９７；１１１；１０１）を得るた
めに現場で設定することができ、それは、より経済的に
特定の環境に適合し得る組み合わせである。
【００５３】結果として、後者の組み合わせについて得
られたＴＡ0およびＴＰ0の値は、プラントの制御手段、
例えば、ＶＳＡユニットのコントローラーまたは数値制
御による初期値として固定され、記録されるであろう。
られたＴＡ0およびＴＰ0の値は、プラントの制御手段、
例えば、ＶＳＡユニットのコントローラーまたは数値制
御による初期値として固定され、記録されるであろう。
【００５４】同様に、こうして設定された産出量および
圧力は、その後、ＶＳＡユニットの初期産出量ＤＮ0お
よび初期圧力ＰＰ0となるであろう。
圧力は、その後、ＶＳＡユニットの初期産出量ＤＮ0お
よび初期圧力ＰＰ0となるであろう。
【００５５】この特定の初期運転に基づいて、ユニット
は最適に、特に経済的に顧客の要求の変化に適合され
る。
は最適に、特に経済的に顧客の要求の変化に適合され
る。
【００５６】これを行うために、ＶＳＡプラントは、そ
の後、例えば次のような制御に供されなければならな
い： ・有効供給持続時間ＴＡは、生成圧力設定値ＰＰ0に関
して制御され；例えば以下に示すタイプの線形制御関数
を用いて：
の後、例えば次のような制御に供されなければならな
い： ・有効供給持続時間ＴＡは、生成圧力設定値ＰＰ0に関
して制御され；例えば以下に示すタイプの線形制御関数
を用いて：
【００５７】
【数２】
【００５８】ここで：ａ＞０；ｎは与えられたサイクル
の数；ｎ−１は前述の与えられたサイクルに先立つサイ
クルの数であり； ・持続時間ＴＡ0−ＴＡの不動作時間Ｘは、持続時間Ｔ
Ａ0の初期供給工程に導入され； ・ＴＰ／ＴＡ比は、ＤＲ／ＤＮ0の関数によって制御さ
れ、経験によりまたは同時に決定される。
の数；ｎ−１は前述の与えられたサイクルに先立つサイ
クルの数であり； ・持続時間ＴＡ0−ＴＡの不動作時間Ｘは、持続時間Ｔ
Ａ0の初期供給工程に導入され； ・ＴＰ／ＴＡ比は、ＤＲ／ＤＮ0の関数によって制御さ
れ、経験によりまたは同時に決定される。
【００５９】こうして、図４の曲線は、モノアドゾーバ
ー酸素製造ユニットの場合におけるこの関数の形状を示
す。
ー酸素製造ユニットの場合におけるこの関数の形状を示
す。
【００６０】この関数は、線形関数ｆにより容易に近似
され、設定純度からのズレの関数として限界に近く修正
されることが留意されるべきである。すなわち、例え
ば、
され、設定純度からのズレの関数として限界に近く修正
されることが留意されるべきである。すなわち、例え
ば、
【００６１】
【数３】
【００６２】ｂ＞０であり、ｎはサイクルの数である。
【００６３】このタイプの制御は、生成物圧力を維持す
ること、および図５に示されるように、縮小された運転
におけるエネルギー消費を最適にすることを可能にし、
このグラフは、ＶＳＡユニットの縮小された運転中にお
ける比エネルギーの変化を示す。
ること、および図５に示されるように、縮小された運転
におけるエネルギー消費を最適にすることを可能にし、
このグラフは、ＶＳＡユニットの縮小された運転中にお
ける比エネルギーの変化を示す。
【００６４】図５に示されるように、本発明の縮小され
た運転（ＭＲＩ）は、生成物ガスの圧力を維持すること
に加えて、消費される産出量の広い範囲にわたって比エ
ネルギーを一定に維持すること、および、運転サイクル
への付加的な不動作時間の単なる追加のみを用いる従来
の縮小されたサイクル（ＭＲＣ）と比較して、比エネル
ギーにおいて２０％を越える削減を与えることを可能に
する。
た運転（ＭＲＩ）は、生成物ガスの圧力を維持すること
に加えて、消費される産出量の広い範囲にわたって比エ
ネルギーを一定に維持すること、および、運転サイクル
への付加的な不動作時間の単なる追加のみを用いる従来
の縮小されたサイクル（ＭＲＣ）と比較して、比エネル
ギーにおいて２０％を越える削減を与えることを可能に
する。
【００６５】しかしながら、産出量の閾値が存在し、そ
れより下では、産出量の関数としての比エネルギーの瞬
間的な変化が、従来型の縮小された運転を伴って大きく
なることに留意されるべきである。
れより下では、産出量の関数としての比エネルギーの瞬
間的な変化が、従来型の縮小された運転を伴って大きく
なることに留意されるべきである。
【００６６】それゆえ、２つの制御すなわち、まず第一
の、所定の閾値まで、この場合例えば公称産出量の約７
０％までの従来の制御と、その後の、この閾値に基づい
た本発明による付加的な不動作時間の導入との組み合わ
せを生み出すことは、より有利である。
の、所定の閾値まで、この場合例えば公称産出量の約７
０％までの従来の制御と、その後の、この閾値に基づい
た本発明による付加的な不動作時間の導入との組み合わ
せを生み出すことは、より有利である。
【００６７】
【発明の効果】本発明は、空気からの酸素の製造の分野
に制限されず、それゆえ、したがって他のガス流、特に
水素、二酸化炭素および／または一酸化炭素を含むガス
流の分離、特に合成ガスまたは“シンガス”の合成に適
用することもできる。
に制限されず、それゆえ、したがって他のガス流、特に
水素、二酸化炭素および／または一酸化炭素を含むガス
流の分離、特に合成ガスまたは“シンガス”の合成に適
用することもできる。
【図１】単一の吸着器、またはモノアドゾーバーユニッ
トを有するＰＳＡユニットの運転を示す図。
トを有するＰＳＡユニットの運転を示す図。
【図２】単一の吸着器、またはモノアドゾーバーユニッ
トを有するＰＳＡユニットの運転を示す図。
トを有するＰＳＡユニットの運転を示す図。
【図３】ＰＳＡユニットの性能に及ぼす最少生成圧力の
設定の影響を表すグラフ図。
設定の影響を表すグラフ図。
【図４】モノアドゾーバー酸素製造ユニットの場合にお
ける関数の形状を表すグラフ図。
ける関数の形状を表すグラフ図。
【図５】ＶＳＡユニットの縮小された運転中における比
エネルギーの変化を表すグラフ図。
エネルギーの変化を表すグラフ図。
ＣＰ…生成物タンク ＣＥ…平衡タンク ＣＲ…再圧縮タンク ＰＰ…生成物圧力 ＴＡn…供給持続時間 ＴＰn…ポンピング持続時間 ＤＲn…実生成物産出量 ＤＮ0…初期産出量 ＭＲＩ…本発明の縮小された運転 ＭＲＣ…通常の縮小されたサイクル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ナタリー・トゥシェール フランス国、75010 パリ、リュ・ボール ペール、22
Claims (10)
- 【請求項１】 ガス流を分離するためのＰＳＡプラント
を制御するためのプロセスにおいて、生成サイクルで運
転し、少なくとも１つの吸着器を有し、各生成サイクル
は、 ・供給持続時間（ＴＡ）の少なくとも１つの供給工程で
あり、分離されるガス流の少なくとも１つの吸着器への
少なくとも１つの導入を含む工程； ・前もって決められた生成物圧力（ＰＰ）において、前
もって決められた公称生成物産出量（ＤＮ）をもって製
造されたガスの流れの少なくとも１つの回収を含む少な
くとも１つの生成工程；および ・ポンピング持続時間（ＴＰ）の少なくとも１つのポン
ピング工程であって、少なくとも１つの吸着器からのガ
ス流の少なくとも１つの抜き取りを含む工程を具備し、 それにおいては、供給持続時間（ＴＡ）およびポンピン
グ持続時間（ＴＰ）は、前記ＰＳＡプラントの下流で、
公称生成物産出量（ＤＮ）未満またはこれに等しい少な
くとも１つの実生成物産出量（ＤＲ）について、ほぼ一
定の生成圧力（ＰＰ）を維持するために、共通して調節
されるプロセス。 - 【請求項２】 有効供給持続時間（ＴＡ）は実生成物圧
力（ＰＰ）の関数として制御され、有効供給持続時間に
対する有効ポンピング持続時間の比（ＴＰ／ＴＡ）は、
公称生成物産出量に対する実生成物産出量の比（ＤＲ／
ＤＮ）の関数として制御されることを特徴とする請求項
１に記載のプロセス。 - 【請求項３】 有効ポンピング持続時間（ＴＰ）が、生
成されるガスの設定純度（ＰＧ）を維持するためにさら
に制御されることを特徴とする請求項１に記載のプロセ
ス。 - 【請求項４】 初期供給持続時間（ＴＡ0）の供給工程
の間に、第１の不動作時間持続時間（Ｘ）の少なくとも
第１の不動作時間を導入して、有効供給持続時間（Ｔ
Ａ）をＴＡ0−Ｘに等しくすることを特徴とする請求項
１ないし３のいずれか１項に記載のプロセス。 - 【請求項５】 初期ポンピング持続時間（ＴＰ0）のポ
ンピング工程の間に、第２の不動作時間持続時間（Ｙ）
の少なくとも第２の不動作時間を導入して、有効ポンピ
ング持続時間（ＴＰ）をＴＰ0−Ｙに等しくすることを
特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載のプ
ロセス。 - 【請求項６】 第３の不動作時間持続時間（Ｚ）を有す
る少なくとも第３の不動作時間が、それぞれのサイクル
に導入されることを特徴とする請求項１ないし５のいず
れか１項に記載のプロセス。 - 【請求項７】 １から３の吸着器を有し、好ましくは半
径流を伴うことを特徴とする請求項１ないし６のいずれ
か１項に記載のプロセス。 - 【請求項８】 プラントはＶＳＡタイプのものであるこ
とを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載
のプロセス。 - 【請求項９】 それぞれの生成サイクルについて、 ・供給持続時間（ＴＡ）は５から６０秒の間、好ましく
は１０から４０秒の間であり； ・および／またはポンピング持続時間（ＴＰ）は、５か
ら６０秒の間、好ましくは１０から４０秒の間であり； ・および／または前もって決められた生成物圧力（Ｐ
Ｐ）は、１０5から１０7Ｐａの間、好ましくは１０5か
ら１０6Ｐａの間であることを特徴とする請求項１ない
し８のいずれか１項に記載のプロセス。 - 【請求項１０】 分離されるガス流は、窒素および／ま
たは少なくとも１種の極性の小さい気相成分、特に酸素
および／または水素を含有することを特徴とする請求項
１ないし９のいずれか１項に記載のプロセス。
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