JP2000127076A

JP2000127076A - 吸着ヘッド

Info

Publication number: JP2000127076A
Application number: JP10315414A
Authority: JP
Inventors: Akio Morishita; 昭夫森下; Ryoichi Furuhashi; 寮一古橋; Kazuyuki Toda; 一幸戸田; Akiyoshi Ochiai; 昭芳落合
Original assignee: Yamazaki Mazak Corp
Current assignee: Yamazaki Mazak Corp
Priority date: 1998-10-19
Filing date: 1998-10-19
Publication date: 2000-05-09

Abstract

(57)【要約】【課題】複雑で細かい形状のワークを好適に吸着し、
入り組んだ場所にワークを好適に搬送すること。【解決手段】ヘッド本体５１に設けられた複数の吸着
手段５５と、各吸着手段５５に設けられ、軸心方向に他
の吸着手段５５とは独立した形で移動自在に支持された
棒状のスライド部５６と、各スライド部５６の先端に互
いに隣接する形で密集配置された吸着部５７と、各吸着
部５７に接続されたエア吸引手段５６、６０、６２、６
３及び、各吸着部５７に対するエアの吸引動作を個別的
にオン／オフ制御可能な吸引断続制御手段６５で構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工設備等
で板状等のワークを吸着搬送する際に使用する吸着ヘッ
ドに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レーザ加工設備等においては、板
状等のワークを吸着搬送する際に、真空パッド等を利用
した吸着ヘッドが使用されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし従来の吸着ヘッ
ドでは複雑で細かい形状のワークをうまく吸着できない
ことが多かった。また吸着したワークを、既に積層され
ているワークの山のすぐ横などといった入り組んだ場所
に搬送しようとする際には、吸着ヘッドがワークの山な
どに干渉してうまく搬送できないといった問題が生じて
いた。

【０００４】そこで本発明は上記事情に鑑み、複雑で細
かい形状のワークでも好適に吸着することができ、また
入り組んだ場所にもワークを好適に搬送することのでき
る吸着ヘッドを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】即ち本発明のうち第１の
発明は、ヘッド本体（５１）、前記ヘッド本体（５１）
に設けられた複数の吸着手段（５５）、前記各吸着手段
（５５）に設けられ、前記ヘッド本体（５１）に対して
軸心方向に、他の吸着手段（５５）とは独立した形で移
動自在に支持された棒状のスライド部（５６）、前記各
スライド部（５６）の先端に、対象物（７０）の非吸着
状態で互いに隣接する形で密集配置された吸着部（５
７）、前記各吸着部（５７）に接続されたエア吸引手段
（５６、６０、６２、６３）、及び、前記エア吸引手段
（５６、６０、６２、６３）に設けられ、各吸着部（５
７）に対するエアの吸引動作を個別的にオン／オフ制御
可能な吸引断続制御手段（６５）、を有する。

【０００６】また本発明のうち第２の発明は、第１の発
明による吸着ヘッドにおいて、前記棒状のスライド部
（５６）は、内部にエア流路（５６ｃ）が形成された形
で中空管状に形成されており、前記エア流路（５６ｃ）
は、前記各吸着部（５７）からエアを吸引する前記エア
吸引手段（５６、６０、６２、６３）の一部を構成す
る。

【０００７】また本発明のうち第３の発明は、第１の発
明による吸着ヘッドにおいて、前記各吸着部（５７）は
前記棒状のスライド部（５６）に対して全方向に回動自
在に支持されている。

【０００８】また本発明のうち第４の発明は、第１の発
明による吸着ヘッドにおいて、前記ヘッド本体（５１）
には、該ヘッド本体（５１）の移動手段（５２）が設け
られている。

【０００９】また本発明のうち第５の発明は、第１の発
明による吸着ヘッドにおいて、前記各吸着部（５７）は
それぞれの吸着部（５７）をカバーするカバー手段（５
９）を有しており、前記カバー手段（５９）のヘッド本
体（５１）側には、テーパ部（５９ａ）が形成されてい
る。

【００１０】なお、括弧内の番号等は、図面における対
応する要素を示す便宜的なものであり、従って、本記述
は図面上の記載に限定拘束されるものではない。

【００１１】

【発明の効果】以上の構成により第１の発明では、吸着
ヘッドが、互いに隣接し密集した吸着部を有しており、
これら吸着部のそれぞれにエア吸引手段が接続されてい
るので、個々の吸着部によりワークの吸着が独立して行
えるようになっている。従って、吸着の対象物が、複雑
で細かいワークであり、しかも吸着ヘッドのうちいくつ
かの吸着部が該ワークの細かい部位からはみ出していた
としても、このワーク上にはみ出さずに位置している残
りの吸着部を介してワークの吸着が有効に行えるので、
該ワークを問題なく吸着することができる。つまり本発
明によると、複雑で細かい形状のワークでも好適に吸着
することができる。また吸着したワークを、既に積層さ
れているワークの山のすぐ横などといった入り組んだ場
所に搬送しようとする際には、ワークを吸着していない
吸着手段が移動途中で他のワークの山などの障害物に当
たるようなことがあるが、各吸着手段のスライド部は他
の吸着手段とは独立して移動自在となっているので、障
害物に当たった吸着手段は当たった状態で移動を停止す
る一方で、ワークを吸着している吸着手段は支障なく移
動し、吸着していた前記ワークを搬送すべき位置まで問
題なく搬送することができる。このように本発明では、
入り組んだ場所にもワークを好適に搬送することができ
る。更に、本発明では、例えばいくつかの吸着手段がワ
ークからはみ出すような場合には、ワークからはみ出し
た吸着手段に関してのみ、吸引断続制御手段を介して該
吸着手段の吸着部に対するエアの吸引動作をオフとし該
吸着部における吸着状態を断つようにする。これによ
り、ワークに対して有効な吸着力を発生できない吸着手
段まで作動させて無駄なエネルギーを消費するようなこ
とを避け、エネルギーの節約が実現する。更に、吸着手
段で塵埃などワーク以外のものを吸着吸引してしまうと
いった不都合を排除できるので好都合である。

【００１２】また本発明のうち第２の発明では、第１の
発明による効果に加えて、スライド部がエア吸引手段の
一部を兼ねるので、その分、部材の節約ができ好都合で
ある。また吸着部には、スライド部以外に別の配管等が
施されないので、このような配管がワーク等と干渉する
ようなこともなく好都合である。

【００１３】また本発明のうち第３の発明では、例えば
プレス加工等により凹凸の形成されたようなワーク（図
示せず）でも、その凹凸のある表面に対して各吸着部を
適宜回動させることにより整合させ、これら吸着部と該
ワークとの間で有効な吸着力を発生させることができ
る。従って、第１の発明による効果に加えて、凹凸の形
成されたようなワークの吸着が可能となり便利である。

【００１４】また本発明のうち第４の発明では、移動手
段によりヘッド本体を移動させることにより、複雑なワ
ークの形状に合わせて、該ワークにおける好適な吸着位
置に吸着ヘッドを移動させることができるので、第１の
発明による効果に加えて、より複雑なワークの吸着が可
能となり好都合である。

【００１５】また本発明のうち第５の発明では、第１の
発明による効果に加えて、カバー手段により複数の吸着
部どうしがぶつかって破損するようなことを防止する。
また、吸着部において吸引力を発生させている際に外部
の塵埃等を不用意に吸引してしまうことを防止する。ま
た、隣り合う吸着部どうしでの互いの位置が軸心方向に
ずれた後、ヘッド本体側を移動させることで、ずれたう
ちの一方の吸着部をそのスライド部を介して移動させ、
前記隣り合う吸着部どうしの位置を再び揃えるような場
合には、一方のカバー手段の端側が他方のカバー手段の
テーパ部に当たり、このテーパ形状に沿って滑り移動す
るので、カバー手段どうしのひかかりが防止され好都合
である。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従って説明する。図１はレーザ加工設備全体を模式的
に示した斜視図、図２はパレタイジングロボットを示し
た側断面図、図３は図２のＩ矢視図、図４は図２のII矢
視図（一部断面図）、図５は吊下フレーム及びヘッドユ
ニット等を示した斜視図、図６はヘッドユニットの１つ
を詳細にを示した側面図（一部断面図）、図７は図６の
III矢視図（一部断面図）、図８はヘッドユニットを上
から見た図（一部断面図）、図９はヘッドフレームのヘ
ッド支持部だけを示した平面図、図１０は吸着ヘッド集
合体を下から見た図、図１１は吸着ヘッド集合体により
加工済ワークを吸着している様子を示した斜視図、図１
２は搬送してきた加工済ワークをパレット上に受け渡し
ている様子を示した斜視図、図１３は吸着ヘッド集合体
により加工済ワークを吸着しようとしている様子を示し
た側面図、図１４は搬送してきた加工済ワークをパレッ
ト上に受け渡している様子を示した側面図、図１５は４
つの吸着ヘッド集合体の位置決め可能範囲を示した模式
平面図、図１６乃至図２２は４つの吸着ヘッド集合体の
位置決めパターンの例を示した模式平面図である。

【００１７】レーザ加工設備１は、図１に示すように、
多数の板状の素材ワーク７０Ａを積層貯蔵し、これら積
層貯蔵された多数の素材ワーク７０Ａの中から加工すべ
き素材ワーク７０Ａを適宜取り出すことのできる公知の
素材ストッカ２を有しており、素材ストッカ２の側方
（図１の紙面右側）には、レーザ光を利用して上述した
素材ワーク７０Ａを切断加工することのできる公知のレ
ーザ加工機３が２台設けられている（レーザ加工機３の
台数は２台でなくてもよい）。２台のレーザ加工機３、
３の更に側方（図１の紙面右側）にはレーザ加工機３で
切断加工されてできた加工済ワーク７０を載置すること
のできる公知の仕分け台５が２台設けられている（この
仕分け台５の台数も２台でなくてもよい）。なお、これ
ら素材ストッカ２、レーザ加工機３、３、仕分け台５、
５は水平な所定の搬送方向（図の矢印Ａ、Ｂ方向）に一
列に並んで配置されている。

【００１８】これら素材ストッカ２、レーザ加工機３、
３、仕分け台５、５の上方には前記搬送方向（図の矢印
Ａ、Ｂ方向）に伸延した形のガイドレール６が、これら
素材ストッカ２、レーザ加工機３、３、仕分け台５、５
の相互間を連絡する形で設置されており、ガイドレール
６には搬送ロボット７が、該ガイドレール６に沿って前
記搬送方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に移動駆動自在に設けら
れている。この搬送ロボット７は公知のものであり、真
空パッド等を介して素材ワーク７０Ａを素材ストッカ２
から各レーザ加工機３に搬送自在であり、またフォーク
等を介して加工済ワーク７０を各レーザ加工機３から各
仕分け台５に搬送自在となっている。

【００１９】一方、２台の仕分け台５、５の更に側方
（図１の紙面右側、従って図の矢印Ｂ側）には、公知の
ワークストッカ９が前記搬送方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に
沿って整列配置された形で複数台（本実施例では４台で
あるがこの台数は４台でなくてもよい）設けられてい
る。各ワークストッカ９上には、複数の加工済ワーク７
０を積層して載置すると共に、多数の加工済ワーク７０
を積層してできたワーク山７００を並べて載置すること
のできる板状のパレット１０が着脱自在に設置されてい
る。上述した仕分け台５、５及び複数のワークストッカ
９の上方には、図１に示すように前記搬送方向（図の矢
印Ａ、Ｂ方向）に伸延した形の平行な一対のガイドレー
ル１１、１１が、適宜な支持部材１１ａ、１１ａを介し
て、上述した仕分け台５、５及び複数のワークストッカ
９の相互間を連絡する形で設置されている。これらガイ
ドレール１１、１１には、パレタイジングロボット２０
が設けられている。

【００２０】パレタイジングロボット２０は、図２乃至
図４（但し図４ではガイドレール１１、１１等を省略し
ている。）に示すように前記ガイドレール１１、１１に
懸架された形の懸架フレーム２１を有しており、該懸架
フレーム２１はガイドレール１１、１１に沿って前記搬
送方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に移動自在になっている。懸
架フレーム２１にはモータ２２ａ及び該モータ２２ａに
よって回転駆動されるギア２２ｂ、２２ｂ等からなる走
行駆動装置２２が設けられており、また前記支持部材１
１ａにはガイドレール１１、１１に沿った形でラック１
１ｂ、１１ｂが設けられている。走行駆動装置２２の各
ギア２２ｂは各ラック１１ｂに噛合している。

【００２１】懸架フレーム２１には平行な一対の移動用
レール２３、２３が、前記搬送方向（矢印Ａ、Ｂ方向）
とは直角な水平方向である図の矢印Ｃ、Ｄ方向に伸延形
成されている。これら移動用レール２３、２３には、第
１フレーム２５が懸架されて設けられており、該第１フ
レーム２５は移動用レール２３、２３に沿って矢印Ｃ、
Ｄ方向に移動自在になっている。第１フレーム２５に
は、図４に示すようにモータ２６ａ及び該モータ２６ａ
によって回転駆動されるギア２６ｂ等からなる移動駆動
装置２６が設けられており、また前記懸架フレーム２１
には、移動用レール２３に沿った形でラック２３ａが設
けられている。移動駆動装置２６のギア２６ａはラック
２３ａに噛合している。

【００２２】第１フレーム２５には，図２に示すように
上下に貫通した形の複数のガイド穴２５ａが形成されて
おり（本実施例では図３に示すように４つ形成されてい
る）、各ガイド穴２５ａには、図２及び図３に示すよう
に、上下に伸延したロッド２７が摺動自在に挿嵌されて
いる。これらロッド２７の下端側には第２フレーム２９
が接続されており、従ってこの第２フレーム２９は第１
フレーム２５に対して上下方向（図の矢印Ｅ、Ｆ方向）
に移動自在となっている。なお第１フレーム２５と第２
フレーム２９の間には、図２乃至図４に示すように、空
気圧シリンダ装置であるバランサ２８（本実施例では２
つ）が設けられており、このバランサ２８によって第２
フレーム２９側の荷重が第１フレーム２５において支持
されている。また第２フレーム２９には、図２或いは図
３に示すように上方に伸延した棒状のネジ部材３０（本
実施例では２本）が、第１フレーム２５を貫通した形で
設けられており、第１フレーム２５にはナット部材３１
（本実施例では２個）が該第１フレーム２５に対して上
下方向にのみ固定した形で設けられている。これら各ナ
ット部材３１はそれぞれ前記各ネジ部材３０にボールネ
ジ装置を構成する形で螺嵌されている。

【００２３】更に第１フレーム２５には、モータ３２ａ
を有し、該モータ３２ａからの動力により前記各ナット
部材３１を回転駆動自在なナット駆動装置３２が設けら
れている。更に第２フレーム２９には、該第２フレーム
２９より下方（矢印Ｆ方向）に突出する形で上下方向に
伸延した軸３３が、上下に伸びた回転軸ＣＴ１を中心に
矢印Ｒ１、Ｒ２方向に軸回転自在に設けられており、該
軸３３の下端側には吊下フレーム３５が吊下され設けら
れている。なお第２フレーム２９と軸３３の間には回転
駆動装置３６が設けられている。回転駆動装置３６は、
図２に示すように第２フレーム２９側に設けられたモー
タ３６ａ及び、該モータ３６ａによってベルト等を介し
て回転駆動されるプーリ３６ｂ等からなリ、このプーリ
３６ｂは軸３３に固設されている。そしてプーリ３６ｂ
の回転により軸３３が矢印Ｒ１、Ｒ２方向に回転駆動さ
れ得るようになっている。

【００２４】本実施例の吊下フレーム３５は、図２及び
図５に示すように基本的に略水平な板状であると共に、
その平面形状は略十字型をしている。吊下フレーム３５
のうち十字型の４つの腕部先端付近に相当する各端部３
５ａにはヘッドユニット４５がそれぞれ設けられている
（吊下フレーム３５の形状は任意であり、ヘッドユニッ
ト４５の数は１つ以上であればいくつでもよい）。各ヘ
ッドユニット４５は、図５、図６、図８に示すように、
端部３５ａの下側に固定されたブラケット４６を有して
おり、ブラケット４６には水平で略直状なアーム４７が
上下方向（矢印Ｅ、Ｆ方向）に伸びた回転軸ＣＴ２を中
心に図の矢印Ｓ、Ｔ方向に旋回自在に枢着されている。
なおブラケット４６部分には駆動モータ４９が設けられ
ており、この駆動モータ４９の出力軸４９ａ側は、前記
回転軸ＣＴ２と同心状に配置されかつ前記アーム４７に
接続されている。

【００２５】アーム４７にはスライド用レール５０、５
０が、該アーム４７に沿って、該アーム４７の伸延方向
である図の矢印Ｐ、Ｑ方向（水平な方向）に伸延して設
けられており、このスライド用レール５０、５０を介し
て吸着ヘッド５８が設けられている。吸着ヘッド５８は
ヘッドフレーム５１を、上述したスライド用レール５
０、５０に沿って矢印Ｐ、Ｑ方向にスライド移動自在に
有している（なお図５では簡単のためスライド用レール
５０は省略し、ヘッドフレーム５１等も簡略化して直方
体の形で示している）。ヘッドフレーム５１には、モー
タ５２ａ及び該モータ５２ａによって回転駆動されるギ
ア５２ｂ等からなるスライド駆動装置５２が設けられて
おり、アーム４７には、該アーム４７に沿ってラック４
７ａが設けられている。このラック４７ａにはスライド
駆動装置５２のギア５２ｂが噛合している。

【００２６】またヘッドフレーム５１には、図６、図
７、図９に示すように、水平板状となったヘッド支持部
５３が形成されており、ヘッド支持部５３には、上下に
伸延したブシュ５３ａ等を介して複数の吸着セット５５
（本実施例では１９個であるが、この個数は複数であれ
ば１９個に限定されない）が支持されている。なお１つ
のヘッド支持部５３に支持されている複数の吸着セット
５５は１まとまりとして吸着ヘッド集合体５５０を構成
している。各吸着セット５５は上下に伸延した棒状の管
体５６を有しており、この管体５６が、上述したように
ブシュ５３ａ等を介してヘッド支持部５３に貫通されて
いる。即ち、管体５６はヘッド支持部５３に対して上下
方向（矢印Ｅ、Ｆ方向）にスライド移動自在となってい
る。管体５６の上端付近には前記ブシュ５３ａ等を通過
できない大きさのストッパ５６ａが設けられており、こ
のストッパ５６ａが、ヘッド支持部５３上に係止された
形で管体５６は該ヘッド支持部５３に支持されている。

【００２７】管体５６の下端には、図６、図７、図１
０、図１１に示すように、笠形状の真空パッドであるパ
ッド５７が下方（矢印Ｆ方向）を向いて設けられてお
り、また管体５６の下端付近には、下方に開口した略円
筒型のパッド保護部材５９（図１１では簡単のためパッ
ド保護部材５９は、一部の吸着セット５５についてのみ
二点鎖線で示している）が前記パッド５７の側方周囲を
覆い保護する形で設けられている。パッド保護部材５９
はその上側部分が、上方に細くなるテーパ状のテーパ部
５９ａとなっている。なお、パッド５７内は管体５６の
内部であるエア流路５６ｃ（図６）と該管体５６の下端
を介して接続連通しており、管体５６の上端側には継手
５６ｂを介して伸縮自在なスパイラルチューブ等からな
るチューブ６０（各図面では簡単のため一点鎖線等の直
線で示す）が、これらエア流路５６ａとチューブ６０の
内部が連通する形で接続されている。

【００２８】またヘッドフレーム５１には、図６乃至図
８に示すように、前記ヘッド支持部５３の上方に、該ヘ
ッド支持部５３と上下に対向した形で水平な板状のチュ
ーブ支持部６１が形成されており、各吸着セット５５の
チューブ６０の端部はこのチューブ支持部６１に適宜な
継手６１ａ（図７では省略）を介して接続支持されてい
る。これにより多数のチューブ６０のからまりは防止さ
れている。なお、各チューブ６０には上述した継手６１
ａを介して更に別のチューブ等からなる気圧伝達部材６
２がそれぞれ接続されており、これら気圧伝達部材６２
の先は真空ポンプ６３に接続されている（気圧伝達部材
６２及び真空ポンプ６３は図６でのみ示す）。また各気
圧伝達部材６２の途中には、図６に示すように、該気圧
伝達部材６２の内部を開閉自在なバルブ６５が設けられ
ており、各バルブ６５は図示しない所定のバルブ駆動装
置等により選択的に駆動自在となっている。以上のよう
に構成された複数の吸着セット５５からなる吸着ヘッド
集合体５５０は、図１０に示すようにこれらのパッド５
７が円形の輪郭をなす形で互いに隣接して密集配置され
ている。

【００２９】レーザ加工設備１及びパレタイジングロボ
ット２０は以上のように構成されているので、該レーザ
加工設備１では次のようにワークの加工及び仕分けが進
められる。即ち図１に示すように、素材ストッカ２では
積層貯蔵していた素材ワーク７０Ａが順次取り出され、
取り出された素材ワーク７０Ａが搬送ロボット７によっ
て各レーザ加工機３に順次搬送される。各レーザ加工機
３では順次搬送されてきた素材ワーク７０Ａを順次切断
加工し、各レーザ加工機３で加工が完了した加工済ワー
ク７０は搬送ロボット７によって各仕分け台５に順次搬
送される。一方、各仕分け台５に搬送された加工済ワー
ク７０は、パレタイジングロボット２０を介して以下詳
述する手順で各ワークストッカ９の各パレット１０上に
順次搬送される。

【００３０】即ちパレタイジングロボット２０は、懸架
フレーム２１に設けられた走行駆動装置２２においてモ
ータ２２ａを作動させギア２２ｂ、２２ｂを回転駆動さ
せることにより、これらギア２２ｂ、２２ｂ及びこれら
と噛合したラック１１ｂ、１１ｂを介して懸架フレーム
２１をガイドレール１１、１１に沿って矢印Ａ方向に移
動駆動させ、走行駆動装置２２のブレーキ機能により所
望の位置で位置決めさせる。これにより懸架フレーム２
１は、仕分け台５上にある、これから搬送すべき加工済
ワーク７０に対応した位置（該加工済ワーク７０の上方
で矢印Ａ、Ｂ方向に揃った位置）に位置決めされた。

【００３１】次いで第１フレーム２５に設けられた移動
駆動装置２６においてモータ２６ａを作動させギア２６
ｂを回転駆動させることにより、該ギア２６ｂ及びこれ
らと噛合したラック２３ａを介して第１フレーム２５を
懸架フレーム２１に対し移動用レール２３に沿って矢印
Ｃ、Ｄ方向に移動駆動させ、移動駆動装置２６のブレー
キ機能により所望の位置で位置決めさせる。これにより
第１フレーム２５は、仕分け台５上にある、これから搬
送すべき加工済ワーク７０の略真上の位置に位置決めさ
れた。

【００３２】次いで、４つのヘッドユニット４５の各吸
着ヘッド集合体５５０を、例えば図５に示すように目的
の加工済ワーク７０の形状に合う形で、まず該加工済ワ
ーク７０の上方で水平な２次元方向で移動位置決めさせ
る。この移動位置決めは以下説明する（ａ）吊下フレー
ム３５の回転・位置決め、（ｂ）アーム４７の旋回・位
置決め、（ｃ）ヘッドフレーム５１のスライド移動・位
置決め、を行うことにより実行される。

【００３３】（ａ）吊下フレーム３５の回転・位置決
め。これはまず、第２フレーム２９と軸３３の間の回転
駆動装置３６においてモータ３６ａを作動させこれによ
りプーリ３６ｂを回転駆動させることにより軸３３を第
２フレーム２９に対して回転軸ＣＴ１を中心に図の矢印
Ｒ１、Ｒ２方向に回転駆動させるようにする。こうして
軸３３の回転により吊下フレーム３５側は第２フレーム
２９側に対して図の矢印Ｒ１、Ｒ２方向に回転駆動され
る。そして吊下フレーム３５側が所望の位置まで回転し
たところで該吊下フレーム３５側を回転駆動装置３６側
のブレーキ機能により停止位置決めさせる。

【００３４】（ｂ）アーム４７の旋回・位置決め。これ
は各ヘッドユニット４５において個別に行うようにす
る。即ち各ヘッドユニット４５において、ブラケット４
６に設けられた駆動モータ４９を作動させ出力軸４９ａ
を介してアーム４７を回転軸ＣＴ２を中心に図の矢印
Ｓ、Ｔ方向に旋回駆動させる。このようにしてアーム４
７が所望の位置まで旋回したところで駆動モータ４９の
ブレーキ機能によりアーム４７を停止位置決めさせる。

【００３５】（ｃ）ヘッドフレーム５１のスライド移動
・位置決め。これも各ヘッドユニット４５において個別
に行う。即ち各ヘッドユニット４５においてヘッドフレ
ーム５１に設けられたスライド駆動装置５２のモータ５
２ａを作動させてギア５２ｂを回転駆動させ、該ギア５
２ｂに噛合したラック４７ａを介してヘッドフレーム５
１をスライド用レール５０、５０に沿って矢印Ｐ、Ｑ方
向にスライド移動させる。こうしてヘッドフレーム５１
を所望の位置までスライド移動させたところで駆動装置
５２のブレーキ機能によりヘッドフレーム５１を停止位
置決めさせる。

【００３６】以上説明した（ａ）、（ｂ）、（ｃ）をそ
れぞれ行うことにより、或いは（ａ）、（ｂ）、（ｃ）
のうちどれか１つ又は２つを行うことにより、また
（ｂ）、（ｃ）を行う場合には４つのうち少なくとも１
つのヘッドユニット４５について（ｂ）、（ｃ）を行う
ことにより、４つのヘッドユニット４５の各吸着ヘッド
集合体５５０が、静止している第２フレーム２９側に対
し、従って仕分け台５上の加工済ワーク７０に対して、
水平な２次元方向に移動位置決めされ、例えば図５に示
すようにこれから搬送しようとしている加工済ワーク７
０の形状に揃った形で位置決めされた。その後、第１フ
レーム２５のナット駆動装置３２においてモータ３２ａ
を作動させ該モータ３２ａにより各ナット部材３１を回
転駆動させることにより、これら各ナット部材３１が螺
嵌している各ネジ部材３０を下方に駆動する。これによ
り第２フレーム２９側は、複数のロッド２７及びこれら
が挿嵌したガイド穴２５ａを介してガイドされる形で、
第１フレーム２５側に対して下方向（図の矢印Ｆ方向）
に移動駆動される。

【００３７】第１フレーム２５側に対する第２フレーム
２９側の移動駆動を更に続け、従って４つのヘッドユニ
ット４５の吸着ヘッド集合体５５０を下降させ、図５に
示すようにこれら吸着ヘッド集合体５５０の各パッド５
７が仕分け台５上の加工済ワーク７０に当接した状態で
ナット駆動装置３２の作動を停止し第１フレーム２５側
に対する第２フレーム２９側の移動を停止させる。なお
この場合、吸着ヘッド集合体５５０の各パッド５７が加
工済ワーク７０に当接した後も第１フレーム２５側に対
する第２フレーム２９側の下降を多少続けてもよい。例
えば、各パッド５７が加工済ワーク７０に当接した後に
第１フレーム２５側に対する第２フレーム２９側の下降
を続けると、図１３（図１３ではパッド保護部材５９等
は省略している）に示すように複数の吸着セット５５を
支持しているヘッド支持部５３が下降することになる。
しかし、各吸着セット５５は管体５６がスライド移動す
る形でヘッド支持部５３に対して相対的に上方に移動自
在となっており、従ってヘッド支持部５３は各吸着セッ
ト５５に対して相対的に下方に移動自在となっている。
これにより、複数の吸着セット５５が加工済ワーク７０
に当接し、この状態でこれら吸着セット５５が加工済ワ
ーク７０に対して留まっていても、ヘッド支持部５３側
はこれら吸着セット５５に対して不用意な力を与えるこ
と無くスムーズに下降する。このように第１フレーム２
５側に対する第２フレーム２９側の移動量が特に正確で
なくても、吸着ヘッド集合体５５０の各パッド５７を加
工済ワーク７０に当接させる作業は正確かつ安全に行え
る。

【００３８】既に上述したように４つのヘッドユニット
４５の各吸着ヘッド集合体５５０が、例えば図５に示す
ように目的の加工済ワーク７０の形状に揃って位置決め
されていたので、上述したようにこれら吸着ヘッド集合
体５５０が加工済ワーク７０まで下降されることで、こ
れら吸着ヘッド集合体５５０の多数のパッド５７が、例
えば図５に示すように加工済ワーク７０に好適に当接し
た状態となった。

【００３９】ところで、本実施例の４つのヘッドユニッ
ト４５は、図１５に示すように、各アーム４７の旋回中
心である回転軸ＣＴ２が吊下フレーム３５を吊下してい
る軸３３の回転軸ＣＴ１を中心に９０度間隔で同一円周
上に配置されており、それぞれのアーム４７の長さは回
転軸ＣＴ１、ＣＴ２間の距離よりも少しだけ短くなって
いる。また、各アーム４７の吸着ヘッド集合体５５０
は、該アーム４７の回転軸ＣＴ２付近から該アーム４７
の先端付近まで移動自在となっているため、各吸着ヘッ
ド集合体５５０を水平な２次元方向（水平面内）で位置
決めできる範囲ＲＦ１〜ＲＦ４は、それぞれの回転軸Ｃ
Ｔ２を基準にすると例えば図１５の斜線で示すような範
囲となる（図１５中の二点鎖線はアーム４７や吸着ヘッ
ド集合体５５０の移動する軌跡を示す）。これに加え
て、既に説明したように第２フレーム２９に対する吊下
フレーム３５側の回転軸ＣＴ１を中心とした回転移動に
より各ヘッドユニット４５全体が回転軸ＣＴ１を中心に
回転移動するので、回転軸ＣＴ１を基準にした場合の、
各吸着ヘッド集合体５５０を水平な２次元方向（水平面
内）で位置決めできる範囲ＲＧは、例えば図１５に示す
ように、回転軸ＣＴ１を中心とした円内の範囲（図１５
の一点鎖線で示す）となる。つまり、搬送すべき加工済
ワーク７０が、吊下フレーム３５の下方の範囲ＲＧ内に
ある限りどのような形状であったとしても、この加工済
ワーク７０に対する各吸着ヘッド集合体５５０の位置決
めは適切に行える。

【００４０】例えば図１６（図５）や図１８に示すよう
に、各アーム４７の先端を回転軸ＣＴ１付近に集める形
で、これらアーム４７の吸着ヘッド集合体５５０を回転
軸ＣＴ１付近に移動し位置決めすることにより、回転軸
ＣＴ１付近にある小さなコの字型のワーク７０（図１
６）や、回転軸ＣＴ１付近にある円形のワーク７０（図
１８）に対する吸着ヘッド集合体５５０の位置決めが実
現する。また例えば図１７に示すように、図１８の状態
より１つの吸着ヘッド集合体５５０（図中紙面下側の吸
着ヘッド集合体５５０）を更に回転軸ＣＴ１に近づける
形で位置決めすることにより、回転軸ＣＴ１付近の小さ
な三角形型のワークに対する吸着ヘッド集合体５５０の
位置決めが実現する。

【００４１】また図１９や図２１に示すように、図１８
の状態より１つのアーム４７（図中紙面下側のアーム４
７）を旋回移動させて回転軸ＣＴ１より遠ざけ、該アー
ム４７とは別のアーム４７（図中紙面右側のアーム４
７）の吸着ヘッド集合体５５０を該アーム４７に沿って
移動させ回転軸ＣＴ１より遠ざけることにより、図中紙
面左右方向に長細く複雑な形状（長細く突起のある形
状）のワーク７０に対する吸着ヘッド集合体５５０の位
置決めが実現する。

【００４２】また図２０に示すように、図１９の状態よ
りも２つのアーム４７（図中紙面下側及び紙面右側のア
ーム４７、４７）を旋回移動させて回転軸ＣＴ１より遠
ざけることにより図１９での形状よりも更に複雑な形状
のワーク７０に対する吸着ヘッド集合体５５０の位置決
めが実現する。また図２２に示すように、図１８の状態
よりも２つのアーム４７（図中紙面下側及び紙面右側の
アーム４７、４７）を旋回移動させて回転軸ＣＴ１より
遠ざけることにより図１８での形状よりも図中紙面左右
等に大きく複雑な形状のワーク７０に対する吸着ヘッド
集合体５５０の位置決めが実現する。その他図示しない
が４つの吸着ヘッド集合体５５０を様々なパターンで位
置決めして、多種多様な複雑な形状のワークに対する位
置決めが実現可能である。

【００４３】以上のように図５に示すように４つの吸着
ヘッド集合体５５０を加工済ワーク７０に位置決めした
後、該ワーク７０の吸着を行う。予め、真空ポンプ６３
（図６）は作動されており各気圧伝達部材６２のバルブ
６５は閉塞状態になっている。そこでワーク７０の吸着
を行うため、各気圧伝達部材６２のバルブ６５を駆動し
て開放状態にする。これにより、気圧伝達部材６２、チ
ューブ６０、管体５６を介して真空ポンプ６３と接続し
た各パッド５７内が減圧され吸引力が発生する。各パッ
ド５７は図５及び図１３に示すように目的の加工済ワー
ク７０上に当接しているので、パッド５７とワーク７０
の間に吸着力が発生し該ワーク７０を吸着する。なおこ
の際、図１１に示すように１つの吸着ヘッド集合体５５
０の複数のパッド５７には、完全にワーク７０上に位置
しているパッド５７（図中で模様をつけて示したパッド
５７）と、ワーク７０からはみ出しているパッド５７
（完全にワーク７０の外に出ていたり、パッド５７の一
部分がワーク７０から外れているパッド５７であり、図
中で模様のないもの）があってもよい。即ち、各パッド
５７では互いに独立した形で吸引力を発生させるので、
ワーク７０からはみ出しているパッド５７ではワーク７
０に対する吸着力が有効に発生しないが、これとは無関
係に、完全にワーク７０上に位置しているパッド５７に
おいてはパッド５７とワーク７０間に気密性が保たれ吸
着力が有効に発生する。従って、吸着ヘッド集合体５５
０の全てのパッド５７が完全確実にワーク７０上になく
ともワーク７０を確実に吸着するのに必要な吸着力を得
ることができるので、幅が吸着ヘッド集合体５５０より
も小さなワークや細かく複雑な形状のワークでも吸着力
を有効に発生させて問題なくワークを吸着させることが
できるので好都合である。なおワークの吸着を行う際に
は、ワーク７０からはみ出ているパッド５７に対応する
気圧伝達部材６２においてバルブ６５を駆動して閉鎖状
態とする。これによりワーク７０との間で有効な吸着力
を発生させられないパッド５７に対して無駄な吸引力を
与えずに済みエネルギーを節約できる。また特にワーク
７０からはみ出しているパッド５７が、仕分け台５や他
のワーク７０など吸着目的のワーク７０以外のものを吸
着してしまったり、塵埃を吸引してしまったりといった
不都合も回避できるので好都合である。

【００４４】以上のように加工済ワーク７０を吸着した
後、ナット駆動装置３２により第２フレーム２９側を第
１フレーム２５側に対して上方向（図の矢印Ｅ方向）に
移動駆動させ吸着した加工済ワーク７０を所定の高さま
で上昇させる。次いで、走行駆動装置２２により懸架フ
レーム２１をガイドレール１１、１１に沿って矢印Ｂ方
向に移動駆動させてパレタイジングロボット２０を所望
の位置（吸着している加工済ワーク７０を受け渡すべき
ワークストッカ９のパレット１０と矢印Ａ、Ｂ方向にお
いて揃った位置）に停止させる。

【００４５】次いで移動駆動装置２６により第１フレー
ム２５側を懸架フレーム２１に対し移動用レール２３に
沿って矢印Ｃ、Ｄ方向に移動駆動させて、吸着している
加工済ワーク７０を所望の位置（該加工済ワーク７０を
受け渡すべきパレット１０上の位置の略真上の位置）に
移動させ第１フレーム２５側を停止位置決めさせる。更
に回転駆動装置３６により軸３３を第２フレーム２９に
対して回転軸ＣＴ１を中心に図の矢印Ｒ１、Ｒ２方向に
回転駆動させ吊下フレーム３５側を図の矢印Ｒ１、Ｒ２
方向に回転駆動させることにより吸着している加工済ワ
ーク７０の向きを所望する方向に調整する。

【００４６】次いで、ナット駆動装置３２により第２フ
レーム２９側を第１フレーム２５側に対して下方向（図
の矢印Ｆ方向）に移動駆動させ吸着している加工済ワー
ク７０をパレット１０上に降下させる。更に第２フレー
ム２９側を第１フレーム２５側に対して下方向に移動駆
動させて、吸着しているワーク７０を更に降下させ、図
１２（なお図１２では簡単のためパレタイジングロボッ
ト２０側は吸着ヘッド集合体５５０及び簡略表示したヘ
ッドフレーム５１だけを示している）或いは図１４（図
１４ではパッド保護部材５９等は省略している）に示す
ように該ワーク７０をパレット１０上の所定の位置（図
では既に積層載置されたワーク山７００の上となってい
るがパレット１０の表面であってもよい）に載置させ
る。載置の後、各気圧伝達部材６２のバルブ６５を閉鎖
し、各パッド５７とワーク７０間の吸着力を解除し該ワ
ーク７０の吸着を解除する。これにより吸着搬送してき
たワーク７０はパレット１０上のワーク山７００の上に
載置される形で受け渡された。

【００４７】なおこの際、吸着していた加工済ワーク７
０がパレット１０側に載置された後も第１フレーム２５
側に対する第２フレーム２９側の下方への移動駆動を多
少続けてもよい。加工済ワーク７０がパレット１０側に
載置された後に第１フレーム２５側に対する第２フレー
ム２９側の下方への移動駆動を続けると、図１４（ワー
ク７０を吸着していた吸着セット５５は図中紙面中央の
２本である）に示すように複数の吸着セット５５を支持
しているヘッド支持部５３が更に下降することになる。
しかし既に説明したようにヘッド支持部５３は各吸着セ
ット５５に対して相対的に下方に移動自在となっている
ので、各吸着セット５５がワーク７０等に当たってこれ
以上下方に移動せず停止している状態でありながらヘッ
ド支持部５３は、これら吸着セット５５により妨げられ
ることなく下降でき、吸着セット５５もヘッド支持部５
３等により不用意な力を受けずに済む。つまり第１フレ
ーム２５側に対する第２フレーム２９側の移動量が特に
正確でなくても、吸着していた加工済ワーク７０の載置
受け渡しは適切に行えるので好都合である。また通常は
パレット１０上では複数のワーク７０をワーク山７００
として積層載置するため、既にできているワーク山７０
０の高さによって、その上に載置すべきワーク７０の載
置位置（高さレベル）が異なる。しかし本例のパレタイ
ジングロボット２０では、上述したように第１フレーム
２５側に対する第２フレーム２９側の移動量が特に正確
でなくても、吸着していたワーク７０を所定の載置位置
（高さレベル）に載置受け渡しできるので、例えばワー
ク７０の下降時の上下方向における移動量を常に一定に
しておいても、各場合に応じて異なる高さレベルでのワ
ーク７０の載置受け渡しが適切に行える。これにより上
下方向における移動量の制御が簡単になり好都合であ
る。

【００４８】なお、加工済ワーク７０を載置し受け渡す
際には、パレット１０上の限られた空間を効率よく利用
して多数のワークを仕分ける必要上、例えば図１２及び
図１４に示すように、既に有るワーク山７００の横にワ
ーク山７００を作る形で搬送してきたワーク７０を載置
し受け渡している。この例では、ワーク７０を吸着して
いない吸着セット５５（図１４中の紙面左側２本の吸着
セット５５）の真下に、既に有る別のワーク山７００
が、吸着しているワーク７０を載置すべき載置位置（高
さレベル）よりも高くなって存在している。従って、吸
着しているワーク７０を下降させる際には、まずワーク
７０を吸着していない吸着セット５５（図１４中の紙面
左側２本の吸着セット５５）が前記別のワーク山７００
の上面に当接する。しかし、そのままワーク７０の下降
を続けると、ワーク山７００に当接した吸着セット５５
がだけが当接した状態で留まりヘッド支持部５３に対し
て相対的に上方にスライド移動する。これは１つの吸着
ヘッド集合体５５０において各吸着セット５５が独立し
てヘッド支持部５３に対して相対的に上下に移動自在と
なっているからである。従って、ワーク山７００に当接
した吸着セット５５はヘッド支持部５３側の下降を妨げ
ず、また逆にこれら吸着セット５５はヘッド支持部５３
側から不用意な力を受けない。そしてワーク７０を吸着
している吸着セット５５は支障なく下降し、該ワーク７
０を所定の載置位置に載置し受け渡しできる。このよう
に狭い場所でもワーク７０の受け渡しが好適に行えるよ
うになっている。

【００４９】ところで、各吸着セット５５におけるパッ
ド保護部材５９は、吸着ヘッド集合体５５０において複
数のパッド５７どうしがぶつかって破損するようなこと
を防止するほか、該パッド５７において吸引力を発生さ
せている際に外部の塵埃等を不用意に吸引してしまうこ
とを防止する働きをなしている。また図１４のように吸
着ヘッド集合体５５０において各吸着セット５５の位置
が上下方向にずれた後、ヘッド支持部５３側を上昇させ
ることで該ヘッド支持部５３に対して上方に移動してい
た吸着セット５５が自重で下降し（バネ等を用いて強制
的に下降させる構造でもよい）、図６等に示すように全
ての吸着セット５５が同じ高さに揃うようになる。ここ
で、互いに隣接した複数のパッド５７のパッド保護部材
５９は、その上部側にテーパ部５９ａを有しているた
め、隣接するパッド保護部材５９、５９が上下にずれた
後に再び同じ高さに戻る際には、上方から下降してくる
パッド保護部材５９の下端側が下方に有る隣のパッド保
護部材５９のテーパ部５９ａに当たり、このテーパ形状
に沿って滑り落ちる。これによりパッド保護部材５９、
５９どうしのひかかりが防止され好都合である。

【００５０】以降、上述したのと同様の手順で、パレタ
イジングロボット２０を、次に搬送すべきワークが載置
されている仕分け台５まで矢印Ａ方向に走行移動させ、
懸架フレーム２１に対する第１フレーム２５の矢印Ｃ、
Ｄ方向への移動・位置決め及び、（ａ）吊下フレーム３
５の回転・位置決め、（ｂ）アーム４７の旋回・位置決
め、（ｃ）ヘッドフレーム５１のスライド移動・位置決
めにより４つの吸着ヘッド集合体５５０を仕分け台５上
の目的の加工済ワーク７０に合わせて位置決めし、第１
フレーム２５に対して第２フレーム２９側を下降させる
ことにより各吸着パッド集合体５５０の複数のパッド５
７を目的のワークに当接させた後、これらパッド５７に
よりワークを吸着し、第１フレーム２５に対して第２フ
レーム２９側を上昇させてパレタイジングロボット２０
を、ワークストッカ９まで矢印Ｂ方向に走行移動させ、
懸架フレーム２１に対する第１フレーム２５の矢印Ｃ、
Ｄ方向への移動・位置決め及び、吊下フレーム３５側の
回転・位置決めにより吸着搬送されて来たワークをワー
クストッカ９のパレット１０上の載置すべき位置に合わ
せて調整し、第１フレーム２５に対して第２フレーム２
９側を下降させることにより吸着しているワークを載置
位置に載置しパッド５７による吸着を解除して受け渡し
を完了する、といった一連の動作を繰り返すことにより
各仕分け台５に順次載置された加工済ワーク７０を順次
吸着搬送して各ワークストッカ９のパレット１０上に載
置して受け渡す。

【００５１】既に述べたように本実施例のパレタイジン
グロボット２０では、（ａ）吊下フレーム３５の回転・
位置決め、（ｂ）アーム４７の旋回・位置決め、（ｃ）
ヘッドフレーム５１のスライド移動・位置決めにより、
複数の吸着ヘッド集合体５５０がそれぞれ水平な２次元
方向に移動位置決め自在に設けられているので、複雑な
形状のワークに対しても各吸着ヘッド集合体５５０を適
切に位置決めでき該ワークを問題なく吸着搬送できる。
また、各吸着ヘッド集合体５５０ではパッド５７が互い
に隣接する形で設けられた複数の吸着セット５５からな
っており、各吸着セット５５のパッド５７で独立して吸
引力が発生するので、吸着ヘッド集合体５５０のうちい
くつかのパッド５７がワークからはみ出していても残り
のパッド５７によりワークを好適に吸着できるので、例
えば吸着ヘッド集合体５５０よりも幅が小さいような細
かく複雑なワークでも自在に吸着できるので好都合であ
る。

【００５２】なお上述した例では吸着セット５５におい
て、管体５６とパッド５７の間は固定的に接続されてい
たが、別の例として管体５６とパッド５７の間を図示し
ないユニバーサルジョイント等を介して接続し、パッド
５７を管体５６に対して全方向（例えば図１１の紙面右
隅に示す矢印Ｍ１、Ｍ２、Ｍ３、Ｍ４方向など）に回動
自在としてもよい。これにより、例えばプレス加工等に
より凹凸の形成されたようなワーク（図示せず）でも、
その凹凸のある表面に対して各パッド５７を適宜回動さ
せることにより整合させ、これらパッド５７と該ワーク
との間で有効な吸着力を発生させることができ、凹凸の
形成されたようなワークの吸着搬送が可能となる。

【００５３】なお上述した実施例では、吸着ヘッド集合
体５５０が、軸３３、吊下フレーム３５、回転駆動装置
３６、アーム４７、駆動モータ４９、ヘッドフレーム５
１、スライド駆動装置５２等からなる水平方向移動機構
を介して水平な２次元方向に移動位置決め自在になって
いるが、前記水平方向移動機構はその他様々な構成が可
能である。例えば複数個所に屈曲自在な関節部をもつア
ームを第２フレーム２９等に設け、このアームの先端側
に吸着ヘッド集合体５５０を設置することも可能であ
る。

【００５４】また上述した実施例では吸着セット５５に
おいて管体５６が、ヘッド支持部５３に対して上下方向
に移動自在な形でパッド５７を接続支持する部材であ
り、かつパッド５７に対して真空ポンプ６３側からの減
圧を伝達する吸引手段でもあったが、別の例として管体
５６の代わりに吸引手段を兼ねない棒状のスライド部材
を採用し、該スライド部材に接続されたパッド５７に
は、真空ポンプ６３側に接続されたチューブ等からなる
吸引手段を直接接続してもよい。

【００５５】なお上述した各例では吸着ヘッドをレーザ
加工設備において適用した例となっているが、本発明に
よる吸着ヘッドはレーザ加工設備に限定されず、その他
のタイプの工作機械設備において適用することも可能で
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】レーザ加工設備全体を模式的に示した斜視図で
ある。

【図２】パレタイジングロボットを示した側断面図であ
る。

【図３】図２のＩ矢視図である。

【図４】図２のII矢視図（一部断面図）である。

【図５】吊下フレーム及びヘッドユニット等を示した斜
視図である。

【図６】ヘッドユニットの１つを詳細にを示した側面図
（一部断面図）である。

【図７】図６のIII矢視図（一部断面図）である。

【図８】ヘッドユニットを上から見た図（一部断面図）
である。

【図９】ヘッドフレームのヘッド支持部だけを示した平
面図である。

【図１０】吸着ヘッド集合体を下から見た図である。

【図１１】吸着ヘッド集合体により加工済ワークを吸着
している様子を示した斜視図である。

【図１２】搬送してきた加工済ワークをパレット上に受
け渡している様子を示した斜視図である。

【図１３】吸着ヘッド集合体により加工済ワークを吸着
しようとしている様子を示した側面図である。

【図１４】搬送してきた加工済ワークをパレット上に受
け渡している様子を示した側面図である。

【図１５】４つの吸着ヘッド集合体の位置決め可能範囲
を示した模式平面図である。

【図１６】４つの吸着ヘッド集合体の位置決めパターン
の例を示した模式平面図である。

【図１７】４つの吸着ヘッド集合体の位置決めパターン
の例を示した模式平面図である。

【図１８】４つの吸着ヘッド集合体の位置決めパターン
の例を示した模式平面図である。

【図１９】４つの吸着ヘッド集合体の位置決めパターン
の例を示した模式平面図である。

【図２０】４つの吸着ヘッド集合体の位置決めパターン
の例を示した模式平面図である。

【図２１】４つの吸着ヘッド集合体の位置決めパターン
の例を示した模式平面図である。

【図２２】４つの吸着ヘッド集合体の位置決めパターン
の例を示した模式平面図である。

【符号の説明】

５１……ヘッド本体（ヘッドフレーム）５２……移動手段（スライド駆動装置）５５……吸着手段（吸着セット）５６……スライド部（管体）５６ａ……エア流路５７……吸着部（パッド）５８……吸着ヘッド５９……カバー手段（パッド保護部材）５９ａ……テーパ部６０……エア吸引手段（チューブ）６２……エア吸引手段（気圧伝達部材）６３……エア吸引手段（真空ポンプ）６５……吸引断続制御手段（バルブ）７０……対象物（ワーク）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者戸田一幸愛知県丹羽郡大口町大字小口字乗船１番地ヤマザキマザック株式会社本社工場内 (72)発明者落合昭芳愛知県丹羽郡大口町大字小口字乗船１番地ヤマザキマザック株式会社本社工場内Ｆターム(参考） 3F060 AA01 DA03 DA08 DA09 DA10 EB12 FA05 FA11 GB02 GB22 GB33 3F061 AA01 CA01 CB03 CB05 CB11 CC00

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ヘッド本体、前記ヘッド本体に設けられた複数の吸着手段、前記各吸着手段に設けられ、前記ヘッド本体に対して軸
心方向に、他の吸着手段とは独立した形で移動自在に支
持された棒状のスライド部、前記各スライド部の先端に、対象物の非吸着状態で互い
に隣接する形で密集配置された吸着部、前記各吸着部に接続されたエア吸引手段、及び、前記エア吸引手段に設けられ、各吸着部に対するエアの
吸引動作を個別的にオン／オフ制御可能な吸引断続制御
手段、を有する吸着ヘッド。
【請求項２】前記棒状のスライド部は、内部にエア流路
が形成された形で中空管状に形成されており、前記エア流路は、前記各吸着部からエアを吸引する前記
エア吸引手段の一部を構成することを特徴とする請求項
１記載の吸着ヘッド。
【請求項３】前記各吸着部は前記棒状のスライド部に対
して全方向に回動自在に支持されていることを特徴とす
る請求項１記載の吸着ヘッド。
【請求項４】前記ヘッド本体には、該ヘッド本体の移動
手段が設けられていることを特徴とする請求項１記載の
吸着ヘッド。
【請求項５】前記各吸着部はそれぞれの吸着部をカバー
するカバー手段を有しており、前記カバー手段のヘッド本体側には、テーパ部が形成さ
れていること特徴とする請求項１記載の吸着ヘッド。