JP2000121948A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面（３２）を顕微鏡検査するために使用する集光装置（４０）であって
光軸（２２）を画定し、前記表面に近接する第１の端（５２）および撮像器（１０）側の第２の端（４２）を備えている細長い本体（４４）を備え、
前記本体は、前記第１の端に光学開口（５４）を画定する局面を成した反射面（４６）を画定しており、
前記集光装置は前記光軸上において、関連した第１および第２の焦点（５０、６２）を画定しており、
前記表面を前記第１の焦点に位置決めすると前記表面の像が前記第２の焦点に作られるように、前記第１の焦点（５０）が前記本体の第１の端から離間していることを特徴とする集光装置。
【請求項２】
前記反射面が、前記光軸を中心軸とした回転体表面である、請求項１に記載の集光装置。
【請求項３】
前記反射面が、放物面である、請求項１または２に記載の集光装置。
【請求項４】
前記反射面に隣接した集光レンズ（５６）を備え、該集光レンズが前記反射面により発生した平行光線を前記第２の焦点に集束させる、請求項１から３のいずれか１項に記載の集光装置。
【請求項５】
前記本体が反射内面を有する管になっている、請求項１に記載の集光装置。
【請求項６】
前記光学開口が、前記第１の焦点に対して第１の角（６６）を画定し、前記本体が前記第２の端に第２の光学開口を備え、該第２の光学開口が前記第２の焦点に対して前記第１の角より小さい第２の角（７２）を画定する、請求項１から５のいずれか１項に記載の集光装置。
【請求項７】
前記本体の第２の端を顕微鏡の対物レンズハウジング（２１）に結合する結合手段を備えている、請求項１から６のいずれか１項に記載の集光装置。
【請求項８】
デバイスの表面（３２）を顕微鏡検査する方法であって、前記デバイスを、光軸（２２）を画定する対物レンズ（６０）を有する顕微鏡（１０）のステージ（１４）に設置するステップと、
検査すべき限定部分を有する表面を光軸上に位置決めするステップと、
前記限定部分の像を、前記表面から離れかつ前記表面と対物レンズとの間にある焦点（６２）に形成するステップと、
前記対物レンズを前記像に焦点合わせするステップと
を含む方法。
【請求項９】
前記形成するステップが、細長い反射管（４０）を前記限定部分の上方に位置決めするステップを含んでいる、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記像を形成するステップが、光軸から偏った第１の範囲の角度（６６）にわたり限定部分から放射された光線を捕らえ、該光線を、より狭い第２の範囲の角度（７２）以内で対物レンズに伝え、これにより、横方向に放射された光を比較的狭い受光角を有する対物レンズにより受光されるようにするステップを含む、請求項８または９に記載の方法。