JP2000108012A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- JP2000108012A JP2000108012A JP28172598A JP28172598A JP2000108012A JP 2000108012 A JP2000108012 A JP 2000108012A JP 28172598 A JP28172598 A JP 28172598A JP 28172598 A JP28172598 A JP 28172598A JP 2000108012 A JP2000108012 A JP 2000108012A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- rollers
- processing
- guide
- pitch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Dicing (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加工ピッチが大きくなっても、各ローラへの
ワイヤの当り方をできるだけ直角に保つことができ、し
かもワイヤの巻付けを容易に行うことができるようにし
たワイヤソーを提供する。 【解決手段】 加工ローラ3a,3b間を該加工ローラ
に直角にワイヤWが走行し、案内ローラ4a,4b間を
該案内ローラに直角にワイヤWが走行するように構成さ
れ、案内ローラ4a,4b間を走行するワイヤWは、加
工ローラ3a,3b間を走行するワイヤWに対して該加
工ローラ3a,3bに設けられたワイヤガイド溝5の1
ピッチPw分だけずれるように傾斜して走行するように
構成されている。
ワイヤの当り方をできるだけ直角に保つことができ、し
かもワイヤの巻付けを容易に行うことができるようにし
たワイヤソーを提供する。 【解決手段】 加工ローラ3a,3b間を該加工ローラ
に直角にワイヤWが走行し、案内ローラ4a,4b間を
該案内ローラに直角にワイヤWが走行するように構成さ
れ、案内ローラ4a,4b間を走行するワイヤWは、加
工ローラ3a,3b間を走行するワイヤWに対して該加
工ローラ3a,3bに設けられたワイヤガイド溝5の1
ピッチPw分だけずれるように傾斜して走行するように
構成されている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば加工ピッチ
が3〜50mm程度の比較的大ピッチの半導体ウエハの
ダイシングに使用して好適なワイヤソーに関する。
が3〜50mm程度の比較的大ピッチの半導体ウエハの
ダイシングに使用して好適なワイヤソーに関する。
【0002】
【従来の技術】半導体ウエハは、円盤状のダイヤモンド
ブレードを有するダイシングソー(ダイシング装置)を
使用してダイシングされる場合がある。しかしながら、
このようなダイシングソーを使用して半導体ウエハのダ
イシングを行うと、半導体ウエハの表面または裏面にな
かり大きなチッピングが生じてしまうばかりでなく、加
工変質層も大きくなって、歩留りや信頼性の低下に繋が
ってしまうという問題がある。
ブレードを有するダイシングソー(ダイシング装置)を
使用してダイシングされる場合がある。しかしながら、
このようなダイシングソーを使用して半導体ウエハのダ
イシングを行うと、半導体ウエハの表面または裏面にな
かり大きなチッピングが生じてしまうばかりでなく、加
工変質層も大きくなって、歩留りや信頼性の低下に繋が
ってしまうという問題がある。
【0003】このため、平行に配置された複数の溝付き
ローラ間に1本のワイヤを螺旋状に巻回し、ローラの正
逆または一方向への回転駆動でワーク加工部に隣接する
一対の溝付きローラ(加工ローラ)間を往復または一方
向に走行する複数列のワイヤにワークを押付け、同時に
砥粒を含む加工液を供給することで、該ワークに加工を
施すようにしたワイヤソーで半導体ウエハをダイシング
することが行われている。このワイヤソーによる半導体
ウエハのダイシングによれば、上述したチッピングの発
生を抑え、加工変質層を小さくするとともに、一度に多
くの加工を行って、半導体ウエハ一枚当りの加工時間を
短縮することができる。
ローラ間に1本のワイヤを螺旋状に巻回し、ローラの正
逆または一方向への回転駆動でワーク加工部に隣接する
一対の溝付きローラ(加工ローラ)間を往復または一方
向に走行する複数列のワイヤにワークを押付け、同時に
砥粒を含む加工液を供給することで、該ワークに加工を
施すようにしたワイヤソーで半導体ウエハをダイシング
することが行われている。このワイヤソーによる半導体
ウエハのダイシングによれば、上述したチッピングの発
生を抑え、加工変質層を小さくするとともに、一度に多
くの加工を行って、半導体ウエハ一枚当りの加工時間を
短縮することができる。
【0004】ここに、ワイヤソーにおけるワイヤの走行
精度は、ローラに一定のピッチで設けられたワイヤガイ
ド溝の溝精度に大きく影響される。このワイヤガイド溝
は、一般にローラの外周面にローラ軸に垂直に形成され
ているため、ワイヤはローラ軸に直角に入り直角に出て
いくことが望ましい。しかるに、ワイヤは複数のローラ
に設けられたワイヤガイド溝間に螺旋状に巻回されてい
るため、加工ピッチが大きくなって、ワーク加工部に隣
接する一対の加工ローラ間を走行する複数列のワイヤの
ピッチ(加工ピッチ)が大きくなると、ワイヤはローラ
軸に斜めに入り斜めに出ていくようになり、加工部にお
ける精度低下、ワイヤの振動、ワイヤガイド溝の偏摩耗
などの悪影響を及ぼすようになる。
精度は、ローラに一定のピッチで設けられたワイヤガイ
ド溝の溝精度に大きく影響される。このワイヤガイド溝
は、一般にローラの外周面にローラ軸に垂直に形成され
ているため、ワイヤはローラ軸に直角に入り直角に出て
いくことが望ましい。しかるに、ワイヤは複数のローラ
に設けられたワイヤガイド溝間に螺旋状に巻回されてい
るため、加工ピッチが大きくなって、ワーク加工部に隣
接する一対の加工ローラ間を走行する複数列のワイヤの
ピッチ(加工ピッチ)が大きくなると、ワイヤはローラ
軸に斜めに入り斜めに出ていくようになり、加工部にお
ける精度低下、ワイヤの振動、ワイヤガイド溝の偏摩耗
などの悪影響を及ぼすようになる。
【0005】このため、狭いピッチでワイヤガイド溝が
設けられた2本の補助ローラを平行に配置し、この補助
ローラ間にワイヤを巻付けつつ、所定のピッチでワーク
加工部に隣接する加工ローラにワイヤを巻付けたり、ワ
イヤシフタを別途備えて、大ピッチの加工に対処するこ
とが行われていた。
設けられた2本の補助ローラを平行に配置し、この補助
ローラ間にワイヤを巻付けつつ、所定のピッチでワーク
加工部に隣接する加工ローラにワイヤを巻付けたり、ワ
イヤシフタを別途備えて、大ピッチの加工に対処するこ
とが行われていた。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の技術の前者にあっては、補助ローラ間にワイヤを巻
付ける必要があって、ワイヤの巻付けが複雑化してしま
い、ワイヤの自動巻付けが困難であるといった問題があ
った。また後者にあっては、ワイヤ及びワイヤシフタの
摩耗対策が必要となるばかりでなく、ワイヤシフタの剛
性確保と位置合わせが一般に困難で、しかもワイヤの自
動巻付けをロボット等で行う必要があるといった問題が
あった。
来の技術の前者にあっては、補助ローラ間にワイヤを巻
付ける必要があって、ワイヤの巻付けが複雑化してしま
い、ワイヤの自動巻付けが困難であるといった問題があ
った。また後者にあっては、ワイヤ及びワイヤシフタの
摩耗対策が必要となるばかりでなく、ワイヤシフタの剛
性確保と位置合わせが一般に困難で、しかもワイヤの自
動巻付けをロボット等で行う必要があるといった問題が
あった。
【0007】本発明は上記課題に鑑みて為されたもの
で、加工ピッチが大きくなっても、各ローラへのワイヤ
の当り方をできるだけ直角に保つことができ、しかもワ
イヤの巻付けを容易に行うことができるようにしたワイ
ヤソーを提供することを目的とする。
で、加工ピッチが大きくなっても、各ローラへのワイヤ
の当り方をできるだけ直角に保つことができ、しかもワ
イヤの巻付けを容易に行うことができるようにしたワイ
ヤソーを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明のワイヤソーは、
ワーク加工部に隣接して平行に配置された一対の加工ロ
ーラと、前記加工ローラと対峙して平行に配置された一
対の案内ローラとを備え、該加工ローラと案内ローラに
はこれらの軸に垂直な複数のワイヤガイド溝が一定のピ
ッチで設けられ、これらのワイヤガイド溝間に1本のワ
イヤを螺旋状に巻回し、前記加工ローラ間を走行する複
数列のワイヤでワークに加工を施すようにしたワイヤソ
ーにおいて、前記一対の加工ローラ間を該加工ローラに
直角にワイヤが走行し、前記一対の案内ローラ間を該案
内ローラに直角にワイヤが走行するように構成され、前
記一対の案内ローラ間を走行するワイヤは、前記一対の
加工ローラ間を走行するワイヤに対して該加工ローラに
設けられた前記ワイヤガイド溝の1ピッチ分だけずれる
ように傾斜して走行するように構成されていることを特
徴とする。
ワーク加工部に隣接して平行に配置された一対の加工ロ
ーラと、前記加工ローラと対峙して平行に配置された一
対の案内ローラとを備え、該加工ローラと案内ローラに
はこれらの軸に垂直な複数のワイヤガイド溝が一定のピ
ッチで設けられ、これらのワイヤガイド溝間に1本のワ
イヤを螺旋状に巻回し、前記加工ローラ間を走行する複
数列のワイヤでワークに加工を施すようにしたワイヤソ
ーにおいて、前記一対の加工ローラ間を該加工ローラに
直角にワイヤが走行し、前記一対の案内ローラ間を該案
内ローラに直角にワイヤが走行するように構成され、前
記一対の案内ローラ間を走行するワイヤは、前記一対の
加工ローラ間を走行するワイヤに対して該加工ローラに
設けられた前記ワイヤガイド溝の1ピッチ分だけずれる
ように傾斜して走行するように構成されていることを特
徴とする。
【0009】これにより、ワイヤは加工ローラ間を該加
工ローラに直角に、案内ローラ間を該案内ローラに直角
にそれぞれ走行し、この案内ローラ間を走行する間に加
工ローラに設けられたワイヤガイド溝の1ピッチ分だけ
ずれる。これにより、ワイヤが加工ローラに直角に入り
直角に出てゆき、案内ローラにも直角乃至これに極めて
近い角度で入り直角乃至これに極めて近い角度で出てゆ
くようにして、各ローラへのワイヤガイド溝へのワイヤ
の当り方を改善することができる。従って、ワイヤガイ
ド溝の偏摩耗の低減、ワイヤの位置精度の向上、ワイヤ
振動の低減を図ることができる。また、ワイヤの巻付け
を一般のワイヤソーとほぼ同様にして、この容易化及び
自動化を図ることができる。
工ローラに直角に、案内ローラ間を該案内ローラに直角
にそれぞれ走行し、この案内ローラ間を走行する間に加
工ローラに設けられたワイヤガイド溝の1ピッチ分だけ
ずれる。これにより、ワイヤが加工ローラに直角に入り
直角に出てゆき、案内ローラにも直角乃至これに極めて
近い角度で入り直角乃至これに極めて近い角度で出てゆ
くようにして、各ローラへのワイヤガイド溝へのワイヤ
の当り方を改善することができる。従って、ワイヤガイ
ド溝の偏摩耗の低減、ワイヤの位置精度の向上、ワイヤ
振動の低減を図ることができる。また、ワイヤの巻付け
を一般のワイヤソーとほぼ同様にして、この容易化及び
自動化を図ることができる。
【0010】また、前記案内ローラに設けられたワイヤ
ガイド溝のピッチは、前記加工ローラに設けられたワイ
ヤガイド溝のピッチよりも広く設定されていることを特
徴とする。例えば、加工ローラのワイヤガイド溝のピッ
チをPw、案内ローラの加工ローラに対する傾斜角(交
差角)をθとした時、案内ローラのワイヤガイド溝のピ
ッチPaは、Pa=Pw/cosθに設定される。
ガイド溝のピッチは、前記加工ローラに設けられたワイ
ヤガイド溝のピッチよりも広く設定されていることを特
徴とする。例えば、加工ローラのワイヤガイド溝のピッ
チをPw、案内ローラの加工ローラに対する傾斜角(交
差角)をθとした時、案内ローラのワイヤガイド溝のピ
ッチPaは、Pa=Pw/cosθに設定される。
【0011】また、前記加工ローラには、該加工ローラ
間を走行するワイヤのピッチを調節するピッチ可変機構
が、案内ローラには、該案内ローラ間を走行するワイヤ
のピッチを調整するピッチ可変機構がそれぞれ備えら
れ、更に前記案内ローラの前記加工ローラに対する傾斜
角を調整する傾斜角可変機構が備えられていることを特
徴とする。これにより、加工ローラ間及び案内ローラ間
を走行するワイヤのピッチを各ピッチ可変機構で、案内
ローラの加工ローラに対する傾斜角を傾斜角可変機構で
それぞれ調整することで、1台のワイヤソーで異なる加
工ピッチに対処することができる。
間を走行するワイヤのピッチを調節するピッチ可変機構
が、案内ローラには、該案内ローラ間を走行するワイヤ
のピッチを調整するピッチ可変機構がそれぞれ備えら
れ、更に前記案内ローラの前記加工ローラに対する傾斜
角を調整する傾斜角可変機構が備えられていることを特
徴とする。これにより、加工ローラ間及び案内ローラ間
を走行するワイヤのピッチを各ピッチ可変機構で、案内
ローラの加工ローラに対する傾斜角を傾斜角可変機構で
それぞれ調整することで、1台のワイヤソーで異なる加
工ピッチに対処することができる。
【0012】また、前記傾斜角可変機構は、前記一対の
案内ローラを保持する案内ローラフレームを前記一対の
加工ローラを保持する加工ローラフレームに対して相対
的に回転させるよう構成されていることを特徴とする。
これにより、一対の案内ローラを案内ローラフレームを
介して一体に回転させて、この加工ローラに対する傾斜
角を調整することができる。
案内ローラを保持する案内ローラフレームを前記一対の
加工ローラを保持する加工ローラフレームに対して相対
的に回転させるよう構成されていることを特徴とする。
これにより、一対の案内ローラを案内ローラフレームを
介して一体に回転させて、この加工ローラに対する傾斜
角を調整することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態のワイ
ヤソーを図面を参照して説明する。図1乃至図5は本発
明の第1の実施の形態のワイヤソーを示すもので、この
ワイヤソーは、ワイヤソー本体1とワーク加工部として
の上下動自在なテーブル2とから主に構成されている。
ヤソーを図面を参照して説明する。図1乃至図5は本発
明の第1の実施の形態のワイヤソーを示すもので、この
ワイヤソーは、ワイヤソー本体1とワーク加工部として
の上下動自在なテーブル2とから主に構成されている。
【0014】ワイヤソー本体1には、図示しない繰出し
リール、巻取りリール及び張力調整機構が備えられてい
るとともに、前記テーブル2に近接して該テーブル2の
両側に一対の加工ローラ3a,3bが、この加工ローラ
3a,3bに対峙して一対の案内ローラ4a,4bがそ
れぞれ四角形の頂点位置に配置されている。前記加工ロ
ーラ3a,3bの外周面には、この軸に垂直なワイヤガ
イド溝5が一定のピッチPwで、案内ローラ4a,4b
の外周面には、この軸に垂直なワイヤガイド溝6が所定
のピッチPaでそれぞれ設けられ、前記繰出しリールか
ら繰出されたワイヤWは、これらのローラ3a,3b,
4a,4bのワイヤガイド溝5,6に螺旋状に巻回され
た後、巻取りリールで巻取られている。
リール、巻取りリール及び張力調整機構が備えられてい
るとともに、前記テーブル2に近接して該テーブル2の
両側に一対の加工ローラ3a,3bが、この加工ローラ
3a,3bに対峙して一対の案内ローラ4a,4bがそ
れぞれ四角形の頂点位置に配置されている。前記加工ロ
ーラ3a,3bの外周面には、この軸に垂直なワイヤガ
イド溝5が一定のピッチPwで、案内ローラ4a,4b
の外周面には、この軸に垂直なワイヤガイド溝6が所定
のピッチPaでそれぞれ設けられ、前記繰出しリールか
ら繰出されたワイヤWは、これらのローラ3a,3b,
4a,4bのワイヤガイド溝5,6に螺旋状に巻回され
た後、巻取りリールで巻取られている。
【0015】これによって、巻取りリールの正逆または
一方向の回転に伴って、他のローラを回転させつつ、ワ
イヤWが双方向または一方向に走行し、加工ローラ3
a,3b間を走行する複数列のワイヤWにテーブル2上
に保持した半導体ウエハ等のワークAを押付け、同時に
ワイヤW上に砥粒を含む加工液を供給することで、この
ワークAに加工を施すようになっている。
一方向の回転に伴って、他のローラを回転させつつ、ワ
イヤWが双方向または一方向に走行し、加工ローラ3
a,3b間を走行する複数列のワイヤWにテーブル2上
に保持した半導体ウエハ等のワークAを押付け、同時に
ワイヤW上に砥粒を含む加工液を供給することで、この
ワークAに加工を施すようになっている。
【0016】前記加工ローラ3a,3bは、所定間隔離
間して互いに平行に配置され、この加工ローラ3a,3
bに設けられたワイヤガイド溝5のピッチPwで該加工
ローラ3a,3b間を複数列のワイヤWが走行して、ワ
ークAに一定の加工ピッチP(=Pw)の加工を施す。
案内ローラ4a,4bも所定間隔離間して互いに平行に
配置され、この案内ローラ4a,4bに設けられたワイ
ヤガイド溝6のピッチPaで該案内ローラ4a,4b間
を複数列のワイヤWが走行するように構成されている。
間して互いに平行に配置され、この加工ローラ3a,3
bに設けられたワイヤガイド溝5のピッチPwで該加工
ローラ3a,3b間を複数列のワイヤWが走行して、ワ
ークAに一定の加工ピッチP(=Pw)の加工を施す。
案内ローラ4a,4bも所定間隔離間して互いに平行に
配置され、この案内ローラ4a,4bに設けられたワイ
ヤガイド溝6のピッチPaで該案内ローラ4a,4b間
を複数列のワイヤWが走行するように構成されている。
【0017】ここに、この実施の形態にあっては、加工
ローラ3a,3bと案内ローラ4a,4bとして、ロー
ラ径の同じものが使用され、また、図4に示すように、
前記加工ローラ3a,3bの軸を含む平面Vaと、案内
ローラ4a,4bの軸を含む平面Vbとが互いに平行に
配置されて、一対の加工ローラ3a,3b間を走行する
ワイヤWにより形成される面と一対の案内ローラ4a,
4b間を走行するワイヤWにより形成される面とが平行
となっている。更に、加工ローラ3a,3b間を走行す
るワイヤW及び加工ローラ3a,3bと案内ローラ4
a,4bとを結ぶワイヤWvが加工ローラ3a,3bの
軸に垂直な平面Vc上に位置し、しかも、前記平面Va
上に前記加工ローラ3a,3bと案内ローラ4a,4b
を投影した時に、図1に示すように、案内ローラ4a,
4bが加工ローラ3a,3bに対して所定の傾斜角θで
交差するように、加工ローラ3a,3b及び案内ローラ
4a,4bが配置されている。
ローラ3a,3bと案内ローラ4a,4bとして、ロー
ラ径の同じものが使用され、また、図4に示すように、
前記加工ローラ3a,3bの軸を含む平面Vaと、案内
ローラ4a,4bの軸を含む平面Vbとが互いに平行に
配置されて、一対の加工ローラ3a,3b間を走行する
ワイヤWにより形成される面と一対の案内ローラ4a,
4b間を走行するワイヤWにより形成される面とが平行
となっている。更に、加工ローラ3a,3b間を走行す
るワイヤW及び加工ローラ3a,3bと案内ローラ4
a,4bとを結ぶワイヤWvが加工ローラ3a,3bの
軸に垂直な平面Vc上に位置し、しかも、前記平面Va
上に前記加工ローラ3a,3bと案内ローラ4a,4b
を投影した時に、図1に示すように、案内ローラ4a,
4bが加工ローラ3a,3bに対して所定の傾斜角θで
交差するように、加工ローラ3a,3b及び案内ローラ
4a,4bが配置されている。
【0018】ここに、前記傾斜角(交差角)θは、加工
ローラ3a,3b間の軸間隔をLk、このローラ半径を
Rkとした時、 θ=arctan(Pw/(Lk+2Rk)) ・・・(1) または、案内ローラ4a,4b間の軸間隔をLa、この
ローラ半径をRaとした時、 θ=arcsin(Pw/(La+2Ra)) ・・・(2) の一方、または両者の中間に設定されている。
ローラ3a,3b間の軸間隔をLk、このローラ半径を
Rkとした時、 θ=arctan(Pw/(Lk+2Rk)) ・・・(1) または、案内ローラ4a,4b間の軸間隔をLa、この
ローラ半径をRaとした時、 θ=arcsin(Pw/(La+2Ra)) ・・・(2) の一方、または両者の中間に設定されている。
【0019】また、前記加工ローラ3a,3bに設けら
れたワイヤガイド溝5のピッチPwと案内ローラ4a,
4bに設けられたワイヤガイド溝6のピッチPaとの関
係は、 Pa=Pw/cosθ ・・・(3) に設定されている。
れたワイヤガイド溝5のピッチPwと案内ローラ4a,
4bに設けられたワイヤガイド溝6のピッチPaとの関
係は、 Pa=Pw/cosθ ・・・(3) に設定されている。
【0020】なお、加工ローラ3a,3bの軸間隔Lk
と案内ローラ4a,4bの軸間隔Laの関係は、 Lk+2Rk=(La+2Ra)/cosθ の式を満足することが好ましいが、この実施の形態にあ
っては、加工ローラ3a,3bと案内ローラ4a,4b
としてローラ径の同じもの(Rk=Ra)を使用し、し
かも加工ローラ3a,3bに設けられたワイヤガイド溝
5のピッチPwも小さく、従って傾斜角θも小さな値で
あるので、近似的にLk=Laとしている。
と案内ローラ4a,4bの軸間隔Laの関係は、 Lk+2Rk=(La+2Ra)/cosθ の式を満足することが好ましいが、この実施の形態にあ
っては、加工ローラ3a,3bと案内ローラ4a,4b
としてローラ径の同じもの(Rk=Ra)を使用し、し
かも加工ローラ3a,3bに設けられたワイヤガイド溝
5のピッチPwも小さく、従って傾斜角θも小さな値で
あるので、近似的にLk=Laとしている。
【0021】これにより、ワイヤWは、加工ローラ3
a,3bの軸に直角に入り直角に出て、該加工ローラ3
a,3b間をこのワイヤガイド溝5のピッチPwで平行
に走行し、このピッチPwでワークAに加工ピッチPの
加工を施す。同様に、ワイヤWは、案内ローラ4a,4
bの軸に直角乃至これに極めて近い角度で入り直角乃至
これに極めて近い角度で出て、該案内ローラ4a,4b
間をこのワイヤガイド溝6のピッチPaで平行に走行す
る。
a,3bの軸に直角に入り直角に出て、該加工ローラ3
a,3b間をこのワイヤガイド溝5のピッチPwで平行
に走行し、このピッチPwでワークAに加工ピッチPの
加工を施す。同様に、ワイヤWは、案内ローラ4a,4
bの軸に直角乃至これに極めて近い角度で入り直角乃至
これに極めて近い角度で出て、該案内ローラ4a,4b
間をこのワイヤガイド溝6のピッチPaで平行に走行す
る。
【0022】つまり、案内ローラ4a,4bは加工ロー
ラ3a,3bに対して傾斜角θだけ傾いており、水平面
に投影した時の両者の間隔Lは、軸方向の端部にゆくに
従って徐々に拡がり、この間隔Lが広くなるに従って、
ワイヤWの案内ローラ4a,4bに入る角度と出る角度
が直角から徐々にずれてくるが、この角度は、案内ロー
ラを傾斜させないときの当り角に比べて極めて小さい。
そして、ワイヤWは、案内ローラ4a,4b間を加工ロ
ーラ3a,3b間に対して前記傾斜角θだけ傾斜した状
態で走行するが、案内ローラ4a,4bは加工ローラ3
a,3bに対して該傾斜角θだけ傾斜しているため、ワ
イヤWは、案内ローラ4a,4b間では該案内ローラ4
a,4bの軸に直角に入り直角に出て行くことができ
る。
ラ3a,3bに対して傾斜角θだけ傾いており、水平面
に投影した時の両者の間隔Lは、軸方向の端部にゆくに
従って徐々に拡がり、この間隔Lが広くなるに従って、
ワイヤWの案内ローラ4a,4bに入る角度と出る角度
が直角から徐々にずれてくるが、この角度は、案内ロー
ラを傾斜させないときの当り角に比べて極めて小さい。
そして、ワイヤWは、案内ローラ4a,4b間を加工ロ
ーラ3a,3b間に対して前記傾斜角θだけ傾斜した状
態で走行するが、案内ローラ4a,4bは加工ローラ3
a,3bに対して該傾斜角θだけ傾斜しているため、ワ
イヤWは、案内ローラ4a,4b間では該案内ローラ4
a,4bの軸に直角に入り直角に出て行くことができ
る。
【0023】このように、ワイヤW(Wv)が加工ロー
ラローラ3a,3bに対しては軸に直角に入り直角に出
てゆき、案内ローラ4a,4bに対しては軸に直角乃至
これに極めて近い角度で入り直角乃至これに極めて近い
角度で出てゆくようにするとともに、これらの軸に垂直
にワイヤガイド溝5,6を設けることで、ワイヤガイド
溝5,6の偏摩耗及びワイヤWの振動を低減させるとと
もに、位置精度を向上させることができる。しかも、ワ
イヤWの巻付けは一般のワイヤソーと同じであるので、
この巻付けを容易に行うとともに、この自動化を図るこ
とができる。
ラローラ3a,3bに対しては軸に直角に入り直角に出
てゆき、案内ローラ4a,4bに対しては軸に直角乃至
これに極めて近い角度で入り直角乃至これに極めて近い
角度で出てゆくようにするとともに、これらの軸に垂直
にワイヤガイド溝5,6を設けることで、ワイヤガイド
溝5,6の偏摩耗及びワイヤWの振動を低減させるとと
もに、位置精度を向上させることができる。しかも、ワ
イヤWの巻付けは一般のワイヤソーと同じであるので、
この巻付けを容易に行うとともに、この自動化を図るこ
とができる。
【0024】ここに、前記テーブル2は、図5に示すよ
うに、その上面2aが加工ローラ3a,3b間を走行す
るワイヤWに向けて円弧状に湾曲するように構成するこ
とが望ましい。これにより、ワークAをこのテーブル2
の上面2aに湾曲させた状態で保持し、加工ローラ3
a,3b間を走行するワイヤWの張力が、ワークAに均
等に作用するようにして、切削速度を速めるとともに、
ワークAが山形に切削されてしまうことを防止すること
ができる。
うに、その上面2aが加工ローラ3a,3b間を走行す
るワイヤWに向けて円弧状に湾曲するように構成するこ
とが望ましい。これにより、ワークAをこのテーブル2
の上面2aに湾曲させた状態で保持し、加工ローラ3
a,3b間を走行するワイヤWの張力が、ワークAに均
等に作用するようにして、切削速度を速めるとともに、
ワークAが山形に切削されてしまうことを防止すること
ができる。
【0025】図6乃至図9は、本発明の第2の実施の形
態のワイヤソーを示すもので、このワイヤソーの加工ロ
ーラ3a,3bは、外周面に各1個のワイヤガイド溝5
を有する複数のシーブ10を所定の間隔でローラ軸11
に該ローラ軸11と一体に回転するように保持して構成
され、更に、図9に示すように、この各シーブ10,1
0間の間隔、すなわち加工ローラ3a,3b間を走行す
るワイヤWのピッチ(加工ローラワイヤピッチ)Pwを
調整するピッチ可変機構(ロボット)12が備えられて
いる。
態のワイヤソーを示すもので、このワイヤソーの加工ロ
ーラ3a,3bは、外周面に各1個のワイヤガイド溝5
を有する複数のシーブ10を所定の間隔でローラ軸11
に該ローラ軸11と一体に回転するように保持して構成
され、更に、図9に示すように、この各シーブ10,1
0間の間隔、すなわち加工ローラ3a,3b間を走行す
るワイヤWのピッチ(加工ローラワイヤピッチ)Pwを
調整するピッチ可変機構(ロボット)12が備えられて
いる。
【0026】一方、案内ローラ4a,4bも同様に、外
周面に各1個のワイヤガイド溝6を有する複数のシーブ
13を所定間隔でローラ軸14に該ローラ軸14と一体
に回転するように保持して構成され、更に、図9に示す
ように、この各シーブ13,13間の間隔、すなわち案
内ローラ4a,4b間を走行するワイヤWのピッチ(案
内ローラワイヤピッチ)Paを調整するピッチ可変機構
(ロボット)15が備えられている。
周面に各1個のワイヤガイド溝6を有する複数のシーブ
13を所定間隔でローラ軸14に該ローラ軸14と一体
に回転するように保持して構成され、更に、図9に示す
ように、この各シーブ13,13間の間隔、すなわち案
内ローラ4a,4b間を走行するワイヤWのピッチ(案
内ローラワイヤピッチ)Paを調整するピッチ可変機構
(ロボット)15が備えられている。
【0027】前記加工ローラ3a,3bは、互いに平行
に配置された状態で加工ローラフレーム16に保持さ
れ、案内ローラ4a,4bも同様に、互いに平行に配置
された状態で案内ローラフレーム17に保持されてい
る。そして、両フレーム16,17間に案内ローラ4
a,4bの加工ローラ3a,3bに対する傾斜角θを調
整する傾斜角可変機構18が備えられている。
に配置された状態で加工ローラフレーム16に保持さ
れ、案内ローラ4a,4bも同様に、互いに平行に配置
された状態で案内ローラフレーム17に保持されてい
る。そして、両フレーム16,17間に案内ローラ4
a,4bの加工ローラ3a,3bに対する傾斜角θを調
整する傾斜角可変機構18が備えられている。
【0028】すなわち、案内ローラフレーム17は加工
ローラフレーム16に枢軸19を介して回転自在に連結
され、更に、モータ20の回転に伴って回転するウォー
ム21と該ウォーム21と噛合う歯車22とが備えられ
ている。これによって、モータ20の回転に伴って、案
内ローラフレーム17が加工ローラフレーム16に対し
て相対的に回転し、この回転角を制御することで、案内
ローラ4a,4bの加工ローラ3a,3bに対する傾斜
角θが調整できるようになっている。
ローラフレーム16に枢軸19を介して回転自在に連結
され、更に、モータ20の回転に伴って回転するウォー
ム21と該ウォーム21と噛合う歯車22とが備えられ
ている。これによって、モータ20の回転に伴って、案
内ローラフレーム17が加工ローラフレーム16に対し
て相対的に回転し、この回転角を制御することで、案内
ローラ4a,4bの加工ローラ3a,3bに対する傾斜
角θが調整できるようになっている。
【0029】案内ローラ4a,4bの加工ローラ3a,
3bに対する傾斜角θは、加工ローラワイヤピッチPw
の大きさに従って変化する。例えば、前記式(2)にお
いて、案内ローラ4a,4bとして、軸間隔La=35
0mmで、ローラ半径Ra=60mmのものを使用する
と、ピッチPw=5mmでは傾斜角θ=0.61°に、
ピッチPw=20mmでは傾斜角θ=2.44°に、ピ
ッチPw=50mmでは傾斜角θ=6.11°になる。
3bに対する傾斜角θは、加工ローラワイヤピッチPw
の大きさに従って変化する。例えば、前記式(2)にお
いて、案内ローラ4a,4bとして、軸間隔La=35
0mmで、ローラ半径Ra=60mmのものを使用する
と、ピッチPw=5mmでは傾斜角θ=0.61°に、
ピッチPw=20mmでは傾斜角θ=2.44°に、ピ
ッチPw=50mmでは傾斜角θ=6.11°になる。
【0030】この実施の形態のワイヤソーは、このよう
に加工ローラワイヤピッチPwの大きさが変化しても、
これに対処できるようにしたもので、例えば半導体ウエ
ハにあっては、正方形にダイシングするのではなく、長
方形にダイシングする場合が多く、この場合に、半導体
ウエハを一方向にダイシングした後、半導体ウエハを9
0°回転させ、加工ローラワイヤピッチPwと案内ロー
ラワイヤピッチPa、及び案内ローラ4a,4bの加工
ローラ3a,3bに対する傾斜角θを調整して、再びダ
イシングすることで、所望の形状にダイシングすること
ができる。
に加工ローラワイヤピッチPwの大きさが変化しても、
これに対処できるようにしたもので、例えば半導体ウエ
ハにあっては、正方形にダイシングするのではなく、長
方形にダイシングする場合が多く、この場合に、半導体
ウエハを一方向にダイシングした後、半導体ウエハを9
0°回転させ、加工ローラワイヤピッチPwと案内ロー
ラワイヤピッチPa、及び案内ローラ4a,4bの加工
ローラ3a,3bに対する傾斜角θを調整して、再びダ
イシングすることで、所望の形状にダイシングすること
ができる。
【0031】この時の動作を図9を参照して説明する。
先ず、ワークAの加工ピッチPに応じて、加工ローラワ
イヤピッチPwをこの加工ピッチPと等しく(Pw=
P)設定し、加工ローラ3a,3bのシーブ10の位置
を検知した後、ロボットドライバーによりピッチ可変機
構(ロボット)12を駆動させて、加工ローラ3a,3
bのシーブ10の位置を、該シーブ10,10間の間隔
が前記加工ローラワイヤピッチPwと等しくなるように
調整する。
先ず、ワークAの加工ピッチPに応じて、加工ローラワ
イヤピッチPwをこの加工ピッチPと等しく(Pw=
P)設定し、加工ローラ3a,3bのシーブ10の位置
を検知した後、ロボットドライバーによりピッチ可変機
構(ロボット)12を駆動させて、加工ローラ3a,3
bのシーブ10の位置を、該シーブ10,10間の間隔
が前記加工ローラワイヤピッチPwと等しくなるように
調整する。
【0032】次に、前記(1)または(2)の式により
案内ローラ4a,4bの加工ローラ3a,3bに対する
傾斜角θを求め、案内ローラフレーム17の加工ローラ
フレーム16に対する回転角度を求めた後、回転駆動ド
ライバにより傾斜角可変機構18のモータ20を駆動さ
せて、案内ローラ4a,4bが加工ローラ3a,3bに
対してこの傾斜角θだけ傾斜するように調整する。
案内ローラ4a,4bの加工ローラ3a,3bに対する
傾斜角θを求め、案内ローラフレーム17の加工ローラ
フレーム16に対する回転角度を求めた後、回転駆動ド
ライバにより傾斜角可変機構18のモータ20を駆動さ
せて、案内ローラ4a,4bが加工ローラ3a,3bに
対してこの傾斜角θだけ傾斜するように調整する。
【0033】そして、前記(3)の式から案内ローラワ
イヤピッチPaを設定し、案内ローラ4a,4bのシー
ブ13の位置を検知した後、ロボットドライバによりピ
ッチ可変機構(ロボット)15を駆動させて、案内ロー
ラ4a,4bのシーブ13の位置を、該シーブ13,1
3間の間隔が前記案内ローラワイヤピッチPaと等しく
なるように調整する。
イヤピッチPaを設定し、案内ローラ4a,4bのシー
ブ13の位置を検知した後、ロボットドライバによりピ
ッチ可変機構(ロボット)15を駆動させて、案内ロー
ラ4a,4bのシーブ13の位置を、該シーブ13,1
3間の間隔が前記案内ローラワイヤピッチPaと等しく
なるように調整する。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
加工ピッチの大きさに合わせて、ワイヤが加工ローラに
対しては軸に直角に入り直角に出てゆき、案内ローラに
対しては軸に直角乃至これに極めて近い角度で入り直角
乃至これに極めて近い角度で出てゆくようにして、各ロ
ーラへのワイヤの当り方を改善し、これにより、ワイヤ
の位置精度を向上させるとともに、ワイヤの振動の低減
及びワイヤガイド溝の偏摩耗の低減を図ることができ
る。しかも、ワイヤの巻付けを一般のワイヤソーと同じ
にして、これを容易に、しかも自動的に行うことができ
る。
加工ピッチの大きさに合わせて、ワイヤが加工ローラに
対しては軸に直角に入り直角に出てゆき、案内ローラに
対しては軸に直角乃至これに極めて近い角度で入り直角
乃至これに極めて近い角度で出てゆくようにして、各ロ
ーラへのワイヤの当り方を改善し、これにより、ワイヤ
の位置精度を向上させるとともに、ワイヤの振動の低減
及びワイヤガイド溝の偏摩耗の低減を図ることができ
る。しかも、ワイヤの巻付けを一般のワイヤソーと同じ
にして、これを容易に、しかも自動的に行うことができ
る。
【図1】本発明の第1の実施の形態のワイヤソーの要部
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図2】図1の正面図である。
【図3】図2の左側面図である。
【図4】加工ローラと案内ローラの位置関係の説明に付
する透視図である。
する透視図である。
【図5】テーブルの他の例を示す断面図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態のワイヤソーの要部
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図7】図6の正面図である。
【図8】図7の左側面図である。
【図9】第2の実施の形態のワイヤソーの制御フロー図
である。
である。
1 ワイヤソー本体 2 テーブル(ワーク加工部) 3a,3b 加工ローラ 4a,4b 案内ローラ 5,6 ワイヤガイド溝 10,13 シーブ 12,15 ピッチ可変機構 16 加工ローラフレーム 17 案内ローラフレーム 18 傾斜角可変機構 P 加工ピッチ Pw 加工ローラのワイヤガイド溝のピッチ(加工ロ
ーラワイヤピッチ) Pa 案内ローラのワイヤガイド溝のピッチ(案内ロ
ーラワイヤピッチ) θ 傾斜角 W,Wv ワイヤ
ーラワイヤピッチ) Pa 案内ローラのワイヤガイド溝のピッチ(案内ロ
ーラワイヤピッチ) θ 傾斜角 W,Wv ワイヤ
Claims (4)
- 【請求項1】 ワーク加工部に隣接して平行に配置され
た一対の加工ローラと、前記加工ローラと対峙して平行
に配置された一対の案内ローラとを備え、該加工ローラ
と案内ローラにはこれらの軸に垂直な複数のワイヤガイ
ド溝が一定のピッチで設けられ、これらのワイヤガイド
溝間に1本のワイヤを螺旋状に巻回し、前記加工ローラ
間を走行する複数列のワイヤでワークに加工を施すよう
にしたワイヤソーにおいて、 前記一対の加工ローラ間を該加工ローラに直角にワイヤ
が走行し、前記一対の案内ローラ間を該案内ローラに直
角にワイヤが走行するように構成され、 前記一対の案内ローラ間を走行するワイヤは、前記一対
の加工ローラ間を走行するワイヤに対して該加工ローラ
に設けられた前記ワイヤガイド溝の1ピッチ分だけずれ
るように傾斜して走行するように構成されていることを
特徴とするワイヤソー。 - 【請求項2】 前記案内ローラに設けられたワイヤガイ
ド溝のピッチは、前記加工ローラに設けられたワイヤガ
イド溝のピッチよりも広く設定されていることを特徴と
する請求項1記載のワイヤソー。 - 【請求項3】 前記加工ローラには、該加工ローラ間を
走行するワイヤのピッチを調節するピッチ可変機構が、
案内ローラには、該案内ローラ間を走行するワイヤのピ
ッチを調整するピッチ可変機構がそれぞれ備えられ、更
に前記案内ローラの前記加工ローラに対する傾斜角を調
整する傾斜角可変機構が備えられていることを特徴とす
る請求項1記載のワイヤソー。 - 【請求項4】 前記傾斜角可変機構は、前記一対の案内
ローラを保持する案内ローラフレームを前記一対の加工
ローラを保持する加工ローラフレームに対して相対的に
回転させるように構成されていることを特徴とする請求
項3記載のワイヤソー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28172598A JP2000108012A (ja) | 1998-10-02 | 1998-10-02 | ワイヤソー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28172598A JP2000108012A (ja) | 1998-10-02 | 1998-10-02 | ワイヤソー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000108012A true JP2000108012A (ja) | 2000-04-18 |
Family
ID=17643121
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28172598A Pending JP2000108012A (ja) | 1998-10-02 | 1998-10-02 | ワイヤソー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000108012A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101607422A (zh) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
CN109648723A (zh) * | 2019-02-03 | 2019-04-19 | 玉田县昌通电子有限公司 | 一种多线切割机用的刀架及其多线切割机 |
WO2019130806A1 (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-04 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソー装置およびウェーハの製造方法 |
CN110509445A (zh) * | 2019-08-16 | 2019-11-29 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种多线切割装置 |
-
1998
- 1998-10-02 JP JP28172598A patent/JP2000108012A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101607422A (zh) * | 2008-06-20 | 2009-12-23 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
CN101607422B (zh) * | 2008-06-20 | 2014-12-31 | 小松Ntc株式会社 | 线状锯 |
WO2019130806A1 (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-04 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソー装置およびウェーハの製造方法 |
CN111418045A (zh) * | 2017-12-25 | 2020-07-14 | 信越半导体株式会社 | 线锯装置及晶圆的制造方法 |
KR20200100085A (ko) * | 2017-12-25 | 2020-08-25 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 와이어소 장치 및 웨이퍼의 제조방법 |
US11584037B2 (en) | 2017-12-25 | 2023-02-21 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Wire saw apparatus and method for manufacturing wafer |
KR102560447B1 (ko) * | 2017-12-25 | 2023-07-27 | 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 | 와이어소 장치 및 웨이퍼의 제조방법 |
CN111418045B (zh) * | 2017-12-25 | 2023-08-15 | 信越半导体株式会社 | 线锯装置及晶圆的制造方法 |
TWI812652B (zh) * | 2017-12-25 | 2023-08-21 | 日商信越半導體股份有限公司 | 線鋸裝置及晶圓的製造方法 |
CN109648723A (zh) * | 2019-02-03 | 2019-04-19 | 玉田县昌通电子有限公司 | 一种多线切割机用的刀架及其多线切割机 |
CN110509445A (zh) * | 2019-08-16 | 2019-11-29 | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 | 一种多线切割装置 |
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