JP2000068197A - 気泡発生防止兼用気泡除去装置 - Google Patents
気泡発生防止兼用気泡除去装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高価な真空ポンプ等の減圧装置が無くとも、
実質的にマイクロバブルを発生させないと共になんらか
の理由で混入した気泡を比較的安価で、除去する装置を
提供する。 【解決手段】 薬液供給源から汲みだされた薬液を、バ
ルブの開閉で、吐出ノズルから、外部に吐出する装置で
あって、吐出ノズルとバルブとの配管経路の途中に、外
周面に微細孔を有し、且つ、所定の長さと微小の内径と
を有する中空繊維を内蔵したハウジングを配設する。そ
して、薬液を、ハウジングの中空繊維外周面の微細孔か
ら、中空繊維の中を通過させる。この時、何らかの理由
で混入した気泡を、中空繊維の外周面の微細孔で遮断す
る。更に、バルブの開閉に起因する薬液中の圧力変動
を、ハウジング内の中空繊維の外の空隙で吸収するよう
に構成した。
実質的にマイクロバブルを発生させないと共になんらか
の理由で混入した気泡を比較的安価で、除去する装置を
提供する。 【解決手段】 薬液供給源から汲みだされた薬液を、バ
ルブの開閉で、吐出ノズルから、外部に吐出する装置で
あって、吐出ノズルとバルブとの配管経路の途中に、外
周面に微細孔を有し、且つ、所定の長さと微小の内径と
を有する中空繊維を内蔵したハウジングを配設する。そ
して、薬液を、ハウジングの中空繊維外周面の微細孔か
ら、中空繊維の中を通過させる。この時、何らかの理由
で混入した気泡を、中空繊維の外周面の微細孔で遮断す
る。更に、バルブの開閉に起因する薬液中の圧力変動
を、ハウジング内の中空繊維の外の空隙で吸収するよう
に構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置のデベ
ロッパー工程のレジスト現像装置に使用され気泡発生防
止兼用気泡除去装置に関するもので、更に詳しくは、外
周面に微細孔を有し、且つ、所定の長さと微小の内径と
を有する多数の中空繊維を使用した装置に関するもので
ある。
ロッパー工程のレジスト現像装置に使用され気泡発生防
止兼用気泡除去装置に関するもので、更に詳しくは、外
周面に微細孔を有し、且つ、所定の長さと微小の内径と
を有する多数の中空繊維を使用した装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置のデベロッパー工
程のレジスト現像装置で、現像液中に混入するマイクロ
バブルと呼ばれる微小の気泡が問題となっている。この
気泡が現像液に混入していると、ノズルからウエハの上
に、パドルを形成する時、この気泡がレジストの表面に
付着し、その部分が現像液と接触できず、現像不良とな
るからである。このため、この気泡を除去するためにバ
ルブと吐出ノズルとの配管中に脱気機構を設けた装置が
提案されている。 今、これを図５に、基づいて説明す
ると、従来の装置は、現像液供給源２０から送り出され
た現像液は、中空管２１ａを通って、制御バルブ２２を
介し中空管２１ｂを通過して、脱気装置２３を通過し
て、更に、中空管２１ｃから、該中空管の先端に取り付
けられたノズル２５の吐出口からウエハＷの上に現像液
が液盛りされる。この時、脱気装置として、ハウジング
の中に、空気透過性の中空繊維が使用されていると共
に、該ハウジングは、真空ポンプ２４に接続されてい
て、ハウジング内を減圧することにより現像液に溶存し
ていたマイクロバブルを、中空繊維の中から外へ除去す
るように構成されていた。（例えば特開平８−１５３６
７５、特開平８−２４３３０６、特開平９−７９３６、
特開平９−４５６１５、特開平９−７５７０４等）
程のレジスト現像装置で、現像液中に混入するマイクロ
バブルと呼ばれる微小の気泡が問題となっている。この
気泡が現像液に混入していると、ノズルからウエハの上
に、パドルを形成する時、この気泡がレジストの表面に
付着し、その部分が現像液と接触できず、現像不良とな
るからである。このため、この気泡を除去するためにバ
ルブと吐出ノズルとの配管中に脱気機構を設けた装置が
提案されている。 今、これを図５に、基づいて説明す
ると、従来の装置は、現像液供給源２０から送り出され
た現像液は、中空管２１ａを通って、制御バルブ２２を
介し中空管２１ｂを通過して、脱気装置２３を通過し
て、更に、中空管２１ｃから、該中空管の先端に取り付
けられたノズル２５の吐出口からウエハＷの上に現像液
が液盛りされる。この時、脱気装置として、ハウジング
の中に、空気透過性の中空繊維が使用されていると共
に、該ハウジングは、真空ポンプ２４に接続されてい
て、ハウジング内を減圧することにより現像液に溶存し
ていたマイクロバブルを、中空繊維の中から外へ除去す
るように構成されていた。（例えば特開平８−１５３６
７５、特開平８−２４３３０６、特開平９−７９３６、
特開平９−４５６１５、特開平９−７５７０４等）
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の装置
は、現像液溶存中のマイクロバブルを除去するために
は、真空ポンプ等の高価な減圧装置が必要だった。そこ
で、本発明は、これらの高価な真空ポンプ等の減圧装置
が無くとも、実質的にマイクロバブルを発生させないと
共になんらかの理由で混入した気泡を比較的安価で、除
去する装置を提供せんとするものである。
は、現像液溶存中のマイクロバブルを除去するために
は、真空ポンプ等の高価な減圧装置が必要だった。そこ
で、本発明は、これらの高価な真空ポンプ等の減圧装置
が無くとも、実質的にマイクロバブルを発生させないと
共になんらかの理由で混入した気泡を比較的安価で、除
去する装置を提供せんとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】薬液供給源から汲みださ
れた薬液を、バルブの開閉で、吐出ノズルから、外部に
吐出する装置であって、吐出ノズルとバルブとの配管経
路の途中に、外周面に微細孔を有し、且つ、所定の長さ
と微小の内径とを有する中空繊維を内蔵したハウジング
を配設する。そして、薬液を、ハウジングの中空繊維外
周面の微細孔から、中空繊維の中を通過させる。この
時、何らかの理由で混入した気泡を、中空繊維の外周面
の微細孔で遮断する。更に、バルブの開閉に起因する薬
液中の圧力変動を、ハウジング内の中空繊維の外の空隙
で吸収するように構成した。
れた薬液を、バルブの開閉で、吐出ノズルから、外部に
吐出する装置であって、吐出ノズルとバルブとの配管経
路の途中に、外周面に微細孔を有し、且つ、所定の長さ
と微小の内径とを有する中空繊維を内蔵したハウジング
を配設する。そして、薬液を、ハウジングの中空繊維外
周面の微細孔から、中空繊維の中を通過させる。この
時、何らかの理由で混入した気泡を、中空繊維の外周面
の微細孔で遮断する。更に、バルブの開閉に起因する薬
液中の圧力変動を、ハウジング内の中空繊維の外の空隙
で吸収するように構成した。
【０００５】
【実施の形態】本発明を図面に基づいて、具体的に説明
すると、図１は、半導体製造装置の例えば、レジスト現
像装置の概略を示すもので、スピナ機構で、半導体ウエ
ハを回転させながら、ノズルより現像液をウエハ上に供
給し、現像液の表面張力で液盛りするように構成されて
いる。 即ち、現像液供給源１から送り出された現像液
は、中空管２ａを通って、制御バルブ３を介し中空管２
ｂを通過して、本発明装置の気泡発生防止兼用気泡除去
装置４を通り、更に、中空管２ｃから、該中空管の先端
に取り付けられたノズル５の吐出口からウエハＷの上に
現像液が液盛りされる。このとき、ウエハＷは、モータ
Ｍの回転軸を介しスピンチヤックで、真空吸着によって
保持されている。
すると、図１は、半導体製造装置の例えば、レジスト現
像装置の概略を示すもので、スピナ機構で、半導体ウエ
ハを回転させながら、ノズルより現像液をウエハ上に供
給し、現像液の表面張力で液盛りするように構成されて
いる。 即ち、現像液供給源１から送り出された現像液
は、中空管２ａを通って、制御バルブ３を介し中空管２
ｂを通過して、本発明装置の気泡発生防止兼用気泡除去
装置４を通り、更に、中空管２ｃから、該中空管の先端
に取り付けられたノズル５の吐出口からウエハＷの上に
現像液が液盛りされる。このとき、ウエハＷは、モータ
Ｍの回転軸を介しスピンチヤックで、真空吸着によって
保持されている。
【０００６】本発明の気泡発生防止兼用気泡除去装置４
は、図２、図３に示すように、外周面に微細孔を有し、
且つ、所定長さと微少内径を有する多数の中空繊維６
を、その左端部および右端部をそれぞれ接着剤で固定し
てハウジング８に収納して構成されている。即ち、ここ
で、使用される中空繊維６としては、例えば、セルロー
ス、セルロースジアセテート、セルローストリアセテー
ト等、セルロースエーテル類等のセルロース誘導体、ポ
リアミド系誘導体、ポリエステル系誘導体、ポリメチル
メタクリレート等のメタクリ系、アクリル系重合体、ポ
リ塩化ビニル等のポリビニル系重合体、ポリウレタン、
ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフイ
ン、親水化処理されたフッ素樹脂、ポリサルフォン、ポ
リエーテルサルフォン、ポリアリレート、ポリイミド又
はそれら材料の混合材料等で形成されている。
は、図２、図３に示すように、外周面に微細孔を有し、
且つ、所定長さと微少内径を有する多数の中空繊維６
を、その左端部および右端部をそれぞれ接着剤で固定し
てハウジング８に収納して構成されている。即ち、ここ
で、使用される中空繊維６としては、例えば、セルロー
ス、セルロースジアセテート、セルローストリアセテー
ト等、セルロースエーテル類等のセルロース誘導体、ポ
リアミド系誘導体、ポリエステル系誘導体、ポリメチル
メタクリレート等のメタクリ系、アクリル系重合体、ポ
リ塩化ビニル等のポリビニル系重合体、ポリウレタン、
ポリエチレン、ポリプロピレンのようなポリオレフイ
ン、親水化処理されたフッ素樹脂、ポリサルフォン、ポ
リエーテルサルフォン、ポリアリレート、ポリイミド又
はそれら材料の混合材料等で形成されている。
【０００７】又、中空繊維６の外周面の微細孔の径は、
５〜１００ｎｍが良く、好ましくは、７〜６０ｎｍが良
い 。更に、中空繊維の空孔率は４０〜８０％が好まし
い。更に、中空繊維６の内径は、０．１ｍｍ〜０．５ｍ
ｍのものより成る。内径が０．１ｍｍ以下の場合、現像
液が、流れにくくなるので、好ましくない。
５〜１００ｎｍが良く、好ましくは、７〜６０ｎｍが良
い 。更に、中空繊維の空孔率は４０〜８０％が好まし
い。更に、中空繊維６の内径は、０．１ｍｍ〜０．５ｍ
ｍのものより成る。内径が０．１ｍｍ以下の場合、現像
液が、流れにくくなるので、好ましくない。
【０００８】又、ハウジング８に収納される中空繊維６
の数は、千本から３万２千本程度で形成され、好ましく
は６千本から１万本が良い。 即ち、この中空繊維の数
は、現像液の吐出量、中空繊維の内径、によって決めら
れ、今、現像液の吐出量を２０ｃｃ／ｓ〜７５ｃｃ／ｓ
で、中空繊維内径０．１ｍｍ〜０．５ｍｍとすると、丁
度この範囲が安定して気泡発生を防止できると共に小さ
い圧力損失で気泡を除去できる。
の数は、千本から３万２千本程度で形成され、好ましく
は６千本から１万本が良い。 即ち、この中空繊維の数
は、現像液の吐出量、中空繊維の内径、によって決めら
れ、今、現像液の吐出量を２０ｃｃ／ｓ〜７５ｃｃ／ｓ
で、中空繊維内径０．１ｍｍ〜０．５ｍｍとすると、丁
度この範囲が安定して気泡発生を防止できると共に小さ
い圧力損失で気泡を除去できる。
【０００９】ハウジング８の中の中空繊維収納部の断面
積に対する中空繊維束の断面積の比率（以下、中空繊維
充填率という）を３０〜６０％の範囲とするのが好まし
く、更に、好ましくは４０〜５０％の範囲が良い。中空
繊維充填率が３０％未満では、中空糸をハウジング内に
均一に分散させるのが困難となり、中空繊維を通って吐
出された現像液の一体化が困難となるからである。又、
中空繊維充填率が６０％を越えると、分離した気泡が上
部へ抜けにくくなり好ましくない。
積に対する中空繊維束の断面積の比率（以下、中空繊維
充填率という）を３０〜６０％の範囲とするのが好まし
く、更に、好ましくは４０〜５０％の範囲が良い。中空
繊維充填率が３０％未満では、中空糸をハウジング内に
均一に分散させるのが困難となり、中空繊維を通って吐
出された現像液の一体化が困難となるからである。又、
中空繊維充填率が６０％を越えると、分離した気泡が上
部へ抜けにくくなり好ましくない。
【００１０】中空繊維の長さは、中空繊維の内径、現像
液の種類、圧力損失、材質等設定条件によって、変化
し、ハウジング内の気泡除去状態を見て、経験的に決ま
るものであるが、１５ｍｍ以上３００ｍｍ以内が好まし
い。１５ｍｍ以上必要なのは、右端部と左端部を接着剤
で固定するためであると共に１５ｍｍ以下の場合は、現
像液を中空繊維外周面の微細孔から中空繊維の中を通っ
て外部に吐出させる際、現像液の流れが一様に整流され
ず、ノズルの構造にもよるが、ノズルからの吐出流に旋
回流が発生し易くなり好ましくないからである。又、３
００ｍｍ以上の場合は、装置全体の長さが大きくなりす
ぎて実用的でないからである。
液の種類、圧力損失、材質等設定条件によって、変化
し、ハウジング内の気泡除去状態を見て、経験的に決ま
るものであるが、１５ｍｍ以上３００ｍｍ以内が好まし
い。１５ｍｍ以上必要なのは、右端部と左端部を接着剤
で固定するためであると共に１５ｍｍ以下の場合は、現
像液を中空繊維外周面の微細孔から中空繊維の中を通っ
て外部に吐出させる際、現像液の流れが一様に整流され
ず、ノズルの構造にもよるが、ノズルからの吐出流に旋
回流が発生し易くなり好ましくないからである。又、３
００ｍｍ以上の場合は、装置全体の長さが大きくなりす
ぎて実用的でないからである。
【００１１】尚、ハウジング８は合成樹脂製で、円筒形
状に形成されていて、その下部に中空管２ｂと連通し、
一方、左側面に中空間２ｃと連通し、更に、上部は、排
出管１０と連通して構成されている。
状に形成されていて、その下部に中空管２ｂと連通し、
一方、左側面に中空間２ｃと連通し、更に、上部は、排
出管１０と連通して構成されている。
【００１２】今、図１に示すように、現像液吐出ノズル
５から、現像液を、ウエハＷ上に吐出する際、バルブ３
を開くことより、現像液供給源１から中空管２ａを通
り、該バルブ３を介し中空管２ｂ通り、ハウジング８内
に入る。ここで、現像液は、ハウジング８内に収納され
た中空繊維６の外周面の空隙７を埋めて、次第に液位が
上昇し、ハウジング８内は、現像液で満たされる。この
時、ハウジング８の空隙７に存在していた空気は、排出
管１０より排出される。一方、各中空繊維６の外周面の
微細孔から、該中空繊維６の中を通った現像液は、内周
面に沿って、右から左下へ空間部９に向かって移動す
る。そして、現像液は中空管２ｃを介し吐出ノズル５よ
りウエハＷの上に吐出される。この時、現像液供給源１
からバルブ３を介し送られてきた現像液の中に、仮に気
泡が混入していても、気泡のうち中空繊維６の外周面の
微細孔の径より大きな気泡は、この微細孔の中を通過す
ることは出来なく、中空繊維の中まで入らない。
５から、現像液を、ウエハＷ上に吐出する際、バルブ３
を開くことより、現像液供給源１から中空管２ａを通
り、該バルブ３を介し中空管２ｂ通り、ハウジング８内
に入る。ここで、現像液は、ハウジング８内に収納され
た中空繊維６の外周面の空隙７を埋めて、次第に液位が
上昇し、ハウジング８内は、現像液で満たされる。この
時、ハウジング８の空隙７に存在していた空気は、排出
管１０より排出される。一方、各中空繊維６の外周面の
微細孔から、該中空繊維６の中を通った現像液は、内周
面に沿って、右から左下へ空間部９に向かって移動す
る。そして、現像液は中空管２ｃを介し吐出ノズル５よ
りウエハＷの上に吐出される。この時、現像液供給源１
からバルブ３を介し送られてきた現像液の中に、仮に気
泡が混入していても、気泡のうち中空繊維６の外周面の
微細孔の径より大きな気泡は、この微細孔の中を通過す
ることは出来なく、中空繊維の中まで入らない。
【００１３】加えて、通常バルブ３の開閉時、このバル
ブ３の近傍の中空管２ｂの中の現像液には、バルブ３の
開閉に伴なう圧力変動により、気泡が発生し易いが、バ
ルブ３の開閉に起因する圧力変動がハウジング８の中空
繊維６の束によって吸収緩和され、中空管２ｂの現像液
には、圧力変動がないところから、バルブ３の近傍にも
気泡が発生しない。
ブ３の近傍の中空管２ｂの中の現像液には、バルブ３の
開閉に伴なう圧力変動により、気泡が発生し易いが、バ
ルブ３の開閉に起因する圧力変動がハウジング８の中空
繊維６の束によって吸収緩和され、中空管２ｂの現像液
には、圧力変動がないところから、バルブ３の近傍にも
気泡が発生しない。
【００１４】バルブ３の開閉に伴なって、バルブ３と本
発明装置との間に、介在する中空管２ｂの現像液中の圧
力変動を測定した結果を、図４に示す。一方、従来の装
置の場合を、図６に示す。即ち、図４、図６において、
縦軸に中空管２ｂ内の圧力（＊１０−１ＭＰａ）をと
り、一方、横軸に時間（ｓ）をとり 、両者のバルブ３
の開閉に伴なう圧力変動の関係を表示した。本発明の場
合、圧力は、負圧になることは無く、このため現像液に
溶存する気体がマイクロバブル（気泡）となることは無
い。一方、これに対し、従来の場合は、図６に示すよう
に、２ｓ〜３ｓ間に、負圧となる圧力変動があり、この
結果、この負圧となる圧力変動が起因して、現像液に溶
存する気体が、マイクロバブル（気泡）となる。このた
め、図５に示すように、脱気装置２３の真空ポンプ２４
で減圧しこれを除去するのである。
発明装置との間に、介在する中空管２ｂの現像液中の圧
力変動を測定した結果を、図４に示す。一方、従来の装
置の場合を、図６に示す。即ち、図４、図６において、
縦軸に中空管２ｂ内の圧力（＊１０−１ＭＰａ）をと
り、一方、横軸に時間（ｓ）をとり 、両者のバルブ３
の開閉に伴なう圧力変動の関係を表示した。本発明の場
合、圧力は、負圧になることは無く、このため現像液に
溶存する気体がマイクロバブル（気泡）となることは無
い。一方、これに対し、従来の場合は、図６に示すよう
に、２ｓ〜３ｓ間に、負圧となる圧力変動があり、この
結果、この負圧となる圧力変動が起因して、現像液に溶
存する気体が、マイクロバブル（気泡）となる。このた
め、図５に示すように、脱気装置２３の真空ポンプ２４
で減圧しこれを除去するのである。
【００１５】
【実施例】試験条件 使用現像液 ：ＴＭＡＨ２．３８％ 吐出流量 ：６５ｃｃ／ｓ ， 吐出時間 ：２ｓ 中空管内径 ：６．３５ｍｍ ハウジング ： 内径 ５０ｍｍ ， 長さ １５０ｍ
ｍ 中空繊維充填率 ： ４５％ 中空繊維材質 ：ポリエーテルサルフォン・ポリアリレ
ートのポリマアロイ 中空繊維外周面微細孔径 ： ７ｎｍ 空孔率 ：７０％ 中空繊維長さ ：１４０ｍｍ 室温 ：２２℃ 現像液温度 ：２２℃ 以上の設定条件のもとで、それぞれ本発明、従来装置、
の場合に分けて、バルブ３から、本発明装置間の距離Ｌ
（中空管２ｂの長さ）を変化させた場合の気泡の発生状
況を目視判断した結果を表１に示す。
ｍ 中空繊維充填率 ： ４５％ 中空繊維材質 ：ポリエーテルサルフォン・ポリアリレ
ートのポリマアロイ 中空繊維外周面微細孔径 ： ７ｎｍ 空孔率 ：７０％ 中空繊維長さ ：１４０ｍｍ 室温 ：２２℃ 現像液温度 ：２２℃ 以上の設定条件のもとで、それぞれ本発明、従来装置、
の場合に分けて、バルブ３から、本発明装置間の距離Ｌ
（中空管２ｂの長さ）を変化させた場合の気泡の発生状
況を目視判断した結果を表１に示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】尚、上述のように、本発明装置を、半導体
製造装置に適用した場合についてのべたが、これに留ま
らず、本発明装置は、バルブの開閉に伴なって、溶液中
に気泡が発生する弊害がある場合、これを除去できると
ころから、他の装置にも適用できることは勿論である。
製造装置に適用した場合についてのべたが、これに留ま
らず、本発明装置は、バルブの開閉に伴なって、溶液中
に気泡が発生する弊害がある場合、これを除去できると
ころから、他の装置にも適用できることは勿論である。
【００１８】
【発明の効果】本発明は、上述のように、吐出ノズルと
バルブとの配管経路の途中に、外周面に微細孔を有し、
且つ、所定の長さと微小の内径とを有する中空繊維を内
蔵したハウジングを配設し、薬液を、ハウジングの中空
繊維外周面の微細孔から中空繊維の中を通過させて現像
液を吐出ノズルからウエハの上に吐出したので、従来の
装置に比較して、バルブの開閉に起因する薬液中の圧力
変動を吸収して、バルブ近傍に発生する気泡の発生を防
止すると共に何らかの理由で混入した気泡を中空繊維の
外周面の微細孔で遮断するようになし、実質的に気泡問
題が解消する効果を奏する。
バルブとの配管経路の途中に、外周面に微細孔を有し、
且つ、所定の長さと微小の内径とを有する中空繊維を内
蔵したハウジングを配設し、薬液を、ハウジングの中空
繊維外周面の微細孔から中空繊維の中を通過させて現像
液を吐出ノズルからウエハの上に吐出したので、従来の
装置に比較して、バルブの開閉に起因する薬液中の圧力
変動を吸収して、バルブ近傍に発生する気泡の発生を防
止すると共に何らかの理由で混入した気泡を中空繊維の
外周面の微細孔で遮断するようになし、実質的に気泡問
題が解消する効果を奏する。
【図１】本発明装置を備えた半導体製造装置のレジスト
現像工程の要部概要の一例を示す説明図である。
現像工程の要部概要の一例を示す説明図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】本発明装置に使用される一本の中空繊維の斜視
図である。
図である。
【図４】バルブの開閉時、本発明装置と、バルブとの間
の配管中の圧力変動状態を示す説明図である。
の配管中の圧力変動状態を示す説明図である。
【図５】従来装置を備えた半導体製造装置のレジスト現
像工程の要部概要の一例を示す説明図である。
像工程の要部概要の一例を示す説明図である。
【図６】バルブの開閉時、従来装置と、バルブとの間の
配管中の圧力変動状態を示す説明図である。
配管中の圧力変動状態を示す説明図である。
１ 現像液供給源 ２ａ、２ｂ、２ｃ 中空管 ３ バルブ ４ 本発明装置 ５ 吐出ノズル ６ 中空繊維 ７ 空隙 ８ ハウジング ９ 空間部 Ｗ ウエハ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１０年１２月２２日（１９９８．１２．
２２）
２２）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明装置を備えた半導体製造装置のレジスト
現像工程の要部概要の一例を示す説明図である。
現像工程の要部概要の一例を示す説明図である。
【図２】図１の要部拡大図である。
【図３】本発明装置に使用される一本の中空繊維の斜視
図である。
図である。
【図４】バルブの開閉時、本発明装置と、バルブとの間
の配管中の圧力変動状態を示す説明図である。
の配管中の圧力変動状態を示す説明図である。
【図５】従来装置を備えた半導体製造装置のレジスト現
像工程の要部概要の一例を示す説明図である。
像工程の要部概要の一例を示す説明図である。
【符号の説明】 １ 現像液供給源 ２ａ、２ｂ、２ｃ 中空管 ３ バルブ ４ 本発明装置 ５ 吐出ノズル ６ 中空繊維 ７ 空隙 ８ ハウジング ９ 空間部 Ｗ ウエハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 000226242 日機装株式会社 東京都渋谷区恵比寿３丁目43番２号 (72)発明者 三谷忠興 石川県能美郡辰口町旭台１丁目50番 大学 宿舎Ａ−34 (72)発明者 堀 秀信 石川県金沢市平和町２丁目27番25号平和宿 舎Ｂ33−42 (72)発明者 仁木敏一 富山県砺波市高波353番地 (72)発明者 土生恵彦 石川県金沢市泉本町２丁目89番３号 (72)発明者 千葉敏昭 石川県金沢市北陽台３丁目１番 日機装株 式会社金沢製作所内 Ｆターム(参考） 2H096 AA25 GA23 GA30 5F046 LA03 LA04
Claims (1)
- 【請求項１】 薬液供給源から汲みだされた薬液を、バ
ルブの開閉で吐出ノズルから、ウエハ等の基板上に吐出
する装置であって、吐出ノズルとバルブとの配管経路の
途中に、外周面に微細孔を有し、且つ、所定の長さと微
小の内径とを有する中空繊維を内蔵したハウジングを配
設し、薬液を、ハウジングの中空繊維外周面の微細孔か
ら中空繊維の中を通過させて、バルブの開閉に起因する
薬液中の圧力変動を吸収して、バルブ近傍に発生する気
泡の発生を防止すると共に薬液中に混入していた気泡を
中空繊維の外周面の微細孔で遮断するように構成したこ
とを特徴とする気泡発生防止兼用気泡除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25193298A JP2000068197A (ja) | 1998-08-20 | 1998-08-20 | 気泡発生防止兼用気泡除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25193298A JP2000068197A (ja) | 1998-08-20 | 1998-08-20 | 気泡発生防止兼用気泡除去装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000068197A true JP2000068197A (ja) | 2000-03-03 |
Family
ID=17230124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25193298A Pending JP2000068197A (ja) | 1998-08-20 | 1998-08-20 | 気泡発生防止兼用気泡除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000068197A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006528835A (ja) * | 2003-07-24 | 2006-12-21 | カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー | マイクロリソグラフィ投影露光装置および浸漬液体を浸漬空間へ導入する方法 |
| JP2014082513A (ja) * | 2012-02-27 | 2014-05-08 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置及び液処理方法 |
| CN109445254A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-03-08 | 福建省福联集成电路有限公司 | 一种减少显影管路气泡的装置 |
-
1998
- 1998-08-20 JP JP25193298A patent/JP2000068197A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006528835A (ja) * | 2003-07-24 | 2006-12-21 | カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー | マイクロリソグラフィ投影露光装置および浸漬液体を浸漬空間へ導入する方法 |
| JP2014082513A (ja) * | 2012-02-27 | 2014-05-08 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置及び液処理方法 |
| CN109445254A (zh) * | 2018-11-16 | 2019-03-08 | 福建省福联集成电路有限公司 | 一种减少显影管路气泡的装置 |
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