JPH11216337A - 処理液供給装置用フィルタ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 既設の処理液供給配管にも、脱気機能や気体
溶存機能を有する部材を容易に取り付けることができ、
配管の取回しが最小限で済んで装置間の互換性を保つこ
とができ、処理液供給装置の小型化および低コスト化を
図ることができるフィルタ装置を提供する。 【解決手段】 処理液流入口５２、処理液流出口６４お
よび通気口６６を有する密閉容器３０の内部に、気体の
みを透過させる気体透過膜材によって形成された多数の
細管状エレメントで構成されたパーティクル除去部材３
２を配設し、多数の細管状エレメントの一端を流路的に
閉塞し他端を密閉容器の通気口に連通させた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハ、
液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基
板、光ディスク用基板などの各種基板の表面に現像液、
フォトレジスト液、ポリイミド樹脂、ＳＯＧ（シリカ系
被膜形成材）液等の塗布液、純水等の洗浄液などの処理
液を供給して現像、塗布、洗浄などの所定の処理を施す
基板処理装置に使用され、その基板処理装置へ処理液を
供給する処理液供給装置の処理液供給配管に介在して配
設されるフィルタ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】基板処理装置、例えば基板回転式現像装
置では、半導体ウエハ等の基板を水平姿勢に保持して鉛
直軸回りに回転させながら、その基板表面に被着形成さ
れた露光済みのフォトレジスト膜を現像処理する場合
に、現像液を貯留している現像液タンクから現像液供給
配管を通して吐出ノズルへ現像液を圧送し、吐出ノズル
の吐出口から基板の表面へ現像液を供給するようにして
いる。そして、この際、基板の表面へ供給される現像液
にパーティクルが含まれていると、現像むら等の不都合
を生じるので、現像液供給配管には、通常、現像液に含
まれているパーティクルを除去して現像液を清浄にする
ために、パーティクル除去部材を内蔵したフィルタ装置
が介在して配設されている。

【０００３】ところが、現像液中には、現像液タンクか
ら現像液供給配管を通して現像液を圧送する際のエアー
噛みに起因する気泡や、最初から溶け込んでいる極く微
細な気泡が存在している場合がある。このように気体が
溶存している現像液をそのまま吐出ノズルから基板の表
面へ供給すると、現像液中の気体が基板上のフォトレジ
スト膜面に気泡として付着することになる。この結果、
気泡の付着部位における現像処理が阻害され、現像不良
を起こすことになる。これと同様の問題は、基板現像装
置に限らず各種の基板処理装置においても起こる。例え
ば、基板塗布装置では、基板の表面へ供給されたフォト
レジスト液に気泡が含まれていると、その塗布部位の膜
厚が極端に薄くなり、あるいは全くフォトレジスト液の
無い部位（いわゆるピンホール）を生じて、塗布不良を
起こすことになる。特に、近年における半導体プロセス
では益々微細化が進んでいるため、現像液やフォトレジ
スト液などの処理液に気体が溶存していると、それによ
る悪影響は非常に大きなものとなる。

【０００４】そこで、処理液に気体が溶存することによ
って引き起こされる処理不良を無くすために、フィルタ
装置の他に、気体のみを透過させる気体透過作用を有す
る気体透過膜材（気体交換膜材、気体浸透膜材あるいは
脱気膜材とも呼ばれる）によって通気路が形成された気
体透過部材（脱気モジュール）を内蔵した脱気装置を、
処理液タンクから基板処理装置の吐出ノズルへ至る処理
液供給配管に介在させて配設するようにしている。そし
て、気体透過部材の通気路を真空ポンプなどに流路接続
して通気路内を減圧し、脱気装置内を処理液が通過する
際に、気体透過膜材を通して処理液中の気体を通気路内
へ移行させて、処理液中から気体を除去するようにして
いる。

【０００５】また、基板洗浄装置のように純水を使用す
る装置では、純水は比抵抗値が極めて大きく帯電し易い
ため、例えば、純水を洗浄液として基板の表面へ供給し
た際に、静電破壊により、基板上に形成された回路パタ
ーンなどにダメージを与えることがある。そこで、この
ような不具合が生じないように、純水の比抵抗値を下げ
て帯電が起こりにくくした上で、純水を基板表面へ供給
する、といったことが行われている。すなわち、純水中
に誘電率の高い気体、例えば二酸化炭素を溶存させるこ
とにより、純水の比抵抗値を下げるようにしている。そ
して、二酸化炭素を純水中に溶存させるために、上記し
たような気体透過部材を内蔵した気体溶存装置を使用
し、気体透過部材の通気路を炭酸ガスボンベなどに流路
接続して通気路内へ二酸化炭素を供給し、気体溶存装置
内を純水が通過する際に、気体透過膜材を通して二酸化
炭素を純水中へ移行させるようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、既設の基板
処理システムに、上記したような脱気装置や気体溶存装
置を追加して取り付けるためには、その取付けのための
スペースを必要とする。しかしながら、通常は、システ
ム内に余分なスペースはほとんど無く、このため、追加
の装置の取付け作業が非常に困難となり、あるいはその
取付けを全く行うことができない、といった問題点があ
る。また、脱気装置や気体溶存装置の取付けを行うこと
ができたとしても、配管の取回しが複雑になったり、ま
た、同一機種の装置であっても他の装置とは配管経路が
違ったものになって互換性が無くなる、といった問題点
がある。

【０００７】また、脱気装置や気体溶存装置を含めた基
板処理システムを新規に設計する場合にも、フィルタ装
置の他に脱気装置や気体溶存装置の取付けのためのスペ
ースを確保する必要があって、システム全体のスペース
が大きくなり、また、装置の製造コストも高くなる、と
いった問題点がある。

【０００８】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、既設の基板処理システムの処理液供
給装置の処理液供給配管にも、脱気機能や気体溶存機能
を有する部材を容易に取り付けることができるととも
に、装置間の互換性を保つことができ、また、パーティ
クル除去機能の他に脱気機能や気体溶存機能を有する処
理液供給装置を新規に設置する場合には、装置の小型化
および低コスト化を図ることができる処理液供給装置用
フィルタ装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明では、基板処理
装置へ処理液を供給する処理液供給装置の処理液供給配
管に介在して配設された処理液供給装置用フィルタ装置
において、処理液に含まれているパーティクルを除去す
るパーティクル除去作用と、処理液中に溶存している気
体を除去する脱気作用あるいは処理液中に気体を溶存さ
せる気体溶存作用との両方の作用を有する部材を用いる
ことにより、上記目的を達成した。すなわち、請求項１
に係る発明は、処理液流入口および処理液流出口ならび
に通気口を有する密閉容器の内部に、その内部を流路的
に処理液流入側と処理液流出側とに仕切るように、気体
のみを透過させる気体透過膜材によって形成された多数
の細管状エレメントで構成されたパーティクル除去部材
を配設し、そのパーティクル除去部材を構成する多数の
細管状エレメントの少なくともその一方の端部を前記密
閉容器の通気口に連通させたことを特徴とする。

【００１０】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
フィルタ装置において、密閉容器の通気口を減圧手段に
流路接続したことを特徴とする。

【００１１】請求項３に係る発明は、請求項１に記載の
フィルタ装置において、密閉容器の通気口を気体供給手
段に流路接続したことを特徴とする。

【００１２】請求項４に係る発明は、請求項１ないし請
求項３のいずれかに記載のフィルタ装置において、パー
ティクル除去部材を円筒状に形成し、その円筒状のパー
ティクル除去部材の一端側を閉塞部材によって液密に閉
塞するとともに、円筒状のパーティクル除去部材を、そ
の中空部と密閉容器の処理液流入口または処理液流出口
とが連通するように密閉容器の内部に配設し、パーティ
クル除去部材を構成する多数の細管状エレメントのそれ
ぞれを、パーティクル除去部材の一端側から他端側へ向
くように配置して、多数の細管状エレメントのそれぞれ
の一端側を気体閉塞部材によって気密に閉塞するととも
にそれぞれの他端側を前記密閉容器の通気口に連通させ
たことを特徴とする。

【００１３】請求項１に係る発明のフィルタ装置におい
ては、処理液供給配管内から処理液流入口を通って密閉
容器内へ流入した処理液は、密閉容器の内部に配設され
たパーティクル除去部材を透過して、その際にパーティ
クルが除去され、パーティクルが除去された処理液は、
密閉容器内から処理液流出口を通って流出し、処理液供
給配管を通って基板処理装置へ供給される。そして、こ
の装置では、パーティクル除去部材が、気体のみを透過
させる気体透過膜材によって形成された多数の細管状エ
レメントで構成されているため、処理液は、パーティク
ル除去部材を透過する際に、細管状エレメントを形成し
ている気体透過膜材を通して処理液中の気体が、密閉容
器の通気口に連通した細管状エレメント内部へ移行し
て、処理液中から気体が除去され、あるいは、細管状エ
レメント内部から気体透過膜材を通して気体が処理液中
へ移行して、処理液中に気体が溶存させられる。

【００１４】請求項２に係る発明のフィルタ装置では、
密閉容器の通気口に連通した多数の細管状エレメントの
内部が減圧手段によって減圧されることにより、多数の
細管状エレメントで構成されたパーティクル除去部材を
処理液が透過する際に、処理液中に溶存している気体が
気体透過膜材を通して細管状エレメント内部へ移行し
て、処理液中から気体が除去されることになる。

【００１５】請求項３に係る発明のフィルタ装置では、
気体供給手段から気体、例えば二酸化炭素が、密閉容器
の通気口に連通した多数の細管状エレメントの内部へ供
給されることにより、多数の細管状エレメントで構成さ
れたパーティクル除去部材を処理液が透過する際に、細
管状エレメント内部の二酸化炭素が気体透過膜材を通し
て処理液、例えば純水中へ移行して、純水中に二酸化炭
素が溶存させられることになる。

【００１６】請求項４に係る発明のフィルタ装置では、
処理液は、処理液供給配管内から処理液流入口を通っ
て、密閉容器の内部に配設され一端側が閉塞部材によっ
て閉塞された円筒状のパーティクル除去部材の中空部内
へ流入し、その中空部内から、多数の細管状エレメント
で構成されたパーティクル除去部材を透過して、密閉容
器の内面とパーティクル除去部材の外周面とで形成され
た液流路内へ流入し、その液流路内から密閉容器の処理
液流出口を通って処理液供給配管内へ流出する。あるい
は、処理液は、処理液供給配管内から処理液流入口を通
って、密閉容器の内面と密閉容器の内部に配設され一端
側が閉塞部材によって閉塞された円筒状のパーティクル
除去部材の外周面とで形成された液流路内へ流入し、そ
の液流路内から、多数の細管状エレメントで構成された
パーティクル除去部材を透過して、パーティクル除去部
材の中空部内へ流入し、その中空部内から密閉容器の処
理液流出口を通って処理液供給配管内へ流出する。ま
た、パーティクル除去部材を構成する多数の細管状エレ
メントはそれぞれ、パーティクル除去部材の一端側から
他端側へ向くように配置され、一端側が気体閉塞部材に
よって気密に閉塞されており、他端側が密閉容器の通気
口に連通していることにより、細管状エレメント内部が
減圧され、あるいは細管状エレメント内部へ気体が供給
される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について図面を参照しながら説明する。

【００１８】図１は、基板処理装置の１例である基板回
転式現像装置へ現像液を供給する現像液供給系の概略構
成の１例を示す図である。基板回転式現像装置１０は、
スピンチャック１２上に基板Ｗを水平姿勢で吸着保持し
た状態で、基板Ｗを鉛直軸回りに回転させながら、吐出
ノズル１４の吐出口から基板Ｗの表面へ現像液を供給し
て、基板Ｗ表面に形成された露光済みのフォトレジスト
膜を現像処理するようになっている。

【００１９】現像装置１０の吐出ノズル１４へ現像液を
供給する現像液供給系は、密閉容器からなり現像液１６
を貯留する現像液タンク１８、この現像液タンク１８の
上部からそのタンク１８内の上部空間へ窒素ガスを供給
するための窒素ガス供給配管２０、および、一端側が現
像液タンク１８内の現像液１６中へ差し入れられ、他端
側が現像装置１０の吐出ノズル１４に接続された現像液
供給配管２２を備えて構成されている。そして、窒素ガ
スボンベ等の窒素ガス供給源から窒素ガス供給配管２０
を通って現像液タンク１８内の上部空間へ窒素ガスを供
給することにより、タンク１８内の現像液１６の液面を
押圧して現像液供給配管２２内へ現像液１６を送り出
し、現像液供給配管２２を通って吐出ノズル１４へ現像
液を圧送するようになっている。なお、窒素ガスの圧力
によって現像液を圧送する構成に代えて、ポンプなどに
より現像液を圧送するような構成としてもよい。

【００２０】現像液タンク１８から吐出ノズル１４へ至
る現像液供給配管２２には、後述するような構成を備え
現像液に含まれるパーティクルを除去するパーティクル
除去作用および現像液中に溶存している気体を除去する
脱気作用を有するフィルタ装置２４、配管２２内を流通
する現像液の流量を確認するための流量計２６、ならび
に、吐出ノズル１４への現像液の供給および供給停止を
切り替える開閉制御弁２８がそれぞれ介在して配設され
ている。

【００２１】フィルタ装置２４は、図２に縦断面図を、
図３に図２のIII−III矢視横断面図をそれぞれ示すよう
に、円筒状の密閉容器３０の内部に、パーティクル除去
作用と共に脱気作用を有するパーティクル除去部材３２
を内蔵している。パーティクル除去部材３２は、円筒状
に形成されており、パーティクル除去部材３２の軸線方
向長さより長い管体３４の外側に、その管体３４と横断
面同心円状に嵌挿されている。管体３４の管壁には、多
数の貫通小孔３６が形成されている。パーティクル除去
部材３２の一端面（図２では下端面）は、管体３４の一
端と共に閉塞部材３８によって閉塞されている。また、
パーティクル除去部材３２の他端面側（図２では上端面
側）は、管体３４の他端部（図２では上端部）に密嵌さ
れた環状部材４０が液密に連接されている。そして、図
４に外観斜視図を示すように、パーティクル除去部材３
２、管体３４、閉塞部材３８および環状部材４０は、一
体的に構成されている。

【００２２】パーティクル除去部材３２は、図４のＡ部
分の拡大図を図５に示すように、例えばポリエチレン系
樹脂からなる気体透過膜材によって形成された多数の細
管状エレメント４２を織成して構成されている。そし
て、パーティクル除去部材３２の内部は、一部をさらに
拡大した断面図を図６に示すように、それぞれの細管状
エレメント４２の内部が通気路４４となり、細管状エレ
メント４２と細管状エレメント４２との間が液通路４６
となる。それぞれの細管状エレメント４２は、気体のみ
を透過させ液体を透過させない微細孔４８を多数有して
おり、細管状エレメント４２の外側の液通路４６を通っ
て現像液が流れると、現像液中に溶存している気体のみ
が気体透過膜材を透過して細管状エレメント４２内部の
通気路４４内へ移行するようになっている。また、パー
ティクル除去部材３２を構成する多数の細管状エレメン
ト４２はそれぞれ、パーティクル除去部材３２の一端側
から他端側へ向くように（図２では上下方向に）配置さ
れている。なお、図示例では、細管状エレメント４２を
織物のように織り込んでそれを幾層にも積層したものを
円筒状に成形して、円筒状のパーティクル除去部材３２
を構成するようにしているが、多数の細管状エレメント
からパーティクル除去部材を構成するには、それ以外の
方法によってもよく、例えば、多数の細管状エレメント
を絡み合わせながら単にブロック状に密集させて枠など
で円筒状に成形保持するようにして、パーティクル除去
部材を構成するようにしてもよい。

【００２３】パーティクル除去部材３２を構成している
多数の細管状エレメント４２の内部のそれぞれの通気路
４４の一端（図２では下端）は、閉塞部材３８によって
気密に閉塞されている。また、パーティクル除去部材３
２の上端面側が連接されてパーティクル除去部材３２と
一体的に構成された環状部材４０に、パーティクル除去
部材３２との連接面側に開口した環状凹部からなる通気
室５０が形成されていて、この通気室５０に、円筒状の
パーティクル除去部材３２を構成している多数の細管状
エレメント４２の内部の通気路４４の他端（図２では上
端）がそれぞれ連通している。なお、図示例では、パー
ティクル除去部材３２の一端面および管体３４の一端を
それぞれ閉塞する閉塞部材３８によって、パーティクル
除去部材３２の多数の細管状エレメント４２内部の通気
路４４の一端を気密に閉塞するようにしているが、多数
の細管状エレメント４２の一端を個別の気体閉塞部材に
よって閉塞するようにしてもよい。

【００２４】円筒状の密閉容器３０の一端側（図２では
下端側）には、現像液流入口５２が設けられている。ま
た、密閉容器３０の他端面（図２では上端面）の中央部
には、内周部の一部に雌ねじ５６が螺刻された開口部５
４が形成されており、その開口部５４に、雌ねじ５６に
螺合する雄ねじ５８が外周部の一部に螺刻され管体３４
の上端部の外周面に密嵌されて固着される取付け部材５
８が螺着されるようになっている。取付け部材５８の下
端面と環状部材４０の上端面との間には、液密状態を保
つためのＯ−リング６２が配設されている。そして、管
体３４の端部が密閉容器３０の端面から突出するよう
に、密閉容器３０の内部にパーティクル除去部材３２、
管体３４、閉塞部材３８および環状部材４０の一体構成
物が収納され、密閉容器３０の端面から突出した管体３
４の端部が現像液流出口６４となる。なお、密閉容器３
０は、その内部にパーティクル除去部材３２等からなる
一体構成物を収納することができるように、上・下に分
割可能な構造とされているが、その図示を省略してい
る。パーティクル除去部材３２等からなる一体構成物が
密閉容器３０の内部に収納された状態で、密閉容器３０
の一端側（図２では下端側）の内面と閉塞部材３８との
間、および、密閉容器３０の内周面とパーティクル除去
部材３２の外周面との間にそれぞれ液流路が形成される
ように、パーティクル除去部材３２の軸線方向長さおよ
び外径のそれぞれの寸法が設定される。さらに、密閉容
器３０の開口部５４の周辺部に、密閉容器３０の端面に
通気口６６が開口した通気路６８が形設されていて、そ
の通気路６８と環状部材４０に形成された通気室５０と
が連通している。密閉容器３０の通気口６６には、図１
に示すように真空ポンプ７０が流路接続されている。な
お、真空ポンプ７０を用いる代わりに、クリーンルーム
などに配備されている真空ユーティリティに密閉容器３
０の通気口６６を流路接続するようにしてもよい。

【００２５】以上のような構成を有するフィルタ装置２
４は、現像液流入口５２が上流側すなわち現像液タンク
１８側となり現像液流出口６４が下流側すなわち現像装
置１０の吐出ノズル１４側となるように、現像液供給配
管２２に、それぞれ図示しない管継手を介して接続され
る。また、密閉容器３０の通気口６６が、真空ポンプ７
０に接続された配管７２に図示しない管継手を介して接
続され、パーティクル除去部材３２の多数の細管状エレ
メント４２の内部の通気路４４内が所定の圧力に減圧さ
れるようになっている。そして、現像液供給配管２２内
に現像液を流すと、現像液は、図２に流れの方向を矢印
で示すように、現像液供給配管２２内から現像液流入口
５２を通って密閉容器３０内へ流入し、密閉容器３０の
内面とパーティクル除去部材３２の外周面および閉塞部
材３８との間に形成された液流路を通り、その液流路か
らパーティクル除去部材３２を透過して、貫通小孔３６
を通り管体３４内へ流入する。この際に、現像液に含ま
れているパーティクルがパーティクル除去部材３２によ
って除去されるとともに、現像液中に溶存している気体
が、パーティクル除去部材３２を構成する細管状エレメ
ント４２を形成している気体透過膜材を通して減圧状態
の細管状エレメント４２内部の通気路４４内へ移行し
て、現像液中から気体が除去される。そして、パーティ
クルが除去されて清浄化されるとともに脱気された現像
液は、管体３４内を通り、現像液流出口６４を通ってフ
ィルタ装置２４から流出し、現像液供給配管２２を通っ
て現像装置１０の吐出ノズル１４へ送られる。

【００２６】このフィルタ装置２４は、密閉容器３０の
内部にパーティクル除去機能と共に脱気機能を有するパ
ーティクル除去部材３２を内蔵しているので、パーティ
クル除去機能のみを有するフィルタ装置が現像液供給配
管に介設された既設の現像液供給系に、現像液中に溶存
する気体を除去する脱気機能を付加しようとする場合に
は、このフィルタ装置２４を、パーティクル除去機能の
みを有するフィルタ装置と交換して配設すればよい。し
たがって、従来のように、フィルタ装置とは別に脱気装
置を現像液供給配管に追加して設置する、といったこと
を行わなくてもよいので、脱気装置の取付けのための余
分なスペースを必要とすることがない。また、パーティ
クル除去機能と共に脱気機能を有する現像液供給系を新
規に設計しようとする場合には、従来のように、フィル
タ装置の他に脱気装置の取付けのためのスペースを確保
する、といった必要が無いので、現像液供給系の設置ス
ペースが少なくて済み、また、コスト的にも有利とな
る。

【００２７】なお、上記した実施形態では、フィルタ装
置２４において、現像液を、密閉容器３０の一端側（図
２では下端側）から密閉容器３０の内面とパーティクル
除去部材３２の外周面および閉塞部材３８との間に形成
された液流路へ流入させ、その液流路からパーティクル
除去部材３２を透過させて管体３４内へ流入させ、管体
３４内からその端部（図２では上端部）を通って流出さ
せるようにしているが、図２に示したフィルタ装置２４
の現像液流入口５２を現像液流出口とし現像液流出口６
４を現像液流入口として、現像液を矢印で示した方向と
は逆向きに流すようにしてもよい。この場合には、現像
液は、管体３４の端部（図２では上端部）の現像液流入
口を通って流入し、管体３４内を通り、その管体３４内
から貫通小孔３６を通ってパーティクル除去部材３２を
透過して、密閉容器３０の内面とパーティクル除去部材
３２の外周面および閉塞部材３８との間に形成された液
流路へ流入し、その液流路から密閉容器の一端部（図２
では下端部）の現像液流出口を通って流出することにな
る。

【００２８】また、上記した実施の形態では、通気路４
４の一端を閉塞部材３８によって気密に閉塞し、通気路
４４の他端側を真空ポンプ７０に連通させるように構成
しているが、それに限られるものではなく、例えば、通
気路４４の一端側と真空ポンプ７０とを連通させるため
の連通路を密閉容器３０内に形成し、通気路４４の両端
を真空ポンプ７０と連通させるようにしてもよい。

【００２９】また、上記した実施形態では、基板回転式
現像装置へ現像液を供給する現像液供給系にこの発明を
適用して、フィルタ装置２４の密閉容器３０に設けられ
パーティクル除去部材３２を構成している細管状エレメ
ント４２の内部の通気路４４に連通した通気口６６に真
空ポンプ７０を流路接続した例について説明したが、こ
の発明を、例えば、洗浄液として純水を基板の表面へ吐
出する基板洗浄装置へ洗浄液（純水）を供給する洗浄液
供給系に適用する場合には、図１中に便宜的に示したよ
うに、フィルタ装置２４の密閉容器３０に設けられた通
気口６６に、例えば、液化した二酸化炭素が充填された
ガスボンベ７４と液化二酸化炭素を気化させるガス発生
器７６とから構成された気体供給手段を、ガス供給配管
７８を介して流路接続する。このような構成とした場合
には、パーティクル除去部材３２を構成している細管状
エレメント４２の内部の通気路４４内へ二酸化炭素を供
給することができ、通気路４４内の二酸化炭素を、パー
ティクル除去部材３２を透過する純水中へ気体透過膜材
を通して移行させ、純水中に二酸化炭素を溶存させるこ
とができる。これにより、純水の比抵抗値を下げて帯電
が起こりにくくした上で、純水を基板表面へ供給するこ
とができるようになる。なお、純水中に溶存させる気体
としては、二酸化炭素に限らず、誘電率の高い気体であ
ればよい。

【００３０】さらに、上記した説明では、パーティクル
除去部材３２の形状を円筒状としたが、パーティクル除
去部材は、各種形状に成形することができ、例えば、多
数の細管状エレメントから平板状のパーティクル除去部
材を構成して、その平板状のパーティクル除去部材によ
り密閉容器の内部を２つの区画に仕切るようにしてもよ
い。

【００３１】

【発明の効果】請求項１に係る発明の処理液供給装置用
フィルタ装置を使用すると、既設の基板処理システムの
処理液供給装置の処理液供給配管にも、パーティクル除
去機能のみを有するフィルタ装置と交換するだけで、脱
気機能や気体溶存機能を容易に付加することができると
ともに、配管の取回しが最小限で済むので、同一機種の
装置間での互換性を保つことができ、また、処理液供給
装置を新規に設置する場合には、装置の小型化および低
コスト化を図ることができる。

【００３２】請求項２に係る発明のフィルタ装置を使用
すると、処理液中から気体を除去することが可能にな
る。

【００３３】請求項３に係る発明のフィルタ装置を使用
すると、処理液中に気体、例えば純水中に二酸化炭素を
溶存させることが可能になる。

【００３４】請求項４に係る発明のフィルタ装置では、
密閉容器の内部に配設されるパーティクル除去部材が円
筒状をなしているので、装置がコンパクトになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】基板処理装置の１例である基板回転式現像装置
へ現像液を供給する現像液供給系の概略構成の１例を示
す図である。

【図２】この発明の１実施形態を示すフィルタ装置の縦
断面図である。

【図３】図２のIII−III矢視横断面図である。

【図４】図２に示したフィルタ装置の構成要素であるパ
ーティクル除去部材、管体、閉塞部材および環状部材の
一体構成物の外観斜視図である。

【図５】図４のＡ部分の拡大図であって、パーティクル
除去部材の表面を拡大して示す図である。

【図６】パーティクル除去部材の一部をさらに拡大して
示す断面図である。

【符号の説明】

Ｗ 基板 １０ 基板回転式現像装置 １２ スピンチャック １４ 吐出ノズル １６ 現像液 １８ 現像液タンク ２０ 窒素ガス供給配管 ２２ 現像液供給配管 ２４ フィルタ装置 ３０ 密閉容器 ３２ パーテイクル除去部材 ３４ 管体 ３６ 管体の貫通小孔 ３８ 閉塞部材 ４０ 環状部材 ４２ 気体透過膜材によって形成された細管状エレメン
ト ４４ 細管状エレメントの内部の通気路 ４６ 液通路 ４８ 微細孔 ５０ 通気室 ５２ 現像液流入口 ５４ 開口部 ５８ 取付け部材 ６４ 現像液流入口 ６６ 通気口 ６８ 通気路 ７０ 真空ポンプ ７２ 配管 ７４ 液化した二酸化炭素が充填されたガスボンベ ７６ ガス発生器 ７８ ガス供給配管

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/31 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６４Ｚ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理装置へ処理液を供給する処理液
   供給装置の処理液供給配管に介在して配設された処理液
   供給装置用フィルタ装置において、 処理液流入口および処理液流出口ならびに通気口を有す
   る密閉容器の内部に、その内部を流路的に処理液流入側
   と処理液流出側とに仕切るように、気体のみを透過させ
   る気体透過膜材によって形成された多数の細管状エレメ
   ントで構成されたパーティクル除去部材を配設し、その
   パーティクル除去部材を構成する多数の細管状エレメン
   トの少なくともその一方の端部を前記密閉容器の通気口
   に連通させたことを特徴とする処理液供給装置用フィル
   タ装置。
2. 【請求項２】 密閉容器の通気口が減圧手段に流路接続
   された請求項１記載の処理液供給装置用フィルタ装置。
3. 【請求項３】 密閉容器の通気口が気体供給手段に流路
   接続された請求項１記載の処理液供給装置用フィルタ装
   置。
4. 【請求項４】 パーティクル除去部材が円筒状をなし、
   その円筒状のパーティクル除去部材の一端側が閉塞部材
   によって液密に閉塞されるとともに、円筒状のパーティ
   クル除去部材が、その中空部と密閉容器の処理液流入口
   または処理液流出口とが連通するように密閉容器の内部
   に配設され、パーティクル除去部材を構成する多数の細
   管状エレメントのそれぞれが、パーティクル除去部材の
   一端側から他端側へ向くように配置されて、多数の細管
   状エレメントのそれぞれの一端側が気体閉塞部材によっ
   て気密に閉塞されるとともにそれぞれの他端側が前記密
   閉容器の通気口に連通した請求項１ないし請求項３のい
   ずれかに記載の処理液供給装置用フィルタ装置。