JP2000065177A - リンク装置 - Google Patents
リンク装置Info
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- JP2000065177A JP2000065177A JP23187798A JP23187798A JP2000065177A JP 2000065177 A JP2000065177 A JP 2000065177A JP 23187798 A JP23187798 A JP 23187798A JP 23187798 A JP23187798 A JP 23187798A JP 2000065177 A JP2000065177 A JP 2000065177A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 たわみ荷重及びねじれ荷重の伝わる経路を改
善して、たわみ及びねじれによる搬送物の位置ずれを防
ぎ、かつ軽量なリンク装置を提供すること。 【解決手段】 第1の平行リンク14Aの主アーム1の
他端側1bと、第2の平行リンク14Bの主アーム3の
一端側3aとを、浮動軸受6を介して結合軸9で同軸連
結する。これによりたわみ荷重及びねじれ荷重が主アー
ム3から主アーム1へ直接伝わり、ウエハ13の位置ず
れを防ぐと共にリンク装置を軽量化することができる。
善して、たわみ及びねじれによる搬送物の位置ずれを防
ぎ、かつ軽量なリンク装置を提供すること。 【解決手段】 第1の平行リンク14Aの主アーム1の
他端側1bと、第2の平行リンク14Bの主アーム3の
一端側3aとを、浮動軸受6を介して結合軸9で同軸連
結する。これによりたわみ荷重及びねじれ荷重が主アー
ム3から主アーム1へ直接伝わり、ウエハ13の位置ず
れを防ぐと共にリンク装置を軽量化することができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウエ
ハ等の搬送用のリンク装置に関するものである。
ハ等の搬送用のリンク装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体チップの製造工程において、例え
ば、半導体ウエハのオリエンテーションフラット部(以
下、オリフラと称する。)を所定方向に向け、その半導
体ウエハ(以下、ウエハと称する。)を所定の位置から
所定の位置へ搬送する場合、その搬送方法としては各種
の搬送装置が存在する。
ば、半導体ウエハのオリエンテーションフラット部(以
下、オリフラと称する。)を所定方向に向け、その半導
体ウエハ(以下、ウエハと称する。)を所定の位置から
所定の位置へ搬送する場合、その搬送方法としては各種
の搬送装置が存在する。
【0003】図6はその搬送装置の一例を示し、ウエハ
13のオリフラ13aの向きを変えず、複数のウエハ1
3を所定の位置から所定の位置へ水平方向に搬送する装
置の要部の概略図である。
13のオリフラ13aの向きを変えず、複数のウエハ1
3を所定の位置から所定の位置へ水平方向に搬送する装
置の要部の概略図である。
【0004】図示の如く、この装置は、幅広で強度の大
きい主アーム21と幅狭で強度の小さい補助アーム22
とからなる第1の平行リンク20Aと、幅広で強度の大
きい主アーム23と幅狭で強度の小さい補助アーム24
とからなる第2の平行リンク20Bとが、浮動軸受26
を介して連結され、第2の平行リンク20Bの先端に物
品の搬送部34を形成し、例えば、高真空の半導体処理
装置内においてウエハ13の搬送に使用される。
きい主アーム21と幅狭で強度の小さい補助アーム22
とからなる第1の平行リンク20Aと、幅広で強度の大
きい主アーム23と幅狭で強度の小さい補助アーム24
とからなる第2の平行リンク20Bとが、浮動軸受26
を介して連結され、第2の平行リンク20Bの先端に物
品の搬送部34を形成し、例えば、高真空の半導体処理
装置内においてウエハ13の搬送に使用される。
【0005】即ち、第1の平行リンク20Aは、主アー
ム21の一端21aを駆動源となるモータ5のシャフト
から延長されて基台5aを貫通した駆動軸27に固定さ
れ、補助アーム22の一端22aが基台5aに回動自在
に従動軸28で軸着され、それぞれのアームの他端側を
浮動軸受26に軸着して四節リンク機構を形成してい
る。
ム21の一端21aを駆動源となるモータ5のシャフト
から延長されて基台5aを貫通した駆動軸27に固定さ
れ、補助アーム22の一端22aが基台5aに回動自在
に従動軸28で軸着され、それぞれのアームの他端側を
浮動軸受26に軸着して四節リンク機構を形成してい
る。
【0006】そして、第2の平行リンク20Bは、その
主アーム23の一端23aが第1の平行リンク20Aの
補助アーム22の他端22bと、その補助アーム24の
一端24aが第1の平行リンク20Aの主アーム21の
他端21bと、それぞれ浮動軸受26を介して結合軸2
9、30で軸着され、これら第2の平行リンク20Bの
主アーム23の他端23b及び補助アーム24の他端2
4bは、搬送部34を形成する基台11に結合軸31、
32により軸着され、第1の平行リンク20Aに連続し
たリンク機構を形成している。
主アーム23の一端23aが第1の平行リンク20Aの
補助アーム22の他端22bと、その補助アーム24の
一端24aが第1の平行リンク20Aの主アーム21の
他端21bと、それぞれ浮動軸受26を介して結合軸2
9、30で軸着され、これら第2の平行リンク20Bの
主アーム23の他端23b及び補助アーム24の他端2
4bは、搬送部34を形成する基台11に結合軸31、
32により軸着され、第1の平行リンク20Aに連続し
たリンク機構を形成している。
【0007】また、このリンク装置の先端となる基台1
1に搬送台12が結合され、オリフラ13aを一定方向
に位置させて複数のウエハ13を所定間隔を置いて載置
できるようになっている。
1に搬送台12が結合され、オリフラ13aを一定方向
に位置させて複数のウエハ13を所定間隔を置いて載置
できるようになっている。
【0008】そして、このリンク装置はモータ5を駆動
させ、第1の平行リンクの主アーム21を回動させるこ
とにより、浮動軸受26が駆動軸27を中心に円弧運動
し、第1の平行リンク20Aと第2の平行リンク20B
とのなす角度θを変化させることにより、リンク装置の
駆動軸27と第2の平行リンク20Bの先端との相対的
距離が変化し、搬送台12に載置されたウエハ13はオ
リフラ13aの向きを一定のままで水平移動するように
なっている。
させ、第1の平行リンクの主アーム21を回動させるこ
とにより、浮動軸受26が駆動軸27を中心に円弧運動
し、第1の平行リンク20Aと第2の平行リンク20B
とのなす角度θを変化させることにより、リンク装置の
駆動軸27と第2の平行リンク20Bの先端との相対的
距離が変化し、搬送台12に載置されたウエハ13はオ
リフラ13aの向きを一定のままで水平移動するように
なっている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなリンク装置では以下に述べるような不具合が生じ、
構造面での改善が早急の問題となっている。
うなリンク装置では以下に述べるような不具合が生じ、
構造面での改善が早急の問題となっている。
【0010】図7は、上記したリンク装置におけるたわ
み荷重の伝わりを示す模式図であり、図6におけるB矢
視による浮動軸受26近傍の概略図を示し、(a)は平
面図、(b)は正面図、(c)は(b)のc−c線断面
図である。
み荷重の伝わりを示す模式図であり、図6におけるB矢
視による浮動軸受26近傍の概略図を示し、(a)は平
面図、(b)は正面図、(c)は(b)のc−c線断面
図である。
【0011】即ち、図6の示すように、搬送するウエハ
13によるリンク装置への荷重は鉛直方向にかかる。そ
して、その荷重によるたわみは第2の平行リンク20B
の主アーム23から、結合軸30−浮動軸受26−結合
軸29−第1の平行リンク20Aの主アーム21の順に
伝わる。図7(a)〜(c)はこのたわみ荷重Wの伝わ
る経路を太線で図示している。
13によるリンク装置への荷重は鉛直方向にかかる。そ
して、その荷重によるたわみは第2の平行リンク20B
の主アーム23から、結合軸30−浮動軸受26−結合
軸29−第1の平行リンク20Aの主アーム21の順に
伝わる。図7(a)〜(c)はこのたわみ荷重Wの伝わ
る経路を太線で図示している。
【0012】このようなたわみ荷重Wの更に詳細な伝わ
り方は図7(b)及び(c)に示すように、第2の平行
リンク20Bの主アーム23から、結合軸30−浮動軸
受26の上板26a、背板26c、下板26bを経由し
て結合軸29−第1のリンク20Aの主アーム21へ伝
わる。
り方は図7(b)及び(c)に示すように、第2の平行
リンク20Bの主アーム23から、結合軸30−浮動軸
受26の上板26a、背板26c、下板26bを経由し
て結合軸29−第1のリンク20Aの主アーム21へ伝
わる。
【0013】しかし、このようにたわみ荷重Wの経路に
おいて浮動軸受26の背板26cをねじる現象が生じ
る。図7(b)において破線でたわみ荷重Wの経路を示
したのはこのねじれ現象を表現したものである。このね
じれによって、ウエハ13の位置が偏位し、不安定にな
ると共に、炉などの処理部への搬入、搬出に支障が生じ
る。通常、機械的強度を補う方法としては、強度が不足
する部分の断面係数を高めることが一般的な対策である
が、このようなリンク機構においてはリンク装置の自重
の軽減化が求められるため、補強による自重の増加は搬
送能力の低下を招くことになり、自重の増加は避けるの
が常識である。
おいて浮動軸受26の背板26cをねじる現象が生じ
る。図7(b)において破線でたわみ荷重Wの経路を示
したのはこのねじれ現象を表現したものである。このね
じれによって、ウエハ13の位置が偏位し、不安定にな
ると共に、炉などの処理部への搬入、搬出に支障が生じ
る。通常、機械的強度を補う方法としては、強度が不足
する部分の断面係数を高めることが一般的な対策である
が、このようなリンク機構においてはリンク装置の自重
の軽減化が求められるため、補強による自重の増加は搬
送能力の低下を招くことになり、自重の増加は避けるの
が常識である。
【0014】そこで本発明の目的は、補強することなく
して浮動軸受の損傷を防止できるリンク装置を提供する
ことにある。
して浮動軸受の損傷を防止できるリンク装置を提供する
ことにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、第1の
平行リンクをなす第1のリンクと第2のリンクの一端側
がそれぞれ、第1の主軸及び第1の従動軸に回動自在に
軸着され、前記第1及び第2のリンクの他端側が浮動軸
受を介してそれぞれ、第2の平行リンクをなす第3のリ
ンク及び第4のリンクの一端側と第2の主軸及び第2の
従動軸に軸着して連結され、前記第1及び第2の平行リ
ンク間の角度を可変することによって、前記第1のリン
クの前記第1の主軸と前記第3のリンクの他端側との相
対的距離が調整されるようにしたリンク装置に係るもの
である。
平行リンクをなす第1のリンクと第2のリンクの一端側
がそれぞれ、第1の主軸及び第1の従動軸に回動自在に
軸着され、前記第1及び第2のリンクの他端側が浮動軸
受を介してそれぞれ、第2の平行リンクをなす第3のリ
ンク及び第4のリンクの一端側と第2の主軸及び第2の
従動軸に軸着して連結され、前記第1及び第2の平行リ
ンク間の角度を可変することによって、前記第1のリン
クの前記第1の主軸と前記第3のリンクの他端側との相
対的距離が調整されるようにしたリンク装置に係るもの
である。
【0016】本発明によれば、第1の平行リンクの第1
のリンクの他端部と第2の平行リンクの第3のリンクと
一端部とが、浮動軸受を介して連結されるので、第1の
リンクと第3のリンクとが直接連結されることになる。
その結果、リンク装置の先端にかかる搬送物の荷重によ
るたわみが浮動軸受を経由することなく、第3のリンク
から直接第1のリンクに伝わり、例えば浮動軸受の損傷
を防止することができる。
のリンクの他端部と第2の平行リンクの第3のリンクと
一端部とが、浮動軸受を介して連結されるので、第1の
リンクと第3のリンクとが直接連結されることになる。
その結果、リンク装置の先端にかかる搬送物の荷重によ
るたわみが浮動軸受を経由することなく、第3のリンク
から直接第1のリンクに伝わり、例えば浮動軸受の損傷
を防止することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】上記のリンク装置の好ましい実施
の形態としては、少なくとも前記第2の平行リンクの先
端側で荷重を支持し、前記第1及び第3のリンクが前記
荷重を支持する主アームを構成することが望ましい。
の形態としては、少なくとも前記第2の平行リンクの先
端側で荷重を支持し、前記第1及び第3のリンクが前記
荷重を支持する主アームを構成することが望ましい。
【0018】この場合、前記第1及び第2の平行リンク
がそれぞれ、主アームとしての前記第1及び第3のリン
クと、補助アームとしての前記第2及び第4のリンクと
からなり、前記第1のリンクは前記第2のリンクよりも
機械的強度が大であり、前記第3のリンクも前記第4の
リンクよりも機械的強度が大であり、かつ、前記第1の
リンクと前記第3のリンクとが前記第2の主軸を介して
軸着して連結され、前記第2のリンクと前記第4のリン
クとが前記第2の従動軸を介して軸着して連結され、こ
れによって四節リンク機構を形成していることが望まし
い。
がそれぞれ、主アームとしての前記第1及び第3のリン
クと、補助アームとしての前記第2及び第4のリンクと
からなり、前記第1のリンクは前記第2のリンクよりも
機械的強度が大であり、前記第3のリンクも前記第4の
リンクよりも機械的強度が大であり、かつ、前記第1の
リンクと前記第3のリンクとが前記第2の主軸を介して
軸着して連結され、前記第2のリンクと前記第4のリン
クとが前記第2の従動軸を介して軸着して連結され、こ
れによって四節リンク機構を形成していることが望まし
い。
【0019】ここにおいて、「機械的強度が大である」
とは、同じ材質でも径が異なることによる強度の大、径
が同じでも材質が異なることによる強度の大、断面形態
による強度の大、及び軸との結合強度が大である等のい
ずれも含む概念である。
とは、同じ材質でも径が異なることによる強度の大、径
が同じでも材質が異なることによる強度の大、断面形態
による強度の大、及び軸との結合強度が大である等のい
ずれも含む概念である。
【0020】そして、上記した前記第1及び第2の平行
リンクの連結構造と同様の連結構造を介して、少なくと
も1つの第3の平行リンクが前記第2の平行リンクに連
結しており、前記第3の平行リンクの先端側と前記第1
のリンクの前記第1の主軸との相対的距離が調整される
ように構成してもよい。
リンクの連結構造と同様の連結構造を介して、少なくと
も1つの第3の平行リンクが前記第2の平行リンクに連
結しており、前記第3の平行リンクの先端側と前記第1
のリンクの前記第1の主軸との相対的距離が調整される
ように構成してもよい。
【0021】また、前記第3の平行リンクが複数設けら
れる場合も、これらのリンク間も前記連結構造を介して
連結されていることが望ましい。
れる場合も、これらのリンク間も前記連結構造を介して
連結されていることが望ましい。
【0022】この場合、前記各平行リンクが水平又は垂
直方向に配され、鉛直方向の荷重を受けるようになって
いることが望ましい。
直方向に配され、鉛直方向の荷重を受けるようになって
いることが望ましい。
【0023】これにより、物品の搬送用として好適なリ
ンク装置を提供することができる。
ンク装置を提供することができる。
【0024】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【0025】前述した好ましい実施の形態に従い鉄製の
リンク装置を作製した。図1はその要部を示す斜視概略
図である。
リンク装置を作製した。図1はその要部を示す斜視概略
図である。
【0026】図示の如く、このリンク装置は、既述した
図6と同様の機能を有し、例えばウエハの搬送に用いる
ものである。しかし、図6と異なる点は、第1の平行リ
ンク14A及び第2の平行リンク14B共、それぞれの
幅広で強度の大きい主アーム同士1、3及びそれぞれの
幅狭で強度の小さい補助アーム同士2、4が、浮動軸受
6を介して軸着して連結されていることであり、図6の
場合とは異なる特徴を有している。
図6と同様の機能を有し、例えばウエハの搬送に用いる
ものである。しかし、図6と異なる点は、第1の平行リ
ンク14A及び第2の平行リンク14B共、それぞれの
幅広で強度の大きい主アーム同士1、3及びそれぞれの
幅狭で強度の小さい補助アーム同士2、4が、浮動軸受
6を介して軸着して連結されていることであり、図6の
場合とは異なる特徴を有している。
【0027】従って、図2(図1におけるA矢視による
浮動軸受6近傍の概略図。)に示した模式図の如く、本
実施例のリンク装置におけるたわみ荷重の伝わり方は既
述した図6の場合とは異なる。なお、図2において
(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は(b)のc
−c線断面図である。
浮動軸受6近傍の概略図。)に示した模式図の如く、本
実施例のリンク装置におけるたわみ荷重の伝わり方は既
述した図6の場合とは異なる。なお、図2において
(a)は平面図、(b)は正面図、(c)は(b)のc
−c線断面図である。
【0028】即ち、図2に太線で示すように、このリン
ク装置にかかる鉛直方向の荷重によるたわみ荷重の伝わ
りは、機械的強度が大きく、荷重を支持している第2の
平行リンク14Bの主アーム3から第1の平行リンク1
4Aの主アーム1へほぼストレートに伝わる。従って、
浮動軸受6には影響を与えない。
ク装置にかかる鉛直方向の荷重によるたわみ荷重の伝わ
りは、機械的強度が大きく、荷重を支持している第2の
平行リンク14Bの主アーム3から第1の平行リンク1
4Aの主アーム1へほぼストレートに伝わる。従って、
浮動軸受6には影響を与えない。
【0029】また、このリンク装置は、図3に示すよう
に、浮動軸受6の下部において結合軸9及び10に連結
された歯車15Aと15Bとの噛み合いにより、駆動を
精密に伝えると共に、浮動軸受6の結合軸9と10を結
ぶ線C2 が搬送台12の水平移動する線C1 と常に正確
に平行をなさしめる役をしている。
に、浮動軸受6の下部において結合軸9及び10に連結
された歯車15Aと15Bとの噛み合いにより、駆動を
精密に伝えると共に、浮動軸受6の結合軸9と10を結
ぶ線C2 が搬送台12の水平移動する線C1 と常に正確
に平行をなさしめる役をしている。
【0030】このリンク装置は、図1におけるモータ5
の支持機構(図示省略)を有し、モータ5自体の上下移
動及び回動機能を具備しており、搬送物の位置、搬送方
向に合せて高さや向きを調整できるようになっている。
の支持機構(図示省略)を有し、モータ5自体の上下移
動及び回動機能を具備しており、搬送物の位置、搬送方
向に合せて高さや向きを調整できるようになっている。
【0031】図4は、このリンク装置の水平方向の運動
を示す平面図であり、例えば、仮想線で示す状態でウエ
ハ13を載置し、実線で示す状態に装置を作動させてウ
エハ13を所定の場所へ移したり、またこの逆の搬送を
することができる。
を示す平面図であり、例えば、仮想線で示す状態でウエ
ハ13を載置し、実線で示す状態に装置を作動させてウ
エハ13を所定の場所へ移したり、またこの逆の搬送を
することができる。
【0032】また、図5は、このリンク装置による垂直
方向の運動を示す正面図であり、例えば仮想線で示す状
態から実線で示す状態にウエハ13を搬送し、またこれ
と反対方向に搬送することもできる。
方向の運動を示す正面図であり、例えば仮想線で示す状
態から実線で示す状態にウエハ13を搬送し、またこれ
と反対方向に搬送することもできる。
【0033】上記した実施例は本発明の技術的思想に基
いて種々変形が可能である。
いて種々変形が可能である。
【0034】例えば、本実施例では第1の平行リンク1
4Aに第2の平行リンク14Bを連結し、その先端に搬
送部17を形成したが、第2の平行リンク14Bの先に
も浮動軸受6を設けて第3の平行リンクを連結してもよ
く、同様の連結構造により第4の平行リンク等を連続さ
せ、その先端に搬送部17を形成することもできる。
4Aに第2の平行リンク14Bを連結し、その先端に搬
送部17を形成したが、第2の平行リンク14Bの先に
も浮動軸受6を設けて第3の平行リンクを連結してもよ
く、同様の連結構造により第4の平行リンク等を連続さ
せ、その先端に搬送部17を形成することもできる。
【0035】また、これらリンク機構各部の形状、使用
する材料や材質等も適宜にすることができる。
する材料や材質等も適宜にすることができる。
【0036】また、本実施例のリンク装置は、ウエハの
搬送用に限定するものではなく各種の物品の搬送用とし
て使用することができる。
搬送用に限定するものではなく各種の物品の搬送用とし
て使用することができる。
【0037】また、本実施例のリンク装置は、例えばウ
エハの向きを一定したまま搬送するものであるが、搬送
物の向きを変えながら搬送するリンク機構にも適用する
ことができる。
エハの向きを一定したまま搬送するものであるが、搬送
物の向きを変えながら搬送するリンク機構にも適用する
ことができる。
【0038】本実施例によれば、各平行リンク14A、
14Bの主アーム1、3同士が浮動軸受6を介して直接
同軸結合されるので、たわみ荷重が主アーム同士でスト
レートに伝わり、浮動軸受6に損傷を与えることがな
い。従って、局部的に補強する必要がなく、自重を増加
させることもなく、装置の軽量化にも寄与することがで
きる。また、ウエハの搬入、搬出を常に所望の位置で行
うことができる。
14Bの主アーム1、3同士が浮動軸受6を介して直接
同軸結合されるので、たわみ荷重が主アーム同士でスト
レートに伝わり、浮動軸受6に損傷を与えることがな
い。従って、局部的に補強する必要がなく、自重を増加
させることもなく、装置の軽量化にも寄与することがで
きる。また、ウエハの搬入、搬出を常に所望の位置で行
うことができる。
【0039】
【発明の作用効果】上述した如く、本発明は、第1の平
行リンクをなす第1のリンクと第2のリンクの一端側が
それぞれ、第1の主軸及び第1の従動軸に回動自在に軸
着され、前記第1及び第2のリンクの他端側が浮動軸受
を介してそれぞれ、第2の平行リンクをなす第3のリン
ク及び第4のリンクの一端側と第2の主軸及び第2の従
動軸に軸着して連結され、前記第1及び第2の平行リン
ク間の角度を可変することによって、前記第1のリンク
の前記第1の主軸と前記第3のリンクの他端側との相対
的距離が調整されるようになっているので、第1のリン
クと第3のリンクとが直接連結されることになる。その
結果、リンク装置の先端にかかる搬送物の荷重によるた
わみが浮動軸受を経由することなく、第3のリンクから
第1のリンクへ直接伝わり、浮動軸受への影響を防止す
ることができる。
行リンクをなす第1のリンクと第2のリンクの一端側が
それぞれ、第1の主軸及び第1の従動軸に回動自在に軸
着され、前記第1及び第2のリンクの他端側が浮動軸受
を介してそれぞれ、第2の平行リンクをなす第3のリン
ク及び第4のリンクの一端側と第2の主軸及び第2の従
動軸に軸着して連結され、前記第1及び第2の平行リン
ク間の角度を可変することによって、前記第1のリンク
の前記第1の主軸と前記第3のリンクの他端側との相対
的距離が調整されるようになっているので、第1のリン
クと第3のリンクとが直接連結されることになる。その
結果、リンク装置の先端にかかる搬送物の荷重によるた
わみが浮動軸受を経由することなく、第3のリンクから
第1のリンクへ直接伝わり、浮動軸受への影響を防止す
ることができる。
【図1】本発明の実施例によるリンク装置の要部を示す
視斜概略図である。
視斜概略図である。
【図2】同、浮動軸受近傍を示す模式図であり、(a)
は平面図、(b)は正面図、(c)は(b)のc−c線
断面図である。
は平面図、(b)は正面図、(c)は(b)のc−c線
断面図である。
【図3】同、浮動軸受の詳細を示し、(a)は正面図、
(b)は底面図である。
(b)は底面図である。
【図4】同、リンク装置の水平方向の運動を示す平面図
である。
である。
【図5】同、リンク装置の垂直方向の運動を示す平面図
である。
である。
【図6】従来例によるリンク装置の要部を示す視斜概略
図である。
図である。
【図7】同、浮動軸受近傍を示す模式図であり、(a)
は平面図、(b)は正面図、(c)は(b)のc−c線
断面図である。
は平面図、(b)は正面図、(c)は(b)のc−c線
断面図である。
1、3・・・主アーム 1a、2a、3a、4a・・・一端側 1b、2b、3b、4b・・・他端側 2、4・・・補助アーム 5・・・モータ 5a・・・軸受 6・・・浮動軸受 6a・・・上板 6b・・・下板 6c・・・背板 7・・・駆動軸 8・・・従動軸 9、9A、10、10A・・・連結軸 11・・・基台 12・・・搬送台 13・・・半導体ウエハ 13a・・・オリエンテーションフラット側 14A・・・第1の平行リンク 14B・・・第2の平行リンク 15A、15B・・・歯車 17・・・搬送部 W・・・荷重 C1 ・・・浮動軸受の結合軸中心間を結ぶ線 C2 ・・・搬送台の水平移動する線 θ・・・第1と第2の平行リンクのなす角度
Claims (7)
- 【請求項1】 第1の平行リンクをなす第1のリンクと
第2のリンクの一端側がそれぞれ、第1の主軸及び第1
の従動軸に回動自在に軸着され、前記第1及び第2のリ
ンクの他端側が浮動軸受を介してそれぞれ、第2の平行
リンクをなす第3のリンク及び第4のリンクの一端側と
第2の主軸及び第2の従動軸に軸着して連結され、前記
第1及び第2の平行リンク間の角度を可変することによ
って、前記第1のリンクの前記第1の主軸と前記第3の
リンクの他端側との相対的距離が調整されるようにした
リンク装置。 - 【請求項2】 少なくとも前記第2の平行リンクの先端
側で荷重を支持し、前記第1及び第3のリンクが前記荷
重を支持する主アームを構成する、請求項1に記載した
リンク装置。 - 【請求項3】 前記第1及び第2の平行リンクがそれぞ
れ、主アームとしての前記第1及び第3のリンクと、補
助アームとしての前記第2及び第4のリンクとからな
り、前記第1のリンクは前記第2のリンクよりも機械的
強度が大であり、前記第3のリンクも前記第4のリンク
よりも機械的強度が大であり、かつ、前記第1のリンク
と前記第3のリンクとが前記第2の主軸を介して軸着し
て連結され、前記第2のリンクと前記第4のリンクとが
前記第2の従動軸を介して軸着して連結され、これによ
って四節リンク機構を形成している、請求項1に記載し
たリンク装置。 - 【請求項4】 請求項1に記載した前記第1及び第2の
平行リンクの連結構造と同様の連結構造を介して、少な
くとも1つの第3の平行リンクが前記第2の平行リンク
に連結しており、前記第3の平行リンクの先端側と前記
第1のリンクの前記第1の主軸との相対的距離が調整さ
れる、請求項1に記載したリンク装置。 - 【請求項5】 前記第3の平行リンクが複数設けられる
場合も、これらのリンク間も前記連結構造を介して連結
されている、請求項1に記載したリンク装置。 - 【請求項6】 前記各平行リンクが水平又は垂直方向に
配され、鉛直方向の荷重を受けるようになっている、請
求項1〜5のいずれか1項に記載したリンク装置。 - 【請求項7】 物品の搬送装置として用いられる、請求
項1〜6のいずれか1項に記載したリンク装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23187798A JP2000065177A (ja) | 1998-08-18 | 1998-08-18 | リンク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23187798A JP2000065177A (ja) | 1998-08-18 | 1998-08-18 | リンク装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000065177A true JP2000065177A (ja) | 2000-03-03 |
Family
ID=16930433
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23187798A Pending JP2000065177A (ja) | 1998-08-18 | 1998-08-18 | リンク装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000065177A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002114373A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-16 | Okura Yusoki Co Ltd | 積付装置 |
JP2002114374A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-04-16 | Okura Yusoki Co Ltd | 積付装置 |
JP2007111822A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-05-10 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 平行リンク機構、ワーク搬送装置 |
JP2014111299A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-06-19 | Jtekt Corp | 搬送装置 |
-
1998
- 1998-08-18 JP JP23187798A patent/JP2000065177A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4548639B2 (ja) * | 2000-10-06 | 2010-09-22 | オークラ輸送機株式会社 | 積付装置 |
JP4565458B2 (ja) * | 2000-10-06 | 2010-10-20 | オークラ輸送機株式会社 | 積付装置 |
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