JPH106258A - 薄型ワークの搬送用ロボット - Google Patents
薄型ワークの搬送用ロボットInfo
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- JPH106258A JPH106258A JP15853396A JP15853396A JPH106258A JP H106258 A JPH106258 A JP H106258A JP 15853396 A JP15853396 A JP 15853396A JP 15853396 A JP15853396 A JP 15853396A JP H106258 A JPH106258 A JP H106258A
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- main arm
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 粉塵の発生を極めて少なくし、直進性の優れ
たワークの搬送用ロボットを提供すること。 【解決手段】 ロボットMは、機枠21の上部に配設さ
れる固定リンク25と、固定リンク25に連結される第
1主アーム23と、第1副アーム24と、第1主アーム
23と第1副アーム24を先端側で連結する第1可動リ
ンク26と、を有して第1平行4節リンク機構を備える
とともに、第1可動リンク26と、第1可動リンク26
に連結される第2主アーム43と、第2副アーム44
と、第2主アーム43と第2副アーム44の先端側で連
結する第2可動リンク47と、を備えて第2平行4節リ
ンク機構とを、備えて構成されている。第1主アーム2
3には駆動軸27が連結され、駆動モータによって駆動
される。第1可動リンク26には駆動手段が配設され第
1主アーム23の駆動を第2主アーム43に伝達する。
第2可動リンク47には、ワークWを吸着保持するハン
ド53が取り付けられ、第1主アーム23の回転によ
り、ワークWを直線的に移動する。
たワークの搬送用ロボットを提供すること。 【解決手段】 ロボットMは、機枠21の上部に配設さ
れる固定リンク25と、固定リンク25に連結される第
1主アーム23と、第1副アーム24と、第1主アーム
23と第1副アーム24を先端側で連結する第1可動リ
ンク26と、を有して第1平行4節リンク機構を備える
とともに、第1可動リンク26と、第1可動リンク26
に連結される第2主アーム43と、第2副アーム44
と、第2主アーム43と第2副アーム44の先端側で連
結する第2可動リンク47と、を備えて第2平行4節リ
ンク機構とを、備えて構成されている。第1主アーム2
3には駆動軸27が連結され、駆動モータによって駆動
される。第1可動リンク26には駆動手段が配設され第
1主アーム23の駆動を第2主アーム43に伝達する。
第2可動リンク47には、ワークWを吸着保持するハン
ド53が取り付けられ、第1主アーム23の回転によ
り、ワークWを直線的に移動する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス基板やシ
リコンウェハ等の薄型ワーク(以下、ワークという)を
直線的に移動する搬送用ロボットに関し、さらに、ワー
クを直線的に移動するための新規な構造を提供すること
に関する。
リコンウェハ等の薄型ワーク(以下、ワークという)を
直線的に移動する搬送用ロボットに関し、さらに、ワー
クを直線的に移動するための新規な構造を提供すること
に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ガラス基板やシリコンウェハ等の
薄型のワークを搬送する搬送装置はワークを直線的に移
動するため、ワークを保持するハンドアームを含め3個
のアームが使用され、各アームを駆動させるために、各
アーム内にプーリとベルトとを配設するように構成され
ていた。例えば、従来の搬送装置M1は図12に示され
ている。
薄型のワークを搬送する搬送装置はワークを直線的に移
動するため、ワークを保持するハンドアームを含め3個
のアームが使用され、各アームを駆動させるために、各
アーム内にプーリとベルトとを配設するように構成され
ていた。例えば、従来の搬送装置M1は図12に示され
ている。
【0003】駆動装置から入力軸2を介して所定の角度
で回動される第1アーム3と、第1アーム3に駆動連結
される第2アーム4と、ワークWを載置する1個のハン
ド5が配設されていた。
で回動される第1アーム3と、第1アーム3に駆動連結
される第2アーム4と、ワークWを載置する1個のハン
ド5が配設されていた。
【0004】第1アーム3には、駆動装置から連結され
る入力軸2が固定され、駆動装置機台1に支持される第
1プーリ7と、第2アーム4に支持され第1プーリ7に
第1ベルト8を介して齒合連結される第2プーリ9とが
配設されている。第2アーム4には、第1アーム3に支
持される軸10に連結される第3プーリ12と、ハンド
5に支持され第3プーリ12に第2ベルト13を介して
齒合連結される第4プーリ14が配設されている。
る入力軸2が固定され、駆動装置機台1に支持される第
1プーリ7と、第2アーム4に支持され第1プーリ7に
第1ベルト8を介して齒合連結される第2プーリ9とが
配設されている。第2アーム4には、第1アーム3に支
持される軸10に連結される第3プーリ12と、ハンド
5に支持され第3プーリ12に第2ベルト13を介して
齒合連結される第4プーリ14が配設されている。
【0005】第1プーリ7と第2プーリ9とのプーリ比
は2:1に形成され、また第3プーリ12と第4プーリ
とのプーリ比は1:2に形成されている。そのためハン
ド5の先端を直線的に移動することができる。
は2:1に形成され、また第3プーリ12と第4プーリ
とのプーリ比は1:2に形成されている。そのためハン
ド5の先端を直線的に移動することができる。
【0006】また、第1プーリ7は、第1アーム3及び
入力軸2に対して所定角度回動可能に配設され、第2プ
ーリ9は、第1アーム3及び軸10に所定角度回動可能
に配設され、第3プーリ12は、軸10に取り付けられ
第2アーム4に所定角度回動可能に配設され、第4プー
リ14は、ハンド5に固定され第2アーム4に固定され
た軸15に所定角度回動可能に配設されている。
入力軸2に対して所定角度回動可能に配設され、第2プ
ーリ9は、第1アーム3及び軸10に所定角度回動可能
に配設され、第3プーリ12は、軸10に取り付けられ
第2アーム4に所定角度回動可能に配設され、第4プー
リ14は、ハンド5に固定され第2アーム4に固定され
た軸15に所定角度回動可能に配設されている。
【0007】そして、駆動装置からの駆動によって、入
力軸2が所定角度回転されると第1アーム3が回転し、
その位相差で第1プーリ7が回転する。第1プーリ7の
回転により第1ベルト8で齒合連結されている第2プー
リ9が回転する。第2プーリ9が回転すると第2アーム
4が回転し、その位相差で第3プーリ12および第4プ
ーリ14が回転する。そして第4プーリ14の回転によ
りハンド5が所定角度回転し、ハンド5に載置されたワ
ークWを直線的に搬送するように構成されていた。
力軸2が所定角度回転されると第1アーム3が回転し、
その位相差で第1プーリ7が回転する。第1プーリ7の
回転により第1ベルト8で齒合連結されている第2プー
リ9が回転する。第2プーリ9が回転すると第2アーム
4が回転し、その位相差で第3プーリ12および第4プ
ーリ14が回転する。そして第4プーリ14の回転によ
りハンド5が所定角度回転し、ハンド5に載置されたワ
ークWを直線的に搬送するように構成されていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ワークがシリ
コンウェハやガラス基板等の薄型ワークの場合は、この
ワーク搬送は、通常、クリーンルーム内で行なわれ、ク
リーンルーム内で行なわれる作業においては、塵埃や油
滴の飛散等は極度に避けなければならない。しかし、最
近のこのワークの需要の増加に伴って、クリーンルーム
内に設置する機械が増えてくると、クリーンルーム内が
煩雑になり、各機械から発生する塵埃も少なくない。特
に、従来のようにベルトを使用しているものでは、ベル
トの摩耗による粉塵が発生し、その粉塵がワークに付着
する可能性が多い。さらにベルトの伸びや張り具合によ
りハンドの直進性に微妙に影響を及ぼすことがある。
コンウェハやガラス基板等の薄型ワークの場合は、この
ワーク搬送は、通常、クリーンルーム内で行なわれ、ク
リーンルーム内で行なわれる作業においては、塵埃や油
滴の飛散等は極度に避けなければならない。しかし、最
近のこのワークの需要の増加に伴って、クリーンルーム
内に設置する機械が増えてくると、クリーンルーム内が
煩雑になり、各機械から発生する塵埃も少なくない。特
に、従来のようにベルトを使用しているものでは、ベル
トの摩耗による粉塵が発生し、その粉塵がワークに付着
する可能性が多い。さらにベルトの伸びや張り具合によ
りハンドの直進性に微妙に影響を及ぼすことがある。
【0009】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、従来のベルト式を変更して、塵埃の発生を極めて
少なくし、直進性をより向上するとともに強度的にも向
上できる搬送用ロボットを提供することを目的とする。
あり、従来のベルト式を変更して、塵埃の発生を極めて
少なくし、直進性をより向上するとともに強度的にも向
上できる搬送用ロボットを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわる搬送
用ロボットは、上記の課題を解決するために、以下のよ
うに構成するものである。即ち、ワークを直線的に搬送
するロボットであって、機枠に回動可能に支持される第
1主アームと、前記第1主アームと略同一長さで前記第
1主アームと平行に配設されるとともに、前記機枠に回
転可能に支持される第1副アームと、前記第1主アーム
と前記第1副アームの先端で、前記第1主アームと前記
第1副アームとを連結する第1リンク部材と、を備えて
第1平行4節リンク機構が構成され、前記第1リンク部
材に回転可能に支持され、略同一長さに形成される第2
主アーム、第2副アームと、前記第2主アームと前記第
2副アームとの先端部で、前記第2主アームと前記第2
副アームとを連結する第2リンク部材と、を備えて第2
平行4節リンク機構が構成され、前記機枠内に配置され
前記第1主アームを駆動する第1駆動手段と、前記第1
リンク部材内に配置され前記第2主アームまたは前記第
2副アームを駆動する第2駆動手段と、を有するととも
に、前記第2リンク部材にワークを保持するハンドが配
設され、前記第1駆動手段により前記ハンドが直線的に
移動できるように構成されることを特徴とするものであ
る。
用ロボットは、上記の課題を解決するために、以下のよ
うに構成するものである。即ち、ワークを直線的に搬送
するロボットであって、機枠に回動可能に支持される第
1主アームと、前記第1主アームと略同一長さで前記第
1主アームと平行に配設されるとともに、前記機枠に回
転可能に支持される第1副アームと、前記第1主アーム
と前記第1副アームの先端で、前記第1主アームと前記
第1副アームとを連結する第1リンク部材と、を備えて
第1平行4節リンク機構が構成され、前記第1リンク部
材に回転可能に支持され、略同一長さに形成される第2
主アーム、第2副アームと、前記第2主アームと前記第
2副アームとの先端部で、前記第2主アームと前記第2
副アームとを連結する第2リンク部材と、を備えて第2
平行4節リンク機構が構成され、前記機枠内に配置され
前記第1主アームを駆動する第1駆動手段と、前記第1
リンク部材内に配置され前記第2主アームまたは前記第
2副アームを駆動する第2駆動手段と、を有するととも
に、前記第2リンク部材にワークを保持するハンドが配
設され、前記第1駆動手段により前記ハンドが直線的に
移動できるように構成されることを特徴とするものであ
る。
【0011】また、前記第1主アームと前記第1副アー
ムとが、それぞれ逆L字形またはL字形に形成され、前
記第1主アームと前記第1副アームとが、略平行四辺形
を構成できるように配置され、前記第2主アームと前記
第2副アームとが、それぞれL字形または逆L字形に形
成され、前記第2主アームと前記第2副アームとが、略
平行四辺形を構成できるように配置されることを特徴と
するものであれば好ましい。
ムとが、それぞれ逆L字形またはL字形に形成され、前
記第1主アームと前記第1副アームとが、略平行四辺形
を構成できるように配置され、前記第2主アームと前記
第2副アームとが、それぞれL字形または逆L字形に形
成され、前記第2主アームと前記第2副アームとが、略
平行四辺形を構成できるように配置されることを特徴と
するものであれば好ましい。
【0012】さらに好ましくは、前記第2駆動手段が、
齒合関係を有する少なくとも2個のギアを備えて構成さ
れることを特徴とするものであれば良い。
齒合関係を有する少なくとも2個のギアを備えて構成さ
れることを特徴とするものであれば良い。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。
図面に基づいて説明する。
【0014】図1及び図2は、ワークWを直線的に搬送
するロボットMの平面図を示すものであり、図1はアー
ム体が屈折する状態を示し、図2はアーム体が伸長する
状態を示すものである。また、図3は、図2における正
面図を示すものである。
するロボットMの平面図を示すものであり、図1はアー
ム体が屈折する状態を示し、図2はアーム体が伸長する
状態を示すものである。また、図3は、図2における正
面図を示すものである。
【0015】ロボットMの機枠21上に第1アーム体2
2と第2アーム体42が配設されている。第1アーム体
22は、逆L字形に形成される第1主アーム23、第1
副アーム24と、機枠21上に配設され第1主アーム2
3と第2副アーム24の元部を連結する固定リンク2
5、第1主アーム23と第1副アーム24の先端部に連
結される第1可動リンク26とを備えて構成され、第1
主アーム23、第1副アーム24、固定リンク25、第
1可動リンク26とで平行4節リンク機構を構成してい
る。
2と第2アーム体42が配設されている。第1アーム体
22は、逆L字形に形成される第1主アーム23、第1
副アーム24と、機枠21上に配設され第1主アーム2
3と第2副アーム24の元部を連結する固定リンク2
5、第1主アーム23と第1副アーム24の先端部に連
結される第1可動リンク26とを備えて構成され、第1
主アーム23、第1副アーム24、固定リンク25、第
1可動リンク26とで平行4節リンク機構を構成してい
る。
【0016】図4〜5は、第1主アーム23と第1副ア
ーム24の元部側を示す図であり、第1主アーム23
は、機枠21内に配設される図示しない駆動モータに駆
動軸27を介して連結され、機枠1上に取り付けられる
固定リンク25の上方で、固定リンク25を貫通する駆
動軸27とキー部材28により固定されている。そし
て、元部側(機枠側)23aが第1副アーム24側に屈
折されて逆L字形に形成され先端側23bが図6〜7に
示される可動リンク26に連結される。第1副アーム2
4は、元部側24aが固定リンク25に固定される固定
ピン29に軸受け30を介して嵌合され、先端側24b
が第1主アーム23側に屈折される逆L字形に形成され
て、図6〜7に示される第1可動リンク26に連結され
る。
ーム24の元部側を示す図であり、第1主アーム23
は、機枠21内に配設される図示しない駆動モータに駆
動軸27を介して連結され、機枠1上に取り付けられる
固定リンク25の上方で、固定リンク25を貫通する駆
動軸27とキー部材28により固定されている。そし
て、元部側(機枠側)23aが第1副アーム24側に屈
折されて逆L字形に形成され先端側23bが図6〜7に
示される可動リンク26に連結される。第1副アーム2
4は、元部側24aが固定リンク25に固定される固定
ピン29に軸受け30を介して嵌合され、先端側24b
が第1主アーム23側に屈折される逆L字形に形成され
て、図6〜7に示される第1可動リンク26に連結され
る。
【0017】図6〜7は第1可動リンク26の詳細を示
す図であり、第1可動リンク26は中空状に形成され、
内部に第1歯車32、第2歯車33が齒合されながら配
設されている。第1歯車32は、第1可動リンク26に
軸受け34に回動可能に支持される軸35に、キー部材
36を介して固定されている。そして、軸35の下部に
は、第1可動リンク26の下方で、第1主アーム23の
先端部23bがキー部材37を介して固定連結されてい
る。従って、第1主アーム23が駆動モータによって回
転されると、その駆動が第1歯車32に伝達される。
す図であり、第1可動リンク26は中空状に形成され、
内部に第1歯車32、第2歯車33が齒合されながら配
設されている。第1歯車32は、第1可動リンク26に
軸受け34に回動可能に支持される軸35に、キー部材
36を介して固定されている。そして、軸35の下部に
は、第1可動リンク26の下方で、第1主アーム23の
先端部23bがキー部材37を介して固定連結されてい
る。従って、第1主アーム23が駆動モータによって回
転されると、その駆動が第1歯車32に伝達される。
【0018】第2歯車33は、第1可動リンク26に軸
受け38に回動可能に支持される軸39に、キー部材4
0を介して固定され、第1歯車32に齒合されている。
そして、軸39の上部には、第1可動リンク26の上方
で、第2アーム体42を構成する第2主アーム43がキ
ー部材45を介して固定連結されている。従って、第1
歯車32の回転が第2歯車33を介して第2主アーム4
3に伝達される。
受け38に回動可能に支持される軸39に、キー部材4
0を介して固定され、第1歯車32に齒合されている。
そして、軸39の上部には、第1可動リンク26の上方
で、第2アーム体42を構成する第2主アーム43がキ
ー部材45を介して固定連結されている。従って、第1
歯車32の回転が第2歯車33を介して第2主アーム4
3に伝達される。
【0019】さらに、第1可動リンク26には、軸35
と軸39との中心線を結ぶ延長線上に軸41が固定支持
されている。軸41の下部に、第1可動リンク26の下
方で、第1副アーム24の先端部24bが軸受け31を
介して回動可能に連結され、軸41の上部に、第1可動
リンク26の上方で、第2アーム体42を構成する第2
副アーム44が軸受け46を介して回動可能に連結され
ている。軸35と軸41との距離P2は、第1主アーム
23の元部23aに連結される駆動軸27と第1副アー
ム24の元部24aに連結される固定ピン29との距離
P1と、略同寸法に設定されている。そして、駆動軸2
7と軸35との距離と、固定ピン29と軸41との距離
も略同寸法に設定されている。これによって、第1アー
ム体22は平行4節リンク機構を構成することができ
る。従って、第1主アーム23と第1副アーム24が駆
動軸27によって回動されると、第1可動リンク26は
固定リンク25に対して常に平行を保ったまま、固定リ
ンク25に対して回動することになる。
と軸39との中心線を結ぶ延長線上に軸41が固定支持
されている。軸41の下部に、第1可動リンク26の下
方で、第1副アーム24の先端部24bが軸受け31を
介して回動可能に連結され、軸41の上部に、第1可動
リンク26の上方で、第2アーム体42を構成する第2
副アーム44が軸受け46を介して回動可能に連結され
ている。軸35と軸41との距離P2は、第1主アーム
23の元部23aに連結される駆動軸27と第1副アー
ム24の元部24aに連結される固定ピン29との距離
P1と、略同寸法に設定されている。そして、駆動軸2
7と軸35との距離と、固定ピン29と軸41との距離
も略同寸法に設定されている。これによって、第1アー
ム体22は平行4節リンク機構を構成することができ
る。従って、第1主アーム23と第1副アーム24が駆
動軸27によって回動されると、第1可動リンク26は
固定リンク25に対して常に平行を保ったまま、固定リ
ンク25に対して回動することになる。
【0020】第2アーム体42は、図1に示されるよう
に、第1可動リンク26の軸39に連結されL字形に形
成される第2主アーム43と、軸41に連結されL字形
に形成される第2副アーム44と、第2主アーム43、
第2副アーム44の第1可動リンク26側と対する側の
先端側で連結される第2可動リンク47と、を有して構
成されている。そして、第2主アーム43、第2副アー
ム44、第1可動リンク26、第2可動リンク47と
で、平行4節リンク機構を構成している。
に、第1可動リンク26の軸39に連結されL字形に形
成される第2主アーム43と、軸41に連結されL字形
に形成される第2副アーム44と、第2主アーム43、
第2副アーム44の第1可動リンク26側と対する側の
先端側で連結される第2可動リンク47と、を有して構
成されている。そして、第2主アーム43、第2副アー
ム44、第1可動リンク26、第2可動リンク47と
で、平行4節リンク機構を構成している。
【0021】第2主アーム43の元部側43a(図6参
照)は、前述のごとく第1可動リンク26の軸39に連
結され、元部側43aが第2副アーム側に屈折されてL
字形に形成され、先端側43bは、図8〜9に示される
ように、第2可動リンク47の下方で、第2可動リンク
47に固定支持される軸48の下部に軸受け49を介し
て回動可能に連結されている。第2副アーム44の元部
側44a(図6参照)は、前述のように第1可動リンク
26の軸41に連結され、図8〜9に示されるように、
先端側44bが、第2主アーム側に屈折されてL字形に
形成され、第2可動リンク47の下方で、第2可動リン
ク47に固定支持される軸50の下部に軸受け51を介
して回動可能に連結されている。そして、第1可動リン
ク26の軸39と軸41との距離P3と、第2可動リン
ク47の軸48と軸50との距離P4は略同寸法に設定
され、第2主アーム43の連結される軸39と軸48と
の距離と、第2副アーム44の連結される軸41と軸5
0との距離も略同寸法に設定される。これによって平行
4節リンク機構が構成される。また、第1主アーム23
の元部側23aと先端側23bで連結される軸間の距離
と、第2主アーム43の元部側43aと先端側43bと
の距離は略同一寸法に設定される。
照)は、前述のごとく第1可動リンク26の軸39に連
結され、元部側43aが第2副アーム側に屈折されてL
字形に形成され、先端側43bは、図8〜9に示される
ように、第2可動リンク47の下方で、第2可動リンク
47に固定支持される軸48の下部に軸受け49を介し
て回動可能に連結されている。第2副アーム44の元部
側44a(図6参照)は、前述のように第1可動リンク
26の軸41に連結され、図8〜9に示されるように、
先端側44bが、第2主アーム側に屈折されてL字形に
形成され、第2可動リンク47の下方で、第2可動リン
ク47に固定支持される軸50の下部に軸受け51を介
して回動可能に連結されている。そして、第1可動リン
ク26の軸39と軸41との距離P3と、第2可動リン
ク47の軸48と軸50との距離P4は略同寸法に設定
され、第2主アーム43の連結される軸39と軸48と
の距離と、第2副アーム44の連結される軸41と軸5
0との距離も略同寸法に設定される。これによって平行
4節リンク機構が構成される。また、第1主アーム23
の元部側23aと先端側23bで連結される軸間の距離
と、第2主アーム43の元部側43aと先端側43bと
の距離は略同一寸法に設定される。
【0022】第2可動リンク47の上面には、ワークW
を吸着保持するハンド53が第2可動リンク47に図示
しないボルト等によって固定されている。従って、第2
歯車33の回転により、第2主アーム43が第1可動リ
ンク26の軸39を中心に回転されると、第2副アーム
44も追随して軸41中心に回転され、その結果、第2
可動リンク47は第1可動リンク26の回りを、第1可
動リンク26と平行に保持されたまま回転されることに
なる。そして、ワークWを保持するハンドは直線状に移
動される。
を吸着保持するハンド53が第2可動リンク47に図示
しないボルト等によって固定されている。従って、第2
歯車33の回転により、第2主アーム43が第1可動リ
ンク26の軸39を中心に回転されると、第2副アーム
44も追随して軸41中心に回転され、その結果、第2
可動リンク47は第1可動リンク26の回りを、第1可
動リンク26と平行に保持されたまま回転されることに
なる。そして、ワークWを保持するハンドは直線状に移
動される。
【0023】なお、それぞれのアームは、それぞれ連結
される軸に対して、符号を記さない軸用止め輪により上
下方向を規制されているが、これに限られるものではな
い。また、本実施の形態では、軸とアームとの連結手
段、軸と歯車との連結手段をキー部材や軸受けを使用し
ているが、これに限るものでなく、通常使用される連結
手段で設計されるものであればよい。さらに、アームの
上下方向の規制手段についても軸用止め輪に限られるも
のではない。
される軸に対して、符号を記さない軸用止め輪により上
下方向を規制されているが、これに限られるものではな
い。また、本実施の形態では、軸とアームとの連結手
段、軸と歯車との連結手段をキー部材や軸受けを使用し
ているが、これに限るものでなく、通常使用される連結
手段で設計されるものであればよい。さらに、アームの
上下方向の規制手段についても軸用止め輪に限られるも
のではない。
【0024】次に、上記のように構成されるロボットの
作用について説明する。
作用について説明する。
【0025】ハンド53は、まず図1に示される位置に
配置されている。この時、第1アーム体22、第2アー
ム体42は屈曲される状態にある。次に、図示しないカ
セットに収納されている薄型上のワークWを取りに行く
ために、ハンド53を図1中左方向に移動するように駆
動モータが作動され、駆動軸27が、図1中、反時計方
向に回転される。駆動軸27に固定連結される第1主ア
ーム23は反時計方向に回転すると、平行4節リンク機
構を構成する第1アーム体22は固定リンク25の回り
を反時計方向に回転する。そして、第1可動リンク26
は固定リンク25と平行を維持しながら固定リンク25
の回りを反時計方向に回転する。
配置されている。この時、第1アーム体22、第2アー
ム体42は屈曲される状態にある。次に、図示しないカ
セットに収納されている薄型上のワークWを取りに行く
ために、ハンド53を図1中左方向に移動するように駆
動モータが作動され、駆動軸27が、図1中、反時計方
向に回転される。駆動軸27に固定連結される第1主ア
ーム23は反時計方向に回転すると、平行4節リンク機
構を構成する第1アーム体22は固定リンク25の回り
を反時計方向に回転する。そして、第1可動リンク26
は固定リンク25と平行を維持しながら固定リンク25
の回りを反時計方向に回転する。
【0026】第1可動リンク26の軸35は、第1主ア
ーム23に固定連結され第1可動リンク26には回動可
能に連結されているため、第1可動リンク28は第1主
アーム23の回転する分、軸35の回りを回転する。そ
して、第1副アーム24は第1主アーム23の回転に追
随されながら、軸41の回りを回転する。
ーム23に固定連結され第1可動リンク26には回動可
能に連結されているため、第1可動リンク28は第1主
アーム23の回転する分、軸35の回りを回転する。そ
して、第1副アーム24は第1主アーム23の回転に追
随されながら、軸41の回りを回転する。
【0027】また、第1歯車32は軸35に固定連結さ
れているため、軸35の回りを回転しない。しかし、第
1歯車32に齒合する第2歯車33は、第1歯車32が
第1主アーム23とともに駆動軸27を中心に反時計方
向に回転する分、その位相差で、軸39の中心に対して
軸39とともに時計方向に回転する。第2主アーム43
は軸39に固定連結されているため、軸39とともに時
計方向に回転する。第2副アーム44は、第2主アーム
43の回転に追随されながら軸41の回りを回転する。
第2主アーム43の先端側43b及び、第2副アーム4
4の先端側44bは、それぞれ第2可動リンク47の軸
48及び、軸50の回りを時計方向に回転するととも
に、第2可動リンク47は、第1可動リンク26に対し
て平行を維持しながら第1可動リンク26の回りを時計
方向に回転する。
れているため、軸35の回りを回転しない。しかし、第
1歯車32に齒合する第2歯車33は、第1歯車32が
第1主アーム23とともに駆動軸27を中心に反時計方
向に回転する分、その位相差で、軸39の中心に対して
軸39とともに時計方向に回転する。第2主アーム43
は軸39に固定連結されているため、軸39とともに時
計方向に回転する。第2副アーム44は、第2主アーム
43の回転に追随されながら軸41の回りを回転する。
第2主アーム43の先端側43b及び、第2副アーム4
4の先端側44bは、それぞれ第2可動リンク47の軸
48及び、軸50の回りを時計方向に回転するととも
に、第2可動リンク47は、第1可動リンク26に対し
て平行を維持しながら第1可動リンク26の回りを時計
方向に回転する。
【0028】このように、第2アーム体42が第1可動
リンク26の回りを時計方向に回転する時、第2可動リ
ンク47は、第1可動リンク26に対して、回転による
上下方向の移動差が生じるが、第1可動リンク26も、
固定リンク25に対して、上下移動差を生じているの
で、第1主アーム23の連結軸間の距離と、第2主アー
ム43の連結軸間と、の距離が略同一寸法で設定される
本形態では、それぞれの移動差は打ち消され、第2可動
リンク47は左方向に直線的に移動される。従って、ハ
ンド53も直線的に移動されることになる。
リンク26の回りを時計方向に回転する時、第2可動リ
ンク47は、第1可動リンク26に対して、回転による
上下方向の移動差が生じるが、第1可動リンク26も、
固定リンク25に対して、上下移動差を生じているの
で、第1主アーム23の連結軸間の距離と、第2主アー
ム43の連結軸間と、の距離が略同一寸法で設定される
本形態では、それぞれの移動差は打ち消され、第2可動
リンク47は左方向に直線的に移動される。従って、ハ
ンド53も直線的に移動されることになる。
【0029】図2は、第1アーム体22と第2アーム体
42とが左方向に移動され、第2アーム体42が第1ア
ーム体22に対して一直線上に配置される状態を示すも
のである。この状態を可能にするのは、第1主アーム2
3と第1副アーム24がそれぞれ内側に向かって逆L字
形に形成され、第2主アーム43と第2副アーム44が
それぞれ内側に向かってL字形に形成されていることに
よる。第1主アーム23の元部側23aの屈折する長さ
が第1副アーム24の幅以上の大きく設定されていれば
よい。そして、その他のアームも同様である。
42とが左方向に移動され、第2アーム体42が第1ア
ーム体22に対して一直線上に配置される状態を示すも
のである。この状態を可能にするのは、第1主アーム2
3と第1副アーム24がそれぞれ内側に向かって逆L字
形に形成され、第2主アーム43と第2副アーム44が
それぞれ内側に向かってL字形に形成されていることに
よる。第1主アーム23の元部側23aの屈折する長さ
が第1副アーム24の幅以上の大きく設定されていれば
よい。そして、その他のアームも同様である。
【0030】この状態を図3に示される正面図から見る
と、機枠21上に固定リンク25が配置され、固定リン
ク25上に配置される第1主アーム23、第1副アーム
24の先端側上方に第1可動リンク26が配置され、第
1可動リンク26の上方に、第2主アーム43、第2副
アーム44が配置され、第2主アーム43、第2副アー
ム44の先端側に第2可動リンク47が配置されてい
る。そして、第2可動リンク47の上面にはハンド53
が、図3中、左方向に向かって配置され、ワークWを保
持している。
と、機枠21上に固定リンク25が配置され、固定リン
ク25上に配置される第1主アーム23、第1副アーム
24の先端側上方に第1可動リンク26が配置され、第
1可動リンク26の上方に、第2主アーム43、第2副
アーム44が配置され、第2主アーム43、第2副アー
ム44の先端側に第2可動リンク47が配置されてい
る。そして、第2可動リンク47の上面にはハンド53
が、図3中、左方向に向かって配置され、ワークWを保
持している。
【0031】この状態でワークWを吸着保持し、ハンド
53を、機枠21内に配置される図示しない上下駆動用
のモータ等で僅かに上昇した後、ハンド53を右方向に
移動するため、駆動軸27を図示しない駆動モータで時
計方向に回転する。第1主アーム23及び第1副アーム
24は固定リンク25の回りを時計方向に回転され、第
2歯車32が軸39の中心に対して反時計方向に回転さ
れることに伴って、第2主アーム43及び第2副アーム
44は第1可動リンク26の回りを反時計方向に回転す
る。その後の作動は前述と反対の作動で行なわれ、ワー
クWを保持するハンド53は直線的に右方向に移動され
る。
53を、機枠21内に配置される図示しない上下駆動用
のモータ等で僅かに上昇した後、ハンド53を右方向に
移動するため、駆動軸27を図示しない駆動モータで時
計方向に回転する。第1主アーム23及び第1副アーム
24は固定リンク25の回りを時計方向に回転され、第
2歯車32が軸39の中心に対して反時計方向に回転さ
れることに伴って、第2主アーム43及び第2副アーム
44は第1可動リンク26の回りを反時計方向に回転す
る。その後の作動は前述と反対の作動で行なわれ、ワー
クWを保持するハンド53は直線的に右方向に移動され
る。
【0032】なお、本形態においては、第1アーム体2
2を構成しているアームが逆L字形で第2アーム体42
を構成しているアームがL字形に形成されているが、逆
に形成するようにしてもよい。また、駆動軸27を第1
副アーム24側に連結するようにしてもよい。さらに、
第1可動リンク26に配設される第1歯車32を軸41
を介して第1副アーム24に連結し、第2歯車33と齒
合するようにしてもよい。また、固定リンク25をなく
して、第1副アーム24を直接機枠21に回転可能に配
設することもできる。また、駆動軸27と固定ピン29
に歯車を配設し、その間に中間歯車を齒合させれば、第
1主アームと第1副アームの2か所で積極的に駆動させ
ることもできる。
2を構成しているアームが逆L字形で第2アーム体42
を構成しているアームがL字形に形成されているが、逆
に形成するようにしてもよい。また、駆動軸27を第1
副アーム24側に連結するようにしてもよい。さらに、
第1可動リンク26に配設される第1歯車32を軸41
を介して第1副アーム24に連結し、第2歯車33と齒
合するようにしてもよい。また、固定リンク25をなく
して、第1副アーム24を直接機枠21に回転可能に配
設することもできる。また、駆動軸27と固定ピン29
に歯車を配設し、その間に中間歯車を齒合させれば、第
1主アームと第1副アームの2か所で積極的に駆動させ
ることもできる。
【0033】さらに、別の形態としては、図10〜11
に示されるように、各アームをコ字形、または逆コ字形
に形成することができる。この場合、第1主アーム6
3、第1副アーム64、第2主アーム65、第2副アー
ム66の第1可動リンク26、第2可動リンク47との
連結する軸は、図10において一直線上に配置され、ハ
ンド53の移動する範囲をさらに広くすることができ
る。
に示されるように、各アームをコ字形、または逆コ字形
に形成することができる。この場合、第1主アーム6
3、第1副アーム64、第2主アーム65、第2副アー
ム66の第1可動リンク26、第2可動リンク47との
連結する軸は、図10において一直線上に配置され、ハ
ンド53の移動する範囲をさらに広くすることができ
る。
【0034】
【発明の効果】本発明のロボットによれば、前記ロボッ
トは、機枠上に配設される第1主アーム、第1副アーム
と、前記第1主アームと前記第1副アームとをその先端
で連結する第1リンク部材とを備えて、第1平行4節リ
ンク機構を構成している。さらに前記第1リンク部材に
連結される第2主アーム、第2副アームと、前記第2主
アーム、第2副アームの先端で連結される第2リンク部
材と、前記第1リンク部材とを備えて第2平行4節リン
ク機構を構成している。そして前記第1主アームを駆動
する第1駆動手段と、第2主アームを駆動する第2駆動
手段を有しているので、前記第2リンク部材にハンドア
ームを配設することによって、ワークを直線的に搬送す
ることができる。従って、従来のようにプーリとベルト
を使用する必要がない。そのため、ベルトから発生する
粉塵がなくなり、直進性の優れた搬送ロボットを提供す
ることができる。
トは、機枠上に配設される第1主アーム、第1副アーム
と、前記第1主アームと前記第1副アームとをその先端
で連結する第1リンク部材とを備えて、第1平行4節リ
ンク機構を構成している。さらに前記第1リンク部材に
連結される第2主アーム、第2副アームと、前記第2主
アーム、第2副アームの先端で連結される第2リンク部
材と、前記第1リンク部材とを備えて第2平行4節リン
ク機構を構成している。そして前記第1主アームを駆動
する第1駆動手段と、第2主アームを駆動する第2駆動
手段を有しているので、前記第2リンク部材にハンドア
ームを配設することによって、ワークを直線的に搬送す
ることができる。従って、従来のようにプーリとベルト
を使用する必要がない。そのため、ベルトから発生する
粉塵がなくなり、直進性の優れた搬送ロボットを提供す
ることができる。
【0035】また、各アームがそれぞれ内側に向かって
L字形または逆L字形に形成されているので搬送範囲を
広くすることができる。
L字形または逆L字形に形成されているので搬送範囲を
広くすることができる。
【0036】さらに、前記第2駆動手段が少なくとも2
個の歯車を備えて構成されているため、強度的に向上
し、確実に第2主アームを駆動することができる。
個の歯車を備えて構成されているため、強度的に向上
し、確実に第2主アームを駆動することができる。
【図1】本発明の一実施の形態によるロボットの平面図
【図2】同各アームの伸長した状態を示す図
【図3】同図2における正面図
【図4】同図1における固定リンク部の詳細を示す平面
図
図
【図5】同図4の正面断面図
【図6】同第1可動リンク部の詳細を示す一部平面断面
図
図
【図7】同図6の正面断面図
【図8】同第2可動リンク部の詳細を示す平面図
【図9】同図8の正面断面図
【図10】本発明の別の形態を示すロボットの平面図
【図11】同図10における各アームの屈折した状態を
示す図
示す図
【図12】従来の搬送ロボットを示す断面図
M…ロボット W…ワーク 21…機枠 22…第1アーム体 23…第1主アーム 24…第1副アーム 25…固定リンク 26…第1可動リンク 27…駆動軸 29…固定ピン 32…第1歯車 33…第2歯車 35、39、41、48、50…軸 42…第2アーム体 43…第2主アーム 44…第2副アーム 47…第2可動リンク 53…ハンド
Claims (3)
- 【請求項1】 ワークを直線的に搬送するロボットであ
って、 機枠に回動可能に支持される第1主アームと、前記第1
主アームと略同一長さで前記第1主アームと平行に配設
されるとともに、前記機枠に回転可能に支持される第1
副アームと、前記第1主アームと前記第1副アームの先
端で、前記第1主アームと前記第1副アームとを連結す
る第1リンク部材と、を備えて第1平行4節リンク機構
が構成され、 前記第1リンク部材に回転可能に支持され、略同一長さ
に形成される第2主アーム、第2副アームと、前記第2
主アームと前記第2副アームとの先端部で、前記第2主
アームと前記第2副アームとを連結する第2リンク部材
と、を備えて第2平行4節リンク機構が構成され、 前記機枠内に配置され前記第1主アームを駆動する第1
駆動手段と、前記第1リンク部材内に配置され前記第2
主アームまたは前記第2副アームを駆動する第2駆動手
段と、を有するとともに、前記第2リンク部材にワーク
を保持するハンドが配設され、 前記第1駆動手段により前記ハンドが直線的に移動でき
るように構成されることを特徴とする薄型ワークの搬送
用ロボット。 - 【請求項2】 前記第1主アームと前記第1副アームと
が、それぞれ逆L字形またはL字形に形成され、前記第
1主アームと前記第1副アームとが、略平行四辺形を構
成できるように配置され、前記第2主アームと前記第2
副アームとが、それぞれL字形または逆L字形に形成さ
れ、前記第2主アームと前記第2副アームとが、略平行
四辺形を構成できるように配置されることを特徴とする
請求項1記載の薄型ワークの搬送用ロボット。 - 【請求項3】 前記第2駆動手段が、齒合関係を有する
少なくとも2個のギアを備えて構成されることを特徴と
する請求項1記載の薄型ワーク搬送用ロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15853396A JPH106258A (ja) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 薄型ワークの搬送用ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15853396A JPH106258A (ja) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 薄型ワークの搬送用ロボット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH106258A true JPH106258A (ja) | 1998-01-13 |
Family
ID=15673812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15853396A Withdrawn JPH106258A (ja) | 1996-06-19 | 1996-06-19 | 薄型ワークの搬送用ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH106258A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002326181A (ja) * | 2001-04-26 | 2002-11-12 | Daihen Corp | アーム動作機構およびこれを備えた産業用ロボット |
JP2007015023A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Daihen Corp | リンク装置および搬送ロボット |
US7306423B2 (en) | 2003-04-16 | 2007-12-11 | Daihen Corporation | Linear moving mechanism and transfer robot using the same |
US7850414B2 (en) | 2006-07-28 | 2010-12-14 | Daihen Corporation | Linear transfer mechanism and transfer robot using the same |
WO2012133801A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-04 | スキューズ株式会社 | スコットラッセル機構式装置 |
JP2013049113A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Yaskawa Electric Corp | ロボットのアーム構造およびロボット |
CN103811385A (zh) * | 2012-11-08 | 2014-05-21 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种用于运送晶圆的机械手机构 |
CN112975910A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-06-18 | 无锡邑文电子科技有限公司 | 一种去胶机用晶圆传送手臂 |
-
1996
- 1996-06-19 JP JP15853396A patent/JPH106258A/ja not_active Withdrawn
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPWO2012131955A1 (ja) * | 2011-03-30 | 2014-07-24 | スキューズ株式会社 | スコットラッセル機構式装置 |
US9505138B2 (en) | 2011-03-30 | 2016-11-29 | Squse Inc. | Scott-Russell mechanism device |
US9505137B2 (en) | 2011-03-30 | 2016-11-29 | Squse Inc. | Scott Russell mechanism device |
JP2013049113A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Yaskawa Electric Corp | ロボットのアーム構造およびロボット |
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CN112975910A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-06-18 | 无锡邑文电子科技有限公司 | 一种去胶机用晶圆传送手臂 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030902 |