JP2000028208A - 冷凍装置の制御装置 - Google Patents

冷凍装置の制御装置

Info

Publication number
JP2000028208A
JP2000028208A JP10194329A JP19432998A JP2000028208A JP 2000028208 A JP2000028208 A JP 2000028208A JP 10194329 A JP10194329 A JP 10194329A JP 19432998 A JP19432998 A JP 19432998A JP 2000028208 A JP2000028208 A JP 2000028208A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hot gas
gas bypass
valve
pressure
bypass pipe
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP10194329A
Other languages
English (en)
Inventor
Norio Takahashi
典夫 高橋
Toshiyuki Kamei
利之 亀井
Tsutomu Hatanaka
勉 畠中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
Priority to JP10194329A priority Critical patent/JP2000028208A/ja
Priority to US09/348,459 priority patent/US6311506B1/en
Publication of JP2000028208A publication Critical patent/JP2000028208A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B41/00Fluid-circulation arrangements
    • F25B41/20Disposition of valves, e.g. of on-off valves or flow control valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B41/00Fluid-circulation arrangements
    • F25B41/20Disposition of valves, e.g. of on-off valves or flow control valves
    • F25B41/24Arrangement of shut-off valves for disconnecting a part of the refrigerant cycle, e.g. an outdoor part
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2700/00Sensing or detecting of parameters; Sensors therefor
    • F25B2700/19Pressures
    • F25B2700/197Pressures of the evaporator
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25BREFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2700/00Sensing or detecting of parameters; Sensors therefor
    • F25B2700/21Temperatures
    • F25B2700/2117Temperatures of an evaporator
    • F25B2700/21171Temperatures of an evaporator of the fluid cooled by the evaporator

Abstract

(57)【要約】 【課題】ホットガスをバイパスさせる機能を維持しつつ
も、要求される能力以上の冷凍能力を確保する。 【解決手段】ホットガスバイパス管路18上に、ブライ
ン17の設定温度Trが所定の温度(0゜C)以上にな
るとホットガスパイパス管路18を開路するとともにブ
ライン17の設定温度Trが所定の温度(0゜C)より
も小さくなるとホットガスバイパス管路18を閉路する
開閉弁20が、冷却容量調整弁19以外にさらに設けら
れる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は冷凍装置の制御装置
に関し、特に冷凍能力を要求能力以上に確保することが
できる制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図8は冷凍装置としてのチラー10を組
み込んだ温度制御装置の全体構成を示す。この温度制御
装置は、大きくはチラー10と、被温度制御対象1と、
これらチラー10と被温度制御対象1との間を循環する
流体循環路3とから構成されている。被温度制御対象1
は、たとえば半導体ウエハに対して所望の温度下で表面
処理等を施す真空チャンバである。
【0003】チラー10は、圧縮機12と凝縮器13と
膨張弁14と蒸発器11とを直列に管路(液ライン)1
5を介して接続し、この管路15に冷媒16を流して冷
凍サイクルを実行するものである。蒸発器11では、流
体循環路3を循環するブライン(不凍液)17と冷媒1
6との間で熱交換が行われることによりブライン17が
冷却されて設定温度に保持される。これにより被温度制
御対象1が目標温度に制御される。
【0004】図11にチラー10の管路構成をより詳細
に示す。
【0005】同図11に示すように、チラー10には、
圧縮機12から吐出されるホットガスをバイパスして蒸
発器11に供給するホットガスバイパス管路18が設け
られている。
【0006】そして、このホットガスバイパス管路18
上には、蒸発器11内の冷媒16の蒸発圧力が所定圧力
以下になるとホットガスバイパス管路18を開路してホ
ットガスを通過させるとともに蒸発器11内の冷媒16
の蒸発圧力が上記所定圧力よりも大きくなるとホットガ
スバイパス管路18を閉路してホットガスを遮断する冷
却容量調整弁19が配設されている。
【0007】このように冷却容量調整弁19を設けて蒸
発圧力を所定圧力よりも大きい圧力に保持している理由
は、蒸発圧力が所定圧力(大気圧)以下になってしまう
と蒸発器11で冷媒16が充分に気化せず、液状のまま
圧縮機12に戻ってくるといういわゆる液バック現象が
発生してしまい、圧縮機12の破損等の問題が発生する
おそれがあるからである。
【0008】ここで冷却容量調整弁19は、流入する蒸
発圧力とばね力との差圧に応じて作動する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の容量調
整弁19は、流入する蒸発圧力とばね力との差圧に応じ
て作動するという機械的な構造上、蒸発圧力が所定圧力
よりも大きくなっても弁19がわずかに開いており、ホ
ットガスバイパス管路18を介してホットガスが蒸発器
11へバイパスされている状態となっている。
【0010】ホットガスのバイパスが不要なときにホッ
トガスをバイパスさせて蒸発器11へ導くことは、冷凍
能力の低下を招来する。そしてブライン17の設定温度
(被温度制御対象1の目標温度)が低くなるにつれて冷
凍能力が低くなるので、ブライン17の設定温度が低い
ときにホットガスが不要にバイパスしてしまうと、冷凍
能力の低下は顕著なものとなる。
【0011】本発明で想定しているチラー10では、ブ
ライン17の温度が−20゜Cのときには冷凍能力とし
て1kW以上が要求され、ブライン17の温度が0゜C
のときには冷凍能力として2kW以上が要求される。
【0012】図10はホットガスをバイパスさせていな
いとき(これを破線で示す)とホットガスをバイパスさ
せたとき(これを実線で示す)のブライン温度と冷凍能
力の関係を示す。
【0013】同図10に示すようにブライン17の温度
が0゜Cと高い温度のときにはホットガスのバイパスの
有無にかかわらずに冷凍能力は2kW以上を確保してお
り、要求性能を満足している。
【0014】しかし、ブライン17の温度が低下するに
つれてホットガスをバイパスさせたときの冷凍能力の低
下は顕著なものとなり、ブライン17の温度が−20゜
Cのときには、冷凍能力は要求される能力1kWを大き
く下回ってしまい、要求性能を満足することができな
い。ここで、圧縮機10を容量が十分に大きいものに代
えれば、冷凍能力を高めることができ、ホットガスをバ
イパスさせたとしても要求される冷凍能力を確保するこ
とができる。
【0015】しかし圧縮機10の容量を十分に大きくす
ることはコスト上昇を招いたり、装置の大型化により場
積がかさむことになるという新たな問題点が発生する。
また消費電力が上昇するという問題点も新たに発生す
る。したがって圧縮機10の容量増大による対処は、こ
れを採用することはできない。
【0016】本発明の第1発明はこうした実状に鑑みて
なされたものであり、コスト上昇、装置の大型化、消費
電力増大といった問題を発生することなく、要求される
冷凍能力を確保することができるようにすることを第1
の解決課題とするものである。
【0017】また従来の容量調整弁19は、上述したよ
うに蒸発圧力に応じて機械的に作動する弁の構造上、蒸
発圧力が所定圧力よりも大きくなっても弁19がわずか
に開いてしまうという本質的な問題を有している。弁1
9の開きによってホットガスを不要にバイパスさせるこ
とは冷凍能力の低下につながる。特に蒸発圧力が低い場
合には冷媒16の循環量が少ないため冷却能力の低下は
顕著なものとなる。
【0018】本発明の第2発明は従来の容量調整弁19
よりも蒸発圧力に応じて正確に作動できるようにして冷
凍能力の低下を招かないようにすることを第2の解決課
題とするものである。
【0019】
【課題を解決するための手段および作用効果】そこで本
発明の第1発明では、上記第1の解決課題達成のため
に、圧縮機と凝縮器と蒸発器を直列に管路を介して接続
した冷凍装置であって、当該冷凍装置に、前記圧縮機か
ら吐出されるホットガスをバイパスして供給するホット
ガスバイパス管路を設け、当該ホットガスバイパス管路
上に、前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力が所定圧力以下に
なると前記ホットガスバイパス管路を開路してホットガ
スを通過させるとともに前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力
が前記所定圧力よりも大きくなると前記ホットガスバイ
パス管路を閉路してホットガスを遮断する冷却容量調整
弁を設け、前記蒸発器を通過するブラインとの間で熱交
換を行い当該ブラインを設定温度に保持するようにした
冷凍装置において、前記ホットガスバイパス管路上に、
前記ブラインの設定温度が所定の温度以上になると前記
ホットガスパイパス管路を開路するとともに前記ブライ
ンの設定温度が前記所定の温度よりも小さくなると前記
ホットガスバイパス管路を閉路する開閉弁をさらに設け
るようにしている。
【0020】上記第1発明によれば、図1に示すよう
に、ホットガスバイパス管路18上に、ブライン17の
設定温度Trが所定の温度(0゜C)以上になるとホッ
トガスパイパス管路18を開路するとともにブライン1
7の設定温度Trが所定の温度(0゜C)よりも小さく
なるとホットガスバイパス管路18を閉路する開閉弁2
0がさらに設けられる。
【0021】このためブライン設定温度が所定温度0゜
C以上のときホットガスバイパス管路18が開かれ、容
量調整弁19は機能しホットガスはバイパスされる。こ
のとき図10においてブライン温度と冷凍能力の関係は
実線に示す関係をとる。このためブライン17の設定温
度Trが0゜C以上のときは、要求される冷凍能力であ
る2kWを上回る。またブライン17の設定温度Trが
所定温度0゜Cよりも小さいときはホットガスバイパス
管路18が閉じられ、容量調整弁19は機能せずホット
ガスはバイパスしない。このとき図10においてブライ
ン温度と冷凍能力の関係は破線に示す関係をとる。この
ためブライン17の設定温度Trが−20゜Cのときで
あっても要求される冷凍能力である1kWを上回る。
【0022】以上のように第1発明によれば、ホットガ
スをバイパスさせる機能を維持しつつも、要求される性
能以上の冷凍能力を確保することができる。
【0023】第2発明では、第1発明において、前記開
閉弁は、オンオフ指令に応じて開閉する制御弁であると
している。
【0024】第3発明では、第1の解決課題達成のため
に、圧縮機と凝縮器と蒸発器を直列に管路を介して接続
した冷凍装置であって、当該冷凍装置に、前記圧縮機か
ら吐出されるホットガスをバイパスして供給するホット
ガスバイパス管路を設け、当該ホットガスバイパス管路
上に、前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力が所定圧力以下に
なると前記ホットガスバイパス管路を開路してホットガ
スを通過させるとともに前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力
が前記所定圧力よりも大きくなると前記ホットガスバイ
パス管路を閉路してホットガスを遮断する冷却容量調整
弁を設け、前記蒸発器を通過するブラインとの間で熱交
換を行い当該ブラインを設定温度に保持するようにした
冷凍装置において、前記ホットガスバイパス管路上に、
前記ブラインの実際の温度が所定の温度以上になると前
記ホットガスパイパス管路を開路するとともに前記ブラ
インの実際の温度が前記所定の温度よりも小さくなると
前記ホットガスバイパス管路を閉路する開閉弁をさらに
設けるようにしている。
【0025】第4発明では、第3発明において、前記開
閉弁は、オンオフ指令に応じて開閉する制御弁であると
している。
【0026】第5発明では、第2の解決課題達成のため
に、圧縮機と凝縮器と蒸発器を直列に管路を介して接続
した冷凍装置であって、当該冷凍装置に、前記圧縮機か
ら吐出されるホットガスをバイパスして供給するホット
ガスバイパス管路を設け、当該ホットガスバイパス管路
上に、前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力が所定圧力以下に
なると前記ホットガスバイパス管路を開路してホットガ
スを通過させるとともに前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力
が前記所定圧力よりも大きくなると前記ホットガスバイ
パス管路を閉路してホットガスを遮断する冷却容量調整
弁を設けた冷凍装置において、前記蒸発器内の冷媒の蒸
発圧力を検出する圧力検出手段を設け、前記ホットガス
バイパス管路上に、前記冷却容量調整弁の代わりに、前
記圧力検出手段で検出した蒸発圧力が前記所定圧力以下
になると前記ホットガスパイパス管路を開路するととも
に前記圧力検出手段で検出した蒸発圧力が前記所定圧力
よりも大きくなると前記ホットガスバイパス管路を閉路
する開閉弁を設けるようにしている。
【0027】第5発明によれば、図5に示すように、蒸
発器11内の冷媒16の蒸発圧力Pを検出する圧力検出
手段25が設けられ、ホットガスバイパス管路18上
に、冷却容量調整弁19の代わりに、圧力検出手段25
で検出した蒸発圧力Pが所定圧力(たとえば大気圧)以
下になるとホットガスパイパス管路18を開路するとと
もに圧力検出手段25で検出した蒸発圧力Pが所定圧力
(たとえば大気圧)よりも大きくなるとホットガスバイ
パス管路18を閉路する開閉弁23が設けられる。
【0028】このように第5発明によれば、圧力検出手
段25によって検出した蒸発圧力Pが所定圧力(たとえ
ば大気圧)以下になると開閉弁23を開くようにしたの
で、蒸発圧力Pが所定圧力(たとえば大気圧)よりも大
きな圧力に保持される。このため従来の容量調整弁19
と同様にして、蒸発圧力がたとえば大気圧以下になって
蒸発器11で冷媒16が充分に気化せず液状のまま圧縮
機12に戻ってくるといういわゆる液バック現象の発生
を防ぐことができる。つまり圧縮機12の破損等の危険
を防止することができる。
【0029】そして第5発明によれば圧力検出手段25
によって検出した蒸発圧力Pに応じて開閉弁23が正確
に開閉作動するので、蒸発圧力Pが所定圧力(たとえば
大気圧)よりも大きくなったときに開閉弁23が開いて
しまうことがない。よってホットガスが不要にバイパス
してしまうことがないので冷凍能力の低下を防ぐことが
できる。
【0030】第6発明では、第5発明において、前記開
閉弁は、オンオフ指令に応じて開閉する制御弁であると
している。
【0031】第7発明では、第5発明において、前記開
閉弁は、指令内容に応じた開閉量だけ開閉する制御弁で
あるとしている。
【0032】第8発明では、第2の解決課題達成のため
に、圧縮機と凝縮器と蒸発器を直列に管路を介して接続
した冷凍装置であって、当該冷凍装置に、前記圧縮機か
ら吐出されるホットガスをバイパスして供給するホット
ガスバイパス管路を設け、当該ホットガスバイパス管路
上に、前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力が所定圧力以下に
なると前記ホットガスバイパス管路を開路してホットガ
スを通過させるとともに前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力
が前記所定圧力よりも大きくなると前記ホットガスバイ
パス管路を閉路してホットガスを遮断する冷却容量調整
弁を設けた冷凍装置において、前記蒸発器内の冷媒の温
度を検出する温度検出手段を設け、前記ホットガスバイ
パス管路上に、前記冷却容量調整弁の代わりに、前記温
度検出手段で検出した冷媒の温度が所定温度以下になる
と前記ホットガスパイパス管路を開路するとともに前記
温度検出手段で検出した冷媒の温度が前記所定温度より
も大きくなると前記ホットガスバイパス管路を閉路する
開閉弁を設けるようにしている。
【0033】第9発明では、第8発明において、前記開
閉弁は、オンオフ指令に応じて開閉する制御弁であると
している。
【0034】第10発明では、第8発明において、前記
開閉弁は、指令内容に応じた開閉量だけ開閉する制御弁
であるとしている。
【0035】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る冷凍装置の制御装置の実施の形態について説明する。
【0036】図8は、実施形態で想定している全体シス
テムを示している。この全体システムは温度制御装置で
あり、冷凍装置としてのチラー10が組み込まれてい
る。
【0037】この温度制御装置は、大きくは、チラー1
0と、被温度制御対象1と、これらチラー10と被温度
制御対象1との間を循環する流体循環路3とから構成さ
れている。
【0038】被温度制御対象1は、たとえば半導体ウエ
ハに対して所望の温度下で表面処理等を施す真空チャン
バである。なおこの図8では省略しているが、流体循環
路3上には、温度制御に必要な蓄熱タンク、ハロゲンラ
ンプ等が配設される。
【0039】チラー10は、圧縮機12と凝縮器13と
膨張弁14と蒸発器11とを直列に管路(液ライン)1
5を介して接続し、この管路15に冷媒16を流して冷
凍サイクルを実行するものである。
【0040】すなわち圧縮機12では冷媒16が高温、
高圧に圧縮される。圧縮機12の作動により高温、高圧
となった冷媒蒸気は、圧縮機12の吐出口12aから吐
出され、凝縮器13に送られる。凝縮器13では、冷媒
蒸気が外気に熱を与える。冷媒蒸気は冷却水によって冷
却され液冷媒(飽和液ないしは過冷却液)となる。この
液冷媒は温度膨張弁14に送られる。温度膨張弁14
で、液冷媒は絞り膨張され低圧の湿り蒸気となる。この
湿り蒸気は蒸発器11に送られる。蒸発器11では冷媒
16と被冷却流体であるブライン17との間で熱交換が
なされる。つまり冷媒16は、流体循環路3を循環する
ブライン17から熱を奪って蒸発して、乾き飽和蒸気な
いしは過熱蒸気となる。そして冷媒16は圧縮機12の
吸込口12bに戻される。以上がチラー10で実行され
る冷凍サイクルの内容である。
【0041】こうしてブライン17が冷却されて設定温
度に保持される。そして図示せぬハロゲンランプ等によ
ってブライン17が加熱されることによって被温度制御
対象1が目標温度となるよう制御される。
【0042】なおこの実施形態では膨脹弁14として温
度(式)膨脹弁を想定しているが、もちろんこの代わり
に手動膨脹弁、低圧膨脹弁、フロート膨脹弁を使用して
もよい。また膨脹弁14の代わりにキャピラリチューブ
を使用してもよい。
【0043】また冷媒16としてはたとえばHCFC−
22が使用される。もちろんアンモニア、R−12、R
22、R−500、R404A、R407C、R410
A等を使用してもよい。
【0044】またブライン17としてはフロリナート
(登録商標)が使用される。もちろんエチレングリコー
ル、オイル、水等の他の液体を使用してもよく、窒素、
空気、ヘリウム等の気体を使用してもよい。要は制御す
べき目標温度に適合する種類のブラインを適宜選択する
ことができる。また凝縮器13は冷却水による水冷式以
外に空冷式の凝縮器を使用してもよい。
【0045】図1に本実施形態のチラー10の管路構成
をより詳細に示す。
【0046】同図1に示すように、チラー10には、圧
縮機12の吐出口12aを、温度膨脹弁14と蒸発器1
1との間の管路に連通させることにより、圧縮機12か
ら吐出されるホットガスをバイパスさせて蒸発器11の
入り口に供給するホットガスバイパス管路18が設けら
れている。
【0047】そして、このホットガスバイパス管路18
上には、蒸発器11内の冷媒16の蒸発圧力が所定圧力
(たとえば大気圧)以下になるとホットガスバイパス管
路18を開路してホットガスを通過させるとともに蒸発
器11内の冷媒16の蒸発圧力が上記所定圧力(大気
圧)よりも大きくなるとホットガスバイパス管路18を
閉路してホットガスを遮断する冷却容量調整弁19が配
設されている。ここで冷却容量調整弁19は、流入する
蒸発圧力とばね力との差圧に応じて作動する弁である。
なお、この実施形態ではホットガスバイパス管路18を
開閉させるためのしきい値である所定圧力を大気圧とし
ているが、大気圧以外のしきい値を設定してもよい。
【0048】本実施形態では、ホットガスバイパス管路
18上であって、容量調整弁19と圧縮機12の吐出口
12aとの間の管路上に、ブライン17の設定温度Tr
が所定の温度(0゜C)以上になるとホットガスパイパ
ス管路18を開路するとともにブライン17の設定温度
Trが上記所定の温度(0゜C)よりも小さくなるとホ
ットガスバイパス管路18を閉路する開閉弁である電磁
弁20がさらに配設されている。
【0049】なお電磁弁20は周知のようにコイルに電
流が流れたときの電磁力で弁を開閉する弁であり、本実
施形態では、外部のコントローラ21から送られるオン
/オフ指令電流に応じて弁がオン/オフ作動され、ホット
ガスバイパス管路18を開閉する電磁弁を想定してい
る。
【0050】つぎに図1に示すコントローラ21で行わ
れる制御内容について説明する。
【0051】すなわちコントローラ21には、ブライン
17の設定温度Trが入力される。なお入力手段として
はたとえばキーボードが使用される。
【0052】そしてコントローラ21では、入力された
ブライン17の設定温度Trが上記所定温度(0゜C)
以上であるか否かが判断される。
【0053】この結果、入力されたブライン17の設定
温度Trが上記所定温度(0゜C)以上である場合には
電磁弁20をオン作動させるためのオン指令電流が電磁
弁20に対して出力される。この結果電磁弁20はオン
作動され、ホットガスバイパス管路18は開かれる。
【0054】これに対して、コントローラ21に入力さ
れたブライン17の設定温度Trが上記所定温度(0゜
C)よりも小さい場合には電磁弁20をオフ作動させる
ためのオフ指令電流が電磁弁20に対して出力される。
この結果電磁弁20はオフされ、ホットガスバイパス管
路18は閉じられる。
【0055】ここで本実施形態による効果について、す
でに説明した図10を併せ参照して説明する。
【0056】本実施形態で想定しているチラー10で
は、ブライン17の温度が−20゜Cのときには冷凍能
力として1kW以上で、ブライン17の温度が0゜Cの
ときには冷凍能力として2kW以上の性能が要求され
る。
【0057】本実施形態によればブライン17の設定温
度Trが0゜C以上のときはホットガスバイパス管路1
8が開かれる。このため容量調整弁19によって冷却容
量が調整される(ホットガスバイパス有)。
【0058】このとき図10においてブライン温度と冷
凍能力の関係は、実線(ホットガスバイパス有)で示す
関係をとる。このためブライン17の設定温度Trが0
゜Cのときは、要求される冷凍能力である2kWを上回
る。
【0059】またブライン17の設定温度Trが0゜C
よりも小さいときはホットガスバイパス管路18が閉じ
られ、容量調整弁19の冷却容量調整機能は機能しない
(ホットガスバイパス無)。このとき図10においてブ
ライン温度と冷凍能力の関係は破線(ホットガスバイパ
ス無)で示す関係をとる。このためブライン17の設定
温度Trが−20゜Cのときは要求される冷凍能力であ
る1kWを上回る。
【0060】以上のように本実施形態によれば、ホット
ガスをバイパスさせる機能を維持しつつも、要求される
能力以上の冷凍能力を確保することができる。
【0061】つぎに図1に示す装置構成の変形例につい
て図2を参照して説明する。
【0062】この図2に示す装置では、ブライン17の
設定温度Trに応じて電磁弁20が制御されるのではな
く、ブライン17の実際の温度Tに応じて電磁弁20が
制御される。
【0063】すなわち本実施形態ではブライン17が循
環する流体循環路3上に温度センサ22が配設され、ブ
ライン17の実際の温度Tが検出される。
【0064】温度センサ22で検出されたブライン17
の実際の温度Tはコントローラ21に入力される。
【0065】コントローラ21では図3に示す処理が実
行される。
【0066】すなわち、まずブライン17の実際の温度
Tが上記所定温度(0゜C)以上であるか否かが判断さ
れる(ステップ101)。
【0067】この結果、ブライン17の実際の温度Tが
上記所定温度(0゜C)以上であると判断された場合に
は(ステップ101の判断YES)、電磁弁20をオン
作動させるためのオン指令電流が電磁弁20に対して出
力される。この結果電磁弁20はオン作動され、ホット
ガスバイパス管路18が開かれる。
【0068】これに対して、ステップ101で、コント
ローラ21に入力されたブライン17の検出温度Tが上
記所定温度(0゜C)よりも小さいと判断された場合に
は(ステップ101の判断NO)、電磁弁20をオフ作
動させるためのオフ指令電流(電流オフ)が電磁弁20
に対して出力される。この結果電磁弁20はオフされ、
ホットガスバイパス管路18は閉じられる。
【0069】この図2に示す実施形態においても、図1
の実施形態と同様に、ホットガスをバイパスさせる機能
を維持しつつも、要求される能力以上の冷凍能力を確保
することができるという効果が得られる。
【0070】なお図1、図2に示す実施形態では、ホッ
トガスバイパス管路18上であって、容量調整弁19と
圧縮機12の吐出口12aとの間の管路上に、電磁弁2
0を配設するようにしているが、もちろん電磁弁20
を、容量調整弁19と蒸発器11の入口との間の管路上
に配設してもよい。
【0071】ところで、従来の容量調整弁19は、前述
したように蒸発圧力とばね力との差圧に応じて機械的に
作動する弁の構造上、蒸発圧力が所定圧力(大気圧)よ
りも大きくなっても弁19がわずかに開いてしまうとい
う本質的な問題を有している。弁19の開きによってホ
ットガスを不要にバイパスさせることは冷凍能力の低下
につながる。特に蒸発圧力が低い場合には冷媒16の循
環量が少ないため冷却能力の低下は顕著なものとなる。
【0072】そこで以下に説明する実施形態では、従来
の容量調整弁19よりも正確に作動できるようにして冷
凍能力の低下を招かないようにしている。
【0073】図5に示すチラー10では、従来の容量調
整弁19の代わりに、圧力センサ25によって検出した
蒸発圧力に応じて開閉作動する比例制御弁23が使用さ
れる。
【0074】すなわちこの図5に示すチラー10では、
ホットガスバイパス管路18上に、容量調整弁19の代
わりに、比例制御弁23が設けられる。
【0075】この比例制御弁23はモータ24によって
駆動され、モータ24の駆動量に応じた弁開度に調整さ
れる。モータ24はコントローラ21から出力される指
令電流に応じて駆動される。
【0076】また蒸発器11と圧縮機12の吸込口12
bとの間の管路15上には、蒸発器11内の冷媒16の
蒸発圧力Pを検出する圧力センサ25が配設される。な
お「蒸発圧力」とは、蒸発器11内で冷媒16が蒸発す
るときのガス圧力のことである。
【0077】圧力センサ25で検出された蒸発圧力Pは
コントローラ21に入力される。
【0078】コントローラ21では図4に示す処理が実
行される。
【0079】すなわち、まず圧力センサ25で検出され
た実際の蒸発圧力Pが所定圧力Pmin(たとえば大気
圧:ゲージ圧力で0kg/cm2に設定される)よりも小
さいか否かが判断される(ステップ201)。
【0080】この結果、実際の蒸発圧力Pがゲージ圧力
で大気圧Pmin(0kg/cm2)よりも小さいと判断さ
れた場合には(ステップ201の判断YES)、比例制
御弁23の開口量を所定量だけ増加させるための開指令
電流がモータ24に対して出力される。この結果モータ
24が駆動され、比例制御弁23が所定量だけ開かれ、
ホットガスバイパス管路18の開口面積が増やされる
(ステップ202)。
【0081】これに対して、ステップ201で、実際の
蒸発圧力Pがゲージ圧力で大気圧Pmin(0kg/cm
2)以上であると判断されると(ステップ201の判断
NO)、さらに、検出された実際の蒸発圧力Pが上記P
minよりも十分大きな圧力Pmax(ゲージ圧力で0.5k
g/cm2)よりも大きいか否かが判断される(ステップ
203)。
【0082】この結果、実際の蒸発圧力Pがゲージ圧力
で大気圧よりも十分大きな圧力Pmax(0.5kg/cm
2)以下であると判断された場合には(ステップ203
の判断NO)、以後一定時間だけモータ24に対して指
令電流は出力されることなく待機される。つまり比例制
御弁23の弁開度はそのままに維持され、ホットガスバ
イパス管路18の開度が以後一定時間保持される(ステ
ップ205)。
【0083】そして一定時間が経過すると手順は再びス
テップ201に移行される。
【0084】一方、ステップ203で、実際の蒸発圧力
Pがゲージ圧力で大気圧よりも十分大きな圧力Pmax
(0.5kg/cm2)よりも大きいと判断された場合に
は(ステップ203の判断YES)、比例制御弁23の
開口量を所定量だけ減少させるための閉指令電流がモー
タ24に対して出力される。この結果モータ24が駆動
され、比例制御弁23が所定量だけ閉じられ、ホットガ
スバイパス管路18の開口面積が減らされる(ステップ
204)。
【0085】このように本実施形態によれば、圧力セン
サ25によって検出した蒸発圧力Pが所定圧力(大気
圧)以下になると比例制御弁23を開くようにしたの
で、蒸発圧力Pが所定圧力(大気圧)よりも大きな圧力
に保持される。このため従来の容量調整弁19と同様に
して、蒸発圧力が大気圧以下になって蒸発器11で冷媒
16が充分に気化せず液状のまま圧縮機12に戻ってく
るといういわゆる液バック現象の発生を防ぐことができ
る。つまり圧縮機12の破損等の危険を防止することが
できる。
【0086】さらに本実施形態によれば圧力センサ25
によって検出した蒸発圧力Pに応じて比例制御弁23が
正確に開閉作動するので、蒸発圧力Pが所定圧力(大気
圧)よりも大きくなったときに比例制御弁23が不要に
開いてしまうことがない。よってホットガスが不要にバ
イパスしてしまうことがないので冷凍能力の低下を防ぐ
ことができる。
【0087】なお、この実施形態では比例制御弁23を
開かせるためのしきい値である所定圧力Pminを大気圧
としているが、大気圧以外のしきい値を設定してもよ
い。
【0088】なお図4では比例制御弁23を所定量ずつ
開閉させる制御を想定しているが、比例制御弁23を目
標開度になるように開閉させる制御を採用してもよい。
この場合図4のステップ202では比例制御弁23が目
標開度(大きな開度)まで開かれ、ステップ204では
比例制御弁23が目標開度(小さな開度)まで閉じられ
る。
【0089】つぎに図5に示す装置構成の変形例につい
て図6を参照して説明する。
【0090】この図6に示す装置では、比例制御弁23
の代わりに電磁弁20が使用される。
【0091】コントローラ21では図7に示す処理が実
行される。
【0092】すなわち、まず圧力センサ25で検出され
た実際の蒸発圧力Pが所定圧力Pmin(大気圧:ゲージ
圧力で0kg/cm2)よりも小さいか否かが判断される
(ステップ301)。
【0093】この結果、実際の蒸発圧力Pがゲージ圧力
で大気圧Pmin(0kg/cm2)よりも小さいと判断さ
れた場合には(ステップ301の判断YES)、電磁弁
20をオン作動させるためのオン指令電流が電磁弁20
に対して出力される。この結果電磁弁20がオン作動さ
れ、ホットガスバイパス管路18が開路される(ステッ
プ302)。
【0094】これに対して、ステップ301で、実際の
蒸発圧力Pがゲージ圧力で大気圧Pmin(0kg/cm
2)以上であると判断されると(ステップ301の判断
NO)、さらに、検出された実際の蒸発圧力Pが上記P
minよりも十分大きな圧力Pmax(ゲージ圧力で0.5k
g/cm2)よりも大きいか否かが判断される(ステップ
303)。
【0095】この結果、実際の蒸発圧力Pがゲージ圧力
で大気圧よりも十分大きな圧力Pmax(0.5kg/cm
2)以下であると判断された場合には(ステップ303
の判断NO)、以後一定時間だけ電磁弁20に対して指
令電流は出力されることなく待機される。つまり電磁弁
20の開状態ないしは閉状態はそのままに維持され、ホ
ットガスバイパス管路18の開路状態、閉路状態が以後
一定時間だけ保持される(ステップ305)。
【0096】そして一定時間が経過すると手順は再びス
テップ301に移行される。
【0097】一方、ステップ303で、実際の蒸発圧力
Pがゲージ圧力で大気圧よりも十分大きな圧力Pmax
(0.5kg/cm2)よりも大きいと判断された場合に
は(ステップ303の判断YES)、電磁弁20をオフ
させるためのオフ指令電流(電流オフ)が電磁弁20に
対して出力される。この結果電磁弁20がオフされ、ホ
ットガスバイパス管路18が閉路される(ステップ30
4)。
【0098】このように図6に示す実施形態においても
図5に示す実施形態と同様に、圧力センサ25の検出蒸
発圧力Pに応じて電磁弁20が正確に開閉作動するの
で、従来の容量制御弁19と変わらず蒸発圧力を大気圧
よりも大きい圧力に保持でき液バッグ現象等の不都合を
防止できるとともに、ホットガスが不要にバイパスして
しまうことによる冷凍能力の低下を防ぐことができる。
【0099】なお、この実施形態では電磁弁20を開か
せるためのしきい値である所定圧力Pminを大気圧とし
ているが、大気圧以外のしきい値を設定してもよい。
【0100】なお図5、図6に示す実施形態では、圧力
センサ25によって蒸発圧力Pを直接検出しているが、
蒸発器11と圧縮機12の吸込口12bとの間の管路1
5上に、圧力センサ25の代わりに温度センサを設け、
蒸発圧力Pを間接的に検出してもよい。これは蒸発器1
1を通過した冷媒16の温度から蒸発圧力Pが一義的に
定まるからである。
【0101】この場合図5、図6において温度センサの
検出温度がコントローラ21に入力される。そして図
4、図7において、圧力Pminの代わりに、圧力Pminに
対応する温度Tminが使用され、圧力Pmaxの代わりに、
圧力Pmaxに対応する温度Tmaxが使用されて、同様の処
理が実行される。
【0102】なお、以上説明した実施形態では、圧縮機
12の吐出口12aを、温度膨脹弁14と蒸発器11の
入口との間の管路に連通させるホットガスバイパス管路
18を設けるようにしているが、図9に示すようにホッ
トガスバイパス管路を配置構成してもよい。
【0103】図9(a)では、圧縮機12の吐出口12
aを、蒸発器11と圧縮機12の吸込口12bとの間の
管路に連通させるホットガスバイパス管路18を設ける
ようにしている。
【0104】図9(b)では、圧縮機12の吐出口12
aを、蒸発器11の出口近傍に連通させるホットガスバ
イパス管路18を設けるようにしている。
【0105】図9(c)では、圧縮機12の吐出口12
aを、蒸発器11と圧縮機12の吸込口12bとの間の
管路に連通させるホットガスバイパス管路18を設ける
とともに、ホットガスを冷却するための膨脹弁14′を
別途設けるようにしている。
【0106】なお本実施形態では蒸発器11を通過する
ブライン17を冷却することを目的とする冷凍機を想定
しているが、凝縮器11で外気に熱を与えることを目的
とする熱ポンプに対しても本発明は適用可能である。す
なわち本発明の「冷凍装置」は、冷凍機のみならず熱ポ
ンプを含む概念である。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明に係る冷凍装置の制御装置の実施
形態の構成例を示す図である。
【図2】図2は図1に示す実施形態の変形例を示す図で
ある。
【図3】図3は図2に示すコントローラで実行される処
理の手順を示すフローチャートである。
【図4】図4は図5に示すコントローラで実行される処
理の手順を示すフローチャートである。
【図5】図5は本発明に係る冷凍装置の制御装置の別の
実施形態の構成例を示す図である。
【図6】図6は図5に示す実施形態の変形例を示す図で
ある。
【図7】図7は図6に示すコントローラで実行される処
理の手順を示すフローチャートである。
【図8】図8は本実施形態で想定している温度制御装置
の全体構成を概念的に示す図である。
【図9】図9(a)、(b)、(c)はホットガスバイ
パス管路の管路構成の変形例を示す図である。
【図10】図10はブラインの温度と冷凍能力の関係を
示すグラフである。
【図11】図11は従来の冷凍装置の構成を示す図であ
る。
【符号の説明】 1 被温度制御対象 3 流体循環路 10 チラー 11 蒸発器 12 圧縮機 13 凝縮器 14 膨脹弁 15 管路(液ライン) 16 冷媒 17 ブライン 18 ホットガスバイパス管路 19 冷却容量調整弁 20 電磁弁 21 コントローラ 22 温度センサ 23 比例制御弁 24 モータ 25 圧力センサ

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧縮機と凝縮器と蒸発器を直列に管
    路を介して接続した冷凍装置であって、当該冷凍装置
    に、前記圧縮機から吐出されるホットガスをバイパスし
    て供給するホットガスバイパス管路を設け、当該ホット
    ガスバイパス管路上に、前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力
    が所定圧力以下になると前記ホットガスバイパス管路を
    開路してホットガスを通過させるとともに前記蒸発器内
    の冷媒の蒸発圧力が前記所定圧力よりも大きくなると前
    記ホットガスバイパス管路を閉路してホットガスを遮断
    する冷却容量調整弁を設け、前記蒸発器を通過するブラ
    インとの間で熱交換を行い当該ブラインを設定温度に保
    持するようにした冷凍装置において、 前記ホットガスバイパス管路上に、前記ブラインの設定
    温度が所定の温度以上になると前記ホットガスパイパス
    管路を開路するとともに前記ブラインの設定温度が前記
    所定の温度よりも小さくなると前記ホットガスバイパス
    管路を閉路する開閉弁をさらに設けるようにした冷凍装
    置の制御装置。
  2. 【請求項2】 前記開閉弁は、オンオフ指令に応じ
    て開閉する制御弁である請求項1記載の冷凍装置の制御
    装置。
  3. 【請求項3】 圧縮機と凝縮器と蒸発器を直列に管
    路を介して接続した冷凍装置であって、当該冷凍装置
    に、前記圧縮機から吐出されるホットガスをバイパスし
    て供給するホットガスバイパス管路を設け、当該ホット
    ガスバイパス管路上に、前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力
    が所定圧力以下になると前記ホットガスバイパス管路を
    開路してホットガスを通過させるとともに前記蒸発器内
    の冷媒の蒸発圧力が前記所定圧力よりも大きくなると前
    記ホットガスバイパス管路を閉路してホットガスを遮断
    する冷却容量調整弁を設け、前記蒸発器を通過するブラ
    インとの間で熱交換を行い当該ブラインを設定温度に保
    持するようにした冷凍装置において、 前記ホットガスバイパス管路上に、前記ブラインの実際
    の温度が所定の温度以上になると前記ホットガスパイパ
    ス管路を開路するとともに前記ブラインの実際の温度が
    前記所定の温度よりも小さくなると前記ホットガスバイ
    パス管路を閉路する開閉弁をさらに設けるようにした冷
    凍装置の制御装置。
  4. 【請求項4】 前記開閉弁は、オンオフ指令に応じ
    て開閉する制御弁である請求項3記載の冷凍装置の制御
    装置。
  5. 【請求項5】 圧縮機と凝縮器と蒸発器を直列に管
    路を介して接続した冷凍装置であって、当該冷凍装置
    に、前記圧縮機から吐出されるホットガスをバイパスし
    て供給するホットガスバイパス管路を設け、当該ホット
    ガスバイパス管路上に、前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力
    が所定圧力以下になると前記ホットガスバイパス管路を
    開路してホットガスを通過させるとともに前記蒸発器内
    の冷媒の蒸発圧力が前記所定圧力よりも大きくなると前
    記ホットガスバイパス管路を閉路してホットガスを遮断
    する冷却容量調整弁を設けた冷凍装置において、 前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力を検出する圧力検出手段
    を設け、 前記ホットガスバイパス管路上に、前記冷却容量調整弁
    の代わりに、 前記圧力検出手段で検出した蒸発圧力が前記所定圧力以
    下になると前記ホットガスパイパス管路を開路するとと
    もに前記圧力検出手段で検出した蒸発圧力が前記所定圧
    力よりも大きくなると前記ホットガスバイパス管路を閉
    路する開閉弁を設けるようにした冷凍装置の制御装置。
  6. 【請求項6】 前記開閉弁は、オンオフ指令に応じ
    て開閉する制御弁である請求項5記載の冷凍装置の制御
    装置。
  7. 【請求項7】 前記開閉弁は、指令内容に応じた開
    閉量だけ開閉する制御弁である請求項5記載の冷凍装置
    の制御装置。
  8. 【請求項8】 圧縮機と凝縮器と蒸発器を直列に管路
    を介して接続した冷凍装置であって、当該冷凍装置に、
    前記圧縮機から吐出されるホットガスをバイパスして供
    給するホットガスバイパス管路を設け、当該ホットガス
    バイパス管路上に、前記蒸発器内の冷媒の蒸発圧力が所
    定圧力以下になると前記ホットガスバイパス管路を開路
    してホットガスを通過させるとともに前記蒸発器内の冷
    媒の蒸発圧力が前記所定圧力よりも大きくなると前記ホ
    ットガスバイパス管路を閉路してホットガスを遮断する
    冷却容量調整弁を設けた冷凍装置において、 前記蒸発器内の冷媒の温度を検出する温度検出手段を設
    け、 前記ホットガスバイパス管路上に、前記冷却容量調整弁
    の代わりに、 前記温度検出手段で検出した冷媒の温度が所定温度以下
    になると前記ホットガスパイパス管路を開路するととも
    に前記温度検出手段で検出した冷媒の温度が前記所定温
    度よりも大きくなると前記ホットガスバイパス管路を閉
    路する開閉弁を設けるようにした冷凍装置の制御装置。
  9. 【請求項9】 前記開閉弁は、オンオフ指令に応じ
    て開閉する制御弁である請求項8記載の冷凍装置の制御
    装置。
  10. 【請求項10】 前記開閉弁は、指令内容に応じた開
    閉量だけ開閉する制御弁である請求項8記載の冷凍装置
    の制御装置。
JP10194329A 1998-07-09 1998-07-09 冷凍装置の制御装置 Withdrawn JP2000028208A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10194329A JP2000028208A (ja) 1998-07-09 1998-07-09 冷凍装置の制御装置
US09/348,459 US6311506B1 (en) 1998-07-09 1999-07-07 Control unit for refrigerating machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10194329A JP2000028208A (ja) 1998-07-09 1998-07-09 冷凍装置の制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000028208A true JP2000028208A (ja) 2000-01-28

Family

ID=16322789

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10194329A Withdrawn JP2000028208A (ja) 1998-07-09 1998-07-09 冷凍装置の制御装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6311506B1 (ja)
JP (1) JP2000028208A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010127600A (ja) * 2008-12-01 2010-06-10 Tokyo Electron Ltd 冷却装置及び冷却方法
WO2010116496A1 (ja) * 2009-04-08 2010-10-14 三菱電機株式会社 冷凍空調装置およびその冷媒充填方法
JP2012088039A (ja) * 2004-06-02 2012-05-10 Advanced Thermal Sciences Corp 熱制御方法及びそのシステム
JP2012251767A (ja) * 2012-07-30 2012-12-20 Mitsubishi Electric Corp 混合冷媒とそれを用いた冷凍サイクル装置
WO2019230463A1 (ja) * 2018-05-28 2019-12-05 キヤノンセミコンダクターエクィップメント株式会社 冷却装置、冷却装置を備えた露光装置、冷却装置を備えた産業用機器
JP2020020413A (ja) * 2018-08-01 2020-02-06 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード 容器に加圧ガスを補給するための装置および方法
CN110926064A (zh) * 2019-12-10 2020-03-27 北京京仪自动化装备技术有限公司 电子膨胀阀的控制方法、装置、电子设备及存储介质
US11953158B2 (en) 2018-08-01 2024-04-09 L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude Device and process for refueling containers with pressurized gas

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6560978B2 (en) * 2000-12-29 2003-05-13 Thermo King Corporation Transport temperature control system having an increased heating capacity and a method of providing the same
US6775996B2 (en) * 2002-02-22 2004-08-17 Advanced Thermal Sciences Corp. Systems and methods for temperature control
JP4281770B2 (ja) * 2006-08-31 2009-06-17 株式会社日立製作所 ヒートポンプシステム
US9121624B2 (en) * 2009-03-26 2015-09-01 Mitsubishi Electric Corporation Information transfer system for refrigeration air-conditioning apparatus
US20110041535A1 (en) * 2009-08-18 2011-02-24 O'brien James Heat exchange system
US9027359B2 (en) * 2009-08-18 2015-05-12 Triea Technologies, LLC Heat exchange system
US20110154838A1 (en) * 2009-08-18 2011-06-30 TRIEA Systems, LLC Heat exchange system
US11221165B2 (en) * 2019-09-17 2022-01-11 Laird Thermal Systems, Inc. Temperature regulating refrigeration systems for varying loads

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3368364A (en) * 1966-01-06 1968-02-13 American Air Filter Co Refrigeration control system
US3555843A (en) * 1969-07-23 1971-01-19 Ranco Inc Water chilling unit control
JPS602777A (ja) 1983-06-15 1985-01-09 日東電工株式会社 布状物の印刷性改良方法
FR2570202B1 (fr) * 1984-09-11 1988-07-01 Technicatome Procede de dosage et de transfert d'un produit en grains et installation correspondante
SE455578B (sv) * 1986-11-27 1988-07-25 Eriksson Ab A K Bandspenningsanordning for bandsagar
US4957085A (en) * 1989-02-16 1990-09-18 Anatoly Sverdlin Fuel injection system for internal combustion engines
DE58903363D1 (de) * 1989-07-31 1993-03-04 Kulmbacher Klimageraete Kuehleinrichtung fuer mehrere kuehlmittelkreislaeufe.
US5183101A (en) * 1991-05-21 1993-02-02 Bio-Rad Laboratories, Inc. Circulating chiller for electrified solutions
US5551249A (en) * 1992-10-05 1996-09-03 Van Steenburgh, Jr.; Leon R. Liquid chiller with bypass valves

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012088039A (ja) * 2004-06-02 2012-05-10 Advanced Thermal Sciences Corp 熱制御方法及びそのシステム
JP2010127600A (ja) * 2008-12-01 2010-06-10 Tokyo Electron Ltd 冷却装置及び冷却方法
WO2010116496A1 (ja) * 2009-04-08 2010-10-14 三菱電機株式会社 冷凍空調装置およびその冷媒充填方法
GB2481128A (en) * 2009-04-08 2011-12-14 Mitsubishi Electric Corp Refrigeration air-conditioner and refrigerant charging method for the same
JPWO2010116496A1 (ja) * 2009-04-08 2012-10-11 三菱電機株式会社 冷凍空調装置およびその冷媒充填方法
JP5306450B2 (ja) * 2009-04-08 2013-10-02 三菱電機株式会社 冷凍空調装置およびその冷媒充填方法
GB2481128B (en) * 2009-04-08 2015-04-29 Mitsubishi Electric Corp Refrigeration air-conditioning apparatus and refrigerant charging method therefor
JP2012251767A (ja) * 2012-07-30 2012-12-20 Mitsubishi Electric Corp 混合冷媒とそれを用いた冷凍サイクル装置
WO2019230463A1 (ja) * 2018-05-28 2019-12-05 キヤノンセミコンダクターエクィップメント株式会社 冷却装置、冷却装置を備えた露光装置、冷却装置を備えた産業用機器
JPWO2019230463A1 (ja) * 2018-05-28 2021-05-13 キヤノンセミコンダクターエクィップメント株式会社 冷却装置、冷却装置を備えた露光装置、冷却装置を備えた産業用機器
US11598565B2 (en) 2018-05-28 2023-03-07 Canon Semiconductor Equipment Inc. Cooling apparatus having multiple evaporators for cooling objects having different amounts of heat generation, exposure apparatus including cooling apparatus, and industrial apparatus including cooling apparatus
JP2020020413A (ja) * 2018-08-01 2020-02-06 レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード 容器に加圧ガスを補給するための装置および方法
JP7352336B2 (ja) 2018-08-01 2023-09-28 レール・リキード-ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード 容器に加圧ガスを補給するための装置および方法
US11953158B2 (en) 2018-08-01 2024-04-09 L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude Device and process for refueling containers with pressurized gas
CN110926064A (zh) * 2019-12-10 2020-03-27 北京京仪自动化装备技术有限公司 电子膨胀阀的控制方法、装置、电子设备及存储介质
CN110926064B (zh) * 2019-12-10 2020-08-07 北京京仪自动化装备技术有限公司 电子膨胀阀的控制方法、装置、电子设备及存储介质

Also Published As

Publication number Publication date
US6311506B1 (en) 2001-11-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2480684C2 (ru) Способ и устройство размораживания горячим паром
JP2000028208A (ja) 冷凍装置の制御装置
KR101942526B1 (ko) 냉장고
JP2010181104A (ja) ヒートポンプ式給湯・空調装置
KR20080096751A (ko) 냉매의 흐름 제어
WO2006120922A1 (ja) 冷凍サイクル装置
KR100609845B1 (ko) 반도체 공정설비용 칠러장치
JP6486847B2 (ja) 環境試験装置
JP2002195670A (ja) 超臨界蒸気圧縮システムおよび超臨界蒸気圧縮システムを循環する冷媒の高圧成分の圧力を調整する吸入ライン熱交換器
WO2023087661A1 (zh) 一种加湿器、控制方法、空调器、装置及存储介质
CN109341125B (zh) 一种制冷***和控制方法
KR101923433B1 (ko) 반도체 부품 냉각용 2원 냉각 시스템
JP2022034162A (ja) 電池温調システム
JP3993540B2 (ja) 冷凍装置
WO2022038869A1 (ja) 電池温調システム
JPH10160271A (ja) 空気調和機
WO2018034275A1 (ja) 冷凍サイクル装置
JP2002115920A (ja) 冷凍装置
KR20050082439A (ko) 히트펌프식 온수발생장치
JP2002022300A (ja) 冷凍装置
JPH05264108A (ja) 冷凍装置
JPH07132729A (ja) 空気調和装置
JP2008181313A (ja) 自動販売機
JPH07305903A (ja) 冷凍装置の制御装置
JP2002310497A (ja) ヒートポンプ給湯機

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20051004