JP2000022078A - 半導体回路 - Google Patents
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Abstract
き出しながらリーク電流を最小に抑えることができる半
導体回路を提供する。 【解決手段】低しきい値電圧化したゲート素子を適用す
る遅延パス領域を、低しきい値電圧化される前の最大遅
延値23から(これより高速で)これに低しきい値電圧
化したゲート素子を適用した場合の新たな最大遅延値2
4までの(これより遅い)範囲にある遅延パスに限定す
る。これにより、低しきい値電圧化による速度改善効果
を最大限引き出しつつ、低しきい値電圧化トランジスタ
によるリーク電流は最小限に抑えることができ、従来の
ようにチップに広範囲に適用されたような不要なリーク
電流の問題を解決することができる。
Description
有し、各伝送経路には設定されるしきい値電圧の絶対値
が小さい程、遅延量が小さい伝送素子が配置された半導
体回路に関するものである。
に、電源電圧VDDを下げる方法が一般的に取られてい
る。そして、電圧が下がったことによる伝送速度の劣化
を補うために、各伝送配線経路に配置される伝送素子と
しての転送ゲートやロジック回路を構成するトランジス
タとして、しきい値電圧Vthが通常のトランジスタよ
り低い低しきい値電圧トランジスタが使われている。
係を満足する。
で1〜2である。この(1)式からわかるように、しき
い値電圧Vthを小さくすることで、電源電圧VDDが下
がっても速度低下を改善できる。
ジスタのサブスレッショルドリーク電流IL は、下記
(2)式で表されるように、トランジスタのしきい値電
圧Vthが下がることで、急増する。
グで、一般に80mV/dec程度である。
半導体チップに対して全体的、またはかなり広範囲に適
用されており、チップの規模が大きくなるとリークを発
生する低しきい値電圧トランジスタの数も増大し、その
リーク電流が電力の観点で問題となっている。
OF SOLID−STATE CIRCUITS.V
OL.31,NO.11.NOVEMBER 199
6」や「IEEE JOURNAL OF SOLID
−STATE CIRCUITS.VOL.32,N
O.11.NOVEMBER 1997」に、最大45
0mWの電力中リーク電力が20mWやアクティブ17
mW中リーク電力が4mWというようにに動作時におい
てもリーク電流は無視できなくなってきていることが報
告されている。
NAL OF SOLID−STATE CIRCUI
TS.VOL.30,NO.8.AUGUST 199
5」に報告されているように、スタンバイ時のリーク電
流を抑えるために、高しきい値電圧トランジスタのスイ
ッチを低しきい値電圧トランジスタ回路と直列に挿入し
スタンバイ時に切り離すことでリーク電流を削減した
り、「ISSCC95/SESSION 19/TEC
HNOLOGY GIRECTIONS:Quantu
m Computing & Low−Power D
igital」に報告されているように、基板バイアス
を制御することでスタンバイ時にしきい値電圧を大きく
してリーク電流を抑えるといった対策が必要になってし
まう場合も考えられる。
値電圧トランジスタを適用しているため、速度改善の必
要のないクリティカルパスからはずれた速度の速い遅延
の小さいパス群まで低しきい値電圧トランジスタが使わ
れることにより、不必要に多くのリーク電流が発生して
いるという根本的問題があった。この問題について、図
面に関連付けてさらに説明する。
電圧のトランジスタからなる伝送素子を適用した場合の
遅延伝送経路(遅延パス)の遅延分布を概念的に示す図
である。図において、横軸が遅延値を表し、縦軸が遅延
分布を表している。そして、図中、1が低しきい値電圧
化前の遅延分布、2が低しきい値電圧化後の遅延分布、
3が低しきい値電圧化前の最大遅延値、4が低しきい値
電圧化後の最大遅延値(最大遅延値の改善値)をそれぞ
れ示している。
適用した場合には、遅延パス全体で高速化されることに
なる。しかし、最大遅延値の改善値4より速い領域は低
Vthを適用して高速化しても速度的に意味のない部分
になる。すなわち、図12のハッチングを施した部分
は、不要に高速化され、つまり不必要にリークを発生し
ている領域となる。このように、電力、電圧を下げるた
め低しきい値電圧化した伝送素子を遅延パスに適用した
場合のリーク電流の増大を効率よく抑える解決策が求め
られていた。
のであり、その目的は、低しきい値電圧による速度改善
効果を最大に引き出しながらリーク電流を最小に抑える
ことができる半導体回路を提供することにある。
め、本発明は、複数の伝送経路を有し、各伝送経路には
設定されるしきい値電圧の絶対値が小さい程、遅延量が
小さい伝送素子が少なくとも一つ配置されている半導体
回路であって、上記複数の伝送経路のうちの少なくとも
一つの伝送経路の少なくとも一部には、しきい値電圧の
絶対値が、他の伝送素子より小さい低しきい値電圧の伝
送素子が配置されている。
伝送素子は、少なくとも遅延値が最も大きい伝送経路に
配置されている。
適用限定範囲を、低しきい値電圧の伝送素子を配置する
前の最大遅延値から、およそその伝送経路に低しきい値
電圧の伝送素子が配置されて速度改善された遅延値まで
の遅延範囲にある遅延伝送経路とした。
素子を配置する前の最大遅延伝送経路の、低しきい値電
圧の伝送素子を配置して改善される遅延値よりも、低し
きい値電圧の伝送素子を配置したにもかかわらず、遅延
値の大きい遅延伝送経路が存在し、当該遅延伝送経路が
新たな最大遅延となる場合には、上記低しきい値電圧の
適用限定範囲を、低しきい値電圧の伝送素子を配置する
前の最大遅延値から、およそその新たな最大遅延値まで
の範囲にある遅延伝送経路とした。
素子を配置したことによる速度改善が、配線抵抗と配線
容量の基づく遅延のために低しきい値電圧の伝送素子を
配置する前の最大遅延伝送経路の改善より小さく、それ
が新たな最大遅延となる遅延伝送経路の当該遅延部にリ
ピーターバッファが挿入されている。
新たな目標最大遅延値より遅くならない範囲で低しきい
値電圧化されない伝送素子が残るように、対象の遅延伝
送経路中の一部の伝送素子に対して行われている。
圧の絶対値が小さい程、遅延量が小さい伝送素子が少な
くとも一つ配置されている機能ユニットが複数集積化さ
れている半導体回路であって、しきい値電圧の絶対値
を、他の伝送素子より小さい低しきい値電圧に設定すべ
き伝送素子があらかじめ決められた基準より多く含まれ
る機能ユニット単位で、伝送素子のしきい値電圧が他の
機能ユニットの伝送素子より低く設定されている。
い値電圧化すべき機能ユニットの基板が他の機能ユニッ
トの基板と分離され、かつ、上記低しきい値電圧化すべ
き機能ユニットの基板電位を、通常のしきい値電圧より
低くなるように調整する基板電位調整回路を有する。
い値電圧化すべき機能ユニットは、複数の伝送経路を有
し、各伝送経路には設定されるしきい値電圧の絶対値が
小さい程、遅延量が小さい伝送素子が少なくとも一つ配
置されており、上記複数の伝送経路のうちの少なくとも
一つの伝送経路の少なくとも一部に、しきい値電圧の絶
対値が、他の伝送素子より小さい低しきい値電圧の伝送
素子が配置されている。
伝送素子は、少なくとも遅延値が最も大きい伝送経路に
配置されている。
適用限定範囲を、低しきい値電圧の伝送素子を配置する
前の最大遅延値から、およそその伝送経路に低しきい値
電圧の伝送素子が配置されて速度改善された遅延値まで
の遅延範囲にある遅延伝送経路とした。
素子を配置する前の最大遅延伝送経路の、低しきい値電
圧の伝送素子を配置して改善される遅延値よりも、低し
きい値電圧の伝送素子を配置したにもかかわらず、遅延
値の大きい遅延伝送経路が存在し、当該遅延伝送経路が
新たな最大遅延となる場合には、上記低しきい値電圧の
適用限定範囲を、低しきい値電圧の伝送素子を配置する
前の最大遅延値から、およそその新たな最大遅延値まで
の範囲にある遅延伝送経路とした。
素子を配置したことによる速度改善が、配線抵抗と配線
容量の基づく遅延のために低しきい値電圧の伝送素子を
配置する前の最大遅延伝送経路の改善より小さく、それ
が新たな最大遅延となる遅延伝送経路の当該遅延部にリ
ピーターバッファが挿入されている。
新たな目標最大遅延値より遅くならない範囲で低しきい
値電圧化されない伝送素子が残るように、対象の遅延伝
送経路中の一部の伝送素子に対して行われている。
定範囲に適用することで、低しきい値電圧による速度改
善効果を最大に引き出しながらリーク電流が最小に抑え
られる。その適用範囲とは、低しきい値電圧化の適用前
の最大遅延値から、その遅延伝送経路が低しきい値電圧
化で改善された遅延値、またはそれよりも遅い低しきい
値電圧化された時の新たな最大遅延値である。この低し
きい値電圧化は、遅延伝送経路のトランジスタやセルレ
ベルで行われる。その結果、低しきい値電圧化対象を最
適に最小化できる効果がある。
含まれるユニットレベルで適用すると設計が簡単化す
る。
C遅延により低しきい値電圧化によるの高速化効果が薄
れる場合は、RC遅延部にリピーターバッファを挿入し
て改善される。これにより、効率よく低しきい値電圧化
の適用範囲が広げられる。さらに、低しきい値電圧化の
対象遅延伝送経路内の全ての素子でなく、最大遅延をク
リアーする範囲で選択的に低しきい値電圧化が適用され
る。これにより、効率よく速度改善効果を保ったままリ
ーク電流を抑えることができる。
すブロック図である。
て、信号送信側のフリップフロップ(FF)11−1,
11−2,11−3、受信側のフリップフロップ12−
1,12−2,12−3、送信側と受信側のフリップフ
ロップを接続する主伝送経路(伝送パス)13,14,
15、分岐パス13−1、15−1、高しきい値電圧の
伝送素子としてのゲート素子16−1,16−2,16
−3,16−4、および低しきい値電圧化された伝送素
子としてのゲート素子17−1,17−2,17−3,
17−4,17−5,17−6,17−7により構成さ
れている。
ロップ11−1の出力と受信側フリップフロップ12−
1の入力との間に接続されている。そして、主伝送パス
13の分岐点13aから分岐パス13−1が分岐され、
この分岐パス13−1がゲート素子17−2の一方の入
力端子に接続されている。そして、フリップフロップ1
1−1の出力と分岐点13aとの間の主伝送パス13に
ゲート素子16−1,16−2が配置され、分岐点13
aと受信側フリップフロップ12−2の入力との間の主
伝送パス13にゲート素子16−3が配置されている。
ロップ11−2の出力と受信側フリップフロップ12−
2の入力との間に接続されている。そして、フリップフ
ロップ11−2の出力と受信側フリップフロップ12−
2の入力との間の主伝送パス14にゲート素子16−
4、17−1〜17−5が配置されている。具体的に
は、ゲート素子17−1の一方の入力がゲート素子16
−4の出力に接続され、ゲート素子17−1の出力がゲ
ート素子17−2の他方の入力に接続され、ゲート素子
17−2の出力側にゲート素子17−3〜17−5が接
続されている。
ロップ11−3の出力と受信側フリップフロップ12−
3の入力との間に接続されている。そして、主伝送パス
15の分岐点15aから分岐パス15−1が分岐され、
この分岐パス15−1がゲート素子17−1の一方の入
力端子に接続されている。そして、フリップフロップ1
1−3の出力と分岐点15aとの間の主伝送パス15に
ゲート素子17−6,17−7が配置されている。
3,16−4は、たとえば絶縁ゲート型電界効果トラン
ジスタ、すなわちMIS系回路を用いて構成され、その
しきい値電圧Vthはゲート素子17−1〜17−7よ
り高い値、たとえばNMOSトランジスタの場合には、
通常のトランジスタと同様の0.8V程度に設定されて
いる。
えば絶縁ゲート型電界効果トランジスタ、すなわちMI
S系回路を用いて構成され、そのしきい値電圧Vthは
ゲート素子16−1〜16−74り低い値、たとえばN
MOS系のエンハンスメント型トランジスタの場合に
は、通常のトランジスタの0.8V程度より低いしきい
値電圧、たとえば0.3V〜0.6V度に設定される。
また、低しきい値電圧トランジスタとしては、遅延パス
の遅延値によっては、デプレッション型トランジスタに
より構成される。
の設定は、たとえば製造工程において不純物の添加濃度
の調整により行われる。また、通常のしきい値電圧を有
するMOSトランジスタの基板電圧を、少なくとも信号
伝送時に、たとえばある負電位からより高い電圧に切り
換えることにより低しきい値電圧化を図るように構成す
ることも可能である。また、低しきい値電圧化は、トラ
ンジスタ単位あるいはセル単位で適用される。
−2)の構成例を示す回路図である。図2はゲート素子
をNAND回路として構成した場合の一例である。
圧化されたpチャネルMOS(PMOS)トランジスタ
PT171 ,PT172 およびエンハンスメント型NMOS
トランジスタNT171 ,NT172 により構成されてい
る。電源電圧VDDの供給ラインと出力ノードND171 と
の間にPMOSトランジスタPT171 ,PT172 が並列
に接続され、出力ノードND171 と接地ラインとの間に
NMOSトランジスタNT171 ,NT172 が直列に接続
されている。入力端子T171 がPMOSトランジスタP
T171 およびNMOSトランジスタNT171 のゲートに
接続され、入力端子T172 がPMOSトランジスタPT
172およびNMOSトランジスタNT172 のゲートに接
続されている。そして、入力端子T171 が主伝送パス1
5(ゲート素子16−4の出力)に接続され、入力端子
T182 が分岐パス15−1に接続され、出力端子TOUT
がゲート素子17−2の他方の入力端子に接続されてい
る。
よび分岐パス15−1の信号レベルがハイレベルの場合
のみ、NMOSトランジスタNT171 ,NT172 の両方
が導通状態となり、出力レベルがローレベルとなる。
の低しきい値電圧をいずれの値に設定するか、あるいは
デプレッション型トランジスタを用いるかは、低Vしき
い値電圧化した伝送素子としてのゲート素子の適用によ
り、その遅延パスの不要な高速化やそれに伴う不要なリ
ーク発生、スタンバイ時対応の必要性といった問題を解
決し、低しきい値電圧化したゲート素子を適用したこと
による速度改善効果を最大限に発揮しつつリーク電流を
最小化できる、最適な範囲に限定できるか否かを考慮し
て決められる。
値電圧化の最適な適用範囲について、図3に関連付けて
説明する。図3は、本発明に係る低しきい値電圧化トラ
ンジスタの限定適用範囲を説明するために、遅延伝送経
路(遅延パス)の遅延分布を概念的に示す図である。図
において、横軸が遅延値を表し、縦軸が遅延分布を表し
ている。そして、図中、21が低しきい値電圧化前の遅
延パスの分布状態(その遅延でどれだけの遅延パスが存
在するか)、22が低しきい値電圧化後の遅延分布状
態、23が低しきい値電圧化前の最大遅延値、24が低
しきい値電圧化後の最大遅延値(最大遅延値の改善
値)、25が低しきい値電圧化適用領域をそれぞれ示し
ている。
遅延値が最大の遅延パスは、フリップフロップ11−3
→主伝送パス15→ゲート素子17−6,17−7→分
岐パス15−1→ゲート素子17−1→主伝送パス14
→ゲート素子17−2〜17−5→フリップフロップ1
2−2の伝送経路である。そして、低しきい値電圧化さ
れたゲート素子ゲート素子17−1〜17−7の適用
で、その最大遅延値が24の位置になっている。この遅
延値24が、チップ全体に低しきい値電圧化したゲート
素子を適用し改善された最大遅延でもあり、他の全ての
低しきい値電圧化したゲート素子を適用した遅延パスは
この最大値24の位置より高速なパスとなり、無用なリ
ーク等の要因となる。そこで、本第1の実施形態では、
低しきい値電圧化したゲート素子を適用する遅延パス領
域を、低しきい値電圧化される前の最大遅延値23から
(これより高速で)これに低しきい値電圧化したゲート
素子を適用した場合の新たな最大遅延値24までの(こ
れより遅い)範囲にある遅延パスに限定している。図3
において、ハッチングを施した部分がその適用範囲であ
る。
子をこの領域に適用して24で示す遅延値以下に高速化
してシフトさせる、すなわち、新最大遅延値24以下に
隠蔽させる。この領域にある遅延パスにのみ低しきい値
電圧化したゲート素子を限定して適用することで低しき
い値電圧化による速度改善効果を最大限引き出し、つま
りチップ全体に低しきい値電圧化したゲート素子を適用
したのと同様の遅延となる。そして、この最小限に限ら
れた領域の遅延パスにのみ低しきい値電圧化したゲート
素子が適用されているので、低しきい値電圧化トランジ
スタによるリーク電流は最小限に抑えられ、不要なリー
ク電流の発生が防止される。さらに、スタンバイ時のリ
ーク電流も許容範囲に収まる可能性が高くなる。
パス13を伝送される信号は、高しきい値電圧のトラン
ジスタを用いて構成された3つのゲート素子16−1〜
16−3を通って不要なリークを発生することなく、し
かも大きく遅延することなく受信側フリップフロップ1
2−1に入力される。
は、1つの高しきい値電圧のトランジスタを用いて構成
されたゲート素子16−4、および低しきい値電圧化さ
れた5つのゲート素子17−1〜17−5を通って受信
側フリップフロップ12−2に入力される。この場合、
低しきい値電圧化したゲート素子が限定的に適用されて
いるので、低しきい値電圧化による速度改善効果を最大
限引き出し、低しきい値電圧化トランジスタによるリー
ク電流は最小限に抑えられる。
は、2つの低しきい値電圧化されたゲート素子17−
6,17−7を通って受信側フリップフロップ12−3
に入力される。この場合も、低しきい値電圧化したゲー
ト素子が限定的に適用されているので、低しきい値電圧
化による速度改善効果を最大限引き出し、低しきい値電
圧化トランジスタによるリーク電流は最小限に抑えられ
る。
信号は、分岐パス15−1に伝搬され、低しきい値電圧
化された5つのゲート素子17−1〜17−5を通って
受信側フリップフロップ12−2に入力される。この場
合も、低しきい値電圧化したゲート素子が限定的に適用
されているので、低しきい値電圧化による速度改善効果
を最大限引き出し、低しきい値電圧化トランジスタによ
るリーク電流は最小限に抑えられる。
よれば、低しきい値電圧化したゲート素子を適用する遅
延パス領域を、低しきい値電圧化される前の最大遅延値
23から(これより高速で)これに低しきい値電圧化し
たゲート素子を適用した場合の新たな最大遅延値24ま
での(これより遅い)範囲にある遅延パスに限定したの
で、低しきい値電圧化による速度改善効果を最大限引き
出しつつ、低しきい値電圧化トランジスタによるリーク
電流は最小限に抑えることができ、従来のようにチップ
に広範囲に適用されたような不要なリーク電流の問題を
解決することができる。さらに、スタンバイ時のリーク
電流も許容範囲に収まる可能性が高くなる。
化したゲート素子を適用する範囲の境界は元々の最大遅
延の低しきい値電圧化による改善値や、後述する新たな
最大遅延に100%厳密に一致していなくても本発明の
意図する範囲から大きくはずれるわけではなく本発明は
有効である。
いるが無論実際は適用領域にある一つ以上の遅延パスに
適用される。また、本第1の実施形態においては、同期
回路で例を示しているが、非同期回路でも本発明が適用
できることは言うまでもない。
明するための図であって、本発明に係る低しきい値電圧
化トランジスタの限定適用範囲を説明するために、遅延
伝送経路(遅延パス)の遅延分布を概念的に示す図であ
る。図において、横軸が遅延値を表し、縦軸が遅延分布
を表している。そして、図中、31が低しきい値電圧化
前の遅延パスの分布状態(その遅延でどれだけの遅延パ
スが存在するか)を示している。
延パス311は高しきい値電圧では遅延値Cで最大遅延
パスとなっていて、低しきい値電圧化した伝送素子の適
用で遅延値Aになる。遅延パス312は、低しきい値電
圧化した伝送素子の適用で遅延値Bに改善される。遅延
パス313は、低しきい値電圧化すると遅延値Dに改善
される。
延値Aでこれが改善された最大遅延となるが、何らかの
理由で図の遅延パス312のように、遅延値Aより遅い
遅延値Bで改善が止まってしまった場合は、遅延パス3
13は低しきい値電圧化して改善しても最大遅延値の改
善には貢献しない。このような場合には、配線抵抗Rお
よび配線容量Cによる、いわゆるRC遅延が介在するよ
うな場合にもあり得ることであり、RC遅延自体は低し
きい値電圧化の効果を受けないからである。そして、こ
の時、低しきい値電圧の適用限定範囲を改善後の最大遅
延値Bから元の最大遅延値Cまでとすることで遅延改善
に貢献しない不要な低しきい値電圧化によるリーク電流
の増大を防ぐことができる。
低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最大遅延伝送
パスの、低しきい値電圧の伝送素子を配置して改善され
る遅延値よりも、低しきい値電圧の伝送素子を配置した
にもかかわらず、遅延値の大きい遅延伝送パスが存在
し、当該遅延伝送パスが新たな最大遅延となる場合に
は、低しきい値電圧の適用限定範囲を、低しきい値電圧
の伝送素子を配置する前の最大遅延値Cから、およそそ
の新たな最大遅延値Bまでの範囲にある遅延伝送パスと
することから、遅延改善に貢献しない不要な低しきい値
電圧化によるリーク電流の増大を防ぐことができる。
すブロック図である。
示す図1の回路において、低しきい値電圧化したゲート
素子17−1とゲート素子17−2とを接続する主伝送
パス14に、いわゆるリピーターバッファ18を設けて
いる。なお、本第3の実施形態では、リピーターバッフ
ァ18も低しきい値電圧化されたものを用いた例を示し
ているが、これに限定されるものではない。このリピー
ターバッファ18は、低しきい値電圧のゲート素子を配
置したことによる速度改善が、配線抵抗Rと配線容量C
の基づくRC遅延のために低しきい値電圧のゲート素子
を配置する前の最大遅延伝送パスの改善より小さく、そ
れが新たな最大遅延となる遅延伝送パスの当該遅延部に
挿入されている。本第3の実施形態では、この遅延部を
ゲート素子17−1とゲート素子17−2とを接続する
主伝送パス14として説明していいるが、この伝送パス
に限定されるものでないことは勿論である。
実施形態を説明するための図であって、本発明に係る低
しきい値電圧化トランジスタの限定適用範囲を説明する
ために、遅延伝送経路(遅延パス)の遅延分布を概念的
に示す図である。図において、横軸が遅延値を表し、縦
軸が遅延分布を表している。そして、図中、41が低し
きい値電圧化前の遅延パスの分布状態(その遅延でどれ
だけの遅延パスが存在するか)を示している。
2の実施形態のように、元の最大遅延でない遅延パスが
新たな最大遅延伝送パスになり、その原因がRC遅延で
あった場合に、そのRC遅延部にリピータバッファ18
を挿入することで、純粋なRC遅延成分を減らし、低し
きい値電圧化の効果を上げることで、図4の遅延パス3
12のような改善であったのを、図6の遅延パス412
のように遅延を改善して、有効に低しきい値電圧化の適
用限定範囲を遅延値Aから遅延値Cと拡大して速度改善
を図るものである。ここでもしリピータバッファ18に
よる改善が遅延値Aに届かずその手前で止まった場合
は、上述した第2の実施形態を示す図4に示すように、
改善後の最大遅延値から遅延値Cまでが低しきい値電圧
化の適用範囲となる。
り低しきい値電圧化の高速化効果が薄れる場合はRC遅
延にリピータバッファを挿入して改善することで、効率
よく低しきい値電圧化の適用範囲を広げられる利点があ
る。
すブロック図である。
態と異なる点は、元々の遅延値が最大の遅延パスであ
る、フリップフロップ11−3→主伝送パス15→分岐
パス15−1→主伝送パス14→フリップフロップ12
−2の伝送パスに配置されるゲート素子の全てを低しき
い値電圧化するのではなく、その一部のみのゲート素子
を低しきい値電圧化したことにある。具体的には、図7
において、低しきい値電圧化したゲート素子17−2の
出力とフリップフロップ12−2の入力との間に配置さ
れるゲート素子17−3,17−4,17−5の代わり
に、高しきい値電圧のままのトランジスタを用いて構成
したゲート素子16−5,16−6,16−7を配置し
ている。
実施形態を説明するための図であって、本発明に係る低
しきい値電圧化トランジスタの限定適用範囲を説明する
ために、遅延伝送経路(遅延パス)の遅延分布を概念的
に示す図である。図において、横軸が遅延値を表し、縦
軸が遅延分布を表している。そして、図中、51が低し
きい値電圧化前の遅延パスの分布状態(その遅延でどれ
だけの遅延パスが存在するか)を示している。
513を遅延最大伝送パスの遅延値Aより高速な範囲で
低しきい値電圧化するトランジスタやセルを調整する。
これにより、低しきい値電圧化による速度改善効果を十
分発揮した上で、さらに低しきい値電圧化する対象を減
らしリーク電流を抑えることができる。
ば、低しきい値電圧化する対象遅延パス内の全ての素子
でなく、最大遅延をクリアーする範囲で選択的に低しき
い値電圧化を適用することから、効率よく速度改善効果
を保ったままリーク電流を抑えることができる。
明するためのブロック図である。
0内に形成される各機能ユニット101〜107のう
ち、高しきい値電圧のトランジスタを用いた機能ユニッ
ト101〜106と低しきい値電圧化した機能ユニット
106,107とにユニット単位で分割している。すな
わち、本第5の実施形態においては、前述までの第1〜
第4の実施形態の場合に比較して、低しきい値電圧化の
適用範囲があらかじめ決められた基準より多く含まれる
ユニット単位で低しきい値電圧化を適用するものであ
る。
1〜第4の実施形態の場合に比較してリークを抑える効
果は薄れるものの設計が簡易化できる利点がある。
説明するためのユニット図である。
態と異なる点は、半導体チップ100内に形成される各
機能ユニット101〜107のうち、高しきい値電圧の
トランジスタを用いた機能ユニット101〜106と低
しきい値電圧化する機能ユニット106,107とを基
板で電気的に絶縁し(図中、破線で示している)、この
基板分離された機能ユニット106,107の基板電位
を、機能ユニットを構成するトランジスタのしきい値電
圧が低くなるように、調整する基板電位調整回路110
を設けたことにある。
6,107を構成するトランジスタが、たとえばNMO
Sトランジスタである場合、基板電位をある負電位から
より高い電圧に調整して低しきい値電圧化を図る。
前述までの第1〜第4の実施形態の場合に比較して、低
しきい値電圧化の適用範囲があらかじめ決められた基準
より多く含まれるユニット単位で低しきい値電圧化を適
用するものである。
態と同様に、前述までの第1〜第4の実施形態の場合に
比較してリークを抑える効果は薄れるものの設計が簡易
化できる利点がある。
低しきい値電圧化の適用を限定範囲に適用することで、
低しきい値電圧による速度改善効果を最大に引き出しな
がらリーク電流を最小に抑えることができる。また、遅
延パスのトランジスタやセルレベルで低しきい値電圧化
を適用するので、低しきい値電圧化の対象を最適に最小
化できる利点がある。
量に基づくRC遅延により低しきい値化による高速化効
果が薄れる場合は、そのRC遅延部にリピータバッファ
を挿入することから、効率よく低しきい値電圧化の適用
範囲を広げられる利点がある。
化の対象遅延パス内の全ての素子でなく、最大遅延をク
リアーする範囲で低しきい値電圧化する伝送素子を選択
して、適用することで、より効率よく速度改善効果を保
ったままリーク電流を抑えることができる。
の適用範囲が多く含まれるユニットレベルで適用するこ
とから、設計を簡単化できる利点がある。
すブロック図である。
である。
化トランジスタの限定適用範囲を説明するために、遅延
伝送経路(遅延パス)の遅延分布を概念的に示す図であ
る。
明するための図であって、本発明に係る低しきい値電圧
化トランジスタの限定適用範囲を説明するために、遅延
伝送経路(遅延パス)の遅延分布を概念的に示す図であ
る。
すブロック図である。
明するための図であって、本発明に係る低しきい値電圧
化トランジスタの限定適用範囲を説明するために、遅延
伝送経路(遅延パス)の遅延分布を概念的に示す図であ
る。
すブロック図である。
明するための図であって、本発明に係る低しきい値電圧
化トランジスタの限定適用範囲を説明するために、遅延
伝送経路(遅延パス)の遅延分布を概念的に示す図であ
る。
明するためのブロック図である。
説明するためのブロック図である。
なる伝送素子を適用した場合の遅延伝送経路(遅延パ
ス)の遅延分布を概念的に示す図である。
なる伝送素子を適用した場合の遅延伝送経路(遅延パ
ス)の遅延分布を概念的に示す図であって、従来の課題
を説明するための図である。
3…信号送信側フリップフロップ、12−2〜12−3
…受信側フリップフロップ、13,14,15…主伝送
パス、13−1,15−1…分岐パス、16−1〜16
−7…高しきい値電圧のゲート素子、17−1〜17−
7…低しきい値電圧化したゲート素子、18…リピータ
ーバッファ、100,100a…半導体チップ、101
〜105…高しきい値電圧のトランジスタで構成される
機能ユニット、106,107…低しきい値電圧化され
る機能ユニット、110…基板電位調整回路。
Claims (26)
- 【請求項1】 複数の伝送経路を有し、各伝送経路には
設定されるしきい値電圧の絶対値が小さい程、遅延量が
小さい伝送素子が少なくとも一つ配置されている半導体
回路であって、 上記複数の伝送経路のうちの少なくとも一つの伝送経路
の少なくとも一部には、しきい値電圧の絶対値が、他の
伝送素子より小さい低しきい値電圧の伝送素子が配置さ
れている半導体回路。 - 【請求項2】 上記低しきい値電圧の伝送素子は、少な
くとも遅延値が最も大きい伝送経路に配置されている請
求項1記載の半導体回路。 - 【請求項3】 上記低しきい値電圧の適用限定範囲を、
低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最大遅延値か
ら、およそその伝送経路に低しきい値電圧の伝送素子が
配置されて速度改善された遅延値までの遅延範囲にある
遅延伝送経路とした請求項1記載の半導体回路。 - 【請求項4】 低しきい値電圧の伝送素子を配置する前
の最大遅延伝送経路の、低しきい値電圧の伝送素子を配
置して改善される遅延値よりも、低しきい値電圧の伝送
素子を配置したにもかかわらず、遅延値の大きい遅延伝
送経路が存在し、当該遅延伝送経路が新たな最大遅延と
なる場合には、上記低しきい値電圧の適用限定範囲を、 低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最大遅延値か
ら、およそその新たな最大遅延値までの範囲にある遅延
伝送経路とした請求項1記載の半導体回路。 - 【請求項5】 低しきい値電圧の伝送素子を配置したこ
とによる速度改善が、配線抵抗と配線容量の基づく遅延
のために低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最大
遅延伝送経路の改善より小さく、それが新たな最大遅延
となる遅延伝送経路の当該遅延部にリピーターバッファ
が挿入されている請求項1記載の半導体回路。 - 【請求項6】 低しきい値電圧化は、新たな目標最大遅
延値より遅くならない範囲で低しきい値電圧化されない
伝送素子が残るように、対象の遅延伝送経路中の一部の
伝送素子に対して行われている請求項3記載の半導体回
路。 - 【請求項7】 低しきい値電圧化は、新たな目標最大遅
延値より遅くならない範囲で低しきい値電圧化されない
伝送素子が残るように、対象の遅延伝送経路中の一部の
伝送素子に対して行われている請求項4記載の半導体回
路。 - 【請求項8】 低しきい値電圧化は、新たな目標最大遅
延値より遅くならない範囲で低しきい値電圧化されない
伝送素子が残るように、対象の遅延伝送経路中の一部の
伝送素子に対して行われている請求項5記載の半導体回
路。 - 【請求項9】 設定されるしきい値電圧の絶対値が小さ
い程、遅延量が小さい伝送素子が少なくとも一つ配置さ
れている機能ユニットが複数集積化されている半導体回
路であって、 しきい値電圧の絶対値を、他の伝送素子より小さい低し
きい値電圧に設定すべき伝送素子があらかじめ決められ
た基準より多く含まれる機能ユニット単位で、伝送素子
のしきい値電圧が他の機能ユニットの伝送素子より低く
設定されている半導体回路。 - 【請求項10】 少なくとも上記低しきい値電圧化すべ
き機能ユニットの基板が他の機能ユニットの基板と分離
され、かつ、 上記低しきい値電圧化すべき機能ユニットの基板電位
を、通常のしきい値電圧より低くなるように調整する基
板電位調整回路を有する請求項9記載の半導体回路。 - 【請求項11】 少なくとも上記低しきい値電圧化すべ
き機能ユニットは、複数の伝送経路を有し、各伝送経路
には設定されるしきい値電圧の絶対値が小さい程、遅延
量が小さい伝送素子が少なくとも一つ配置されており、 上記複数の伝送経路のうちの少なくとも一つの伝送経路
の少なくとも一部に、しきい値電圧の絶対値が、他の伝
送素子より小さい低しきい値電圧の伝送素子が配置され
ている請求項9記載の半導体回路。 - 【請求項12】 少なくとも上記低しきい値電圧化すべ
き機能ユニットは、複数の伝送経路を有し、各伝送経路
には設定されるしきい値電圧の絶対値が小さい程、遅延
量が小さい伝送素子が少なくとも一つ配置されており、 上記複数の伝送経路のうちの少なくとも一つの伝送経路
の少なくとも一部に、しきい値電圧の絶対値が、他の伝
送素子より小さい低しきい値電圧の伝送素子が配置され
ている請求項10記載の半導体回路。 - 【請求項13】 上記低しきい値電圧の伝送素子は、少
なくとも遅延値が最も大きい伝送経路に配置されている
請求項11記載の半導体回路。 - 【請求項14】 上記低しきい値電圧の伝送素子は、少
なくとも遅延値が最も大きい伝送経路に配置されている
請求項12記載の半導体回路。 - 【請求項15】 上記低しきい値電圧の適用限定範囲
を、低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最大遅延
値から、およそその伝送経路に低しきい値電圧の伝送素
子が配置されて速度改善された遅延値までの遅延範囲に
ある遅延伝送経路とした請求項11記載の半導体回路。 - 【請求項16】 上記低しきい値電圧の適用限定範囲
を、低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最大遅延
値から、およそその伝送経路に低しきい値電圧の伝送素
子が配置されて速度改善された遅延値までの遅延範囲に
ある遅延伝送経路とした請求項12記載の半導体回路。 - 【請求項17】 低しきい値電圧の伝送素子を配置する
前の最大遅延伝送経路の、低しきい値電圧の伝送素子を
配置して改善される遅延値よりも、低しきい値電圧の伝
送素子を配置したにもかかわらず、遅延値の大きい遅延
伝送経路が存在し、当該遅延伝送経路が新たな最大遅延
となる場合には、上記低しきい値電圧の適用限定範囲
を、 低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最大遅延値か
ら、およそその新たな最大遅延値までの範囲にある遅延
伝送経路とした請求項11記載の半導体回路。 - 【請求項18】 低しきい値電圧の伝送素子を配置する
前の最大遅延伝送経路の、低しきい値電圧の伝送素子を
配置して改善される遅延値よりも、低しきい値電圧の伝
送素子を配置したにもかかわらず、遅延値の大きい遅延
伝送経路が存在し、当該遅延伝送経路が新たな最大遅延
となる場合には、上記低しきい値電圧の適用限定範囲
を、 低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最大遅延値か
ら、およそその新たな最大遅延値までの範囲にある遅延
伝送経路とした請求項12記載の半導体回路。 - 【請求項19】 低しきい値電圧の伝送素子を配置した
ことによる速度改善が、配線抵抗と配線容量の基づく遅
延のために低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最
大遅延伝送経路の改善より小さく、それが新たな最大遅
延となる遅延伝送経路の当該遅延部にリピーターバッフ
ァが挿入されている請求項11記載の半導体回路。 - 【請求項20】 低しきい値電圧の伝送素子を配置した
ことによる速度改善が、配線抵抗と配線容量の基づく遅
延のために低しきい値電圧の伝送素子を配置する前の最
大遅延伝送経路の改善より小さく、それが新たな最大遅
延となる遅延伝送経路の当該遅延部にリピーターバッフ
ァが挿入されている請求項12記載の半導体回路。 - 【請求項21】 低しきい値電圧化は、新たな目標最大
遅延値より遅くならない範囲で低しきい値電圧化されな
い伝送素子が残るように、対象の遅延伝送経路中の一部
の伝送素子に対して行われている請求項15記載の半導
体回路。 - 【請求項22】 低しきい値電圧化は、上記の新たな目
標最大遅延値より遅くならない範囲で低しきい値電圧化
されない伝送素子が残るように、対象の遅延伝送経路中
の一部の伝送素子に対して行われている請求項16記載
の半導体回路。 - 【請求項23】 低しきい値電圧化は、上記の新たな目
標最大遅延値より遅くならない範囲で低しきい値電圧化
されない伝送素子が残るように、対象の遅延伝送経路中
の一部の伝送素子に対して行われている請求項17記載
の半導体回路。 - 【請求項24】 低しきい値電圧化は、上記の新たな目
標最大遅延値より遅くならない範囲で低しきい値電圧化
されない伝送素子が残るように、対象の遅延伝送経路中
の一部の伝送素子に対して行われている請求項18記載
の半導体回路。 - 【請求項25】 低しきい値電圧化は、上記の新たな目
標最大遅延値より遅くならない範囲で低しきい値電圧化
されない伝送素子が残るように、対象の遅延伝送経路中
の一部の伝送素子に対して行われている請求項19記載
の半導体回路。 - 【請求項26】 低しきい値電圧化は、上記の新たな目
標最大遅延値より遅くならない範囲で低しきい値電圧化
されない伝送素子が残るように、対象の遅延伝送経路中
の一部の伝送素子に対して行われている請求項20記載
の半導体回路。
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1999
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