FR3087539B1 - Instrument de mesure avec systeme de visualisation du spot de mesure et accessoire de visualisation pour un tel instrument de mesure - Google Patents
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Abstract
L'invention concerne un instrument de mesure (100) comportant une section d'excitation (1) émettant un faisceau lumineux incident (12) sous un angle d'incidence oblique. Selon l'invention, la section d'analyse (2) de l'instrument de mesure (100) comporte un séparateur optique de faisceau (27) transmettant une partie du faisceau lumineux de mesure (22) vers un système d'imagerie (28) adapté pour acquérir une première image (51) de l'échantillon et en ce que l'instrument de mesure comporte en outre une deuxième source de lumière (41) émettant un faisceau d'illumination (42) sous incidence quasi-normale et un deuxième système d'imagerie (46) adapté pour acquérir une deuxième image (52) de l'échantillon et un système de traitement d'image (5) adapté pour extraire une image du spot de mesure de la première image (51) et pour former une troisième image (58) comprenant une projection (57) de l'image du spot de mesure, redimensionnée et disposée en superposition dans la deuxième image (52).
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