FR3087539B1 - Instrument de mesure avec systeme de visualisation du spot de mesure et accessoire de visualisation pour un tel instrument de mesure - Google Patents

Instrument de mesure avec systeme de visualisation du spot de mesure et accessoire de visualisation pour un tel instrument de mesure Download PDF

Info

Publication number
FR3087539B1
FR3087539B1 FR1859653A FR1859653A FR3087539B1 FR 3087539 B1 FR3087539 B1 FR 3087539B1 FR 1859653 A FR1859653 A FR 1859653A FR 1859653 A FR1859653 A FR 1859653A FR 3087539 B1 FR3087539 B1 FR 3087539B1
Authority
FR
France
Prior art keywords
image
measuring instrument
measuring
visualization
accessory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
FR1859653A
Other languages
English (en)
Other versions
FR3087539A1 (fr
Inventor
Sofiane Bahbah
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba France SAS
Original Assignee
Horiba France SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba France SAS filed Critical Horiba France SAS
Priority to FR1859653A priority Critical patent/FR3087539B1/fr
Publication of FR3087539A1 publication Critical patent/FR3087539A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR3087539B1 publication Critical patent/FR3087539B1/fr
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21Polarisation-affecting properties
    • G01N21/211Ellipsometry

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

L'invention concerne un instrument de mesure (100) comportant une section d'excitation (1) émettant un faisceau lumineux incident (12) sous un angle d'incidence oblique. Selon l'invention, la section d'analyse (2) de l'instrument de mesure (100) comporte un séparateur optique de faisceau (27) transmettant une partie du faisceau lumineux de mesure (22) vers un système d'imagerie (28) adapté pour acquérir une première image (51) de l'échantillon et en ce que l'instrument de mesure comporte en outre une deuxième source de lumière (41) émettant un faisceau d'illumination (42) sous incidence quasi-normale et un deuxième système d'imagerie (46) adapté pour acquérir une deuxième image (52) de l'échantillon et un système de traitement d'image (5) adapté pour extraire une image du spot de mesure de la première image (51) et pour former une troisième image (58) comprenant une projection (57) de l'image du spot de mesure, redimensionnée et disposée en superposition dans la deuxième image (52).
FR1859653A 2018-10-18 2018-10-18 Instrument de mesure avec systeme de visualisation du spot de mesure et accessoire de visualisation pour un tel instrument de mesure Expired - Fee Related FR3087539B1 (fr)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1859653A FR3087539B1 (fr) 2018-10-18 2018-10-18 Instrument de mesure avec systeme de visualisation du spot de mesure et accessoire de visualisation pour un tel instrument de mesure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1859653A FR3087539B1 (fr) 2018-10-18 2018-10-18 Instrument de mesure avec systeme de visualisation du spot de mesure et accessoire de visualisation pour un tel instrument de mesure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR3087539A1 FR3087539A1 (fr) 2020-04-24
FR3087539B1 true FR3087539B1 (fr) 2020-11-20

Family

ID=65685589

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR1859653A Expired - Fee Related FR3087539B1 (fr) 2018-10-18 2018-10-18 Instrument de mesure avec systeme de visualisation du spot de mesure et accessoire de visualisation pour un tel instrument de mesure

Country Status (1)

Country Link
FR (1) FR3087539B1 (fr)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116136488B (zh) * 2023-04-19 2023-07-18 中国科学技术大学 椭偏测量***

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06147987A (ja) * 1992-11-05 1994-05-27 Canon Inc 偏光解析装置及び位置ずれ補正方法
US7230699B1 (en) * 2002-10-15 2007-06-12 J.A. Woollam Co., Inc. Sample orientation system and method
EP1947445B1 (fr) 2007-01-19 2010-07-14 Horiba Jobin Yvon S.A.S. Système et procédé d'analyse d'un échantillon
US10551608B2 (en) * 2016-03-24 2020-02-04 Molecular Devices, Llc Imaging system with ancillary image detector for sample location

Also Published As

Publication number Publication date
FR3087539A1 (fr) 2020-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100190312B1 (ko) 이물검사장치
WO2017168984A1 (fr) Dispositif d'imagerie et procédé d'imagerie
US9915790B2 (en) Fiber inspection microscope and power measurement system, fiber inspection tip and method using same
ATE302401T1 (de) Auf spatiochromatischer triangulation basierendes optoelektronisches system
EP3230776B1 (fr) Système d'évaluation de fonction de transfert modulaire compact
MX2020008893A (es) Obtencion de imagenes para usar en la determinacion de una o mas propiedades de la piel de un sujeto.
EP1840502A1 (fr) Interféromètre optique pour mesurer des changements d'épaisseur
US6327041B1 (en) Method and device for opto-electrical acquisition of shapes by axial illumination
TWI597042B (zh) Endoscopic with distance measuring function and distance measuring method
TW200732696A (en) Device and method for inspecting an object
US20150131137A1 (en) Chromatic Converter for Altimetry
FR3087539B1 (fr) Instrument de mesure avec systeme de visualisation du spot de mesure et accessoire de visualisation pour un tel instrument de mesure
US10989517B2 (en) Vibration sensing system with wavelength encoding
FR3112866B1 (fr) Systèmes et procédés d’analyse microscopique d’un échantillon
US5440383A (en) Phase detection deflectometer-type optical device having a large measuring range
JP2020139822A (ja) 検査装置、検査システム及び検査方法
WO2014184793A1 (fr) Procédé et système destinés à être utilisés pour l'examen d'échantillons par la détection d'une émission excitée optiquement provenant de l'échantillon
JP6234274B2 (ja) 内面形状計測方法および装置
EP2840352A1 (fr) Appareil interférométrique de mesure combiné aven un appareil non interférométrique, et procédé de mesure
KR102063568B1 (ko) 부분 영역 형상 측정 장치
RU2280963C1 (ru) Лазерный центратор для рентгеновского излучателя
JP7288273B2 (ja) 検査装置、検査システム及び検査方法
JPH0629712B2 (ja) 投影検査装置
JP2008197443A (ja) スリット走査共焦点顕微鏡
KR102010136B1 (ko) 다중모드 영상의 획득이 가능한 영상 획득 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
PLFP Fee payment

Year of fee payment: 2

PLSC Publication of the preliminary search report

Effective date: 20200424

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 3

PLFP Fee payment

Year of fee payment: 4

ST Notification of lapse

Effective date: 20230606