FR2874088A1 - Capteur de pression - Google Patents
Capteur de pression Download PDFInfo
- Publication number
- FR2874088A1 FR2874088A1 FR0508254A FR0508254A FR2874088A1 FR 2874088 A1 FR2874088 A1 FR 2874088A1 FR 0508254 A FR0508254 A FR 0508254A FR 0508254 A FR0508254 A FR 0508254A FR 2874088 A1 FR2874088 A1 FR 2874088A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- gel
- housing
- pressure
- pressure sensor
- circumferential portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0627—Protection against aggressive medium in general
- G01L19/0654—Protection against aggressive medium in general against moisture or humidity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Dans ce capteur de pression comportant un boîtier (10) comportant une portion (11) de positionnement d'un élément de détection de pression (30) d'un élément formé d'un gel (42) remplissant la partie (11) pour étanchéifier l'élément (30), l'élément formé d'un gel (42) est exposé par une partie d'ouverture (12) et est prévue de telle sorte que la pression du milieu sous pression est appliquée à l'élément (30) par l'intermédiaire de l'élément formé d'un gel (42), ce dernier faisant saillie à partir d'une surface d'une portion circonférentielle de la partie d'ouverture (12) dans le boîtier (10).Application notamment aux capteurs de pression installés notamment dans des véhicules.
Description
CAPTEUR DE PRESSION
La présente invention concerne un capteur de pression, dans lequel un élément de situé dans un boîtier est élément formé d'un gel.
Dans un capteur de US N 6 651 508 (qui correspond à élément de détection de pression est détection de pression façon étanche par un décrit dans le brevet JP-A-2002-221462), un situé dans un boîtier, fermé de pression et le boîtier est rempli par un matériau formé d'un gel de manière à fermer de façon étanche l'élément de détection de pression. Le matériau formé d'un gel est exposé à partir d'une partie d'ouverture du boîtier de sorte que la pression d'un milieu sous pression est appliquée à l'élément de détection de pression au moyen du matériau en forme de gel.
Dans ce capteur de pression, étant donné que l'élément de détection de pression est fermé de façon étanche par le matériau en forme de gel, l'élément de détection de pression peut être protégé vis-à-vis de l'humidité ou de matières étrangères contenues dans le milieu sous pression. Cependant, lorsque le capteur de pression est utilisé dans un environnement de gaz d'échappement présentant une humidité élevée ou une acidité élevée par exemple, l'humidité contenue dans le milieu sous pression adhère au boîtier et au matériau formé d'un gel exposé au niveau de la partie d'ouverture du boîtier, et subsiste sur ces éléments sous la forme d'eau condensée. Dans ce cas, si l'eau condensée gèle, une force supplémentaire est appliquée au matériau en forme de gel et la transmission de pression du matériau en forme de gel s'en trouve altérée. En outre, lorsque de l'eau possédant une propriété élevée de corrosion subsiste sur le matériau en gel, le matériau en gel est altéré, et le capteur de pression ne peut pas détecter de façon précise la pression du milieu sous pression.
Compte tenu des problèmes décrits précédemment, un but de la présente invention est d'empêcher de façon efficace l'eau de subsister sur un élément formé d'un gel, dans un capteur de pression dans lequel un élément de détection de pression situé dans un boîtier est renfermé de façon étanche par l'élément formé d'un gel.
Conformément à la présente invention, il est prévu un capteur de pression pour détecter une pression d'un milieu sous pression, du type comprenant: un boîtier comportant une partie de positionnement d'un élément, un élément de détection de pression situé dans la partie de positionnement d'élément du boîtier, et un élément sous forme de gel qui remplit la partie de positionnement d'élément pour renfermer de façon étanche l'élément de détection de pression, caractérisé en ce que l'élément formé d'un gel est exposé à partir d'une partie d'ouverture de la partie de positionnement d'élément dans le boîtier et est prévu de telle sorte que la pression du milieu sous pression est appliquée à l'élément de détection de pression par l'intermédiaire de l'élément formé d'un gel, et que l'élément formé d'un gel fait saillie à partir d'une surface d'une portion circonférentielle de la partie d'ouverture dans le boîtier. C'est pourquoi l'eau condensée sur la surface de la portion circonférentielle autour de l'élément formé d'un gel dans le boîtier s'écoule sur cette surface, tout en évitant l'élément formé d'un gel. Par conséquent cet agencement permet de limiter efficacement un séjour de l'eau sur l'élément formé d'un gel.
Selon une autre caractéristique de l'invention, le capteur comporte en outre une partie saillante qui fait saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture pour entourer l'élément formé d'un gel, auquel cas la partie saillante empêche l'eau de venir en contact avec l'élément formé d'un gel. Par exemple une partie du boîtier fait saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle de manière à former la partie saillante.
En outre, selon une autre caractéristique de l'invention, il est prévu des moyens empêchant une stagnation d'eau pour empêcher une stagnation d'eau sur la surface de la portion circonférentielle autour de la partie d'ouverture dans le boîtier.
Selon une autre caractéristique de l'invention, l'élément formé d'un gel fait saillie sur la surface de la portion circonférentielle, sous une forme cylindrique.
Selon une autre caractéristique de l'invention, l'élément formé d'un gel fait saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle avec une forme ronde.
Selon une autre caractéristique de l'invention, la surface de la partie circonférentielle s'étend 20 approximativement verticalement.
Selon une autre caractéristique de l'invention, l'élément formé d'un gel est constitué d'une substance en gel.
Selon une autre caractéristique de l'invention, la portion circonférentielle comporte des rainures disposées en renfoncement par rapport à la surface de la portion circonférentielle, en tant que moyens empêchant une stagnation de l'eau.
En variante, selon une autre caractéristique de l'invention le capteur comporte en outre une pluralité de parties saillantes qui font saillie à partir de la surface de la portion, circonférentielle en tant que moyens empêchant une stagnation de l'eau. Ici les formes des rainures ou des parties saillantes peuvent être modifiées de façon appropriée.
D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description donnée ci-après prise en référence aux dessins annexés, sur lesquels: - la figure lA est une vue en coupe schématique d'un capteur de pression selon une première forme de réalisation préférée de la présente invention, et la figure 1B est une vue en perspective schématique représentant le voisinage d'une partie d'ouverture et d'une partie saillante d'un boîtier dans le capteur de pression de la figure 1A; - la figure 2A est une vue en coupe transversale schématique d'un capteur de pression selon une seconde forme de réalisation préférée de la présente invention, et la figure 2B est une vue en perspective schématique montrant le voisinage d'une partie d'ouverture d'un boîtier dans le capteur de pression de la figure 2A; - les figures 3A à 3C représentent des vues en perspective représentant chacune une structure de limitation de stagnation de l'eau d'un capteur de pression selon une troisième forme de réalisation de la présente invention.
Dans une première forme de réalisation de l'invention, telle que représentée sur la figure 1A, un capteur de pression 100 inclut un boîtier 10 qui forme un corps de détection de pression. Le boîtier 10 peut être formé d'un matériau constitué d'une résine ou bien peut être formé d'un matériau céramique ou d'un matériau métallique. Par exemple, en tant que matériau formé de résine, on peut utiliser du téréphtalate de polybutylène (PBT) ou du sulfure de polyphénylène (PPS).
Le boîtier 10 comprend une portion 11 de positionnement d'un élément, dans lequel un élément de détection de pression 30 est placé, et des premier et second passages d'introduction de pression 21, 22, qui sont prévus autour de la partie 11 de positionnement de l'élément.
Le premier passage d'introduction de pression 21 et le second passage d'introduction de pression 22 sont séparés l'un de l'autre dans le boîtier 10. Le premier passage d'introduction de pression 21 comporte un premier orifice d'introduction de pression 21a, d'où un milieu sous pression est introduit dans le passage, et le second passage d'introduction de pression 22 possède un second orifice d'introduction de pression 22a, d'où un milieu sous pression est introduit dans le passage.
Par exemple, le premier orifice d'introduction de pression 21a est raccordé à un côté amont d'un filtre à particules diesel (DPF) d'un tuyau d'échappement, et le second orifice d'introduction de pression 22a est raccordé à un côté aval du filtre DPF du tuyau d'échappement, moyennant l'utilisation de tuyaux en caoutchouc par exemple. Dans ce cas, les gaz d'échappement sont filtrés par un matériau filtrant du filtre DPF. C'est pourquoi un milieu sous pression présentant une caractéristique de résistance à la corrosion relativement élevée est introduit dans le premier passage d'introduction de pression 21, et un milieu sous pression présentant une caractéristique de résistance à la corrosion relativement faible est introduit dans le second passage d'introduction de pression 22.
L'élément 11 de positionnement de l'élément, qui est prévu dans le boîtier 10 possède une chambre lia de positionnement de l'élément, dans laquelle l'élément de détection de pression 30 est logé. L'élément de détection de pression 30 produit un signal électrique conformément à une pression qui lui est appliquée.
A titre d'exemple, l'élément de détection de pression 30 peut être constitué par une puce de capteur 31 formée par un substrat semiconducteur et un support en verre 32 disposé sur une surface arrière de la puce de capteur 31 pour retenir cette dernière. Ici, le substrat semiconducteur peut être formé d'un semiconducteur en silicium, et la puce de capteur 31 et le support en verre 32 peuvent être intégrés en utilisant par exemple une autre liaison (liaison anodique). Cependant, on peut utiliser une structure du capteur de pression 100, qui diffère de la structure indiquée précédemment.
Par exemple la plaquette de capteur 31 peut être formée d'une structure générale utilisant une résistance piézoélectrique. Dans l'exemple représenté sur la figure 1A, la puce de capteur 31 possède un diaphragme et une résistance diffusée. La puce de capteur 31 possédant le diaphragme et la résistance diffusée est disposée sur le côté droit de la figure 1A pour recevoir la pression du milieu sous pression provenant du second passage d'introduction de pression 22.
La puce de capteur 31 est située dans la chambre lla de positionnement de l'élément du boîtier 10, et est fixée à la partie 11 de positionnement de l'élément par l'intermédiaire du support en verre 32. Par exemple le support en verre 32 est collé à la partie 11 de positionnement de l'élément moyennant l'utilisation d'un adhésif tel que du caoutchouc silicone.
En outre, une structure de connexion électrique de l'élément de détection de pression 30 peut être formée de la même manière que la structure de connexion électrique indiquée dans le brevet US N 6 651 508.
A titre d'exemple, le capteur de pression 30 peut être connecté électriquement à l'extérieur au moyen de bornes et de fils. Dans ce cas, des bornes formées d'un matériau électriquement conducteur, par exemple du Cu, peuvent être formées d'un seul tenant avec le boîtier 10 par moulage par insertion. Les bornes sont en général moulées par insertion dans la partie 11 de positionnement de l'élément et sont exposées dans la chambre lia de positionnement de l'élément. La partie exposée des bornes est connectée électriquement à une puce de capteur 31 dans le capteur de pression 30, moyennant l'utilisation de fils de liaison formés de fils d'or ou d'aluminium par exemple.
Au contraire, les autres extrémités des bornes sont disposées de manière à pouvoir être connectées à un circuit extérieur du boîtier 10.
Un trou traversant 32a est formé dans le support en verre 32 sur la surface arrière de la puce de capteur 31.
En outre une partie d'ouverture 12 est formée dans la partie 11 de positionnement de l'élément dans le boîtier 10, dans une position correspondant au trou traversant 32a du pied 32. C'est pourquoi, la partie d'ouverture 12 est un trou traversant qui est formé continûment à partir du trou traversant 32a du support en verre 32.
Une partie saillante (partie formant rebord) 13 est formée de manière à faire saillie à partir d'une surface d'une portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12, à l'intérieur du premier passage d'introduction de pression 21 dans la partie 11 de positionnement de l'élément. Dans cette forme de réalisation, une partie du boîtier 10 fait saillie de manière à former la partie saillante 13, et la partie saillante 13 est agencée avec une forme cylindrique comme représenté sur la figure 1B.
L'élément de détection de pression 30 est renfermé de façon étanche par des éléments formés d'un gel 41, 42 à l'intérieur de la partie 11 de positionnement de l'élément, du boîtier 10. Les éléments formés d'un gel 41, 42 sont formés à partir d'une substance en gel électriquement isolant, qui possède une caractéristique de résistance aux produits chimiques. En outre les éléments formés d'un gel 41, 42 possèdent une élasticité appropriée de manière à ne pas appliquer une contrainte supplémentaire à chaque composant renfermé de façon étanche dans les éléments formés d'un gel 41, 42. Par exemple, comme substance en gel pour former les éléments formés d'un gel 41, 42, on peut utiliser un matériau formé d'un gel à base de fluor.
Le premier élément formé d'un gel 41 est introduit dans la chambre lia de positionnement de l'élément pour fermer de façon étanche la surface frontale de l'élément de détection de pression 30. C'est-à-dire que le premier élément formé d'un gel 41 ferme d'une manière étanche la surface de la puce de capteur 31. Le second élément formé d'un gel 42 est introduit dans le trou traversant 32a du support en verre 32 et dans la portion d'ouverture 12 à l'intérieur de la partie saillante 13 de manière à étanchéifier la surface arrière de l'élément de détection de pression 30, c'est-à-dire la surface arrière de la puce de capteur 31.
Dans cette forme de réalisation, l'élément de détection de pression 30, les bornes et les fils de liaison sont recouverts par les éléments formés d'un gel 41, 42. C'est pourquoi l'élément de détection de pression 30, les bornes et les fils de liaison peuvent être protégés vis-à- vis de l'extérieur, peuvent être isolés électriquement et peuvent être protégés contre une corrosion.
Comme cela est représenté sur les figures lA et 1B, le second élément formé d'un gel 42 est exposé au niveau de la portion d'ouverture 12 pour faire saillie à partir d'une surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12, dans la partie 11 de positionnement de l'élément, du boîtier 10. En outre la partie saillante 13 est formée sur la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 dans le boîtier 10 de manière à entourer le second élément formé d'un gel 42.
Ci-après on va décrire de façon simple un procédé de fabrication du capteur de pression 100. Tout d'abord on prépare un boîtier 10 dans lequel des bornes sont moulées par insertion. Ensuite, on fixe l'élément de détection de pression 30 dans une position prédéterminée dans le boîtier en utilisant par exemple un adhésif. Après avoir établi une connexion électrique entre l'élément de détection de pression 30 et les bornes au moyen d'une liaison par fil ou analogue, on introduit une substance en gel servant à former les éléments formés d'un gel 41, 42 et on les fait durcir par exemple au moyen d'un durcissement thermique.
Le capteur de pression 100 est monté d'une manière générale dans un véhicule de telle sorte que la direction verticale du capteur de pression 100 sur la figure 1 est disposée verticalement dans le véhicule. En outre, un milieu sous pression possédant une caractéristique de résistance à la corrosion relativement élevée sur le côté amont du filtre DPF est introduit dans le premier passage d'introduction de pression 21, et un milieu sous pression possédant une caractéristique de résistance à la corrosion relativement faible sur le côté aval du filtre DPF est introduit par exemple dans le second passage d'introduction de pression 22.
Par conséquent, dans le boîtier 10, la pression du milieu sous pression sur le côté aval du filtre DPF est appliquée au premier élément formé d'un gel 41 de sorte que la pression appliquée est transmise du premier élément formé d'un gel 41 à la surface de l'élément de détection de pression 30, c'est-à-dire à la surface de la puce de capteur 31.
Au contraire, la pression du milieu sous pression sur le côté amont du filtre DPF est appliquée au second élément formé d'un gel 42 et est transmise à la surface arrière de l'élément de détection de pression 30, par l'intermédiaire du second élément formé d'un gel 42. C'est pourquoi, une pression différentielle entre la surface avant et la surface arrière de la puce de capteur 31 peut être détectée.
Une contrainte de la surface avant de la puce de 35 capteur 31 en raison de la pression appliquée est convertie en un signal électrique au moyen d'un circuit de conversion, et le signal électrique provenant de la puce de capteur 31 est délivré à l'extérieur par le circuit, à l'aide des bornes.
Dans la première forme de réalisation, le capteur de pression 100 inclut le boîtier 10, l'élément de détection de pression 30 situé dans le boîtier 10 et au moins l'élément formé d'un gel 42 introduit dans le boîtier 10 de manière à fermer de façon étanche l'élément de détection de pression 30. L'élément formé d'un gel 42 est exposé au niveau de la partie d'ouverture 42 du boîtier 10, et une pression d'un milieu sous pression est appliquée à l'élément de détection de pression 30 par l'intermédiaire de l'élément formé d'un gel 42 exposé au niveau de la partie d'ouverture 12. Dans le capteur de pression 100, l'élément formé d'un gel 42 fait saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 dans le boîtier 10, et est exposé au niveau de la partie d'ouverture 12.
Etant donné que l'élément formé d'un gel 42 fait saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 dans le boîtier 10, de l'eau condensée sur la surface de la portion circonférentielle autour de l'élément formé d'un gel 42 s'écoule de manière à éviter l'élément formé d'un gel 42. Par conséquent, il peut empêcher une stagnation d'eau sur l'élément formé d'un gel 42.
En outre, la partie saillante (partie de rebord) 13 est prévue sur la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 dans le boîtier 10, de manière à entourer l'élément formé d'un gel 42 qui fait saillie à partir de la partie d'ouverture 12. C'est pourquoi, il peut empêcher que de l'eau, qui s'écoule autour de l'élément formé d'un gel 42 tout en évitant l'élément formé d'un gel 42, ne vienne en contact avec la partie saillante 13. Dans ce cas, une stagnation de l'eau condensée sur l'élément formé d'un gel 42 peut être empêchée efficacement.
On va maintenant décrire une seconde forme de réalisation de la présente invention en référence aux figures 2A et 2B.
Dans la seconde forme de réalisation, comme représenté sur les figures 2A et 2B, le second élément formé d'un gel 42 est exposé à partir de la partie d'ouverture 12 de manière à faire saillie directement à partir de la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12. C'est-à-dire que, dans la seconde forme de réalisation, la partie saillante 13 de la première forme de réalisation décrite précédemment n'est pas prévue.
Dans la seconde forme de réalisation, il est possible d'empêcher une stagnation de l'eau sur l'élément formé d'un gel 42 moyennant l'utilisation de la tension de surface de l'élément formé d'un gel 42. Par conséquent, même lorsque l'élément formé d'un gel 42 fait saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 dans le boîtier 10 de manière à être exposée à partir de la partie d'ouverture 12, de l'eau s'écoule autour de l'élément formé d'un gel 42 tout en évitant l'élément formé d'un gel 42, comme représenté sur la figure 2B.
En outre, étant donné que l'extrémité saillante de l'élément formé d'un gel 42 est agencée de manière à posséder une surface bombée, l'eau condensée ne stagne pas sur l'élément formé d'un gel 42.
Dans la seconde forme de réalisation, les autres parties du capteur de pression peuvent être formées de la même manière que celles de la première forme de réalisation décrite précédemment.
On va maintenant décrire une troisième forme de réalisation de la présente invention en référence aux 35 figures 3A - 3C.
Dans la troisième forme de réalisation, l'élément formé d'un gel 42 fait saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 dans le boîtier 10 de manière à faire saillie à partir de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12. En outre, une structure 14 empêchant une stagnation de l'eau, qui est destinée à empêcher une stagnation de l'eau sur la portion circonférentielle, est prévue sur la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 dans le boîtier 10.
La structure 14 empêchant une stagnation de l'eau est formée pour réaliser un étalement rapide de l'eau condensée sur la surface du boîtier 10 moyennant l'utilisation du phénomène de capillarité, ou étendre une aire de contact entre l'eau et le boîtier 10. Par exemple, en augmentant la performance de mouillage de la surface du boîtier 10, l'aire de contact entre la surface du boîtier 10 et l'eau peut être accrue de manière à provoquer un séchage rapide de la surface du boîtier 10.
Dans l'exemple représenté sur la figure 3A, des rainures disposées sous la forme d'une grille sont formées sur la surface du boîtier 10 autour de la partie d'ouverture 12 de manière à former la structure 14 empêchant une stagnation d'eau. Dans ce cas, l'eau condensée peut être aisément étalée grâce au phénomène de capillarité. Ici la forme des rainures disposées sous la forme d'une grille et servant à former la structure 14 empêchant une stagnation de l'eau peut être modifiée pour avoir une autre forme, ou peut être agencée de façon aléatoire.
Dans l'exemple représenté sur la figure 3B, des rainures, qui s'étendent radialement, sont formées autour de la partie d'ouverture 12 sur la surface du boîtier 10 de manière à former la structure 14 empêchant une stagnation de l'eau. Dans ce cas, l'eau est aisément étalée par les rainures qui s'étendent radialement moyennant l'utilisation du phénomène de capillarité.
Dans l'exemple représenté sur la figure 3C, plusieurs parties saillantes sont formées sur la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 dans le boîtier 10, pour former la structure 14 empêchant une stagnation de l'eau. Dans ce cas, la tension de surface de l'eau condensée sur la surface du boîtier 10 est telle qu'elle présente une valeur inférieure, de sorte que le mouillage de la surface du boîtier par l'eau est accru.
Dans l'exemple représenté sur la figure 3A, une partie saillante 13 destinée à entourer l'élément formé d'un gel 42 peut être prévue de la même manière que dans la première forme de réalisation décrite précédemment. De façon similaire, la partie saillante 13 destinée à entourer l'élément formé d'un gel 42 peut être formée dans l'exemple représenté sur les figures 3B, 3C.
Par conséquent, dans la troisième forme de réalisation, lorsque l'eau s'écoule sur la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 tout en évitant l'élément formé d'un gel 42, l'eau peut être aisément étalée par la structure 14 empêchant une stagnation de l'eau, sur la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture 12 dans le boîtier 10. C'est-à-dire que, étant donné que l'eau est étalée à partir de l'élément formé d'un gel 42 par la structure 14 empêchant une stagnation de l'eau, ceci permet d'empêcher de façon efficace une stagnation de l'eau sur la surface du boîtier 10 autour de l'élément formé d'un gel 42.
Bien que l'on ait décrit la présente invention en liaison avec certaines formes de réalisation préférées en référence aux dessins annexés, on notera que différents changements et modifications apparaîtront à l'évidence aux spécialistes de la technique.
Par exemple, dans les formes de réalisation décrites précédemment, la structure empêchant une stagnation de l'eau est utilisée pour le second élément formé d'un gel 42, dans lequel le milieu sous pression relativement très corrosif est introduit au moyen du premier passage d'introduction de pression 21. Cependant, la structure empêchant une stagnation de l'eau peut être utilisée pour le premier élément formé d'un gel 41 sur le côté de la face de la puce de capteur 31 de l'élément de détection de pression 30. C'est-à-dire que, d'une manière similaire à la structure du second élément formé d'un gel 42, le premier élément formé d'un gel 41 peut faire saillie à partir de la surface d'une partie d'ouverture dans le boîtier 10 de manière à faire saillie à partir de la partie d'ouverture.
La structure de l'élément de détection de pression 30 n'est pas limitée à la structure à diaphragme à semiconducteurs et peut être modifiée de façon quelconque.
Dans les formes de réalisation décrites précédemment, le capteur de pression est utilisé pour détecter une pression différentielle. Cependant le capteur de pression peut être utilisé pour détecter une pression absolue en utilisant une pression de référence tel qu'un vide. En outre, le capteur de pression peut être utilisé de façon appropriée pour détecter une pression d'un milieu sous pression possédant une humidité élevée.
Bien que l'invention ait été décrite en référence à des formes de réalisation préférée, on comprendra qu'elle n'est pas limitée aux formes de réalisation et agencements préférés. L'invention est censée englober de nombreuses variantes et agencements équivalents. En outre, bien que les différents éléments des formes de réalisation préférées soient représentés selon différentes combinaisons et configurations, qui sont préférées, on peut prévoir d'autres combinaisons et configurations, incluant un nombre varié d'éléments, tout en restant dans le cadre de l'invention.
Claims (9)
1. Capteur de pression pour détecter une pression d'un milieu sous pression, du type comprenant: un boîtier (10) comportant une partie (11) de 5 positionnement d'un élément, un élément de détection de pression (30) situé dans la partie (11) de positionnement d'élément du boîtier (30), et un élément sous forme de gel (42) qui remplit la partie (11) de positionnement d'élément pour renfermer de façon étanche l'élément de détection de pression (30), caractérisé en ce que l'élément formé d'un gel (42) est exposé à partir d'une partie d'ouverture (12) de la partie de positionnement d'élément dans le boîtier (10) et est prévu de telle sorte que la pression du milieu sous pression est appliquée à l'élément de détection de pression (30) par l'intermédiaire de l'élément formé d'un gel (42), et que l'élément formé d'un gel (42) fait saillie à 20 partir d'une surface d'une portion circonférentielle de la partie d'ouverture (12) dans le boîtier (10).
2. Capteur de pression selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une partie saillante (30) qui fait saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle de la partie d'ouverture (12) pour entourer l'élément formé d'un gel (42).
3. Capteur de pression selon l'une ou l'autre des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens (14) empêchant une stagnation d'eau pour empêcher une stagnation d'eau sur la surface de la portion circonférentielle autour de la partie d'ouverture (12) dans le boîtier (10).
4. Capteur de pression selon l'une quelconque des 35 revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'élément formé d'un gel (42) fait saillie sur la surface de la portion circonférentielle, sous une forme cylindrique.
5. Capteur de pression selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'élément formé 5 d'un gel (42) fait saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle avec une forme ronde.
6. Capteur de pression selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la surface de la partie circonférentielle s'étend approximativement verticalement.
7. Capteur de pression selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que l'élément formé d'un gel est constitué d'une substance en gel.
8. Capteur de pression selon l'une quelconque des revendications 1, 2 et 4 à 7, caractérisé en ce que la portion circonférentielle comporte des rainures (14) disposées en renfoncement par rapport à la surface de la portion circonférentielle.
9. Capteur de pression selon l'une quelconque des revendications 1, 2 et 4 à 7, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une pluralité de parties saillantes (14') qui font saillie à partir de la surface de la portion circonférentielle.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004230866A JP2006047190A (ja) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | 圧力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2874088A1 true FR2874088A1 (fr) | 2006-02-10 |
FR2874088B1 FR2874088B1 (fr) | 2016-11-25 |
Family
ID=35735463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR0508254A Active FR2874088B1 (fr) | 2004-08-06 | 2005-08-02 | Capteur de pression |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7284435B2 (fr) |
JP (1) | JP2006047190A (fr) |
DE (1) | DE102005035172B4 (fr) |
FR (1) | FR2874088B1 (fr) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4848904B2 (ja) * | 2006-09-13 | 2011-12-28 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
JP5292687B2 (ja) * | 2006-10-12 | 2013-09-18 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
JP4375460B2 (ja) * | 2007-08-08 | 2009-12-02 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
EP2184594B1 (fr) * | 2008-07-31 | 2019-02-13 | Sensata Technologies, Inc. | Capteur de pression pour mesurer la pression dans un milieu |
US7992441B2 (en) * | 2008-07-31 | 2011-08-09 | Sensata Technologies, Inc. | Pressure sensor for measuring pressure in a medium |
DE102008041943A1 (de) * | 2008-09-10 | 2010-03-11 | Robert Bosch Gmbh | Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung |
JP2011013178A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Yamatake Corp | 圧力センサ及び製造方法 |
US8245575B2 (en) * | 2009-12-08 | 2012-08-21 | Jen-Huang Albert Chiou | Pressure sensor device with breakwater to reduce protective gel vibration |
JP5541106B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2014-07-09 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
DE102012016395A1 (de) * | 2011-08-24 | 2013-02-28 | Marquardt Mechatronik Gmbh | Sensor |
DE102012213916A1 (de) * | 2011-11-08 | 2013-05-08 | Robert Bosch Gmbh | Elektronikmodul für ein Steuergerät |
US11047756B2 (en) | 2016-03-09 | 2021-06-29 | Flo Technologies, Inc. | Electronic pressure sensor for measurement of pressure in a fluid media |
US10458872B2 (en) * | 2016-03-09 | 2019-10-29 | Flo Technologies, Inc. | Electronic pressure sensor for measurement of pressure in a fluid media |
US11225409B2 (en) | 2018-09-17 | 2022-01-18 | Invensense, Inc. | Sensor with integrated heater |
WO2020198318A1 (fr) | 2019-03-25 | 2020-10-01 | Flo Technologies, Inc. | Capteurs de débit massique thermique à film mince dans des applications de fluide |
US11624636B2 (en) | 2019-05-07 | 2023-04-11 | Fortune Brands Water Innovations LLC | Turbine design for flow meter |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0475933U (fr) * | 1990-11-15 | 1992-07-02 | ||
JPH04370726A (ja) * | 1991-06-19 | 1992-12-24 | Fujikura Ltd | 半導体圧力センサ |
JP2760924B2 (ja) * | 1991-09-06 | 1998-06-04 | 株式会社東海理化電機製作所 | 流体圧測定器 |
JPH0736031U (ja) * | 1993-12-08 | 1995-07-04 | 三菱電機株式会社 | 圧力センサ |
US5747694A (en) * | 1995-07-28 | 1998-05-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Pressure sensor with barrier in a pressure chamber |
JP3588899B2 (ja) * | 1996-03-12 | 2004-11-17 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
JPH10267778A (ja) | 1997-03-24 | 1998-10-09 | Chichibu Onoda Cement Corp | 半導体圧力センサ |
JPH1146846A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-02-23 | Yoshida Kogyo Kk <Ykk> | コンパクト容器 |
JPH11132882A (ja) * | 1997-10-30 | 1999-05-21 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力センサ |
JP2001033326A (ja) * | 1999-07-27 | 2001-02-09 | Nippon Seiki Co Ltd | 圧力検出器 |
JP4380028B2 (ja) * | 1999-11-02 | 2009-12-09 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
JP4320963B2 (ja) | 2000-11-27 | 2009-08-26 | 株式会社デンソー | 圧力センサ |
JP2003034346A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-04 | Sankei Sangyo Kk | ドラム缶用カバー、その製造方法及び同方法に用いる切断装置 |
JP2003042885A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Nippon Soken Inc | 圧力検出構造 |
DE10331967A1 (de) * | 2003-07-15 | 2005-02-03 | Robert Bosch Gmbh | Sensoreinrichtung |
-
2004
- 2004-08-06 JP JP2004230866A patent/JP2006047190A/ja active Pending
-
2005
- 2005-07-27 DE DE102005035172.7A patent/DE102005035172B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2005-08-02 FR FR0508254A patent/FR2874088B1/fr active Active
- 2005-08-02 US US11/194,648 patent/US7284435B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006047190A (ja) | 2006-02-16 |
DE102005035172B4 (de) | 2014-11-06 |
DE102005035172A1 (de) | 2006-03-16 |
US20060027025A1 (en) | 2006-02-09 |
US7284435B2 (en) | 2007-10-23 |
FR2874088B1 (fr) | 2016-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2874088A1 (fr) | Capteur de pression | |
FR2875903A1 (fr) | Capteur de debit de type thermique et procede pour sa fabrication | |
FR2871883A1 (fr) | Structure de capteur ayant une partie de sortie de signal moulee et procede de fabrication | |
FR2817341A1 (fr) | Capteur de pression comportant une plaquette a semiconducteurs | |
FR2756923A1 (fr) | Dispositif detecteur de type semi-conducteur | |
FR2846416A1 (fr) | Dispositif de detection de pression a sonde de temperature | |
FR2846720A1 (fr) | Element elastique destine a fixer un dispositif formant capteur et capteur utilisant un tel element | |
FR2839152A1 (fr) | Capteur de presion avec une membrane resistant a la corrosion | |
FR2792411A1 (fr) | Capteur de deformation a semiconducteurs | |
FR2880117A1 (fr) | Detecteur de pression resistant aux acides | |
FR2903185A1 (fr) | Capteur de pression differentielle ayant des puces de capteur et des passages d'introduction de pression disposes symetriquement. | |
FR2871232A1 (fr) | Capteur de pression | |
FR2872277A1 (fr) | Equipement a capteur possedant une partie captante et procede pour fabriquer cet equipement | |
FR2872903A1 (fr) | Detecteur de pression du type a detection de pression differentielle et procede pour fabriquer celui-ci | |
FR2837921A1 (fr) | Capteur de pression et procede de fabrication de ce dernier | |
EP0803729B1 (fr) | Dispositif comprenant deux substrats micro-usinés destinés à former un microsystème ou une partie d'un microsystème et procédé d'assemblage de deux substrats micro-usinés | |
FR2948455A1 (fr) | Dispositif de capteur de pression | |
FR2907216A1 (fr) | Capteur de pression ayant une puce de detection protegee par un materiau | |
EP3598076A1 (fr) | Dispositif de mesure d'un parametre physique d'un fluide d'un circuit de vehicule automobile | |
FR2800464A1 (fr) | Dispositif de detection de pression et corps du papillon des gaz de moteurs | |
FR2791430A1 (fr) | Capteur de pression a tige metallique fixee a un boitier pouvant etre assujetti directement a un dispositif, et procede pour fabriquer celui-ci | |
FR2893413A1 (fr) | Dispositif de capteur comportant un substrat et un boitier ainsi que procede de fabrication de celui-ci. | |
FR2697399A1 (fr) | Boîtier pour un appareil électrique. | |
FR2963096A1 (fr) | Dispositif pour enregistrer des grandeurs d'etat physiques d'un milieu | |
FR2880947A1 (fr) | Procede de fabrication d'un capteur de pression |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 11 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 12 |
|
PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 13 |