FR2664048A1 - Procede et dispositif de detection analogique multicanal. - Google Patents
Procede et dispositif de detection analogique multicanal. Download PDFInfo
- Publication number
- FR2664048A1 FR2664048A1 FR9008255A FR9008255A FR2664048A1 FR 2664048 A1 FR2664048 A1 FR 2664048A1 FR 9008255 A FR9008255 A FR 9008255A FR 9008255 A FR9008255 A FR 9008255A FR 2664048 A1 FR2664048 A1 FR 2664048A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- signal
- values
- modulated
- producing
- analog detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 claims description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 5
- 238000003491 array Methods 0.000 description 4
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 4
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000001907 polarising light microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000012800 visualization Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
- G01B11/303—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
L'invention concerne un dispositif de détection analogique multicanal d'un signal à détecter ayant un très bon rapport signal/bruit. Il comporte un modulateur (53) produisant un signal modulé S(P); des moyens d'atténuation (54) synchrone de phase variable PHI produisant un signal modulé atténué; un récepteur multipoint (52) recevant le signal modulé-atténué et produisant pour chaque point un signal analogique primaire; un intégrateur produisant pour chaque point une valeur V(P,PHI) résultant de l'intégration sur N périodes du signal analogique primaire; des moyens de lecture, de numérisation et de mise en mémoire des valeurs V(P,PHI) pour une valeur PHI donnée; un séquenceur de phase donnant successivement à PHI les valeurs PHI0 + i2pi/n pour i entier variant de 1 à n; une unité de traitement numérique permettant l'obtention de données représentatives de S(P) à partir des valeurs V(P,PHI). Il est particulièrement bien adapté à la détection d'un flux lumineux avec une barrette de photodiodes.
Description
PROCEDE ET DISPOSITIF DE DETECTION ANALOGIQUE
MULTICANAL
La présente invention concerne un procédé et un
dispositif de détection analogique multicanal.
Les détecteurs multicanaux tels que les barrettes ou matrices de photodiodes se développent très rapidement
et sont maintenant d'usage courant.
Les méthodes de détection fréquemment utilisées avec les détecteurs monocanaux afin d'améliorer leur rapport signal/bruit sont souvent difficiles à transposer directement aux détecteurs multicanaux C'est la raison pour laquelle, le développement d'un procédé et d'un dispositif de détection analogique multicanal revêt un
grand intérêt.
En particulier, la méthode de détection synchrone
est couramment utilisée avec les détecteurs monocanaux.
Elle donne entière satisfaction et son intérêt n'est plus à justifier. Selon cette méthode, utilisable aussi bien pour les spectromètres, les dichromètres, les polarimètres, les ellipsomètres, les microscopes optiques ou électroniques à balayage, les microscopes interférentiels, etc, une
source, le plus souvent une source lumineuse, est modulée.
Après détection, le signal modulé est amplifié puis multiplié par une référence dont la valeur moyenne est nulle Un filtre passe-bas suivi d'un amplificateur continu permet d'obtenir l'information avec une bonne réjection du bruit Un taux de réjection de plus de 90 décibels est
ainsi fréquemment obtenu.
Compte-tenu de l'intérêt de cette méthode, on a cherché à la transposer, lors de l'utilisation de
détecteurs multicanaux.
A cet effet, une première solution consiste à coupler autant de détecteurs synchrones qu'il existe d'éléments dans le détecteur multicanal Cette solution demande la lecture en parallèle du circuit spécialisé et devient vite impossible à mettre en oeuvre pour des
détecteurs comprenant un grand nombre d'éléments.
A titre indicatif, des détecteurs multicanaux actuellement répandus sont des barrettes ou des matrices de
diodes comportant de 256 à plusieurs millions de canaux.
Une deuxième solution est de lire en série chacun des éléments du détecteur multicanal à une fréquence plus élevée que la fréquence de modulation, de numériser l'information, de la stocker dans différentes mémoires, puis de traiter le signal ainsi moyenné par un dispositif
informatique programmé.
Cette solution est limitée actuellement par le temps de gestion des mémoires numériques et ne peut être mise en oeuvre qu'avec des fréquences de modulation du signal très faibles (quelques Hertz) De plus, la moyenne étant faite numériquement, il est nécessaire d'utiliser des convertisseurs analogiques/numériques de très grande résolution (supérieure ou égale à 12 bits) pour obtenir une bonne dynamique et une rapidité raisonnable de mesure De
tels convertisseurs sont très coûteux.
Des difficultés analogues sont rencontrées dans la mise en oeuvre des détections hétérodynes appliquées aux
détecteurs multicanaux.
L'objectif de l'invention est donc de proposer un procédé et un dispositif de détection analogique multicanal dont la mise en oeuvre est simple, qui améliorent le rapport signal/bruit du signal mesuré et présentent une
bonne dynamique.
A cet effet, il est proposé un procédé de détection analogique multicanal d'un signal à détecter dans lequel: le signal à détecter est modulé, produisant un signal modulé S(P) de fréquence f accompagné de bruit; le signal modulé est soumis à une atténuation synchrone de phase e produisant un signal modulé atténué; le signal modulé-atténué est reçu par un récepteur multipoint qui produit, pour chaque point, un signal électrique analogique primaire; chaque signal analogique primaire est intégré sur N périodes produisant, pour chaque point P, une valeur
V(P,);
les valeurs V(P,I), pour l'ensemble des points et pour une valeur de phase i fixée, sont lues, numérisées, mises en mémoire; on augmente successivement (n-l) fois la phase P de 2 ir/n, et pour chacune de ces valeurs on reproduit les opérations permettant de mettre en mémoire les valeurs V(Pl); on traite numériquement les N valeurs V(P,) obtenues respectivement pour chaque point P de manière à produire une donnée représentative de l'amplitude et de la
phase de S(P).
L'invention concerne également un dispositif de détection analogique multicanal d'un signal à détecter comprenant: un modulateur produisant un signal modulé S(P); des moyens d'atténuation synchrone de phase variable e produisant un signal modulé atténué; un récepteur multipoint recevant le signal modulé-atténué et produisant pour chaque point un signal analogique primaire; un intégrateur produisant pour chaque point une valeur V(P,i) résultant de l'intégration sur N périodes du signal analogique primaire; des moyens de lecture, de numérisation et de mise en mémoire des valeurs V(P,e) pour une valeur e donnée; un séquenceur de phase donnant successivement à e les valeurs e + i 2 v/n pour i entier variant de 1 à N; une unité de traitement numérique permettant l'obtention de données représentatives de S(P) à partir des
valeurs V(P,).
L'invention sera décrite plus en détail en référence aux figures annexées dans lesquelles: La figure 1 est une représentation schématique
d'un récepteur multipoint utilisé selon l'invention.
La figure 2 est un chronogramme du procédé de
détection selon l'invention.
La figure 3 est une représentation d'ensemble du
dispositif de détection selon l'invention.
La figure 4 représente le dispositif de détection
de l'invention dans un premier exemple d'application.
La figure 5 représente un deuxième exemple
d'application du dispositif de détection selon l'invention.
La figure 6 est une vue schématique détaillée du
dispositif de détection de l'invention.
La figure 7 est le schéma d'un dispositif de microscopie en lumière polarisée avec lequel le dispositif
de détection de l'invention est utilisé.
La figure 8 est un exemple d'image obtenue avec
des dispositifs des figures 7 et 8.
Le procédé et le dispositif de détection analogique multicanal de l'invention peuvent être utilisés de manière très générale pour la détection de nombreux types de signaux Toutefois, ils sont particulièrement bien adaptés à la réalisation de mesures de flux lumineux avec des
photodiodes sous forme de barrettes ou de matrices.
Il est en soi connu que dans un tel détecteur, chaque photodiode 1 est équivalente au montage en parallèle d'une diode 2 et d'un condensateur 3 Le courant fourni à ce circuit est fonction du flux lumineux reçu par la photodiode 1 Un interrupteur commandable Il permet la lecture de la charge du condensateur 3 au moment choisi et par là de mesurer l'énergie lumineuse reçue entre deux
lectures, c'est-à-dire l'intégrale du flux.
Les barrettes ou matrices de photodiodes comportent un très grand nombre d'éléments de ce type variant selon les applications recherchées de 256 à plusieurs millions d'éléments Un dispositif adapté permet la commande successive des interrupteurs Il, 12, I 3, Ii de manière à permettre l'acquisition de signaux représentatifs des énergies respectives E 1, E 2, E 3,, Ej, reçues
par les photodiodes correspondantes.
De manière générale, le signal à détecter est modulé de manière à obtenir un signal modulé S(P) de fréquence f et de période T Ce signal est bien entendu
accompagné de bruit.
Cette fréquence de modulation f peut être relativement élevée, par exemple plusieurs centaines de M Hz puisque, comme nous le verrons par la suite, la fréquence de lecture des informations fournies par le récepteur multipoint et digitalisation de ces informations est
fortement réduite par rapport à la fréquence f.
Dans certains cas particuliers, le phénomène physique observé produit directement un signal périodique dans la gamme de fréquence f indiquée plus haut et peut être directement exploité Le plus souvent, le signal à détecter est tout d'abord volontairement modulé comme pour l'application selon les principes connus de la détection synchrone pour un détecteur unique ou de la détection hétérodyne Cette modulation peut être obtenue par de nombreux dispositifs Lorsque le signal à détecter est un signal lumineux porté par un faisceau produit par une source lumineuse, il est possible de moduler directement
l'alimentation de la source pour obtenir le signal modulé.
Il est également possible d'utiliser un moyen de modulation interposé entre la source et le récepteur multipoint, par exemple une cellule de POCHELS, modulateur mécanique, modulateur élasto-optique, polariseur tournant, Le signal modulé S(P) représenté par exemple sur la figure 2 est ensuite soumis à une atténuation synchrone de phase représentée par A( ) de manière à produire un signal modulé atténué le signal d'atténuation A( ) est un signal périodique de même fréquence f que le signal modulé S(P) et il est possible de faire varier sa phase e déterminant son déphasage par rapport à S(P) Tout en respectant ces conditions, il peut revêtir des formes variables, être constitué d'une succession de créneaux, être lui-même sinusoïdal,
La description qui va suivre, en référence aux
figures 2 et 3, concerne le cas d'une fonction A( ) en créneaux. Cette fonction A( ) a la valeur 1 pendant une
fraction 1/n de la période et une valeur nulle en dehors.
le signal modulé atténué S(P) x A( ) correspond donc à un découpage d'une fraction 1/n de chaque période du signal
S(P), à phase constante (sur la figure 2, N = 4).
Le signal lumineux ainsi modulé et atténué est adressé sur le récepteur multipoint qui convertit, pour chacun des points, le signal lumineux reçu en un signal
électrique analogique primaire de même forme.
Ce signal électrique analogique primaire est
intégré sur N périodes et produit une valeur V(P,e).
Pour chaque point P, la valeur V(Pe) est donc produite par le flux lumineux reçu par le détecteur en ce
point pendant N périodes du signal S(P).
Les valeurs V(P,i) pour l'ensemble de points, pour une valeur de phase i fixée, sont alors lues, numérisées et mises en mémoires Ces opération de lecture, numérisation,
mise en mémoire sont donc effectuées à la fréquence f/N.
Après avoir réalisé ces opérations pour une valeur f donnée, on augmente cette phase e de l'atténuation
synchrone A( ) par rapport au signal modulé S(P) de 2 ff/n.
On produit alors un nouveau découpage du signal S(P) correspondant à l'intervalle de temps de 2 w/n suivant
l'intervalle précédemment découpé.
De manière analogue, le signal modulé atténué est reçu par le récepteur multipoint qui produit pour chaque point un signal électrique analogique primaire Ce nouveau signal analogique primaire est alors également intégré sur N périodes et produit pour chaque point une valeur V(P,e) correspondant à la nouvelle valeur de i Ces nouvelles valeurs V(P,i) sont à nouveau lues, numérisées et mises en mémoire. On augmente successivement (n-1) fois la phase e de 2 g/n mettant ainsi en mémoire N ensembles de valeurs V(P,e). Il est important de souligner que dans ces opérations, la lecture et la numérisation des valeurs V(P, f) ont été réalisées à la fréquence f/N donc à une fréquence qui peut être beaucoup plus faible que la fréquence f Il est ainsi possible, comme nous l'avons indiqué plus haut, de dissocier la fréquence de modulation du signal à détecter f de la fréquence de lecture et de numérisation des signaux fournis par le récepteur multipoint Cette caractéristique permet d'améliorer considérablement le rapport signal/bruit de la détection et permet également la mise en oeuvre d'un procédé de détection hétérodyne avec tout détecteur multipoint et en particulier avec des détecteurs de flux lumineux de type CCD. Lorsque le récepteur multipoint est composé d'éléments CCD, l'intégration du signal analogique primaire est directement obtenue au niveau de chaque photodiode La lecture des valeurs V(Pe) pour chaque valeur du déphasage i est obtenue par l'action d'un registre à décalage 41 qui commande les interrupteurs 40-1, 40-2,, 40-i, et produit un signal sur la ligne vidéo 42 Après amplification par l'amplificateur 43, le signal vidéo porteur des information v(Po) est numérisé par le convertisseur analogique/numérique 44 et mis en mémoire
dans un dispositif informatique 45.
Une horloge 46 assure la synchronisation de l'atténuation avec le signal modulé et commande la lecture
des valeurs v(PD).
Ainsi, a été mise en mémoire une valeur v(P,-) pour chacun des points P De manière en soi connue, l'unité de traitement 46 traite ces N valeurs de manière à produire des données représentatives de l'amplitude et de la phase
du signal S(P).
Ces valeurs sont alors disponibles pour tout usage, elles peuvent être visualisées sur un écran, représentées à
l'aide d'une traçante, commander tout dispositifp.
La description qui précède a été faite en référence
à l'utilisation d'une atténuation représentée par une fonction créneaux, toute autre fonction périodique positive peut être utilisée à cet effet pour autant que N ensembles de valeurs v(Pe) sont produits pour des valeurs du déphasage de l'atténuation par rapport au signal modulé
variant de 2 w/n.
Sur la figure 2, N = 4 Des valeurs élevées de n permettent de mesurer des harmoniques du signal à une
fréquence multiple de f.
Les figures 4 et 5 sont deux représentations d'un dispositif de détection mettant en oeuvre l'invention Une source lumineuse 50 est utilisée pour l'observation d'un
phénomène physique donnant naissance au signal à détecter.
Le faisceau lumineux 51 produit par cette source est détecté par un détecteur multipoint 52, par exemple constitué par une barrette de photodiodes CCD (dispositif à transfert de charge) Entre la source 50 et le récepteur multipoint 52 sont placés les moyens de modulation 53 du faisceau lumineux. Dans l'exemple de réalisation présenté sur la figure 4, l'atténuation est produite par l'obturateur 54 alors que dans l'exemple représenté sur la figure 5, l'atténuation est produite en actionnant l'alimentation 55 de la source lumineuse 50 Dans les deux modes de réalisation, les moyens de modulation 53 et les moyens d'atténuation 54 ou 55 sont commandés par une même horloge 56 qui assure leur synchronisation Cette même horloge 56 pilote, par l'intermédiaire du module de pilotage 57, la lecture de la barrette de diodes 52 Le signal vidéo porteur des valeurs v(Po) pour chaque valeur du déphasage P
est adressé à l'unité de traitement 58.
On décrira maintenant l'application du procédé de détection de l'invention à la mesure de rugosité par microscopie interférentielle en référence aux figures 6, 7 et 8. La figure 7 A est le schéma optique général, les figures 7 B et 7 C sont des représentations de l'objet 70 et
du détecteur multipoint dans leur plan.
L'objet 70 dont la rugosité est mesurée est un réflecteur La source 71 produit, après traversée d'un prisme de WOLLASTON 72, deux faisceaux 73 et 74 polarisés perpendiculairement et focalisés par l'effet de l'oculaire , de la lentille de tube 76 et de l'objectif 77 sur l'objet 70 Une lentille cylindrique 78 déforme les faisceaux de telle sorte qu'ils focalisent le long des
lignes 79 et 80.
Un cube séparateur 81 dirige les faisceaux réfléchis vers le récepteur multipoint 82 constitué par une barrette de photodiodes CCD Une lentille 83 produit la focalisation des faisceaux sur le récepteur, un modulateur élasto-optique 84 module la différence de phase entre les deux faisceaux et un polariseur 85 produit leur interférence. Ainsi, pour chaque couple de points des lignes 79 et 80 de l'objet 70, la différence de phase entre les faisceaux réfléchis dépend de la différence de marche introduite aux points de mesure, c'est-à-dire de leurs positions relatives par rapport à un plan normal au faisceau. Le signal reçu au point 88 du récepteur 82 correspondant aux points 86, 87 (les points 86, 87 et 88 sont optiquement conjugués) dépend de la différence de phase entre les faisceaux et donc des positions relatives
des points 86, 87 par rapport au plan normal du faisceau.
L'ensemble des signaux reçus aux différents points du détecteur 82 permet de mesurer la rugosité de l'objet 70 le long des lignes 79, 80 En déplaçant l'objet 70, perpendiculairement à ces lignes, on balaye l'ensemble de
sa surface.
Le micro-ordinateur 100 pilote la mesure, conserve en mémoire les valeurs v(Pe) fournies par le détecteur multipoint 82 et produit les valeurs mesurées
représentatives de S(P).
L'horloge 101 commande et synchronise, par l'intermédiaire du bloc 102 de mise en forme et de traitement le signal de modulation, l'atténuation et la lecture du registre CCD 103 associé à la barrette de
photodiodes 82.
La modulation est produite par la commande du
modulateur 84 à la fréquence de 50 K Hz.
L'atténuation est produite par la commande de l'alimentation 104 de la source 105 par le bloc 102 le signal d'atténuation est composé de deux signaux périodiques décalés de v envoyés séquentiellement à l'entrée de l'alimentation 104 (A(e) est une fonction
créneaux, N = 2).
La lecture du registre CCD 103 est faite pour chaque phase du signal d'atténuation après stockage de plusieurs expositions, par exemple 1 000 (N = 1 000) La
lecture est donc faite à 50 Hz.
Le signal vidéo produit par la lecture du registre CCD 103 est adressé au convertisseur analogique-numérique
106 et les valeurs lues mises en mémoire dans le micro-
ordinateur 100.
Celui-ci, effectuant la différence entre les valeurs obtenues lors de deux lectures pour des atténuations en opposition de phase, extrait, pour chaque
point du détecteur, l'amplitude du signal.
La figure 8 est un exemple de visualisation de
rugosité d'un échantillon obtenu avec le dispositif décrit.
Le procédé et le dispositif de détection multicanal décrits peuvent être appliqué dans de nombreux domaines En particulier, ils peuvent être utilisés dans des spectromètres, des dichromètres, des polarimètres, des ellipsomètres, des microscopes optiques, électroniques à balayage, il
Claims (10)
1 Procédé de détection analogique multicanal d'un signal à détecter dans lequel: le signal à détecter est modulé, produisant un signal modulé S(P) de fréquence (f) accompagné de bruit; le signal modulé est soumis à une atténuation synchrone de phase produisant un signal modulé atténué; le signal modulé-atténué est reçu par un récepteur multipoint qui produit, pour chaque point, un signal électrique analogique primaire; chaque signal analogique primaire est intégré sur N périodes produisant, pour chaque point (P), une valeur
V(P,);
les valeurs V(P, I), pour l'ensemble des points et pour une valeur de phase P fixée, sont lues, numérisées, mises en mémoire; on augmente successivement (n-t) fois la phase e de 27 r/n, et pour chacune de ces valeurs on reproduit les opérations permettant de mettre en mémoire les valeurs
V(P,P);
on traite numériquement les N valeurs V(P,4) obtenues respectivement pour chaque point (P) de manière à produire une donnée représentative de l'amplitude et de la
phase de S(P).
2 Procédé de détection analogique multicanal selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'on augmente
successivement la phase e de v/2 (n = 4).
3 Procédé de détection analogique multicanal selon
l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en
ce que l'atténuation synchrone est produite par la multiplication du signal modulé par une fonction créneaux
prenant successivement les valeurs O et 1.
4 Procédé de détection analogique multicanal selon
l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en
ce que le signal à détecter est un signal lumineux.
Procédé de détection analogique multicanal selon la revendication 4, caractérisé en ce que la modulation du signal à détecter est obtenue par modulation de la source lumineuse. 6 Procédé de détection analogique multicanal selon la revendication 1, caractérisé en ce que le signal électrique analogique primaire, pour chaque point, est
obtenu par détection hétérodyne.
7 Dispositif de détection analogique multicanal d'un signal à détecter comprenant: un modulateur ( 53) produisant un signal modulé
S (P);
des moyens d'atténuation ( 54) synchrone de phase variable e produisant un signal modulé atténué; un récepteur multipoint ( 52) recevant le signal modulé-atténué et produisant pour chaque point un signal analogique primaire; un intégrateur produisant pour chaque point une valeur V(P,e) résultant de l'intégration sur N périodes du signal analogique primaire; des moyens de lecture, de numérisation et de mise en mémoire des valeurs V(P,' ) pour une valeur e donnée; un séquenceur de phase donnant successivement à e les valeurs e + i 27 r/n pour i entier variant de 1 à N; une unité de traitement numérique permettant l'obtention de données représentatives de S(P) à partir des
valeurs V(P,e).
8 Dispositif de détection analogique multicanal selon la revendication 7, caractérisé en ce que: le signal à détecter est un signal lumineux porté par un faisceau produit par une source lumineuse; il comporte des photodiodes (CCD) constituant le
récepteur multipoint et l'intégrateur.
9 Dispositif de détection analogique multicanal selon la revendication 8, caractérisé en ce que la source lumineuse est une diode laser comportant une alimentation et en ce que les moyens d'atténuation synchrone agit sur l'alimentation de la source. Dispositif de détection analogique multicanal selon la revendication 8, caractérisé en ce que les moyens d'atténuation synchrone sont un obturateur placé entre la
source lumineuse et le récepteur multipoint.
11 Dispositif de détection analogique multicanal selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de détection hétérodyne permettant d'améliorer le rapport signal/bruit du signal électrique analogique primaire produit pour chaque point par le récepteur
multipoint.
12 Dispositif de détection analogique multicanal
selon l'une quelconque des revendications 7 à 11,
caractérisé en ce que les moyens de lecture des valeurs V(P,-) produisent un signal de type vidéo et l'adressent
aux moyens de numérisation.
13 Dispositif de détection analogique multicanal
selon l'une quelconque des revendications 7 à 12,
caractérisé en ce qu'il est utilisé pour effectuer des mesures de différence de marche par microscopie
interférentielle en lumière polarisée.
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9008255A FR2664048B1 (fr) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Procede et dispositif de detection analogique multicanal. |
| DE4192191A DE4192191C1 (de) | 1990-06-29 | 1991-06-27 | Verfahren und Vorrichtung zum synchronen Erfassen eines Signals |
| PCT/FR1991/000514 WO1992000549A1 (fr) | 1990-06-29 | 1991-06-27 | Procede et dispositif de detection analogique multicanal |
| JP03511662A JP3110755B2 (ja) | 1990-06-29 | 1991-06-27 | 多チャンネルアナログ検出方法及びその装置 |
| US07/834,226 US5286968A (en) | 1990-06-29 | 1991-06-27 | Method and device for multichannel analog detection |
| GB9204379A GB2252406B (en) | 1990-06-29 | 1992-02-28 | Method and device for multichannel analog detection |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9008255A FR2664048B1 (fr) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Procede et dispositif de detection analogique multicanal. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2664048A1 true FR2664048A1 (fr) | 1992-01-03 |
| FR2664048B1 FR2664048B1 (fr) | 1993-08-20 |
Family
ID=9398175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR9008255A Expired - Lifetime FR2664048B1 (fr) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Procede et dispositif de detection analogique multicanal. |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5286968A (fr) |
| JP (1) | JP3110755B2 (fr) |
| DE (1) | DE4192191C1 (fr) |
| FR (1) | FR2664048B1 (fr) |
| GB (1) | GB2252406B (fr) |
| WO (1) | WO1992000549A1 (fr) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002037090A1 (fr) * | 2000-11-06 | 2002-05-10 | Centre National De La Recherche Scientifique | Appareil de detection en parallele du comportement de microoscillateurs mecaniques |
| WO2002040937A1 (fr) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | Centre National De La Recherche Scientifique | Procede et dispositif d'imagerie microscopique interferentielle d'un objet a haute cadence. |
| US6469489B1 (en) | 1999-07-02 | 2002-10-22 | Csem Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa | Adaptive array sensor and electrical circuit therefore |
| FR2833710A1 (fr) * | 2001-12-19 | 2003-06-20 | Centre Nat Rech Scient | Microscope a thermoreflectance pour la mesure de la temperature d'un circuit integre |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4440613C1 (de) * | 1994-11-14 | 1996-07-25 | Leica Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Detektion und Demodulation eines intensitätsmodulierten Strahlungsfeldes |
| US5764363A (en) * | 1995-06-30 | 1998-06-09 | Nikon Corporation | Apparatus for observing a surface using polarized light |
| US6525862B2 (en) * | 1996-10-30 | 2003-02-25 | Photogen, Inc. | Methods and apparatus for optical imaging |
| IL129398A (en) | 1999-04-12 | 2005-05-17 | Israel Atomic Energy Comm | Metabolism monitoring or body organs |
| IL137447A (en) * | 2000-07-23 | 2007-03-08 | Israel Atomic Energy Comm | Apparatus and method for probing light absorbing agents in biological tissues |
| GB2372097A (en) * | 2001-02-07 | 2002-08-14 | Image Automation Ltd | Multiple beam interferometer |
| US20030194798A1 (en) * | 2001-05-24 | 2003-10-16 | Surber Mark W. | Minicell compositions and methods |
| EP1595135A4 (fr) * | 2003-02-03 | 2007-04-11 | Beaglehole Instr Ltd | Procede permettant d'effecteur une mesure optique sur un echantillon |
| US7369234B2 (en) * | 2003-02-03 | 2008-05-06 | Rudolph Technologies, Inc. | Method of performing optical measurement on a sample |
| FR2852700B1 (fr) | 2003-03-19 | 2005-09-23 | Centre Nat Rech Scient | Procede et installation d'imagerie acousto-optique. |
| US7429735B2 (en) * | 2005-03-15 | 2008-09-30 | Mass Institute Of Technology (Mit) | High performance CCD-based thermoreflectance imaging using stochastic resonance |
| US8362431B2 (en) * | 2005-03-15 | 2013-01-29 | Mount Holyoke College | Methods of thermoreflectance thermography |
| WO2014189967A2 (fr) | 2013-05-23 | 2014-11-27 | Hinds Instruments, Inc. | Systèmes d'imagerie de propriétés de polarisation |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1582726A (en) * | 1978-05-31 | 1981-01-14 | Standard Telephones Cables Ltd | Avalanche photodetector demodulation |
| US4869593A (en) * | 1988-04-22 | 1989-09-26 | Zygo Corporation | Interferometric surface profiler |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3634849A (en) * | 1966-02-19 | 1972-01-11 | Semiconductor Res Found | Signal collecting and distributing systems |
| US3898453A (en) * | 1970-08-10 | 1975-08-05 | Massachusetts Inst Technology | Solid state optical junction devices and arrays and systems incorporating same |
| US4020341A (en) * | 1973-08-20 | 1977-04-26 | Massachusetts Institute Of Technology | Generating and using coherent optical radiation |
| US4313192A (en) * | 1979-09-11 | 1982-01-26 | Hydroacoustics, Inc. | Optical transducer array system |
| JPS5975108A (ja) * | 1982-10-22 | 1984-04-27 | Hitachi Ltd | 微小隙間の光学的測定方法及び測定装置 |
| DD219565A1 (de) * | 1983-12-05 | 1985-03-06 | Adw Ddr | Anordnung zur interferometrischen ebenheitspruefung technischer oberflaechen |
| DE3606488A1 (de) * | 1986-02-28 | 1987-09-03 | Philips Patentverwaltung | Verfahren zur ermittlung von messdaten ueber eine optische uebertragungsstrecke mittels eines optischen sensors |
| US4732483A (en) * | 1987-03-19 | 1988-03-22 | Zygo Corporation | Interferometric surface profiler |
| DE3809453A1 (de) * | 1987-04-13 | 1988-11-03 | Kollmorgen Corp | Optische multiplex-vorrichtung und verfahren zu deren anwendung |
| DE3825099A1 (de) * | 1988-07-23 | 1990-01-25 | Daimler Benz Ag | Vorrichtung zur optoelektronischen erfassung von physikalischen messgroessen |
-
1990
- 1990-06-29 FR FR9008255A patent/FR2664048B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-06-27 WO PCT/FR1991/000514 patent/WO1992000549A1/fr active Application Filing
- 1991-06-27 DE DE4192191A patent/DE4192191C1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-06-27 JP JP03511662A patent/JP3110755B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-27 US US07/834,226 patent/US5286968A/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-02-28 GB GB9204379A patent/GB2252406B/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1582726A (en) * | 1978-05-31 | 1981-01-14 | Standard Telephones Cables Ltd | Avalanche photodetector demodulation |
| US4869593A (en) * | 1988-04-22 | 1989-09-26 | Zygo Corporation | Interferometric surface profiler |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA. vol. 69, no. 2, février 1979, NEW YORK US pages 357 - 366; D.L.LESSOR ET AL.: "Quantitative surface topography determination by Nomarski reflection microscopy.I.Theory" * |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6469489B1 (en) | 1999-07-02 | 2002-10-22 | Csem Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa | Adaptive array sensor and electrical circuit therefore |
| WO2002037090A1 (fr) * | 2000-11-06 | 2002-05-10 | Centre National De La Recherche Scientifique | Appareil de detection en parallele du comportement de microoscillateurs mecaniques |
| FR2816407A1 (fr) * | 2000-11-06 | 2002-05-10 | Centre Nat Rech Scient | Appareil de detection en parallele du comportement de microoscillateurs mecaniques |
| WO2002040937A1 (fr) * | 2000-11-17 | 2002-05-23 | Centre National De La Recherche Scientifique | Procede et dispositif d'imagerie microscopique interferentielle d'un objet a haute cadence. |
| FR2817030A1 (fr) * | 2000-11-17 | 2002-05-24 | Centre Nat Rech Scient | Procede et dispositif d'imagerie microscopique interferentielle d'un objet a haute cadence |
| US6940602B2 (en) | 2000-11-17 | 2005-09-06 | Centre National De La Recherche Scientific (C.N.R.S.) | Method and device for high-speed interferential microscopic imaging of an object |
| FR2833710A1 (fr) * | 2001-12-19 | 2003-06-20 | Centre Nat Rech Scient | Microscope a thermoreflectance pour la mesure de la temperature d'un circuit integre |
| WO2003052366A1 (fr) * | 2001-12-19 | 2003-06-26 | Centre National De La Recherche Scientifique (Cnrs) | Microscope a thermoreflectance pour la mesure de la temperature d'un circuit integre. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5286968A (en) | 1994-02-15 |
| DE4192191C1 (de) | 1995-10-12 |
| JPH05501454A (ja) | 1993-03-18 |
| FR2664048B1 (fr) | 1993-08-20 |
| GB2252406A (en) | 1992-08-05 |
| JP3110755B2 (ja) | 2000-11-20 |
| GB9204379D0 (en) | 1992-04-15 |
| GB2252406B (en) | 1993-12-01 |
| WO1992000549A1 (fr) | 1992-01-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2664048A1 (fr) | Procede et dispositif de detection analogique multicanal. | |
| EP0870180B1 (fr) | Composant optique de modulation de polarisation, et son utilisation dans un polarimetre ou dans un ellipsometre | |
| FR2665600A1 (fr) | Procede de detection pour camera panoramique, camera pour sa mise en óoeuvre, et systeme de veille equipe d'une telle camera. | |
| FR2484633A1 (fr) | Procede et dispositif de mesure de profil de surface sans contact | |
| FR2737572A1 (fr) | Ellipsometre multi-detecteurs et procede de mesure ellipsometrique multi-detecteurs | |
| FR2539525A1 (fr) | Procede pour corriger l'intensite d'un faisceau lors de l'analyse et de l'enregistrement d'une figure | |
| EP0241332A2 (fr) | Procédé et dispositif de détection opto-électronique à distance de grandeurs physiques | |
| EP0198759A2 (fr) | Appareil de mesure de la brillance de la peau | |
| EP0738074A1 (fr) | Procédé de détection à cycles d'intégration et de lecture répartis pour caméra à balayage, et barrette de détection correspondante | |
| EP0015820A1 (fr) | Dispositif pour la mesure des vitesses linéaires sans contact et sans marquage | |
| FR2626423A1 (fr) | Dispositif d'acquisition pour la numerisation de signaux a grande dynamique | |
| FR2582825A1 (fr) | Procede et dispositif pour la mesure du temps de propagation d'une onde | |
| FR2490808A1 (fr) | Interferometre et dispositif comportant cet interferometre | |
| FR2707018A1 (fr) | ||
| WO1990015969A1 (fr) | Appareil opto-electronique de mesure a distance d'une grandeur physique | |
| EP0383832B1 (fr) | Procede de mesure de diametres de fils ou de profils ou pieces circulaires par diffraction de rayons lumineux et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede | |
| EP0004505B1 (fr) | Appareil de contrôle d'un dessin inscrit sur un support plan | |
| JPS6271804A (ja) | 膜厚測定装置 | |
| FR2605821A1 (fr) | Dispositif pour enregistrer l'image d'elements de surface de bandes de tissu en deplacement | |
| FR2528971A1 (fr) | Procede de determination d'une coordonnee d'un point d'un objet dans l'espace et dispositif mettant en application ledit procede | |
| FR2560471A1 (fr) | Procede pour corriger des signaux d'images dans une unite d'entree d'images | |
| FR2809568A1 (fr) | Dispositif et procede d'analyse d'un ou de plusieurs signaux a grande dynamique | |
| EP0393763A1 (fr) | Procédé de correction des dispersions des décalages présentés par les détecteurs photoélectriques et dispositif de correction utilisant un tel procédé | |
| RU2400705C1 (ru) | Устройство оптической спектральной обработки изображения шероховатой поверхности | |
| WO2023247311A1 (fr) | Procédés de détermination d'informations de calibration et d'élaboration d'images pour un capteur d'images, et capteur d'images |