FR2650664A1 - Dispositif de mesure de deplacement par interferometrie - Google Patents
Dispositif de mesure de deplacement par interferometrie Download PDFInfo
- Publication number
- FR2650664A1 FR2650664A1 FR8910359A FR8910359A FR2650664A1 FR 2650664 A1 FR2650664 A1 FR 2650664A1 FR 8910359 A FR8910359 A FR 8910359A FR 8910359 A FR8910359 A FR 8910359A FR 2650664 A1 FR2650664 A1 FR 2650664A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- interferometer
- detection
- imbalance
- light source
- monochromatic light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/0207—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02083—Interferometers characterised by particular signal processing and presentation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/60—Reference interferometer, i.e. additional interferometer not interacting with object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/70—Using polarization in the interferometer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Le dispositif, qui permet d'obtenir des incréments de mesure directe pouvant atteindre 0,1 nm, comporte un élément déplaçable dont la position est à mesurer. Il comprend une source de lumière monochromatique 10 alimentant l'interféromètre 162 et des moyens 262 de détection du déséquilibre. Il comprend également un interféromètre de référence 161 alimenté par la source de lumière monochromatique 10, muni de moyens 261 de comptage de franges, qui constitue l'organe de sortie, et des moyens 34 commandés par lesdits moyens de détection du déséquilibre, agissant sur un composant du dispositif pour annuler le déséquilibre de l'interféromètre de détection, le déséquilibre D2 des bras de l'interféromètre de détection étant supérieur d'au moins un ordre de grandeur à celui de l'interféromètre de référence.
Description
Dispositif de mesure de déplacement par interférométrie
Ltinvention a pour objet un dispositif de mesure de déplacement d'un élément dont la position détermine le déséquilibre des bras d'un interféromètre de détection, comprenant une source de lumière monochromatique alimentant l'interféromètre et des moyens de détection du déséquilibre.
Ltinvention a pour objet un dispositif de mesure de déplacement d'un élément dont la position détermine le déséquilibre des bras d'un interféromètre de détection, comprenant une source de lumière monochromatique alimentant l'interféromètre et des moyens de détection du déséquilibre.
Les dispositifs de mesure de ce type actuellement utilisés ont un incrément de mesure directe, égal au quart de la distance entre franges. La résolution peut être augmentée à l'aide d'interpolateurs, mais ces derniers sont source d'erreurs excessives dès qu'on cherche à mesurer des incréments par interpolation en plus de dix points . Dans les interféromètres à double passage, utilisant un laser
He-Ne comme source de lumière monochromatique, la distance entre franges est de 160 nanomètres.environ, ce qui fait que l'incrément de distance directement mesurable est de-40 nanomètres.
He-Ne comme source de lumière monochromatique, la distance entre franges est de 160 nanomètres.environ, ce qui fait que l'incrément de distance directement mesurable est de-40 nanomètres.
La présente invention vise à fournir un dispositif de mesure de déplacement permettant d'obtenir un incrément de mesure directe largement inférieur, pouvant atteindre 0,1 nm.
Dans ce but elle propose un dispositif du type ci-dessus défini qui comprend également un interféromètre de référence alimenté par la source de lumière monochromatique, muni de moyens de comptage de franges, qui constitue l'organe de sortie, et des moyens commandés par lesdits moyens de détection du déséquilibre, agissant sur un composant du dispositif pour annuler le déséquilibre de l'interféromètre de détection, le déséquilibre des bras de llinterféromètre de détection étant supérieur à celui des bras de l'interféromètre de référence d'au moins un ordre de grandeur.
Dans un premier mode de réalisation de l'invention, les deux interféromètres sont à coins de cube et les moyens commandés par les moyens de détection de déséquilibre agissent sur la source de lumière monochromatique pour modifier sa longueur d'onde pour ramener à une valeur déterminée, par exemple à zéro, la sortie des moyens de détection du déséquilibre de l'interféromètre de détection.
La source de lumière monochromatique peut notamment être une diode laser dont la longueur d'onde est commandée par variation du courant qui la traverse et/ou de sa température.
Dans un autre mode de réalisation de l'invention, l'interféromètre de détection est constitué par un interféromètre à réseau dont le déplacement dans le sens transversal aux raies du réseau constitue le déplacement à mesurer. La dynamique n'est alors plus limitée par la plage acceptable de variations de longueurs d'onde de la source.
Après chaque parcours d'un pas du réseau, les conditions initiales peuvent être rétablies en ramenant la longueur d'onde de la source à une valeur déterminée, par exemple annulant le signal de sortie des moyens de mesure de l'interféromètre de détection.
L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit de dispositifs qui en constituent des modes particuliers de réalisation, donnés à titre d'exemple non limitatifs. La description se réfère aux dessins qui l'accompagnent, dans lesquels
- la Figure 1 est un schéma de principe d'un dispositif de mesure constituant un premier mode de réalisation de l'invention, à interféromètre de détection à coin de cube
- la Figure 2 est un diagramme montrant la plage de mesure autorisée par le dispositif de la Figure I ;
- la Figure 3 montre ceux des constituants d'un second mode de réalisation de l'invention, à interféromètre a réseau qui diffèrent de ceux de la Figure 1.
- la Figure 1 est un schéma de principe d'un dispositif de mesure constituant un premier mode de réalisation de l'invention, à interféromètre de détection à coin de cube
- la Figure 2 est un diagramme montrant la plage de mesure autorisée par le dispositif de la Figure I ;
- la Figure 3 montre ceux des constituants d'un second mode de réalisation de l'invention, à interféromètre a réseau qui diffèrent de ceux de la Figure 1.
Le dispositif montré schématiquement en figure l comprend une source de rayonnement monochromatique a polarisation linéaire 10, qui sera généralement une diode laser, stabilisée en température, dont le rayonnement à un taux de polarisation supérieur à 100 : 1. Une optique 12 fournit, à partir du faisceau de sortie de la source, un faisceau collimaté qui est fractionné par un séparateur 14, constitué par exemple par un cube semi-réfléchissant, en - deux faisceaux ayant sensiblement la meme intensité. L'un des ces faisceaux est dirigé vers un interféromètre de référence 161, l'autre vers un interféromètre de détection 162.
Les interféromètres représentés ont l'un et l'autre une constitution générale classique.
L t interféromètre 161 comporte un séparateur d'entrée 181, constitué par un cube polarisant dont le plan de polarisation est à 45" de la direction de polarisation du faisceau qu'il reçoit. Les bras de l'interféromètre 161, présentant un déséquilibre fixe D1, comporte des coins de cube respectifs 201 et 221 de repliement des faisceaux séparés par le cube séparateur 181. Les faisceaux qui reviennent sur le séparateur 181 sont recombinés sur un coin de cube 241 qui forme les franges d'interférence sur un détecteur 261. Le détecteur 261 est avantageusement prévu de façon à fournir deux signaux de sortie, representatifs respectivement du sinus et du cosinus de la phase.On connait déjà des détecteurs de ce genre, comportant quatre capteurs alignés, permettant de mieux différencier le signal du bruit de fond. Deux des capteurs, fournissant le sinus de la phase, recouvrent le flux lumineux à travers deux analyseurs orientés à 90" l'un de l'autre. Les deux autres sont de plus précédés de lames quart d'onde et fournissent le cosinus.
Les signaux amplifiés et éventuellement numérisés en 28 sont appliqués à un compteur-decompteur 30 permettant de mesurer les incréments de déplacement des franges sur le détecteur 261 avec une résolution correspondant à un quart de l'intervalle entre franges successives.
Les signaux électriques fournis par le détecteur 261 sont de la forme
où S0 est une valeur constante et X est la longueur d'onde de la lumière fournie par la source 10.
Un interfrange correspond à une variation de (2D1/X) égale à 1.
En conséquence, il y a passage d'une frange sur le détecteur 261 pour une variante dA de longueur d'onde donnée par X/X2 = 1/2D1 (2)
L'interféromètre de détection 162 a la même constitution que l'interféromètre de référence 161 et les éléments correspondants des deux interféromètres sont désignés par le même numéro de référence, affectes d'un indice 2 dans l'interféromètre de détection 162.
L'interféromètre de détection 162 a la même constitution que l'interféromètre de référence 161 et les éléments correspondants des deux interféromètres sont désignés par le même numéro de référence, affectes d'un indice 2 dans l'interféromètre de détection 162.
Le coin de cube 202 est porté par l'élément 32 dont le déplacement ou la déformation dans la direction du déséquilibre D2 est à mesurer. Le détecteur 262 de l'interféromètre 162 n'ayant pas à fournir d'indication sur le sens de mouvement, il suffit qu'il fournisse un signal représentatif du sinus (ou du cosinus) du déphasage.Par exemple, le signal de sortie S2 peut être de la forme = = S'0 sin ((2i/X) (2D2)] (3)
Si, à partir de la position donnant le signal S2 (formule 3), le cube 202 se déplace de x, le signal électrique de sortie du détecteur 262 devient S2*
S2* - S'0 sin [(2#/#) (2D2 + 2x)] (4)
Pour mettre en oeuvre le dispositif selon l'invention, on utilise le signal électrique S2 pour asservir la longueur d'onde de la lumière fournie par la diode laser pour que S2 reste en permanence égal à 0.
Si, à partir de la position donnant le signal S2 (formule 3), le cube 202 se déplace de x, le signal électrique de sortie du détecteur 262 devient S2*
S2* - S'0 sin [(2#/#) (2D2 + 2x)] (4)
Pour mettre en oeuvre le dispositif selon l'invention, on utilise le signal électrique S2 pour asservir la longueur d'onde de la lumière fournie par la diode laser pour que S2 reste en permanence égal à 0.
Si, dans la position initiale du coin de cube 202, la condition S2 = 0 est réalisée pour une longueur #0, la longueur X pour S2* = 0, après un déplacement x, est reliée à #0 par la relation (21/X) (2D2 + 2x) = (21/X0) (2D2)
qui peut s'écrire A = #0 (D2 + x) /D2
Le passage de #0 à X provoque un déplacement des franges, dû à la variation de longueur d'onde, qui est mesuré par le détecteur 261 de l'interféromètre de référence.
qui peut s'écrire A = #0 (D2 + x) /D2
Le passage de #0 à X provoque un déplacement des franges, dû à la variation de longueur d'onde, qui est mesuré par le détecteur 261 de l'interféromètre de référence.
Tout incrément #x de x provoque un incrément ## de A relié à #0 par = = (##/#0) D2
= (D2/D1) (X/2)
La résolution directe (sans interpolation) des moyens de mesure de l'interféromètre de référence 161 correspondent à un incrément égal à X/8 : le dispositif de la figure 1 permet de mesurer directement un incrément qui n'est plus k/8, mais k/8 divisé par le coefficient d'amplification, égal à D1/D2 que l'on peut choisir a volonté.
= (D2/D1) (X/2)
La résolution directe (sans interpolation) des moyens de mesure de l'interféromètre de référence 161 correspondent à un incrément égal à X/8 : le dispositif de la figure 1 permet de mesurer directement un incrément qui n'est plus k/8, mais k/8 divisé par le coefficient d'amplification, égal à D1/D2 que l'on peut choisir a volonté.
Par exemple dans le cas d'une diode laser fournissant une longueur d'onde X = 0,78 zm, on peut mesurer un incrément Ax t 1 nm avec D2 = 8 mm et
D1 = 780 mm. Avec la méme valeur de D1 l'incrément devient
O,1 nanomètre, c'est-à-dire 1 A pour D2 ^ 0,8 mm.
D1 = 780 mm. Avec la méme valeur de D1 l'incrément devient
O,1 nanomètre, c'est-à-dire 1 A pour D2 ^ 0,8 mm.
La longueur d'onde de la diode laser 10 peut être commandée à l'aide de la puissance fournie par un générateur de courant 34. Lorsque les déplacements à mesurer peuvent être dans un sens ou l'autre à partir d'une position de référence, le courant Id appliqué à la diode laser dans les conditions initiales est choisi tel que la longueur d'onde correspondante X0 se trouve approximativement au milieu de la partie linéaire de la caractéristique de la diode laser (figure 2). Le générateur peut être commandé par un circuit comprenant, à partir du détecteur 262, un convertisseur courant-tension 36, un amplificateur à grand gain 38 et un amplificateur différentiel 40.
Le dispositif montré en figure 1 a une dynamique de mesure correspondant à la partie linéaire de la caractéristique, indiquée par la zone hachurée sur la figure 2. On peut indiquer à titre d'exemple qu'on a obtenue une dynamique de 1 1 nm à une longueur d'onde de 780 nanomètres en utilisant une diode laser Sharp LT 021, à laquelle le générateur 34 applique une puissance variant de 2 mW à 15 mW.
Le dispositif montré en figure 1 n'est strictement linéaire que pour un déplacement d'une frange : en effet le coefficient de proportionnalité varie en fonction directe de la longueur d'onde X. Cette limitation est écartée dans le dispositif montré en partie sur la figure 3, qui comporte un interféromètre de détection à réseau à autocompensation. Le déphasage est causé par le déplacement x du réseau 42 en translation dans la direction perpendiculaire aux lignes du réseau, déplacement dû au mouvement ou à la déformation à mesurer.
Le dispositif de la figure 3 comporte un interféromètre de référence (non représenté) qui peut avoir la même constitution que celui montré en figure 1, comprenant donc un détecteur de sortie fournissant des signaux de la forme donnée par les formules (1).
L'interféromètre à réseau 42 se différencie d'un interféromètre à réseau classique en ce que les bras présentent un déséquilibre permanent et constant D2. En conséquence, les signaux de sortie S2 et S'2 du détecteur de franges d'interférence 262 ne sont pas de la forme habituelle
En effet, l'amplitude du faisceau diffracté dans l'ordre -l, après double diffraction, est de la forme
A~1 exp (-i 2wx/(P/2)3 où Aî est une constante
alors que, dans l'ordre +1, l'amplitude est de la forme suivante, du fait que le chemin optique est plus long de 2D2
A+1 exp Ei 2.x/(p/2) + (21/X) 2D2J
le montage utilisé provoque une interférence entre les faisceaux diffractés d'ordre +1 et -1. Le détecteur 262, à quatre capteurs fournissant le cosinus et le sinus de la phase (toujours de façon à éliminer le fond lumineux continu), permet d'obtenir des signaux-de la forme S2 = S'0 cos t(2w( (4x/p) + (2D2/X) )) (8) S'2 = S'0 sin (2w( (4x/p) + (2D2/X) )J
Dans le cas d'un déplacement x dont l'amplitude ne dépasse pas. le pas p du réseau, on se retrouve dans la même situation que précédemment, en asservissant la longueur d'onde X de la diode laser 10 par modulation de la puissance qui lui est appliquée afin de conserver une valeur constante de S'2, par exemple S'2 s 0.
A~1 exp (-i 2wx/(P/2)3 où Aî est une constante
alors que, dans l'ordre +1, l'amplitude est de la forme suivante, du fait que le chemin optique est plus long de 2D2
A+1 exp Ei 2.x/(p/2) + (21/X) 2D2J
le montage utilisé provoque une interférence entre les faisceaux diffractés d'ordre +1 et -1. Le détecteur 262, à quatre capteurs fournissant le cosinus et le sinus de la phase (toujours de façon à éliminer le fond lumineux continu), permet d'obtenir des signaux-de la forme S2 = S'0 cos t(2w( (4x/p) + (2D2/X) )) (8) S'2 = S'0 sin (2w( (4x/p) + (2D2/X) )J
Dans le cas d'un déplacement x dont l'amplitude ne dépasse pas. le pas p du réseau, on se retrouve dans la même situation que précédemment, en asservissant la longueur d'onde X de la diode laser 10 par modulation de la puissance qui lui est appliquée afin de conserver une valeur constante de S'2, par exemple S'2 s 0.
On a alors 2# ((4x/p) + (2D2/X)) = No.2s avec Ng #0/2D2 et l'interféromètre de référence fournit des signaux
L'interfrange correspond à une variation de 2D1/X égale à 1 et en conséquence ##/# = 1/2D1. Il y a parcours d'un interfrange pour un déplacement dx lié au pas p du réseau 42 par la relation dx/(p/4) = 2D2.(##/#)
= (2D2/X2) (X/2D1) donc dx = (p/4) (D2/D1).
= (2D2/X2) (X/2D1) donc dx = (p/4) (D2/D1).
La dynamique de mesure est limitée par la plage de variation de la longueur d'onde : si cette plage AX est limitée à t 1 nm, pour Xg = 780 nm, une dynamique égale à t p/8 conduit à adopter D2 = X2/AX = 0,6 mm.
La résolution dx est indépendante de la longueur d'onde. Pour une résolution de 1 nm, il faut -D1 = 100
o
D2 = 60 mm ; pour 1 A, il faudrait D1 = 600 mm.
o
D2 = 60 mm ; pour 1 A, il faudrait D1 = 600 mm.
Le dispositif de la Figure 3 permet de disposer d'une dynamique de mesure beaucoup plus élevée en ramenant la longueur d'onde de la diode laser 10 * #0 w 2 N0D2 à la fin de chaque pas de mesure par variation de X, par un simple asservissement. Il suffit de compter le nombre de franges parcourant l'interféromètre de référence pendant que l'asservissement ramène la longueur d'onde à X0 pour connaître la position du réseau 42 par rapport à l'origine du pas de mesure.
Dans une variante de réalisation, qui ne tient pas compte des variations de caractéristiques de la diode laser lors de son vieillissement, le retour à XQ est simplement effectué en maintenant la température de la diode à une valeur constante 6 à l'aide d'un refroidisseur 44 commandé par un circuit de régulation 46 et en ramenant la puissance fournie par -le générateur de courant 34 à une valeur initiale prédéterminée.
Claims (5)
1. Dispositif de mesure de déplacement d'un élément dont la position influe sur le déséquilibre des bras d'un interféromètre de détection, comprenant une source de lumière monochromatique (10) alimentant l'interféromètre (162) et des moyens (262) de détection du déséquilibre, caractérisé en ce qu'il comprend également un interféromètre de référence (16l) alimenté par la source de lumière monochromatique (10), muni de moyens (26l) de comptage de franges, qui constitue l'organe de sortie, et des moyens (34) commandés par lesdits moyens de détection du déséquilibre, agissant sur un composant du dispositif pour annuler le déséquilibre de l'interféromètre de détection, le déséquilibre (D2) des bras de l'interféromètre de détection étant supérieur d'au moins un ordre de grandeur à celui de l'interféromètre de référence.
2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les deux interféromètres sont à coins de cube, en ce que l'élément dont le déplacement est à mesurer est solidaire d'un des coins de cube de l'interféromètre de détection et en ce que les moyens commandés par les moyens de détection de déséquilibre agissent sur la source de lumière monochromatique pour modifier sa longueur d'onde jusqu'8 ramener à une valeur déterminée la sortie des moyens de détection du déséquilibre de l'interféromètre de détection.
3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'interféromètre de détection est constitué par un interféromètre à réseau (42) dont le déplacement dans le sens transversal aux raies du réseau constitue le déplacement à mesurer et en ce que les moyens de détection de déséquilibre agissent sur la source de lumière monochromatique pour modifier sa longueur jusqu'à ramener à une valeur déterminée la sortie des moyens de détection du déséquilibre de l'interféromètre de détection.
4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que lesdits moyens commandés sont prévus pour rétablir les conditions initiales en ramenant la longueur d'onde de la source à une valeur déterminée, par exemple annulant le signal de sortie des moyens de mesure de l'interféromètre de détection, après chaque parcours d'un pas du réseau.
5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la source de lumière monochromatique est une diode laser dont la longueur d'onde est commandée par variation du courant qui la traverse et/ou de sa température.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8910359A FR2650664B1 (fr) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | Dispositif de mesure de deplacement par interferometrie |
| PCT/FR1990/000582 WO1991002214A1 (fr) | 1989-08-01 | 1990-08-01 | Dispositif de mesure de deplacement par interferometrie |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8910359A FR2650664B1 (fr) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | Dispositif de mesure de deplacement par interferometrie |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2650664A1 true FR2650664A1 (fr) | 1991-02-08 |
| FR2650664B1 FR2650664B1 (fr) | 1991-11-15 |
Family
ID=9384359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8910359A Expired - Lifetime FR2650664B1 (fr) | 1989-08-01 | 1989-08-01 | Dispositif de mesure de deplacement par interferometrie |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| FR (1) | FR2650664B1 (fr) |
| WO (1) | WO1991002214A1 (fr) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04331333A (ja) * | 1991-05-02 | 1992-11-19 | Canon Inc | 波長変化測定装置 |
| GB2268582B (en) * | 1992-07-09 | 1995-12-20 | Roke Manor Research | Improvements in or relating to interferometers |
| ES2079282B1 (es) * | 1993-09-13 | 1997-11-16 | Fagor S Coop | Dispositivo interferometrico y metodo para medir y para estabilizar la longitud de onda de diodo laser. |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3734623A (en) * | 1972-03-01 | 1973-05-22 | Bendix Corp | Interferometer utilizing a tunable laser or similar frequency variable wave energy generator |
| US3970389A (en) * | 1974-02-14 | 1976-07-20 | Mendrin Michael J | Variable frequency interferometer |
| EP0290789A2 (fr) * | 1987-05-11 | 1988-11-17 | Hommelwerke GmbH | Dispositif pour la mesure de la distance entre le dispositif et une surface de mesure |
-
1989
- 1989-08-01 FR FR8910359A patent/FR2650664B1/fr not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-08-01 WO PCT/FR1990/000582 patent/WO1991002214A1/fr unknown
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3734623A (en) * | 1972-03-01 | 1973-05-22 | Bendix Corp | Interferometer utilizing a tunable laser or similar frequency variable wave energy generator |
| US3970389A (en) * | 1974-02-14 | 1976-07-20 | Mendrin Michael J | Variable frequency interferometer |
| EP0290789A2 (fr) * | 1987-05-11 | 1988-11-17 | Hommelwerke GmbH | Dispositif pour la mesure de la distance entre le dispositif et une surface de mesure |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| APPLIED PHYSICS, vol. 20, no. 3, 1 février 1981; F. BIEN et al.: "Absolute distance measurements by variable wavelength interferometry", pages 400-403 * |
| MEASUREMENT TECHNIQUES, vol. 28, no. 8, août 1985; Yu. V. MISHCHENKO: "methods for increasing the accuracy of remote measurements with twin-wave laser interfermometers", pages 722-725 * |
| SCIENTIFIC AMERICAN, vol. 221, no. 6, décembre 1969; V. VALI: "Measuring earth strains by laser", pages 89-90 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1991002214A1 (fr) | 1991-02-21 |
| FR2650664B1 (fr) | 1991-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0023180B1 (fr) | Dispositif interférométrique de mesure de courant électrique à fibre optique | |
| EP0242250B1 (fr) | Dispositif de détection opto-électronique à distance d'une grandeur physique | |
| JPH0830651B2 (ja) | 干渉計レーザ表面粗さ計 | |
| FR2615281A1 (fr) | Dispositif de mesure d'une distance en mouvement relatif de deux objets mobiles l'un par rapport a l'autre | |
| FR2632404A1 (fr) | Capteur interferometrique et son utilisation dans un dispositif interferometrique | |
| EP0437404B1 (fr) | Capteur de détection et de mesure de l'angle de rotation d'un plan de polarisation de la lumière | |
| EP0305244B1 (fr) | Procédé et dispositif de mesure par l'analyse d'un spectre lumineux cannelé, notamment de mesure d'un déplacement de faible amplitude d'une surface mobile, éventuellement représentatif de la variation d'une grandeur physique convertible en un tel deplacement | |
| FR2694088A1 (fr) | Système interférométrique de détection et de localisation de défauts réflecteurs de structures guidant la lumière. | |
| EP1183549B1 (fr) | Procede et dispositif de mesure de vitesse par effet doppler | |
| FR2751072A1 (fr) | Dispositif et procede pour l'execution de mesures interferometriques | |
| EP2635883B1 (fr) | Systeme interferometrique apolarise et procede de mesure interferometrique apolarise | |
| FR2650664A1 (fr) | Dispositif de mesure de deplacement par interferometrie | |
| EP1167982B1 (fr) | Dispositif de mesure d'un courant électrique par effet faraday | |
| FR2662805A1 (fr) | Capteur de rotation optique a fibre. | |
| FR2896309A1 (fr) | Dispositif de mesure interferometrique | |
| FR2465199A1 (fr) | Procede pour la mise en oeuvre d'un interferometre en anneau comme detecteur de rotation | |
| CH684212A5 (fr) | Dispositif optique à interférométrie en lumière blanche. | |
| FR2662243A1 (fr) | Procede et dispositif pour etendre la longueur de coherence effective de lasers non stabilises multimodes employes dans des interferometres. | |
| FR2588653A1 (fr) | Capteur optique de position | |
| FR2547049A1 (fr) | Dispositif de telemesure par polarimetrie | |
| EP0591912B1 (fr) | Interféromètre, comprenant un ensemble intégré et un miroir séparés l'un de l'autre par une région de mesure | |
| FR2766266A1 (fr) | Dispositif de detection d'une interface gaz-liquide et de mesure de la temperature | |
| FR2765964A1 (fr) | Dispositif optique de mesure de distance avec une grande precision | |
| EP2598834A1 (fr) | Dispositif interferometrique a fibre optique extrinseque pour la mesure d'un parametre physique | |
| EP0655607A1 (fr) | Dispositif d'analyse d'un flux lumineux fourni par un capteur à codage de modulation spectrale |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ST | Notification of lapse |