ES2706002T3 - Aparato de escala y de cabeza lectora - Google Patents

Aparato de escala y de cabeza lectora Download PDF

Info

Publication number
ES2706002T3
ES2706002T3 ES05757816T ES05757816T ES2706002T3 ES 2706002 T3 ES2706002 T3 ES 2706002T3 ES 05757816 T ES05757816 T ES 05757816T ES 05757816 T ES05757816 T ES 05757816T ES 2706002 T3 ES2706002 T3 ES 2706002T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
scale
reading head
output
head
angular alignment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
ES05757816T
Other languages
English (en)
Inventor
Simon Eliot Mcadam
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renishaw PLC
Original Assignee
Renishaw PLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Renishaw PLC filed Critical Renishaw PLC
Application granted granted Critical
Publication of ES2706002T3 publication Critical patent/ES2706002T3/es
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/244Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing characteristics of pulses or pulse trains; generating pulses or pulse trains
    • G01D5/24457Failure detection
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34746Linear encoders

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Optical Transform (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

Aparato para determinar la alineación angular de una cabeza lectora (12) con respecto a una escala (10), comprendiendo el aparato al menos un sensor (16) en la cabeza lectora en donde al menos una salida de al menos el sensor depende de la alineación angular de la cabeza lectora en relación con la escala alrededor de un eje que es paralelo a la superficie de la escala adyacente a la cabeza lectora, caracterizado por que la alineación angular alrededor del eje se mide independientemente de los otros ejes y la altura de desplazamiento.

Description

DESCRIPCIÓN
Aparato de escala y de cabeza lectora
La presente invención se refiere a un sistema de lectura de escala que comprende una escala y una cabeza lectora móvil, una respecto a la otra. En particular, la presente invención se refiere a un sistema de lectura de escala que incluye medios para determinar la alineación angular de la cabeza lectora en relación con la escala.
Una conocida forma de aparato de lectura de escala para medir el desplazamiento relativo de dos miembros comprende una escala en uno de los miembros, que tiene marcas de escala que definen un patrón y una cabeza lectora proporcionada en el otro miembro. Un aparato de lectura de escala óptica tiene medios para iluminar la escala y los medios de detección en la cabeza lectora que responden a los patrones de luz resultantes para producir una medida del desplazamiento relativo de la escala y la cabeza lectora. Una escala que tiene sus marcas en un patrón periódico se conoce como una escala incremental y proporciona una salida de recuento en sentido ascendente y descendente. Se puede proporcionar una escala con marcas de referencia, que cuando se detectan por la cabeza lectora permiten determinar la posición exacta de la cabeza lectora. La escala puede tener marcas de código absoluto que permiten determinar la posición absoluta de la cabeza lectora en cualquier lugar de la escala. Los sistemas de escala y cabeza lectora no se limitan a sistemas ópticos. También se conocen sistemas de lectura de escala magnética.
La cabeza lectora se puede ajustar en relación con la escala por su altura de desplazamiento, cabeceo, balanceo y viraje . Al alinear correctamente la cabeza lectora con la escala, se puede producir la señal óptima. Si la cabeza lectora está desalineada, la intensidad de la señal puede reducirse y algunas marcas de referencia o el código absoluto pueden no detectarse.
Se conoce cómo alinear una cabeza lectora en relación con una escala lineal mediante la utilización de una cuña. Esta es un espaciador que se coloca entre la escala y la cabeza lectora, de este modo, estableciendo la alineación de la cabeza lectora mientras que se fija en posición. Sin embargo para algunos sistemas puede no ser práctico usar una cuña debido a restricciones físicas, además, para escalas giratorias en las que la escala está montada en un componente circular, el uso de una cuña puede no ser práctico. El uso de una cuña en una escala giratoria tiene la desventaja de que puede requerirse un diseño de cuña diferente para escalas de diámetros diferentes. Además, para escalas giratorias de radios pequeños la instalación se hace difícil utilizando una cuña.
El documento US5241173 describe una cabeza lectora para producir señales cuando se desplaza a lo largo de una escala. La cabeza lectora contiene íntegramente un circuito para detectar niveles de señal indicativos de la configuración correcta de la cabeza lectora. La cabeza lectora analiza las señales de cuadratura de la cabeza lectora que dependen de la alineación alrededor de varios ejes y el alejamiento de la escala (es decir, la altura de desplazamiento).
El documento US4733069 describe un aparato codificador de posición absoluta que utiliza un haz de escaneo láser. El documento US5128609 describe un dispositivo para ayudar a configurar el cabeceo , balanceo, viraje y alejamiento de una cabeza lectora en relación con una escala.
El documento US2002/134927 describe un codificador óptico que comprende una escala formada con una serie de ranuras en la dirección del movimiento de la escala. Controlando la intensidad de una señal de salida de una parte sensible a la luz, es posible alinear con precisión la escala y la cabeza. Además, observando que la amplitud de la señal de salida varía durante la detección de la señal, es posible determinar un error en el ángulo de montaje de la escala. Se pueden usar datos representativos del error para corregir la señal de salida.
En un sistema giratorio, cualquier desplazamiento lineal de la cabeza lectora hace que la cabeza lectora lea una sección de escala cabeceada. El efecto de este desplazamiento de la cabeza lectora es mayor en escalas giratorias con diámetros pequeños.
La presente invención proporciona un aparato para determinar la alineación angular de una cabeza lectora con respecto a una escala, comprendiendo el aparato al menos un sensor en la cabeza lectora en donde al menos una salida de al menos el único sensor depende de la alineación angular de la cabeza lectora con respecto a la escala alrededor de un eje que es paralelo a la superficie de la escala adyacente a la cabeza lectora, caracterizado por que la alineación angular alrededor del eje se mide independientemente de otros ejes y de la altura de desplazamiento. Como se entenderá, para una escala no lineal, el aparato puede determinar la alineación angular alrededor de un eje paralelo a un plano de aproximación de la escala adyacente a la cabeza lectora o a una tangente de la escala adyacente a la cabeza lectora.
Al menos el único sensor puede constar de al menos un detector óptico. En este caso, la cabeza lectora también incluye una fuente de luz. Al menos el único detector óptico puede constar de un detector dividido.
Al menos el único sensor puede constar de al menos un sensor de proximidad, por ejemplo, un sensor capacitivo, inductivo o magnético.
La escala puede constar de una escala óptica. Alternativamente, la escala puede constar de una escala magnética. La escala puede constar de una escala lineal o giratoria.
La alineación angular de la cabeza lectora en relación con la escala puede ser de cabeceo o balanceo. Alternativamente puede ser planeidad de escala local.
La salida puede ser una salida eléctrica.
La salida eléctrica puede ser una salida de voltaje. La salida eléctrica se puede visualizar en software, un medidor eléctrico o un indicador para mostrar alineación óptima, por ejemplo, una visualización LED. Alternativamente, se puede usar una señal audible, como un zumbador, para indicar alineación óptima.
La invención se describirá ahora con referencia a los dibujos adjuntos, en los que:
La Figura 1 es una vista lateral de una escala óptica y una cabeza lectora;
La Figura 2 es una vista de extremidad de una escala óptica y una cabeza lectora;
Las Figuras 3a, 3b y 3c son vistas laterales de escalas ópticas y cabezas lectoras teniendo la cabeza lectora cabeceo cero y cabeceada hacia la izquierda y hacia la derecha, respectivamente;
La Figura 4 es un diagrama de bloques de la electrónica en la cabeza lectora;
La Figura 5 es una vista lateral de una escala y una cabeza lectora que incluye sensores Hall; y
La Figura 6 muestra una escala con un error de planeidad.
Las Figuras 1 y 2 ilustran vistas laterales y frontales de una primera realización de la invención y muestran una escala 10 y una cabeza lectora 12 movibles una respecto a la otra a lo largo del eje x.
La cabeza lectora 12 comprende una fuente 14 de luz, un detector 16 dividido y una lente 18. La luz de la fuente 14 de luz es reflejada por la escala 10 y formada su imagen por la lente 18 sobre el detector 16.
Las Figuras 3a, 3b y 3c ilustran la escala y la cabeza lectora paralelas entre sí e inclinadas en la primera y segunda direcciones, respectivamente. En la Figura 3a, la cabeza lectora 12 es paralela a la escala 10. Cuando la cabeza lectora es de este modo correctamente alineada angularmente con la escala, la luz cae uniformemente en las dos mitades del detector dividido, como se muestra por la distribución 20 de intensidad de luz en el detector. En las Figuras 3b y 3c la cabeza lectora está inclinada en relación con la escala y la luz de este modo cae desigualmente sobre las dos mitades del detector dividido, como se muestra en la distribución 22 y 24 de intensidad de luz, respectivamente.
Las salidas de las dos mitades de los detectores divididos se comparan para producir una salida de voltaje que indica la cantidad y la dirección de la inclinación. La Figura 4 ilustra un diagrama de bloques de la electrónica que convierte las salidas del detector dividido en una señal de cabeceo.
Las salidas de las dos mitades de los detectores 16a, 16b divididos se convierten en salidas de voltaje mediante los amplificadores 30, 32 y la diferencia entre los voltajes se determina en el comparador 34 y en la memoria temporal 36. Se utiliza un LED 40 para producir una señal cuando la diferencia de voltaje está dentro de un rango predeterminado utilizando un comparador 38 de ventana. Se utiliza un voltímetro 42 para dar una salida de voltaje. Aunque la Figura 4 muestra tanto un indicador LED como un voltímetro, solo se requiere una forma de medios de indicación.
La salida de voltaje se puede usar para encender uno o más LED en la cabeza lectora que indica cuando el cabeceo está dentro de un intervalo aceptable. Alternativamente, la salida de voltaje puede enviarse a un voltímetro externo para que el usuario pueda ajustar el cabeceo utilizando el voltaje de salida. La salida de voltaje se puede enviar al software que incluye un indicador de cabeceo.
La salida de voltaje se puede enviar a un indicador audible, tal como un zumbador. De este modo, el usuario puede ajustar la inclinación utilizando los medios de indicación para indicar cuándo el cabeceo está dentro de un intervalo aceptable.
El indicador de cabeceo puede mostrar la magnitud de la posición angular (por ejemplo, el cabeceo o el balanceo) de la cabeza lectora en relación con la escala o indicar la dirección en la que se debe ajustar la cabeza lectora (por ejemplo, una visualización de flechas en la dirección relevante).
Aunque la realización anterior describe el uso de un detector dividido, se puede usar cualquier detector que permita detectar la posición de la luz cuya imagen se ha formado. Por ejemplo, se puede usar un detector pixelado tal como un detector de acoplamiento de carga (CCD).
Cuando se ensambla la cabeza lectora, la posición de la lente se puede ajustar de modo que la salida del detector sea voltaje cero para cabeceo cero de la cabeza lectora. Por lo tanto, la cabeza lectora se puede utilizar inmediatamente en cualquier sistema.
La Figura 5 ilustra una segunda realización de la invención en que se utiliza un detector de cabeceo no óptico. La Figura 5 ilustra una escala 10 ferromagnética, por ejemplo, de acero y una cabeza lectora 12. El sistema de lectura de escala puede ser un sistema magnético o un sistema óptico. Dos sensores magnéticos, por ejemplo, los sensores 50, 52 Hall y los imanes 51, 53 de polarización están previstos en la cabeza lectora, separados a lo largo de la dirección de la longitud de la escala. A medida que los sensores Hall miden la distancia desde la escala, si la escala y la cabeza lectora son paralelas, las salidas de voltaje desde los sensores Hall serán iguales. Si la cabeza lectora y la escala están cabeceadas entre sí, la salida de los dos sensores se puede usar para determinar la dirección y la cantidad de cabeceo . Se puede usar electrónica similar como la descrita en la Figura 4. Los dos sensores Hall se pueden reemplazar por un sensor Hall diferencial.
Cualquier otro sensor que mida la distancia de la escala se puede usar de manera similar. Por ejemplo, el cabeceo se puede medir utilizando un par de sensores capacitivos o sensores inductivos.
Aunque las realizaciones anteriores describen la medición del cabeceo entre una cabeza lectora y una escala, también se puede usar para medir el balanceo haciendo girar el detector dividido o dos detectores a 90° (es decir, por tanto los detectores son transversales a la escala). Esta invención tiene la ventaja de que permite medir la orientación angular alrededor de un eje independientemente de otros ejes y de la altura de desplazamiento, es decir, el cabeceo puede medirse independientemente del balanceo, el viraje y la altura de desplazamiento.
Se sabe que la planeidad de la escala causa errores de lectura en algunos sistemas de cabezas lectoras.
Esta invención también se puede usar para medir la planeidad de aplicación de la escala sobre una superficie. La Figura 6 ilustra una escala 10 lineal en la que una ondulación 60 ha sido causada por suciedad 62 debajo de la escala. La cabeza lectora de la presente invención se puede usar para una verificación de instalación para detectar la irregularidad de la escala que causará un error de cabeceo local. La cabeza lectora se desplaza a lo largo de la longitud de la escala para verificar que el cabeceo de la escala esté dentro de los límites aceptables a lo largo de la longitud de la escala. Este método tiene la ventaja de que es rápido y sin contacto.
Esta invención también podría usarse en una rutina de calibración. Por ejemplo, donde una cabeza lectora tiene una relación cuantificable entre la amplitud de la señal eléctrica y el cabeceo, entonces la medición del cabeceo de la cabeza lectora se puede usar para compensar el efecto sobre la amplitud de la señal eléctrica.
Esta invención es adecuada para su uso con escalas tanto lineales como giratorias. También es adecuada para su uso con escalas bidimensionales. La invención se puede utilizar con escalas incrementales y absolutas.

Claims (17)

REIVINDICACIONES
1. Aparato para determinar la alineación angular de una cabeza lectora (12) con respecto a una escala (10), comprendiendo el aparato al menos un sensor (16) en la cabeza lectora en donde al menos una salida de al menos el sensor depende de la alineación angular de la cabeza lectora en relación con la escala alrededor de un eje que es paralelo a la superficie de la escala adyacente a la cabeza lectora, caracterizado por que la alineación angular alrededor del eje se mide independientemente de los otros ejes y la altura de desplazamiento.
2. Aparato según la reivindicación 1, en donde al menos el sensor (16) comprende al menos un detector óptico.
3. Aparato según la reivindicación 2, en donde la cabeza lectora incluye una fuente (14) de luz.
4. Aparato según la reivindicación 3, en donde al menos el detector óptico comprende un detector (16a, 16b) dividido.
5. Aparato según la reivindicación 1, en donde al menos el sensor (16) comprende al menos un sensor de proximidad.
6. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la escala (10) comprende una escala óptica.
7. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 5, en donde la escala (10) comprende una escala magnética.
8. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la escala (10) comprende una escala giratoria.
9. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la escala (10) comprende una escala lineal.
10. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la alineación angular de la cabeza lectora (12) en relación con la escala (10) comprende cabeceo.
11. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la alineación angular de la cabeza lectora (12) en relación con la escala (10) comprende balanceo.
12. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones 1-9, en donde la alineación angular de la cabeza lectora (12) en relación con la escala (10) comprende planeidad de escala local.
13. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la salida produce una presentación visual.
14. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la salida produce una señal audible.
15. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la salida se utiliza para indicar cuándo la alineación relativa de la escala (10) y la cabeza lectora (12) está dentro de un intervalo óptimo.
16. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la salida se utiliza para indicar la magnitud de la posición angular de la cabeza lectora (12) con respecto a la escala (10).
17. Aparato según cualquiera de las reivindicaciones anteriores, en donde la salida se utiliza para indicar la dirección requerida de ajuste de la cabeza lectora (12) en relación con la escala (10).
ES05757816T 2004-06-21 2005-06-21 Aparato de escala y de cabeza lectora Active ES2706002T3 (es)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GBGB0413827.7A GB0413827D0 (en) 2004-06-21 2004-06-21 Scale reading apparatus
PCT/GB2005/002431 WO2005124283A2 (en) 2004-06-21 2005-06-21 Scale and readhead apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2706002T3 true ES2706002T3 (es) 2019-03-27

Family

ID=32750285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES05757816T Active ES2706002T3 (es) 2004-06-21 2005-06-21 Aparato de escala y de cabeza lectora

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7550710B2 (es)
EP (1) EP1766335B1 (es)
JP (1) JP5386081B2 (es)
CN (1) CN100507454C (es)
ES (1) ES2706002T3 (es)
GB (1) GB0413827D0 (es)
WO (1) WO2005124283A2 (es)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0413827D0 (en) * 2004-06-21 2004-07-21 Renishaw Plc Scale reading apparatus
GB0428165D0 (en) * 2004-12-23 2005-01-26 Renishaw Plc Position measurement
GB0522651D0 (en) * 2005-11-07 2005-12-14 Renishaw Plc Scale and readhead system
JP4953653B2 (ja) * 2006-02-15 2012-06-13 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ
DE102006040237A1 (de) * 2006-08-28 2008-03-20 Hiwin Mikrosystem Corp. Stelleinrichtung eines Erfassungslesekopfs eines magnetischen Lineals
JP4377417B2 (ja) 2007-03-20 2009-12-02 オークマ株式会社 傾きセンサ付き位置検出器
DE102007031515A1 (de) * 2007-07-06 2009-01-22 Hiwin Mikrosystem Corp. Gerät zur Erfassung der Einbaulage eines Lesekopfes
US7425768B1 (en) * 2007-11-07 2008-09-16 Hiwin Mikrosystem Corp. Power-generating magnetic sensing equipment
GB0819767D0 (en) 2008-10-28 2008-12-03 Renishaw Plc Absolute encoder setup indication
GB0906257D0 (en) 2009-04-08 2009-05-20 Renishaw Plc Position encoder apparatus
GB0906258D0 (en) 2009-04-08 2009-05-20 Renishaw Plc Position encoder apparatus
JP5484980B2 (ja) * 2010-03-24 2014-05-07 株式会社ミツトヨ 光学式エンコーダ
JP6069653B2 (ja) * 2011-01-27 2017-02-01 株式会社ミツトヨ 光電式エンコーダ及びそのアライメント調整方法
EP3708969A1 (en) 2015-12-03 2020-09-16 Renishaw PLC Encoder apparatus
TWI648520B (zh) 2016-10-21 2019-01-21 財團法人工業技術研究院 光學編碼裝置
TWI680648B (zh) 2018-12-26 2019-12-21 財團法人工業技術研究院 編碼盤、檢光器、光學絕對式旋轉編碼器及編碼值輸出、偵錯與除錯的方法
TWI716246B (zh) 2019-12-31 2021-01-11 財團法人工業技術研究院 光學編碼器

Family Cites Families (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4360730A (en) * 1980-10-16 1982-11-23 Itek Corporation Encoder alignment method and apparatus
GB8432574D0 (en) 1984-12-22 1985-02-06 Renishaw Plc Opto-electronic scale-reading apparatus
US4661696A (en) * 1985-06-04 1987-04-28 Plus Development Corporation Optical encoder which use a rectangular photodetector array
US4733069A (en) * 1986-02-14 1988-03-22 Optec Co., Ltd. Position encoder using a laser scan beam
US4998010A (en) 1988-04-08 1991-03-05 United Parcel Service Of America, Inc. Polygonal information encoding article, process and system
GB8820778D0 (en) * 1988-09-02 1988-10-05 Renishaw Plc Setting up of quadrature signals
JPH02121708U (es) 1989-03-20 1990-10-03
GB9110598D0 (en) 1991-05-16 1991-07-03 Renishaw Transducer Syst Setting up of quadrature signals
US5724743A (en) 1992-09-04 1998-03-10 Snap-On Technologies, Inc. Method and apparatus for determining the alignment of motor vehicle wheels
EP0668486A3 (de) * 1994-02-22 1997-07-30 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Längen- oder Winkelmesseinrichtung.
US5661506A (en) 1994-11-10 1997-08-26 Sia Technology Corporation Pen and paper information recording system using an imaging pen
JPH0961120A (ja) * 1995-08-29 1997-03-07 Tokai Rika Co Ltd 寸法測定器
WO1997011386A1 (en) 1995-09-21 1997-03-27 Omniplanar, Inc. Method and apparatus for determining position and orientation
JPH09148217A (ja) 1995-11-17 1997-06-06 Mitsubishi Electric Corp 位置合わせ方法
DE19642199A1 (de) * 1996-10-12 1998-04-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen
DE19642200A1 (de) * 1996-10-12 1998-04-16 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kontrollvorrichtung und Verfahren zur Prüfung von positionsabhängigen Abtastsignalen
US5965879A (en) 1997-05-07 1999-10-12 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method and apparatus for ultra-high-sensitivity, incremental and absolute optical encoding
DE19721903C1 (de) 1997-05-26 1998-07-02 Aicon Industriephotogrammetrie Verfahren und Anlage zur meßtechnischen räumlichen 3D-Lageerfassung von Oberflächenpunkten
IT1294940B1 (it) 1997-08-01 1999-04-23 Corghi Spa Metodo e dispositivo per regolare l'assetto di un autoveicolo
US6222174B1 (en) 1999-03-05 2001-04-24 Hewlett-Packard Company Method of correlating immediately acquired and previously stored feature information for motion sensing
JP2001041730A (ja) * 1999-07-27 2001-02-16 Futaba Corp リニヤスケール
GB9926574D0 (en) 1999-11-11 2000-01-12 Renishaw Plc Absolute position measurement
GB9928483D0 (en) 1999-12-03 2000-02-02 Renishaw Plc Opto-electronic scale reading apparatus
US6560883B2 (en) 2000-06-28 2003-05-13 Snap-On Technologies, Inc. Method and system for conducting wheel alignment
JP2002090114A (ja) * 2000-07-10 2002-03-27 Mitsutoyo Corp 光スポット位置センサ及び変位測定装置
ES2304938T3 (es) 2000-09-11 2008-11-01 Leica Geosystems Ag Metodo para identificar puntos de medida en un sistema de medida optico.
DE10050392A1 (de) 2000-10-12 2002-04-18 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung
JP4360762B2 (ja) 2001-03-23 2009-11-11 株式会社リコー 光学式エンコーダ装置
US6765195B1 (en) 2001-05-22 2004-07-20 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method and apparatus for two-dimensional absolute optical encoding
DE10130938A1 (de) 2001-06-27 2003-01-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung
GB0125286D0 (en) 2001-10-19 2001-12-12 Renishaw Plc Interface for position determining device
DE10157112A1 (de) * 2001-11-21 2003-06-05 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Kontrollvorrichtung einer Positionsmesseinrichtung
US7060968B1 (en) 2002-06-04 2006-06-13 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method and apparatus for optical encoding with compressible imaging
US6781694B2 (en) 2002-07-16 2004-08-24 Mitutoyo Corporation Two-dimensional scale structures and method usable in an absolute position transducer
US6836972B2 (en) * 2003-04-01 2005-01-04 Lisa Drahos Electronic level with audible and visual indicators
US6937349B2 (en) 2003-05-02 2005-08-30 Mitutoyo Corporation Systems and methods for absolute positioning using repeated quasi-random pattern
DE10322130A1 (de) * 2003-05-15 2004-12-02 Anton Rodi Phasenabgleich für Winkel- und Wegmessgeber
US6937337B2 (en) 2003-11-19 2005-08-30 International Business Machines Corporation Overlay target and measurement method using reference and sub-grids
GB0413827D0 (en) * 2004-06-21 2004-07-21 Renishaw Plc Scale reading apparatus
JP2006003307A (ja) 2004-06-21 2006-01-05 Mitsutoyo Corp エンコーダ、及び、その信号調整方法
US7189985B2 (en) 2004-10-30 2007-03-13 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Tracking separation between an object and a surface using a reducing structure
WO2006089247A2 (en) 2005-02-16 2006-08-24 Pisafe, Inc. Method and system for creating and using redundant and high capacity barcodes
US7230727B2 (en) 2005-04-22 2007-06-12 Agilent Technologies, Inc. System for sensing an absolute position in two dimensions using a target pattern

Also Published As

Publication number Publication date
EP1766335A2 (en) 2007-03-28
JP2008503746A (ja) 2008-02-07
WO2005124283A3 (en) 2006-04-27
US20080067332A1 (en) 2008-03-20
GB0413827D0 (en) 2004-07-21
CN1973184A (zh) 2007-05-30
US7550710B2 (en) 2009-06-23
CN100507454C (zh) 2009-07-01
EP1766335B1 (en) 2018-10-17
WO2005124283A2 (en) 2005-12-29
JP5386081B2 (ja) 2014-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2706002T3 (es) Aparato de escala y de cabeza lectora
US7135673B2 (en) Imaging rotation angle absolute encoder
JP3197529B2 (ja) 車輪アライメント特性の非接触式測定方法とその測定装置
JP2008539409A (ja) エンコーダ・エラー判定
BR112012024351B1 (pt) processo de medição para uma máquina de medição medidora de superfície, disposição de conexão e máquina de medição de coordenadas
ES2758525T3 (es) Encoder de posición absoluta
CN106500606A (zh) 一种多码道光栅尺
JP5596056B2 (ja) エンコーダスケール部材および取付方法
CN105783737A (zh) 一种新型小量程超高精度位移传感器及测量方法
ATE297546T1 (de) Linsenmesser zur messung der eigenschaft eines brillenglases oder einer kontaktlinse
ES2881544T3 (es) Método para fabricar un componente electrónico
US5038491A (en) Scale for use for measurement of the displacement of an object to be examined, and displacement measuring apparatus
CN105783738A (zh) 一种增量式小量程位移传感器及测量方法
ES2943273T3 (es) Dispositivo óptico de medición de la posición
ES2899760T3 (es) Dispositivo de medición de posición
JP6462248B2 (ja) 測長器、変位量算出手段及び測長器のスケール部とパターン読取部との位置合わせ方法
CN105783740A (zh) 一种交替增量式测量微位移传感器及测量方法
ES2331908T3 (es) Metodo para leer fracciones de un intervalo entre elementos fotosensibles contiguos de un sensor optico lineal.
ES2602579T3 (es) Dispositivo optoelectrónico y método asociado
ES2547719T3 (es) Cabeza lectora para dispositivos ópticos de medida
ES2283151T3 (es) Metodo y dispositivo para reducir desviaciones de medidas relacionadas con la temperatura en sistemas de medida en paralelo.
JP6438233B2 (ja) 変位検出装置
RU2642975C2 (ru) Устройство для измерений мгновенных угловых перемещений качающейся платформы
JPH0781841B2 (ja) 厚み測定装置
JPS6321509A (ja) 測長装置