ES2291331T3 - Aparato para realizar al menos un proceso sobre un sustrato. - Google Patents
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Abstract
Un aparato para realizar al menos una operación de procesado sobre un sustrato, estando provisto el aparato con al menos una cámara de proceso (2, 3) en la que, durante el uso, tiene lugar una operación de procesado a presión reducida, y está provisto con una antecámara de vacío (1) para el propósito de colocar el sustrato de los alrededores en dicha al menos una cámara de proceso (2, 3) sin perder la presión reducida en la cámara de proceso, comprendiendo la antecámara de vacío (1) una cámara de vacío (13) que está limitada por numerosas paredes y a la que está conectada una bomba de vacío, mientras que en una de las paredes está provista al menos una abertura de suministro (7), y para el propósito de al menos una de dichas cámaras de proceso (2, 3) en una de las paredes se proporciona una abertura de la cámara de proceso (8) que pertenece a dicha al menos una cámara de proceso (2, 3), la al menos una abertura de suministro (7) pudiendo cerrarse externamente con una cubierta externa (10) y pudiendo cerrarse desde la cámara de vacío (13) con una cubierta interna (11), sirviendo además la cubierta interna (11) como soporte para el sustrato y pudiendo desplazarse dentro de la cámara de vacío (13) hasta dicha abertura de la cámara de proceso (8), en la que la o cada cubierta interna (11) se pone en una mesa (12) que está situada en la cámara de vacío, pudiendo desplazarse dicha mesa (12) con ayuda de un accionador, caracterizado porque el accionador se incluye en la cámara de vacío (13) de la antecámara de vacío (1), comprendiendo el accionador una serie de imanes (27) que están montados sobre la mesa (12) y al menos una bobina electromagnética (23, 24) montada sobre las paredes de la antecámara de vacío (1), estando conectada la bobina (23, 24) a una fuente de energía controlable para formar un campo magnético alterno para el propósito de desplazar la mesa (12).
Description
Aparato para realizar al menos un proceso sobre
un sustrato.
La invención se refiere a un aparato de acuerdo
con la reivindicación 1.
Se muestra un aparato similar a partir del
documento EP-A-0 448 782. No se
describe la manera en la que la mesa es accionada por el accionador
en el aparato conocido. A partir del documento
EP-A-0 905 275 se conoce un aparato
similar en el que el accionador está montado externamente respecto a
la cámara de vacío y en el que el árbol del accionador se extiende
a través de una pared inferior de la cámara de vacío.
Se sabe cómo someter sustratos a una operación
de procesado, tal como, por ejemplo, aplicando una capa con ayuda
de un proceso de bombardeo, un proceso de evaporación o procesos de
deposición física en fase vapor (PVD), deposición química en fase
vapor (CVD) o deposición química en fase vapor potenciada con plasma
(PECVD) similares, así como el recocido de un sustrato con
propósito de obtener propiedades particulares.
En general, se conoce lo que se denomina
procesado discontinuo de sustratos, con lo que un gran número de
sustratos experimentan simultáneamente el mismo proceso en una
cámara de proceso. Dicho procesado discontinuo ofrece la ventaja de
una gran capacidad de procesado. Sin embargo, un problema es
asegurar las mismas condiciones de tratamiento para todos los
sustratos presentes en la cámara de proceso.
Para resolver este problema, se conocen procesos
en los que en cada caso se introduce un único sustrato en una
cámara de proceso y experimenta un tratamiento allí, el denominado
procesado de un único sustrato. Las condiciones en la cámara de
proceso pueden afinarse pues exactamente al único sustrato presente
en la cámara de proceso, lo que permite un mejor control del
proceso. Dicho documento EP-A-0 448
782 se refiere al procesado de un único sustrato.
La presente invención se refiere también a un
aparato y a un ensamblaje para el fin de procesar un único
sustrato.
Está claro que en el procesado de un único
sustrato el tiempo requerido para el transporte de los sustratos
desde y hacia las diversas cámaras de proceso es de gran importancia
para la capacidad de procesado del aparato. En general, las
operaciones de procesado que experimentan los sustratos requieren
una subpresión considerable. Por lo tanto, es deseable que después
de abrir la cámara de proceso para poner un sustrato en su interior,
no se pierda la subpresión imperante en la cámara de proceso. El
hecho es que re-crear la considerable subpresión en
la cámara de proceso requiere demasiado tiempo, casi por esta única
razón, el proceso de un único sustrato es difícil de implementar de
una manera económicamente rentable. Además, debe evitarse la
contaminación de la cámara de proceso, de manera que la abertura de
la cámara de proceso sólo puede realizarse en lo que se denomina
una sala limpia. También el transporte de los sustratos desde una
operación de procesado a la siguiente debería tener lugar
preferiblemente en una sala limpia. Los costes de las salas limpias
son particularmente altos, de manera que el procesado conocido de
un único sustrato es una manera particularmente costosa de procesar
sustratos, que se usa cuando se imponen requisitos muy altos sobre
los sustratos a fabricar.
Estos problemas se han resuelto mediante el
documento EP-A-0 448 782.
En el aparato conocido, cuando una cámara de
proceso se abre, continúa imperando una presión reducida en la
misma porque la abertura de la cámara de proceso termina en la
cámara de vacío de la antecámara de vacío en la que se está
manteniendo un vacío.
De acuerdo con la invención, el accionador se
incluye en la cámara de vacío de la antecámara de vacío, en la que
el accionador comprende una serie de imanes que están montados sobre
la mesa, mientras que en las paredes de la antecámara de vacío se
monta al menos una bobina electromagnética, estando conectada la
bobina a una fuente de energía controlable para formar un campo
magnético alterno con propósito del desplazamiento de la mesa.
Como el accionador de la mesa se incluye en la
cámara de vacío, no hay necesidad de provisiones de dirección para
el propósito de un árbol de rotación o una varilla que puede moverse
axialmente en las paredes de la cámara de vacío. Esto proporciona
considerables ventajas. El hecho es que dichas provisiones de
dirección herméticas a vacío son generalmente costosas, a menudo
conducen a fugas, están sometidas a desgaste y provocan una
fricción considerable, que necesita motores relativamente pesados y
además limita considerablemente la velocidad con la que puede
realizarse el movimiento de la mesa. Esto último, a su vez, tendría
una influencia negativa sobre la capacidad de procesado del
aparato.
Con un accionador construido de esta manera
dispuesto internamente en la cámara de vacío, pueden obtenerse
velocidades de desplazamiento muy altas. Las velocidades de
desplazamiento muy altas conducen a una mayor capacidad de
procesado, que a su vez da como resultado un menor precio de coste
de los sustratos.
Un problema implicado en el cierre hermético a
vacío de las cubiertas es la deformación de la antecámara de vacío,
más particularmente de las paredes de la misma. Como resultado de
las diferencias de presión imperantes, grandes superficies de la
pared están sometidas a fuerzas considerables, e incluso un pequeño
combado de la pared que incluye la abertura de suministro y las
aberturas de la cámara de proceso, puede conducir a fugas en la
cubierta interna o externa. Para resolver estos problemas, el
aparato se caracteriza, de acuerdo con otra realización de la
invención, porque la antecámara de vacío tiene una pared
circunferencial sustancialmente cilíndrica y dos paredes finales
sustancialmente planas, mientras que en una de las paredes finales
se proporciona la al menos una abertura de suministro y la al menos
una abertura de la cámara de proceso, y las dos paredes finales
están conectadas entre sí por un soporte central cerca de o en el
medio de la pared circunferencial cilíndrica.
La propia pared final cilíndrica tiene ya una
resistencia intrínseca y, además, su deformación es menos crítica.
Debido al soporte central, las paredes finales tienen una rigidez
considerable, de manera que su deformación es mínima, pudiendo
proporcionarse un gran número de aberturas de suministro y aberturas
de la cámara de proceso en la pared final para montar diferentes
cámaras de proceso o para crear diferentes pasajes de acceso para
el suministro y retirada de sustratos. La rigidez particularmente
alta que posee dicha antecámara de vacío con forma de rosquilla es
de gran ventaja en conexión con los problemas de cierre.
En dicho diseño de la antecámara de vacío, es
particularmente favorable cuando la mesa comprende un disco
sustancialmente circular que está montado en relación rotatoria
sobre el soporte central y sobre o adyacente a la pared
circunferencial cilíndrica. Cuando, de acuerdo con otra realización
de la invención, en la pared circunferencial cilíndrica, se monta
adicionalmente una bobina electromagnética en posiciones
circunferenciales distribuidas uniformemente, con la serie de
imanes mencionada anteriormente dispuesta adyacente a una pared
circunferencial circular de la mesa, la mesa puede girarse 180
grados muy rápido. En la realización ejemplar que se describirá a
continuación, en la que los sustratos tienen el tamaño de un CD o
DVD, dicha rotación de 180 grados puede tener lugar en 0,3
segundos. Estará claro que dicha manera de transporte conduce a una
capacidad muy alta del aparato.
Para permitir que la mesa esté hecha con un
diseño desplazable, es importante que la cubierta interna pueda
moverse lejos de la pared de la abertura de suministro o la abertura
de la cámara de proceso. Para ello, de acuerdo con otra realización
de la invención, la al menos una cubierta interna está conectada con
la mesa para poder desplazarse en una dirección perpendicular a la
mesa. Dicha conexión entre la mesa y una cubierta interna puede
comprender, por ejemplo, un resorte. De acuerdo con otra realización
de la invención, la conexión de resorte entre la cubierta interna y
la mesa puede formarse mediante una placa con forma de disco que
tiene una abertura central en la que la cubierta interna está
ajustada, mientras que la placa con forma de disco está montada
mediante un borde circunferencial externo de la misma a la mesa,
mientras que en la placa con forma de disco se proporcionan huecos
con forma de segmento circulares, concéntricos, que permiten el
desplazamiento de la abertura central respecto al borde
circunferencial externo en una dirección perpendicular al plano de
la placa, mientras que el borde de la abertura central y el borde
circunferencial externo permanecen exactamente paralelos.
De acuerdo con otra realización de la invención,
una cámara de proceso puede tener una bomba de la cámara de proceso
conectada a la misma. Con dicha bomba de la cámara de proceso
separada, puede crearse una presión diferente en la cámara de
proceso que la presión imperante en la cámara de vacío. Además, la
bomba de la cámara de proceso puede usarse para el escape de los
gases de proceso liberados durante el procesado del sustrato.
El aparato de acuerdo con la invención es útil
para diversos procesos; de esta manera, de acuerdo con otra
realización de la invención, puede proporcionarse una cámara de
proceso con al menos una fuente de plasma con propósito de
deposición química en fase vapor potenciada con plasma, o con al
menos una fuente de deposición física en fase vapor, o con medios
para realizar la deposición química en fase vapor, o con medios para
recocer el sustrato.
Opcionalmente, varias cámaras de proceso pueden
conectarse a la antecámara de vacío, de manera que un sustrato
puede experimentar diversas operaciones de procesado sin tener que
dejar la cámara de vacío para este fin. En particular, durante el
transporte entre las diferentes operaciones de procesado que se van
a realizar en las cámaras de proceso, es de gran importancia que
los espacios en los que está el sustrato estén limpios. Como en el
aparato de acuerdo con la invención los sustratos están en la cámara
de vacío de la antecámara de vacío o en una cámara de proceso, los
requisitos que se imponen sobre la limpieza del espacio en el que
se dispone el aparato de acuerdo con la invención son mucho menores
que en el procesado de un único sustrato conocido hasta la fecha,
que podía tener lugar exclusivamente en salas limpias.
Como la o cada abertura de suministro está
provista con una cubierta interna y una cubierta externa, sólo es
necesario, cuando se pone un sustrato en la cámara de vacío, ajustar
de nuevo el espacio entre la cubierta interna y la cubierta externa
a la presión reducida requerida. El procedimiento de colocación de
un sustrato es el siguiente:
La cubierta interna de una abertura de
suministro respectiva se cierra, la cubierta externa se abre, el
sustrato a procesar se pone sobre la cubierta interna que sirve
como soporte para el sustrato, la cubierta externa se cierra, y la
cubierta interna se abre, llevando consigo el sustrato. Sólo es
necesario evacuar de nuevo el volumen entre la cubierta interna y
la cubierta externa. La cubierta interna sirve como soporte para el
sustrato, estando el sustrato presente en su interior,
posteriormente puede transportarse rápidamente a la abertura de la
cámara de proceso.
Para minimizar el tiempo necesario para obtener
el vacío deseado en la cámara de vacío después de haber insertado
un nuevo sustrato, es particularmente favorable, de acuerdo con otra
realización de la invención, cuando el espacio que está unido por
una abertura borde de la al menos una abertura de suministro y la
cubierta interna y la cubierta externa, cuando éstas están en un
estado cerrado, tiene dimensiones que están muy en línea con las
dimensiones del sustrato a tratar mediante el aparato, de manera que
el volumen del espacio que se tiene que reajustar a la presión
reducida deseada después del cierre de la cubierta externa es
mínimo.
Cuanto más en línea esté este espacio con las
dimensiones del sustrato a tratar, menos tiempo se tarda en ajustar
la cámara de vacío a la presión reducida deseada de nuevo. Dicho
tiempo corto, a su vez, da como resultado una mayor capacidad de
procesado, que es favorable desde el punto de vista de los
costes.
Para evitar la contaminación de la cámara de
vacío como resultado de las operaciones de procesado que tienen
lugar en la al menos una cámara de proceso, es favorable, de acuerdo
con otra realización de la invención, cuando una abertura de la
cámara de proceso puede cerrarse sustancialmente desde la cámara de
vacío con una cubierta interna.
La invención se refiere también a un ensamblaje
de un aparato de acuerdo con una cualquiera de las reivindicaciones
anteriores con un dispositivo de transporte para suministrar
sustratos a una abertura de suministro de la antecámara de vacío y
retirar los mismos. De acuerdo con la invención, el dispositivo de
transporte del ensamblaje está provisto con al menos un cabezal de
transmisión, que puede desplazarse con ayuda de un mecanismo de
transporte, para engranarse con el sustrato. Con dicho ensamblaje,
el aparato puede, sin estar tripulado, cargarse con sustratos y los
sustratos procesados pueden retirarse del aparato sin que el aparato
esté tripulado.
Si el sustrato a procesar comprende una abertura
central, tal como, por ejemplo, para el propósito de fabricar un CD
o DVD, es particularmente favorable, de acuerdo con otra realización
de la invención, cuando el dispositivo de transporte comprende
piezas de fijación sueltas que pueden fijarse en la abertura central
de un sustrato a procesar, y la pieza de fijación puede engranarse
mediante el al menos un cabezal de transmisión. El sustrato puede
introducirse entonces, junto con la pieza de fijación, en la cámara
de vacío y permanecer allí conectado con el sustrato durante las
operaciones de procesado que el sustrato va a experimentar. Se
prefiere después, cuando la pieza de fijación se fabrica a partir
de un material magnéticamente susceptible, y en el al menos un
cabezal de transmisión se dispone una bobina electromagnética,
estando conectada la bobina a una fuente de energía controlable que
con el propósito de retener la pieza de fijación, y por lo tanto el
sustrato, genera un campo electromagnético en la bobina que ejerce
una acción atractora sobre la pieza de fijación. De esta manera, de
una forma muy sencilla, el sustrato puede recogerse y suministrarse
mediante el cabezal de transmisión.
De acuerdo con otra realización de la invención,
la pieza de fijación puede comprender una pieza con forma de disco
que sirve como máscara interna para blindar la parte central del
sustrato durante la operación de procesado en la cámara de
proceso.
Opcionalmente, cuando se usa una pieza de
fijación suelta magnéticamente susceptible, puede disponerse un
imán permanente en la o en cada cubierta interna de la antecámara de
vacío, ejerciendo dicho imán permanente una acción atractora sobre
la pieza de fijación. De esta manera, puede efectuarse una
colocación segura y centrada del sustrato sobre la cubierta
interna.
Para limitar el número de operaciones en el
cierre de una abertura de suministro y, por lo tanto, minimizar el
tiempo requerido para poner un sustrato en la cámara de vacío, es
particularmente favorable, de acuerdo con otra realización de la
invención, cuando el al menos un cabezal de transmisión del
dispositivo de transporte lleva también la cubierta externa.
La invención se aclarará adicionalmente en base
a una realización ejemplar, con referencia a los dibujos.
La Figura 1 muestra una vista en perspectiva de
una antecámara de vacío con dos cámaras de proceso que en la
presente realización ejemplar están diseñadas como cámaras de
proceso de bombardeo;
La Figura 2 muestra una vista en planta superior
de la realización ejemplar representada en la Figura 1;
La Figura 3 muestra una sección a lo largo de la
línea III-Ill de la Figura 1;
La Figura 4 muestra una vista en planta superior
de la antecámara de vacío representada en las Figuras
1-3, omitiendo las cámaras de proceso de
bombardeo;
La Figura 5 muestra una sección a lo largo de la
línea V-V de la Figura 4;
La Figura 6 muestra una sección a lo largo de la
línea VI-VI de la Figura 7 de la mesa presente en la
antecámara de vacío;
La Figura 7 muestra una vista en planta superior
de la mesa mostrada en la Figura 6;
La Figura 8 muestra una vista en planta superior
del resorte de conexión mediante el que la cubierta interna está
conectada con la mesa;
La Figura 9 muestra una vista en perspectiva de
un dispositivo de transporte destinado a cooperar con una
antecámara de vacío como se representa en las Figuras
1-3;
La Figura 10 muestra una vista en perspectiva de
una pieza de fijación;
La Figura 11 muestra una vista en sección
transversal de una cubierta externa con una pieza de fijación unida
a la misma; y
La Figura 12 muestra una vista en planta
superior de la cubierta representada en la Figura 11.
Las Figuras 1-3 muestran una
realización ejemplar de una antecámara de vacío 1 que tiene dos
cámaras de proceso 2, 3 montadas en la misma, estando representada
la cubierta de la cámara de proceso 2 en una posición abierta, y la
cubierta de la cámara de proceso 3 representada en una posición
cerrada. Las cámaras de proceso mostradas están destinadas a
realizar un proceso de bombardeo en su interior. Dicho proceso se
conoce per se y no necesita mayor aclaración en este
documento. Adicionalmente, la Figura 1 muestra una sección de bomba
4 mediante la cual puede crearse un vacío en la antecámara de vacío
y las cámaras de proceso 2, 3. Debe entenderse que "vacío"
significa una presión que es adecuada para realizar un proceso de
bombardeo. La figura muestra también claramente que la antecámara
de vacío 1 está provista con una pared superior 5 y una pared
circunferencial cilíndrica 6. En la pared superior 5 se
proporcionan dos aberturas de suministro 7 para poner un sustrato
sobre un soporte para el sustrato mediante estas aberturas de
suministro. Adicionalmente, la pared superior 5 está provista con
dos aberturas de la cámara de proceso 8 que se ven mejor en las
Figuras 4 y 5.
La Figura 3 muestra el interior de la antecámara
de vacío 1. Se ve claramente la pared superior 5, la pared
circunferencial cilíndrica 6 y la abertura de suministro 7 provista
en la pared superior, para suministrar un sustrato a la antecámara
de vacío 1 y retirar el mismo. Adicionalmente, en la pared superior
puede verse una abertura de la cámara de proceso 8, en la que se
pone la denominada máscara externa 9. La abertura de suministro 7
puede cerrarse con una cubierta externa 10 que está representada en
las Figuras 9, 11, 12. Adicionalmente, la abertura de suministro 7
puede cerrarse con una cubierta interna 11. Las cubiertas internas
11 se reciben en una mesa 12 sustancialmente con forma de disco,
que se representa con más detalle en las Figuras 6 y 7. La
antecámara de vacío 1, y más particularmente las paredes de la
misma, limitan una cámara de vacío 13 en la que impera una presión
reducida deseada. La mesa 12 con forma de disco está montada en
relación rotatoria en la cámara de vacío 13 mediante cojinetes 14,
15. El cojinete interno 14 descansa sobre un soporte central 16 que
conecta la pared superior 15 de la antecámara de vacío con la pared
inferior 17 de la antecámara de vacío 1. Debido a este soporte
central 16, la pared superior 5 tiene una rigidez considerable que
evita la deformación de la pared superior 5 bajo la influencia de
las presiones variables.
La Figura 5 muestra más claramente la manera en
la que la mesa 12 se incluye en la antecámara de vacío 1 y de qué
manera las cubiertas internas 11 están conectadas con la mesa 12. En
la Figura 6, también, esta conexión está representada claramente.
La cubierta interna 11 está conectada con la mesa 12 de manera que
pueda desplazarse respecto a esta mesa 12 en una dirección
perpendicular al plano de la mesa 12. En la presente realización
ejemplar, esta conexión está formada por una conexión de resorte 18,
que está representada en una vista en planta superior en la Figura
8. En la presente realización ejemplar, la conexión de resorte 18
está diseñada como una placa con forma de disco 18 con una abertura
central 19 en la que está fijada la cubierta interna 11. La placa
con forma de disco 18 está unida, mediante un borde circunferencial
externo 20 de la misma, a la mesa 12. En la placa con forma de
disco 18, se proporcionan huecos circulares con forma de segmento
21, que permiten el desplazamiento de la abertura central 19
respecto al borde circunferencial externo 20 en una dirección
perpendicular al plano de la placa 18, mientras que el borde 22 de
la abertura central 19 y el borde circunferencial externo 20
permanecen exactamente paralelos. Adicionalmente, la Figura 5
muestra claramente que las bobinas electromagnéticas 23, 24 están
dispuestas en la pared superior 5 alrededor de la abertura de
suministro 7 y la abertura de la cámara de proceso 8.
Adicionalmente, se ve claramente que sobre las cubiertas internas
11 se monta un anillo de cierre 25 que se extiende a lo largo de la
circunferencia de la cubierta interna 11. Este anillo de cierre 25
se fabrica de un material magnéticamente susceptible. Las bobinas
electromagnéticas 23, 24 están conectadas a una fuente de energía
controlable que para el propósito de cerrar la cubierta interna 11
pueden generar un campo electromagnético en la bobina 23, 24 que
ejerce una acción atractora sobre el anillo de cierre 25. Tras la
excitación de las bobinas electromagnéticas 23, 24, el anillo de
cierre 25 se levanta contra la pared superior 5 de la antecámara de
vacío 1. Cuando termina la excitación de las bobinas
electromagnéticas 23, 24, la cubierta interna 11 se abrirá
automáticamente como resultado de la presión de aire externa
ejercida sobre la misma. En la Figura 7, la mesa 12 con forma de
disco está representada en una vista en planta superior. Se ve
claramente que la mesa está provista con una abertura central 26 en
la que se localiza el cojinete interno 14. Adicionalmente, en una
vista en planta superior se ve claramente que la mesa 12 está
provista con cuatro cubiertas internas 11. Se muestran también
claramente los anillos de cierre 25 y una serie de imanes
permanentes 27. Los imanes permanentes 27 se montan
alternativamente con la dirección del campo magnético en direcciones
opuestas. La Figura 5 muestra dos de las tres bobinas
electromagnéticas 28 presentes en la antecámara de vacío 1, estando
conectadas dichas bobinas 28 con la pared inferior 17 de la
antecámara de vacío. Las bobinas 28 están conectadas a una fuente
de energía controlable para formar un campo magnético alterno para
el propósito de desplazar, más particularmente girar, la mesa 12.
Como el accionador de la mesa 12, dicho accionador está formado por
la serie de imanes permanentes 27 y las bobinas 28, está incluido en
la cámara de vacío 13 de la antecámara de vacío 1, no es necesario
incorporar provisiones de dirección para piezas móviles en las
paredes de la antecámara de vacío. Esto es muy ventajoso desde el
punto de vista del mantenimiento y técnica de vacío. En la
realización ejemplar representada, la mesa 12 puede girarse 180
grados en 0,3 segundos. Las Figuras 3, 5 y 6 muestran también
claramente un anillo codificador 29. Este anillo codificador coopera
con un detector de codificador (no mostrado) que se dispone en el
soporte central 16 de la antecámara de vacío 1. Mediante el anillo
codificador 29 y el detector de codificador, la posición de la mesa
12 en la cámara de vacío 13 se conoce en cada caso.
La Figura 9 muestra una placa de montaje 30 que
está provista con una abertura 31 en la que puede montarse la
antecámara de vacío 1. Conectado con la placa de montaje 30 hay un
dispositivo de transporte 32. En la presente realización ejemplar,
este dispositivo de transporte 32 está diseñado como una estrella de
brazos 34 que gira alrededor de un eje central 33. Suspendidas
desde los extremos de estos brazos 34 están las cubiertas externas
10, que sirven para cerrar las aberturas de suministro 7 de la
antecámara de vacío 1. Cuando las cubiertas externas 10 se ponen en
una abertura de suministro 7 de la antecámara de vacío 1, y cuando
además la cubierta interna 11 de la abertura de suministro 7
respectiva está en una posición cerrada, el espacio limitado por el
borde de la abertura 35 de la abertura de suministro 7 y la cubierta
interna 11 y la cubierta externa 10 tiene tales dimensiones que el
sustrato a procesar puede recibirse justo en su interior, de manera
que el volumen del espacio que después del cierre de la cubierta
externa debe reajustarse a la presión reducida deseada, es mínimo.
La cubierta externa 10, que se representa con más detalle en las
Figuras 11 y 12, está provista con un cabezal de transmisión 36
para engranarse al sustrato. En la presente realización ejemplar,
los sustratos están provistos con una abertura central y estos
sustratos están destinados más particularmente a la fabricación de
un CD o DVD. El dispositivo de transporte 32 comprende piezas de
fijación sueltas 37 que están conectadas de forma separable con el
cabezal de transmisión 36 y que pueden fijarse en la abertura
central de un sustrato a tratar. En la presente realización
ejemplar, la pieza de fijación 37, que está representada en más
detalle en la Figura 10, se fabrica a partir de un material
magnéticamente susceptible. Cada uno de los cabezales de
transmisión 36 está provisto con una bobina electromagnética 38 que
está conectada a una fuente de energía controlable que con el
propósito de retener la pieza de fijación, y por lo tanto el
sustrato, genera un campo electromagnético en la bobina que ejerce
una acción atractora sobre la pieza de fijación 37. La pieza de
fijación 37 está provista adicionalmente con una pieza con forma de
disco 38 que sirve como máscara interna para blindar la parte
central del sustrato durante el procesado del mismo en la cámara de
proceso 2, 3. Las cubiertas internas 11 están provistas con imanes
permanentes 39 para fijar la pieza de fijación 37 con propósito de
retención centrada de un sustrato sobre la cubierta interna 11.
El funcionamiento del aparato es el siguiente:
con ayuda del dispositivo de transporte 32, un sustrato en el que
se ha ajustado una pieza de fijación 37 se recoge y se transporta a
la abertura de suministro 7 de la antecámara de vacío 1. A
continuación, la cubierta externa 10 se baja a la abertura de
suministro mediante el dispositivo de transporte 32. El sustrato se
sitúa en el espacio de ajuste forzado que está limitado por la
cubierta externa 10, la cubierta interna 11 y el borde
circunferencial 35 de la abertura de suministro 7. En esta fase,
las bobinas electromagnéticas 23 se excitan, de manera que el anillo
de cierre 25 de la cubierta interna 11 respectiva se apoya contra
las bobinas 23 y la cubierta interna 11 está en un estado cerrado.
Posteriormente, la excitación de las bobinas 23 termina, de manera
que la cubierta interna 11 se abre bajo la influencia de la presión
imperante en el espacio mencionado. La cubierta interna está ahora
en el plano bajo la pared superior 5 de la antecámara de vacío 1.
Después las bobinas electromagnéticas 28 del accionador de la mesa
12 pueden excitarse para hacer girar la mesa 12 y llevar la
cubierta interna 11 respectiva bajo la abertura de la cámara de
proceso 8. La posición de la mesa 12 se mide con precisión por el
anillo codificador 29 con el detector de codificador asociado.
Cuando la cubierta interna 11 respectiva está situada bajo la
abertura de la cámara de proceso 8, las bobinas de cierre 24
situadas allí se excitan y se tira de la cubierta interna 11 contra
la pared superior 5 de la antecámara de vacío. A continuación, el
sustrato dispuesto sobre la cubierta interna 11 puede experimentar
un tratamiento en la cámara de proceso 2, 3. Una vez completada la
operación de procesado, la excitación de las bobinas de cierre 24
puede terminarse y la mesa 12 puede hacerse girar, de manera que la
cubierta interna respectiva puede llevarse a otra abertura de la
cámara de proceso para experimentar otro tratamiento allí o para
llevar la cubierta interna 11 respectiva a una abertura de
suministro 7 para retirar el sustrato de la antecámara de vacío 1.
Para el propósito de retirar el sustrato, las bobinas de cierre 23
que se extienden alrededor de la abertura de suministro 7 respectiva
se excitan de nuevo, con lo que posteriormente el espacio
localizado entre la cubierta externa 10 y la cubierta interna 11 es
airea, de manera que la presión ambiente impera en su interior.
Cuando este es el caso, la cubierta externa 10 puede subirse con
ayuda del dispositivo de transporte 32, llevando consigo el
sustrato. El sustrato puede suministrarse posteriormente a otra
posición mediante el dispositivo de transporte 32 terminando la
excitación de la bobina electromagnética 38 en el cabezal de
transmisión 36.
Está claro que la invención no se limita a la
realización ejemplar descrita si no que son posibles diversas
modificaciones dentro del marco de la invención como se define
mediante las reivindicaciones. De esta manera, en la cámara de
proceso, en lugar de un proceso de bombardeo, puede tener lugar una
operación de procesado diferente, tal como, por ejemplo, una forma
diferente de deposición física en fase vapor (PVD), deposición
química en fase vapor (CVD), deposición química en fase vapor
potenciada con plasma (PECVD), recocido o similares. Opcionalmente,
una cámara de proceso puede tener una bomba separada de la cámara de
proceso conectada a la misma para el escape de los gases de la
cámara de proceso suministrados o formados durante la operación de
procesado. Opcionalmente, también es posible que entre una cámara de
proceso y la cámara de vacío 13 se incorpore una tubería de
desviación con una restricción que puede ser controlable o no para
mantener una diferencia de presión entre la cámara de proceso y la
cámara de vacío 13 durante el proceso de tratamiento. En estas
condiciones, una bomba separada de la cámara de proceso puede
omitirse opcionalmente. Queda claro también que con el aparato
descrito anteriormente y el ensamblaje descrito anteriormente,
pueden realizarse diferentes procesos sucesivamente. Para ello,
evidentemente es necesario que diferentes cámaras de proceso se
conecten con la antecámara de vacío.
Claims (22)
1. Un aparato para realizar al menos una
operación de procesado sobre un sustrato, estando provisto el
aparato con al menos una cámara de proceso (2, 3) en la que,
durante el uso, tiene lugar una operación de procesado a presión
reducida, y está provisto con una antecámara de vacío (1) para el
propósito de colocar el sustrato de los alrededores en dicha al
menos una cámara de proceso (2, 3) sin perder la presión reducida en
la cámara de proceso, comprendiendo la antecámara de vacío (1) una
cámara de vacío (13) que está limitada por numerosas paredes y a la
que está conectada una bomba de vacío, mientras que en una de las
paredes está provista al menos una abertura de suministro (7), y
para el propósito de al menos una de dichas cámaras de proceso (2,
3) en una de las paredes se proporciona una abertura de la cámara de
proceso (8) que pertenece a dicha al menos una cámara de proceso
(2, 3), la al menos una abertura de suministro (7) pudiendo cerrarse
externamente con una cubierta externa (10) y pudiendo cerrarse
desde la cámara de vacío (13) con una cubierta interna (11),
sirviendo además la cubierta interna (11) como soporte para el
sustrato y pudiendo desplazarse dentro de la cámara de vacío (13)
hasta dicha abertura de la cámara de proceso (8), en la que la o
cada cubierta interna (11) se pone en una mesa (12) que está
situada en la cámara de vacío, pudiendo desplazarse dicha mesa (12)
con ayuda de un accionador, caracterizado porque el
accionador se incluye en la cámara de vacío (13) de la antecámara
de vacío (1), comprendiendo el accionador una serie de imanes (27)
que están montados sobre la mesa (12) y al menos una bobina
electromagnética (23, 24) montada sobre las paredes de la antecámara
de vacío (1), estando conectada la bobina (23, 24) a una fuente de
energía controlable para formar un campo magnético alterno para el
propósito de desplazar la mesa (12).
2. Un aparato de acuerdo con la reivindicación
1, en el que la antecámara de vacío (1) tiene una pared
circunferencial sustancialmente cilíndrica y dos paredes finales
sustancialmente planas, y en una de las paredes finales se
proporciona la al menos una abertura de suministro y la al menos una
abertura de la cámara de proceso, estando conectadas las dos
paredes finales entre sí mediante un soporte central adyacente a o
en medio de la pared circunferencial cilíndrica.
3. Un aparato de acuerdo con la reivindicación
2, en el que la mesa (12) comprende un disco sustancialmente
circular que está montado en relación rotatoria sobre el soporte
central y sobre la pared circunferencial cilíndrica.
4. Un aparato de acuerdo con la reivindicación
3, en el que sobre o adyacente a la pared circunferencial
cilíndrica, en posiciones circunferenciales distribuidas
uniformemente, se monta una bobina electromagnética (23, 24),
mientras que dicha serie de imanes (27) se dispone adyacente a un
borde circunferencial circular de la mesa (12).
5. Un aparato de acuerdo con la reivindicación 3
o 4, en el que sobre la mesa (12) se dispone un anillo codificador
mediante el cual puede determinarse la posición relativa de la mesa
(12) con respecto a las paredes de la cámara de vacío (13).
6. Un aparato de acuerdo con la reivindicación
1, en el que la al menos una cubierta interna (11) está conectada
con la mesa (12) para poder desplazarse en una dirección
perpendicular a la mesa (12).
7. Un aparato de acuerdo con la reivindicación
6, en el que la conexión entre la mesa (12) y dicha cubierta
interna (11) comprende un resorte.
8. Un aparato de acuerdo con la reivindicación
7, en el que la conexión de resorte entre la o cada cubierta
interna (11) y la mesa (12) está formado por una placa con forma de
disco que tiene una abertura central en la que se ajusta la
cubierta interna (11), mientras que la placa con forma de disco,
mediante un borde circunferencial externo de la misma, se une a la
mesa (12), y en la placa con forma de disco se proporcionan huecos
con forma de segmento circulares, concéntricos que permiten el
desplazamiento de la abertura central respecto al borde
circunferencial externo en una dirección perpendicular al plano de
la placa mientras que el borde de la abertura central y el borde
circunferencial externo permanecen exactamente paralelos.
9. Un aparato de acuerdo con una cualquiera de
las reivindicaciones anteriores, en el que la al menos una cubierta
interna (11) está provista con un anillo de cierre de material
magnéticamente susceptible, que se extiende a lo largo de la
circunferencia de la cubierta interna (11), mientras que está
alrededor y adyacente a los bordes de la al menos una abertura de
suministro (7) y en la al menos una abertura de la cámara de proceso
(8) se dispone al menos una bobina electromagnética (23, 24),
estando conectada la bobina (23, 24) a una fuente de energía
controlable que para el propósito de cerrar la cubierta interna (11)
genera un campo electromagnético en la bobina (23, 24) que ejerce
una acción atractora sobre el anillo de cierre.
10. Un aparato de acuerdo con una cualquiera de
las reivindicaciones anteriores, en el que dicha cámara de proceso
(2, 3) tiene una bomba de la cámara de proceso conectada a la
misma.
11. Un aparato de acuerdo con una cualquiera de
las reivindicaciones anteriores, en el que dicha al menos una
cámara de proceso (2, 3) está provista con al menos una fuente de
plasma para el propósito de deposición química en fase vapor
potenciada con plasma.
\newpage
12. Un aparato de acuerdo con una cualquiera de
las reivindicaciones anteriores, en el que dicha al menos una
cámara de proceso (2, 3) está provista con al menos una fuente de
deposición física en fase vapor.
13. Un aparato de acuerdo con una cualquiera de
las reivindicaciones anteriores, en el que dicha al menos una
cámara de proceso (2, 3) está provista con medios para realizar
deposición química en fase vapor.
14. Un aparato de acuerdo con una cualquiera de
las reivindicaciones anteriores, en el que dicha al menos una
cámara de proceso (2, 3) está provista con medios para recocer el
sustrato.
15. Un aparato de acuerdo con la reivindicación
1, en el que el espacio que está limitado por un borde de abertura
de la al menos una abertura de suministro (7) y la cubierta interna
(11) y la cubierta externa (10), cuando éstos están en estado
cerrado, tiene dimensiones que están muy en línea con las
dimensiones del sustrato a tratar por el aparato, de manera que el
volumen del espacio que después del cierre de la cubierta externa
(10) debe reajustarse a la presión reducida deseada, es mínimo.
16. Un aparato de acuerdo con la reivindicación
1, en el que dicha abertura de la cámara de proceso (8) puede
cerrarse sustancialmente desde la cámara de vacío (13) con dicha
cubierta interna (11).
17. Un ensamblaje de un aparato de acuerdo con
una cualquiera de las reivindicaciones anteriores y un dispositivo
de transporte para suministrar sustratos a una abertura de
suministro (7) de la antecámara de vacío (1) y retirar los mismos,
estando provisto el dispositivo de transporte con al menos un
cabezal de transmisión, que puede desplazarse mediante un mecanismo
de transporte, para engranarse con el sustrato.
18. Un ensamblaje de acuerdo con la
reivindicación 17, en el que el sustrato a procesar comprende una
abertura central, tal como, por ejemplo, para el propósito de
fabricar un CD o DVD, el dispositivo de transporte comprende piezas
de fijación sueltas que pueden fijarse en la abertura central de un
sustrato a tratar, y la pieza de fijación es engranable por el al
menos un cabezal de transmisión.
19. Un ensamblaje de acuerdo con la
reivindicación 18, en el que la pieza de fijación está fabricada de
un material magnéticamente susceptible, mientras que en el al menos
un cabezal de transmisión se dispone una bobina electromagnética
(23, 24), estando conectada la bobina (23, 24) a una fuente de
energía controlable que para el propósito de retener la pieza de
fijación, y por lo tanto el sustrato, genera un campo
electromagnético en la bobina (23, 24), que ejerce una acción
atractora sobre la pieza de fijación.
20. Un ensamblaje de acuerdo con la
reivindicación 18 o 19, en el que la pieza de fijación comprende una
pieza con forma de disco que sirve como máscara interna para
blindar la parte central del sustrato durante el procesado en la
cámara de proceso (2, 3).
21. Un ensamblaje de acuerdo con la
reivindicación 19 o 20, en el que en el o cada soporte para el
sustrato de la antecámara de vacío (1) se dispone un imán
permanente que ejerce una acción atractora sobre la pieza de
fijación.
22. Un ensamblaje de acuerdo con una cualquiera
de las reivindicaciones 17-21, en el que el al menos
un cabezal de transmisión lleva adicionalmente dicha cubierta
externa (10).
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