ES2278651T3

ES2278651T3 - Herramienta de corte con revestimiento de carbonitruro.

Info

Publication number: ES2278651T3
Application number: ES01101329T
Authority: ES
Inventors: Veit Dr. Ing. Schier
Original assignee: Walter AG
Current assignee: Walter AG
Priority date: 2000-01-24
Filing date: 2001-01-22
Publication date: 2007-08-16
Anticipated expiration: 2021-01-22
Also published as: ATE355398T1; EP1120473A2; EP1120473B1; JP2001232501A; CN1310067A; EP1120473A3; KR100740790B1; DE10002861A1; US20010024598A1; CN1196556C; KR20010074523A; DE50112092D1; US6617058B2

Abstract

Herramienta de corte (1) o placa de corte (3, 4) con un recubrimiento en forma de una capa amorfa para disminuir el desgaste, el cual contiene carbonitruro (CxNy) en enlace covalente, estando presente CxNy con x/y = 2, presentando la parte de carbonitruro del recubrimiento un tipo de enlace C-N tal, que para una radiación con rayos X-Mg K a proporciona electrones secundarios con una energía cinética entre 848 y 850 eV.

Description

Herramienta de corte con revestimiento de carbonitruro.

La invención se refiere a una herramienta de corte o a una parte de una herramienta de corte, como por ejemplo a una placa de corte, para la mecanización con arranque de viruta.

Las herramientas para mecanización con arranque de viruta están sometidas durante el trabajo a una elevada carga de desgaste y están expuestas a grandes esfuerzos. En especial el borde de corte y las zonas de la superficie próximas al borde de corte están fuertemente solicitadas tanto en la mecanización de metales como en la mecanización de materiales sintéticos o en la mecanización de cualquier otro tipo de material. Las virutas arrancadas a la pieza son reconducidas, por ejemplo, a la superficie de arranque deslizándose bajo una elevada presión a lo largo de la superficie de arranque.

Tanto los defectos de los bordes de corte de una herramienta de corte, como los defectos de superficie caracterizan el estado de desgaste de la herramienta. Ésta por un lado debe presentar un periodo de vida lo más largo posible, pero por otra parte debe aportar también a ser posible un elevado rendimiento de arranque de viruta. Sin embargo el desgaste de la herramienta aumenta con el rendimiento de arranque de viruta.

Se conocen herramientas de corte que están provistas de un recubrimiento que disminuye el desgaste. Los revestimientos se preparan por el procedimiento CVD (chemical vapor deposition) o por el procedimiento PVD (physical vapor deposition). Por ejemplo, el documento EP 0736615 A2 da a conocer un recubrimiento multicapa con en total cuatro capas aportadas sobre un sustrato. La capa adherida inmediatamente sobre el sustrato es una capa de TiC_{x}N_{y}O_{z}. La capa que sigue sobre ésta es preferentemente una capa de carbonitruro de titanio Ti_{x}C_{y}N_{z}. Esta capa se deposita por el procedimiento CVD a una temperatura entre 1000ºC y 1100ºC.

Para la obtención por el procedimiento PVD no se dan indicaciones algunas.

Del documento WO-A-96/25291 se conoce un procedimiento PDV para la obtención de capas cristalinas de carbonitruro. El procedimiento PVD se basa en el empleo de objetivos (targets) adecuados que contengan carbono, por ejemplo de grafito, es decir carbono en forma sólida. Por medio de la conducción del proceso y de gérmenes metálicos adecuados se consigue una estructura cristalina del carbonitruro.

Además de esto, el documento US-A-5840435 da a conocer un procedimiento de obtención para la obtención de C_{2}N como capa, por ejemplo sobre nitruro de titanio. Para ello de nuevo se evapora carbono de un objetivo por medio de un rayo láser, para que reaccione en una atmósfera de nitrógeno para dar C_{2}N, que se deposita sobre un sustrato adecuado.

Partiendo de esto, la misión de la invención es proporcionar una herramienta de mecanización con arranque de viruta, resistente al desgaste, así como conseguir un procedimiento racional para su obtención.

Esta misión se resuelve con la herramienta de corte o la placa de corte con las características de la reivindicación 1 de la patente. Además, esta herramienta de corte se obtiene con un procedimiento según la
reivindicación 14.

La herramienta de corte conforme a la invención o la placa de corte adecuada para una herramienta de corte, presenta una capa de carbonitruro. Esta capa se ha formado próxima a la superficie o en la superficie de las zonas de superficie solicitadas y, eventualmente también, en otras zonas de la superficie. La capa de carbonitruro contiene carbono y nitrógeno, por ejemplo como compuesto C_{2}N o con una proporción de carbono todavía más alta. El enlace entre el carbono y el nitrógeno es predominantemente un enlace covalente. Una proporción menor de metal de la capa puede implicar otro tipo de unión. Una capa de carbonitruro de este tipo por regla general presenta un factor de fricción relativamente bajo, que es menor que los factores de fricción de otras muchas capas de material duro y materiales de base conocidos. El factor de fricción menor da lugar a un flujo de virutas de menor desgaste. El rendimiento de arranque de viruta de una placa de corte recubierta con carbonitruro o de una herramienta de corte recubierta con carbonitruro se puede incrementar en comparación con herramientas o, respectivamente, placas de corte, no recubiertas o recubiertas de otra manera. El menor factor de fricción disminuye la tendencia a soldarse de las virutas que se deslizan sobre la superficie afectada, por ejemplo en la mecanización de aceros de alta aleación, de aceros austeníticos, de titanio y de metales ligeros.

Las herramientas con recubrimiento de carbonitruro son especialmente adecuadas para la mecanización de piezas que constan de titanio o de aleaciones de titanio. En comparación con recubrimientos que contienen titanio, aquí se puede excluir o reducir el riesgo de que la superficie de las piezas de titanio se contamine con otros compuestos de titanio diferentes, lo que de otro modo con frecuencia es motivo de reparos en cuanto a la resistencia de las piezas.

La capa de carbonitruro puede presentar una dureza que difiera de la dureza del material base o de las capas que se encuentren debajo, pudiendo ser la dureza de la capa de carbonitruro no sólo superior, sino también inferior que la dureza de las capas que se encuentran debajo o del material base.

La capa de carbonitruro es preferentemente una capa de Me_{x}C_{y}N_{z}:H o una capa de Me_{x}C_{y}N_{z}O_{s}:H
(x \leq 0,2; y/z \geq 2/1), pudiendo estar formado el metal Me por uno o varios metales del grupo cuarto del sistema periódico de los elementos químicos o por aluminio. Este tipo de metales preferentemente está contenido únicamente en una pequeña proporción de átomos por ciento, de forma que la capa de carbonitruro en lo esencial está formada por carbono y nitrógeno. La pequeña proporción de metal también puede estar ausente. En caso necesario, se puede utilizar para un control preestablecido de las propiedades de superficie. Por ejemplo, por medio de una proporción de titanio se puede obtener una estructura en la cual los pequeños cristales de TiC, TiN o TiCN están embutidos en una matriz de CN con proporción de enlace principalmente grafítico (unión covalente).

La capa de carbonitruro se ha puesto de manifiesto como reductora del desgaste especialmente cuando contiene como máximo 50 átomos % de nitrógeno y más de 50 átomos % de carbono. En este caso, ésta puede crecer, por ejemplo como estructura de polímero. En el caso de una forma de ejecución especialmente preferida la relación antes mencionada es y/z > 2, siendo sin embargo el contenido en nitrógeno mayor que 10 átomos %. En casos excepcionales se puede reducir el contenido en nitrógeno hasta 5 átomos %.

La capa de carbonitruro es preferentemente una capa superficial, que entra en competición con las virutas arrancadas y otras partes o zonas de la pieza. Puede formar una capa de cobertura, actuando así inmediatamente como capa protectora del desgaste. Sin embargo, en caso de necesidad aún puede estar prevista una capa de recubrimiento; por ejemplo por razones decorativas.

La capa de carbonitruro se puede depositar mediatamente sobre un cuerpo de base de material de corte. Éste puede consistir en un metal, una aleación metálica o un material cerámico, así como en un material que se encuentre entre los metales y las cerámicas (cermet), como por ejemplo carburo de wolframio con pequeña proporción de cobalto. En este caso se combina la dureza del cuerpo de base con la propiedad atenuante del desgaste del recubrimiento de carbonitruro.

Entre el cuerpo de base y la capa de carbonitruro opcionalmente se pueden disponer una o varias capas intermedias, para influir de forma predeterminada sobre las propiedades de superficie. En este caso, se pueden prever capas intermedias relativamente duras como, por ejemplo, de Ti-AlN, TiCN, TiN, Al_{2}O_{3} u otras. Propiedades especialmente ventajosas resultan en el caso de las estructuras de varias capas, cuando se prevé al menos una capa de Me_{x}(C, N, O). El metal es de nuevo un metal del grupo cuarto del sistema periódico de los elementos químicos. En el caso de tal estructura de varias capas se combina la dureza de esta capa intermedia con las propiedades atenuantes del desgaste de la capa de carbonitruro. En este caso puede ser suficiente que la capa de carbonitruro presente un espesor de, por ejemplo, únicamente 0,1 \mum. Sin embargo, el espesor de la capa es preferentemente algo más grueso, para mantener la protección al desgaste durante largo tiempo.

Como grosor total de capa de las capas depositadas sobre el cuerpo de base ha resultado en el caso de estructura multicapa un espesor de capa entre 0,2 \mum y 10 \mum.

La capa de carbonitruro puede contener una proporción de metal con una concentración decreciente hacia la superficie. Por medio de la estructura, por consiguiente no homogénea de la capa de carbonitruro, aún se dejan optimizar sus propiedades, en especial en cuanto al desgaste por frotamiento, resistencia al desgaste y eventualmente influencia sobre el material mecanizado.

La capa de carbonitruro presenta una estructura amorfa. La estructura amorfa se puede adaptar a casos de aplicación aislados. En cuanto a estados de unión posibles se remite como ejemplo a las Figuras 4 y 5.

El procedimiento conforme a la invención para la obtención de una herramienta de corte conduce a la herramienta de corte deseada. El procedimiento comprende en primer lugar la conformación de la herramienta de corte o de la placa de corte y un subsiguiente recubrimiento al menos de forma parcial por zonas. Para ello ventajosamente se da preferencia a una segregación de la capa de CN a partir de una atmósfera a baja presión, que contiene tanto carbono como nitrógeno. El procedimiento es un procedimiento PVD modificado. En una instalación convencional para recubrimiento PVD, que sirve, por ejemplo, para la obtención de capas de base u otro tipo de capas, la capa de C_{>2}N se obtiene introduciendo en la cámara de recubrimiento los gases del proceso. Los gases del proceso son CH_{4} como portador de carbono y nitrógeno. La presión se encuentra entre 10^{-4} y 10^{-3} mbar. Por medio de una ionización de esta atmósfera como consecuencia de un campo magnético (aproximadamente 1 mT) que envuelve a la herramienta de corte preferentemente en forma de anillo y de una pre-tensión electrostática de las superficies a recubrir se consigue una disociación e ionización de los gases y un recubrimiento homogéneo de las superficies deseadas. Por consiguiente, el procedimiento de recubrimiento es un procedimiento híbrido PVD-CVD. Una ventaja esencial del procedimiento se encuentra en poder integrar capas de C_{x}N_{y} en la preparación de otras clases de recubrimientos de herramientas de corte en el procedimiento PVD, sin tener que emprender previamente cambios constructivos en la cámara de vaporización. El recubrimiento de carbonitruro se produce introduciendo en la cámara de vaporización los gases de proceso a baja presión y bajos caudales. No son necesarios ni objetivos adicionales, ni se perturban otros procesos previos o subsiguientes (procesos de recubrimiento).

Preferentemente, el campo magnético es un campo constante, que fuerza a los iones y a los electrones a órbitas en forma de espiral. Como suministrador de carbono sirve la atmósfera de la cámara de vacío, no existe objetivo de grafito. La tensión catódica y el campo magnético se seleccionan de forma que se obtenga un desgaste del cátodo, escaso y predeterminado. El carbono a segregar se obtiene por ionización/disociación en el plasma que se forma. Todas las fuentes de iones existentes pueden permanecer en la cámara de vacío. No hay que disponer o liberar espacio adicional alguno para un componente adicional (fuente de carbono).

Como fuente de iones se puede utilizar una fuente de iones metálicos o de gas noble. Una fuente de iones metálicos permite también la segregación de una pequeña proporción de metal junto con la segregación de la capa de carbonitruro.

El procedimiento se lleva a cabo en una, y en la misma, cámara de reacción que los procesos de recubrimiento que discurrían anteriormente. Si, por ejemplo, se utiliza para ello una instalación de recubrimiento PVD con cuatro posiciones de fuentes de plasma o de iones, con la misma instalación se puede llevar a cabo la capa de recubrimiento de carbonitruro sin fuentes adicionales de iones, formando en la última etapa del procedimiento una atmósfera a baja presión que contenga carbono y nitrógeno, para lo que se continúa utilizando, por ejemplo, una fuente de iones con objetivo de titanio para la formación del plasma.

Otros detalles de formas de ejecución ventajosas de la invención se desprenden del plano, de la descripción o de las reivindicaciones subordinadas. En el plano se representan formas de ejecución de la invención. Muestran:

Fig. 1 una herramienta de corte con placas de corte recubiertas, en representación perspectiva simplificada,

Fig. 2 una instalación para la fabricación de herramientas de corte recubiertas, en representación esquemática, y

Fig. 3 un detalle tomado de una sección a través de una herramienta de corte con superficie recubierta.

Fig. 4 un espectro XPS en detalle para el nitrógeno de una muestra (placa de corte) recubierta con la capa conforme a la invención, y

Fig. 5 un espectro XPS en detalle para el carbono de una muestra (placa de corte) recubierta con la capa conforme a la invención.

En la Figura 1 se ha representado una herramienta de corte 1, que muestra un cuerpo de la herramienta 2 y sujetas a éste las placas de corte 3, 4. Las placas de corte 3, 4 se han construido iguales entre sí y muestra cada una un cuerpo de base de un metal duro (cermet) tal como, por ejemplo, carburo de wolframio. Las placas de corte 3, 4 están provistas de un revestimiento como se desprende de la Figura 3. Sobre el cuerpo de base de carburo de wolframio WC se han apilado varias capas 5, 6, 7. La capa 7 forma en este caso la capa de cobertura externa. Ésta es una capa de carbonitruro C_{x}N_{y} con un espesor de aproximadamente 0,1 \mum. La capa de cobertura 7, aparte de carbono y nitrógeno, puede contener además metal e hidrógeno. La capa 7 (Me_{x}CN:H) es una capa protectora del desgaste, que presenta un bajo factor de frotamiento frente a materiales usuales tales como, por ejemplo, aluminio, otros metales ligeros, titanio o también material sintético, así como distintos aceros, en especial aceros austeníticos o de alta aleación. Para influir sobre las propiedades de la capa se puede variar la proporción de metal Me_{x}. Se procura que el contenido en metal no sobrepase de 10 átomos %. Preferentemente éste se encuentra por debajo de 5 átomos %. Como metales entran en consideración titanio, circonio, aluminio y otros semejantes. El contenido en carbono medido en átomos por ciento es preferentemente superior al contenido en nitrógeno medido en átomos por
ciento.

Al menos una de las capas 5, 6 que se encuentran debajo puede contener adicionalmente oxígeno y forma una capa de Me_{x} (C, N, O), representando Me_{x} uno o varios metales del grupo IV.

Una herramienta de mecanización con arranque de viruta de este tipo ha resultado extremadamente resistente al desgaste. En especial es baja la tendencia a la soldadura y el desgaste superficial de la superficie de arranque de viruta en la zona inmediatamente vecina al borde de corte. En la Figura 1 se pueden ver zonas de superficie recubiertas, especialmente en la superficie de arranque de viruta Sp que va a continuación del borde de corte S, y la superficie libre F. En el caso más sencillo la placa de corte 3, 4 está totalmente recubierta.

Para obtener el recubrimiento se puede proceder de la forma siguiente:

El recubrimiento se lleva a cabo según un procedimiento PVD modificado en una disposición 11, expuesta de manera esquemática en la figura 2. Ésta muestra una cámara de reacción 12, que se puede cerrar al exterior herméticamente. En la cámara de reacción 12 se puede producir un vacío y, a través de un conducto de entrada 14 representado esquemáticamente en la figura 2, se pueden introducir gases de forma preestablecida en el espacio interior 15. En éste se encuentran dispuestos, además, uno o varios apoyos 16, 17, 18 para herramientas de corte, placas de corte o soportes para herramientas de corte o soportes para placas de corte. Además, en el espacio interior evacuable 15 están dispuestas 4 fuentes de iones 21, 22, 23, 24, que presentan cada una un objetivo, por ejemplo un objetivo de metal 25, 26, 27, 28 (por ejemplo en cada caso en forma de una placa). Los objetivos 21 a 24 son los objetivos necesarios para la obtención de las capas 5, 6, que se encuentran debajo de la capa de cobertura 7. No existen otros lugares para la disposición de fuentes de iones de esta clase. Los objetivos 21-24 forman cátodos. En el espacio interior se genera un plasma a partir del cual impactan iones sobre los objetivos y se desprenden átomos de metal para su segregación sobre las placas de corte. Para el control de la segregación los apoyos 16, 17 18 se pueden cargar con una tensión previa. Además, se puede generar un campo magnético 29 que envuelva en forma anular las piezas a recubrir. Éste se genera preferentemente por medio de bobinas con el eje de la bobina orientado radialmente y de excitación por corriente del mismo signo.

Para la construcción de las capas deseadas, en primer lugar las herramientas de corte o las placas de corte se llevan al espacio interior 15 y se depositan sobre los apoyos 16, 17, 18. A continuación se evacúa el espacio interior 15 y se llena con, por ejemplo, un gas noble a muy baja presión. Controlando de forma correspondiente las fuentes de iones se pueden obtener ahora las capas 5 y 6 por el procedimiento de recubrimiento PVD, en sí conocido. En caso necesario, también se pueden depositar las capas 5, 6 por el procedimiento CVD o de otra manera. Una vez depositadas estas capas 5, 6, se lleva a cabo un procedimiento PVD modificado, dejando entrar ahora en el espacio interior 15, por el conducto 14, un gas que contenga carbono y nitrógeno. Esto, desde luego a baja presión de, como máximo, algunos pocos milibar (10^{-2}…10^{-4}). Una o varias fuentes de iones pueden continuar funcionando, para generar una ionización del gas y una formación de plasma. A partir del plasma que se forma se segregan sobre las herramientas de corte o sobre las placas de corte, para la correspondiente pre-tensión y para el correspondiente campo magnético, las capas deseadas de C_{x}N_{y}. No se establece un equilibrio químico. Para la instalación de recubrimiento también puede ser suficiente sólo una de las fuentes de iones descritas. En lugar de las otras fuentes de iones pueden estar previstos otros componentes adecuados para la segregación.

El recubrimiento tiene lugar en la cámara de vacío a una temperatura de 200ºC a 300ºC y caudales de gas entre 50 y 100 sccm [centímetros estándar por minuto] de metano, así como entre 10 y 100 sccm de nitrógeno. La pre-tensión eléctrica puede suponer de -30 a -200V, manteniendo una presión interna de la cámara de 10^{-3} mbar hasta 10^{-2} bar. En casos extremos la presión puede ser más elevada.

Con el procedimiento de recubrimiento PVD modificado de esta manera, con instalaciones de recubrimiento convencionales, sin grandes modificaciones técnicas de aparatos, se pueden preparar capas de cobertura de CN, con las que se puede conseguir una reducción esencial del desgaste de las herramientas de corte y, con ello, un aumento del rendimiento de la mecanización con arranque de viruta.

La Figura 4 representa un espectro en detalle XPS, tal como se obtuvo sometiendo la placa de corte 4, es decir en especial su capa de cobertura 7, a una radiación de rayos X -Mg k \alpha (electrodo amortiguador de magnesio, capa K, transición \alpha).

Los electrones secundarios obtenidos por excitación de la capa 1s del nitrógeno contenido muestran una energía cinética entre 848 eV y 859 eV. El pico 1s N del nitrógeno se debe atribuir a un enlace CN y se encuentra alejado aproximadamente 3eV del pico 1s vecino, que se debe atribuir a enlaces TiN.

La Figura 5 muestra un espectro en detalle XPS de la muestra con radiación de rayos X -Mg K\alpha. La capa 7, atacada con iones para eliminar todas las contaminaciones de la superficie, muestra un marcado pico C 1s. Por consiguiente, el carbono se presenta como matriz grafítica. En virtud de la elevada potencia de señal de la señal C 1s para enlaces C-C, en la Figura 5 no se ve ninguna clara señal de carbono en enlaces CN.

Una herramienta de corte está provista, al menos por zonas, de un recubrimiento de carbonitruro, que actúa disminuyendo el rozamiento y como capa protectora del desgaste. El recubrimiento se deposita por un procedimiento PVD modificado, introduciendo carbono y nitrógeno en forma de gas en la cámara de reacción para obtener la capa de carbonitruro, al tiempo que se continúa trabajando con una o varias fuentes de iones para la formación del plasma.

Claims

1. Herramienta de corte (1) o placa de corte (3, 4) con un recubrimiento en forma de una capa amorfa para disminuir el desgaste, el cual contiene carbonitruro (C_{x}N_{y}) en enlace covalente, estando presente C_{x}N_{y} con x/y \geq 2, presentando la parte de carbonitruro del recubrimiento un tipo de enlace C-N tal, que para una radiación con rayos X-Mg K \alpha proporciona electrones secundarios con una energía cinética entre 848 y 850 eV.

2. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 1, caracterizada porque la capa de carbonitruro es una capa Me_{x}C_{y}N_{z}O_{s}:H (x \leq 0,2; y/z \geq 2/1), siendo el metal Me uno o varios metales del grupo IV del sistema periódico de los elementos químicos (titanio, circonio, aluminio o similares), siendo la proporción de oxígeno menor que 20 átomos % y conteniendo la capa distintas fases (estructura multifase).

3. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 1 o 2, caracterizada porque la capa de carbonitruro asciende a máximo 30 átomos % de nitrógeno (N) y la proporción de metal (Me) asciende a máximo 10 átomos %.

4. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 3,

caracterizada porque la proporción de metal asciende como máximo a 5 átomos %.

5. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 1 o 2, caracterizada porque la capa de carbonitruro es una capa de superficie.

6. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 1, caracterizada porque la capa de carbonitruro se ha depositado sobre un cuerpo de base de material de corte, el cual está constituido por un metal, una aleación metálica, metal duro o un material cerámico.

7. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 6, caracterizada porque entre el cuerpo de base de material de corte y la capa de carbonitruro se ha depositado una capa intermedia de uno o varios estratos, que puede contener una o varias sustancias, que se han seleccionado de los siguientes grupos: TiAlN, TiCN, TiN, ZrN, Al_{2}O_{3}, pudiendo contener opcionalmente la capa intermedia de uno o varios estratos otras sustancias o capas.

8. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 1, caracterizada porque entre el cuerpo de base de material de corte y la capa de carbonitruro está situada al menos una capa Me_{x}(C, N, O) (por ejemplo TiCN, TiAlCN, TiAlN o similares).

9. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 1, caracterizada porque la capa de carbonitruro presenta un espesor de al menos 0,1 \mum.

10. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 1, o 7, caracterizada porque el espesor total de la capa de carbonitruro y, caso de existir, de una capa situada bajo ella asciende a 0,2 \mum hasta 10 \mum.

11. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 1, caracterizada porque la capa de carbonitruro presenta una proporción en metal que disminuye hacia la superficie.

12. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 11, caracterizada porque la capa de carbonitruro en la cara opuesta a la superficie presenta una proporción en metal de como máximo 50
átomos %, que disminuye hacia la superficie.

13. Herramienta de corte o placa de corte según la reivindicación 1, caracterizada porque sobre la capa de carbonitruro se ha depositado una capa de cobertura.

14. Procedimiento para la obtención de una herramienta de corte o de una placa de corte según la reivindicación 1, en el cual

en una primera etapa, un cuerpo de base, al menos en sus zonas a recubrir, recibe una forma deseada incluidos los bordes y las superficies funcionalmente significativas, después de lo cual

el cuerpo base se somete en una cámara de vacío a una atmósfera al menos parcialmente ionizada, que contiene carbono y nitrógeno,

creándose la capa de carbonitruro en la misma cámara de vacío que las capas precedentes y

el o los procedimientos de recubrimiento precedentes son procedimientos de recubrimiento PVD, en los cuales en una cámara de vacío a baja presión se arranca material de un objetivo y se segrega sobre la superficie a recubrir,

caracterizado porque para obtener la capa de cobertura de carbonitruro se introduce después gas que contiene carbono y nitrógeno a baja presión en la misma cámara de vacío y se ioniza por medio de fuentes de iones existentes, y

porque el recubrimiento en la cámara de vacío se produce a una temperatura de 200ºC a 300ºC y caudales de gas entre 50 y 100 sccm de metano, como gas que contiene carbono, así como entre 10 y 100 sccm de nitrógeno a una pre-tensión eléctrica de -30 a -200 V y a una presión de 10^{-3} mbar a 1 bar.

15. Procedimiento según la reivindicación 14 caracterizado porque la ionización se produce por una fuente de plasma de iones en unión con un campo magnético.

16. Procedimiento según la reivindicación 15, caracterizado porque el campo magnético es un campo magnético del mismo signo que rodea a la herramienta de corte o a la placa de corte a recubrir.

17. Procedimiento según la reivindicación 14, caracterizado porque como fuente de iones se utiliza una fuente de iones de metal o una fuente de iones de gas noble.