EP2567096B1 - Schrauben-vakuumpumpe - Google Patents
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Definitions
- the invention relates to a screw vacuum pump.
- Screw vacuum pumps have two screw rotors in a pump chamber formed by a pump chamber.
- the screw rotors are usually mounted on two sides and may have differently shaped pitch profiles.
- the rotors may have a symmetrical or asymmetrical tooth profile, such as in " Wutz ", Handbook Vacuum Technology, 10th edition, 2010 pp. 270-277 described.
- Such rotors usually have a built-in compression ratio, ie a ratio of the chamber volume of the suction-side chamber to the pressure-side chamber of less than 4. Higher compression ratios lead to very high power consumption at high suction pressures. This would require the use of disproportionately large drive motors (see “Wutz", loc. Cit., Page 276).
- one-sided, or overhung rotors are known. This has the significant advantage that only one bearing must be provided. This is arranged on the pressure side, or on the side of the transmission. The second bearing, which is arranged on the suction side in the region of low pressures, can be omitted here. Flying rotors mounted on the fly must, however, have short rotors, otherwise there is a risk of contact between the rotors during operation. The relatively short length of the rotors has the consequence that the number of turns is small. Furthermore, overhung rotors have a relatively large diameter. The ratio of the rotor length to the distance between the rotor axes is usually less than 2.5.
- a screw vacuum pump in which the built-in compression ratio can be increased up to 10 by varying the pitch of the screw rotors used or a variation of the tooth height of the screw rotors used.
- the variation can be provided stepwise or continuously.
- the object of the invention is to provide a screw vacuum pump with a "built-in compression ratio" of at least 4.5, wherein a simple heat dissipation is realized.
- the screw vacuum pump according to the invention has a pump housing forming a pump chamber.
- two screw rotors are arranged in the pump housing. Since the screw rotors according to the invention are long, it is in each case mounted on both sides screw rotors, so that each screw rotor two bearing elements are provided. Furthermore, the screw rotors have a relatively small diameter, so that the ratio of the length of the screw rotor to the spacing of the rotor axes is greater than 3.0, in particular greater than 3.5 and particularly preferably greater than 4.0. Furthermore, the screw rotors according to the invention have a variable pitch and at least 7, in particular at least 9 and particularly preferably at least 11 turns. The compression ratio according to the invention is at least 4.5, preferably at least 5.
- the rotor has several windings on the pressure side, whose pitch varies only slightly or not. According to the invention, therefore, the slope in the region at half of the turns less than twice the slope at the rotor outlet. In particular, the slope in the region at half of the windings is smaller than the 2-fold pitch, particularly preferably smaller than the 1.5-fold pitch at the rotor outlet. Due to the small pitch change according to the invention on the pressure side of the rotors and the preferably correspondingly selected gap height, the compression takes place over a relatively long region of the rotor. This has the significant advantage according to the invention that better heat dissipation is possible.
- the inventive design of the screw rotors with a high volume ratio built-in also has the advantage that at low pressures, the power consumption is low. As a result, a power consumption based on the pumping speed of less than 12 W / (m 3 h) for outlet pressures below 10 mbar can be realized.
- the heat dissipation takes place exclusively via the pump housing.
- the heat dissipation therefore preferably takes place exclusively via the pump housing.
- a rotor internal cooling which is technically complex, must therefore not be provided.
- the provision according to the invention of a plurality of turns with a small change in pitch in the pressure-side region of the rotors has the advantage that the noise development is markedly reduced. This is due to the fact that the compression takes place over a longer range and thus the pressure difference between the last chamber and the region of the gas outlet is lower. As a result, the re-venting is reduced, with the re-venting pressure waves that cause the noise. Due to the lower recirculation, the noise of free blowing is reduced by 3 to 6 dB (A). This has the significant advantage that a smaller sound-damping element can be provided. Due to the possibility of the construction volume of Damper to reduce, thus, the increase in the length of the vacuum pump due to the longer screw rotors can be at least partially compensated again.
- the profile of the screw rotors is substantially symmetrical.
- trapezoidal profiles, cycloidal profiles or involute profiles are preferred here.
- the gap height i. H. in particular, the distance between the screw rotors and the housing inner wall is selected such that the compression extends over a relatively long area on the outlet side of the rotor.
- Particularly preferred here in the cold state of the turbomolecular pump is a ratio cold gap height / axial distance> 2/1000.
- the gap heights are preferably chosen such that, during final pressure operation, an average chamber pressure of 100 mbar is not reached until after about 20% of the rotor length, measured from the starting side.
- the screw vacuum pump according to the invention has a rated speed of more than 5000 revolutions per minute.
- a pressure relief valve may be provided. Instead of or in addition to the provision of a relief valve, it is possible to provide a speed control. By a corresponding lowering of the speed also over-compression can be avoided. By both measures, the power consumption at high intake pressures and thus the installed engine power can be effectively reduced.
- the two in Fig. 1 shown screw rotors are arranged in a pump housing, not shown.
- the pump housing of the pump chamber 10 is formed, in which the two screw rotors 12, 14 are arranged.
- the two screw rotors have shaft projections 16, 18 on both sides, which are each rotatably supported by bearing elements 20 in the pump housing.
- the second screw rotor is driven by a corresponding toothing (not shown) by the same drive motor, so that the two screw rotors 12, 14 are synchronized with each other and rotate in the opposite direction.
- the screw rotors suck the medium to be delivered on a suction side (arrow 22) and eject the medium on a pressure side (arrow 24).
- the pitch of the screw rotors is represented by the oblique lines 26.
- the pitch varies over the length l of the rotor.
- the slope is significantly lower than in the suction-side region 30.
- the gradient in the pressure-side region 28 is inventively designed such that the slope in the region 31 at half of the turns at most twice the slope at Rotor outlet 24 is. This has the consequence that a relatively long pressure-side region 28 is formed by the slope changes only slightly.
- the compression takes place over the majority of the pressure difference between inlet and outlet.
- the heat to be dissipated is generated essentially in this area.
- the heat is dissipated according to the invention by the housing surrounding the screw rotors 12, 14 in the pressure-side region.
- the ratio of the length l of the screw rotors 12, 14 to the distance d of the rotor axes is therefore greater than 3.0 according to the invention.
- Fig. 2 in the upper part of an inventive screw rotor 12 is shown, the screw rotor 12, 14 in Fig. 1 equivalent.
- a screw rotor 32 is shown in the prior art.
- the screw rotor 32 is shorter and has a smaller number of turns in the pressure-side area, in which the pitch changes only slightly.
- a pressure curve as shown schematically by the line 34. It can be seen that in the pressure-side region 36 of the screw rotor 32, a strong increase in pressure occurs.
- the pressure-side region 28 is significantly longer. Furthermore, the gap height is selected accordingly (cold gap height / axial distance> 2/1000 and hot gap height / axial distance> 12/1000). This results in the pressure increase corresponding to the line 38 in the diagram, which runs flatter.
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Description
- Die Erfindung betrifft eine Schrauben-Vakuumpumpe.
- Schrauben-Vakuumpumpen weisen in einem durch ein Pumpengehäuse ausgebildeten Schöpfraum zwei Schraubenrotoren auf. Die Schraubrotoren sind üblicherweise zweiseitig gelagert und können unterschiedlich ausgebildete Steigungsprofile aufweisen. Die Rotoren können ein symmetrisches oder asymmetrisches Zahnprofil aufweisen wie beispielsweise in "Wutz", Handbuch Vakuumtechnik, 10. Auflage, 2010 S. 270-277 beschrieben. Derartige Rotoren weisen i. d. R. ein eingebautes Verdichtungsverhältnis, d. h. ein Verhältnis des Kammervolumens der saugseitigen Kammer zur druckseitigen Kammer von weniger als 4 auf. Höhere Verdichtungsverhältnisse führen zu sehr hohen Leistungsaufnahmen bei hohen Ansaugdrucken. Dies würde den Einsatz unverhältnismäßig großer Antriebsmotoren erfordern (s. "Wutz" a.a.O. S. 276). Ferner besteht bei der Erhöhung der Verdichtung das Problem, dass hohe Temperaturen im druckseitigen Bereich der Schraubenrotoren auftreten, Die Wärmeabfuhr ist hierbei über das Pumpengehäuse nicht mehr möglich, sodass eine Wärmeabfuhr über eine Innenkühlung der Schraubenrotoren erfolgen müsste. Dies ist technisch aufwändig und erhöht die Herstellungs- und Wartungskosten der Schraubenvakuumpumpe.
Um hohe eingebaute Verdichtungsverhältnisse zu ermöglichen ist in VDI-Bericht Nr. 1932, 2006 beschrieben, die Spalthöhe zu variieren. Hierbei ist beschrieben die Spalthöhe, d.h. insbesondere den Abstand zwischen dem Schraubenrotor und dem Pumpengehäuse, derart auszugestalten, dass er saugseitig größer als druckseitig ist. Aufgrund der druckabhängigen Strömungsarten, die viskos oder molekular sind, ist ein saugseitig größerer Spalt akzeptabel. In Kombination mit einer Absenkung der Rotordrehzahl bewirkt dieser bei hohen Ansaugdrücken eine Verminderung der inneren Verdichtung. Dies hat eine geringere Verdichtungsleistung zur Folge woraus eine geringere Wärmeerzeugung resultiert. Nachteilig ist jedoch, dass die Verminderung der inneren Verdichtung auch eine Verringerung des Saugvermögens zur Folge hat. - Ferner sind einseitig, bzw. fliegend gelagerte Rotoren bekannt. Dies hat den wesentlichen Vorteil, dass nur ein Lager vorgesehen sein muss. Dies ist druckseitig, bzw. auf der Seite des Getriebes angeordnet. Das zweite Lager, das im Bereich der niedrigen Drücke saugseitig angeordnet ist, kann hierbei entfallen. Fliegend gelagerte Schraubenrotoren müssen jedoch kurz bauende Rotoren aufweisen, da ansonsten die Gefahr des Berührens der Rotoren im Betrieb besteht. Die relativ geringe Baulänge der Rotoren hat zur Folge, dass die Anzahl der Windungen gering ist. Ferner weisen fliegend gelagerte Rotoren einen verhältnismäßig großen Durchmesser auf. Das Verhältnis der Rotorlänge zum Abstand der Rotorachsen ist hierbei üblicherweise kleiner als 2,5.
- In Dokument 198 00 711 wird eine Schraubenvakuumpumpe bei der durch eine Variation der Steigung bzw. eine Variation der Zahnhöhe der verwendeten Schraubenrotoren das eingebaute Verdichtungsverhältnis auf bis zu 10 erhöht werden kann. Hierbei kann die Variation schrittweise oder kontinuierlich vorgesehen sein.
- Aufgabe der Erfindung ist es, eine Schraubenvakuumpumpe mit einem "eingebauten Verdichtungsverhältnis" von mindestens 4,5 zu schaffen, wobei eine einfache Wärmeabfuhr realisiert ist.
- Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.
- Die erfindungsgemäße Schraubenvakuumpumpe weist ein einen Schöpfraum ausbildendes Pumpengehäuse auf. In dem Pumpengehäuse sind zwei Schraubenrotoren angeordnet. Da die erfindungsgemäßen Schraubenrotoren lang sind, handelt es sich um jeweils beidseitig gelagerte Schraubenrotoren, sodass je Schraubenrotor zwei Lagerelemente vorgesehen sind. Ferner weisen die Schraubenrotoren einen relativ geringen Durchmesser auf, sodass das Verhältnis der Länge des Schraubenrotors zum Abstand der Rotorachsen größer als 3,0 insbesondere größer als 3,5 und besonders bevorzugt größer als 4,0 ist. Des Weiteren weisen die erfindungsgemäßen Schraubenrotoren eine variable Steigung und mindestens 7, insbesondere mindestens 9 und besonders bevorzugt mindestens 11 Windungen auf. Das erfindungsgemäße Verdichtungsverhältnis beträgt mindestens 4,5 vorzugsweise mindestens 5. Um bei einem erfindungsgemäß großen Verdichtungsverhältnis ein Überhitzen des Rotors zu vermeiden, weist der Rotor druckseitig mehrere Windungen auf, deren Steigung nur geringfügig oder nicht variiert. Erfindungsgemäß ist daher die Steigung im Bereich bei der Hälfte der Windungen kleiner als die zweifache Steigung am Rotorauslass. Insbesondere ist die Steigung im Bereich bei der Hälfte der Windungen kleiner als die 2-fache Steigung, besonders bevorzugt kleiner als die 1,5-fache Steigung am Rotorauslass. Aufgrund der erfindungsgemäßen geringen Steigungsänderung auf der Druckseite der Rotoren und der vorzugsweise entsprechend gewählten Spalthöhe erfolgt die Kompression über einen längeren Bereich des Rotors. Dies hat den erfindungsgemäßen wesentlichen Vorteil, dass eine bessere Wärmeabfuhr möglich ist. Dies ist darin begründet, dass die Verdichtungsarbeit und somit die Abwärme im Wesentlichen im Bereich der hohen Drücke auftritt und aufgrund des erfindungsgemäß deutlich verlängerten Bereichs, in dem diese hohen Drücke auftreten, die Gehäusefläche zur Wärmeaufnahme größer ist. Bei einer bevorzugten Weiterbildung der erfindungsgemäßen Schrauben-Vakuumpumpe sind Schraubenrotoren vorgesehen, die jeweils nur einen Gewindegang aufweisen.
- Aufgrund des erfindungsgemäß vorgesehenen druckseitig langen Bereichs, in dem die Schraubenrotoren eine geringe Steigungsänderung aufweisen, ist es somit möglich, Verdichtungsverhältnisse von mindestens 4,5 zu realisieren und die hierbei auftretende Wärme abzuführen, sodass ein Überhitzen der Rotoren vermieden ist. Hierbei muss berücksichtigt werden, dass die Wärmeabfuhr nur im druckseitigen Bereich erfolgen kann, da in Bereichen niedriger Drücken bzw. hohen Vakuums aufgrund der geringen Gasdichte eine ausreichende Wärmeübertragung auf das Gehäuse nicht möglich ist.
- Die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Schraubenrotoren mit einem hohen eingebautem Volumenverhältnis weist ferner den Vorteil auf, dass bei geringen Drücken die Leistungsaufnahme gering ist. Es kann hierdurch eine Leistungsaufnahme bezogen auf das Saugvermögen von unter 12 W/(m3h) für Ausgangsdrücke unter 10 mbar realisiert werden.
- In besonders bevorzugter Ausführungsform erfolgt die Wärmeabfuhr ausschließlich über das Pumpengehäuse. Neben der Wärmeabfuhr, die über das Medium selbst erfolgt, erfolgt somit die Wärmeabfuhr vorzugsweise ausschließlich über das Pumpengehäuse. Eine Rotor-Innenkühlung, die technisch aufwändig ist, muss somit nicht vorgesehen werden.
- Ferner weist das erfindungsgemäße Vorsehen mehrerer Windungen mit geringer Steigungsänderung im druckseitigen Bereich der Rotoren den Vorteil auf, dass die Geräuschentwicklung deutlich verringert ist. Dies liegt darin begründet, dass die Kompression über einen längeren Bereich erfolgt und somit der Druckunterschied zwischen der letzten Kammer und dem Bereich des Gasaustritts geringer ist. Hierdurch ist die Rückbelüftung verringert, wobei bei der Rückbelüftung Druckwellen entstehen, die die Geräuschentwicklung hervorrufen. Aufgrund der geringeren Rückbelüftung ist auch die Geräuschentwicklung bei freiem Ausblasen um 3 bis 6 dB(A) verringert. Dies hat den wesentlichen Vorteil, dass ein kleineres Schall-Dämpfungselement vorgesehen werden kann. Aufgrund der Möglichkeit, das Bauvolumen des Dämpfers zu reduzieren, kann somit die Vergrößerung der Baulänge der Vakuumpumpe aufgrund der längeren Schraubenrotoren zumindest teilweise wieder kompensiert werden.
- Ferner ist es bevorzugt, dass das Profil der Schraubenrotoren im Wesentlichen symmetrisch ist. Bevorzugt sind hierbei beispielsweise trapezartige Profile, Zykloidenprofile oder Evolventenprofile. Bevorzugt ist es, dass die Spalthöhe, d. h. insbesondere der Abstand zwischen den Schraubenrotoren und der Gehäuseinnenwand so gewählt ist, dass sich die Kompression über einen längeren Bereich an der Auslassseite des Rotors erstreckt. Besonders bevorzugt ist hierbei im kalten Zustand der Turbomolekularpumpe ein Verhältnis Kaltspalthöhe/Achsabstand > 2/1000. Ferner bevorzugt ist es, dass im Betriebszustand, d. h. bei Erreichen der Betriebstemperatur ein Verhältnis von Kaltspalthöhe/Achsabstand > 12/1000 besteht. Erfindungsgemäß werden die Spalthöhen vorzugsweise so gewählt, dass bei Enddruckbetrieb ein mittlerer Kammerdruck von 100 mbar erst nach etwa 20 % der Rotorlänge, von der Anlassseite aus gemessen, unterschritten wird.
- In bevorzugter Ausführungsform weist die erfindungsgemäße Schrauben-Vakuumpumpe eine Nenndrehzahl Drehzahl von mehr als 5000 Umdrehungen pro Minute auf. Ferner kann zur Vermeidung von Überkompressionen im druckseitigen Bereich der Schraubenrotoren ein Überdruckventil vorgesehen sein. Anstatt oder zusätzlich zu dem Vorsehen eines Überdruckventils ist es möglich, eine Drehzahlsteuerung vorzusehen. Durch ein entsprechendes Absenken der Drehzahl kann ebenfalls eine Überkompression vermieden werden. Durch beide Maßnahmen kann die Leistungsaufnahme bei hohen Ansaugdrücken und damit die installierte Motorleistung wirksam reduziert werden.
- Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
- Es zeigen:
- Fig. 1
- eine schematische Draufsicht zweier erfindungsgemäß ausgebildeten Schraubenrotoren und
- Fig. 2
- eine schematische Darstellung eines Schraubenrotors nach dem Stand der Technik im Vergleich zu dem erfindungsgemäßen Schraubenrotor in Verbindung mit einem schematischen Diagramm des Druckverlaufs,
- Die beiden in
Fig. 1 dargestellten Schraubenrotoren sind in einem nicht dargestellten Pumpengehäuse angeordnet. Durch das Pumpengehäuse ist der Schöpfraum 10 ausgebildet, in dem die beiden Schraubenrotoren 12, 14 angeordnet sind. Die beiden Schraubenrotoren weisen beidseitig Wellenansätze 16, 18 auf, die jeweils über Lagerelemente 20 in dem Pumpengehäuse drehbar gelagert sind. Zum Antrieb der beiden Schraubenrotoren 12, 14 ist üblicherweise ein Wellenansatz 18 oder alternativ ein Wellenansatz 16 unmittelbar oder über ein Getriebe mit einem Antriebsmotor verbunden. Der zweite Schraubenrotor wird über eine entsprechende Verzahnung (nicht dargestellt) durch denselben Antriebsmotor angetrieben, sodass die beiden Schraubenrotoren 12, 14 miteinander synchronisiert sind und sich in entgegengesetzte Richtung drehen. Durch die Schraubenrotoren erfolgt ein Ansaugen des zu fördernden Mediums auf einer Saugseite (Pfeil 22) und ein Ausstoßen des Mediums auf einer Druckseite (Pfeil 24). - Die Steigung der Schraubenrotoren ist durch die schräg verlaufenden Linien 26 dargestellt. Aus
Figur 1 ist ersichtlich, dass die Steigung über die Länge l des Rotors variiert. Im druckseitigen Bereich 28 ist die Steigung deutlich geringer als im saugseitigen Bereich 30. Die Steigung im druckseitigen Bereich 28 ist hierbei erfindungsgemäß derart ausgebildet, dass die Steigung im Bereich 31 bei der Hälfte der Windungen maximal das Zweifache der Steigung am Rotorauslass 24 beträgt. Dies hat zur Folge, dass ein verhältnismäßig langer druckseitiger Bereich 28 ausgebildet ist, indem sich die Steigung nur geringfügig ändert. In dem druckseitigen Bereich 28 erfolgt die Kompression über den Großteil der Druckdifferenz zwischen Ein- und Auslass. Somit wird in dem Bereich 28 auch ein Großteil der Verdichtungsarbeit geleitet. Dies hat zur Folge, dass im Wesentlichen in diesem Bereich die abzuführende Wärme erzeugt wird. Hierbei erfolgt das Abführen der Wärme erfindungsgemäß durch das die Schraubenrotoren 12, 14 in dem druckseitigen Bereich umgebende Gehäuse. - Erfindungsgemäß handelt es sich um langbauende Schraubenrotoren 12, 14. Das Verhältnis der Länge l der Schraubenrotoren 12, 14 zu dem Abstand d der Rotorachsen ist daher erfindungsgemäß größer als 3,0.
- In
Fig. 2 ist im oberen Bereich ein erfindungsgemäßer Schraubenrotor 12 dargestellt, der dem Schraubenrotor 12, 14 inFig. 1 entspricht. Darunter ist ein Schraubenrotor 32 nach dem Stand der Technik dargestellt. Der Schraubenrotor 32 ist kürzer und weist in dem druckseitigen Bereich eine geringere Anzahl an Windungen auf, bei denen sich die Steigung nur geringfügig ändert. Bei dem Rotor 32 gemäß dem Stand der Technik ergibt sich ein Druckverlauf, wie schematisch durch die Linie 34 dargestellt. Hieraus ist ersichtlich, dass im druckseitigen Bereich 36 des Schraubenrotors 32 ein starker Druckanstieg erfolgt. - Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung des Rotors 12 ist der druckseitige Bereich 28 deutlich länger. Ferner ist die Spalthöhe entsprechend gewählt (Kaltspalthöhe/Achsabstand > 2/1000 und Warmspalthöhe/Achsabstand > 12/1000). Hierdurch ergibt sich der Druckanstieg entsprechend der Linie 38 im Diagramm, der flacher verläuft.
Claims (10)
- Schraubenvakuumpumpe, mit
einem einen Schöpfraum (10) ausbildenden Pumpengehäuse,
zwei in dem Schöpfraum (10) angeordneten Schraubenrotoren (12, 14), die über jeweils zwei Lagerelemente (20) in dem Pumpengehäuse gelagert sind und deren Verhältnis der Rotorlänge (I) zum Abstand der Rotorachsen (d) größer als 3,0 ist,
wobei die Schraubenrotoren (12, 14) eine variable Steigung, mindestens 7 Windungen und
ein eingebautes Verdichtungsverhältnis von mindestens 4,5 aufweisen,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Steigung im Bereich bei der Hälfte der Windungen kleiner als die zweifache Steigung am druckseitigen Rotorauslass (24) ist. - Schraubenvakuumpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jeder Schraubenrotor (12, 14) nur einen Gewindegang aufweist.
- Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Profil der Schraubenrotoren (12, 14) im Wesentlichen symmetrisch oder asymmetrisch ist.
- Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, dass zur Wärmeabfuhr ausschließlich das Pumpengehäuse aktiv gekühlt wird.
- Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, dass das Verhältnis der Rotorlänge (I) zum Abstand der Rotorachsen (d) größer 3,5 insbesondere größer 4 ist.
- Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens 9, vorzugsweise mindestens 11 Windungen je Schraubenrotor (12, 14) vorgesehen sind.
- Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekennzeichnet, dass das Verdichtungsverhältnis mindestens 5, vorzugsweise mindestens 6 beträgt.
- Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, dass die Spalthöhen so gewählt sind, dass sich ein Enddruck der Vakuumpumpe von mindestens 5 Pa ergibt.
- Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, dass die maximale Drehzahl mehr als 5000 Umdrehungen pro Minute beträgt.
- Schraubenvakuumpumpe nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Vermeidung von Überkompression im druckseitigen Bereich (28) ein oder mehrere Überdruckventile angeordnet sind und/oder die Rotordrehzahl durch eine Drehzahlsteuerung steuerbar ist.
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