EP2261763A1 - Kompensation elektromagnetischer Störfelder - Google Patents

Kompensation elektromagnetischer Störfelder Download PDF

Info

Publication number
EP2261763A1
EP2261763A1 EP10006132A EP10006132A EP2261763A1 EP 2261763 A1 EP2261763 A1 EP 2261763A1 EP 10006132 A EP10006132 A EP 10006132A EP 10006132 A EP10006132 A EP 10006132A EP 2261763 A1 EP2261763 A1 EP 2261763A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
signals
compensation
matrix
real
coils
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP10006132A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP2261763B1 (de
Inventor
Peter Dr. Kropp
Subramanian Krishnamurthy
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Integrated Dynamics Engineering GmbH
Original Assignee
Integrated Dynamics Engineering GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Integrated Dynamics Engineering GmbH filed Critical Integrated Dynamics Engineering GmbH
Publication of EP2261763A1 publication Critical patent/EP2261763A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP2261763B1 publication Critical patent/EP2261763B1/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05FSYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES
    • G05F7/00Regulating magnetic variables

Definitions

  • the invention relates generally to a system for compensation of electromagnetic interference fields.
  • the invention relates to a system for magnetic field compensation with two sensors and a digital processor.
  • feedback control systems are used to compensate for electromagnetic interference fields, in particular magnetic interference fields.
  • One or more sensors measure the amplitude of the interference field for all three Cartesian spatial axes.
  • the measuring signals of the sensors are supplied to a control circuit which calculates control or actuator signals for magnetic field generating devices from the measuring signals of the sensors.
  • the magnetic field to be compensated may be the earth's magnetic field or generated by other current-carrying devices in the environment.
  • Magnetic field compensation systems are used, for example, in conjunction with imaging systems that use electromagnetic fields, such as scanning electron microscopes (SEMs).
  • SEMs scanning electron microscopes
  • the aforementioned devices for generating magnetic fields may in the simplest case be a current-carrying conductor.
  • pairs of Helmholtz coils are used whose distance is equal to an edge length. If a pair of Helmholtz coils are used for each of the three spatial axes, the coil pairs form a cube-shaped cage around the location at which one or more interference fields are to be compensated. In such a coil arrangement, although field inhomogeneities occur inside the cage due to the violation of the Helmholtz condition, these are acceptable for most applications.
  • a device for magnetic field compensation is specified.
  • three coil pairs are arranged to form a cage.
  • the magnetic field to be compensated is measured.
  • an analog controller is used for regulation.
  • a single magnetic field sensor For measuring the magnetic field at the point of interest, a single magnetic field sensor is generally used. Exceptionally, there is a second sensor, which is used for diagnostic purposes. With a single magnetic field sensor, however, it is not possible to determine whether the magnetic field to be compensated is homogeneous or inhomogeneous at the location of the object to be protected.
  • Another problem with the compensation of electromagnetic interference fields is that it is not possible to measure directly at the location where the interference field is to be compensated, since the object to be protected against interference fields is generally located at this location.
  • the invention is therefore based on the object to provide a system for the compensation of electromagnetic interference, in which homogeneous as inhomogeneous magnetic fields can be compensated. It is a further object of the invention to perform a simulation of the measurement of electromagnetic interference fields at the location of the object to be protected.
  • a system for compensating electromagnetic interference fields which has two real three-axis magnetic field sensors, three pairs of compensation coils and a control unit in order to protect an object from the influences of an interference field.
  • the regulator unit is preferably designed as a digital processor, for example as a DSP (Digital Signal Processor) or an FPGA (Field Programmable Gate Array).
  • the total of six output signals of the two real sensors can be combined into three output signals of a virtual sensor.
  • the notification method can be achieved that the output signals of the virtual sensor represent the amplitude of the interference field at the location of the object to be protected.
  • the averaging is done by the control system, which receives the six output signals of the two real magnetic field sensors via six inputs.
  • the interference field is inhomogeneous, it is not appropriate to create a homogeneous compensation field. In this case, it is therefore expedient to use a single actuator coil instead of a pair of Helmholtz coils.
  • M can be a 3x6 matrix and L a 6x3 matrix.
  • the "unneeded" elements of the 6x6 matrices may also be zero.
  • overcompensation or undercompensation is only possible for digital control systems and even there only for non-broadband operating systems.
  • the position of the sensor would have to be adjusted. Such a change in position may require that the sensors for the three spatial axes be positioned at different positions in space.
  • overcompensation or undercompensation is not a suitable method.
  • Fig. 1 shows schematically the system for compensation of electromagnetic interference fields.
  • An object 2 to be protected from the effects of an interference field 1 is penetrated by the interference field 1.
  • the interference field 1 is assumed here as a gradient field.
  • the amplitude of the interference field 1 is measured by two real magnetic field sensors 3 and 4.
  • These two output signals are the in Fig. 2 shown regulator unit 7 supplied in digitized form.
  • the controller unit 7 For the total of 6 signals, corresponding to 2x3 spatial axes, the controller unit 7 has six inputs. Further, the regulator unit 7 has six outputs for outputting control signals for six coils 6.
  • S is generated by the controller unit 7 according to the in Fig. 3 edited algorithm shown schematically.
  • the virtual signals V correspond to the amplitude of the interference field at the location of the object 2 to be protected.
  • M thus describes the geometry of the entire arrangement and how the signals of the two real sensors 3 and 4 are combined to form the virtual signal V.
  • the modification of the signals V is generally represented by the operator O, which is not necessarily a matrix, so that non-linear algorithms can also be used.
  • the modified signals V are converted into real control signals O.
  • O. 0 is again a 6x1 matrix, thus containing 6 individual signals, which are used to control the six coils 6.
  • L is a 6x6 matrix.
  • the concrete elements of their values depend on the type of interference field to be compensated and the geometry of the coil 6 generating the compensation field. For example, if a gradient field acting in the x direction is to be compensated, the two coils acting in the x direction receive control signals of different strengths, see above the two coils generate magnetic fields of different strengths, so that the compensation field is also a gradient field whose direction of field strength change is inversely to that of the interference field.
  • Fig. 5 It can also be arranged two compensation systems directly next to each other. This case is in Fig. 5 shown.
  • three pairs of Helmholtz coils H1a, H2a, H3a or H1b, H2b, H3b each form a cage Ha or Hb.
  • Hb is one of the two real sensors 3, 4.
  • the virtual sensor signal should be composed in the x-direction from the arithmetic mean of the two real sensor signals in the x-direction, since the gradient of the interference field extends in the x-direction.
  • the virtual sensor signal in the y direction should be equal to the signal y direction of the second real sensor, since, for example, the signal in the y direction of the first real sensor contains unwanted components caused by a local interferer.
  • the virtual sensor signal in z-direction should be off Averaging / noise reduction reasons equal to the arithmetic mean of the two real sensor signals in the z-direction.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)
  • Magnetic Resonance Imaging Apparatus (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Abstract

Zur Kompensation sowohl homogener als auch inhomogener Magnetfelder sieht die Erfindung ein System vor zur Kompensation von elektromagnetischen Störfeldern, insbesondere inhomogenen Störfeldern, umfassend: Zwei dreiachsige Magnetfeldsensoren (3, 4) zur Abgabe von realen Sensorssignalen (S1, S2, S3, S4, S5, S6); sechs Kompensationsspulen (6), die als Käfig um ein zu schützendes Objekt (2) angeordnet sind und einzeln ansteuerbar sind; eine Reglereinheit (7) mit sechs Eingängen und sechs Ausgängen sowie mit einem digitalen Prozessor, der die Sensorsignale (S 1 , S 2 , S 3 , S 4 , S 5 , S 6 ) eingangsseitig aufnimmt und zu Ansteuersignalen (O 1 , O 2 , O 3 , O 4 , O 5 , O 6 ) für die Kompensationsspulen (6) verarbeitet, wobei die realen Sensorsignale (S 1 , S 2 , S 3 , S 4 , S 5 , S 6 ) zu virtuellen Sensorsignalen (V 1 , V 2 , V 3 , V 4 , V 5 , V 6 ) durch eine erste Matrixmultiplikation (V = M€¢S) umgerechnet werden, um die Störfelder am Ort des Objekts (2) abzubilden, wonach die virtuellen Sensorsignale (V 1 , V 2 , V 3 , V 4 , V 5 , V 6 ) durch einen die Reglerstruktur beschreibenden Operator (O) zu veränderten Signalen ( V 1 , V 2 , V 3 , V 4 , V 5 , V 6 ) gemacht werden, wobei die veränderten Signale ( V 1 , V 2 , V 3 , V 4 , V 5 , V 6 ) zu realen Ansteuersignalen (O 1 , O 2 , O 3 , O 4 , O 5 , O 6 ) durch eine zweite Matrixmultiplikation (O = L· V ) umgerechnet werden, die den sechs Kompensationsspulen (6) einzeln zugeführt werden.

Description

    Gebiet der Erfindung
  • Die Erfindung bezieht sich allgemein auf ein System zur Kompensation von elektromagnetischen Störfeldern. Insbesondere betrifft die Erfindung ein System zur Magnetfeldkompensation mit zwei Sensoren und einem digitalen Prozessor.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Zur Kompensation elektromagnetischer Störfelder, insbesondere magnetischer Störfelder werden in den allermeisten Fällen Feedbackcontrol Regelungssysteme eingesetzt. Hierbei messen ein oder mehrere Sensoren für alle drei kartesischen Raumachsen die Amplitude des Störfeldes. Die Messsignale der Sensoren werden einem Regelungskreis zugeführt, der aus den Messsignalen der Sensoren Steuer- oder Aktuatorsignale für Magnetfelder erzeugende Vorrichtungen berechnet.
  • Das zu kompensierende Magnetfeld kann das Erdmagnetfeld sein oder von anderen in der Umgebung befindlichen Strom führenden Einrichtungen erzeugt werden.
  • Magnetfeldkompensationssysteme werden beispielsweise im Zusammenhang mit bildgebenden Systemen angewendet, die elektromagnetische Felder verwenden, beispielsweise bei Rasterelektronenmikroskopen (REM).
  • Bei den genannten Vorrichtungen zur Erzeugung von Magnetfeldern kann es sich im einfachsten Fall um einen stromdurchflossenen Leiter handeln. Im Allgemeinen wird aber von Störfeldern ausgegangen, die Fernfeldcharakter haben, d.h. solchen Feldern, deren Feldamplitude sich im Bereich von 5m nicht wesentlich ändert. Diese Annahme trifft beispielsweise bei Störungen von Schienenfahrzeugen zu. Sofern die Störfelder im interessierenden Bereich homogen sind, sollten die Kompensationsfelder ebenfalls homogen sein.
  • Für die Erzeugung homogener Kompensationsfelder werden bevorzugt sog. Helmholtzspulenpaare eingesetzt. Hierbei handelt es sich um jeweils zwei Spulen, die gleichsinnig geschaltet sind und deren Abstand gleich der halben Kantenlänge (= Spulendurchmesser) einer Spule ist (sog. Helmholtzbedingung).
  • Ferner werden Paare von Helmholtzspulen eingesetzt, deren Abstand gleich einer Kantenlänge ist. Wird für jede der drei Raumachsen jeweils ein Paar von Helmholtzspulen verwendet, so bilden die Spulenpaare einen würfelförmigen Käfig um den Ort herum, an dem ein oder mehrere Störfelder kompensiert werden sollen. Bei einer derartigen Spulenanordnung treten aufgrund der Verletzung der Helmholtzbedingung zwar Feldinhomogenitäten im Inneren des Käfigs auf, diese sind aber für die meisten Anwendungsfälle akzeptabel.
  • In der US 2005/0195551 A1 wird ein Gerät zur Magnetfeldkompensation angegeben. Dabei werden drei Spulenpaare zu einem Käfig angeordnet. Das zu kompensierende Magnetfeld wird gemessen. Zur Regelung wird ein analoger Regler verwendet.
  • Es sind auch Systeme erhältlich, bei denen pro Raumachse lediglich eine Spule zur Erzeugung des Kompensationsfeldes verwendet wird, wodurch der Kompensationsbereich, d.h. der Bereich, in dem eine gute Kompensation erreicht wird, aber deutlich verkleinert wird.
  • Zur Messung des Magnetfeldes am interessierenden Ort wird im Allgemeinen ein einziger Magnetfeldsensor eingesetzt. Ausnahmsweise gibt es einen zweiten Sensor, der jedoch zu Diagnosezwecken eingesetzt wird. Mit einem einzelnen Magnetfeldsensor lässt sich jedoch nicht feststellen, ob das zu kompensierende Magnetfeld homogen oder inhomogen am Ort des zu schützenden Objekts ist.
  • Ein weiteres Problem bei der Kompensation elektromagnetischer Störfelder besteht darin, dass nicht unmittelbar an dem Ort gemessen werden kann, an dem das Störfeld zu kompensieren ist, da sich an diesem Ort im Allgemeinen das vor Störfeldern zu schützende Objekt befindet.
  • Ein weiteres Problem tritt auf, wenn zwei Magnetfeldkompensationssysteme unmittelbar benachbart sind. Dann kann es zu unerwünschten Rückkopplungseffekten zwischen den beiden Systemen kommen.
  • Ein weiteres Problem besteht mit den Regelungssystemen. Diese Regelsysteme können in der Regel nur auf eine Anwendung hin optimiert werden. Eine Anpassung an ganz unterschiedliche Regelungsaufgaben, beispielsweise weil sich die Regelungskonfiguration geändert hat, ist in der Regel nicht oder nur beschränkt möglich und/oder sehr schwierig zu realisieren. Auch nichtlineare Regelungssysteme können im Allgemeinen nur mit hohem Aufwand umgesetzt werden. Diese weisen aber unter Umständen eine deutliche bessere Störfeldkompensation auf als lineare Regelungssysteme. Folglich würde für wechselnde Regelungsaufgaben der gesamte Regelkreis oder die Regelschleife neu berechnet, ausgelegt und/oder ausgetauscht werden. Dies kann in den meisten Fällen auch nicht vom Anwender direkt erfolgen.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein System zur Kompensation elektromagnetischer Störfelder bereit zustellen, bei dem homogene wie inhomogene Magnetfelder kompensiert werden können.
    Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, eine Simulation der Messung von elektromagnetischen Störfeldern am Ort des zu schützenden Objekts vorzunehmen.
  • Es ist eine noch weitere Aufgabe der Erfindung, im Falle des Einsatzes von zwei Magnetfeldkompensationssystemen in unmittelbarer Nachbarschaft eventuell auftretende Rückkopplungseffekte auszugleichen.
  • Die wesentlichen Merkmale der Erfindung sind in den Ansprüchen aufgeführt.
  • Im einzelnen ist ein System zur Kompensation elektromagnetischer Störfelder vorgesehen, welches zwei reale dreiachsige Magnetfeldsensoren, drei Paare von Kompensationsspulen und eine Reglereinheit aufweist, um ein Objekt vor den Einflüssen eines Störfeldes zu schützen. Die Reglereinheit ist dabei vorzugsweise als digitaler Prozessor ausgeführt, beispielsweise als ein DSP (engl. DSP; Digitaler Signal Prozessor) oder ein FPGA (engl. FPGA; field programmable gate array).
  • Mittels einer frei definierbaren Art von Mittelung können die insgesamt sechs Ausgangssignale der beiden realen Sensoren zu drei Ausgangssignalen eines virtuellen Sensors zusammengefasst werden. Durch eine geeignete Wahl des Mitteilungsverfahrens kann erreicht werden, dass die Ausgangssignale des virtuellen Sensors die Amplitude des Störfeldes am Ort des zu schützenden Objekts repräsentieren.
  • Die Mittelung erfolgt durch das Regelungssystem, welches die sechs Ausgangssignale der zwei realen Magnetfeldsensoren über sechs Eingänge erhält.
  • Die Ausgangssignale der beiden Magnetfeldsensoren können für jeden Sensor durch einen dreidimensionalen Vektor dargestellt werden. Diese beiden Vektoren können zu einem sechsdimensionalen Vektor, d.h. einer 6x1 Matrix, zusammengefasst werden. Die Mittelung über die Ausgangssignale der beiden realen Sensoren, d.h. die Berechnung der Ausgangssignale des virtuellen Sensors, können durch eine Matrixmultiplikation beschrieben werden: V = M S
    Figure imgb0001
  • V:
    6x1 Matrix der Ausgangssignale des virtuellen Sensors
    M:
    6x6 Matrix, die die Mittelung über die Ausgangssignale der realen Sensoren beschreibt
    S:
    6x1 Matrix der Ausgangssignale des virtuellen Sensors
    Die nunmehr vorliegenden Ausgangssignale (= virtuelle Eingangssignale des Regelsystems) des virtuellen Sensors werden als Input für unabhängige, parallel arbeitende Regelschleifen verwendet. Diese Regelschleifen können breitbandig, frequenzbereichsselektiv oder auch frequenzselektiv sein. Die Regelschleifen weisen Regelalgorithmen auf, die aus den virtuellen Eingangssignalen V veränderte Signale machen. Hierbei ist eine 6x1 Matrix, die die insgesamt sechs veränderten Eingangssignale des Regelsystems darstellen. Der Regelalgorithmus wird durch einen Operator O beschrieben. Hinsichtlich des verwendeten Regelalgorithmus bestehen keinerlei Einschränkungen. Demgemäß muss der Operator 0 keine Matrix sein, so dass auch nichtlineare Algorithmen Verwendung finden können. Der Übergang zu den modifizierten Signalen wird also beschrieben durch V ^ = O V
    Figure imgb0002
  • Um für die sechs Spulen Steuersignale zu gewinnen, wird die Matrix mit einer 6x6 Matrix L multipliziert, d.h. O = L V ^
    Figure imgb0003
  • Hierbei bedeutet:
  • L:
    6x6 Matrix für die Berechnung der Steuersignale O aus den modifizierten Signalen .
  • Der vom Reglersystem angewandte Algorithmus lässt sich also insgesamt wie folgt beschreiben: O = L O M S
    Figure imgb0004
  • Je inhomogener das Kompensationsfeld bei homogener Störung und je homogener das Kompensationsfeld bei inhomogener Störung ist, desto kleiner ist der Bereich um den Feedbacksensor, der einen guten Kompensationseffekt aufweist.
  • Wenn das Störfeld inhomogen ist, ist es nicht zweckmäßig ein homogenes Kompensationsfeld zu erzeugen. In diesem Fall ist es also zweckmäßig, statt eines Paares von Helmholtzspulen eine einzelne Aktuatorspule zu verwenden.
  • In diesem Fall wird nur ein einzelnes Kompensationssystem verwendet, d.h. für die Bearbeitung virtueller Sensorpositionen und für die Erzeugung von Gradientenfeldern werden lediglich drei virtuelle Signale verwendet, so dass M eine 3x6 Matrix und L eine 6x3 Matrix sein kann. Alternativ können die "nicht benötigten" Elemente der 6x6 Matrizen auch gleich Null sein.
  • Im Falle einer Helmholtzspulenanordnung wird nur eine Spule des Paares aktiv angesteuert, und zwar in Abhängigkeit vom Gradienten des Störfeldes unterhalb des Kompensationsbereiches, oder oberhalb des Kompensationsbereiches. Somit ist im Falle einer Änderung der Struktur des Störfeldes neben einer neuen Parametrisierung der Regelkreise eine Umbaumaßnahme zur Positionsänderung der einzelnen Spule nicht notwendig. Werden zwei Kompensationssysteme direkt nebeneinander betrieben, so führt dies zu gegenseitigen Störungen. Die Rückkopplung zwischen den beiden Systemen kann durch eine 6x6 Rückkopplungs- oder Crosscoupling-Matrix C beschrieben werden. C repräsentiert die Rückkopplung eines Steuersignals Oi mit einem virtuellen Signal Vi.
  • Zur Vermeidung von Störungen wird das Feedbacksystem keine optimalen Ergebnisse liefern können. In der Regel ist eine über- oder Unterkompensation nur für digitale Regelungssysteme möglich und auch dort nur für nichtbreitbandig arbeitende Systeme. Für alle anderen Systeme müsste die Position des Sensors angepasst werden. Eine solche Positionsänderung kann es erforderlich machen, dass die Sensoren für die drei Raumachsen an unterschiedlichen Positionen im Raum positioniert werden müssen. Da aber ein einziges Kompensationssystem für alle Arten von Anwendungen angestrebt wird, stellt Über- bzw. Unterkompensation kein geeignetes Verfahren dar.
  • Hierbei wird die Matrix S der Ausgangssignale der realen Sensoren um einen Rückkopplungsanteil zu einer 6x1 Matrix erweitert. Insgesamt gilt also: O = L O M S - C O
    Figure imgb0005
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • Es zeigen:
  • Fig. 1:
    Eine schematische Darstellung des Systems zur Kompensation eines inhomogenen Störfeldes,
    Fig. 2:
    eine schematische Darstellung des Systems zur Kompensation elektromagnetischer Störfelder mit seinem Regelungssystem,
    Fig. 3:
    ein Blockdiagramm der Berechnung der Steuersignale des Systems zur Kompensation elektromagnetischer Störfelder.
    Fig. 4:
    eine schematische Darstellung des Einsatzes eines Magnetfeldkompensationssystems und
    Fig. 5:
    eine schematische Darstellung des Einsatzes zweier Magnetfeldkompensationssysteme unmittelbar nebeneinander.
    Detaillierte Beschreibung der Erfindung
  • Im Folgenden wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren anhand beispielhafter Ausführungsformen näher beschrieben, wobei gleiche Bezugszeichen sich auf gleiche Bauteile beziehen.
  • Fig. 1 zeigt schematisch das System zur Kompensation elektromagnetischer Störfelder. Ein vor den Auswirkungen eines Störfeldes 1 zu schützendes Objekt 2 wird vom Störfeld 1 durchdrungen. Das Störfeld 1 ist hier als Gradientenfeld angenommen.
  • Die Amplitude des Störfeldes 1 wird von zwei realen Magnetfeldsensoren 3 und 4 gemessen. Der erste reale Sensor 3 liefert ein Ausgangssignal S 1 =[x 1(t),y 1(t),z 1(t)] und der zweite reale Sensor 4 liefert ein Ausgangssignal S 2=[x2(t),y 2(t),z 2(t)]. Diese beiden Ausgangssignale werden der in Fig. 2 gezeigten Reglereinheit 7 in digitalisierter Form zugeführt.
  • Für die insgesamt 6 Signale, entsprechend 2x3 Raumachsen, weist die Reglereinheit 7 sechs Eingänge auf. Ferner hat die Reglereinheit 7 sechs Ausgänge zur Abgabe von Steuersignalen für sechs Spulen 6.
  • Die beiden Vektoren S 1 und S 2 werden zu einem Sechser-Vektor bzw. einer 6x1 Matrix S = (S1, S2, S3, S4, S5, S6) zusammengefasst. S wird von der Reglereinheit 7 gemäß dem in Fig. 3 schematisch gezeigten Algorithmus bearbeitet. In einem ersten Schritt werden die insgesamt sechs der Reglereinheit 7 zugeführten Signale in Signale V = (V1, V2, V3, V4, V5, V6) eines virtuellen Sensors 5 (Fig. 1) umgerechnet. Dies geschieht, indem S mit einer 6x6 Matrix M multipliziert wird. Es gilt also V = M S
    Figure imgb0006
  • Die virtuellen Signale V entsprechen der Amplitude des Störfeldes am Ort des zu schützenden Objekts 2. M beschreibt also die Geometrie der gesamten Anordnung und wie die Signale der beiden realen Sensoren 3 und 4 zum virtuellen Signal V zusammengesetzt werden.
  • Die derart erzeugten virtuellen Signale V werden unabhängigen, parallel arbeitenden Regelschleifen zugeführt und weiter bearbeitet. Diese Regelschleifen als Teil der Reglereinheit 7 können breitbandig, frequenzbereichsselektiv oder frequenzselektiv sein. Die Regelschleifen verändern die virtuellen Signale V zu modifizierten Signalen . Der Übergang von V zu wird durch einen Operator 0 beschrieben. Somit gilt: V ^ = O V
    Figure imgb0007
  • Da hinsichtlich der verwendeten Regelalgorithmen keinerlei Einschränkungen bestehen, wird die Modifikation der Signale V allgemein durch den Operator O dargestellt, der nicht notwendigerweise eine Matrix ist, so dass auch nichtlineare Algorithmen Anwendung finden können.
  • Zwecks Gewinnung von Steuersignalen für die Spulen 6 werden die modifizierten Signale in reale Steuersignale O umgerechnet. 0 ist wieder eine 6x1 Matrix, enthält also 6 einzelne Signale, die zur Steuerung der sechs Spulen 6 verwendet werden. Der Übergang von den modifizierten Signalen zu den Steuersignalen 0 wird demnach beschrieben durch O = L V ^
    Figure imgb0008

    bzw. insgesamt: O = L O M S
    Figure imgb0009
  • Hierbei ist L eine 6x6 Matrix. Die konkreten Elemente ihrer Werte hängen ab von der Art des zu kompensierenden Störfelds und der Geometrie der das Kompensationsfeld erzeugenden Spulen 6. Soll beispielsweise ein in x-Richtung wirkendes Gradientenfeld kompensiert werden, erhalten die beiden in x-Richtung wirkenden Spulen unterschiedlich starke Steuersignale, so dass die beiden Spulen unterschiedlich starke Magnetfelder erzeugen, so dass das Kompensationsfeld ebenfalls ein Gradientenfeld ist, dessen Richtung der Feldstärkeänderung umgekehrt zu der des Störfeldes ist.
  • Der bislang beschriebene Algorithmus wird verwendet, so lange nur ein einziges Kompensationssystem verwendet wird. Für diesen Fall werden nur drei virtuelle Signale benötigt. Hierbei werden virtuelle Sensorpositionen berechnet und Gradientenfelder erzeugt. Für diese Zwecke ist es ausreichend, wenn M eine 3x6 Matrix und L eine 6x3 Matrix ist. Alternativ können die "nicht benötigten" Elemente der 6x6 Matrizen auch gleich Null sein.
  • Mit der Regeleinheit 7 können auch zwei direkt nebeneinander positionierte Kompensationssysteme betrieben werden. Dies kann sinnvoll sein, wenn zwei zu schützende Objekte direkt nebeneinander stehen und nicht mit einem großen Kompensationssystem geschützt werden sollen oder können. Dies hat zur Folge, dass die zu schützenden Bereiche aufgrund der zwei eingesetzten Kompensationssysteme ein deutlich kleineres Volumen haben. Daher werden auch keine Gradientenfelder zur Kompensation benötigt. Bei einer solchen Installation ist die Erzeugung von Gradientenfelder zur Kompensation allerdings auch nicht möglich, da die sechs Ausgangssignale der Reglereinheit 7 auf sechs Spulenpaare gegeben werden, die in der jeweiligen Raumrichtung dann jeweils nur ein homogenes Magnetfeld erzeugen können. Die Spulenpaare können in Reihe, parallel oder je nach Impedanz angeschlossen werden. Diese Spulenpaare werden dann jeweils um das zu schützende Objekt 2 platziert und die jeweils dazugehörigen Systeme werden jeweils innerhalb des von den je drei Spulenpaaren gebildeten Käfigs angeordnet. Diese Konfiguration wird in Fig. 4 gezeigt. Drei Paare von Helmholtzspulen H1, H2, H3 sind um an das zu schützende Objekt 2 angeordnet. Die beiden realen Sensoren 3, 4 befinden sich innerhalb des einen Käfigs H.
  • Es können auch zwei Kompensationssysteme direkt nebeneinander angeordnet werden. Dieser Fall ist in Fig. 5 gezeigt. Hierbei bilden jeweils drei Paare von Helmholtzspulen H1a, H2a, H3a bzw. H1b, H2b, H3b je einen Käfig Ha bzw. Hb. In jedem der beiden Käfige Ha, Hb befindet sich einer der beiden realen Sensoren 3, 4.
  • Sofern zwei Kompensationssysteme in unmittelbarer Nachbarschaft eingesetzt werden, können zwischen den beiden Systemen Rückkopplungseffekte auftreten. Diesem Umstand wird dadurch Rechnung getragen, dass eine 6x6 Rückkopplungsmatrix C vorgesehen ist, welche die Anteile derjenigen Signale herausrechnet, die aus einem Ausgangssignal Oi auf ein virtuelles Signal Vi übersprechen. C beschreibt die also die Art der Rückkopplung zwischen den beiden direkt nebeneinander installierten Kompensationssystemen.
  • Erfindungsgemäß wird die 6x1 Matrix der realen Sensorsignale S um den Rückkopplungsanteil erweitert. Wird die 6x1 Matrix dieser erweiterten Signale mit bezeichnet, so gilt S ^ = S - C O
    Figure imgb0010
  • Aus den so gewonnen, um den Rückkopplungsanteil erweiterten Signalen wird in der bereits beschriebenen Weise die 6x1 Matrix mit den virtuellen Sensorsignalen berechnet. Es gilt also: V = M S ^
    Figure imgb0011

    was schließlich zu Steuersignalen 0 gemäß folgender Beziehung führt: O = L O M S - C O
    Figure imgb0012
  • Im Folgenden sei als eine Standardinstallation des Systems angenommen, d.h. es ist nur ein System installiert. Somit treten keine Rückkopplungseffekte auf, was bedeutet, dass die Matrix C gleich der Nullmatrix ist. Ferner sei angenommen, dass sich das virtuelle Sensorsignal in x-Richtung zusammensetzen soll aus dem arithmetischen Mittel der beiden realen Sensorsignale in x-Richtung, da der Gradient des Störfeldes in x-Richtung verläuft. Das virtuelle Sensorsignal in y-Richtung soll gleich dem Signal y-Richtung des zweiten realen Sensors sein, da z.B. das Signal in y-Richtung des ersten realen Sensors von einem lokalen Störer verursachte unerwünschte Komponenten enthält. Das virtuelle Sensorsignal in z-Richtung soll aus Mittelungs-/Rauschunterdrückungsgründen gleich dem arithmetischen Mittel der beiden realen Sensorsignale in z-Richtung sein. Unter diesen Annahmen hat die Matrix M die folgende Gestalt: M = 0 , 5 0 0 0 , 5 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 , 5 0 0 0 , 5 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
    Figure imgb0013
  • Sind die Kompensationsspulen als Paare ausgeführt und soll in y- und in z-Richtung ein homogenes Kompensationsfeld abgestrahlt werden, das in x-Richtung einen Gradienten hat, so hat die Matrix L die folgende Gestalt: L = 0 , 5 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 1 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0
    Figure imgb0014
  • Im folgenden Beispiel wird eine Doppelinstallation betrachtet. D.h. zwei Systeme zur Kompensation elektromagnetischer Störfelder werden direkt nebeneinander betrieben.
  • Da in diesem Fall die Ausgangssignale für beide Kompensationskäfige innerhalb der Reglereinheit 7 bekannt sind, können nunmehr auch Rückkopplungsanteile berücksichtigt und in der Reglerstruktur berücksichtigt werden. Dies geschieht, wie bereits beschrieben, durch Verwendung einer Rückkopplungs- oder Crosscoupling-Matrix C. Diese Matrix C bzw. deren Elemente lassen experimentell recht einfach bestimmen, indem ein Signal auf einen Ausgang des ersten Kompensationssystems gegeben und beim zweiten System gemessen wird, welche Komponenten von den Sensoren des zweiten Systems aufgenommen werden und in welchem Bruchteil der Amplitude verglichen mit dem Sensor des ersten Systems. Diese Signalanteile bilden dann die Elemente der Rückkopplungsmatrix C. Hierbei muss dieses Messverfahren für alle Spulen durchgeführt werden.
  • Strahlt beispielsweise der Ausgang O5 noch mit 40% auf den Sensoreingang S2, so muss das Matrixelement C25 = 0,4 sein.

Claims (2)

  1. System zur Kompensation von elektromagnetischen Störfeldern, insbesondere inhomogenen Störfeldern, umfassend:
    zwei dreiachsige Magnetfeldsensoren (3, 4) zur Abgabe von realen Sensorssignalen (S1, S2, S3, S4, S5, S6);
    sechs Kompensationsspulen (6), die als Käfig um ein zu schützendes Objekt (2) angeordnet sind und einzeln ansteuerbar sind;
    eine Reglereinheit (7) mit sechs Eingängen und sechs Ausgängen sowie mit einem digitalen Prozessor, der die Sensorsignale (S1, S2, S3, S4, S5, S6) eingangsseitig aufnimmt und zu Ansteuersignalen (O1, O2, O3, O4, O5, O6) für die Kompensationsspulen (6) verarbeitet, wobei die realen Sensorsignale (S1, S2, S3, S4, S5, S6) zu virtuellen Sensorsignalen (V1, V2, V3, V4, V5, V6) durch eine erste Matrixmultiplikation (V = M•S) umgerechnet werden, um die Störfelder am Ort des Objekts (2) abzubilden, wonach die virtuellen Sensorsignale (V1, V2, V3, V4, V5, V6) durch einen die Reglerstruktur beschreibenden Operator (0) zu veränderten Signalen ( 1, 2, 3, 4, 5, 6) gemacht werden,
    wobei die veränderten Signale ( 1, 2, 3, 4, 5, 6) zu realen Ansteuersignalen (O1, O2, O3, O4, O5, O6) durch eine zweite Matrixmultiplikation (0 = L•) umgerechnet werden, die den sechs Kompensationsspulen (6) einzeln zugeführt werden.
  2. System nach Anspruch 1, bei dem zwei Käfige (Ha, Hb) um zwei zu schützende Objekte (2a, 2b) vorgesehen sind, die sich gegenseitig beeinflussen, wobei die sechs Ausgänge der Reglereinheit (7) jeweils mit Spulenpaaren verbunden sind, wobei jeweils ein Magnetfeldsensor (3, 4) einem der Objekte (2a, 2b) zugeordnet ist, und wobei die Ansteuersignale ((O1, O2, O3, O4, O5, O6) mit einer Rückkopplungsmatrix (C) multipliziert werden, um wie die Sensorsignale nach Anspruch 1 weiterverarbeitet zu werden.
EP10006132A 2009-06-13 2010-06-14 Kompensation elektromagnetischer Störfelder Active EP2261763B1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009024826A DE102009024826A1 (de) 2009-06-13 2009-06-13 Kompensation elektromagnetischer Störfelder

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EP2261763A1 true EP2261763A1 (de) 2010-12-15
EP2261763B1 EP2261763B1 (de) 2013-01-16

Family

ID=42782933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP10006132A Active EP2261763B1 (de) 2009-06-13 2010-06-14 Kompensation elektromagnetischer Störfelder

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8433545B2 (de)
EP (1) EP2261763B1 (de)
JP (1) JP5529636B2 (de)
DE (1) DE102009024826A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106289206A (zh) * 2016-11-01 2017-01-04 上海海事大学 一种提供稳定地磁场环境的装置和方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011106433B4 (de) * 2011-07-04 2016-10-13 Integrated Dynamics Engineering Gmbh Integrierbare Magnetfeldkompensation für den Einsatz an Raster- und Transmissionselektronenmikroskopen, Schwingungsisolationssystem sowie Verfahren zum Abbilden, Untersuchen und / oder Bearbeiten einer Probe
DE102011086773A1 (de) * 2011-11-22 2013-05-23 Robert Bosch Gmbh Metallsensor
US9389281B2 (en) 2013-03-21 2016-07-12 Vale S.A. Magnetic compensation circuit and method for compensating the output of a magnetic sensor, responding to changes in a first magnetic field
US20150336463A1 (en) * 2014-05-21 2015-11-26 Delphi Technologies, Inc. Active electromagnetic interference mitigation system and method
CN113517676B (zh) * 2021-05-06 2022-10-28 东方电子股份有限公司 一种轻微故障情景防止工频磁场干扰母线差动保护的方法
DE102021210497A1 (de) 2021-09-21 2023-03-23 Siemens Healthcare Gmbh Entstörung von Magnetresonanztomographen
WO2023079550A1 (en) * 2021-11-04 2023-05-11 Safefields Technologies Ltd. System and method for active cancellation of magnetic fields
DE102021131970A1 (de) 2021-12-03 2023-06-07 Integrated Dynamics Engineering Gesellschaft mit beschränkter Haftung Vorrichtung und Verfahren zum Analysieren einer Probe mittels elektrisch geladener Teilchen

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0379374A2 (de) * 1989-01-20 1990-07-25 Fujitsu Limited Messung magnetischer Felder
DE19702831A1 (de) * 1997-01-27 1998-03-12 Siemens Ag Vorrichtung zur Kompensation von externen Feldstörungen des Grundmagnetfeldes bei Kernspintomographen
WO2005078467A1 (en) * 2004-02-13 2005-08-25 Elekta Ab (Publ) A method for interference suppression in a measuring device
GB2411741A (en) * 2004-03-03 2005-09-07 Ims Nanofabrication Gmbh Compensation of magnetic fields

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3403982A1 (de) * 1984-02-04 1985-08-08 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren fuer eine stoerfeldgeregelte magnetische eigenschutzanlage (smes-anlage)
DE4217302A1 (de) * 1991-06-05 1992-12-10 Siemens Ag Magnetische abschirmkammer mit einer aktiven abschirmung

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0379374A2 (de) * 1989-01-20 1990-07-25 Fujitsu Limited Messung magnetischer Felder
DE19702831A1 (de) * 1997-01-27 1998-03-12 Siemens Ag Vorrichtung zur Kompensation von externen Feldstörungen des Grundmagnetfeldes bei Kernspintomographen
WO2005078467A1 (en) * 2004-02-13 2005-08-25 Elekta Ab (Publ) A method for interference suppression in a measuring device
GB2411741A (en) * 2004-03-03 2005-09-07 Ims Nanofabrication Gmbh Compensation of magnetic fields
US20050195551A1 (en) 2004-03-03 2005-09-08 Ims Nanofabrication Gmbh Compensation of magnetic fields

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106289206A (zh) * 2016-11-01 2017-01-04 上海海事大学 一种提供稳定地磁场环境的装置和方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE102009024826A1 (de) 2011-01-27
JP2010287574A (ja) 2010-12-24
US20110144953A1 (en) 2011-06-16
JP5529636B2 (ja) 2014-06-25
EP2261763B1 (de) 2013-01-16
US8433545B2 (en) 2013-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2261763B1 (de) Kompensation elektromagnetischer Störfelder
EP4194875B1 (de) Magnetresonanztomograph mit aktiver störunterdrückung und verfahren zur störunterdrückung in einem magnetresonanztomographen
DE102008029175B4 (de) Verfahren zur Ermittlung einer Pulssequenz zur Ansteuerung einer Hochfrequenz-Sendespule
DE102004045691B4 (de) Verfahren zum Erzeugen eines homogenen hochfrequenten Magnetfelds in einem räumlichen Untersuchungsvolumen einer Magnetresonanzanlage
DE102005049229B3 (de) Verfahren zur Ermittlung von Flipwinkelverteilungen in einer Magnetresonanzanlage, Magnetresonanzanlage und Computerprogrammprodukt
DE19955117C2 (de) Verfahren zum Betrieb eines Magnetresonanztomographiegeräts
DE102010033329B4 (de) Verfahren und Einrichtung zur Ermittlung einer Magnetresonanzsystem-Ansteuersequenz und Verfahren zum Betrieb eines Magnetresonanzsystems
DE102010015066B4 (de) Verfahren und Einrichtung zur Ermittlung einer Magnetresonanzsystem-Ansteuersequenz und Verfahren zum Betrieb eines Magnetresonanzsystems
DE102007013422B4 (de) Verfahren zur Steuerung eines Magnetresonanzsystems und Magnetresonanzsystem
DE102011006151B4 (de) Ermittlung einer hinsichtlich eines HF-Energieparameters optimierten HF-Pulslänge eines Magnetresonanzsystems
DE102012207132B3 (de) Ansteuerung eines Magnetresonanzsystems unter Ermittlung von Sendeskalierungsfaktoren für eine vorgegebene Zielmagnetisierung
DE102010011968A1 (de) Verfahren zur Erzeugung eines Bilds mit einem Magnetresonanztomographen
DE102011007825B4 (de) Verfahren zur Bestimmung der räumlichen Verteilung von Magnetresonanzsignalen in Subvolumen eines Untersuchungsobjektes
DE102011005433B4 (de) Verfahren und Hochfrequenz-Kontrolleinrichtung zur Kontrolle einer Hochfrequenzsendeeinrichtung eines Magnetresonanztomographiesystems
DE102012215255B3 (de) Ansteuerung eines Magnetresonanzsystems unter Berücksichtigung aktueller komponentenbedingter B1-Feld-Maximalwerte
DE102005017310B4 (de) Verfahren zum Erzeugen eines homogenen hochfrequenten Magnetfelds im Inneren einer zylindrischen Körperspule einer Magnetresonanzeinrichtung, sowie Magnetresonanzeinrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102012210827B4 (de) Bestimmung einer Kommunikationslatenz in einem Magnetresonanztomographen
DE102011079490B4 (de) Ansteuerung von Gradientenspulen unter Berücksichtigung der induktiven Kopplung
DE102013220301B4 (de) Ermittlung einer Ansteuersequenz für ein Magnetresonanzbildgebungssystem unter Verwendung eines Ausführbarkeitskriteriums
DE102011084072B4 (de) Zweikanal-Magnetresonanztomographie-System
DE4309958C1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur ortsauflösenden Magnetresonanzuntersuchung eines Meßobjekts
DE102021210499B3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Unterdrückung von bei Magnetresonanzaufnahmen emittierten elektrischen und/oder magnetischen Feldern
DE4432574C2 (de) Bildgebende Kernspinresonanz-Vorrichtung
DE102014201944A1 (de) HF-Puls-Justage-Verfahren und HF-Puls-Justage-Einrichtung
EP4152033A1 (de) Spektrale sättigung bei der magnetresonanztomographie

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

AX Request for extension of the european patent

Extension state: BA ME RS

17P Request for examination filed

Effective date: 20110323

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

REG Reference to a national code

Ref country code: GB

Ref legal event code: FG4D

Free format text: NOT ENGLISH

REG Reference to a national code

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: BOVARD AG, CH

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: LANGUAGE OF EP DOCUMENT: GERMAN

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: REF

Ref document number: 594194

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20130215

Ref country code: CH

Ref legal event code: EP

Ref country code: CH

Ref legal event code: NV

Representative=s name: BOVARD AG, CH

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R096

Ref document number: 502010002085

Country of ref document: DE

Effective date: 20130321

REG Reference to a national code

Ref country code: NL

Ref legal event code: T3

REG Reference to a national code

Ref country code: LT

Ref legal event code: MG4D

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IS

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130516

Ref country code: NO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130416

Ref country code: ES

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130427

Ref country code: SE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: LT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: BG

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130416

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130417

Ref country code: SI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: FI

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: LV

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: PT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130516

Ref country code: PL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: SK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: CZ

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: EE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: RO

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: CY

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

26N No opposition filed

Effective date: 20131017

BERE Be: lapsed

Owner name: INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING G.M.B.H.

Effective date: 20130630

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MC

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: R097

Ref document number: 502010002085

Country of ref document: DE

Effective date: 20131017

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: MM4A

REG Reference to a national code

Ref country code: FR

Ref legal event code: ST

Effective date: 20140228

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: BE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20130630

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: IE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20130614

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: FR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20130701

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: MT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: SM

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: TR

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: HU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT; INVALID AB INITIO

Effective date: 20100614

Ref country code: MK

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

Ref country code: LU

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20130614

REG Reference to a national code

Ref country code: AT

Ref legal event code: MM01

Ref document number: 594194

Country of ref document: AT

Kind code of ref document: T

Effective date: 20150614

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AT

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20150614

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: AL

Free format text: LAPSE BECAUSE OF FAILURE TO SUBMIT A TRANSLATION OF THE DESCRIPTION OR TO PAY THE FEE WITHIN THE PRESCRIBED TIME-LIMIT

Effective date: 20130116

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: NL

Payment date: 20230620

Year of fee payment: 14

Ref country code: DE

Payment date: 20230626

Year of fee payment: 14

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: GB

Payment date: 20230622

Year of fee payment: 14

Ref country code: CH

Payment date: 20230702

Year of fee payment: 14