EP1173728A1 - Elektronische steuerschaltung - Google Patents

Elektronische steuerschaltung

Info

Publication number
EP1173728A1
EP1173728A1 EP01909545A EP01909545A EP1173728A1 EP 1173728 A1 EP1173728 A1 EP 1173728A1 EP 01909545 A EP01909545 A EP 01909545A EP 01909545 A EP01909545 A EP 01909545A EP 1173728 A1 EP1173728 A1 EP 1173728A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
silicon chip
hall sensor
control circuit
magnetic flux
circuit board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP01909545A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Marcus Meyer
Stefan Reck
Stefan Kotthaus
Joerg Wolf
Michael Soellner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of EP1173728A1 publication Critical patent/EP1173728A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Abstract

Die Erfindung geht von einer elektronischen Steuerschaltung (10) mit einer Leiterplatte (12) aus, auf der mehrere elektronische Bauelemente (14, 16, 18, 20, 22) angeordnet sind mindestens. In einem davon (18) ist ein Hallsensor (20, 22) mit einem zur Steuerelektronik gehörenden Schaltungsteil (18) zusammengefasst. Es wird vorgeschlagen, dass der Hallsensor (20, 22) auf einem Siliziumchip (48, 50) und seine aktive Fläche (52) in einem geringen Abstand (68) zu einem relativ zum Hallsensor (20, 22) bewegbaren Magnetflussgeber (38) angeordnet ist.

Description

Elektronische Steuerschaltunq
Stand der Technik
Die Erfindung geht von einer elektronischen Steuerschaltung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 aus.
Im Automobilbereich werden elektrisch betätigte Stellmotoren für vielfaltige Anwendungsmoglichkeiter eingesetzt. Insbesondere beim Einsatz als Fensterneber oder Schiebedachmotor ist eine elektronische Steuerschaltung mit einem Drehwmkelsen- sor, z.B. Hallsensor, vor Ort notwendig, um Funktionen wie z.B. den Schutz gegen Einklemmen zu realisieren. Durch gesetzliche Vorschriften werden m Zukunft höhere Anforderungen an die Sensoπk gestellt, um den Fall des Einklemmens sicher zu erkennen und zu vermeiden. Hierf r ist eine höhere Polzahl eines als Ringmagneten ausgebildeten Magnetflusswandlers erforderlich. Eine honere Polzahl fuhrt jedoch dazu, dass das Magnetfeld schwacher wird und schwieriger von den Sensoren zu erfassen ist. Aus der DE 195 25 292 AI ist eine Vorrichtung zum Erfassen des Drehwinkels, der Drehzahl und/oder der Drehrichtung eines Drehantriebs bekannt. Ein Permanentmagnet ist auf einer Leiterplatte im Elektronikraum eines Elektromotors angeordnet. Die beiden Pole des Magneten sind mit Magnetflussleitern verbunden, die zu der von dem Elektronikraum entfernt angeordneten Ankerwelle des Elektromotors gef hrt sind, wo j e ein Endabschnitt der Magnetflussleiter m einem geringen Abstand von einem mit Ankerwelle bewegten Magnetflussgeber angeordnet ist. Der Magnetflussgeber umfasst ferromagnetische und diama- gnetische Abschnitte, die auf einem Rotationskörper angeordnet sind. Er rotiert mit der Ankerwelle, wodurch sich der magnetische Fluss in dem durch den Permanentmagneten, die Magnetflussleiter und den Magnetflussgeber gebildeten Mag- netkreis ändert. Ein auf der Leiterplatte über dem Permanentmagneten angeordneter Hallsensor erfasst die Magnetfeldande- rung des sich verändernden Streufelds und erzeugt in Abhängigkeit von der Änderung ein elektrisches Ausgangssignal. Dieses wird einer Steuereinheit zugeführt, z.B. einem Mikro- Controller. Die bekannte Steuεrschaluung beansprucht: viel
Bauraum und beinhaltet auf Grund der zahlreichen Einzelteile und der Anordnung dieser zueinander viele Fertigungstoleranzen, die die Sicherheit und Regelgute negativ beeinflussen.
Aus der DE 197 39 682 AI st ferner eine Sensoreinrichtung bekannt, die einen als Hallsensor ausgebildeten, ortsfest angeordneten Magnetfeldsensor umfasst, der magnetisch mit wenigstens einem ortsfesten Magnetflussleiter gekoppelt ist, welcher ein variables Magnetfeld erfasst und dem Hallsensor zufuhrt. Dieser erzeugt ein von der Magnetfeldanderung abhangiges, elektrisches Ausgangssignal f r eine elektronische Steuereinrichtung. Es können zwei im Abstand voneinander angeordnete Hallsensoren vorgesehen sein, von denen wenigstens einer mit wenigstens einem Teil einer elektronischen Steuerschaltung zu einem anwenderspezifischen integrierten Schalt- kreis zusammengefasst in einem elektronischen Bauelement angeordnet ist. Dieses Bauelement ist auf einer vom Magnetflussgeber entfernten Leiterplatte positioniert und zwischen den Endabschnitten wenigstens zweier Magnetflussleiter angeordnet. Zwar weisen die Leiterplatte und die auf ihr angeord- neten Bauelemente eine größere Integrationsdichte auf, jedoch ergeben sich auch hierbei zahlreiche Fertigungstcleranze .
Vorteile der Erfindung
Nach der Erfindung ist der Hallsensor auf einem Siliziumchip angeordnet, das einen zur Steuerelektronik gehörenden Schaltungsteil, z.B. eine Steuereinrichtung, enthält, wobei die aktive Fläche des Hallsensors in einem geringen Abstand zu einem relativ zum Hallsensor bewegbaren Magnetflussgeber an- geordnet ist, z.B. zu einem Ringmagneten. Durch die Integration der Hallsensoren auf dem Siliziumchip der Steuereinrichtung kann auf externe Hallsensoren verzichtet werden, wocurch sich eine geringere Anzahl an Bauelementen und damit eine kleinere Leiterplatte ergibt. Ferner entfallen mit der Anord- nung der kleinen Leiterplatte in unmittelbarer Nähe zum Mag¬ netflussgeber Magnetflußleiter, wodurch ebenfalls die Anzahl der Bauelemente reduziert und weniger Bauraum beansprucht wird.
Das Siliziumchip kann zweckmäßigerweise in einem Gehäuse untergebracht sein und über Anschlußbeinchen mit Leiterbahnen der Leiterplatte durch Loten kontaktiert werden, wobei die aktive Flache des Hallsensors in vorteilhafter Weise auf der dem Magnetflussgeber zugewandten Seite des Siliziumchips liegt, so dass der Abstand zwischen dem Magnetflussgeber und der aktiven Flache des Hallsensors abgesehen von den Lagetoleranzen der Leiterplatte nur von den Toleranzen des Gehäuses des Bauelements und der Lotfuge zwischen der Leiterbahn und den Anschlußbemchen bestimmt wird. Somit kann ein sehr geringer Abstand realisiert werden, der für das präzise und si- chere Erfassen schwacher Magnetfelder besonders wichtig ist.
Nach einer Ausgestaltung der Erfindung ist das Siliziumchip als Flip-Chip auf der Leiterplatte kontaktiert, wobei die aktive Flache des Hallsensors an der Kontaktierungsseite des Siliziumchips angeordnet ist und vom Magnetflussgeber weg weist. Da die Dicke des Siliziumchips kleiner ist als der normale Abstand zwischen der oberen Flache der Gehauseoberkante bei Gehausebauformen, kann der Abstand zwischen der aktiven Flache des Hallsensors und dem Magnetflussgeber weiter verringert werden. Ferner kann bei der Halbleiterherstellung die Dicke des Siliziumchips sehr genau bestimmt werden, und die Hohe der Lotverbindungen zwischen dem Siliziumchip und der Leiterbahn, der so genannten Bumps, unterliegt nur rela¬ tiv geringen Streuungen, so dass in der Toleranzkette der Ab- stand der Leiterplattenoberflache zur aktiven Flache des
Hallsensors wesentlich genauer bestimmt ist. Somit kann die aktive Flache des Hallsensors naher und präziser an den Mag¬ netflussgeber platziert werden und selbst schwächere magneti¬ sche Felder können mit größerer Sicherheit erfasst werden. Außerdem wird bei der Flip-Chip-Technologie das Siliziumchip m einem Reflow-Lotprozess auf die Leiterplatte aufgebracht, wobei sich durch einen Emschwimmvorgang beim Aufschmelzen des Lots eine Selbstzentrierung ergibt. Damit wird sowohl die horizontale als auch die laterale Toleranz gegenüber einer
Kontaktierung über Anschlußbemchen verbessert. Da ferner ein Gehäuse entfallt, und das Siliziumchip mit den Lotverbindungen statt dessen m einer Unterfutterung eingebettet ist, beansprucht das Siliziumchip einschließlich der Unterfutterung deutlich weniger Bauraum als ein Bauelement mit Gehäuse, wodurch die Leiterplatte kleiner und preiswerter gestaltet werden kann.
Um d e Drehrichtung zu erfassen, werden n der Regel zwei Hallsensoren benotigt, die im Abstand zueinander angeordnet sind. Da das Siliziumchip für die Steuereinheit ausreichend groß ist und großer als Siliziumchips für separate Hallsensoren, kann der Abstand zwischen den Hallsensoren relativ groß gewählt werden, ohne dass eine zusätzliche Siliziumflache er- forderlich ist. Der Abstand kann dadurch zweckmaßigerweise dem jeweiligen Anwendungsfall angepasst werden.
Zeichnung
Weitere Vorteile ergeben sich aus der folgenden Zeichnungsbe¬ schreibung. In der Zeichnung sind Ausfuhrungsbeispiele der Erfindung dargestellt. Die Zeichnung, die Beschreibung und die Ansprüche enthalten zahlreiche Merkmale m Kombination. Der Fachmann wird die Merkmale zweckmaßigerweise auch einzeln betrachten und zu sinnvollen weiteren Kombinationen zusammenfassen .
Es zeigen :
Fig. 1 einen elektrischen Stellmotor nach dem Stand der Technik in einer schematischen Explosionsdarstellung, Fig. 2 einen teilweisen Querschnitt durch den Bereich eines Hallsensors nach Fig. 1,
Fig. 3 einen Querschnitt entsprechend Fig. 2 durch eine erfindungsgemäße Steuerschaltung und Fig. 4 eine Variante zu Fig. 3.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
Ein Stellmotor 46 nach dem Stand der Technik umfasst ein Polgehäuse 40 mit mehreren Magneten 42, einen Anker 32, dessen Ankerwelle 34 über Lager 44 im Polgehäuse 40 drehbar gelagert ist und an seinem freien Ende eine Getriebeschnecke 36 trägt, eine Bürstenhalterung 24 mit Bürsten 26, die durch Federn 28 gegen einen Kommutator 30 des Ankers 32 gedrückt werden, und eine Steuerschaltung 10. Die Steuerschaltung 10 besitzt eine Leiterplatte 12, die diskrete Bauelemente in Form einer End- stufe 14, einer Steuereinheit 18 und/oder in Form von Hallsensoren 20, 22 und sonstigen Bauelementen 16 trägt. Die Hallsensoren 20, 22 besitzen auf einem Siliziumchip 50 aktive Flächen 52, die mit einem Magnetflussgeber in Form eines Ringmagneten 38 zusammenwirken, der auf der Ankerwelle 34 zwischen dem Kommutator 30 und der Getriebeschnecke 36 sitzt. Bei der bekannten Steuerschaltung nach Fig. 1 ist der Hali- sensor 20 auf dem Siliziumchip 50 angeordnet, das sich in einem separaten Gehäuse 60 befindet und über Anschlussbeinchen 58 mit einer Leiterbahn 54 der Leiterplatte 12 in einer Lct- fuge 56 verlötet ist. Eine solche Steuerschaltung 10 ist sehr aufwändig und beansprucht viel Bauraum, insbesondere sind große Leiterplatten 12 erforderlich. Ferner können auf dem. Siliziumchip 50 mehrere Hallsensoren 20, 22 nur in einem geringen Abstand zueinander angeordnet werden, wenn nicht der Bauraum zusätzlich vergrößert werden soll.
Bei den erfindungsgemäßen Ausführungen nach Fig. 3 und 4 sind die Hallsensoren 20, 22 auf dem Siliziumchip 48 einer Steuereinheit 18 angeordnet. Durch die Integration entfallen sepa- rate Hallsensoren, so dass die Leiterplatte 12 kleiner ausfallen kann. Ferner können auf dem Siliziumchip 48 die Hallsensoren 20, 22 in einem größeren Abstand 70 voneinander angeordnet werden, weil das Siliziumchip 48 für die Steuereinheit 18 von Hause aus relativ groß ist, so dass der Abstand 70 in weiten Grenzen dem konkreten Anwendungsfall angepasst werden kann, ohne zusätzliche Siliziumfläche zu beanspruchen.
Bei einer Bauelementausführung nach Fig. 3 mit einem Gehäuse 62 sind die Hallsensoren 20, 22 auf der dem Magnetflussgeber 38 zugewandten Seite des Siliziumchips 48 angeordnet. Dadurch kann beim einem kleinen Luftspalt 68 zwischen der Oberfläche des Gehäuses 62 und dem Magnetflussgeber 38 ein geringer Ab¬ stand zwischen der aktiven Fläche 52 der Hallsensoren 20, 22 und dem Ringmagneten 38 eingehalten werden, wobei lediglich die Toleranzen der Lötfuge 56 und des Gehäuses 62 zu den La¬ getoleranzen der Leiterplatte 12 zu berücksichtigen sind. Bei der Ausfuhrung nach Fig. 4 entfallt das Gehäuse 62 und das Siliziumchip 48 ist als Flip-Chip auf der Leiterplatte 12 über Lotverbindungen 64 kontaktiert. In diesem Fall sind die Hallsensoren 20, 22 an der Kontaktierungsseite des Silizium- chips 48 angeordnet, wooei die aktiven Flachen 52 vom Ringmagneten 38 weg weisen. Der Abstand der aktiven Flachen 52 vom Ringmagneten 38 wird durch die Dicke αes Siliziumchips 48 und den Luftspalt 68 bestimmt, wobei die Dicke des Siliziumchips 48 m der Halbleitεrfertigung mit sehr geringen Tole- ranzen gefertigt werden kann. Der Luftspalt 68 wird insbesondere durch die Lagetoleranzen der Leiterplatte 12 und der Dickentoleranzen der Lotverbindungen 64 bestimmt.
Das Siliziumchip 48 ist mit seinen Lotverbindungen 64 m ei- ner isolierenden Unterfutterung 66 emgeoettet. Auf Grund des bei der Flip-Chip-Herstellung angewendeten Reflow-Lotpro- zesses wird beim Aufschmelzen des Lots eine Selbstzentrierung erzielt, wodurch sowohl m horizontaler Richtung als auch m lateraler Richtung die Lagetoleranzen zwischen dem Silizium- chip 48 und der Leiterplatte 12 sehr gering sind.
Be zugszeichen
10 Steuersehaltung 50 Siliziumchip
12 Leiterplatte 52 aktive Flache
14 Endstufe 54 Leiterbahn
16 Bauelement 56 Lotfuge
18 Steuereinheit 58 Anschlussbeinchen
20 Hallsensor 60 Gehäuse
22 Hallsensor 62 Gehäuse
24 Burstenhalterung 64 Lotverbindung
26 Bürsten 66 Unterfutterung
28 Feder 68 Luftspalt
30 Kommutator 70 Abstand
32 Anker
34 Ankerwelle
36 GetriebeSchnecke
38 Ringmagnet
40 Polgehause
42 Magnet
44 Lager
46 Stellmotor
48 Siliziumchip

Claims

Ansprüche
1. Elektronische Steuerschaltung (10) mit einer Leiterplatte (12), auf der mehrere elektronische Bauelemente (14, 16, 18, 20, 22) angeordnet sind, von denen mindestens in einem (18) ein Hallsensor (20, 22) mit einem zur Steuerelektronik gehörenden Schaltungsteil (18) zusammengefasst ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Hallsensor (20, 22) auf einem Siliziumchip (48, 50) und seine aktive Fläche (52) in einem geringen Abstand (68) zu einem relativ zum Hallsensor (20, 22) bewegbaren Magnetflussgeber (38) angeordnet ist.
2. Steuerschaltung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Siliziumchip (48) in einem Gehäuse (62) untergebracht ist und über Anschlussbeinchen (58) mit Leiterbahnen (54) der Leiterplatte (12) kontaktiert ist, wobei die aktive Fläche (52) des Hallsensors (20, 22) auf der dem Mag- netflussgeber (38) zugewandten Seite des Siliziumchips (48) liegt .
3. Steuerschaltung (10) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Siliziumchip (50) als Flip-Chip auf der Leiterplatte (12) kontaktiert ist, wobei die aktive Fläche
(52) des Hallsensors (20, 22) an der Kontaktierungsseite des Siliziumchips (50) angeordnet ist und vom Magnetflussgeber (38) weg weist.
4. Steuerschaltung (10) nach Anspruch 3, dadurch gekenn- zeichnet, dass die Lötverbindungen (64) in einer Unterfütterung (66) eingebettet sind.
5. Steuerschaltung (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Hall- Sensoren (20, 22) im Abstand voneinander auf dem Siliziumchip (48, 50) angeordnet sind.
EP01909545A 2000-02-21 2001-01-31 Elektronische steuerschaltung Withdrawn EP1173728A1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10007868A DE10007868B4 (de) 2000-02-21 2000-02-21 Elektronische Steuerschaltung
DE10007868 2000-02-21
PCT/DE2001/000358 WO2001063210A1 (de) 2000-02-21 2001-01-31 Elektronische steuerschaltung

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP1173728A1 true EP1173728A1 (de) 2002-01-23

Family

ID=7631721

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP01909545A Withdrawn EP1173728A1 (de) 2000-02-21 2001-01-31 Elektronische steuerschaltung

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20020179987A1 (de)
EP (1) EP1173728A1 (de)
DE (1) DE10007868B4 (de)
WO (1) WO2001063210A1 (de)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7709754B2 (en) * 2003-08-26 2010-05-04 Allegro Microsystems, Inc. Current sensor
US20060219436A1 (en) * 2003-08-26 2006-10-05 Taylor William P Current sensor
US7476816B2 (en) * 2003-08-26 2009-01-13 Allegro Microsystems, Inc. Current sensor
EP1955430B1 (de) 2005-12-01 2012-05-23 ebm-papst St. Georgen GmbH & Co. KG Elektromotor
US20070279053A1 (en) * 2006-05-12 2007-12-06 Taylor William P Integrated current sensor
US8093670B2 (en) 2008-07-24 2012-01-10 Allegro Microsystems, Inc. Methods and apparatus for integrated circuit having on chip capacitor with eddy current reductions
BR112012001862A2 (pt) * 2009-07-21 2016-03-15 Adc Telecommunications Inc caixa de montagem de gabinete universal rápida
DE202011002402U1 (de) 2011-02-04 2012-05-07 Dr. Fritz Faulhaber Gmbh & Co. Kg Elektrischer Kleinstmotor
US8629539B2 (en) 2012-01-16 2014-01-14 Allegro Microsystems, Llc Methods and apparatus for magnetic sensor having non-conductive die paddle
US9812588B2 (en) 2012-03-20 2017-11-07 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material
US10234513B2 (en) 2012-03-20 2019-03-19 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor integrated circuit with integral ferromagnetic material
US9494660B2 (en) 2012-03-20 2016-11-15 Allegro Microsystems, Llc Integrated circuit package having a split lead frame
US9666788B2 (en) 2012-03-20 2017-05-30 Allegro Microsystems, Llc Integrated circuit package having a split lead frame
EP2733467B1 (de) * 2012-11-14 2017-07-05 Portescap SA Magnetcodierer
US10345343B2 (en) 2013-03-15 2019-07-09 Allegro Microsystems, Llc Current sensor isolation
US9190606B2 (en) 2013-03-15 2015-11-17 Allegro Micosystems, LLC Packaging for an electronic device
US9411025B2 (en) 2013-04-26 2016-08-09 Allegro Microsystems, Llc Integrated circuit package having a split lead frame and a magnet
US10991644B2 (en) 2019-08-22 2021-04-27 Allegro Microsystems, Llc Integrated circuit package having a low profile
US11800813B2 (en) 2020-05-29 2023-10-24 Allegro Microsystems, Llc High isolation current sensor
US11768230B1 (en) 2022-03-30 2023-09-26 Allegro Microsystems, Llc Current sensor integrated circuit with a dual gauge lead frame
CN115665983B (zh) * 2022-11-14 2023-10-10 惠州市金百泽电路科技有限公司 一种埋置器件pcb板及其制作方法

Family Cites Families (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH662905A5 (de) * 1983-12-19 1987-10-30 Landis & Gyr Ag Integrierbares hallelement.
NL8502683A (nl) * 1985-10-01 1987-05-04 Stichting Ct Voor Micro Elektr Contactloze hoekopnemer.
US6379998B1 (en) * 1986-03-12 2002-04-30 Hitachi, Ltd. Semiconductor device and method for fabricating the same
JPS62242815A (ja) * 1986-04-16 1987-10-23 Hitachi Ltd 磁気エンコ−ダ
KR960000342B1 (ko) * 1989-03-14 1996-01-05 미쯔비시 덴끼 가부시끼가이샤 홀 효과형 센서 장치
DE3908892A1 (de) * 1989-03-17 1990-09-20 Siemens Ag Schaltungsanordnung und vorrichtung zur kontaktlosen sollwertvorgabe fuer einen mit nichtmagnetischem werkstoff umhuellten integrierten schaltkreis
GB2249633B (en) * 1990-10-27 1995-03-15 Birt Electronic Systems Limite Hall effect sensors
DE4218793A1 (de) * 1992-06-06 1993-12-09 Bayerische Motoren Werke Ag Steckkontaktteil für Kraftfahrzeuge
DE4329898A1 (de) * 1993-09-04 1995-04-06 Marcus Dr Besson Kabelloses medizinisches Diagnose- und Überwachungsgerät
DE19525292C2 (de) * 1995-07-03 2001-03-01 Brose Fahrzeugteile Vorrichtung zur Erfassung des Drehwinkels, der Drehzahl und/oder der Drehrichtung eines Drehantriebes
DE19528961C2 (de) * 1995-08-08 1998-10-29 Daimler Benz Ag Mikromechanischer Drehratensensor (DRS) und Sensoranordnung
EP0822415B1 (de) * 1996-07-31 2003-03-26 STMicroelectronics S.r.l. Integrierter kapazitiver Halbleiter-Beschleunigungsmessaufnehmer sowie Verfahren zu seiner Herstellung
US6180419B1 (en) * 1996-09-19 2001-01-30 National Science Council Method of manufacturing magnetic field transducer with improved sensitivity by plating a magnetic film on the back of the substrate
DE59706639D1 (de) * 1996-12-17 2002-04-18 Lab Fuer Physikalische Elektro Verfahren zum aufbringen eines mikrosystems oder wandlers auf ein substrat und nach diesem verfahren herstellbare vorrichtung
DE19652988C2 (de) * 1996-12-19 1999-09-09 Helag Electronic Gmbh Winkelsensor
IT1293905B1 (it) * 1997-05-28 1999-03-11 Sgs Thomson Microelectronics Sensore di posizione bidimensionale di tipo magnetico, in particolare per applicazioni automobilistiche.
SG96541A1 (en) * 1997-08-14 2003-06-16 Inst Of Microelectronics Design of a novel tactile sensor
DE19739682A1 (de) * 1997-09-10 1999-03-11 Bosch Gmbh Robert Sensoreinrichtung
US5883567A (en) * 1997-10-10 1999-03-16 Analog Devices, Inc. Packaged integrated circuit with magnetic flux concentrator
TW370678B (en) * 1997-10-16 1999-09-21 Ind Tech Res Inst Integrated micro-type pressure-resist flow control module
US6529241B1 (en) * 1998-02-27 2003-03-04 Intel Corporation Photodetecting device supporting saturation detection and electronic shutter
US6396539B1 (en) * 1998-02-27 2002-05-28 Intel Corporation CMOS imaging device with integrated defective pixel correction circuitry
JP3646508B2 (ja) * 1998-03-18 2005-05-11 株式会社日立製作所 トンネル磁気抵抗効果素子、これを用いた磁気センサー及び磁気ヘッド
JP3544141B2 (ja) * 1998-05-13 2004-07-21 三菱電機株式会社 磁気検出素子および磁気検出装置
JPH11325960A (ja) * 1998-05-14 1999-11-26 Mitsubishi Electric Corp 磁気検出素子とその製造方法および磁気検出装置
EP1813954A1 (de) * 1998-08-07 2007-08-01 Asahi Kasei Kabushiki Kaisha Magnetsensor und Herstellungsverfahren dafür
US6595408B1 (en) * 1998-10-07 2003-07-22 Micron Technology, Inc. Method of attaching solder balls to BGA package utilizing a tool to pick and dip the solder ball in flux prior to placement
JP4153113B2 (ja) * 1998-12-04 2008-09-17 株式会社デンソー ガス濃度検出装置
US6279832B1 (en) * 1999-03-31 2001-08-28 Melexis Nv Temperature control system
US6300736B1 (en) * 1999-04-09 2001-10-09 Melexis Nv Low pin count DC-motor integrated drive circuit
US6352874B1 (en) * 1999-05-24 2002-03-05 Motorola Inc. Method of manufacturing a sensor
US6564168B1 (en) * 1999-09-14 2003-05-13 Immersion Corporation High-resolution optical encoder with phased-array photodetectors
ATE349680T1 (de) * 1999-09-17 2007-01-15 Melexis Nv Multimedialer hall-effekt sensor
US6593168B1 (en) * 2000-02-03 2003-07-15 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for accurate alignment of integrated circuit in flip-chip configuration

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See references of WO0163210A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2001063210A1 (de) 2001-08-30
US20020179987A1 (en) 2002-12-05
DE10007868B4 (de) 2010-02-18
DE10007868A1 (de) 2001-08-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2001063210A1 (de) Elektronische steuerschaltung
EP1202024B1 (de) Sensormodul mit Blechformteil ( magnetoresistiver Drosselklappensensor )
DE4008141C2 (de) Sensor mit Hall-Effekt
DE68912639T2 (de) Hall-Effekt-Lagebestimmungssystem und -vorrichtung.
DE102005022596A1 (de) Anordnung zur eigensicheren Raddrehzahlerfassung
WO1999013341A1 (de) Sensoreinrichtung
WO2004008080A1 (de) Als hall-sensor ausgebildeter positionssensor
EP2087320A1 (de) Verfahren zur herstellung eines trägerelements mit einem winkelsensor
WO2002069452A2 (de) Einrichtung zur drehwinkeleinstellung
WO2014060174A1 (de) Anschlusselement für eine antriebsanordnung sowie eine antriebsanordnung mit einem anschlussteil
DE102004047784A1 (de) Sensor zur Detektion der Richtung eines Magnetfeldes
DE102014207139A1 (de) Messvorrichtung für eine berührungslose Drehwinkelerfassung
DE19649906A1 (de) Sensor zur Erfassung von Drehwinkeln
WO1996026574A1 (de) Schalter mit einem hall-differenz-ic für berührungslose positionsabfrage, insbesondere im kfz-bereich
DE19708210C2 (de) Regler, insbesondere Temperaturregler wie Raumtemperaturregler
EP1776518B1 (de) Sensor zur messung der position eines stellgliedes
DE29812227U1 (de) Vorrichtung zum Erfassen von Schalterstellungen eines mechanisch betätigbaren Schalters
DE19744673C2 (de) Vorrichtung zur Erfassung der Drehzahl eines umlaufenden Bauteiles, insbesondere für ein Kraftfahrzeug
DE3001820A1 (de) Magnetschranke
DE4219907C2 (de) Magnetischer Sensor
WO2022008210A1 (de) Elektronikeinheit für ein elektrogerät
DE19643947C9 (de) Verschlußeinrichtung für eine Kraftfahrzeugtür mit Türschloß und Schloßhalter
DE10328207A1 (de) Stromsensor für ein Steuergerät
DE19607199C2 (de) Verstelleinrichtung
WO2018220036A1 (de) Elektronische komponente und verfahren zur herstellung einer elektronischen komponente

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

17P Request for examination filed

Effective date: 20020228

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): DE ES FR GB IT

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE APPLICATION IS DEEMED TO BE WITHDRAWN

18D Application deemed to be withdrawn

Effective date: 20050802