Vorrichtung zur optischen Untersuchung von Oberflächen
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optischen Untersuchung von Oberflächen, ins¬ besondere von Objektträgern. Die Vorrichtung beinhaltet ein Stativ, an dem ein Objekt¬ trägerhalter befestigt ist sowie eine Halterung, die über mindestens einen Abstandshalter an dem Stativ befestigt ist. An der genannten Halterung ist ein Zeilensensor, bei dem eine Vielzahl von Sensoren in einer Reihe angeordnet sind sowie ein Linsensystem, das ein Bild des Objektträgers oder eines Teiles des Objektträgers auf den Zeilensensor abbildet, be¬ festigt. Die Vorrichtung besitzt weiterhin eine Beleuchtungseinrichtung zur Beleuchtung des Objektträgers und einen Antrieb zur Bewegung der Halterung im wesentlichen senkrecht zur Reihe von Sensoren des Zeilensensors unter Verbiegen, Verkippen oder Verschwenken des mindestens einen Abstandshalters.
Automatisch arbeitende Vorrichtungen zur Untersuchung von Oberflächen bzw. von Ob¬ jektträgern basieren im allgemeinem auf einem Videosystem, bei dem ein Bild der Ober¬ fläche auf ein zweidimensionales CCD-Array projiziert wird. Zweidimensionale CCD- Arrays zum Einsatz in Videokameras sind in den vergangenen Jahren stark im Preis gesun¬ ken. Derartige im Stand der Technik gebräuchliche CCD-Arrays sind jedoch für den Einsatz in der mikroskopischen Analyse nur bedingt geeignet, da sie eine verhältnismäßig geringe Zahl von Sensoren aufweisen und weiterhin eine relativ hohe Rate an fehlerhaften Sensor¬ elementen aufweisen. Während die Fehlfunktion einzelner Pixel in preisgünstigen Video¬ kameras toleriert werden kann, sind diese Arrays zum Einsatz in der mikroskopischen Ana¬ lyse wenig geeignet. CCD-Arrays mit hinreichend hoher Auflösung und sehr geringen Fehlerraten der Pixel sind nach wie vor sehr teuer und daher für den Aufbau eines Systems für Arztpraxen und kleinere Laboratorien nicht geeignet.
In der US-Patentschrift 4,550,417 wird eine Apparatur zur Zählung von Mikropartikeln be¬ schrieben, bei der ein Objektträger unter einem Zeilensensor hindurchbewegt wird. Der Objektträger wird hierfür in einen speziellen Halter eingespannt, der seinerseits über einen
Linearantrieb verschoben wird. Der in Figur 4 dargestellte Linearantrieb besteht aus einem Synchronmotor, der den Probenträger gegen die Kraft einer Rückstellfeder mit konstanter Geschwindigkeit bewegt. Um die geforderte hohe Präzision zu erreichen, müssen die Kräfte zur Halterung des Probenträgers wesentlich größer sein, als die bei der Verschiebung des Probenträgers auftretenden Reibungskräfte. Demgemäß ist das hier beschriebene System mit einem sehr starken Motor sowie entsprechend starken Rückstellfedern ausgestattet. Ein weiterer Nachteil dieser Apparatur besteht darin, daß die Probe bewegt wird und somit Be¬ schleunigungskräfte des Antriebes sowie Erschütterungen beim Transport des Probenträgers zu einer Bewegung der nachzuweisenden Teilchen führen. Dies beeinträgt die Verläßlichkeit der Zählung und erschwert eine Identifizierung bzw. Klassifizierung gefundener Teilchen anhand der Sensorsignale. Weiterhin verwendet die hier beschriebene Apparatur eine ortsfeste Lichtquelle zur Beleuchtung des Probenträgers. Dies ist nachteilhaft, da der ge¬ samte beobachtete Bereich homogen ausgeleuchtet werden muß. Dementsprechend ist die in Figur 3 dargestellte aufwendige und energieintensive Beleuchtung notwendig. Um eine Erwärmung der Probe durch die Lichtquelle zu vermeiden wird hier die Lichtquelle räum¬ lich von der Probe getrennt und über einen Umlenkspiegel eingekoppelt.
Aufgabe der Erfindung war es, ein einfaches und kostengünstiges System zur optischen Untersuchung von Oberflächen zur Verfügung zu stellen, das mit einer hohen Auflösung arbeitet. Es war weiterhin Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung vorzuschlagen, die ein Verwackeln von auf Objektträgern befindlichen Proben verhindert. Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung war es, mit einer mechanisch einfachen und kostengünstigen An¬ ordnung einen präzisen Transport eines Zeilensensors über eine Oberfläche zu ermöglichen.
Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung zur optischen Untersuchung eines Objektträgers, beinhaltend
ein Stativ, an dem ein Objektträgerhalter befestigt ist,
eine Halterung, die über mindestens einen Abstandshalter an dem Stativ befestigt ist,
einen an der Halterung befestigten Zeilensensor, bei dem eine Vielzahl von Sensoren in einer Reihe angeordnet sind,
ein an der Halterung befestigtes Linsensystem, das ein Bild des Objektträgers oder eines Teiles des Objektträgers auf den Zeilensensor abbildet,
eine Beleuchtungseinrichtung zur Beleuchtung des Objektträgers sowie
einen Antrieb zur Bewegung der Halterung im wesentlichen senkrecht zur Reihe von Sensoren des Zeilensensors unter Verbiegen, Verkippen oder Verschwenken des mindestens einen Abstandshalters.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung dient zur optischen Untersuchung eines Objektträgers. Unter optischer Untersuchung ist im Rahmen der Erfindung eine Untersuchung zu ver¬ stehen, bei der durch den Objektträger transmittierte oder vom Objektträger zurückge¬ worfene Strahlung ausgewertet wird. Die Bezeichnung optisch ist dabei nicht als auf sicht¬ bares Licht beschränkend zu verstehen sondern schließt auch Strahlungen im infraroten und ultravioletten Teil des Spektrums mit ein. Mit der erfindungsgemäßen Apparatur können auch Fluoreszenzmessungen durchgeführt werden. In der Regel wird die Probe zunächst mit einem Fluoreszenzfarbstoff angefärbt, und die auf dem Objektträger befindliche Probe mit einer Strahlung beleuchtet, die Fluoreszenz anregt. Zur Trennung der Fluoreszenzstrahlung von Hintergrundstrahlung ist es insbesondere bei dieser Meßmethode vorteilhaft, im Strahlengang vor dem Zeilensensor Filter vorzusehen.
Unter dem Begriff "Objektträger" sollen im Sinne der Erfindung insbesondere Objektträger verstanden werden, wie sie im Stand der Technik für die Untersuchung von flüssigen Proben verwendet werden. Weiterhin sollen unter Objektträgern jedoch auch diagnostische Testelemente verstanden werden, bei denen eine Probe, in der Regel eine Körperflüssigkeit, auf das Testelement aufgegeben wird und eine Reaktion der Probe mit dem Testelement untersucht wird. Insbesondere ist die vorliegende Erfindung gemäß Anspruch 1 und 4 zur Untersuchung von diagnostischen Testelementen geeignet, die einer Transmissionsmessung zugänglich sind. Mit einer Vorrichtung gemäß Anspruch 2 können auch Testelemente aus¬ gewertet werden, die im wesentlichen strahlungsundurchlässig sind. Vorallem sind erfin¬ dungsgemäße Vorrichtungen zur Auswertung von diagnostischen Testelementen vorteilhaft, wenn die Testelemente ein in der Ebene aufgelöstes Meßsignal liefern, wie dies beispiels¬ weise bei Chromatographieteststreifen oder Teststreifen mit eng benachbarten unterschied¬ lichen Zonen der Fall ist.
Ein wichtiger Aspekt der Erfindung besteht darin, daß der Objektträger, auf dem sich die Probe befindet, während der Untersuchung raumfest ist und nicht bewegt wird, wodurch Erschütterungen des Objektträger sowie Bewegungen der Probe vermieden werden. Dem-
gemäß besitzt die Vorrichtung einen Objektträgerhalter, der an einem Stativ befestigt ist. Das Stativ ist während der Messung raumfest, jedoch prinzipiell transportabel.
Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist die Anordnung aus Zeilensensor, Linsensystem sowie Beleuchtung raumfest und der Objektträger wird bewegt. Erfindungsgemäß befindet sich der Objektträger innerhalb einer Halterung, die über einen Abstandshalter mit dem Stativ verbunden ist. Die Halterung wird im wesentlichen senkrecht zur Reihe von Sensoren des Zeilensensors unter Verbiegen, Verkippen oder Verschwenken des mindestens einen Abstandshalters bewegt.
Der Objektträgerhalter kann beispielsweise durch den Kreuztisch eines herkömmlichen Mikroskopes realisiert werden. Vorteilhafterweise ist der Halter jedoch an eine spezifische Art von Objektträgern angepaßt, die mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung verwendet werden. Vorzugsweise ist der Objektträgerhalter so ausgestaltet, daß ein Objektträger in ihn eingeschoben werden kann und der Objektträger in seiner Bestimmungsposition durch An¬ schlagskanten gehaltert und positioniert wird. Ebenfalls sollte der Objektträgerhalter eine plane Oberfläche zur Unterstützung des Objektträgers sowie eine Andruckvorrichtung für den Objektträger besitzen, um sicherzustellen, daß sich die Auswertezone des Objektträgers in einem definierten Abstand zum Linsensystem der Vorrichtung befindet. Der Ob¬ jektträgerhalter kann beispielsweise auch Führungsschienen besitzen, in die der Objektträger eingeschoben wird, wodurch ein definierter Abstand von Objektträger und Linsensystem eingestellt wird.
Ein weiterer wichtiger Aspekt der vorliegenden Erfindung besteht in einer Halterung, an der sowohl ein Zeilensensor als auch ein Linsensystem befestigt ist. Die Halterung besteht aus einem starren Material, um so einen definierten Abstand von Zeilensensor und Linsensystem zu gewährleisten. Die Halterung ihrerseits ist über mindestens einen Abstandshalter an dem Stativ befestigt. Diese Art der Halterung ist ein vorteilhafter Aspekt der Erfindung, da sie mit geringem mechanischem Aufwand eine präzise Verschiebung der Halterung und damit der Anordnung aus Zeilensensor und Linsensystem im Raum ermöglicht. Werden die einzelnen Komponenten direkt am Abstandshalter befestigt, so kann auch auf eine separate Halterung verzichtet werden.
Der mindestens eine Abstandshalter ist so gestaltet, daß er verbogen, verkippt oder ver¬ schwenkt werden kann. Beispielsweise kann der Abstandshalter über ein Scharnier an dem Stativ befestigt sein, so daß er um die Schamierachse bewegt werden kann. Die Scharnier-
achse ist dabei so angeordnet, daß der Zeilensensor in einer Ebene verschwenkt wird, die parallel der Untersuchungsebene ist. Für viele Anwendungen wird man bestrebt sein, den Abstand des Zeilensensors von der Untersuchungsebene konstant zu halten. Demgemäß muß darauf geachtet werden, daß die Scharnierachse möglichst senkrecht zur Unter¬ suchungsebene angeordnet ist. Weiterhin sollte das Scharnier möglichst wenig Spiel auf¬ weisen und der Abstandshalter mechanisch so stabil sein, daß eine Verbiegung in Richtung auf die Untersuchungsebene weitestgehend ausgeschlossen werden kann. Erfindungsgemäß geeignete Scharniere sind außer den gewöhnlichen Scharnieren, bei denen ein Zapfen in eine Hülse greift oder ein Stab durch Bohrungen im Stativ sowie im Abstandshalter geführt ist, auch die aus der Kunststofftechnik bekannten Band- und Filmscharniere.
Bei einer besonders bevorzugten Variante der Vorrichtung wird ein elastisch verbiegbarer Abstandshalter eingesetzt, der an dem Stativ befestigt ist. Die Verbiegbarkeit ermöglicht eine Bewegung des dem Stativ abgewandten Endes des Abstandshalters bzw. der an diesem Ende befestigten Halterung parallel zur Untersuchungsebene. Eine Verbiegung des Abstandshalters senkrecht zur Untersuchungsebene wird durch eine Materialsteifigkeit des Abstandshalters in dieser Richtung weitestgehend vermieden. Vorteilhaft weist der Abstandshalter in der gewünschten Verbiegungsrichtung eine Elastizität auf, so daß eine erfolgte Verbiegung reversibel ist.
Ein elastisch verbiegbarer Abstandshalter kann beispielsweise aus einer Blattfeder bestehen. Als Federmaterialien sind elastische Stahlplatten oder auch Kunststofrplatten geeignet. Über die Länge des Abstandshalters, die Dicke, die Fläche sowie das Material kann die Rück¬ stellkraft des Abstandshalters eingestellt werden. Bevorzugt wird als Abstandshalter eine Platte gewählt, die durch ihre Breite einen Abstand von Stativ und Halter von mehreren Zentimtern einstellt. Die Länge des Abstandshalters beträgt in der Regel ebenfalls mehrere Zentimeter und ist vorzugsweise länger ist als der Abstand von Zeilensensor und Linsen¬ system. Bei geeigneter Befestigung des Abstandshalters an Stativ und Halter wird durch seine Länge sichergestellt, daß die Halterung durch Verbiegung des bzw. der Abstandshalter über die Untersuchungsebene bewegt werden kann, ohne daß eine Verkippung der optischen Anordnung gegenüber dem Stativ stattfindet. Durch Abstandshalter, die Scher¬ kräften ohne Verbiegung standhalten, kann eine Parallelverschiebung von Stativ und Halte¬ rung in Richtung der optischen Achse oder gar eine Verkippung vermieden werden. Werden plattenförmige Abstandshalter verwendet, so kann dies auf einfache Weise gewährleistet werden. Die genannten Eigenschaften der Abstandshalter sind wichtig, da so die Anordnung aus Zeilensensor und Linsensystem in konstantem Abstand über die Ebene des Objekt-
trägers geschwenkt werden kann. Bei einer besonders einfachen Ausgestaltung der Erfin¬ dung können Zeilensensor und Linsensystem auch direkt am Abstandshalter befestigt wer¬ den. Der Abstandshalter übernimmt in diesem Fall auch die Funktion der Halterung.
Vorzugsweise ist die Halterung über zwei zueinander beabstandete Abstandshalter an dem Stativ befestigt. Bei Bewegung des Halters über Verbiegen, Verkippen oder Verschwenken der Abstandshalter werden Stativ und Halterung parallelogrammartig zueinander verscho¬ ben. Durch Verwendung von zwei Abstandshaltern kann eine Verkippung des Zeilensensors vermieden werden. Werden Abstandshalter verwendet, die über Scharniere an dem Stativ befestigt sind, so ist es bevorzugt, wenn die meachanische Verbindung der Abstandshalter mit der Halterung ebenfalls über Scharniere erfolgt. Auch bei der Variante der Vorrichtung mit zwei zueinander beabstandeten Abstandshaltem sind elastisch verbiegbare Ab¬ standshalter bevorzugt.
Vorteilhaft für die Erfindung ist es ebenfalls, wenn Stativ, Halter und 2 Abstandshalter mit¬ einander einen nach außen in 4 Raumrichtungen abgeschlossenen Turm bilden, da durch diese Anordnung das Eindringen von Außenlicht in die Untersuchungsoptik reduziert wird.
Gegebenenfalls können elastisch verbiegbare Abstandshalter durch an ihnen befestigte starre Materialien in ihrer Federkraft variiert und die verbiegbaren Bereiche der Abstandshalter genau definiert bzw. begrenzt werden. Experimentell hat es sich herausgestellt, daß eine Rückstellkraft der Abstandshalter zwischen 5 und 10 g/mm besonders vorteilhaft ist. In Anordnungen, in denen der Halter durch zwei oder mehr Abstandshalter mit dem Stativ verbunden ist, bezieht sich der genannte vorteilhafte Bereich der Rückstellkraft auf die Summe der Rückstellkräfte, die durch alle vorhandenen Abstandshalter erzeugt werden.
Die genannten Ausführungsformen für den bewegbaren Abstandshalter sind in analoger Weise für die zweite Ausführungsform verwendbar, bei der Zeilensensor, Linsensystem sowie Beleuchtung starr an einem Stativ befestigt sind und sich der Objektträger in einer Halterung befindet, die über einen Abstandshalter mit dem Stativ verbunden ist.
Ein weiteres, wichtiges Element erfindungsgemäßer Vorrichtungen ist ein an der Halterung befestigter Zeilensensor. Als Zeilensensoren werden Sensoren bezeichnet, die eine Vielzahl von Einzelsensoren eng benachbart und in einer Reihe angeordnet besitzen. Im Stand der Technik sind insbesondere sogenannte CCD-Arrays gebräuchlich. Um die für die Unter¬ suchung von Oberflächen notwendige hohe Auflösung für ein repräsentatives Areal der zu
untersuchenden Fläche zu gewährleisten, sollten Sensoren mit mindestens 500, besser mehreren 1000 Einzelsensoren eingesetzt werden. Aufgrund des vielfältigen Einsatzes der genannten Sensoren, beispielsweise in Faxgeräten und Scannern, sind bereits Sensoren mit beispielsweise 10.000 linear angeordneten Einzelsensoren zu relativ niedrigen Preisen zu er¬ halten. Ein für die Erfindung einsetzbarer Zeilensensor sollte zumindest in einem Teil des sichtbaren Spektrums eine breitbandige Empfindlichkeit aufweisen. Der Sensor benötigt zumindest in dem Strahlungsbereich der Beleuchtung eine ausreichende Empfindlichkeit.
In besonderen Fällen kann es vorteilhaft sein, wenn der Sensor mehrere Reihen von Sensorelementen aufweist, wie dies beispielsweise bei dem Sensor TCD 1250D der Firma Toshiba der Fall ist. Ein solcher Sensor kann beispielsweise eingesetzt werden, wenn die mechanisch erreichbare Schrittweite unterhalb der gewünschten Auflösung der Oberfläche zurückbleibt. Für jeden mechanischen Bewegungsschritt können mit einem mehrreihigen Sensor mehrere Zeilen der Oberfläche aufgezeichnet werden. Ein weiterer Vorteil eines zwei- oder mehrreihigen Sensors liegt in der Möglichkeit zur Kontrolle der mit einer Sensorzeile erhaltenen Ergebnisse mit einer weiteren Sensorzeile.
Eine erfindungsgemäße Vorrichtung besitzt weiterhin ein Linsensystem, das an der Halte¬ rung befestigt ist. Dieses Linsensystem besteht in der Regel aus mehreren hintereinander ge¬ schalteten Linsen, die zu einem Objektiv angeordnet sind. Da bei der vorliegenden Vorrich¬ tung ein schmaler Streifen einer Oberfläche auf einen Zeilensensor abgebildet wird, sind die im Linsensystem verwendeten Linsen vorzugsweise zylindrisch ausgebildet. Das Linsen¬ system ist starr am Halter befestigt, so daß ein Bild der Oberfläche mit einer genau vorbe¬ stimmten Vergrößerung auf den Zeilensensor abgebildet wird. Insbesondere für Anwendun¬ gen, bei denen der Abstand der zu untersuchenden Oberfläche zum Linsensystem nicht ge¬ nau bekannt ist oder nicht festgelegt werden kann, ist es vorteilhaft, ein Linsensystem zu verwenden, mit dem eine Fokussierung möglich ist. Je nach gewünschter Anwendung kann das Linsensystem sowohl vergrößernd als auch verkleinernd gewählt werden. Im Bereich der optischen Untersuchung von Objektträgern wird in der Regel ein vergrößerndes Linsen¬ system gewählt, da zur Untersuchung von Zellen eine Auflösung im Bereich von 1 μm ge¬ wünscht wird. Die einzelnen Sensoren von gängigen Zeilensensoren weisen jedoch eine Größe im Bereich von 10 μm x 10 μm auf, so daß zur Erzielung der gewünschten Auf¬ lösung eine Vergrößerungsoptik notwendig ist.
Eine geeignete Beleuchtung der zu untersuchenden Oberfläche ist von hohem Einfluß auf die Qualität des erzielten Bildes. Lichtundurchlässige Proben können von der Oberseite be-
strahlt werden, so daß reflektiertes Licht zur Auswertung gelangt. Zur Untersuchung von lichtdurchlässigen Proben, wie beispielsweise von Objektträgem, wird vorteilhaft eine Durchlichtanordnung gewählt. Prinzipiell sind Beleuchtungseinrichtungen mit kontinuier¬ lichen Lichtquellen geeignet, wie dies bereits in US 4,550,417 beschrieben ist. Erfindungs¬ gemäß hat es sich jedoch als vorteilhaft herausgestellt, wenn zur Beleuchtung der Probe Leuchtdioden verwendet werden. Leuchtdioden besitzen den Vorteil, nur geringe Wärme¬ mengen freizusetzen und können somit in der Nähe der Probe angebracht werden, ohne zu einer Aufheizung der Probe zu führen. Eine Aufheizung der Probe wäre insbesondere im Fall der Untersuchung von Objektträgem nachteilig, da eine Verdunstung von Proben¬ flüssigkeit zu Konzentrationsänderungen oder sogar Ausbildung von Luftblasen im Unter¬ suchungsraum führt.
Insbesondere ist es vorteilhaft, zur Beleuchtung mehrere gleichfarbige Leuchtdioden in einer Reihe anzuordnen. Durch die Anordnung der Leuchtdioden in einer Reihe kann eine relativ homogene Ausleuchtung des untersuchten, streifenförmigen Bereiches der Probe gewähr¬ leistet werden. Die Verwendung gleichfarbiger Leuchtdioden hat sich als überlegen gegen¬ über einer Weißlichtquelle erwiesen. Der Grund hierfür ist nicht abschließend geklärt, es ist jedoch möglich, daß durch die Verwendung relativ schmalbandiger Lichtquellen der Einfluß von Fremdlicht auf die Messung geringere Auswirkungen hat.
Die Homogenität der Ausleuchtung kann weiterhin dadurch verbessert werden, daß über¬ halb der Reihe von Leuchtdioden eine Mattscheibe angebracht wird.
Die Beleuchtungseinrichtung kann auch vorteilhaft dahingehend erweitert werden, daß zwei oder mehr Reihen von jeweils gleichfarbigen Leuchtdioden verwendet werden, die bei Be¬ darfselektiv aktiviert werden können. Bei bestimmten Aufgaben, beispielsweise der Diffe¬ renzierung von roten und weißen Blutkörperchen, hat es sich als vorteilhaft erwiesen, die optische Untersuchung zweifach bei verschiedenen Wellenlängen vorzunehmen, um aus dem Unterschied der erhaltenen digitalen Bilder Rückschlüsse zu ziehen. Während im Stand der Technik (US-4,550,417) eine statische Beleuchtungseinrichtung vorgeschlagen wird, hat es sich erfindungsgemäß als vorteilhaft herausgestellt, wenn die Beleuchtungseinrichtung eben¬ falls an dem Halter angebracht ist. Die Beleuchtungseinrichtung befindet sich somit in jeder Phase der Messung in gleicher Position zum Linsensystem und zum Zeilensensor. Auf diese Weise kann gewährleistet werden, daß alle Bereiche der Probe unter gleichen Beleuch¬ tungsverhältnissen untersucht werden.
Zur Bewegung des Linsensystems und des Zeilensensors über den zu untersuchenden Be¬ reich der Oberfläche bzw. zur Bewegung der Objektträgerhalterung bei der zweiten Ausfüh¬ rungsform dient ein Antrieb. Der Antrieb beinhaltet einen Schrittmotor, auf dessen Achse eine Gewindestange bzw. Spindel montiert ist. Die Spindel läuft in einem Gewinde, das an der Halterung befestigt ist. Die Ausrichtung der Spindel ist in der Ruhelage der Abstands¬ halter vorteilhaft senkrecht zur Ebene der elastisch verbiegbaren Abstandshalter. Da jedoch mit zunehmender Auslenkung des oder der Abstandshalter eine Neigung der Halterung gegenüber der Spindel stattfindet, muß die Gewindemutter so an der Halterung befestigt werden, daß sie einerseits eine geringfügige Richtungsänderung durchführen kann, anderer¬ seits jedoch die Halterung mit möglichst geringem Spiel führt. Erreicht werden kann dies durch eine Spitzenlagerung der Gewindemutter auf einer Platte, die an der Halterung ange¬ bracht ist. Bei dieser Art der Halterung findet ebenfalls eine geringfügige Bewegung der Spindelachse im Raum statt, so daß auch eine geeignete Lagerung der Spindel bzw. des Motors notwendig ist. Im Bereich der optischen Untersuchung von Objektträgem sind die notwendigen Auslenkungen der Abstandshalter gering, so daß die Richtung der Abstands¬ halter und die Spindelachse nur um wenige Grad von der Senkrechten abweichen. Typischerweise beträgt die Abweichung von der Senkrechten weniger als zehn Winkelgrad. Mit der erfindungsgemäßen Anordnung wird der Zeilensensor im wesentlichen senkrecht zur Reihe von Sensoren bewegt.
Um das mechanische Spiel zwischen Gewindestange und Gewindemutter beim Antrieb zu verringern, kann die Halterung über eine Feder in einer Richtung parallel zur Achse der Gewindestange vorgespannt werden. Wird die optische Auswertung in einem Bereich vor¬ genommen, in dem die Abstandshalter unter einer Biegespannung stehen, so kann auf eine zusätzliche Feder gegebenenfalls verzichtet werden.
Mit der beschriebenen Anordnung ist es möglich, den Antrieb durch einen relativ schwachen Antriebsmotor mit einem Drehmoment zwischen 100 und
500 g • cm durchzufuhren. Experimentell hat sich herausgestellt, daß bereits bei einer mechanisch sehr einfachen Spindellagerung Genauigkeiten der Schrittweite von 0,5 μm er¬ reicht werden können.
Wird eine Untersuchung von Oberflächen mit der beschriebenen Vorrichtung durchgeführt, so werden am Zeilensensor Signale erhalten, die zur Auswertung weiterverarbeitet werden. Bei den gängigen monochromen Sensorelementen wird für jedes Sensorelement des Zeilen¬ sensors ein digitaler Wert erhalten, der einen Grauwert repräsentiert. Aufgrund der Grau-
werte ist eine Auswertung möglich, die in ihrer Genauigkeit gegenüber der Auflösung ein¬ zelner Sensorelemente gesteigert ist.
Die Auswertung der beim Abrastem der Oberfläche erhaltenen Sensorsignale kann in be¬ kannter Weise durch einen Computer vorgenommen werden. Zur Steigerung der Genauig¬ keit der Auswertung und zur Erhöhung ihrer Richtigkeit, ist es vorteilhaft, mit dem Zeilen¬ sensor zunächst eine Messung in einem Bereich durchzuführen, der keine Probe enthält. Durch Berücksichtigung dieser Referenzzeile können Empfindlichkeitsschwankungen von Sensorelementen sowie Inhomogenitäten in der Beleuchtung sowie des Linsensystems kompensiert werden.
Auswerteergebnisse, die mit erfindungsgemäßen Vorrichtungen erhalten werden, sind in der Regel zunächst Bilder, die von einem Computer mit geeigneter Software ausgewertet wer¬ den, um beispielsweise die Zahl von Zellen einer bestimmten Größe zu ermitteln. Weiterhin ist es möglich, im Bild gezielt nach seltenen Zelltypen, wie beispielsweise Zylindern, zu suchen und diese Bildausschnitte dann dem Benutzer auf einem Monitor darzustellen. Neben der Bildauswertung ist mit erfindungsgemäßen Vorrichtungen jedoch auch eine Kon¬ zentrationsmessung durch Transmissionsmessung bzw. Remissionsmessung möglich. Eine solche Konzentrationsmessung kann beispielsweise zur Auswertung von Blutproben wichtig sein, wenn die Erythrozyten lysiert werden. Die nach dieser Lyse im Probenmedium vor¬ handene Färbung kann dazu dienen, auf die Menge an Erythrozyten zurückzuschließen. Weiterhin kann eine Konzentrationsbestimmung durch Transmissions- oder Remissions¬ messung vorteilhaft zur Auswertung diagnostischer Testelemente herangezogen werden.
Die Auswertungsergebnisse und gegebenenfalls auch ein Bild der abgerasterten Oberfläche kann auf einem Monitor dargestellt werden. Die Initiierung der Messung kann vom Be¬ nutzer am Terminal des Computers vorgenommen werden. Die einzelnen Schritte, die der Antrieb zum Abrastem der Oberfläche vornimmt, können entweder durch eine Motor¬ steuerung oder über den Computer gesteuert werden.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung besteht in einer Vorrichtung zur optischen Untersuchung von Oberflächen, beinhaltend
einen Zeilensensor, bei dem eine Vielzahl von Sensoren in einer Reihe angeordnet sind,
ein Linsensystem zur Abbildung der Oberfläche oder eines Teiles der Oberfläche auf den Zeilensensor,
eine Halterung, an der das Linsensystem und der Zeilensensor befestigt sind,
ein Stativ, an dem die Halterung über mindestens einen Abstandshalter befestigt ist,
einen Antrieb, mit dem die Halterung unter Verbiegen, Verschwenken oder Verkippen des mindestens einen Abstandshalters im wesentlichen senkrecht zur Reihe von Sen¬ soren des Zeilensensors bewegt wird.
Die genannte Vorrichtung kann beispielsweise zur Untersuchung der Oberfläche von diagnostischen Testelementen, Halbleitermaterialien, polierten Oberflächen, Geweben oder auch Hautoberflächen verwendet werden. Viele Elemente dieser Vorrichtung entsprechen in ihrer Funktion und Ausgestaltung den Elementen der Vorrichtung zur optischen Unter¬ suchung von Objektträge . Ein Unterschied besteht darin, daß die Vorrichtung zur Unter¬ suchung von Oberflächen nicht notwendigerweise einen Halter für einen Objektträger oder ähnliches aufweist. Zur Untersuchung der Oberfläche kann die Vorrichtung mit ihrem Stativ auf die Oberfläche aufgestellt werden. Vorzugsweise weist daher das Stativ Standelemente zur Aufstellung des Statives auf die zu untersuchende Oberfläche auf. Bei vielen der genannten Anwendungen wird es vorteilhaft sein, die zu untersuchende Oberfläche von der Oberseite zu bestrahlen und reflektiertes Licht auszuwerten. Dies ist beispielsweise mit einer an dem Stativ angebrachten Beleuchtungseinrichtung möglich. Auch bei dieser Aus¬ gestaltung der Erfindung ist es vorteilhaft, die Beleuchtung an der Halterung anzubringen, so daß sie beim Abrastem der Oberfläche mitbewegt wird. Soweit für diese und folgende Ausgestaltungen der Erfindung nicht genauer spezifiziert, gelten die bereits vorangehend dargelegten Beschreibungen der Komponenten und ihr beschriebenes Zusammenwirken.
Um die beschriebene Vorrichtung einer vielfältigen Nutzung zugänglich zu machen, kann das Stativ eine Höhenverstellung besitzen. Ebenfalls ist es vorteilhaft, das Linsensystem mit einer Höhenverstellung auszustatten, um eine Fokussierung der Oberfläche vornehmen zu können.
Die Erfindung umfaßt weiterhin eine Vorrichtung zur optischen Untersuchung von Objekt¬ trägem, beinhaltend
ein Stativ, an dem ein Objektträgerhalter über mindestens einen Abstandshalter be¬ festigt ist,
einen an dem Stativ befestigten Zeilensensor, bei dem eine Vielzahl von Sensoren in einer Reihe angeordnet sind,
ein an dem Stativ befestigtes Linsensystem, das ein Bild des Objektträgers oder eines Teiles des Objektträgers auf den Zeilensensor abbildet,
eine Beleuchtungseinrichtung zur Beleuchtung des Objektträgers sowie
einen Antrieb zur Bewegung des Objektträgerhalters im wesentlichen senkrecht zur Reihe von Sensoren des Zeilensensors unter Verbiegen, Verkippen oder Verschwenken des mindestens einen Abstandshalters.
Bei der genannten Ausführungsform sind Sensor, Linsensystem und Beleuchtungseinrich¬ tung raumfest an dem Stativ befestigt. Der Objektträger befindet sich in einem Objekt¬ trägerhalter, der seinerseits über mindestens einen Abstandshalter an dem Stativ befestigt ist. Im Gegensatz zu den bereits beschriebenen Ausführungformen wird hier der Objekt¬ trägerhalter und somit der Objektträger bewegt. Mit der erfindungsgemäßen Verbiegung, Verkippung oder Verschwenkung des Abstandshalters bietet dies gegenüber dem Stand der Technik US-4,550,417 den Vorteil, daß mit einer einfachen mechanischen Anordnung eine hohe Präzision der Bewegung erreicht werden kann.
Die Erfindung umfaßt weiterhin eine Vorrichtung zur optischen Untersuchung von Objekt¬ trägem, beinhaltend
eine Halterung, an der ein Zeilensensor, ein Linsensystem und eine Beleuchtungsein¬ richtung befestigt sind,
ein Stativ, an dem ein Objektträgerhalter befestigt ist,
einen Antrieb, mit dem die Halterung so gegenüber dem Stativ bewegt wird, daß der Abstand von Zeilensensor, Linsensystem und Beleuchtungseinrichtung zur Ebene des Objektträgers konstant bleibt.
Wie bereits eingangs erwähnt, weist der Stand der Technik US-4,550,417 den Nachteil auξ daß der zu untersuchende Objektträger bewegt wird. Die oben genannte Apparatur ver¬ meidet diesen Nachteil, indem die optische Anordnung aus Zeilensensor, Linsensystem und Beleuchtungseinrichtung gemeinsam über die Halterung bewegt wird. Die gemeinsame An¬ bringung der Komponenten an einem starren Halter gewährleistet, daß die Ausleuchtung und die sonstigen optischen Verhältnisse für jede abgerastete Zeile der zu untersuchenden Oberfläche gleich sind. Es braucht dabei nicht notwendigerweise eine Führung der Halte¬ rung über elastisch verbiegbare Abstandshalter erfolgen, sondern die Halterang kann bei¬ spielsweise auf einem kugelgelagerten Schlitten bewegt werden.
Zur Erfindung gehört weiterhin ein Verfahren zur optischen Untersuchung von Objekt¬ trägem, bei dem
ein Objektträger in einen Objektträgerhalter eingebracht wird,
der Objektträger mit einer Beleuchtungseinrichtung beleuchtet und durch den Objekt¬ träger hindurchgetretenes Licht mit einem Linsensystem auf einen Zeilensensor abge¬ bildet wird, wobei
Beleuchtungseinrichtung, Linsensystem und Zeilensensor an einer Halterang befestigt sind, die ihrerseits über mindestens einen Abstandshalter an einem Stativ befestigt ist und die Halterang über einen Antrieb unter Verbiegen, Verkippen oder Verschwenken des mindestens einen Abstandshalters im wesentlichen senkrecht zur Reihe von Sensoren des Zeilensensors über die zu untersuchende Fläche des Objektträgers ge¬ schwenkt wird.
Die Erfindung wird anhand der folgenden Figuren näher erläutert:
Figur 1 : Schematische Darstellung der optischen Anordnung
Figur 2 : Aufsicht auf eine Vorrichtung
Figur 3 : Detailzeichnung des Antriebs
Figur 4: Objektträger mit Darstellung des untersuchten Oberflächenbereiches
Figur 5: Perspektivische Ansicht der Vorrichtung mit Antrieb und Auswertung
In Figur 1 ist die Anordnung der einzelnen optischen Elemente schematisch dargestellt. Ein Objektträger (1) befindet sich in einer Objektträgerhalterung, die auf einem Stativ (2) be¬ festigt ist. Auf der Halterung (7) sind ein Zeilensensor (3), ein Linsensystem (4) sowie eine Anordnung von Leuchtdioden (5) befestigt. Die Leuchtdioden (5) sind von einer gewölbten Mattscheibe (6) abgedeckt. Die Leuchtdioden weisen eine Wellenlänge von 592 nm (amber) auf. Das von Ihnen ausgehende Licht beleuchtet nach Durchgang durch die Mattscheibe den Objektträger (1) von der Unterseite und transmittiertes Licht wird durch das Linsensystem (4) auf den Zeilensensor (3) abgebildet. Das Linsensystem besteht aus einer Anordnung von 3 Zylinderlinsen, die einen Vergrößerungsfaktor von 2,97 erzielen. Mit der Linsenanord¬ nung wird eine 3,7 μm breite und 10 mm lange Zeile der Probe auf den 11 μm breiten und 29,7 mm langen Zeilensensor abgebildet. Der Zeilensensor ist ein CCD-Sensor mit 2700 Pixeln mit einer Größe von 11 x 11 μm. Seine maximale Empfindlichkeit liegt bei einer Wellenlänge von 550 nm.
Figur 2 zeigt eine Aufsicht auf eine Vorrichtung. Die gesamte Anordnung ist auf einer Grundplatte (10) montiert. Das Stativ (2) ist fest mit der Grundplatte (10) verbunden. Am Stativ sind 2 Metallplatten (8) aus Chromstahl einer Dicke von 0,05 mm befestigt. Die Metallplatten (8) sind die elastisch verbiegbaren Abstandshalter. Sie sind in ihrem Mittelbe¬ reich durch aufgeschraubte Verstärkungselemente (9) unterstützt. Durch die Abstandshalter (8) ist die Halterang (7) mit dem Stativ (2) verbunden. In der dargestellten Aufsicht ist er¬ kennbar, daß sich an der Halterang (7) der Zeilensensor (3) befindet. An der dem Zeilen¬ sensor (3) abgewandten Seite der Halterang (7) befindet sich eine Halteplatte (16), die rechtwinklig an der Halterung angesetzt ist. An der Halteplatte (16) ist über eine Spizen- lagerang die Platte (15), enthaltend eine Gewindemutter, befestigt. In der Gewindemutter läuft die Gewindestange (14), die über den Schrittmotor (12) angetrieben wird. Der Schrittmotor (12) ist über eine Spitzenlagerung (13) an dem Motorstativ (11) befestigt, das fest mit der Grundplatte (10) verbunden ist. Zur Gewährleistung der gewünschten hohen Genauigkeit der Anordnung wird ein Gewindespiel zwischen Gewindemutter und Ge¬ windestange (14) ausgeglichen, indem der Halterang (7) über die Feder (17) und die Feder¬ halterang (18) eine Vorspannung gegeben wird. Die Feder (17) befindet sich zwischen dem Motorstativ (11) und der Federhalterang (18) und zieht die Halterung (7) in Richtung des Motors.
Bei der dargestellten Anordnung weisen die Abstandshalter (8) eine Breite von 6 cm auf. Die Breite der Halterang beträgt 5 cm, so daß die optische Anordnung die Form eines Turmes mit annähernd quadratischer Grundfläche aufweist. Im konkreten Fall wurde für die Gewindestange (14) ein Feingewinde M3 x 0,35 mm gewählt. Der verwendete Motor hat ein Drehmoment von 250 g x cm und eine Vollumdrehung ist in 96 Einzelschritte aufgeteilt. Pro Schritt des Schrittmotors ergibt sich damit ein Weg von ca. 3,7 μm.
Figur 3 zeigt eine Detailansicht des Antriebs. Der Motor (12) ist über Schrauben (19), die federgelagert sind, mit dem Motorstativ (11) verbunden. Die Schrauben (13) dienen zur Spitzenlagerang des Motors. Die Gewindestange (14) läuft in einer Gewindemutter, die sich in der Platte (15) befindet. Die Platte (15) ist über federgelagerte Schrauben mit der Halte¬ platte (16) verbunden. Auch die Platte (15) ist über Schrauben (13) spitzengelagert.
Figur 4 zeigt einen Objektträger (1) mit einer Auswertekammer (20) in Aufsicht. Die Fläche (21) zeigt schematisch die Form der durch die Vorrichtung abgescannten Fläche der Aus¬ wertekammer. Es ist zu erkennen, daß der Sensor eine scheibenwischerartige Bewegung ausführt und dabei eine entsprechende Fläche abscannt. Im konkret realisierten Fall ist die gescannte Fläche 10 x 10 mm.
Figur 5 zeigt eine perspektivische Darstellung einer Vorrichtung zur Untersuchung von Objektträgem. Der Objektträger (1) wird durch eine Ausnehmung im Stativ (2) in einen Objektträgerhalter (nicht dargestellt) eingeschoben. An dem Stativ sind seitlich die Ab¬ standshalter (8) angebracht. Der Abstandshalter wird durch ein Verstärkungselement (9) unterstützt. Die Abstandshalter (8) tragen die Halterang (7), an der der Zeilensensor (3) befestigt ist. Signale, die der Zeilensensor (3) liefert, werden nach Umwandlung in digitale Werte über eine Datenleitung an die Datenverarbeitungs- und Steuereinrichtung (23) weitergeleitet. Ergebnisse der Auswertung oder auch eine Darstellung der gescannten Oberfläche werden von der Datenverarbeitungseinrichtung (23) auf einem Monitor (24) dargestellt. Optional besitzt die Datenverarbeitungseinrichtung eine Verbindung zur Motorsteuerung (22).
Bezugszeichenliste
1) Objektträger
2) Stativ
3) Zeilensensor
4) Linsensystem
5) Leuchtdiode
6) Mattscheibe
7) Halterang
8) Abstandshalter
9) Verstärkungselement
10) Grundplatte
11) Motorstativ
12) Motor
13) Spitzenlager
14) Gewindestange
15) Platte mit Gewindemutter
16) Halteplatte
17) Feder
18) Federhalterang
19) federgelagerte Schraube
20) Meßkammer
21) Untersuchungszone
22) Motorsteuerang
23) Datenverarbeitungs- und Steuereinrichtung
24) Monitor