DE931737C - Auxiliary device for optical observation and recording devices with incident light - Google Patents

Auxiliary device for optical observation and recording devices with incident light

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DE931737C
DE931737C DEZ4079A DEZ0004079A DE931737C DE 931737 C DE931737 C DE 931737C DE Z4079 A DEZ4079 A DE Z4079A DE Z0004079 A DEZ0004079 A DE Z0004079A DE 931737 C DE931737 C DE 931737C
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DE
Germany
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auxiliary device
reflector
incident light
recording devices
optical observation
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Expired
Application number
DEZ4079A
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German (de)
Inventor
Kurt Dr-Ing Raentsch
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Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/06Means for illuminating specimens
    • G02B21/08Condensers
    • G02B21/082Condensers for incident illumination only

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

Hilfsvorrichtung für optische Beobachtungs- und Aufnahmegeräte mit Auflichtbeleuchtung Die Erfindung betrifft eine Hilfsvorrichtung für mit Auflichtbeleuchtung des Objekts arbeitende optische Beobachtungs- und Aufnahmegeräte. Bei diesen liegt die Lichtquelle auf der gleichen Seite des Objekts wie das beobachtende Auge oder die das Bild aufnehmende lichtempfindliche Schicht. Häufig wird verlangt, daß außer dem auf die Oberfläche des Objekts auffallenden Licht zusätzlich eine Lichtquelle zur Verfügung steht, die von der dem Auge abgewandten Seite des Objekts her dieses beleuchtet, um die Struktur oder die Konturen des Objekts im durchfallenden Licht zur Darstellung zu bringen. So besitzen die bekannten optischen Feinmeßgeräte mit mikroskopischer Abbildung zwei getrennte Beleuchtungsapparate für die sogenannte Auflichtbeleuchtung und die Durchlichtbeleuchtung. Die Anwendbarkeit derartiger Geräte ist jedoch beschränkt, da beim Neigen des Mikroskops beide Beleuchtungsapparate mitgeschwenkt werden müssen. Dies ist mit Bezug auf den der Durchlichtbeleuchtung dienenden Beleuchtungsapparat häufig mit baulichen Schwierigkeiten verbunden, wenn nicht gar unmöglich. Ferner sind Einrichtungen, insbesondere Teilkreis-und Maßstabsablesungen bekannt, bei denen durch Anordnung eines Planspiegels unterhalb des Teilungsträgers die Auflichtbeleuchtung zugleich zur Beleuchtung im durchfallenden Licht verwendet wird. Es liegt in der Natur eines Planspiegels, daß dieser-sehr sorgfältig justiert sein muß, um eine einwandfreie Durchlichtbeleuchtung zu liefern. Auch ein solcher Spiegel inuß beim Schwenken des Mikroskops mitgeschwenkt werden. Gegenüber einer besonderen Durchlichtbeleuchtungsapparatur wird also baulich keine wesentliche Vereinfachung erzielt.Auxiliary device for optical observation and recording devices with Incident light illumination The invention relates to an auxiliary device for with incident light illumination optical observation and recording devices working on the object. With these lies the light source on the same side of the object as the observing eye or the photosensitive layer receiving the image. Often it is required that besides a light source for the light falling on the surface of the object is available, this from the side of the object facing away from the eye Illuminated around the structure or the contours of the object in transmitted light to bring to representation. So have the known optical precision measuring devices with microscopic illustration two separate lighting apparatus for the so-called Incident and transmitted light illumination. The applicability of such However, equipment is limited because when tilting the microscope, both lighting equipment have to be swiveled. This is in relation to that of transmitted light illumination used lighting apparatus often associated with structural difficulties, though not at all impossible. There are also facilities, in particular pitch circle and scale readings known, in which by arranging a plane mirror below the graduation carrier the incident light is also used to illuminate the transmitted light will. It is in the nature of a plane mirror that it adjusts very carefully must be in order to deliver a perfect transmitted light illumination. One of those too Mirrors must be swiveled when swiveling the microscope. Compared to a special transmitted light equipment so structurally it won't be substantial simplification achieved.

Gemäß der Erfindung werden diese Nachteile mittels einer Hilfsvorrichtung beseitigt, welche in der Anordnung eines an sich bekannten, aus einer Mehrzahl von Rückstra;hlerelementen, wie Tripelspiegeln, zusammengesetzten Flächenreflektors hinter dem Objekt besteht. Die Anordnung erfolgt in einem derartigen Abstand, daß das vom Objektiv des Gerätes erzeugte Bild des Reflektors auch nicht annähernd mit dem des Objekts zusammenfällt. Für viele Zwecke, bei denen es auf eine extreme Ausnutzung der Lichtquelle nicht entscheidend ankommt, sind auch Flächenreflektoren verwendbar, die in Art der bekannten Projektionsperlwand aus einer Vielzahl gut reflektierender kleiner Kugelkalotten zusammengesetzt sind.According to the invention, these disadvantages are addressed by means of an auxiliary device eliminated, which in the arrangement of a per se known, of a plurality of Rear reflector elements, such as cube-corner mirrors, composite surface reflectors behind the object. The arrangement takes place at such a distance that the image of the reflector generated by the lens of the device not even remotely that of the object coincides. For many purposes where there is an extreme exploitation surface reflectors can also be used, those in the manner of the well-known projection pearl wall from a large number of well-reflective small spherical caps are composed.

Mit Rückstrahlern der genannten Art gewinnt man eine weitgehende Unabhängigkeit von der jeweiligen Einfallsrichtung des Lichts, da dieses zu einem hohen Prozentsatz in der Einfallsrichtung reflektiert wird. Es entfällt also die Notwendigkeit, mit dem Mikroskop oder einem ähnlichen optischen Bilderzeuger zusammen auch den Reflektor schwenken zu müssen. Es ist zweckmäßig, zur Vergleichmäßigung des reflektierten Lichts, um also die Ungleichmäßigkeiten aufzuheben, die durch die Mosaikstruktur des Reflektors bedingt sein können, die Austrittsfläche eines aus einer Mehrzahl von Tripelspiegeln zusammengesetzten Reflektors leicht aufzurauhen. Derartige Reflektoren bestehen bekanntlich- aus einer Glas- oder Kunstglasplatte, in deren der Lichtquelle abgewandter Rückseite das Tripelspiegelmosaik eingepreßt ist, während die Lichtein- und Austrittsfläche eben ist.With reflectors of the type mentioned, one gains a large degree of independence on the respective direction of incidence of the light, as this is a high percentage is reflected in the direction of incidence. So there is no need to use the microscope or a similar optical imager together with the reflector having to pan. It is useful to equalize the reflected Light to remove the irregularities caused by the mosaic structure of the reflector can be conditional, the exit surface one of a plurality easily roughened reflector composed of cube-shaped mirrors. Such reflectors are known to consist of a glass or synthetic glass plate, in which the light source facing away from the rear side, the triple mirror mosaic is pressed in, while the light and the exit surface is flat.

Die Größe der wirksamen Fläche des Reflektors wird zweckmäßig so gewählt, daß sie ein Mehrfaches des Querschnitts des abbildenden Strahlenbündels beträgt, so daß auch bei stärkeren Verschwenkungen der optischen Einrichtung - so beispielsweise eines Mikroskops - eine Verschiebung des Reflektors nicht erforderlich wird.The size of the effective area of the reflector is expediently chosen so that it is a multiple of the cross-section of the imaging beam, so that even with greater pivoting of the optical device - so for example a microscope - it is not necessary to move the reflector.

Claims (3)

PATENTANSPRÜCHE: i. Hilfsvorrichtung für optische Beobachtungs- und Aufnahmegeräte mit Auflichtbeleuchtung des Objekts, gekennzeichnet durch die Anordnung eines an sich bekannten, aus einer Mehrzahl von Rückstrahlerelementen zusammengesetzten Flächenreflektors hinter dem Objekt in einem derartigen Abstand, daß das vom Objektiv des Gerätes erzeugte Bild des Reflektors auch nicht annähernd -mit dem des Objekts zusammenfällt. PATENT CLAIMS: i. Auxiliary device for optical observation and Recording devices with incident light illumination of the object, characterized by the arrangement one which is known per se and is composed of a plurality of reflector elements Surface reflector behind the object at such a distance that it is from the lens The image of the reflector produced by the device is not even close to that of the object coincides. 2. Hilfsvorrichtung nach Anspruch i, gekennzeichnet durch einen aus Tripelspiegeln zusammengesetzten Flächenreflektor mit leicht aufgerauhter Lichtaustrittsfläche. 2. Auxiliary device according to claim i, characterized by one from Square reflector composed of cube-shaped mirrors with a slightly roughened light exit surface. 3. Hilfsvorrichtung nach Anspruch i, gekennzeichnet durch einen so bemessenen Flächenreflektor, daß seine wirksame Fläche ein Mehrfaches des Querschnittes des abbildenden Strahlenbündels beträgt.3. Auxiliary device according to claim i, characterized by a surface reflector dimensioned in this way, that its effective area is a multiple of the cross section of the imaging beam amounts to.
DEZ4079A 1954-03-17 1954-03-17 Auxiliary device for optical observation and recording devices with incident light Expired DE931737C (en)

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