DE924878C

DE924878C - Elektronenmikroskop, insbesondere UEbermikroskop, mit einer als Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse

Info

Publication number: DE924878C
Application number: DEA8258D
Authority: DE
Inventors: Hans Dr-Ing Mahl; Adolf Dipl-Ing Pendzich
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1942-01-21
Filing date: 1942-01-30
Publication date: 1955-03-10

Description

(WiGBl. S. 175)

AUSGEGEBEN AM 10. MÄRZ 1955

A 8258 VIIIc/2ig

Zusatz zum Patent 761

(Ges. v. 15. 7. 51)

Es sind bereits Elektronenmikroskope bekannt, welche mit einem Spiegel ausgerüstet sind. Durch die Spiegelung des Strahlenganges wird eine gedrängtere Bauart erzielt.

Im Hauptpatent ist eine Ausführungsart eines Elektronenmikroskops, insbesondere Übermikroskops, mit einer als Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse beschrieben, welche sich durch einen senkrechten, an einem Tisch befestigten Aufbau auszeichnet, bei dem das Strahlerzeugungssystem am unteren Ende des Entladungsgefäßes unter dem Tisch angeordnet ist und die Hochspannungszuleitungen unter dem Tisch zugeführt sind. Dem Gegenstand des Hauptpatentes liegt die Erkenntnis zugrunde, daß durch die umgekehrte Führung des Strahlenganges und den vertikalen Aufbau des Systems auf einem Tisch ein Elektronenmikroskop erhalten wird, welches außer einer geringen Bauhöhe über dem Tisch, so daß eine sehr einfache Beobachtung der Elektronenbilder im Sitzen möglich ist, noch eine Reihe von weiteren Vorteilen hat. Beispielsweise fallen die Hochspannungsleitungen im Raum weg, da die Kabel bequem unter dem Tisch zugeführt werden können,

an dem das Spiegelelektronenmikroskop befestigt ist. Ferner werden· die sonst üblichen Gestänge zur Verstellung überflüssig, da beispielsweise die Objektschleuse mit dem Objekttisch etwa in Tischhöhe anzubringen und somit direkt zu erreichen ist.

Die Erfindung betrifft eine Weiterbildung der Anordnung nach dem Hauptpatent. Erfindungsgemäß ist das Elektronenmikroskop durch die Umschaltbarkeit zum wahlweisen Betrieb als Zweilinsenmikroskop ohne Spiegelung des Strahlenganges oder als Linsenspiegelelektronenmikroskop gekennzeichnet.

Die Anordnung nach der Erfindung kann beispielsweise so ausgebildet werden, daß durch Umschaltung der als Elektronenspiegel dienenden· Projektionslinse die Elektronenstrahlen nicht gespiegelt werden, sondern die Projektionslinse in

■ üblicher Weise passieren. Auf diese Weise wird eine Vergleichsmöglichkeit zwischen dem normal abgebildeten und dem gespiegelten Bild gegeben.

Als zweckmäßig hat es sich gegebenenfalls auch

erwiesen, bei einem derartigen· Elektronentischmikroskop eine Übersichtslinse zu benutzen, um in der Leuchtschirmebene des nicht gespiegelten Strahlenganges ein Übersichtsbild mäßiger Ver-

■ größerung betrachten zu können. Es wird dann der Vorteil erzielt, daß sich ein hell leuchtendes Übersichtsbild auf dem Leuchtschirm ergibt. Dieses helle Leuchtschirmbild stört im Gegensatz zu einem auf der der Objektivlinse zugewandten Seite der Projektionslinse angebrachten Zwischenbildleuchtschirm die Beobachtung des Endbildes nicht. Während ein auf der Spiegellinse angebrachter Zwischenbildleuchtschirm vorzugsweise nur wenig empfindlich sein darf, damit sein Leuchten nicht das auf dem Endleuchtscbirm entstellende Bild überstrahlt, wenn man von einem Herausklappen· des Leuchtschirmes oder von anderen Maßnahmen absehen will, kann bei der Verwendung der Übersichtslinse auch ein hell leuchtendes Zwischenbild ohne besondere Maßnahmen beobachtet werden.

Der Gegenstand der Erfindung ist im folgenden an Hand von in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Ein Elektronentischmikroskop hat beispielsweise die in der Fig. ι gezeigte Form. An einem Mikroskoptisch 5 ist das Übermikroskop 22 befestigt. Das Übermikroskop enthält ein Strahlerzeugungssystem 1, welches die Kathode und den Wehneltzylinder sowie die Anode umfaßt, eine Objektivlinse 4 und eine Spiegellinse 10. Das Übermikroskop ist mit einer Objektschleuse 2 versehen, um das zu beobachtende Objekt 3 einschleusen zu können. Auf der dem Strahlerzeugungssystem abgewandten Seite der Objektivlinse 4 ist eine mit einer Bohrung für den Durchtritt des Primärstrahles versehene Photoplatte 6 angebracht, die durch den drehbaren Klappleuchtschirm 7 zur Belichtung freigegeben werden kann. Um das von der Spiegellinse 10 gespiegelte Bild auf dem Leuchtschirm 7 beobachten zu können, ist in der Wandung^ des Übermikroskops 22 ein Einblickfenster 8 vorgesehen. Die Spiegellinse 10 ist zweckmäßig mit einer Übersichtslinse 9 zusammengebaut, um auf dem Leuchtschirm 11 ein schwach vergrößertes Übersichtsbild erzeugen' zu können, das gegebenenfalls über den Projektor 12 mit Planspiegel auf die Leinwand 13 projiziert werden kann. Es ist auf diese Weise möglich, einerseits das Zwischenbild auf der Leinwand 13 beobachten zu können und andererseits das gespiegelte Bild auf dem Leuchtschirm 7 durch das Einblickfenster 8 betrachten zu können. Um das Übermikroskop wahlweise zum Spiegelbetrieb oder zum Durchstrahlungsbetrieb umschalten zu können, ist ein Hochspannungsschalter 17 vorgesehen, welcher lediglich schematisch angedeutet ist. Dieser Hochspannungsschalter besteht zweckmäßig aus einem Vakuumschalter, der in der gezeigten Stellung die Mittelelektrode der Spiegellinse 10 mit dem Spiegelblendenpotential 20 verbindet, während die Mittelelektrode der Übersichtslinse 9 mit dem Anoden- bzw. Erdpotential 18 in Verbindung steht. In der anderen Stellung verbindet der Schalter 17 die Mittelelektrode der Spiegellinse mit dem Anoden- bzw. Erdpotential, während die Mittelelektrode der Übersichtslinse dann mit dem Kathodenpotential 19 verbunden ist. Das Übermikroskop ist noch mit einem Rohr 21 versehen, um das Innere mit Hilfe einer Pumpe evakuieren zu können.

Die Beobachtung des Übersichtsbildes auf dem Leuchtschirm 11 kann gegebenenfalls auch mittels einer Lupe 14 erfolgen, wie. es in der Fig. 2 angedeutet ist, wo das Auge 15 den Leuchtschirm 11 durch die Lupe 14 betrachtet. In manchen Fällen hat es sich auch als zweckmäßig erwiesen, das Ubersichtsbild auf dem Leuchtschirm 11 mittels eines Planspiegels 16 zu beobachten, wie es in der Fig. 3 angedeutet ist.

Statt der in der Fig. 1 dargestellten elektrostatischen Hochspannungslinsen können gegebenenfalls auch magnetische Linsen benutzt werden.

Claims

PaTENTANSPBÜCHE:

1. Elektronenmikroskop, insbesondere Übermikroskop, mit einer als Elektronenspiegel wirkenden Projektionslinse nach Patent 761663, gekennzeichnet durch die Umschaltbarkeit zum wahlweisen Betrieb als Zweilinsenelektronenmikroskop ohne Spiegelung des Strahlenganges oder als Linsenspiegelelektronenmikroskop.

2. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Spiegellinse mit einer Übersichtslinse zusammengebaut ist, die derart mit einem Hochspannungs-, vorzugsweise Vakuumschalter, verbunden sind, daß wahlweise die Spiegellinse oder die Übersichtslinse zu betreiben ist.

3. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das nicht gespiegelte Endbild mittels einer Projektionsoptik (12) auf einen parallel zum Elektronenmikroskop angeordneten Projektionsschirm geworfen wird.

4· Elektronenmikroskop nach Anspruch ι oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das nicht gespiegelte Endbild mittels einer über dem Leuchtschirm (ii) angeordneten Lupe (14) zu beobachten ist.

5. Elektronenmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das nicht gespiegelte Endbild über einen vorzugsweise unter 45 ° zum Leuchtschirm angeordneten Planspiegel zu beobachten ist.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen