DE760135C - Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskophoher Aufloesung (UEbermikroskop), und mit einem UEbersichtsbild geringer Vergroesserung (Zwischenbild) - Google Patents
Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskophoher Aufloesung (UEbermikroskop), und mit einem UEbersichtsbild geringer Vergroesserung (Zwischenbild)Info
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- DE760135C DE760135C DEL97579D DEL0097579D DE760135C DE 760135 C DE760135 C DE 760135C DE L97579 D DEL97579 D DE L97579D DE L0097579 D DEL0097579 D DE L0097579D DE 760135 C DE760135 C DE 760135C
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
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Description
- Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskop hoher Auflösung (Übermikroskop), und mit einem Übersichtsbild geringer Vergrößerung (Zwischenbild) In einem zweistufigen Elektronenmikroskop, besonders also in einem. Elektronenmikroskop hoher Vergrößerung (Übermikroskop), besteht das Bedürfnis, außer dem hochvergrößerten Bild der zweiten Stufe noch ein Bild geringer Vergrößerung zu haben, welches einerseits eineBestimmung des gewähltenBildausschnitts ermöglicht, andererseits durch die Bezugnahme auf spezielle Einzelheiten die Vergrößerung zu bestimmen gestattet. Es ist bereits bekannt, zu diesem Zwecke das Zwischenbild auf einem. in der Zwischenbildebene befindlichen Leuchtschirm sichtbar zu machen. Diese Anordnung erweist sich jedoch beim praktischen Gebrauch des Elektronenmikroskops (Übermikroskops) als äußerst unzweckmäßig, da bei der großen Länge des Mikroskops eine gleichzeitige Beobachtung des Bildes der ersten Stufe und desjenigen der zweiten Stufe nicht möglich ist, Man kann nicht erreichen, daß der Beobachter, der das Bild der zweiten Stufe betrachtet, ohne seinen Platz zu wechseln, auch das Bild der ersten Stufe sehen kann. Die Erfindung will diesen in der Praxis erheblichen Mangel beseitigen, indem sie davon abgeht, daß das Zwischenbild beobachtet wird.
- Es ist bereits eine Anordnung zur Beobachtung der im Strahlengang eines Elektronenmikroskops mit zwei oder mehr elektronen@
optischen Vergrößerungsstufen auftretenden elektronenoptischen Bilder torgeschlagen «-orden. bei der an den Stellen der Bilder mit einem oder mehreren Löchern versehene Leuchtschirme. die als Marstab ausgebildet sein können, vorgesehen sind. Bei dieser An- ordnung können die Auffangschirme gegebe- nenfalls wahlweise durch Klappen in den Strahlengang gebracht oder aus ihm entfernt ,werden, um nur mit dem Objektiv arbeiten zu können. Gemäß der Erfindung bildet eine zwischen der Linse der ersten Stufe und der Zwischen- bildeb2ne angebrachte Hilfslinse ein Bild so in die Leuchtschirmebene ab, daß die engste Stelle des die Abbildung vermittelnden Strahlenganges in der nun ausgeschalteten Linse der zweiten Stufe liegt. Die gleiche Wirkung läßt sich erzielen, wenn nach der Erfindung eine zwischen der Linse der ersten Stufe und der Zwischenbild- ebenA angebrachte Hilfslinse bei ausgeschal- teter Linse der ersten Stufe ein gegenüber dem Gegenstand vorzugsweise i : i abgebil- detes Hilfsbild in der Zwischenbildebene ent- wirft, «,-elches alsdann die Linse der zweiten Stufe auf den Leuchtschirm abbildet. Ferner kann nach der Erfindung bei Aus- schaltung der Linse der zweiten Stufe unter Ausnutzung der geringen Divergenz der ab- bildenden Strahlung die Linse der ersten Stufe, gegebenenfalls unter Änderung der Brennweite. das Bild unmittelbar auf den Leuchtschirm werfen. Gegebenenfalls sind dabei die Linse der zweiten Stufe, zum'ndest die Blenden geringer C)fnung ;. und ge- geb°nenfalls di°Zwischenbildblende bewegbar angeordnet, daß sie aus dem Strahlengang zu entfernen. vorzugsweise herauszuklappen, sind. Es kann auch zweckmäßig sein, die An- ordnung so auszubilden, daß eine zwischen der Linse der zweiten Stufe und der Zwischen- bildebene angebrachte Hilfslinse im Zusam- menivirken mit der Linse der ersten Stufe ein gegenüber dem Zwischenbild verkleinertes, gegenüber dem Gegenstand vorzugsweise i : i abgebildetes Hilfsbild entwirft. welches die Linse der zweiten Stufe alsdann auf den l Leuchtschirm abbildet. Die Beobachtung des Zwischenbildleucht- schirmes kann überdies nach der Erfindung vermieden i:-erderi. @v°nnbei Abbildungdtircli- strahlter oder bestrahlter Objekte zur Erzie- lung einer genügend kleinen Divergenz zwi- schen Objekt und Strahlerzeugungssystein eine Hilfslinse einen in der 'Nähe des Objek- tes liegenden Elektronenfleck derart herstellt, ! daß die durch diesen Fleck gellend-n Elektro- nen ein Schattenbild geringer Vergrößerung in der Zwischenbildbene entwerfen. Bei einem Elektronenmikroskop mit zwei- ; stufiger Abbildung, insbesondere einem Elek- 3 trotrentnihroacap hoher Vergrößerung (Cber- inikroskol). ,und mit einen #Cbersichtsbild geringer Vergrößerung ohne Zwisclieiiliildleuclitscliii-iii ist ferner die Mög- lichkeit gegeben, daß bei Ausschaltung der Linse der ersten Stute unter Ausnutzung der geringen Divergenz der abbildenden Strahlung die Linse der zweiten Stufe ,vie bei der z«-ei- lachen Abbildung die Zwischenbildel)ene auf i den Leuchtschirm abbildet. Der Gegenstand der Erfindung ist iiii folgen- ' den an Hand der Abbildungen nähr erläutert. In Abb. i bedeutet G den Gegeiistaild, der durchstrahlt oder bestrahlt «-erden kann oder 4 auch selbst zur Emission von Elektronen ge- efgn.et sein kann. Das Bild dieses Cegen- standeswird mit Hilfeeiner-erst-en elektrischen oder magnetischen Linse I abgebildet. Es ent- i steht ein Zwischctibild Z_. In der Ebene dieses Bildes ist vielfach, aber nicht notwendiger- weise. eine Blende B angebracht. 'Mit Hilfe einer weiteren elektrischen oder magnetischen Linse II wird dieses Zwischenbild in die Ebene des zweiten Bildes, die im folgenden kurz Leuchtschirm genannt wird und mit I_ bezeichnet ist, abgebildet. -Natürlich können statt des Leuchtschirms im Bedarfsfalle auch andere Auffanglektroden. wie z. B. photo- grarhische Platten oder Abtastson(Ien, ein- gesetzt «-erden. Eine Möglichkeit. in der Leuchtschirmebene ein L be:-siclitst),ld zu erhalten. besteht null darin. die Linse I der ersten Stufe auszuschalten und wie vorli.r mit der Linse der zweiten Stufe die Zwischen- bildebene auf den Leuchtschirm abzubilden. nee den hohen Spannungen, mit denen ein Elelztroneiimil#:roslzop hoher Vergrößerung be- trieben werden muß, ist nämlich im allgemei- nen die Strahlung so wenig divergent, daß praktisch in der Zwischenhildebene bei aus- geschalteter erster Linse ein Schattenbild des Objektes entstellt, welche: dann von der zweiten Linse abgebildet werden kann. Das Übersichtsbild entsteht in diesem Falle also nur in der der Vergrößerung der zweiten Stufe entsprechenden Vergrößerung. Es ist möglich, zur Erzielung einer ge- nügend kleinen Divergenz bei der Abbildung bestrahlter oder durchstrahlter Obiekte be- sondere Hilfsmittel vorzusehen. -Man kann z. B. zwischen Objekt und Bestrahlungsquelle eine Hilfslinse anordil°n. welche die von der Strahlenquelle ausgehende Strahlung in einen Fleck konzentriert. der in der \ ähe des Objektes liegt. Es verläuft also die abbildende Strahlung durch einen Punkt und entwirft, weine dieser Punkt nicht zu nahe am Objekt liegt. von diesem ein Schattenbild geringer Vergrößerung in die Zwisclienbildebene. - Eine andere Möglichkeit zur Beobachtung des Zwischenbildes sei an Hand der Abb. 2 beschrieben. Die Bezeichnungen haben hier dieselbe Bedeutung wie in Abb. i. Gegenüber dem Elektronenmikroskop nach Abb. i ist hier aber noch eine Hilfslinse H vorgesehen. Auch hier wird zur Erzeugung des Übersichtsbildes, wie soeben beschrieben, die Linse II ausgeschaltet. Um aber zu vermeiden, daß die Elektroden oder Polschuhe als Blenden wirken, ist die Hilfslinse 9 so eingestellt, daß der durch sie und die Linse I erzeugte Strahlengang seine engste Stelle in der Linse II hat. Wegen der geringen Entfernung zwischen der Linse II und der Blende B wird dadurch praktisch zugleich erreicht, da,ß die Strahlung auch die Blendenöffnung B ungehindert durchsetzt. Ort und Brennweite der Hilfslinse H sind dabei so eingestellt, daß das Übersichtsbild in der Leuchtschirmebene keine zu hohe Vergrößerung aufweist. Zur Beobachtung des Bildes der zweiten Stufe wird dann die Hilfslinse H wieder ausgeschaltet und die Linse II eingeschaltet.
- Eine andere Möglichkeit, mittels einer Hilfslinse die erwünschte Abbildung zu erhalten, besteht nach Abb. 3 darin, daß man durch Einschalten der Hilfslinse im Zusammenwirken mit der Linse I ein möglichst verkleinertes Bild des Gegenstandes in der Nähe der Zwischenbildebene entwirft. Dieses Bild kann dann wegen der vorhandenen Tiefenschärfe praktisch mit derselben Einstellung der Linse II auf den Leuchtschirm abgebildet werden, wie das Zwischenbild. Bei diesem Verfahren, bei dem zur Erzielung eines Übersichtsbildes sämtliche drei Linsen eingeschaltet sind, soll das mit I und H hergestellte Zwischenbild gegenüber dem eigentlichen Zwischenbild verkleinert, gegenüber dem Objekt aber zweckmäßig im Verhältnis i : i abgebildet sein.
- Gemäß Abb. q, wird bei sonst ähnlicher Anordnung zurr Erzielung des Übe-rsicht.sbildes die Linse I ausgeschaltet, die Linse H eingeschaltet, so daß diese ein kleineres Zwischenbild in der Zwischenbildebene entwirft, welches gegenüber dem Gegenstand vorzugsweise im Verhältnis i : i abgebildet ist. Dieses kleinere Zwischenbild wird mit Hilfe der Linse II auf den Leuchtschirm ab,-gebildet und liefert das Übersichtsbild.
- Während das an Hand der Abb. i erläuterte Verfahren, in weitgehendem Maße von der großen Tiefenschärfe der Abbildung Gebrauch macht, was bis zu einem gewissen Grad auch bei dem Verfahren nach Abb.3 der Fall ist, liefern die Verfahren nach Abb. 2 und 4. auch dann brauchbare Ergebnisse, wenn infolge besonderer Eigentümlichkeiten des Strahlenganges die sonst beobachtete Tiefenschärfe nicht vorhanden ist.
Claims (1)
- PATENTANSPRÜCHE: i. Elektronenmikroskop, mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein, Elektronenmikroskop hoher Vergrößerung (Übermikroskop), und mit einem Übersichtsbild geringer Vergrößerung (Zwischenbild), dadurch gekennzeichnet, daß eine zwischen der Linse der ersten Stufe und der Z.wischenbildebene angebrachte Hilfslinse ein Bild so in die Leuchtachirmebene, abbildet, daß die engste Stelle des die Abbildung vermittelnden Strahlenganges in der nun ausgeschalteten Linse der zweiten Stufe liegt. z. Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskop hoher Vergrößerung (Übermikroskop) und mit einem Übersichtsbild geringer Vergrößerung (Zwischenbild), dadurch gekennzeichnet, daß eine zwischen der Linse der ersten Stufe und der Zwischenbildebene angebrachte Hilfslinse bei ausgeschalteter Linse der ersten Stufe ein gegenüber dem Gegenstand vorzugsweise i : i abgebildetes Hilfsbild in der Z.wischenbildebene entwirft, welches alsdann die Linse der zweiten Stufe auf den Leuchtschirm abbildet. 3. Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskop hoher Vergrößerung (Übermikroskop), und mit einem Übersichtsbild geringer Vergrößerung (Zwischenbild). dadurch gekennzeichnet, daß bei Ausschaltung der Linse der zweiten Stufe unter Ausnutzung der geringen Divergenz der abbildenden Strahlung die Linse der ersten Stufe, gegebenenfalls unter Änderung der Brennweite, das Bild unmittelbar auf den Leuchtschirm wirft. .1. Elektronenmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Linse der zweiten Stufe, zum mindesten die Blenden geringer Öffnung, und gegebenenfalls die Zwischenbildblende b2-,vegbar angeordnet sind, daß sie aus dein Strahlengang zu entfernen. vorzugsweise herauszukIappen, sind. 5. Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskop hoher Vergrößerung (Übermikroskop), und mit einem Übersichtsbild geringer Vergrößerung (Zwischenbild). dadurch gekennzeichnet, daß eine zwischen der Linse der zweiten Stufe und der Zwischenbildebene angebrachte Hilfslinse im Zusammenwirken mit der Linse der ersten Stufe ein gegenüber dem Zwischenbild verkleinertes, gegenüber dem Gegenstand vorzugsweise 1:1 abgebildetes Hilfsbild entwirft, welches die Linse der zweiten Stufe alsdann auf den Leuchtschirm abbildet. 6. Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskop hoher Vergrößerung (tUr- j mikroskop), und mit einem Übersichtsbild geringer Vergrößerung (Zwischenbild). dadurch gekennzeichnet, daß bei Abbildung durchstrahlter oder bestrahlter Objekte zur Erzielung einer genügend kleinen Divergenz zwischen Objekt und Strahlerzeugungssystem eine Hilfslinse einen in der -Nähe des Objektes liegenden Elektronenfleck derart herstellt, daß die durch diesen Fleck gehenden Elektronen ein Schattenbild geringer Vergrößerung in der Zwischenbildebene entwerfen. . Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskop hoher Vergrößerung (LTt)ermikroskop), und mit einem Übersichtsbild geringer Vergrößerung (Zwischenbild) ohne Zwischenbildleuchtschirm. dadurch gekennzeichnet, daß bei Ausschaltung der Linse der ersten Stufe unter _Ausnutzung der geringen Divergenz der abbildenden Strahlung die Linse der zweiten Stufe wie bei der zweifachen Abbildung die Zwischenbildebene auf den Leuchtschirm abbildet. Zur Abgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik sind im Erteilungsverfahren folgende Druckschriften in Betracht gezogen worden: Deutsche Patentschrift -Nr. 679 857; »A New Electron Microscope« im Journal of Scientific Instruments Vol. _XIV, 1937, S. 17, Fig. I, S.22, Abs.3; Zeitschrift Physik 1934, S. 9.1, Fig. 1; Busch u. Brücke. »Beiträge zur Elektronenoptik«, Leipzig 1937, S..19 bis 51, insbesondere Abb. 56 auf S. 5o.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEL97579D DE760135C (de) | 1939-03-30 | 1939-03-30 | Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskophoher Aufloesung (UEbermikroskop), und mit einem UEbersichtsbild geringer Vergroesserung (Zwischenbild) |
Applications Claiming Priority (1)
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DEL97579D DE760135C (de) | 1939-03-30 | 1939-03-30 | Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskophoher Aufloesung (UEbermikroskop), und mit einem UEbersichtsbild geringer Vergroesserung (Zwischenbild) |
Publications (1)
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DE760135C true DE760135C (de) | 1953-11-16 |
Family
ID=7288640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DEL97579D Expired DE760135C (de) | 1939-03-30 | 1939-03-30 | Elektronenmikroskop mit zweistufiger Abbildung, insbesondere ein Elektronenmikroskophoher Aufloesung (UEbermikroskop), und mit einem UEbersichtsbild geringer Vergroesserung (Zwischenbild) |
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DE (1) | DE760135C (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3256433A (en) * | 1962-03-27 | 1966-06-14 | Hitachi Ltd | Energy-selecting electron microscope using electron optics |
US3256432A (en) * | 1962-03-27 | 1966-06-14 | Hitachi Ltd | Equal energy selection in an electron microscope using electron optics |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE679857C (de) * | 1932-03-17 | 1939-08-15 | Bodo Von Borries Dr Ing | Anordnung zur Beobachtung und Kontrolle der im Strahlengang eines Elektronenmikroskops mit zwei oder mehr elektronenoptischen Vergroesserungsstufen auftretenden elektronenoptischen Bilder |
-
1939
- 1939-03-30 DE DEL97579D patent/DE760135C/de not_active Expired
Patent Citations (1)
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DE679857C (de) * | 1932-03-17 | 1939-08-15 | Bodo Von Borries Dr Ing | Anordnung zur Beobachtung und Kontrolle der im Strahlengang eines Elektronenmikroskops mit zwei oder mehr elektronenoptischen Vergroesserungsstufen auftretenden elektronenoptischen Bilder |
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