DE881584C - Spiegellagerung fuer optische Mess- und Pruefinstrumente - Google Patents

Spiegellagerung fuer optische Mess- und Pruefinstrumente

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DE881584C
DE881584C DEL828D DEL0000828D DE881584C DE 881584 C DE881584 C DE 881584C DE L828 D DEL828 D DE L828D DE L0000828 D DEL0000828 D DE L0000828D DE 881584 C DE881584 C DE 881584C
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DE
Germany
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mirror
control means
optical measuring
spring pressure
test instruments
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Expired
Application number
DEL828D
Other languages
English (en)
Inventor
Wilhelm Rinker
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
Original Assignee
Ernst Leitz Wetzlar GmbH
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Publication date
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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/02Bearings or suspensions for moving parts

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Description

  • Bei optischen Meß- und Prüf instrumenten ist es bekannt, Spiegel derart zu lagern, daß denselben durch entsprechende Steuermittel eine Kippbewegung erteilt wird. Zu diesem Zweck hat man z. B. den Spiegel oder dessen Fassung auf drei Punkten gelagert, von denen zwei von in Pfannen ruhenden Kugelspitzen gebildet werden, über die der Spiegel kippt, während der dritte Punkt von einer von Steuermitteln bewegten Kugelspitze gebildet wird.
  • Eine Zug- oder Druckfeder hält dabei den Spiegel auf den Lagern.
  • Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, derartige Spiegellagerungen auch für hochfrequente Beanspruchung, wie sie z.B. bei Oberflächenprüfgeräten nach dem Tastprinzip und den hierbei geringen Meßdrucken auftritt, anzupassen.
  • Bei einer Spiegellagerung, bei der dem Spiegel durch Steuermittel eine Kippbewegung erteilt wird und Ibei der der Spiegel unter Federdruck auf drei Kugelauflagen, von denen mindestens eine mit dem Steuermittel verbunden ist, gehalten wird, wird nun die gestellte Aufgabe dadurch gelöst, daß die Übertragungsmittel des Federdrucks gleichzeitig zur seitlichen Fixierung des Spiegels dienen. Eine günstige Ausführung der den Spiegel federnd auf den Kugelauflagen haltenden und der ihn seitlich orientierenden Mittel wird dadurch erreicht, daß die Übertragungsmittel des Federdrucks in Richtung gegen die Steuermittel geführt sind und Kugelspitzen haben, von denen die eine in einem kegeligen und die andere in einem prismatischen Pfannenlager des Spiegels liegt.
  • Zweckmäßig verläuft die das kegelige und das prismatische Pfannenlager verbindende Gerade parallel zu der von zwei Kugelauflagen gebildeten Geraden. Der Abstand zwischen den beiden von den Pfannen einerseits und zwei festen Kugelauflagen andererseits gebildeten Geraden beträgt vorteilhaft ein Drittel des Abstandes von der letzteren zu der dritten gesteuerten Kugelauflage. Die nicht von den Steuermitteln bewegten Kugelauflagen können zwecks Justierung einstellbar sein.
  • In der Zeichnung ist die Erfindung in einem Ausführungsabeispiel dargestellt, und zwar zeigen die Abb. r bis 3 eine Planspiegellagerung in einem Steuerkopf in drei verschiedenen Schnitten.
  • In dem Gehäuse I des Steuerkopfes ist der Planspiegel 2 auf den Kugelauflagen 3 und 4 und der von dem Steuerbolzen 6 gebildeten Kugelauflage 5 gelagert. Die Kugelauflagen 3 und 4 sind als Schrauben ausgebildet und in dem Gehäuse I der Höhe nach verstellbar. In der oberen Fläche des Planspiegels 2, die hierbei die Reflexionsfläche bildet, ist das kegelige und das prismatische Pfannenlager 7 und 8 eingelassen. In den letzteren liegen die Kugelspitzen g und Io der in dem Gehäuse I geführten Stifte II und 12. Die Blattfeder I3 wirkt auf die Stifte II und I2, die damit den Planspiegel 2 seitlich orientiert auf den Kugelauflagen 3, 4 und 5 halten.
  • Wird der Steuerbolzen 6 bewegt, so kippt der Planspiegel 2 über die Kugelauflagen 3 und 4. Bei dieserKippbewegung muß der Planspiegel 2 zwangsläufig gegenüber den Kugelauflagen 3, 4 und 5 eine kleine Verschiebung erfahren, da der Spiegel durch die Stifte II und 12 an eine bestimmte Bewegung gebunden ist. Da die Auflagefläche des Spiegels 2 plan und glatt ist, tritt neben einer geringen Reibung kein Fehler in der Winkelbewegung des Planspiegels auf.

Claims (2)

  1. PATENTANSPRÜCHE: I. Spiegellagerung für optische Meß- und Prüfinstrumente, bei denen dem Spiegel durch Steuermittel eine Kippbewegung erteilt wird und bei der der Spiegel unter Federdruck auf drei Kugelauflagen, von denen mindestens eine mit dem Steuermittel verbunden ist, gehalten wird, dadurch gekennzeichnet, daß die übertragungsmittel des Federdrucks gleichzeitig zur seitlichen Fixierung des Spiegels dienen.
  2. 2. Spiegellagerung nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die Übertragungsmittel des Federdrucks in Richtung gegen die Steuermittel geführt sind und Kugelspitzen haben, von denen die eine in einem kugeligen und die andere in einem prismatischen Pfannenlager des Spiegels liegt. ~~~~~~~~~ Angezogene Druckschriften: »Grundlagen und Geräte technischer Längenmessungen« von G. Berndt, 2. Auflage, Berlin I929, P. 20I.
DEL828D 1943-10-30 1943-10-30 Spiegellagerung fuer optische Mess- und Pruefinstrumente Expired DE881584C (de)

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DE (1) DE881584C (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4066342A (en) * 1976-04-26 1978-01-03 Harris Corporation Mirror mount with beveled aperture for optical systems
US4147401A (en) * 1977-04-19 1979-04-03 Siemens Aktiengesellschaft Polygonal mirror holder and drive assembly

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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