DE727684T1 - Konfokaler optischer Scanner - Google Patents
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Claims (8)
1. Konfokaler optischer Scanner mit einer Feinlochplatte
(16), welche eine Vielzahl von Feinlöchern (14) definiert, um Licht, das durch die Feinlöcher auf eine
Probe (6) gelangt, abzutasten,
dadurch gekennzeichnet, daß
dadurch gekennzeichnet, daß
die Feinlochplatte (16) eine Kollektor- bzw. Sammelscheibe (161), auf der eine Vielzahl einzelner Kollektor-
bzw. Sammeleinrichtungen ausgebildet sind, eine Feinlochscheibe (162), die die Vielzahl an Feinlöchern
(14) definiert, und eine Trommel (163) zum Verbinden der Kollektorscheibe (161) und der Feinlochscheibe
(162) enthält, so daß die Vielzahl an Feinlöchern bei den entsprechenden Brennpunkten der
Vielzahl an Kollektoreinrichtungen gelegen sind, eine Dreheinrichtung (8) die Feinlochplatte mit konstanter
Geschwindigkeit dreht, und ein optisches Verzweigungssystem (2) zwischen der
Kollektorscheibe (161) und der Feinlochscheibe (162) der Feinlochplatte (16) vorgesehen ist.
2. Konfokaler optischer Scanner nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Probe (6) reflektierte
Licht ausgegeben wird, nachdem es die Feinloch-0 scheibe (162) in rechtwinkliger Richtung zur Lichtachsenrichtung
des durch die Kollektorscheibe (161) eingestrahlten Lichts passiert, wobei sein Strahlengang
durch das optische Verzweigungssystem (2) abgebogen
ist.
U / &aacgr;. &igr;
3. Konfokaler optischer Scanner nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Feinlochplatte (16) die an
ihrer Seite angeordnete Kollektorscheibe (161) und die an ihrem Boden (Unterseite) angeordnete Feinlochscheibe
(162) umfaßt,
das von einer Seite der Feinlochplatte auf die Kollektorscheibe einfallende Licht in seinem Strahlengang
durch das optische Verzweigungssystem (2) im rechten Winkel abgebogen ist und durch die Feinlochscheibe
auf die Probe strahlt, und das von der Probe reflektierte Licht zum optischen Verzweigungssystem übertragen ist, nachdem es die
Feinlochscheibe passiert hat.
4. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vielzahl an Kollektoreinrichtungen eine Fresnellinse umfaßt.
0 5. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vielzahl an Kollektoreinrichtungen einen gekrümmten Sekundärspiegel (22) umfaßt.
6. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge-5 kennzeichnet, daß die Vielzahl an Kollektoreinrichtungen
eine Mikrolinse des mikrokonvexen Linsentyps
umfaßt.
7. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Vielzahl an Kollektoreinrichtungen eine brechungsindexverteilte Planmikrolinse
umfaßt.
8. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet,
daß ein Teil der Feinlochplatte, in dem keine Kollektoreinrichtung der Kollektorscheibe gebildet
ist, durch einen Film mit geringer Durchlassigkeit abgeschattet ist.
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