DE727684T1 - Konfokaler optischer Scanner - Google Patents

Konfokaler optischer Scanner

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DE727684T1 DE0727684T DE96102181T DE727684T1 DE 727684 T1 DE727684 T1 DE 727684T1 DE 0727684 T DE0727684 T DE 0727684T DE 96102181 T DE96102181 T DE 96102181T DE 727684 T1 DE727684 T1 DE 727684T1
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Claims (8)

102 181.3 YOKOGAWA ELECTRIC CORPORATION Patentansprüche
1. Konfokaler optischer Scanner mit einer Feinlochplatte
(16), welche eine Vielzahl von Feinlöchern (14) definiert, um Licht, das durch die Feinlöcher auf eine Probe (6) gelangt, abzutasten,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Feinlochplatte (16) eine Kollektor- bzw. Sammelscheibe (161), auf der eine Vielzahl einzelner Kollektor- bzw. Sammeleinrichtungen ausgebildet sind, eine Feinlochscheibe (162), die die Vielzahl an Feinlöchern (14) definiert, und eine Trommel (163) zum Verbinden der Kollektorscheibe (161) und der Feinlochscheibe (162) enthält, so daß die Vielzahl an Feinlöchern bei den entsprechenden Brennpunkten der Vielzahl an Kollektoreinrichtungen gelegen sind, eine Dreheinrichtung (8) die Feinlochplatte mit konstanter Geschwindigkeit dreht, und ein optisches Verzweigungssystem (2) zwischen der Kollektorscheibe (161) und der Feinlochscheibe (162) der Feinlochplatte (16) vorgesehen ist.
2. Konfokaler optischer Scanner nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das von der Probe (6) reflektierte Licht ausgegeben wird, nachdem es die Feinloch-0 scheibe (162) in rechtwinkliger Richtung zur Lichtachsenrichtung des durch die Kollektorscheibe (161) eingestrahlten Lichts passiert, wobei sein Strahlengang durch das optische Verzweigungssystem (2) abgebogen ist.
U / &aacgr;. &igr;
3. Konfokaler optischer Scanner nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Feinlochplatte (16) die an ihrer Seite angeordnete Kollektorscheibe (161) und die an ihrem Boden (Unterseite) angeordnete Feinlochscheibe (162) umfaßt,
das von einer Seite der Feinlochplatte auf die Kollektorscheibe einfallende Licht in seinem Strahlengang durch das optische Verzweigungssystem (2) im rechten Winkel abgebogen ist und durch die Feinlochscheibe auf die Probe strahlt, und das von der Probe reflektierte Licht zum optischen Verzweigungssystem übertragen ist, nachdem es die Feinlochscheibe passiert hat.
4. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl an Kollektoreinrichtungen eine Fresnellinse umfaßt.
0 5. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl an Kollektoreinrichtungen einen gekrümmten Sekundärspiegel (22) umfaßt.
6. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch ge-5 kennzeichnet, daß die Vielzahl an Kollektoreinrichtungen eine Mikrolinse des mikrokonvexen Linsentyps umfaßt.
7. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl an Kollektoreinrichtungen eine brechungsindexverteilte Planmikrolinse umfaßt.
8. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Feinlochplatte, in dem keine Kollektoreinrichtung der Kollektorscheibe gebildet ist, durch einen Film mit geringer Durchlassigkeit abgeschattet ist.
DE0727684T 1991-10-31 1992-08-28 Konfokaler optischer Scanner Pending DE727684T1 (de)

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Families Citing this family (59)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4437896C1 (de) * 1994-10-22 1996-05-15 Leica Lasertechnik Scan-Vorrichtung für konfokale Mikroskope
US5717519A (en) * 1995-07-13 1998-02-10 Yokogawa Electric Corporation Confocal microscope
US6002509A (en) * 1995-10-21 1999-12-14 Leica Lasertechnik Gmbh Beam scanner for confocal microscopes
JP3533295B2 (ja) * 1996-01-31 2004-05-31 株式会社ニデック 共焦点走査型顕微鏡
US5760950A (en) * 1996-07-25 1998-06-02 Advanced Scanning, Ltd. Scanning confocal microscope
JP3438855B2 (ja) * 1997-01-23 2003-08-18 横河電機株式会社 共焦点装置
US6545789B1 (en) * 1997-04-25 2003-04-08 John J. Lemasters Device to improve Z-axis resolution in confocal microscopy
JP3816632B2 (ja) * 1997-05-14 2006-08-30 オリンパス株式会社 走査型顕微鏡
US6108127A (en) * 1997-05-15 2000-08-22 3M Innovative Properties Company High resolution confocal microscope
JPH10333054A (ja) * 1997-05-30 1998-12-18 Yokogawa Electric Corp 共焦点顕微鏡
US6147800A (en) * 1997-09-25 2000-11-14 Kramer Scientific Corporation Fluorescence stereo microscope illuminator
US6147798A (en) * 1997-10-24 2000-11-14 Atto Instruments, Llc. Microscope attachment for high precision and efficient imaging
EP1051652A1 (de) * 1998-01-12 2000-11-15 Wallac Oy Confikales mikroskop mit mehreren abtaststrahlen
JP3560123B2 (ja) * 1998-03-17 2004-09-02 横河電機株式会社 共焦点装置
JPH11271622A (ja) * 1998-03-19 1999-10-08 Yokogawa Electric Corp 光学顕微鏡
JP2000098259A (ja) * 1998-09-22 2000-04-07 Olympus Optical Co Ltd 共焦点顕微鏡用撮影装置
KR100319206B1 (ko) * 1998-10-20 2002-01-10 윤종용 박막트랜지스터 제조방법과 이에 의해 제조된 기판 및 박막트랜지스터
US6548796B1 (en) * 1999-06-23 2003-04-15 Regents Of The University Of Minnesota Confocal macroscope
US6731383B2 (en) 2000-09-12 2004-05-04 August Technology Corp. Confocal 3D inspection system and process
US6870609B2 (en) 2001-02-09 2005-03-22 August Technology Corp. Confocal 3D inspection system and process
JP3741051B2 (ja) * 2001-05-10 2006-02-01 横河電機株式会社 バイオチップ読取装置
DE10133017C2 (de) 2001-07-06 2003-07-03 Leica Microsystems Konfokales Mikroskop
US6882415B1 (en) 2001-07-16 2005-04-19 August Technology Corp. Confocal 3D inspection system and process
US6970287B1 (en) * 2001-07-16 2005-11-29 August Technology Corp. Confocal 3D inspection system and process
US20030031596A1 (en) * 2001-08-09 2003-02-13 Yokogawa Electric Corporation Biochip reader and fluorometric imaging apparatus
DE10206004A1 (de) * 2002-02-14 2003-08-28 Zeiss Carl Jena Gmbh Vorrichtung zur konfokalen optischen Mikroanalyse
US6934079B2 (en) * 2002-05-03 2005-08-23 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissen-schaften e. V. Confocal microscope comprising two microlens arrays and a pinhole diaphragm array
GB0224067D0 (en) * 2002-10-16 2002-11-27 Perkinelmer Uk Ltd Improvements in and relating to imaging
JP4014536B2 (ja) 2003-05-14 2007-11-28 横河電機株式会社 共焦点光スキャナ
US7247348B2 (en) * 2004-02-25 2007-07-24 Honeywell International, Inc. Method for manufacturing a erosion preventative diamond-like coating for a turbine engine compressor blade
DE102004034993A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung und Verwendung
DE102004034991A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Zoomoptik für ein Lichtrastermikroskop
DE102004034990A1 (de) 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Zoomoptik für ein Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung und Verwendung
DE102004034981A1 (de) * 2004-07-16 2006-02-02 Carl Zeiss Jena Gmbh Lichtrastermikroskop mit punktförmiger Lichtquellenverteilung und Verwendung
KR100601964B1 (ko) * 2004-09-07 2006-07-19 삼성전자주식회사 다채널 다중 컬러 측정을 위한 광검출장치 및 이를 채용한다채널 시료 분석기
JP2006078772A (ja) * 2004-09-09 2006-03-23 Yokogawa Electric Corp 共焦点顕微鏡
JP2006091507A (ja) * 2004-09-24 2006-04-06 Nikon Corp 共焦点顕微鏡
DE102004058044B4 (de) * 2004-12-01 2014-02-06 Friedrich-Schiller-Universität Jena Ortsfrequenzfiltervorrichtung und Verfahren zur Ortsfrequenzfilterung von Laserstrahlen
DE102005009188A1 (de) * 2005-03-01 2006-09-07 Carl Zeiss Jena Gmbh Punktscannendes Laser-Scanning-Mikroskop sowie Verfahren zur Einstellung eines Mikroskopes
EP2018586B9 (de) 2006-04-20 2016-04-13 NanoFocus AG Verfahren zur generierung eines universellen pinholemusters zur anwendung in konfokalmikroskopen
DE102007009551B3 (de) 2007-02-27 2008-08-21 Ludwig-Maximilian-Universität Vorrichtung für die konfokale Beleuchtung einer Probe
DE102008004233A1 (de) 2007-08-01 2009-02-05 Hochschule Ostwestfalen-Lippe Verfahren zur Lokalisierung und Sanierung von Schäden an Ver- und Entsorgungsleitungen einschließlich des umlagernden Baugrundes
US8229294B2 (en) * 2007-12-10 2012-07-24 Mitsubishi Electric Research Laboratories, Inc. Cameras with varying spatio-angular-temporal resolutions
DE102008020889A1 (de) * 2008-04-22 2009-11-05 Nanolit Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum volumetrischen Scannen
US8275226B2 (en) 2008-12-09 2012-09-25 Spectral Applied Research Ltd. Multi-mode fiber optically coupling a radiation source module to a multi-focal confocal microscope
EP2510395B1 (de) 2009-12-08 2015-09-09 Spectral Applied Research Inc. Abbildung des distalen endes einer multimodefaser
US9606343B2 (en) 2011-05-06 2017-03-28 Visitech International Ltd Enhancing spatial resolution utilizing multibeam confocal scanning systems
GB201107556D0 (en) 2011-05-06 2011-06-22 Sheblee Jafer Spatial resolution enhancements in multibeam confocal scanning systems
CN102928969A (zh) * 2011-08-12 2013-02-13 赖博 一种微透镜增强型滑块式共聚焦光学扫描仪
DE102013001238B4 (de) * 2013-01-25 2020-06-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Lichtmikroskop und Mikroskopieverfahren
DE102013005563A1 (de) 2013-03-28 2014-10-02 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Lichtmikroskop und verfahren zum untersuchen einer mikroskopischen probe
DE102013015933A1 (de) 2013-09-19 2015-03-19 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Hochauflösende Scanning-Mikroskopie
US10352860B2 (en) 2014-04-24 2019-07-16 Bruker Nano, Inc. Super resolution microscopy
KR101471638B1 (ko) * 2014-07-28 2014-12-24 한국기계연구원 닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법
DE102015112960B3 (de) 2015-08-06 2016-10-20 Till I.D. Gmbh Vorrichtung für die konfokale Beleuchtung einer Probe
DE102015011552A1 (de) 2015-09-02 2017-03-02 Visitron Systems GmbH Verfahren und Anordnung zur Lichteinkopplung in ein Multifokales Konfokalmikroskop
JP6743788B2 (ja) * 2017-09-14 2020-08-19 横河電機株式会社 変位センサ
CN109375355A (zh) * 2018-10-19 2019-02-22 上海市计量测试技术研究院 共聚焦三维测量装置及其多孔径尼普科夫圆盘
CN109758123A (zh) * 2019-03-28 2019-05-17 长春嵩韵精密仪器装备科技有限责任公司 一种手持式口腔扫描仪

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE792522A (fr) * 1971-12-09 1973-03-30 Rca Corp Systeme pour l'enregistrement d'un hologramme redondant d'un objet
US4806004A (en) * 1987-07-10 1989-02-21 California Institute Of Technology Scanning microscopy
US4802748A (en) * 1987-12-14 1989-02-07 Tracor Northern, Inc. Confocal tandem scanning reflected light microscope
US4994664A (en) * 1989-03-27 1991-02-19 Massachusetts Institute Of Technology Optically coupled focal plane arrays using lenslets and multiplexers
JP2578376B2 (ja) * 1989-12-19 1997-02-05 横河電機株式会社 ピンホール基板及びその作製方法
US5067805A (en) * 1990-02-27 1991-11-26 Prometrix Corporation Confocal scanning optical microscope
US5083220A (en) * 1990-03-22 1992-01-21 Tandem Scanning Corporation Scanning disks for use in tandem scanning reflected light microscopes and other optical systems
DE4023650A1 (de) * 1990-07-25 1992-01-30 Max Planck Gesellschaft Ueberaufloesendes konfokales mikroskop
US5162941A (en) * 1991-07-23 1992-11-10 The Board Of Governors Of Wayne State University Confocal microscope

Also Published As

Publication number Publication date
DE69231596T2 (de) 2001-06-28
EP0727684B1 (de) 2000-12-06
EP0539691A3 (en) 1993-06-02
DE69231596D1 (de) 2001-01-11
US5633751A (en) 1997-05-27
EP0727684A2 (de) 1996-08-21
DE539691T1 (de) 1993-10-14
US5428475A (en) 1995-06-27
DE69222733D1 (de) 1997-11-20
DE69222733T2 (de) 1998-03-12
EP0539691B1 (de) 1997-10-15
US5579157A (en) 1996-11-26
EP0727684A3 (de) 1996-10-30
EP0539691A2 (de) 1993-05-05

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