DE69924807T2 - Zinn-Kupfer-Legierung Elektroplattierungsbad und Plattierungsverfahren mit diesem Bad - Google Patents

Zinn-Kupfer-Legierung Elektroplattierungsbad und Plattierungsverfahren mit diesem Bad Download PDF

Info

Publication number
DE69924807T2
DE69924807T2 DE69924807T DE69924807T DE69924807T2 DE 69924807 T2 DE69924807 T2 DE 69924807T2 DE 69924807 T DE69924807 T DE 69924807T DE 69924807 T DE69924807 T DE 69924807T DE 69924807 T2 DE69924807 T2 DE 69924807T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
acid
copper
water
tin
soluble
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69924807T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69924807D1 (de
Inventor
Isamu Hirakata-shi Yanada
Masanobu Hirakata-shi Tsujimoto
Tetsurou Hirakata-shi Okada
Teruya Hirakata-shi Oka
Hideyuki Hirakata-shi Tsubokura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
C Uyemura and Co Ltd
Original Assignee
C Uyemura and Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by C Uyemura and Co Ltd filed Critical C Uyemura and Co Ltd
Publication of DE69924807D1 publication Critical patent/DE69924807D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69924807T2 publication Critical patent/DE69924807T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/38Electroplating: Baths therefor from solutions of copper
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/56Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys
    • C25D3/60Electroplating: Baths therefor from solutions of alloys containing more than 50% by weight of tin

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Description

  • HINTERGRUND
  • Die vorliegende Erfindung betrifft galvanische Zinn-Kupfer-Legierungsbäder und entsprechende Galvanisierungsverfahren, wobei das Galvanisieren mit Zinn-Kupfer-Legierungen als ein Ersatzverfahren für Zinn-Blei-Legierungsgalvanisierungen (zum Löten) geeignet ist.
  • Es ist allgemein üblich geworden, Teile elektronischer Maschinen und Ausstattung, wie z.B. Chips, Schwingquarz, Löthöcker, Steckerstifte, Leitungsrahmen, Bänder, Leiterstifte für Verpackungen und Leiterplatten, vor dem Löten einer Galvanisierung mit Zinn oder einer Galvanisierung mit einer Zinn-Blei-Legierung zu unterziehen.
  • Bei der Herstellung von Leiterplatten ist ein galvanischer Film aus Zinn oder einer Zinn-Blei-Legierung als gebräuchlicher Ätzresistfilm verwendet worden.
  • Es werden striktere Bestimmungen durchgesetzt, die die Verwendung von Blei zum Schutz der Umwelt einschränken. Dies führt zu einer Nachfrage nach bleifreien Galvanisierungsbädern, die die galvanischen Zinn-Blei-Legierungsbäder verdrängen werden. Diese Nachfrage kann nicht durch einfache Zinngalvanisierungsbäder befriedigt werden, weil eine Zinnabscheidung die Lötbarkeit verschlechtern und die Bildung von kristallinen Whiskern im galvanischen Film verursachen würde.
  • Es sind Versuche unternommen worden, neue Arten von Galvanisierungen mit einer Zinnlegierung zu entwickeln.
  • Die Galvanisierung mit Zinn-Kupfer-Legierungen gewinnt immer mehr Aufmerksamkeit. Die herkömmlichen Zinn-Kupfer-Legierung-Galvanisierungsbäder scheiden eine Zinn-Kupfer-Legierung ab, die zu mehr als 50 Gew.-% Kupfer enthält. Das galvanische Bad für die Zinn-Kupfer-Legierung ist ein stark basisches Bad, das als Komplexbildner Alkalicyanid oder Alkalipyrophosphat verwendet, oder ein einfaches Bad auf Schwefelsäurebasis, das keine Komplexbildner enthält. Das erstere Bad ist in JP-A-27590/1996 offenbart. Diese galvanischen Bäder dienen jedoch nicht als Ersatz für Zinngalvanisierungsbäder oder Zinn-Blei-Legierung-Galvanisierungsbäder, die auf elektronische Teilen und Leiterplatten angewandt werden. Der Grund liegt darin, dass diese keinen galvanischen Zinn-Kupfer-Legierungsfilm bilden, der die erforderlichen 0,01 bis 10 Gew.-% Kupfer enthält, um auf elektronischen Teilen und Leiterplatten angewandt werden zu können. Zudem sollte das galvanische Bad neutral oder sauer sein, wenn es auf Leiterplatten oder dergleichen angewandt werden soll, die mit einem organischen Resistfilm beschichtet sind, der in einem basischen galvanischen Bad für Ablösungen anfällig ist. Obwohl einfache Bäder auf Schwefelsäurebasis stark sauer sind, haben sie den Nachteil, aus löslichen Zinn- oder Zinn-Kupfer-Legierungsanoden die Herauslösung von Zinn aus ihrer Oberfläche zu verursachen und das Kupfer auf ihrer Oberfläche in nicht geladenem Zustand abzuscheiden. Dies erschwert die ausreichende Steuerung des galvanischen Bades. Außerdem fällen diese galvanischen Bäder Zinnverbindungen leicht aus und weisen somit nur geringe Langzeitstabilität auf.
  • Den Erfindern ist bekannt, dass nach dem Stand der Technik im US-Patent 4.389.286 galvanische Bäder für Kupfer/Blei- und Kupfer/Zinn-Legierungen unter Verwendung eines aus Glucoheptonsäure und deren Salzen ausgewählten Chelatbildners beschrieben sind, wobei das Bad einen pH-Wert von über 10, vorzugsweise über 12, aufweist. Es können Glanzbildner verwendet werden, die auf Metallionenbasis oder schwefelhältige Verbindungen sein können, wie etwa Mercaptane und C=S-Verbindungen.
  • Ebenso beschreibt das US-Patent 5.385.661 Bäder zum Galvanisieren mit Cu/Pb- und Cu/Sn-Legierungen. Zusätzlich zu den Metallionen enthält das Bad einen sauren Elektrolyten wie etwa Methansulfonsäure. Ein Glanzbildner wie etwa Mercaptopropansulfonsäure kann verwendet werden.
  • Das Ziel der Erfindung ist, neue und nützliche Zusammensetzungen für galvanische Bäder mit Zinn-Kupfer-Legierungen und entsprechende Galvanisierungsverfahren bereitzustellen. Bevorzugte Ziele umfassen das Verleihen von guter Lötbarkeit für verschiedene zu lötende Teile und das Bilden eines galvanischen Films aus einer Zinn-Kupfer-Legierung, der als Ätzresist dienen kann.
  • Das Zinn-Kupfer-Legierung-Galvanisierungsbad gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung umfasst ein wasserlösliches Zinnsalz, ein wasserlösliches Kupfersalz, eine anorganische oder organische Säure oder ein wasserlösliches Salz davon und eine oder mehrere aus Thioamidverbindungen ausgewählte Verbindungen in einer Menge von 1 bis 200 g/l.
  • Das galvanische Zinn-Kupfer-Legierungsbad kann ein wasserlösliches Zinnsalz, ein wasserlösliches Kupfersalz, eine oder mehrere Verbindungen, ausgewählt aus Carbonsäuren, Lactonverbindungen, kondensierten Phosphorsäuren, Phosphonsäuren und wasserlöslichen Salzen davon, zusammen mit einer oder mehreren Thioamidverbindungen und der anorganischen oder organischen Säure oder einem wasserlöslichen Salz davon, die/das keine Carbonsäuren, Lactonverbindungen, kondensierten Phosphorsäuren, Phosphonsäuren oder wasserlösliche Salze davon sind, umfassen.
  • Die Erfinder sind der Meinung, dass Ausführungsformen solcher galvanischer Bäder galvanische Filme bereitstellen können, die galvanische Filme aus Zinn oder Zinn-Blei-Legierungen, die zum Löten oder für Ätzresists dienen, ersetzen können. Diese können für alle Teile elektronischer Maschinen oder Ausstattungen, wie z.B. Chips, Schwingquarz, Löthöcker, Steckerstifte, Leitungsrahmen, Ringe, Leitungsstifte für Verpackungen und Leiterplatten, für die bleifreies Löten erforderlich ist, angewandt werden.
  • Erfindungsgemäße galvanische Zinn-Kupfer-Legierungsbäder können einen breiten Bereich der Kathodenstromdichte zulassen und bei Trommelgalvanisierungen, Plattengalvanisierungen oder plattenlosen Galvanisierungen (Hochgeschwindigkeits-Jet-Plating oder Hochgeschwindigkeitsdurchflussgalvanisierung) einen zufrieden stellenden galvanischen Film aus einer Zinn-Kupfer-Legierung bereitstellen. Diese können auf elektronische Teilen angewandt werden, die aus leitenden Materialien bestehen, welche darin aufgenommene Isoliermaterialien, wie z.B. Keramik, Bleiglas, Kunststoff und Ferrit, aufweisen, ohne die Isoliermaterialien durch Korrosion, Verformung und Zersetzung zu beeinträchtigen. Diese verursachen keine Ersetzungsabscheidung oder verfrühte Abscheidung von Kupfer auf der löslichen Anode aus Zinn oder einer Zinn-Kupfer-Legierung oder auf dem galvanischen Film. Dies erweist sich beim Galvanisierungsprozess als vorteilhaft.
  • Im Folgenden wird die Erfindung detaillierter beschrieben.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung enthält das galvanische Zinn-Kupfer-Legierungsbad ein wasserlösliches Zinnsalz, ein wasserlösliches Kupfersalz, eine anorganische oder organische Säure oder ein wasserlösliches Salz davon und eine oder mehrere Thioamidverbindungen.
  • Das Zinnsalz kann entweder ein Zinn(II)-Salz oder ein Zinn(IV)-Salz sein. Das Zinn(II)-Salz [Sn(II)-Salz] umfasst z.B. Zinn(II)-organosulfonat (wie etwa Zinn(II)-methansulfonat), Zinn(II)-sulfat, Zinn(II)-chlorid, Zinn(II)-bromid, Zinn(II)-iodid, Zinn(II)-oxid, Zinn(II)-phosphat, Zinn(II)-pyrophosphat, Zinn(II)-acetat, Zinn(II)-citrat, Zinn(II)-gluconat, Zinn(II)-tartrat, Zinn(II)-lactat, Zinn(II)-succinat, Zinn(II)-sulfamat, Zinn(II)-borfluorid, Zinn(II)-formiat und Zinn(II)-silicofluorid. Das Zinn(IV)-Salz [Sn(IV)-Salz] umfasst z.B. Natriumstannat und Kaliumstannat.
  • Das Kupfersalz kann entweder ein Kupfer(I)-Salz oder ein Kupfer(II)-Salz sein. Das Kupfer(I)-Salz [Cu(I)-Salz] umfasst z.B. Kupfer(I)-oxid, Kupfer(I)-cyanid, Kupfer(I)-chlorid, Kupfer(I)-bromid, Kupfer(I)-iodid oder Kupfer(I)-thiocyanat. Das Kupfer(II)-Salz [Cu(II)-Salz] umfasst z.B. Kupfer(II)-organosulfonat (wie etwa Kupfer(II)-methansulfonat), Kupfer(II)-sulfat, Kupfer(II)-chlorid, Kupfer(II)-bromid, Kupfer(II)-iodid, Kupfer(II)-oxid, Kupfer(II)-phosphat, Kupfer(II)-pyrophosphat, Kupfer(II)-acetat, Kupfer(II)-citrat, Kupfer(II)-gluconat, Kupfer(II)-tartrat, Kupfer(II)-lactat, Kupfer(II)-succinat, Kupfer(II)-sulfamat, Kupfer(II)-borfluorid, Kupfer(II)-formiat und Kupfer(II)-silicofluorid.
  • Der Gehalt des Zinnsalzes im galvanischen Bad sollte vorzugsweise 1 bis 99 g/l, insbesondere 5 bis 59 g/l, bezogen auf das Zinn betragen. Der Gehalt des Kupfersalzes im galvanischen Bad sollte vorzugsweise 0,001 bis 99 g/l, insbesondere 0,01 bis 54 g/l, bezogen auf Kupfer betragen. Um eine Abscheidung aus einer Zinn-Kupfer-Legierung zu erhalten, die 0,01 bis 30 Gew.-% Kupfer enthält, sollte der Gehalt des Zinnsalzes vorzugsweise 1 bis 99 g/l, insbesondere 5 bis 59 g/l, bezogen auf das Zinn und der Gehalt des Kupfersalzes vorzugsweise 0,001 bis 30 g/l, insbesondere 0,01 bis 18 g/l, bezogen auf Kupfer betragen.
  • Beispiele für die anorganische oder organische Säure umfassen Schwefelsäure, Salzsäure, Salpetersäure, Flusssäure, Fluorborsäure, Phosphorsäure, Sulfaminsäure, Sulfonsäure wie z.B. aliphatische Sulfonsäure und aromatische Sulfonsäure, Carbonsäure. wie z.B. aliphatisch gesättigte Carbonsäure, aromatische Carbonsäure, Aminocarbonsäure, kondensierte Phosphorsäure und Phosphonsäure.
  • Beispiele für die aliphatische oder aromatische Sulfonsäure umfassen substituierte oder unsubstituierte Alkansulfonsäure, Hydroxyalkansulfonsäure, Benzolsulfonsäure und Naphthalinsulfonsäure. Die unsubstituierte Alkansulfonsäure kann eine Säure sein, die durch CnH2n+1SO3H (worin n = 1 bis 5, vorzugsweise 1 oder 2, ist) dargestellt ist.
  • Die unsubstituierte Hydroxyalkansulfonsäure kann eine Säure sein, die durch folgende Formel dargestellt ist:
    Figure 00050001
    (worin m = 0 bis 2 und k = 1 bis 3 ist)
  • Die substituierte Alkansulfonsäure oder Hydroxyalkansulfonsäure kann eine Säure sein, worin die Wasserstoffatome der Alkylgruppe teilweise durch ein Halogenatom, Arylgruppen, Alkylarylgruppen, Carboxylgruppen oder Sulfonsäuregruppen ersetzt sind.
  • Die Benzolsulfonsäure und die Naphthalinsulfonsäure sind durch die jeweiligen folgenden Formeln dargestellt:
  • Figure 00060001
  • Die substituierte Benzolsulfonsäure und die Naphthalinsulfonsäure können jene sein, worin die Wasserstoffatome des Benzol- oder Naphthalinrings teilweise durch Hydroxylgruppen, ein Halogenatom, Alkylgruppen Carboxylgruppen, Nitrogruppen, Mercaptogruppen, Aminogruppen oder Sulfonsäuregruppen ersetzt sind.
  • Spezifische Beispiele umfassen Methansulfonsäure, Ethansulfonsäure, Isethionsäure, Propansulfonsäure, 2-Propansulfonsäure, Butansulfonsäure, 2-Butansulfonsäure, Pentansulfonsäure, Chlorpropansulfonsäure, 2-Hydroxyethan-1-sulfonsäure, 2-Hydroxypropansulfonsäure, 2-Hydroxybutan-1-sulfonsäure, 2-Hydroxypentansulfonsäure, Allylsulfonsäure, 2-Sulfoessigsäure, 2-Sulfopropiansäure, 3-Sulfopropionsäure, Sulfobernsteinsäure, Sulfomaleinsäure, Sulfofumarsäure, Benzolsulfonsäure, Toluolsulfonsäure, Xylolsulfonsäure, Nitrobenzolsulfonsäure, Sulfobenzoesäure, Sulfosalicylsäure, Benzaldehydsulfonsäure und p-Phenolsulfonsäure.
  • Die verwendete Carbonsäure sollte vorzugsweise eine Säure sein, die keine aliphatisch ungesättigten Bindungen aufweist. Beispiele für aliphatisch gesättigte Carbonsäuren umfassen Monocarbonsäuren, wie z.B. Ameisensäure, Essigsäure, Milchsäure, Propionsäure, Buttersäure und Gluconsäure, Dicarbonsäuren, wie z.B. Oxalsäure, Malonsäure, Bernsteinsäure, Weinsäure und Äpfelsäure, und Tricarbonsäuren, wie z.B. Citronensäure und Tricarballylsäure. Beispiele für aromatische Carbonsäuren umfassen Phenylessigsäure, Benzoesäure und Anissäure. Beispiele für Aminocarbonsäuren umfassen Iminodiessigsäure, Nitrilotriessigsäure (NTA), Ethylendiamintetraessigsäure (EDTA) und Diethylentriaminpentaessigsäure. Beispiele für kondensierte Phosphorsäuren umfassen Pyrophosphorsäure, Tripolyphosphorsäure, Tetrapolyphosphorsäure, Polyphosphorsäure mit einem Polymerisationsgrad von 5 oder mehr und Hexametaphosphorsäure. Beispiele für Phosphonsäuren umfassen Aminotrimethylenphosphonsäure, 1-Hydroxyethyliden-1,1-diphosphonsäure, Ethylen diamintetramethylenphosphonsäure und Diethylentriaminpentamethylenphosphonsäure.
  • Beispiele für die Salze der anorganischen und organischen Säure umfassen Alkalimetallsalze, wie z.B. Natriumsalz, Kaliumsalz und Lithiumsalz, Erdalkalimetallsalze, wie z.B. Magnesiumsalz, Calciumsalz und Bariumsalz, zweiwertige Zinn(II)-Salze, vierwertige Zinn(II)-Salze, einwertige Kupfer(I)-Salze, zweiwertige Kupfer(II)-Salze, Ammoniumsalze und organische Aminsalze, wie z.B. Monomethylaminsalz, Dimethylaminsalz, Trimethylaminsalz, Ethylaminsalz, Isopropylaminsalz, Ethylendiaminsalz und Diethylentriaminsalz.
  • Der Gehalt der anorganischen oder organischen Säure oder wasserlöslichen Salzen davon sollte im galvanischen Bad vorzugsweise zumindest 50 g/l, noch bevorzugter. zumindest 100 g/l, betragen. Bei geringeren Mengen neigt das Bad stärker zu Instabilität und Ausfällung. Vorzugsweise beträgt die Säure 600 g/l oder weniger, noch bevorzugter 500 g/l oder weniger, sogar noch bevorzugter 400 g/l oder weniger, insbesondere 300 g/l oder weniger. Über diesen Bereichen kommt es zu einer Abschwächung der Wirkung.
  • In der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt, dass (A) zumindest eine Verbindung, ausgewählt aus Carbonsäuren, kondensierten Phosphorsäuren, Phosphonsäuren und wasserlöslichen Salzen davon sowie Lactonverbindungen, wie z.B. Gluconolacton und Gluconoheptolacton, und (B) zumindest eine Verbindung, ausgewählt aus anorganischen und organischen Säuren und wasserlöslichen Salzen davon, die keine Komponente (A) (Carbonsäuren, Lactonverbindungen, kondensierten Phosphorsäuren, Phosphonsäuren oder wasserlösliche Salze davon) ist, in Kombination verwendet werden. Die Komponente (B) umfasst Schwefelsäure, Salzsäure, Salpetersäure, Flusssäure, Fluorborsäure, Phosphorsäure, Sulfaminsäure, Sulfonsäure wie oben beschrieben und wasserlösliche Salze davon.
  • Die Komponente (A), d.h. Carbonsäure, Lactonverbindung, kondensierte Phosphorsäure, Phosphonsäure und wasserlösliche Salzen davon, kann allein oder in Kombi nation verwendet werden. Davon sollten vorzugsweise Citronensäure, Weinsäure, Bernsteinsäure, Gluconsäure, Äpfelsäure, EDTA, NTA, Malonsäure und wasserlösliche Salze davon verwendet werden. Der Gehalt der Komponente (A) sollte in einem Bereich von 50 bis 500 g/l, vorzugsweise 50 bis 300 g/l, noch bevorzugter 100 bis 300 g/l, liegen. Wenn der Gehalt zu gering ist, kann das Bad instabiler werden und zum Ausfällen neigen. Auch wenn der Gehalt zu hoch ist, kommt es zu einer Abschwächung der Wirkung. Wenn dem galvanischen Bad ein oberflächenaktives Mittel zugesetzt wird, kann es dazu kommen, dass dieses nicht vollständig darin gelöst wird, was bei zu hohem Gehalt zum Aussalzen führt.
  • Die Komponente (B) ist vorzugsweise Schwefelsäure, Salzsäure, Salpetersäure und wasserlösliche Salze davon. Von den wasserlöslichen Salzen sind Kaliumsalze, Natriumsalze, Ammoniumsalze und Magnesiumsalze bevorzugt. Der Gehalt der Komponente (B) sollte in einem Bereich von 5 bis 200 g/l, vorzugsweise 30 bis 200 g/l, noch bevorzugter 30 bis 100 g/l, liegen. Bei einem zu geringen Gehalt kann bei einer Trommelgalvanisierung das Legierungsverhältnis zwischen Zinn und Kupfer in der Abscheidung instabil und die Badspannung höher werden. Auch wenn der Gehalt zu hoch ist, kommt es zu einer Abschwächung der Wirkung. Wenn dem galvanischen Bad ein oberflächenaktives Mittel zugesetzt wird, kann es dazu kommen, dass dieses nicht vollständig darin gelöst wird, was bei zu hohem Gehalt zum Aussalzen führt.
  • Die Komponente (B) würde bei einer Verwendung in Kombination mit der Komponente (A) für das galvanische Bad als elektrisch leitendes Salz und als Stabilisator für eine Legierungszusammensetzung der Abscheidung dienen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung enthält das galvanische Bad als Stabilisatoren oder Komplexbildner eine oder mehrere Vertreter, die aus Thioamidverbindungen und gegebenenfalls auch aus Thiolverbindungen ausgewählt sind. Beispiele für Thioamidverbindungen umfassen Thioamidverbindungen mit 1 bis 15 Kohlenstoffatomen, wie z.B. Thioharnstoff, Dimethylthioharnstoff, Diethylthioharnstoff, Trimethylthioharnstoff, N,N'-Diisopropylthioharnstoff, Acetylthioharnstoff, Allylthioharnstoff, Ethylen thioharnstoff, 1,3-Diphenylthioharnstoff, Thioharnstoffdioxid, Thiosemicarbazid und Tetramethylthioharnstoff. Thiolverbindungen mit 2 bis 8 Kohlenstoffatomen, wie z.B. Mercaptoessigsäure (Thioglykolsäure), Mercaptobernsteinsäure (Thioapfelsäure) und Mercaptomilchsäure, können enthalten sein. Davon werden Thioharnstoff, Dimethylthioharnstoff, Diethylthioharnstoff, Trimethylthioharnstoff, N,N'-Diisopropylthioharnstoff, Acetylthioharnstoff, Allylthioharnstoff, Ethylenthioharnstoff, 1,3-Diphenylthioharnstoff, Thioharnstoffdioxid, Thiosemicarbazid und Tetramethylthioharnstoff gegebenenfalls mit Mercaptobernsteinsäure, Mercaptomilchsäure und Thioglykolsäure sowie wasserlösliche Salze davon (z.B. Alkalimetallsalze, Ammoniumsalze, Magnesiumsalze etc.) bevorzugt.
  • Der Gehalt der Thioamidverbindung oder Thiolverbindung im galvanischen Bad sollte 1 bis 200 g/l, insbesondere 5 bis 100 g/l, betragen. Diese entfalten ihre Wirkung nicht vollständig, wenn deren Gehalt allzu gering ist. Zudem verhindern sie die Bildung von feinen Kristallen im galvanischen Film, wenn deren Gehalt allzu hoch ist.
  • Das erfindungsgemäße galvanische Bad kann je nach Bedarf ein nichtionisches oberflächenaktives Mittel umfassen.
  • Ein nichtionisches oberflächenaktives Mittel verhilft der Sn-Cu-Legierung zu einer Abscheidung mit einer glatten dichten Oberfläche und einer einheitlichen Zusammensetzung. Dieses sollte vorzugsweise ein Mittel sein, das von einem Alkylenoxid stammt. Als Beispiele dienen z.B. Polyoxyethylen-β-naphtholether, Ethylenoxid-Propylenoxid-Blockcopolymer, Polyoxyethylenalkylether, Polyoxyethylenphenylether, Polyoxyethylenalkylaminoether, Polyoxyethylenfettsäureester, ein Ether aus Polyoxyethylen und mehrwertigem Alkohol und Polyethylenglykol. Der Gehalt des oberflächenaktiven Mittels im galvanischen Bad sollte vorzugsweise 0,01 bis 50 g/l, insbesondere 2 bis 10 g/l, betragen. Es kann aufgrund der hohen Stromdichte bei allzu geringen Mengen zu verbrannten Abscheidungen kommen, und der galvanische Film kann bei einer allzu großen Menge eine schwärzliche oder uneinheitliche Farbe annehmen.
  • Das erfindungsgemäße galvanische Bad kann je nach Bedarf ein oder mehrere kationische oberflächenaktive Mittel, anionische oberflächenaktive Mittel oder amphotere oberflächenaktive Mittel umfassen.
  • Beispiele für kationische oberflächenaktive Mittel umfassen Dodecyltrimethylammoniumsalz, Hexadecyltrimethylammoniumsalz, Octadecyltrimethylammoniumsalz, Dodecyldimethylethylammoniumsalz, Octadecenyldimethylammoniumsalz, Dodecyldimethylammoniumbetain, Octadecyldimethylammoniumbetain, Dimethylbenzyldodecylammoniumsalz, Hexadecyldimethylbenzylammoniumsalz, Octadecyldimethylbenzylammoniumsalz, Trimethylbenzylammoniumsalz, Triethylbenzylammoniumsalz, Hexadecylpyridiniumsalz, Dodecylpyridiniumsalz, Dodecylpicoliniumsalz, Dodecylimidazoliumsalz, Oleylimidazoliumsalz, Octadecylaminacetat und Doedecylaminacetat.
  • Beispiele für anionische oberflächenaktive Mittels umfassen Alkylsulfat, Polyoxyethylenalkylethersulfat, Polyoxyethylenalkylphenylethersulfat, Alkylbenzolsulfonat und (Poly)alkylnaphthalinsulfonat. Beispiele für das Alkylsulfonat umfassen Natriumdedecylsulfat und Natriumoleylsulfat. Beispiele für das Polyoxyethylenalkylethersulfat umfassen Natriumpolyoxyethylen-(EO12)-nonylethersulfat und Natriumpolyoxyethylen-(EO15)-dodecylethersulfat.
  • Beispiele für amphotere oberflächenaktive Mittel umfassen Betain, Sulfobetain und Imidazoliumbetain. Zusätzliche Beispiele umfassen ein sulfatiertes Additionsprodukt oder ein sulfoniertes Additionsprodukt eines Kondensationsprodukts aus Ethylenoxid und/oder Propylenoxid und Alkylamin oder Diamin.
  • Die Menge dieser oberflächenaktiven Mittel im galvanischen Bad sollte vorzugsweise 0 bis 50 g/l, noch bevorzugter 0,01 bis 50 g/l, insbesondere 2 bis 10 g/l, betragen.
  • Das erfindungsgemäße galvanische Bad kann eine oder mehrere mercaptogruppenhältige aromatische Verbindungen, dioxyaromatische Verbindungen und ungesättigte Carbonsäureverbindungen als ein Egalisierungsmittel für den galvanischen Film sowie ein Antioxidans für Sn2+-Ion im galvanischen Bad aufweisen. Beispiele für die mercaptogruppenhältigen aromatischen Verbindungen umfassen 2-Mercaptobenzoesäure, Mercaptophenol, 2-Mercaptobenzoxazol, 2-Mercaptobenzothiazol, 2-Mercaptoethylamin und Mercaptopyridin. Beispiele für die dioxyaromatischen Verbindungen umfassen Dioxybenzophenon, 3,4-Dioxyphenylalanin, Resorcin, Catechin, Hydrochinon, Dioxyhexan und Dipalin. Beispiele für die ungesättigten Carbonsäureverbindungen umfassen Benzoesäure, Fumarsäure, Phthalsäure, Acrylsäure, Citraconsäure und Methacrylsäure. Die Menge dieser Komponenten sollte im galvanischen Bad vorzugsweise 0,001 bis 20 g/l, insbesondere 0,001 bis 5 g/l, betragen.
  • Das erfindungsgemäße galvanische Bad kann als Glanzbildner für den galvanischen Film eine oder mehrere Aldehydverbindungen aufweisen. Beispiele für die Aldehydverbindungen umfassen 1-Naphthaldehyd, 2-Naphthaldehyd, o-Chlorbenzaldehyd, m-Chlorbenzaldehyd, p-Chlorbenzaldehyd, 2,4-Dichlorbenzaldehyd, Acetaldehyd, Salicylaldehyd, 2-Thiophenaldehyd, 3-Thiophenaldehyd, o-Anisaldehyd, m-Anisaldehyd, p-Anisaldehyd und Salicylaldehydallylether. Die Aldehydverbindungen kann vorzugsweise in einer Menge von 0,001 bis 10 g/l, insbesondere 0,05 bis 0,5 g/l, zugesetzt werden.
  • Das erfindungsgemäße galvanische Bad kann vorzugsweise ein oder mehrere wasserlösliche Metallsalze umfassen, die aus wasserlöslichen Goldsalzen, wasserlöslichen Silbersalzen, wasserlöslichen Zinksalzen, wasserlöslichen Bismutsalzen, wasserlöslichen Nickelsalzen, wasserlöslichen Cobaltsalzen und wasserlöslichen Palladiumsalzen ausgewählt sind. Die Aufnahme des wasserlöslichen Metallsalzes kann aufgrund der gemeinsamen Abscheidung des Metalls (Au, Ag, Zn, Bi, Ni, Co oder Pd) mit Sn und Cu eine dichte ternäre Legierung aus Sn-Cu-Au, Ag, Zn, Bi, Ni, Co oder Pd bilden, oder das wasserlösliche Metallsalz kann als Additiv zur Bildung einer dichten Abscheidung dienen, was die Lötbarkeit verbessert und die Abscheidung vor Verfärbungen nach der Hitzebehandlung schützt.
  • Beispiele für die wasserlöslichen Metallsalze umfassen Natriumgold(I)-sulfit, Silber(I)-chlorid, Silber(I)-sulfat, Silber(I)-methansulfonat, Zinkoxid, Zinksulfat, Zink chlorid, Bismut(III)-oxid, Bismut(III)-sulfat, Bismut(III)-methansulfonat, Nickel(II)-chlorid, Nickel(II)-sulfat, Nickel(II)-sulfamat, Cobalt(II)-chlorid, Cobalt(II)-sulfat, Cobalt(II)-sulfamat, Palladium(II)-chlorid und Palladium(II)-sulfat.
  • Der Gehalt des wasserlöslichen Metallsalzes beträgt vorzugsweise 0,001 bis 99 g/l, insbesondere 0,005 bis 18 g/l. Das wasserlösliche Metallsalz kann die Lötbarkeit der Abscheidung verbessern und die Abscheidung vor Verfärbungen nach der Hitzebehandlung sogar in geringen Mengen von 0,001 bis 2 g/l, vorzugsweise 0,001 bis 1 g/l, noch bevorzugter 0,005 bis 1 g/l, schützen.
  • Das erfindungsgemäße galvanische Bad sollte vorzugsweise einen pH-Wert von 10 oder weniger, vorzugsweise 9 oder weniger, noch bevorzugter 7 oder weniger, aufweisen. Die untere Grenze des pH-Werts ist nicht eingeschränkt. Wenn die Verbindung, ausgewählt aus Carbonsäuren, Lactonverbindungen, kondensierten Phosphorsäuren, Phosphonsäuren und wasserlöslichen Salzen davon (die oben beschriebene Komponente (A)), in Kombination mit zumindest einer Verbindung, ausgewählt aus anorganischen und organischen Säuren und den wasserlöslichen Salzen davon, die nicht Komponente (A) sind, verwendet wird, sollte der pH-Wert im galvanischen Bad vorzugsweise 2 oder mehr, insbesondere 4 oder mehr, betragen.
  • Das galvanische Bad eignet sich zum Galvanisieren von elektronischen Teilen, die ein Isoliermaterial, wie z.B. Glas, Keramik und Kunststoff, aufweisen, da das galvanische Bad bei einem pH-Wert von 2 oder mehr verwendet werden kann. Der Isolierabschnitt solcher elektronischer Teile kann angegriffen, denaturiert oder verformt werden, wenn das galvanische Bad einen pH-Wert unter 2,0 aufweist.
  • Das erfindungsgemäße galvanische Bad kann bei Plattengalvanisierungen, Trommelgalvanisierungen oder Hochgeschwindigkeitsgalvanisierungen auf herkömmliche Weise angewandt werden. Die Kathodenstromdichte kann auf einen Bereich von 0,01 bis 100 A/dm2, insbesondere 0,01 bis 20 A/dm2, eingestellt sein. Diese kann zum Plattengalvanisieren in einem Bereich von 0,5 bis 5 A/dm2, insbesondere 1 bis 4 A/dm2, liegen. Diese kann zum Trommelgalvanisieren in einem Bereich von 0,01 bis 1 A/dm2, insbesondere 0,05 bis 0,5 A/dm2, liegen. Die Galvanisierungstemperatur beträgt vorzugsweise 10 bis 50°C, insbesondere 15 bis 40°C. Das optionale Rühren kann durch Schütteln der Kathode, Rühren oder Pumpen erfolgen. Die Anode kann eine lösliche Anode sein, d.h. Zinn, Kupfer oder eine Zinnlegierung, die zumindest ein aus Kupfer, Gold, Silber, Zink, Bismut, Nickel, Cobalt und Palladium ausgewähltes Metall enthält. Die Verwendung der löslichen Anode kann je nach in der Anode enthaltenem Metall die erforderlichen Metallionen ergänzen. Der Gehalt des mit Zinn legierten Metalls hängt von der im galvanischen Bad erforderlichen Menge an Metallionen ab. Die Anode kann auch unlöslich sein, wie z.B. Kohlenstoff und Platin. Im Übrigen verursacht das erfindungsgemäße galvanische Bad keine Ersetzungsabscheidung von Kupfer auf der Zinnanode oder der Zinn-Kupfer-Legierungsanode, sogar wenn an das Bad kein Strom angelegt ist. Der Kathodenstromwirkungsgrad beträgt gewöhnlich 80 bis 99%.
  • Das erfindungsgemäße galvanische Bad kann auf alle Objekte angewandt werden, die galvanisierbare leitende Teile aufweisen. Solche Objekte können Verbundobjekte sein, die aus einem leitenden Material wie Metall und einem Isoliermaterial wie Keramik, Bleiglas, Kunststoff und Ferrit bestehen. Diese Objekte zum Galvanisieren können einer Vorbehandlung unterzogen werden, die für die jeweiligen Materialien geeignet ist. Bei den galvanischen Bädern der vorliegenden Erfindung hat sich herausgestellt, dass diese keine Ersetzungsabscheidung oder frühzeitige Abscheidung von Kupfer auf dem galvanischen Film verursachen. Zudem führen sie weder zu Korrosionen, Verformungen oder Abbau der Isoliermaterialien, wenn sie auf elektronische Teile angewandt werden, die aus leitenden Materialien und Isoliermaterialien bestehen.
  • Insbesondere kann das erfindungsgemäße galvanische Bad zur Bildung von Zinn-Kupfer-Legierungsüberzügen auf elektronischen Teilen verwendet werden, für die eine Lötung erforderlich ist, wie z.B. Chips, Schwingquarz, Steckerstifte, Leitungsrahmen, Ringe, Leiterstifte und Löthöcker für Verpackungen und Leiterplatten.
  • Das erfindungsgemäße galvanische Bad stellt einen galvanischen Film aus einer Zinn-Kupfer-Legierung bereit, dessen Erscheinungsbild je nach Kupfergehalt und Vorhandensein oder Nichtvorhandensein von Glanzbildnern und/oder wasserlöslichen Metallsalzen von weiß zu gräulich-weiß und von glänzend zu matt reicht. Üblicherweise besteht die Zinn-Kupfer-Legierung zu 99,99 bis 10 Gew.-% aus Zinn und zu 0,01 bis 90 Gew.-% aus Kupfer, je nach Verhältnis zwischen Zinnionen und Kupferionen im galvanischen Bad und je nach Galvanisierungsbedingungen. Die Legierungszusammensetzung sollte zweckgemäß ausgewählt werden. Zum Löten oder als Ätzresist sollte der Zinngehalt mehr als 50 Gew.-%, vorzugsweise mehr als 70 Gew.-%, noch bevorzugter mehr als 90 Gew.-%, und der Kupfergehalt mehr als 0,01 Gew.-%, vorzugsweise mehr als 0,1 Gew.-%, betragen.
  • Wenn die oben beschriebene Komponente (A) und die oben beschriebene Komponente (B) in Kombination verwendet werden, ist die Legierungszusammensetzung aus Sn und Cu im Kupfergehaltbereich von 0,5 ± 0,2 bis 10,0 ± 0,5 Gew.-% bei einer Kathodenstromdichte von 0,01 bis 0,5 A/dm2 stabiler, und deshalb eignet sich die Kombination der Komponenten (A) und (B) zum Trommelgalvanisieren, das bei einer mittleren Kathodenstromdichte von 0,01 bis 0,5 A/dm2 durchgeführt wird.
  • BEISPIELE
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand der folgenden Beispiele und Vergleichsbeispiele detaillierter beschrieben.
  • Beispiel und Vergleichsbeispiel 1
  • Galvanische Bäder aus einer Zinn-Kupfer-Legierung wurden gemäß den in den Tabellen 1 und 2 angeführten Zusammensetzungen hergestellt. Leitungsrahmen aus einer Kupfer- oder Eisennickel-(42)-Legierung, die auf herkömmliche Weise vorbehandelt worden waren, wurden in die galvanischen Bäder eingetaucht, wonach das Galvanisieren mittels Plattengalvanisierungsverfahren erfolgte, wobei die Leitungs rahmen als Kathoden dienten, und zwar unter den in den Tabellen 1 und 2 angeführten Bedingungen. Der pH-Wert des galvanischen Bades wurde unter Verwendung einer Schwefelsäure- oder Natriumhydroxidlösung eingestellt.
  • Der galvanische Film wurde auf bestimmte Eigenschaften überprüft. Die Ergebnisse sind in den Tabellen 1 und 2 angeführt.
  • Tabelle 1
    Figure 00150001
  • Tabelle 2
    Figure 00160001
  • Anmerkung 1 – pH-Wert
  • Der pH-Wert der Galvanisierungslösung wurde mit einer Schwefelsäure- oder Natriumhydroxidlösung eingestellt.
  • Anmerkung 2 – Anode
    • A:
      Zinn-Kupfer-Legierung
      B:
      platinplattiertes Titan
      C:
      Kohlenstoff
  • Anmerkung 3 – Rühren
    • a:
      durch Schütteln der Kathode
      b:
      durch Ausströmen der Galvanisierungslösung
  • Anmerkung 4 – Erscheinungsbild des galvanischen Films
    • O:
      einheitlich und dicht
      Δ:
      leicht ungleichmäßige Farbe
      X:
      ungleichmäßige Farbe und verbrannte Abscheidungen
  • Anmerkung 5 – Stabilität des Sn/Cu-Abscheidungsverhältnisses des galvanischen Films
    • O:
      innerhalb ± 10%iger Änderung des Sn/Cu-Abscheidungsverhältnisses aufgrund der Änderung der verwendeten Kathodenstromdichte
      Δ:
      innerhalb ± 30%iger Änderung des Sn/Cu-Abscheidungsverhältnisses aufgrund der Änderung der verwendeten Kathodenstromdichte
      X:
      innerhalb ± 50%iger Änderung des Sn/Cu-Abscheidungsverhältnisses aufgrund der Änderung der verwendeten Kathodenstromdichte
  • Anmerkung 6 – Lötbarkeit
    • Figure 00170001
      :
      die gleiche Lötbarkeit wie der galvanische Film aus einer Sn-Pb-Legierung
      O:
      eine zwischen dem galvanischen Film aus einer Sn-Pb-Legierung und einem galvanischen Film aus Sn liegende Lötbarkeit
      Δ:
      die gleiche Lötbarkeit wie der galvanische Film aus Sn
      X:
      eine geringere Lötbarkeit als jene des galvanischen Films aus Sn
  • Beispiel und Vergleichsbeispiel II
  • Galvanische Bäder aus einer Zinn-Kupfer-Legierung wurden gemäß den in den Tabellen 3 und 4 angeführten Zusammensetzungen hergestellt. Leitungsrahmen aus einer Kupfer- oder Eisennickel-(42)-Legierung, die auf herkömmliche Weise vorbehandelt worden waren, wurden in die galvanischen Bäder eingetaucht, wonach das Galvanisieren mittels Plattengalvanisierungsverfahren erfolgte, wobei die Leitungsrahmen als Kathoden dienten, und zwar unter den in den Tabellen 3 und 4 angeführten Bedingungen. Der pH-Wert des galvanischen Bades wurde unter Verwendung einer Schwefelsäure- oder Natriumhydroxidlösung eingestellt.
  • Der galvanische Film wurde auf bestimmte Eigenschaften überprüft. Die Ergebnisse sind in den Tabellen 3 und 4 angeführt.
  • Tabelle 3
    Figure 00180001
  • Tabelle 4
    Figure 00190001
  • Anmerkung 1 – pH-Wert
  • Der pH-Wert des galvanischen Bades wurde mit einer Schwefelsäure- oder Natriumhydroxidlösung eingestellt.
  • Anmerkung 2 – Badstabilität
    • O:
      gute Badstabilität; kein Niederschlag
      X:
      schlechte Badstabilität, Niederschläge können auftreten
  • Anmerkung 3 – Erscheinungsbild des galvanischen Films
    • O:
      einheitlich und gleichmäßig
      Δ:
      leicht ungleichmäßig
      X:
      ungleichmäßig
  • Anmerkung 4 – Anode: Zinn-Kupfer-Legierung
  • Beispiel III
  • Galvanische Bäder aus einer Zinn-Kupfer-Legierung wurden gemäß den in den Tabellen 5 und 6 angeführten Zusammensetzungen hergestellt. Leitungsrahmen aus einer Kupfer- oder Eisen-Nickel-(42)-Legierung, die auf herkömmliche Weise vorbehandelt worden waren, wurden in die galvanischen Bäder eingetaucht, wonach das Galvanisieren erfolgte, wobei die Leitungsrahmen als Kathoden dienten, und zwar unter den in den Tabellen 5 und 6 angeführten Bedingungen. Der pH-Wert des galvanischen Bades wurde unter Verwendung einer Schwefelsäure- oder Natriumhydroxidlösung eingestellt.
  • Der galvanische Film wurde auf bestimmte Eigenschaften überprüft. Die Ergebnisse sind in den Tabellen 5 und 6 angeführt.
  • Tabelle 5
    Figure 00210001
  • Tabelle 6
    Figure 00220001
  • Anmerkung 1 – pH-Wert
  • Der pH-Wert des galvanischen Bades wurde mit einer Schwefelsäure- oder Natriumhydroxidlösung eingestellt.
  • Anmerkung 2 – Anode
    • A:
      Zinn-Kupfer-Legierung
      B:
      platinplattiertes Titan
  • Anmerkung 3 – Rühren
    • a: durch Schütteln der Kathode
    • b: durch Ausströmen der Galvanisierungslösung
    • c: durch Trommelgalvanisierung
  • Anmerkung 4 – Erscheinungsbild des galvanischen Films
    • O:
      einheitlich und dicht
      Δ:
      leicht ungleichmäßige Farbe
      X:
      ungleichmäßige Farbe und verbrannte Abscheidungen
  • Anmerkung 5 – Stabilität des Sn/Cu-Abscheidungsverhältnisses des galvanischen Films
    • O:
      innerhalb ± 10%iger Änderung des Sn/Cu-Abscheidungsverhältnisses aufgrund der Änderung der verwendeten Kathodenstromdichte
      Δ:
      innerhalb ± 30%iger Änderung des Sn/Cu-Abscheidungsverhältnisses aufgrund der Änderung der verwendeten Kathodenstromdichte
      X:
      innerhalb ± 50%iger Änderung des Sn/Cu-Abscheidungsverhältnisses aufgrund der Änderung der verwendeten Kathodenstromdichte
  • Anmerkung 6 – Lötbarkeit
    • Figure 00230001
      :
      die gleiche Lötbarkeit wie der galvanische Film aus einer Sn-Pb-Legierung
      O:
      eine zwischen dem galvanischen Film aus einer Sn-Pb-Legierung und einem galvanischen Film aus Sn liegende Lötbarkeit
      Δ:
      die gleiche Lötbarkeit wie der galvanische Film aus Sn
      X:
      eine geringere Lötbarkeit als jene des galvanischen Films aus Sn
  • Wie oben beschrieben ermöglicht vorliegende Erfindung die Bildung eines Überzugs aus einer Zinn-Kupfer-Legierung statt einer Galvanisierung mit einer Zinn-Blei-Legierung auf elektronischen Teilen, wie z.B. Chips, Schwingquarz, Löthöcker, Steckerstifte, Leitungsrahmen, Ringe, Leiterstifte für Verpackungen und Leiterplatten.

Claims (25)

  1. Galvanisches Zinn-Kupfer-Legierungsbad, umfassend ein wasserlösliches Zinnsalz, ein wasserlösliches Kupfersalz, eine anorganische oder organische Säure oder ein wasserlösliches Salz davon und eine oder mehrere Thioamidverbindungen in einer Menge von 1 bis 200 g/l.
  2. Galvanisches Zinn-Kupfer-Legierungsbad nach Anspruch 1, außerdem eine oder mehrere Verbindungen, ausgewählt aus Carbonsäuren, Lactonverbindungen, kondensierten Phosphorsäuren, Phosphonsäuren und wasserlöslichen Salzen davon, neben der genannten anorganischen oder organischen Säure oder einem wasserlöslichen Salz davon, die/das keine Carbonsäuren, Lactonverbindungen, kondensierten Phosphorsäuren, Phosphonsäuren oder wasserlösliche Salze davon sind, umfassend.
  3. Galvanisches Bad nach Anspruch 2, worin die aus Carbonsäuren, Lactonverbindungen, kondensierten Phosphorsäuren, Phosphonsäuren und wasserlöslichen Salzen davon ausgewählte Verbindung Ameisensäure, Essigsäure, Milchsäure, Propionsäure, Buttersäure, Gluconsäure, Oxalsäure, Malonsäure, Bernsteinsäure, Weinsäure, Äpfelsäure, Citronensäure, Tricarballylsäure, Phenylessigsäure, Benzaesäure, Anissäure, Iminodiessigsäure, Nitrilotriessigsäure, Ethylendiamintetraessigsäure, Diethylentriaminpentaessigsäure, Gluconolacton, Gluconoheptolacton, Pyrophosphorsäure, Tripolyphosphorsäure, Tetrapolyphosphorsäure, Polyphosphorsäure mit einem Polymerisationsgrad von 5 oder mehr, Hexametaphosphorsäure, Aminotrimethylenphosphonsäure, 1-Hydroxyethyliden-1,1-diphosphonsäure, Ethylendiamintetramethylenphosphonsäure, Diethylentriaminpentamethylenphosphonsäure oder ein wasserlösliches Salz davon ist.
  4. Galvanisches Bad nach einem der Ansprüche 1 bis 3, worin die anorganische oder organische Säure oder das wasserlösliche Salz davon Schwefelsäure, Salzsäure, Salpetersäure, Flusssäure, Fluorborsäure, Phosphorsäure, Sulfaminsäure, Me thansulfonsäure, Ethansulfonsäure, Isethionsäure, Propansulfonsäure, 2-Propansulfonsäure, Butansulfonsäure, 2-Butansulfonsäure, Pentansulfonsäure, Chlorpropansulfonsäure, 2-Hydroxyethan-1-sulfonsäure, 2-Hydroxypropansulfonsäure, 2-Hydroxybutan-1-sulfonsäure, 2-Hydroxypentansulfonsäure, Allylsulfonsäure, 2-Sulfoessigsäure, 2-Sulfopropionsäure, 3-Sulfopropionsäure, Sulfobernsteinsäure, Sulfomaleinsäure, Sulfofumarsäure, Benzolsulfonsäure, Toluolsulfonsäure, Xylolsulfonsäure, Nitrobenzolsulfonsäure, Sulfobenzoesäure, Sulfosalicylsäure, Benzaldehydsulfonsäure, p-Phenolsulfonsäure oder ein wasserlösliches Salz davon ist.
  5. Galvanisches Bad nach einem der Ansprüche 1 bis 4, worin das wasserlösliche Kupfersalz Kupfer(I)-oxid, Kupfer(I)-cyanid, Kupfer(I)-chlorid, Kupfer(I)-bromid, Kupfer(I)-iodid oder Kupfer(I)-thiocyanat ist.
  6. Galvanisches Bad nach einem der Ansprüche 1 bis 5, worin die eine oder mehreren Thioamidverbindungen zumindest eine aus Thioharnstoff, Dimethylthioharnstoff, Diethylthioharnstoff, Trimethylthioharnstoff, N,N'-Diisopropylthioharnstoff, Acetylthioharnstoff, Allylthioharnstoff, Ethylenthioharnstoff, 1,3-Diphenylthioharnstoff, Thioharnstoffdioxid, Thiosemicarbazid, Tetramethylthioharnstoff und wasserlöslichen Salzen davon ausgewählte ist.
  7. Galvanisches Bad nach einem der Ansprüche 1 bis 6, ein nichtionisches oberflächenaktives Mittel umfassend.
  8. Galvanisches Bad nach einem der Ansprüche 1 bis 7, ein oder mehrere oberflächenaktive Mittel umfassend, die aus kationischen oberflächenaktiven Mitteln, anionischen oberflächenaktiven Mitteln und amphoteren oberflächenaktiven Mitteln ausgewählt sind.
  9. Galvanisches Bad nach einem der Ansprüche 1 bis 8, das außerdem ein oder mehrere Additive, die aus mercaptogruppenhältigen aromatischen Verbindungen, dioxyaromatischen Verbindungen und ungesättigten Carbonsäureverbindungen aus gewählt sind, als Egalisierungsmittel für die Oberfläche eines galvanischen Films umfasst.
  10. Galvanisches Bad nach einem der Ansprüche 1 bis 9, das außerdem eine oder mehrere Aldehydverbindungen, die aus 1-Naphthaldehyd, 2-Naphthaldehyd, o-Chlorbenzaldehyd, m-Chlorbenzaldehyd, p-Chlorbenzaldehyd, 2,4-Dichlorbenzaldehyd, Acetaldehyd, Salicylaldehyd, 2-Thiophenaldehyd, 3-Thiophenaldehyd, o-Anisaldehyd, m-Anisaldehyd, p-Anisaldehyd und Salicylaldehydallylether ausgewählt sind, als Glanzzusatz für die Oberfläche eines galvanischen Films umfasst.
  11. Galvanisches Bad nach einem der Ansprüche 1 bis 10, das ein oder mehrere wasserlösliche Metallsalze umfasst, die aus wasserlöslichen Goldsalzen, wasserlöslichen Silbersalzen, wasserlöslichen Zinksalzen, wasserlöslichen Bismutsalzen, wasserlöslichen Nickelsalzen, wasserlöslichen Cobaltsalzen und wasserlöslichen Palladiumsalzen ausgewählt sind.
  12. Galvanisches Bad nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin der Gehalt des Zinnsalzes bezogen auf das Zinn 5 bis 59 g/l beträgt.
  13. Galvanisches Bad nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin der Gehalt des Kupfersalzes bezogen auf Kupfer 0,01 bis 54 g/l beträgt.
  14. Galvanisches Bad nach Anspruch 12, worin der Gehalt des Kupfersalzes bezogen auf das Kupfer 0,01 bis 18 g/l beträgt.
  15. Galvanisches Bad nach einem der vorangegangenen Ansprüche, worin der Gehalt der anorganischen oder organischen Säure oder des wasserlöslichen Salzes davon im Bad zumindest 50 g/l beträgt.
  16. Galvanisches Bad nach einem der vorangegangenen Ansprüche, das einen pH-Wert von 10 oder weniger aufweist.
  17. Galvanisches Bad nach Anspruch 16, das einen pH-Wert von 9 oder weniger aufweist.
  18. Galvanisches Bad nach Anspruch 17, das einen pH-Wert von 7 oder weniger aufweist.
  19. Galvanisches Bad nach Anspruch 2 oder einem davon abhängigen Anspruch, das einen pH von zumindest 2 aufweist.
  20. Verfahren zur Galvanisierung mit einer Zinn-Kupfer-Legierung, welches das Galvanisieren eines Objekts mit einem galvanischen Bad nach einem der Ansprüche 1 bis 19 umfasst.
  21. Verfahren zur Galvanisierung mit einer Zinn-Kupfer-Legierung nach Anspruch 20, worin eine in das galvanische Bad eingetauchte Anode aus Zinn oder einer Zinnlegierung besteht, die ein oder mehrere aus Kupfer, Gold, Silber, Zink, Bismut, Nickel, Cobalt und Palladium ausgewählte Metalle enthält.
  22. Verfahren nach Anspruch 20 oder 21, worin das galvanisierte Objekt ein Verbundobjekt ist, das aus Metall und Isoliermaterial besteht.
  23. Verfahren nach Anspruch 22, worin ein Isoliermaterial im Verbundobjekt aus Keramik, Bleiglas, Kunststoff oder Ferrit besteht.
  24. Verfahren nach einem der Ansprüche 20 bis 23, worin die galvanisch abgeschiedene Zinn-Kupfer-Legierung 99,99 bis 10 Gew.-% Zinn und 0,01 bis 90 Gew.-% Kupfer enthält.
  25. Verfahren nach Anspruch 24, worin die Zinn-Kupfer-Galvanisierung zum Löten oder für Ätzresists dient, wobei der Zinngehalt in der galvanisch abgeschiedenen Legierung mehr als 70 Gew.-% und der Kupfergehalt mehr als 0,1 Gew.-% beträgt.
DE69924807T 1998-11-05 1999-11-05 Zinn-Kupfer-Legierung Elektroplattierungsbad und Plattierungsverfahren mit diesem Bad Expired - Fee Related DE69924807T2 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP31421098 1998-11-05
JP31421098 1998-11-05
JP12764899 1999-05-07
JP12764899 1999-05-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69924807D1 DE69924807D1 (de) 2005-05-25
DE69924807T2 true DE69924807T2 (de) 2006-02-23

Family

ID=26463546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69924807T Expired - Fee Related DE69924807T2 (de) 1998-11-05 1999-11-05 Zinn-Kupfer-Legierung Elektroplattierungsbad und Plattierungsverfahren mit diesem Bad

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6508927B2 (de)
EP (1) EP1001054B1 (de)
KR (1) KR100636995B1 (de)
DE (1) DE69924807T2 (de)
TW (1) TW577938B (de)

Families Citing this family (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3433291B2 (ja) 1999-09-27 2003-08-04 石原薬品株式会社 スズ−銅含有合金メッキ浴、スズ−銅含有合金メッキ方法及びスズ−銅含有合金メッキ皮膜が形成された物品
EP1091023A3 (de) * 1999-10-08 2003-05-14 Shipley Company LLC Legierungszusammensetzung und Plattierungsverfahren
US6605204B1 (en) * 1999-10-14 2003-08-12 Atofina Chemicals, Inc. Electroplating of copper from alkanesulfonate electrolytes
US20020166774A1 (en) * 1999-12-10 2002-11-14 Shipley Company, L.L.C. Alloy composition and plating method
KR100355338B1 (ko) * 1999-12-22 2002-10-12 주식회사 호진플라텍 약산성의 주석 또는 주석-납 전기도금 욕 및 도금 방법
JP2001181889A (ja) * 1999-12-22 2001-07-03 Nippon Macdermid Kk 光沢錫−銅合金電気めっき浴
US6322686B1 (en) 2000-03-31 2001-11-27 Shipley Company, L.L.C. Tin electrolyte
JP3455712B2 (ja) * 2000-04-14 2003-10-14 日本ニュークローム株式会社 銅−スズ合金めっき用ピロリン酸浴
DE50106133D1 (de) * 2000-09-20 2005-06-09 Schloetter Fa Dr Ing Max Elektrolyt und verfahren zur abscheidung von zinn-kupfer-legierungsschichten
EP1260614B1 (de) * 2001-05-24 2008-04-23 Shipley Co. L.L.C. Zinn Platierung
US7384533B2 (en) * 2001-07-24 2008-06-10 3M Innovative Properties Company Electrolytic processes with reduced cell voltage and gas formation
JP4698904B2 (ja) * 2001-09-20 2011-06-08 株式会社大和化成研究所 錫又は錫系合金めっき浴、該めっき浴の建浴用又は維持・補給用の錫塩及び酸又は錯化剤溶液並びに該めっき浴を用いて製作した電気・電子部品
US6652731B2 (en) * 2001-10-02 2003-11-25 Shipley Company, L.L.C. Plating bath and method for depositing a metal layer on a substrate
US6808614B2 (en) * 2002-01-17 2004-10-26 Lucent Technologies Inc. Electroplating solution for high speed plating of tin-copper solder
US20030159941A1 (en) * 2002-02-11 2003-08-28 Applied Materials, Inc. Additives for electroplating solution
WO2003085713A1 (en) * 2002-04-03 2003-10-16 Applied Materials, Inc. Homogeneous copper-tin alloy plating for enhancement of electro-migration resistance in interconnects
US6860981B2 (en) * 2002-04-30 2005-03-01 Technic, Inc. Minimizing whisker growth in tin electrodeposits
US6821324B2 (en) 2002-06-19 2004-11-23 Ramot At Tel-Aviv University Ltd. Cobalt tungsten phosphorus electroless deposition process and materials
ITMI20021388A1 (it) * 2002-06-24 2003-12-24 Milano Politecnico Bagno elettrolitico per l'elettrodeposizione di metalli nobili e loroleghe con stagno
FR2842831B1 (fr) * 2002-07-29 2004-11-19 Micropulse Plating Concepts Bains electrolytiques pour depot d'etain ou d'alliage d'etain
EP1400613A2 (de) * 2002-09-13 2004-03-24 Shipley Co. L.L.C. Zinn-Plattierungsverfahren
EP1408141B1 (de) * 2002-10-11 2014-12-17 Enthone Inc. Verfahren und Elektrolyt zur galvanischen Abscheidung von Bronzen
US20040154926A1 (en) * 2002-12-24 2004-08-12 Zhi-Wen Sun Multiple chemistry electrochemical plating method
JP4758614B2 (ja) * 2003-04-07 2011-08-31 ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. 電気めっき組成物および方法
JP2005060822A (ja) * 2003-08-08 2005-03-10 Rohm & Haas Electronic Materials Llc 複合基体の電気メッキ
DE10337669B4 (de) * 2003-08-08 2006-04-27 Atotech Deutschland Gmbh Wässrige, saure Lösung und Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Kupferüberzügen sowie Verwendung der Lösung
US7296370B2 (en) * 2004-09-24 2007-11-20 Jarden Zinc Products, Inc. Electroplated metals with silvery-white appearance and method of making
KR20060030356A (ko) * 2004-10-05 2006-04-10 삼성테크윈 주식회사 반도체 리이드 프레임과, 이를 포함하는 반도체 패키지와,이를 도금하는 방법
EP1696052B1 (de) * 2005-02-28 2010-10-06 Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. Verbesserung von Flussverfahren
US20060260948A2 (en) * 2005-04-14 2006-11-23 Enthone Inc. Method for electrodeposition of bronzes
SG127854A1 (en) * 2005-06-02 2006-12-29 Rohm & Haas Elect Mat Improved gold electrolytes
US20090104463A1 (en) 2006-06-02 2009-04-23 Rohm And Haas Electronic Materials Llc Gold alloy electrolytes
KR100725026B1 (ko) * 2005-11-14 2007-06-07 주식회사 아큐텍반도체기술 반도체장치용 리드프레임
EP2336394B1 (de) * 2006-05-24 2015-07-01 Atotech Deutschland GmbH Metallplattierungszusammensetzung und Verfahren zur Ablagerung von Kupfer-Zink-Blech zur Herstellung einer Dünnfilm-Solarzelle
DE502007002479D1 (de) 2007-02-14 2010-02-11 Umicore Galvanotechnik Gmbh Kupfer-Zinn-Elektrolyt und Verfahren zur Abscheidung von Bronzeschichten
ATE486157T1 (de) * 2008-05-08 2010-11-15 Umicore Galvanotechnik Gmbh Modifizierter kupfer-zinn-elektrolyt und verfahren zur abscheidung von bronzeschichten
ES2615337T3 (es) * 2008-07-08 2017-06-06 Enthone, Inc. Electrolito y método para depositar una capa metálica mate
DE102008032398A1 (de) 2008-07-10 2010-01-14 Umicore Galvanotechnik Gmbh Verbesserter Kupfer-Zinn-Elektrolyt und Verfahren zur Abscheidung von Bronzeschichten
DE102008033174B3 (de) * 2008-07-15 2009-09-17 Enthone Inc., West Haven Cyanidfreie Elektrolytzusammensetzung zur galvanischen Abscheidung einer Kupferschicht und Verfahren zur Abscheidung einer kupferhaltigen Schicht
DE102008050135B4 (de) 2008-10-04 2010-08-05 Umicore Galvanotechnik Gmbh Verfahren zur Abscheidung von Platin-Rhodiumschichten mit verbesserter Helligkeit
US8440065B1 (en) * 2009-06-07 2013-05-14 Technic, Inc. Electrolyte composition, method, and improved apparatus for high speed tin-silver electroplating
DE102009041250B4 (de) 2009-09-11 2011-09-01 Umicore Galvanotechnik Gmbh Verfahren zur elektrolytischen Verkupferung von Zinkdruckguss mit verringerter Neigung zur Blasenbildung
JP2011082374A (ja) * 2009-10-08 2011-04-21 C Uyemura & Co Ltd 中和還元剤及びデスミア方法
US9175400B2 (en) * 2009-10-28 2015-11-03 Enthone Inc. Immersion tin silver plating in electronics manufacture
DE102011008836B4 (de) * 2010-08-17 2013-01-10 Umicore Galvanotechnik Gmbh Elektrolyt und Verfahren zur Abscheidung von Kupfer-Zinn-Legierungsschichten
KR101687342B1 (ko) * 2010-10-07 2016-12-19 엘에스전선 주식회사 동판 및 동선재용 도금액 조성물
KR101346021B1 (ko) * 2011-12-09 2013-12-31 주식회사 엠에스씨 주석-은 합금 도금액의 생성방법 및 그 도금액
CN102925936A (zh) * 2012-10-30 2013-02-13 南通博远合金铸件有限公司 一种铜锡合金溶液
US9243340B2 (en) * 2013-03-07 2016-01-26 Nano And Advanced Materials Institute Limited Non-vacuum method of manufacturing light-absorbing materials for solar cell application
CN104032336B (zh) * 2013-03-07 2017-05-31 纳米及先进材料研发院有限公司 制造用于太阳能电池应用的吸光材料的非真空方法
JP6006683B2 (ja) * 2013-06-26 2016-10-12 株式会社Jcu スズまたはスズ合金用電気メッキ液およびその用途
DE102013226297B3 (de) 2013-12-17 2015-03-26 Umicore Galvanotechnik Gmbh Wässriger, cyanidfreier Elektrolyt für die Abscheidung von Kupfer-Zinn- und Kupfer-Zinn-Zink-Legierungen aus einem Elektrolyten und Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung dieser Legierungen
CN103789803B (zh) * 2014-01-13 2016-04-27 孙松华 一种无氰铜锡合金电镀液及其制备方法
JP2015193916A (ja) * 2014-03-18 2015-11-05 上村工業株式会社 錫または錫合金の電気めっき浴、およびバンプの製造方法
AR100422A1 (es) * 2014-05-15 2016-10-05 Nippon Steel & Sumitomo Metal Corp Solución para deposición para conexión roscada para un caño o tubo y método de producción de la conexión roscada para un caño o tubo
AR100441A1 (es) * 2014-05-15 2016-10-05 Nippon Steel & Sumitomo Metal Corp Solución para deposición para conexión roscada para un caño o tubo y método de producción de la conexión roscada para un caño o tubo
ES2574031B1 (es) * 2014-11-12 2017-03-27 Consejo Superior De Investigaciones Científicas (Csic) Recuperación de sn de alta pureza por electrorefino a partir de aleaciones de sn que contienen pb
JP6530189B2 (ja) * 2014-12-26 2019-06-12 ローム・アンド・ハース電子材料株式会社 電気銅めっき液
JP6631349B2 (ja) 2015-03-26 2020-01-15 三菱マテリアル株式会社 アンモニウム塩を用いためっき液
JP2016211031A (ja) * 2015-05-07 2016-12-15 Dowaメタルテック株式会社 Snめっき材およびその製造方法
JP2017025382A (ja) * 2015-07-23 2017-02-02 奥野製薬工業株式会社 黒色光沢スズ−ニッケル合金めっき浴、スズ−ニッケル合金めっき方法、黒色光沢スズ−ニッケル合金めっき皮膜及び該皮膜を有する物品
CN106676594A (zh) * 2016-06-10 2017-05-17 太原工业学院 一种低成本无氰电镀铜锌锡合金溶液及其电镀铜锌锡合金工艺
KR102639867B1 (ko) 2016-12-28 2024-02-22 아토테크 도이칠란트 게엠베하 운트 콤파니 카게 주석 도금조 및 기판 표면에 주석 또는 주석 합금을 침착시키는 방법
CN106831506B (zh) * 2017-01-18 2019-01-25 湖北星火化工有限公司 一种甲基磺酸锡的冷却结晶方法
JP7080781B2 (ja) * 2018-09-26 2022-06-06 株式会社東芝 多孔質層の形成方法、エッチング方法、物品の製造方法、半導体装置の製造方法、及びめっき液
EP3770298A1 (de) 2019-07-24 2021-01-27 ATOTECH Deutschland GmbH Galvanisches zinnbad und verfahren zur abscheidung von zinn oder zinnlegierungen auf einer oberfläche eines substrats
CN113891958A (zh) 2019-05-28 2022-01-04 德国艾托特克公司 锡电镀浴及于衬底表面上沉积锡或锡合金的方法
CN114196963B (zh) * 2021-11-19 2024-01-05 广东红日星实业有限公司 一种除垢剂及其制备方法与应用
KR102568529B1 (ko) * 2022-11-25 2023-08-22 주식회사 호진플라텍 보이드 생성이 억제되고 두께편차가 개선된 웨이퍼 범프용 주석 전기 도금액

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4389286A (en) 1980-07-17 1983-06-21 Electrochemical Products, Inc. Alkaline plating baths and electroplating process
US4347107A (en) * 1981-04-02 1982-08-31 Hooker Chemicals & Plastics Corp. Electroplating tin and tin alloys and baths therefor
US4582576A (en) 1985-03-26 1986-04-15 Mcgean-Rohco, Inc. Plating bath and method for electroplating tin and/or lead
JP2752046B2 (ja) 1989-12-05 1998-05-18 株式会社村田製作所 クエン酸系錫または錫合金系めっき浴
US5385661A (en) 1993-09-17 1995-01-31 International Business Machines Corporation Acid electrolyte solution and process for the electrodeposition of copper-rich alloys exploiting the phenomenon of underpotential deposition
US5391402A (en) 1993-12-03 1995-02-21 Motorola Immersion plating of tin-bismuth solder
AU1813397A (en) 1996-03-04 1997-09-22 Naganoken Tin-silver alloy plating bath and process for producing plated object using the plating bath
US6099713A (en) * 1996-11-25 2000-08-08 C. Uyemura & Co., Ltd. Tin-silver alloy electroplating bath and tin-silver alloy electroplating process

Also Published As

Publication number Publication date
US6508927B2 (en) 2003-01-21
KR100636995B1 (ko) 2006-10-20
EP1001054B1 (de) 2005-04-20
US20020104763A1 (en) 2002-08-08
EP1001054A3 (de) 2000-07-19
KR20000035248A (ko) 2000-06-26
DE69924807D1 (de) 2005-05-25
TW577938B (en) 2004-03-01
EP1001054A2 (de) 2000-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69924807T2 (de) Zinn-Kupfer-Legierung Elektroplattierungsbad und Plattierungsverfahren mit diesem Bad
DE69808497T2 (de) Cyanidfreie, monovalente kupferelektrobeschichtungslösung
DE69720435T2 (de) Beschichtungslösung für Zinn-Silber-Legierungen und Verfahren zur Beschichtung mit dieser Lösung
JP3871013B2 (ja) 錫−銅合金電気めっき浴及びそれを使用するめっき方法
DE69404496T2 (de) Cyanidfreie Plattierungslösung für monovalente Metalle
EP1325175B1 (de) Elektrolyt und verfahren zur abscheidung von zinn-kupfer-legierungsschichten
US6176996B1 (en) Tin alloy plating compositions
DE69213840T2 (de) Bad zur stromlosen Beschichtung mit einer Zinn-Blei-Legierung
US20100038254A1 (en) Tin electroplating solution and tin electroplating method
EP1285104B1 (de) Elektrolyt und verfahren zur abscheidung von zinn-silber-legierungsschichten
DE112007000903T5 (de) Zinn-Elektroplattierungsbad, Zinn-plattierter Beschichtungsfilm, Zinn-Elektroplattierungsverfahren, und Bauelement eines elektronischen Geräts
JP3368860B2 (ja) 電気錫合金めっき方法及び電気錫合金めっき装置
DE112005001074T5 (de) Galvanisierlösung für eutektische Gold-Zinn-Legierung
DE19629658A1 (de) Cyanidfreies galvanisches Bad zur Abscheidung von Gold und Goldlegierungen
EP1190118B1 (de) Badsystem zur galvanischen abscheidung von metallen
DE69419964T2 (de) Verfahren zur Schlammverringerung bei der Zinnplattierung in Säurebädern
DE69423602T2 (de) Elektroplattierungsbad zum Aufbringen einer Zinn-Zink Legierung und Verfahren zur Elektroplattierung unter Verwendung desselben
DE3628361C2 (de)
EP0255558B1 (de) Bäder auf Basis von einer ein organisches Sulphonat enthaltenden Lösung für das Plattieren von Wismut und Wismutlegierungen
US4440608A (en) Process and bath for the electrodeposition of tin-lead alloys
DE3889667T2 (de) Elektroniederschlag von zinn-wismut-legierungen.
JP2003293185A (ja) 錫電気めっき浴及びこれを用いためっき方法
WO2004027120A1 (de) Dunkle schichten
DE10046600A1 (de) Elektrolyt und Verfahren zur Abscheidung von Zinn-Kupfer-Legierungsschichten
JPS63161186A (ja) リフロ−処理錫−鉛合金めつき材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee