DE69736165D1 - Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Höhe eines Gegenstands - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Höhe eines Gegenstands

Info

Publication number
DE69736165D1
DE69736165D1 DE69736165T DE69736165T DE69736165D1 DE 69736165 D1 DE69736165 D1 DE 69736165D1 DE 69736165 T DE69736165 T DE 69736165T DE 69736165 T DE69736165 T DE 69736165T DE 69736165 D1 DE69736165 D1 DE 69736165D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
height
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE69736165T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69736165T2 (de
Inventor
Yutaka Hashimoto
Hideaki Sasaki
Shinichi Kazui
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Application granted granted Critical
Publication of DE69736165D1 publication Critical patent/DE69736165D1/de
Publication of DE69736165T2 publication Critical patent/DE69736165T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0608—Height gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
DE69736165T 1996-12-04 1997-12-02 Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Höhe eines Gegenstands Expired - Lifetime DE69736165T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32379796A JP3551667B2 (ja) 1996-12-04 1996-12-04 はんだバンプの高さ測定方法
JP32379796 1996-12-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69736165D1 true DE69736165D1 (de) 2006-08-03
DE69736165T2 DE69736165T2 (de) 2007-04-26

Family

ID=18158728

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69736165T Expired - Lifetime DE69736165T2 (de) 1996-12-04 1997-12-02 Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Höhe eines Gegenstands

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6069701A (de)
EP (1) EP0848245B1 (de)
JP (1) JP3551667B2 (de)
DE (1) DE69736165T2 (de)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6956963B2 (en) * 1998-07-08 2005-10-18 Ismeca Europe Semiconductor Sa Imaging for a machine-vision system
US6603103B1 (en) 1998-07-08 2003-08-05 Ppt Vision, Inc. Circuit for machine-vision system
US7353954B1 (en) 1998-07-08 2008-04-08 Charles A. Lemaire Tray flipper and method for parts inspection
JP4207302B2 (ja) * 1999-04-06 2009-01-14 富士通株式会社 バンプ検査方法およびその検査装置
US6788411B1 (en) 1999-07-08 2004-09-07 Ppt Vision, Inc. Method and apparatus for adjusting illumination angle
JP4298101B2 (ja) 1999-12-27 2009-07-15 日立ソフトウエアエンジニアリング株式会社 類似発現パターン抽出方法及び関連生体高分子抽出方法
US6509559B1 (en) 2000-06-20 2003-01-21 Ppt Vision, Inc. Binary optical grating and method for generating a moire pattern for 3D imaging
US6486963B1 (en) 2000-06-20 2002-11-26 Ppt Vision, Inc. Precision 3D scanner base and method for measuring manufactured parts
US6501554B1 (en) 2000-06-20 2002-12-31 Ppt Vision, Inc. 3D scanner and method for measuring heights and angles of manufactured parts
US6870611B2 (en) * 2001-07-26 2005-03-22 Orbotech Ltd. Electrical circuit conductor inspection
ATE321836T1 (de) * 2001-10-09 2006-04-15 Procter & Gamble Wässrige zusammensetzungen für oberflächebehandlung
US20040263862A1 (en) * 2003-06-24 2004-12-30 Amparan Alfonso Benjamin Detecting peripheral points of reflected radiation beam spots for topographically mapping a surface
WO2005013209A2 (en) * 2003-08-01 2005-02-10 Cummins-Allison Corp. Currency processing device and method
JP5481883B2 (ja) * 2009-03-05 2014-04-23 株式会社島津製作所 特定部位検出方法を用いた試料分析装置
EP2894600B1 (de) * 2014-01-14 2018-03-14 HENSOLDT Sensors GmbH Verfahren zur Verarbeitung 3D-Sensordaten zur Bereitstellung von Geländesegmentierung

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0612252B2 (ja) * 1984-03-21 1994-02-16 友彦 芥田 三次元形状の自動測定方法
JPS63252216A (ja) * 1987-04-08 1988-10-19 Opt:Kk 比高測定用水準儀
US4971445A (en) * 1987-05-12 1990-11-20 Olympus Optical Co., Ltd. Fine surface profile measuring apparatus
US4988202A (en) * 1989-06-28 1991-01-29 Westinghouse Electric Corp. Solder joint inspection system and method
US5023916A (en) * 1989-08-28 1991-06-11 Hewlett-Packard Company Method for inspecting the leads of electrical components on surface mount printed circuit boards
US5064291A (en) * 1990-04-03 1991-11-12 Hughes Aircraft Company Method and apparatus for inspection of solder joints utilizing shape determination from shading
US5204734A (en) * 1991-06-12 1993-04-20 Wyko Corporation Rough surface profiler and method
DE69322775T2 (de) * 1993-08-12 1999-07-22 Ibm Verfahren zur Inspektion vom Verbindungskugel-Satz eines intergrierten Schaltungsmoduls
US5465152A (en) * 1994-06-03 1995-11-07 Robotic Vision Systems, Inc. Method for coplanarity inspection of package or substrate warpage for ball grid arrays, column arrays, and similar structures

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10160419A (ja) 1998-06-19
JP3551667B2 (ja) 2004-08-11
DE69736165T2 (de) 2007-04-26
EP0848245A3 (de) 1999-03-10
EP0848245B1 (de) 2006-06-21
US6069701A (en) 2000-05-30
EP0848245A2 (de) 1998-06-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69033269D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Position und Stellung eines Gegenstandes
DE69728497D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Position eines sich bewegenden Objektes
DE69916685D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Zusammensetzung eines Körpers
DE69027088D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Leistung eines Industrietechnikers
DE59308438D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Feststellung der Funktionsfähigkeit eines Hämo-Dialysators
DE69430152T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Glukoseverwandten Substanzen
DE69520850T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Urinbestandteilen
DE69733124D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur messung der flächenkontur
DE69524347T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Wegmessung
DE60036163D1 (de) System zum Einteilen von Gegenständen und Vorrichtung zur Messung der Abmessungen eines Gegenstandes
DE69521451D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von einem Gaskomponenten
DE69413042T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum feststellen der verschiebung eines gegenstandes
DE69220018D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Wasserprozentsatzes
DE69318922D1 (de) Verfahren und Gerät zum Messen der Verschiebung eines Gegenstands mittels Signalverarbeitung
DE69532249T2 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen der herzschlagfrequenz
DE69736165D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Höhe eines Gegenstands
DE69604217T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Querschnittdimensionen eines Stahlprofils
DE69415389T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der relativen Position mehrerer Objekte
DE59704620D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen und prüfen von werkstücken
DE69935274D1 (de) Verfahren und Apparat zum Messen der karakteristischen Positionswinkel eines Fahrzeugs
DE69124333D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Querschnittdimensionen eines Stahlprofils
DE69827406D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen von strahlung
DE69625959T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Winkelgeschwindigkeit
DE69223544D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen des Profils eines Objekts
DE59209124D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Entfernungen

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition