DE69725915T2

DE69725915T2 - Herstellungsverfahren für einen Doppel-Magnetkopf mit entgegengesetzten Azimuth-Spalten

Info

Publication number: DE69725915T2
Application number: DE69725915T
Authority: DE
Inventors: Jean-Baptiste Albertini; Gerard Barrois; Pierre Gaud; Henri Sibuet
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 1996-04-04
Filing date: 1997-04-02
Publication date: 2004-09-02
Anticipated expiration: 2017-04-03
Also published as: JPH1049821A; DE69725915D1; EP0800160A1; FR2747226A1; FR2747226B1; EP0800160B1; US5842269A

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung hat Herstellungsverfahren für einen Doppel-Magnetkopf mit Spalten entgegengesetzter Azimute zum Gegenstand. Ihre Anwendung findet sie bei der magnetischen Datenaufzeichnung, insbesondere den Videoaufzeichnungen für das breite Publikum aber auch für den professionellen Bereich, bei den Daten-Massenspeichern, bei der Datenspeicherung auf Band oder auf Platte, usw.
Stand der Technik
Ein magnetischer Aufzeichnungsträger für die Videoaufzeichnung, zur Datensicherung oder als Computerspeicher umfasst zahlreiche Spuren, in die Daten in Form von magnetischen Domänen eingeschrieben werden.
Um die Datendichte zu erhöhen, erhöht man nicht nur die Anzahl der Daten pro Längeneinheit, sondern auch die Anzahl der Spuren. Dazu reduziert man die Breite der Spuren und gleichzeitig die sie trennenden Zwischenräume, bis die Spuren aneinandergrenzen.
Um beim Lesen jedes Diaphonie-Problem zu lösen werden die Daten in zwei benachbarte Spuren schräg eingeschrieben, mit entgegengesetzten Neigungswinkeln. Diese Neigungswinkel werden Azimutwinkel genannt. Der Spalt des Lesekopfs muss dann einen Azimuten aufweisen, dessen Wert der Neigung bzw. Schrägheit der Aufzeichnung entspricht. Der Azimut des Spalts des Kopfes muss dann sehr genau sein (zum Beispiel 20 ± 0,15° entsprechend dem neuen "Digital Video Cassette Standard" oder DVC-Standard).
Die beigefügte 1 zeigt einen Aufzeichnungsträger mit zwei Spuren 10a und 10b, deren Schreibrichtungen pro Spalt (dargestellt durch schräge Striche) mit der Normalen zur Hauptrichtung der Spuren Azimutwinkel +i für die Spur 10a und –i für die Spur 10b bilden.
Die beigefügte 2 zeigt zwei Magnetköpfe 12a und 12b mit Spalten 14a, 14b, die jeweils gleiche Azimutwinkel +i und –i aufweisen. Die Verschiebungsrichtung dieser Köpfe ist mit D bezeichnet.
In Wirklichkeit präsentiert sich eine Einheit aus zwei Köpfen mit entgegengesetzten Azimuten im Allgemeinen nicht in Form von zwei wie in der 2 benachbarten Köpfen, da die gelesenen Spuren nicht aneinandergrenzen würden. Sie präsentieren sich in Form von zwei zueinander versetzten Köpfen, wie dargestellt in der 3. Diese Anordnung ermöglicht nämlich, die Spuren eng zusammenzurücken. Bei dieser Anordnung hat jeder der Köpfe einen Azimut-Spalt der Gesamtbreite L, wobei die beiden Spalte durch einen Abstand T getrennt sind. Jeder Kopf kann dann eine Aufzeichnungsspur der Breite e überfliegen, wobei diese Spuren quasi aneinandergrenzen. Zum Beispiel kann L = 7 μm betragen, T = 550 μm und e = 6,7 μm.
Die beiden Magnetköpfe 16a, 16b umfassen nicht dargestellte Einrichtungen wie zum Beispiel einen Magnetkreis und eine leitfähige Spule. Die Gesamtheit all dieser Einrichtungen bildet einen Doppelkopf mit entgegengesetzten Azimuten, der in der 3 das allgemeine Bezugszeichen 18 trägt. Seine Bewegungsrichtung wird noch durch den Pfeil D symbolisiert.
Um einen solchen Doppelkopf zu erhalten, realisiert man generell zwei unabhängige Einzelköpfe mit entgegengesetzt geneigten Spalten und montiert diese beiden Köpfe auf einen einzigen Träger. Ein Azimut-Magnetkopf ist beispielsweise in der 4 dargestellt. Man sieht dort ein monokristallines Substrat 20, zwei Polstücke 22₁ , 22₂ , getrennt durch einen unmagnetischen Spalt 24, der um einen Winkel i geneigt ist. Diese Neigung erhält man zum Beispiel, indem man den monokristallinen Charakter des Substrats benützt und eine anisotrope Ätzung gemäß einer kristallographischen Ebene des Substrats realisiert. Dieses Verfahren wird beschrieben in dem Dokument FR-A-2 664 729 (oder WO-92/02015).
Das europäische Patentdokument EP-A-0 233 086 beschreibt ein anderes Verfahren zur Herstellung eines Doppel-Magnetkopfs mit Spalten entgegengesetzter Azimute aus zwei Magnetköpfen, die zusammengeklebt werden.
Dieses Herstellungsverfahren von Doppelköpfen, darin bestehend, zwei Einfachköpfe zusammenzubauen, ist nicht zufriedenstellend. Es ist nämlich schwierig, die beiden Köpfe einwandfrei so auszurichten, dass jeder ihrer Spalte den erwünschten Azimuten aufweist, und es ist auch schwierig, die beiden Köpfe gegenseitig einwandfrei anzuordnen, so dass jeder von ihnen fehlerlos mit Spuren kooperiert. Die in Verbindung mit der 3 angegebenen Dimensionen, insbesondere die Breite von 6,7 μm zeigen, dass es sich dabei um extrem feine Einstellungen handelt.
Alle diese Montageschwierigkeiten führen zu nicht zu vernachlässigenden zusätzlichen Kosten in Bezug auf einen Einfachkopf.
Zu diesen Ausrichtungsschwierigkeiten kommt ein Problem, verbunden mit dem Platzbedarf der Köpfe, das die Annäherung der Spalte, um einen guten Kontakt zwischen dem Band und jedem Kopf herzustellen (die Optimalkontaktzone ist sehr lokalisiert), schwierig macht. Es wäre auch vorteilhaft, den Abstand zwischen den beiden Köpfen zu minimieren, um das Beschreiben der beiden aneinandergrenzenden Spuren am Anfang und Ende der Spur ohne Platzverlust (verbunden mit der räumlichen Versetzung) zu vereinfachen. Um einen Platzverlust bei der Datenspeicherung am Anfang und Ende der Spur zu vermeiden, muss man das Schreiben der beiden Köpfe entsynchronisieren, um die räumliche Versetzung zwischen den beiden Köpfen zu kompensieren. Man muss also einen Kompromiss finden zwischen der Einfachheit der Aufzeichnung und der Kompaktheit der Datenspeicherung.
Die Köpfe, bei denen die Dünnschicht- und die Mikroelektroniktechnologie angewendet wird, bieten gewiss interessante Vorteile, aber die Realisierung von zwei entgegengesetzten Azimutwinkeln auf einem selben Substrat ist in dieser Technologie ein schwieriges Problem, das gegenwärtig noch nicht zufriedenstellend gelöst ist.
Die vorliegende Erfindung hat genau die Aufgabe, ein Verfahren zur Herstellung von Doppel-Magnetköpfen vorzuschlagen, bei dem diese Dünnschicht- und Mikroelektroniktechnologie angewendet wird und das zu einer sehr einfachen Montage und einer automatischen Einstellung der Position und Ausrichtung der Köpfe führt.
Darstellung der Erfindung
Nach der Erfindung realisiert man zunächst auf demselben Substrat oder auf zwei unabhängigen Substraten Magnetköpfe nach einer Dünnschichttechnik. Diese Köpfe sind in zwei Gruppen aufgeteilt. Die Köpfe jeder Gruppe umfassen einen Spalt mit einer selben Neigung für ein Schreiben mit einem identischen Azimutwinkel. Zudem sind die Azimutwinkel der Köpfe jeder Gruppe entgegengesetzt. In dem Fall der Verwendung eines selben Substrats kann man die Köpfe der beiden Gruppen entgegengesetzt anordnen, das heißt, dass bestimmte Köpfe mit ihrem Pol (das heißt die Seite, die dazu bestimmt ist, dem Aufzeichnungsträger gegenüberzustehen) in eine Richtung weisen, und die anderen mit ihrem Pol in eine andere Richtung weisen. In diesem Fall haben die Spalte, die geneigt sind, von beiden Gruppen in einem gemeinsamen Bezugssystem dieselbe Neigung. Im Falle der Verwendung von zwei Substraten richtet man diese letzteren vorzugsweise so aus, dass ihre kristallographischen Achsen parallel sind. Dieser Fall entspricht dann wieder dem Fall der Verwendung eines einzigen Substrats. In allen Fällen (Verwendung von einem oder von zwei Substraten) spart man außerdem auf der Seite jedes Kopfs einer Gruppe einen Sitz für die Aufnahme eines Kopfs der anderen Gruppe aus. Indem man einen Kopf einer Gruppe nimmt, ihn umdreht und ihn in den auf der Seite eines Kopfs der anderen Gruppe zu diesem Zweck vorgesehenen Sitz presst, erhält man eine Doppelkopfeinheit. Das Umdrehen eines Kopfs hat den Zweck, das Neigungsvorzeichen seines Spalts zu ändern und so einen Azimutwinkel zu erhalten, der demjenigen des nicht umgedrehten Kopfes entgegengesetzt ist, so dass man zwei Köpfe mit entgegengesetzten Azimuten hat. Wenn die Abmessungen und die Stelle der Sitze gut gewählt wurden, sind die beiden Köpfe dann automatisch ausgerichtet und in ihren jeweiligen Sitzen gegenseitig positioniert.
Die Erfindung lässt sich sowohl in den Fällen anwenden, wo man nur einen einzigen Doppelkopf realisieren möchte, als auch in dem häufigeren Fall, wo man ein Kollektivverfahren durchführen möchte.
Ganz genau ist das erfindungsgemäße Verfahren im Falle einer individuellen Realisierung durch die in dem Anspruch 1 definierten Operationen gekennzeichnet.
Im Falle einer Kollektivherstellung ist das erfindungsgemäße Verfahren dadurch gekennzeichnet, dass es die in dem Anspruch 3 definierten Operationen umfasst.
Vorteilhafterweise bilden die ersten Köpfe der Anordnung und die zweiten Köpfe der Gegenanordnung zwei parallele Reihen mit entgegengesetzter Stellung und gegeneinander versetzt, wobei die ersten und die zweiten Neigungswinkel dann vor dem Umdrehen in einem gemeinsamen Bezugssystem identisch sind. Diese Ausführungsart ist besonders vorteilhaft, wenn es sich bei dem ersten Substrat, das dazu dient, die Anordnung zu realisieren, und bei dem zweiten Substrat, das dazu dient, die Gegenanordnung zu realisieren, um ein und dasselbe Substrat handelt.
Dieses Kollektivherstellungsverfahren der Erfindung eignet sich sowohl zur Realisierung von Doppelköpfen aufgrund einer Bearbeitung bzw. Behandlung von Anordnungen als auch von ganzen Scheiben.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen
Die 1, schon beschrieben, zeigt zwei aneinandergrenzende Aufzeichnungsspuren;
die 2, schon beschrieben, zeigt zwei Köpfe mit entgegengesetzten Azimuten;
die 3, schon beschrieben, zeigt eine Einheit aus zwei versetzten Köpfen;
die 4, schon beschrieben, zeigt ein Detail eines bekannten Kopfs mit Azimut-Spalt;
die 5 zeigt schematisch als Draufsicht einen Magnetkopf mit um einen Magnetkreis gewickelter Spule;
die 6 zeigt schematisch als Draufsicht einen Magnetkopf mit seinen Spulenverbindungen bzw. -anschlüssen und seinen Kontaktelementen;
die 7 zeigt schematisch das erfindungsgemäße Verfahren;
die 8 zeigt als Draufsicht die Köpfe, Verbindungen, Kontaktelemente und Ätzungen der Anordnung und der Gegenanordnung;
die 9 zeigt perspektivisch einen Teil der Anordnung und einen Teil der Gegenanordnung;
die 10 zeigt die Zone der Azimut-Spalten eines nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestellten Doppelkopfs;
die 11 zeigt das Ganze nach dem Umdrehen und ineinander Verschachteln der beiden Anordnungen.
Detaillierte Darstellung von Herstellungsarten
Obgleich jeder Magnetkopf sich für die Erfindung eignet, bevorzugt man Köpfe, deren Spule vom Solenoid-Typ ist, im Gegensatz zu Köpfen, deren Spule durch eine (oder mehrere) flache Spirale(n) gebildet wird. Der Grund besteht darin, dass der seitliche Platzbedarf der ersten kleiner ist als derjenige der zweiten und es daher möglich ist, die beiden Köpfe enger zusammenzurücken.
Die 5 und 6 zeigen schematisch ein Beispiel solcher Solenoid-Köpfe. In der 5 sieht man in der Draufsicht einen Kopf mit zwei Polstücken 50₁ , 50₂ , getrennt durch einen unmagnetischen Spalt g, zwei magnetische Seitenstücke 52₁ , 52₂ und ein Schlussstück 60, das den Magnetkreis schließt. Die Spulen werden gebildet durch zwei Wicklungen 54₁ , 54₂ auf den beiden Seitenstücken 52₁ , 52₂ .
Die 6 stellt eine Gesamtansicht des Kopfes mit dem Hauptbezugszeichen 70 dar, und zeigt besser die elektrischen Verbindungseinrichtungen der Spulen. Diese Einrichtungen umfassen zwei leitfähige Streifen 72₁ , 72₂ und zwei Anschlusselemente 74₁ , 74₂ .
Das Kollektivherstellungsverfahren von Doppelköpfen wird dann schematisch in den 7 bis 10 dargestellt, im Sonderfall von nur einer Anordnung und nur einer Gegenanordnung. Man sieht zunächst in der 7 eine Anordnung A und eine Gegenanordnung B. Die Anordnung A enthält eine Vielzahl erster Köpfe 80₁ analog dem Kopf der 6, und die Gegenanordnung B enthält eine Vielzahl zweiter Köpfe 80₂ , symmetrisch zu dem der 6. Außerdem enthält die Anordnung A eine Vielzahl erster Leerstellen 90₁ , und die Gegenanordnung B enthält eine Vielzahl zweiter Leerstellen 90₂ (diese Leerstellen sind in der 7 schraffiert).
Bei der in der 7 dargestellten Ausführungsart sind die Köpfe 80₁ und 80₂ entgegengesetzt vorgesehen und die Köpfe und die Leerstellen sind versetzt.
Die 8, 9 und 10 zeigen die Struktur der Köpfe und die in den Leerstellen vorgesehenen Sitze detaillierter. Diese Figuren gelten sowohl für ein Einzelverfahren als auch für ein Kollektivverfahren.
Zunächst sieht man in den 8 und 10 einen ersten Kopf mit dem Hauptbezugszeichen 100, mit einer Einheit 102, die den Magnetkreis, den Azimut-Spalt, die Spule und zwei Kontaktelemente 104₁ , 104₂ umfasst. Seitlich dieses Kopfes befindet sich ein erster geätzter Sitz 120. In der 10 sieht man besser, dass der Kopf 100 auf einem ersten Substrat 150, zum Beispiel aus Silicium, ausgebildet ist, und mit einer Schicht 160 aus einem ersten Isolator, zum Beispiel Siliciumdioxid, überzogen ist. Die Isolierschicht 160 kann zum Beispiel eine Dicke von 10 μm haben. Um den ersten Sitz 120 zu realisieren, ätzt man zugleich die Isolierschicht 160 und das Substrat 150, letzteres zum Beispiel 10 μm tief, was in diesem Sonderfall einen Sitz mit einer Tiefe von 20 μm ergibt.
In der Gegenanordnung B sieht man dieselben Einrichtungen, nämlich einen zweiten Kopf mit dem Hauptbezugszeichen 130 und einer Einheit 132, die einen Magnetkreis, einen dem Azimut-Spalt des ersten Kopfes 102 entsprechenden Azimut-Spalt und zwei Kontaktelemente 134₁ , 134₂ umfasst. Seitlich dieses zweiten Kopfes 130 befindet sich ein zweiter Sitz 140. In der 9 sieht man, dass dieser zweite Kopf auf dem den ersten Kopf tragenden Substrat 150 ausgebildet ist und mit einer selben Schicht 160 überzogen ist. Um den 140 zu realisieren, ätzt man die Isolierschicht 160 und das Substrat 150 über 10 μm, was einen Sitz mit einer Tiefe von 20 μm ergibt, wie bei dem ersten Sitz 120. Derart sind die Reliefs und die Vertiefungen dieser beiden Teilanordnungen komplementär.
Die 9 und 10 zeigen noch eine spezielle Realisierungsart, die ermöglicht, die Anschlüsse bzw. Verbindungen des zweiten Kopfes 130 auf dieselbe Seite bzw. Fläche wie diejenigen des ersten Kopf 100 zu bringen, wobei dann die Gegenanordnung eine kleinere Breite als die Anordnung hat. Um dies zu realisieren, wird in der Anordnung A eine Stufe mit einem Zwischenniveau realisiert. Diese Stufe trägt in den 8 und 10 das Bezugszeichen 110. Bei der dargestellten Ausführungsart befindet sie sich 10 μm unter dem oberen Niveau, das heißt genau auf der Oberfläche des Substrats 150. Auf dieser Stufe 110 bildet man Kontaktaufnahmeelemente 112₁ , 112₂ aus, deren Abstand dem Abstand der Anschlusselemente 134₁ , 134₂ des zweiten Kopfes entspricht (s. 9). Diese Kontaktaufnahmeelemente 112₁ , 112₂ sind durch Verbindungsleiterbahnen 113₁ , 113₂ mit Kontaktelementen 114₁ , 114₂ verbunden, die sich seitlich der Elemente 104₁ , 104₂ des ersten Kopfes befinden.
In der Gegenanordnung ätzt man das zweite Substrat 150, um seitlich der zweiten Köpfe 130 zweite Sitze 140 zu bilden, fähig die ersten Köpfe 100 der Anordnung A aufzunehmen.
Wenn der zweite Kopf 130 umgedreht und in den ersten Sitz 120 eingesetzt worden ist, kommen die Elemente 134₁ , 134₂ in Kontakt mit den Kontaktaufnahmeelementen 112₁ , 112₂ , so dass die Anschlusselemente des zweiten Kopfes, sobald dieser eingesetzt ist, zu den Elementen 114₁ , 114₂ übertragen werden bzw. mit ihnen verbunden sind.
Die Stufe 110 kann auch Rillen 114 aufweisen, um einen eventuellen Überschuss des Klebstoffs aufzunehmen, der dazu dient, die beiden Teile zusammenzubauen. Der Klebstoff kann ein leitfähiger Klebstoff sein. Man kann ihm leitfähige Kugeln beimischen, die bei der Montage zusammengedrückt werden und einen guten elektrischen Kontakt zwischen den Elementen 124₁ , 134₂ und 112, 112₂ herstellen.
Wenn man nun die Gegenanordnung B um einen Winkel π um die Achse xx' dreht (7) und die beiden Anordnungen ineinander verschachtelt, erhält man die in der 11 dargestellte Einheit. Man sieht dort einen ersten Kopf 102 mit seinem Azimut-Spalt g₁, angeordnet auf dem Substrat 150 und überzogen mit einer Isolierschicht 160, und einen zweiten Kopf 142 mit seinem Azimut-Spalt g₂ entgegengesetzter Richtung, mit umgekehrtem Substrat 150 mit seiner Isolierschicht 160, ebenfalls umgekehrt. Die beiden Teile sind ineinander verschachtelt. Da sie komplementär sind, bilden sie einen Einblock-Magnetkopf.
Im Falle einer Kollektivherstellung (zum Beispiel mittels Anordnungen oder ganzen Scheiben) wird das so erhaltene Ganze anschließend zerschnitten, um die Einblock-Doppelköpfe zu trennen. Jeder Kopf umfasst dann einen Siliciumblock, der in seiner Mitte einen Doppelkopf einschließt. Jeder Kopf kann anschließend durch klassische mikromechanische Operationen bearbeitet werden, um ihm die gewünschte Form zu geben.
Man kann selbstverständlich das Schneiden der Köpfe auch vor dem Zusammenbau realisieren.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsart kann man ein einziges Substrat verwenden, um die Anordnung und die Gegenanordnung herzustellen. Diese Variante ist vorteilhaft, denn sie ermöglicht, für die verschiedenen Köpfe eine Homogenität der Charakteristika zu erlangen, vor allem für die sich gegenüberstehenden. Aber man könnte natürlich die Realisierung der Anordnung und die der Gegenanordnung trennen.
Nach dieser Beschreibung versteht man besser, dass die Erfindung zahlreiche Vorteile bietet:

– sie ermöglicht eine Kollektivherstellung von Azimut-Einblock-Doppelköpfen mit einer Dünnschicht-auf-Silicium-Technik, verbunden mit einigen mechanischen Zusammenbauschritten, Anordnung für Anordnung oder Scheibe für Scheibe; die Kosteneinsparung kann bei Massenherstellung beträchtlich sein;
– sie löst die Seiten- und Winkelausrichtungsprobleme des einen Kopfs in Bezug auf den anderen, indem sie die Zusammenbau-Bezugsebenen durch extrem genaue mikroelektronische Ätzverfahren definiert; die Klebeverbindung zwischen den beiden zusammenzubauenden Teilen muss einige zehn Mikrometer nicht überschreiten, was ganz und gar innerhalb der Toleranzen der betreffenden Systeme liegt, sowohl bezüglich des Winkels zwischen den beiden Köpfen als auch des seitlichen Abstands (einen Fehler bezüglich der Spurbreite des Signals nach sich ziehend);
– die Montage eines nach der Erfindung hergestellten Einblock-Doppelkopfs in einem Aufzeichnungssystem wird ebenso einfach wie die Montage eines Einfachkopfs, was die Kosten dieser Operation deutlich senkt;
– die Homogenität der Charakteristika der Köpfe ist sehr gut, wenn die beiden zusammengebauten Köpfe während ihrer Herstellung auf Silicium Nachbarn waren;
– schließlich gewährleisten die guten tribologischen Eigenschaften des die Köpfe umschließenden Siliciums eine sanfte und gleichmäßige Abnützung dieser letzteren während ihrer Lebensdauer.

Claims

Verfahren zur Dünnschichttechnik-Herstellung eines Doppel-Magnetkopfs mit zwei Spalten mit entgegengesetzten Azimuten, das die folgenden Operationen umfasst: – auf einem ersten Substrat (150) bildet man einen ersten Magnetkopf (100) mit einem ersten Spalt (g₁), der einen bestimmten, zu einem ersten Azimutwinkel führenden Neigungswinkel hat, – auf einem zweiten Substrat (150) bildet man einen zweiten Magnetkopf (130) mit einem zweiten Spalt (g₂), der einen mit dem Neigungswinkel des ersten Spalts identischen zweiten Neigungswinkel aufweist und zu einem zweiten, dem ersten entgegengesetzten Azimutwinkel führt, dadurch gekennzeichnet, – dass man auf dem ersten Substrat (150), neben dem ersten Kopf (100), einen ersten Sitz (120) ätzt, fähig den zweiten Kopf (130) aufzunehmen, und auf dem zweiten Substrat (150), neben dem zweiten Kopf (130), einen zweiten Sitz (140) ätzt, fähig den ersten Kopf (100) aufzunehmen, – dass man einen der Köpfe (130) umdreht, – dass man den ersten Kopf (100) in den zweiten Sitz (140) einfügt und den zweiten Kopf (130) in den ersten Sitz, so dass ihre Neigungswinkel in einem gemeinsamen Bezugssystem entgegengesetzt sind und zu entgegengesetzten Azimutwinkeln führen, – dass man das gebildete Ganze verbindet.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Substrat mit dem ersten zusammenfällt.
Kollektives Dünnschichttechnik-Herstellungsverfahren von Doppel-Magnetköpfen mit Spalten mit entgegengesetzten Azimuten, das die folgenden Operationen umfasst: – man realisiert auf einem ersten Substrat (150) wenigstens eine Anordnung (A) einer ersten Gruppe von Magnetköpfen (100) mit einem ersten Spalt (g₁), der einen zu einem ersten Azimutwinkel führenden ersten Neigungswinkel aufweist, – man realisiert auf einem zweiten Substrat (150) wenigstens eine Gegenanordnung (B) einer zweiten Gruppe von Magnetköpfen (130) mit einem zweiten Spalt (g₂), der einen mit dem Neigungswinkel des ersten Spalts identischen zweiten Neigungswinkel aufweist und zu einem zweiten, dem ersten entgegengesetztem Azimutwinkel führt, dadurch gekennzeichnet: – dass man auf dem ersten Substrat (150) der Anordnung (A), neben dem ersten Kopf (100), erste Sitze (120) ätzt, fähig die zweiten Köpfe (130) der Gegenanordnung (B) aufzunehmen, – dass man auf dem zweiten Substrat (150) der Gegenanordnung (B), neben den zweiten Köpfen (130), zweite Sitze (140) ätzt, fähig die ersten Köpfe (100) der Anordnung (A) aufzunehmen, – dass man die Gegenanordnung (B) umdreht und auf der Anordnung (A) anbringt, wobei jeder zweite Kopf (130) der Gegenanordnung (B) sich in einen der ersten Sitze (120) der Anordnung (A) setzt, und jeder erste Kopf (100) der Anordnung (A) sich in einen der zweiten Sitze (140) der Gegenanordnung (B) setzt, so dass die ersten und zweiten Neigungswinkel in einem gemeinsamen Bezugssystem entgegengesetzt sind und zu entgegengesetzten ersten und zweiten Azimutwinkeln führen, – dass man die Anordnung (A) und die Gegenanordnung (B) miteinander verbindet, – dass man die durch einen ersten Kopf und einen angrenzenden zweiten Kopf gebildeten Einheiten voneinander trennt, so dass man Doppelköpfe (102, 142) mit Spalten (g₁, g₂) mit entgegengesetzten Azimuten bzw. Azimutwinkeln erhält.
Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Substrat mit dem ersten zusammenfällt.
Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die ersten Köpfe (100) der Anordnung (A) und die zweiten Köpfe (130) der Gegenanordnung (B) zu zwei parallelen Reihen angeordnet sind, in entgegengesetzter Stellung und gegeneinander versetzt, wobei das erste Substrat (150), das dazu dient, die Anordnung (A) zu realisieren, und das zweite Substrat (150), das dazu dient, die Gegenanordnung (B) zu realisieren, ein und dasselbe Substrat (150) ist.
Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass man die Anordnung (A) und die Gegenanordnung (B) durch Klebung miteinander verbindet.
Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet: – dass die ersten Köpfe (100) der Anordnung (A) in einer auf dem ersten Substrat gebildeten ersten Isolierschicht (160) angeordnet sind, – dass die zweiten Köpfe (130) der Gegenanordnung (B) in einer auf dem zweiten Substrat gebildeten zweiten Isolierschicht (160) angeordnet sind, – dass man die erste Isolierschicht (160) und das erste Substrat (150) ätzt, um die ersten Sitze (120) zu bilden, – dass man die zweite Isolierschicht (160) und das zweite Substrat (150) ätzt, um die zweiten Sitze (140), die Anordnung (A) und die Gegenanordung (B) zu bilden, wobei die Anordnung (A) und die Gegenanordnung (B) komplementäre, sich ineinanderfügende Profile aufweisen.
Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass man die ersten Magnetköpfe (100) mit einem ersten Magnetkreis (50₁ , 50₂ , 52₁ , 52₂ , 60) und einer ersten leitenden Wicklung (54₁ , 54₂ ) realisiert, die um einen Teil des ersten Magnetkreises gewickelt ist, und dass man die zweiten Magnetköpfe (130) mit einem zweiten Magnetkreis (50₁ , 50₂ , 52₂ , 52₂ , 60) und einer zweiten leitenden Wicklung (54₁ , 54₂ ) realisiert, die um einen Teil des zweiten Magnetkreises gewickelt ist.
Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet: – dass man die zweite Isolierschicht (160) der Gegenanordnung (B) ätzt, um Anschlussstellen (134₁ , 134₂ ) der zweiten Wicklung der zweiten Köpfe (130) freizulegen, – dass man außerdem in die erste Isolierschicht (160) und eventuell in das erste Substrat (150) der Anordnung (A) eine Stufe (110) bis auf ein Tiefenniveau ätzt, das niedriger ist als die Tiefe der ersten Sitze (120), – dass man in dieser Stufe (110) der Anordnung (A) Kontaktaufnahmestellen (112₁ , 112₂ ) bildet, deren Abstand den Anschlussstellen (134₁ , 134₂ ) der zweiten Wicklung der zweiten Köpfe (130) der Gegenanordnung (B) entspricht, so dass die Anschlussstellen (134₁ , 134₂ ) der zweiten Köpfe (130) in elektrischen Kontakt kommen mit den Kontaktaufnahmestellen (112₁ , 112₂ ) der Anordnung (A), wenn die Gegenanordnung (B) umgedreht und dann auf der Anordnung (A) angebracht wird, wobei dann die Anschlussstellen (134, 134₂ ) der zweiten Köpfe (130) elektrischen Kontakt haben mit den Kontaktaufnahmestellen (112₁ , 112₂ ) der Anordnung, (A), und man in dieser Stufe (110) der Anordnung (A) zweite Anschlussstellen (114₁ , 114₂ ) bildet, wobei die Anschlussstellen (104₁ , 104₂ ) der ersten Köpfe (100) und die zweiten Anschlussstellen (114₁ , 114₂ ) der zweiten Köpfe (130) sich dann auf derselben Seite und in derselben Fläche des Doppelkopfes befinden.
Verfahren nach Anspruch 9, in dem man außerdem in der Stufe (110) Rillen (114) ausbildet.