DE69412346T2

DE69412346T2 - Linsenprüfvorrichtung

Info

Publication number: DE69412346T2
Application number: DE69412346T
Authority: DE
Inventors: Masahiro C/O Fuji Photo Film Co. Ltd. Minami-Ashigara-Shi Kanagawa Tagi; Yukihiko C/O Fuji Photo Film Co. Ltd. Minami-Ashigara-Shi Kanagawa Yamaguchi
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 1993-05-14
Filing date: 1994-05-13
Publication date: 1998-12-10
Anticipated expiration: 2014-05-14
Also published as: JPH06323957A; EP0624783A3; JP3201872B2; US5574555A; EP0624783A2; EP0624783B1; DE69412346D1

Description

Hintergrund der Erfindung

1. Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Linsenprüfvorrichtung und ein Linsenprüfverfahren zur Beurteilung, ob ein Brennpunkt einer Linse in einem richtigen Bereich ist, und insbesondere eine Linsenprüfvorrichtung und ein Linsenprüfverfahren, das zur Prüfung von Aufnahmeobjektiven von mit Linsen ausgerüsteten, photographischen Filmeinheiten während der Herstellung der Filmeinheiten geeignet ist.

2. In Beziehung stehender Stand der Technik

Die Brennweite und die optische Achse können als die grundsätzlichsten Faktoren genannte werden, die eine Auswirkung auf die Leistung eines Aufnahmeobjektivs einer Kamera haben. In Kompaktkameras und in, mit einem Objektiv ausgerüsteten, photographischen Filmeinheiten sind Aufnahmeobjektive in dem Hauptgehäuse befestigt. Deshalb weichen, wenn das Aufnahmeobjektiv außermittig in der Kamera befestigt ist, oder wenn der Abstand zwischen den Linsenelementen des Aufnahmeobjektivs nicht korrekt ist, die optische Achse oder der Brennpunkt von den normalen Positionen ab, was unzureichende, optische Eigenschaften des Aufnahmeobjektivs ergibt. Auch andere Objektive, wie Wechselobjektive für Bildreflexkameras, können an der gleichen Schwierigkeit wie oben leiden, wenn sie in Objektivtuben eingebaut sind.
Aus diesem Grund werden einige grundsätzliche Eigenschaften von Linsen während oder nach der Herstellung überprüft. Bei herkömmlichen Linsenprüfungen wird z.B. die Modulationsübertragungsfunktion (MTF) gemessen, wie es in JP-A 55-20420 und JP-A 58-118943 geoffenbart ist, oder ein Flächenbild eines Prüfmusters wird durch ein Mikroskop beobachtet. Alternativ wird das Bild eines Prüfmusters als ein Bildsignal aufgenommen und das Bildsignal wird analysiert.
Jedoch ist, weil eine großräumige Vorrichtung und eine lange Zeit für MTF Messungen notwendig sind, die Linsenprüfung auf der Grundlage von MTF für in Massen produzierte Linsen ungeeignet.
Bei der mikroskopischen Beobachtung des Prüfmusterbildes neigt, weil dies grundsätzlich eine Sichtprüfung ist, das Ergebnis der Prüfung dazu, daß es Genauigkeitsschwankungen neben einer langen Zeit gibt, die zur Prüfung notwendig ist.
Die Aufnahme des Prüfmusterbildes durch eine CCD (ladungsgekoppelte Einrichtung) Kamera und die Analyse des Bildsignals in einem Computer verlangen auch eine lange Zeit. Deshalb ist auch das dritte Verfahren zur Prüfung von massenproduzierten Linsen mit einem hohen Wirkungsgrad praktisch nicht einsetzbar.
In der JP 1107127 ist ein Verfahren zur Bestimmung der Brennweite einer Linse beschrieben, wobei eine bewegbare Objektivlinse verwendet wird, die einen Punktquerschnitt auf eine CCD Kamera projiziert, wenn paralleles Licht durch die Linse und das bewegbare Objektiv hindurchgeht. Der Querschnitt des Brennpunkts auf der CCD wird unter Verwendung einer CPU (zentrale Verarbeitungseinheit) als eine Funktion der Position der genannten bewegbaren Objektivlinse bestimmt. Die Meßwerte werden auf einer Leuchtdiodenanzeige angezeigt, und die Brennweite kann erhalten werden. Jedoch kann diese Vorrichtung nicht die optische Achse der Linse prüfen und macht keine Beurteilung, ob die Brennweite oder die optische Achse der Linse innerhalb eines vorbestimmten Bereiches sind.

Zusammenfassung der Erfindung

Im Hinblick auf das Vorstehende ist eine vorrangige Zielsetzung der vorliegenden Erfindung, eine Linsenprüfvorrichtung und ein Linsenprüfverfahren zu schaffen, die es unabhängig von einer Sichtprüfung möglich machen, automatisch und schnell zu beurteilen, ob der Brennpunkt, der eine der grundsätzlichen Eigenschaften der Linse ist, in einem richtigen Bereich angeordnet ist.
Diese Zielsetzung wird mit einem Linsenprüfverfahren gemäß Anspruch 1 und einer Linsenprüfvorrichtung gemäß Anspruch 6 erreicht.
Dort wird eine zu prüfende Linse zwischen einer Lichtquelle und einem Gegenstandsbrennpunkt einer Objektivlinse einer Prüfvorrichtung angeordnet, und ein Lichtbündel von der Lichtquelle wird auf die zu prüfende Linse parallel zu der optischen Achse der Objektivlinse projiziert und die Objektivlinse wird schrittweise entlang der optischen Achse verschoben, damit der Gegenstandsbrennpunkt der Objektivlinse in eine Mehrzahl von Positionen in einem Bereich um einen normalen Brennpunkt der Linse herum verschoben wird, die untersucht werden soll. Ein Lichtfleckbild oder ein Punktbild wird auf einem zweidimensionalen Bildsensor durch eine Bildbildungslinse hindurch gebildet, die koaxial hinter der Objektivlinse angeordnet wird. Helligkeitsdaten des Punktbildes werden für jede Verschiebungsposition der Objektivlinse bestimmt und werden zur Beurteilung verwendet, ob ein tatsächlicher Brennpunkt der Linse, die untersucht wird, innerhalb eines richtigen Bereiches in Richtung der optischen Achse ist.
Der tatsächliche Brennpunkt kann auf der Grundlage der Helligkeit des Punktbildes bestimmt werden, da, wenn der Gegenstandsbrennpunkt der Objektivlinse mit dem tatsächlichen Brennpunkt der Linse, die untersucht werden soll, zusammenfällt, das Punktbild in dem schärfsten oder fokussierten Zustand ist und eine minimale Fleckgröße und einen maximalen Helligkeitswert aufweist.
Der tatsächliche Brennpunkt kann zwischen den einzelnen Linsen, die untersucht werden sollen, unterschiedlich sein, selbst bei der gleichen Konstruktion. Jedoch wird, da der Gegenstandsbrennpunkt der Objektivlinse stufenweise in der Nachbarschaft des normalen Brennpunkts der Linse, die untersucht werden soll, verschoben wird, und die Daten um das Punktbild herum, das sich mit der Bewegung der Objektivlinse bewegt, für jede Verschiebungsposition bestimmt werden, ist es zur Bestimmung eines tatsächlichen Brennpunkts nicht immer notwendig, den Gegenstandsbrennpunkt der Objektivlinse mit dem tatsächlichen Brennpunkt in Übereinstimmung zu bringen.
Gemaß einer Ausführungsform werden Helligkeitsmaximalwerte des Punktbildes in den entsprechenden Verschiebungspositionen der Objektivlinse bestimmt, und der tatsächliche Brennpunkt der Linse, die untersucht werden soll, wird in der axialen Richtung, auf der Grundlage der Korrelation zwischen den Maximalwerten und den Verschiebungspositionen bestimmt.
Gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform wird die Anzahl der Bildpunkte, die in einem Bereich des Punktbildes enthalten sind, wo die Helligkeit oberhalb eines vorbestimmten Wertes ist, als Helligkeitsdaten für jede Verschiebungsposition der Objektivlinse bestimmt, und der tatsächliche Brennpunkt der zu untersuchenden Linse in der axialen Richtung wird auf der Grundlage der Korrelation zwischen der Bildpunktanzahl und den Verschiebungspositionen bestimmt.
Indem das Punktbild auf dem zweidimensionalen Bildsensor gebildet wird, ist es auch möglich, die Position des Punktbilds auf dem Bildsensor zu bestimmen und die Dezentrierung der zu prüfenden Linse auf der Grundlage der zweidimensionalen Position des Bildes zu prüfen.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Andere Zielsetzungen und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden, ins einzelne gehenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen offensichtlich, wenn sie in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen gelesen wird, in denen gleiche Bezugszeichen gleiche oder entsprechende Teile durchgehend in den verschiedenen Ansichten bezeichnen, und worin:
Fig. 1 eine perspektivische Sprengansicht einer mit einem Objektiv ausgerüsteten, photographischen Filmeinheit ist;
Fig. 2 eine perspektivische Sprengansicht des Aufnahmeobjektivs der Filmeinheit ist;
Fig. 3 eine schematische Vorderansicht der Filmeinheit ist;
Fig. 4 eine schematische Draufsicht ist, die ein Montageband einer Filmeinheit nachbildet;
Fig. 5 ein Diagramm ist, das die Gesamtkonstruktion einer Linsenprüfvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung darstellt;
Fig. 6A, 6B und 6C Diagramme sind, die drei unterschiedliche Scharfeinstellsituationen einer Objektivlinse der Linsenprüfvorrichtung darstellen, die in Fig. 5 gezeigt ist, und deren Gegenstandsbrennpunkt schrittweise in bezug auf einen Brennpunkt einer zu untersuchenden Linse entlang der optischen Achse verschoben wird;
Fig. 7 ein Zeitdiagramm ist, das die Arbeitsfolge der Linsenprüfvorrichtung darstellt, die in Fig. 5 gezeigt ist;
Fig. 8 ein Diagramm ist, das ein Beispiel einer Bildhelligkeitsverteilung auf einem Bildsensor der Linsenprüfvorrichtung darstellt, dreidimensional entlang den entsprechenden Abtastlinien des Bildsensors;
Fig. 9 eine graphische Darstellung ist, die die Beziehung zwischen den Meßpositionen der Objektivlinse und den Spitzenhelligkeitswerten auf dem Bildsensor darstellt;
Fig. 10 eine erläuternde Ansicht ist, die eine Mittenposition eines auf dem Bildsensor gebildeten Bildes darstellt; und
Fig. 11 eine Kurve ist, die die Bildhelligkeitsverteilung auf dem Bildsensor in unterschiedlichen Fokussierungssituationen darstellt.

Beschreibung der bevorzugten Ausfuhrungsformen im einzelnen

Die Ausfuhrungsform, wie sie unten angegeben ist, betrifft eine Linsenprüfvorrichtung, um Aufnahmeobjektive von mit Objektiven ausgerüsteten, photographischen Filmeinheiten während der Herstellung zu prüfen. Die mit einem Objektiv ausgerüstete, photographische Filmeinheit, nachfolgend als Filmeinheit bezeichnet, ist ein Artikel, dessen Einheitsgehäuse einen einfachen Belichtungsmechanismus aufweist, der darin eingebaut ist, und mit einer Photofilmkassette geladen ist, wenn sie gekauft wird. Die Gehäuseeinheit ist hauptsächlich aus Kunstharzmaterialien gebildet und ist mit einem äußeren Kartongehäuse überdeckt, das zur Betätigung der Filmeinheit notwendige Ausschnitte aufweist.
Fig. 1 zeigt ein Beispiel einer mit einem Objektiv ausgerüsteten, photographischen Filmeinheit in Sprengdarstellung, wobei ihr äußeres Kartongehäuse weggelassen ist. Die Gehäuseeinheit besteht aus einem Hauptkörper 2, einer Vorderabdeckung 3 und einer Rückabdeckung 4. Eine Patronenkammer 5 und eine Filmspulenkammer 6 sind einheitlich mit dem Hauptkörper 2 gebildet, so daß sie eine Filmpatrone 7 bzw. eine Spule Photofilm 8 darin aufnehmen. Die Filmpatrone 7 und der Photofllm 8 sind gegenüber Umgebungslicht geschützt, wenn die Rückabdeckung 4 an dem Hauptkörper 2 durch einen Schnappeingriff befestigt ist.
Ein Filmvorschubrad 9 ist an dem Hauptkörper 2 angebracht, damit es mit seinem unteren Sprossenabschnitt mit einer Spule der Filmpatrone 7 in Eingriff gelangt, so daß ein belichteter Abschnitt des Photofilms 8 in die Filmpatrone 7 gewickelt wird, indem das Filmvorschubrad 9 nach jeder Belichtung gedreht wird. Eine Belichtungseinheit 10 ist an dem Hauptkörper 2 durch einen Schnappeingriff befestigt. Die Belichtungseinheit 10 weist ein Sprossenrad auf, das in Perforationen des Photofilms 8 eingreift, einen Verschlußmechanismus, einen Filmbildzählermechanismus und einen Filmvorschubanhaltemechanismus, die so arbeiten, daß jedesmal, wenn der Photofllm 8 um ein Bild durch Drehung des Filmvorschubrads 9 vorwärtsbewegt worden ist, der Verschlußmechanismus gespannt und das Filmvorschubrad 9 gegenüber einer Drehung gesperrt ist. Die Vorderabdeckung 3 deckt die Vorderseite des Hauptkörpers 2 ab und weist einen Aus- löseknopf 11 auf, der einheitiich damit gebildet ist. Beim Niederdrücken des Auslöseknopfes 11 wird die Belichtungseinheit 10 aktiviert, den Verschlußmechanismus freizugeben.
Eine Verschlußabdeckung 14 ist vor der Belichtungseinheit 10 angebracht. Wie es im einzelnen in Fig. 2 gezeigt ist, weist die Verschlußabdeckung 14 einen Objektivbefestigungsabschnitt 15 auf. Ein vorderes Linsenement 16a, ein Abstandsstück 16b und ein hinteres Linsenement 16c, die ein Aufnahmeobjektiv 16 bilden, sind in dem Linsenbefestigungsabschnitt 15 angebracht und durch einen Haltering 17 festgelegt. Hinter der Verschlußabdeckung 14 sind eine Verschlußlamelle 18, die zum Öffnen einer Belichtungsöffnung 21 bewegbar ist, wenn sie durch einen Hebel des Verschlußmechanismus beaufschlagt wird, und eine Feder 20 angebracht, um die Verschlußlamelle 18 in eine geschlossene Position zum Schließen der Belichtungsöffnung 21 zu drücken, wie es in Fig. 3 gezeigt ist. Die Verschlußlamelle 18 hat einen Stift 18a, der nach außerhalb der Filmeinheit durch einen Schlitz 14a der Verschlußabdeckung 14 und einen Schlitz 19 der Vorderabdeckung 3 hindurch hervorsteht. Indem der Stift 18a in einer durch einen Pfeil X gezeigten Richtung bewegt wird, kann die Verschlußlamelle 18 entgegen der Kraft der Feder 20 in die geöffnete Position bewegt werden.
Bei einem nachbildenden Montageband für eine Filmeinheit, das in Fig. 4 gezeigt ist, wird ein Schrittschalttisch 25 schrittweise um eine Drehwelle 25a gedreht, um Werkstükke anzuhalten, die in entsprechende, z.B. zwölf Positionierungsrahmen 26 des Tisches 26 gleichzeitig an zwölf Stationen ST-1 bis ST-12 während kurzer Intervalle von 2,5 Sekunden oder so angeordnet sind. Wie es durch die gestrichelten Linien in Fig. 4 angegeben ist, sind Teile-Zuführ- und Zusammenbauabschnitte 28a bis 28k, um den Schrittschalttisch herum angeordnet, um bestimmte Teile den Stationen ST-1 bis ST-10 zuzuführen, wo Roboter die entsprechenden Teile zusammenbauen.
In der ersten Station ST-1 wird der Hauptkörper 2 in dem Positionierungsrahmen 20 angeordnet. In der zweiten Station ST-2 wird das Filmvorschubrad 9 an dem Hauptkörper 2 angebracht. In der dritten Station ST-3 wird die Belichtungseinheit 10 an dem Hauptkörper 2 befestigt. In der vierten, fünften und sechsten Station werden die Verschlußlamelle 18, die Feder 20 und die Verschlußabdeckung 14 jeweils zusammengebaut. In der siebten Station werden das hintere Linsenement 16c und das Abstandsstück 16b angebracht, und in der achten Station wird das vordere Linsenelement 16a befestigt. In der neunten Station wird der Haltering 17 eingebaut, um den Zusammenbau in dem Hauptkörper 2 abzuschließen. in der zehnten Station wird die vordere Abdeckung 3 angebracht, um die Vorderseite des Hauptkörpers 2 zu überdecken.
In der elften Station ST-11 ist eine Linsenprüfvorrichtung 30 der Erfindung angeordnet, um das Aufnahmeobjektiv 16 in der zusammengesetzten Position zu prüfen. Die zwölfte Station ist eine Austragsstation, um die zusammengebauten Werkstücke von dem Montageband auszubringen, während fehlerhafte von fehlerfreien in Abhängigkeit von den Ergebnissen der Prüfung in der elften Station unterschieden werden. Die fehlerfreien Werkstücke werden zu einem anderen Montageband umgesetzt, wo die Photofilmkassetten geladen und die Rückabdeckung 4 angebracht wird.
Fig. 5 zeigt schematisch Ausführungsformen der Linsenprüfvorrichtung 30. Die Linsenprüfvorrichtung 30 ist mit einem Verschlußöffnungselement 32 und einem Laserkollimator 33 versehen. Das Verschlußöffnungselement 32 betätigt den Stift 18a, um die Verschlußlamelle 18 in der offenen Position zu halten, wenn der Hauptkörper 2 in der elften Station ST-11 angeordnet ist. In diesem Zustand projiziert der Laserkollimator 33 ein Laserbündel 35 in der Form eines parallelen Bündels, das z.B. eine Wellenlänge von 670 nm und einen Bündeldurchmesser von 2 mm aufweist, entlang einer normalen optischen Achse L des Aufhahmeobjektivs 16. Eine Schwingungssteuerung 34 steuert einen Laseroszilator des Laserkollimators 33, so daß das Laserbündel 35 stets mit einer konstanten Lichtmenge projiziert wird.
Der Schrittschalttisch 25 hat Öffnungen 36, die durch ihn hindurch gebildet sind und zu der optischen Achse L des Aufnahmeobjektivs 16 koaxial sind, wenn der Hauptkörper 2 in jedem Positionierungsrahmen 26 angeordnet ist. Wenn der Schrittschalttisch 25 richtig anhält, ist die Öffnung 36 koaxial oberhalb einer Objektivlinse 38 der Linsenprüfvorrichtung 30 in der elften Station ST-11 angeordnet. Die Objektivlinse 38 wird von einer vorderen und einer hinteren Linse 38a und 38b gebildet. Das Laserbündel 35 konvergiert, nachdem es durch das Aufnahmeobjektiv 16 hindurchgegangen ist, in einem Brennpunkt P in dem Bildraum des Aufnahmeobjektivs 16, und fällt danach auf die vordere Linse 38a durch die Öffhung 36 hindurch. Wenn ein Gegenstandsbrennpunkt Q der vorderen Linse 38a mit dem Bildbrennpunkt P des Aufnahmeobjektivs 16 zusammenfällt, wird das Laserbündel 35 erneut in ein paralleles Bündel durch die vordere Linse 38a umgewandelt, bevor es auf die hintere Linse 38b der Objektivlinse 38 fällt. Ein Spiegel 40 und eine Bildbildungslinse 41 sind hinter der hinteren Linse 38b angeordnet und ein zweidimensionaler Bildsensor, wie ein CCD Bildsensor 44, ist in der Bildebene der Bildbildungslinse 41 angeordnet.
Die vordere Linse 38a kann schrittweise in eine Mehrzahl vorbestimmter Positionen, z.B. zehn Positionen, entlang der optischen Achse L mittels eines Linsenverschiebungsmechanismus 35 und eines Schrittmotors 46 bewegt werden. Dadurch kann der Gegenstandsbrennpunkt Q der vorderen Linse 38a innerhalb eines vorbestimmten Bereiches um eine normale Position des Brennpunkts P des Aufnahmeobjektivs 16 herum entlang der optischen Achse L verschoben werden, wie es schematisch bspw. in Fig. 6A, 6B und 6C gezeigt ist. Da einem auf dem Bildsensor 44 geformten Punktbild das parallele Lichtbündel zugrunde liegt, das von der vorderen Linse 38a projiziert wird, wird die Vergrößerung des Bildes auf dem Bildsensor 44 konstant gehalten, selbst während die vordere Linse 38a in der axialen Richtung bewegt wird.
Fig. 68 zeigt eine Situation, wo der Gegenstandsbrennpunkt Q der vorderen Linse 38a mit dem Brennpunkt P des Aufnahmeobjektivs 16 zusammenfällt, wobei das auf dem Bildsensor 44 gebildete Punktbild im Scharfeinstelustand ist, der einen minimalen Durchmesser des Flecks und eine maximale Helligkeit aufweist, wie es durch ein Muster 44b und eine Kurve 47b der Helligkeit des Bildes angegeben ist.
Fig. 6A und 6C zeigen die Situation des vorderen bzw. des hinteren Brennpunkts, wo der Gegenstandsbrennpunkt Q nicht mit dem Brennpunkt P des Aufnahmeobjektivs 16 zusammenfällt, wobei das auf dem Bildsensor 44 gebildete Punktbild verschwommen ist und einen größeren Fleckdurchmesser und eine geringere Helligkeit aufweist, wie es durch die Muster 44a und 44c und die Helligkeitskurven 47a und 47c angegeben ist. Wie es durch die Kurven 47a bis 47c gezeigt ist, ist der Helligkeitswert in der Mitte des Punktbildes maximal und nimmt nach außen in den radialen Richtungen ab.
Ein von dem Bildsensor 44 ausgegebenes Signal wird zu einer Systemsteuerung 48 geschickt. Die Systemsteuerung 48 ist von einer Bildverarbeitungsschaltung 49, einem Analogldigitalwandler 50, einer CPU 51, einem Speicher 52, einer Linsenpositionssteuerung 53 und einer Prüfparametereinstelleinheit 54 gebildet. Die Bildverarbeitungsschaltung 49 wandelt das Signal von dem Bildsensor 44 in ein Bildsignal um. Der Analogldigitalwandler wandelt das Bildsignal in ein digitales Signal um, indem der Helligkeitswert von jedem Bildpunkt des Bildsensors 44 quantisiert wird. Das digitale Signal wird der CPU 51 eingegeben.
Die CPU 51 erhält auch ein lndexsignal jedesmal, wenn der Schrittschalttisch 25 positioniert worden ist, nachdem er um einen Schritt konstanter Schrittweite bewegt worden ist. In Reaktion auf das Indexsignal führt die CPU 51 ein Prüfprogramm aus, das in ROM (Festwertspeicher) Speicherstellen des Speichers 52 gespeichert ist, und schreibt verschiedene Daten in RAM (Speicher mit wahlfreiem Zugriff) Speicherstellen des Speichers 52. Die Daten werden während der Ausführung des Prüfprogramms erhalten. Die Linsenpositionssteuerung 53 treibt den Schrittmotor 46 durch einen Treiber 56 unter der Steuerung der CPU 51 an. Dadurch werden die vordere Linse 38a und somit der Gegenstandsbrennpunkt Q davon um eine konstante Schrittweise, z.B. 80 um, bei jedem Schritt entlang der optischen Achse L verschoben. Die CPU 51 nimmt das Bildsignal für jede Verschiebungsposition der vorderen Linse 38a auf. Deshalb können die Verschiebungspositionen als Meßpositionen bezeichnet werden. Ein Kathodenstrahlröhrenbildschirm 57 zeigt das Muster des Punktbilds, das auf dem Bildsensor 44 gebildet worden ist, unwoder Prüfergebnisse an.
Die Prüfparametereinstelleinheit 54 wird betätigt, um Parameter einzustellen oder einzugeben, wie eine vorbestimmte, normale Brennweite des Aufnahmeobjektivs 16, das untersucht werden soll, den Verschiebungsbereich der vorderen Linse 38a, den Verschiebungsschritt der vorderen Linse 38a in dem Verschiebungsbereich, und andere Daten. Die Linsenpositionssteuerung 53 arbeitet nach Maßgabe dieser Parameter, um die vordere Linse 38a schrittweise in die vorbestimmten Meßpositionen während der Prüfung zu verschieben.
Die Arbeitsweise der Linsenprüfvorrichtung, wie sie oben angegeben worden ist, wird unter Bezugnahme auf Fig. 7 beschrieben. Wenn der Schrittschalttisch 25 gedreht worden ist, um das Werkstück oder den Hauptkörper 2 in der elften Station ST-11 anzuordnen, wird ein Indexsignal der CPU 51 eingegeben. Der Laserkollimator 33 projiziert ein paralleles Bündel des Laserbündels 35, das gesteuert wird, damit es eine konstante Größe aufweist, in Richtung zu dem Aufnahmeobjektiv 16. Am Anfang der Prüfung wird die vordere Linse 38a in einer Anfangsposition SI angeordnet, die gemäß den Parametern bestimmt wird, die in der Prüfparametereinstelleinheit 54 eingestellt worden sind, so daß die vordere Linse 38a in der Anfangsposition SI in einer rückwärtigen Scharfeinstellsituation in bezug auf eine normale Position des Brennpunkts P des Aufnahmeobjektivs 16 ist, wie es in Fig. 6A gezeigt ist, wobei angenommen wird, daß alle Linsenelemente 16a und 16c und das Abstandsstück 16b des Aufnahmeobjektivs 16 richtig gebildet und richtig zusammengebaut sind.
In dieser rückwärtigen Brennpunktsituation der vorderen Linse 38a ist das Punktbild, das auf dem Bildsensor 44 gebildet wird, verschwommen, wie es durch das Muster 44a dargestellt ist. In Reaktion auf ein Aufnahmesignal von der CPU 51 nimmt der Bildsensor 44 das Bild bei einer elektronischen Verschlußzeit von z.B. 1/20005 auf, um ein elektrisches Signal auszugeben. Das elektrische Signal wird zeilenweise in ein Bildsignal durch die Bildverarbeitungsschaltung 49 umgewandelt. In der rückwärtigen Brennpunktsituation der vorderen Linse 38a in bezug auf den Brennpunkt P ändert sich der Heiligkeitswert des Bildsignals, das entlang jeder Abtästzeile des Bildsensors 44 erfaßt wird, entiang der Abtastzeile sowie zwischen den Abtastzeilen, wie es in Fig. 8 gezeigt ist.
Das Bildsignal wird durch den Analogigitalwandler 50 quantisiert, und die CPU 51 bestimmt einen Spitzenhelligkeitswert M1 des Punktbildes, das gebildet wird, wenn die vordere Linse 38a in der Anfangsposition S1 ist, und bestimmt einen vertikalen Ort V1 und einen horizontalen Ort H1 der Helligkeitsspitze auf der Grundlage einer Abtastzeilenposition und eines horizontalen Abtastsignals entsprechend dem Bildsignal, das den Maximalwert M1 aufweist. Während das Bildsignal von dem Bildsensor 44 durch die Bildverarbeitungsschaltung 49 gesammelt wird, steuert die CPU 51 die Linsenpositionssteuerung 53, um den Treiber 56 anzusteuern, damit der Schrittmotor 46 um einen Schritt bewegt wird, wodurch die vordere Linse 38a entlang der optischen Achse L in die zweite Meßposition S2, 80 um hinter der Anfangsposition S1, verschoben wird.
Nachdem die vordere Linse 38a in die zweite Meßposition S2 verschoben worden ist, wird ein zweites Aufnahmesignal an den Bildsensor 44 ausgegeben, so daß ein Bildsignal in gleicher Weise wie oben aufgenommen wird. Auf diese Weise wird die vordere Linse 38a schrittweise von der Anfangsposition S1 bis zu der zehnten Meßposition S10 verschoben, wo die vordere Linse 38a in einet vorderen Brennpunktsituation in bezug auf die normale Position des Brennpunkts P des Aufnahmeobjektivs ist, wie es in Fig. 6C gezeigt ist. Ein Spitzenhelligkeitswert und eine entsprechende Lage der Helligkeitsspitze werden für jede Meßposition bestimmt. Fig. 9 zeigt die zehn Helligkeitsmaximalwerte M1 bis M10, die als Funktion der zehn Meßpositionen S1 bis S10 aufgetragen sind. Man beachte, daß die für jede Messung notwendige Zeit ungefähr 50 ms ist, so daß die notwendige Zeit zur Beurteilung, ob das Aufnahmeobjektiv 16 fehlerhaft ist oder nicht, höchstens 1,5 s oder so ist, einschließlich der Zeit, die zur Datenverarbeitung verlangt wird. Die Datenverarbeitung zur Beurteilung wird unten beschrieben. Auf der Grundlage dieser zehn Maximalwerte M1 bis M10 berechnet die CPU 51 eine quadratische Kurve K, wie sie durch unterbrochene Linien in Fig. 9 gezeigt ist, gemäß einem Annäherungsverfahren für eine quadratische Kurve. Unter Verwendung dieser Kurve A ist es möglich, ein Helligkeitsmaximum Mk und eine Position Sk der vorderen Linse 38a zu berechnen, bei der das Helligkeitsmaximum Mk erhalten wird.
Bei der in Fig. 9 gezeigten Ausführungsform wird angenommen, daß, solange das Aufnahmeobjektiv 16 richtig zusammengebaut worden ist und daher der Brennpunkt P des Aufnahmeobjektiv 16 genau in der normalen Position ist, die der vorbestimmten, normalen Brennweite entspricht, der Gegenstandsbrennpunkt Q der vorderen Linse 38a mit dem Brennpunkt P des Aufnahmeobjektivs 16 übereinstimmt, wenn die vordere Linse 38a in einer vorbestimmten Position SP ist. Wenn der Brennpunkt P des Aufnahmeobjektivs 16 eine Strecke ΔS von der normalen Position abweicht, weicht auch die Position Sk der vorderen Linse 38a, bei der das Helligkeitsmaximum Mk erhalten wird, die gleiche Strecke ΔS von der vorbestimmten Position SP ab. Deshalb ist es möglich, zu beurteilen, ob der Brennpunkt P des Aufnahmeobjektivs 16 richtig ist oder nicht, was davon abhängt, ob die Position Pk in einem vorbestimmten Bereich enthalten ist, wie es bspw. durch F in Fig. 9 angegeben ist. Wenn irgendeines der Linsenelemente 16a und 16c fleckig ist oder der Öffnungsdurchmesser des Abstandsstücks 16b außerhalb eines zulässigen Bereiches ist, würde der maximale Wert Mk der quadratischen Annäherungskurve K geändert werden. Deshalb ist es möglich, die Helligkeit des Aufnahmeobjektivs 16 in Abhängigkeit davon zu prüfen, ob der maximale Wert Mk innerhalb eines zulässigen Bereiches ist.
Weil ein vertikaler Ort Vn und ein horizontaler Ort Hn eines maximalen Wertes Mn (n = 1, 2, 3 ...) als Daten erfaßt werden, während das Bildsignal von dem elektrischen Signal von dem Bildsignal 44 abgeleitet wird, wie es unter Bezugnahme auf Fig. 8 beschrieben ist, ist es möglich, die Mitte des Punktbildes auf der Grundlage dieser Orte Vn und Hn zu berechnen. Die Orte Vn und Hn sind im allgemeinen während der zehnmaligen Messungen für ein Aufnahmeobjektiv 16 unverändert, aber es mag möglich sein, einen Durchschnitt der vertikalen Orte V1 bis V10 und den der horizontalen Orte H1 bis H10 zu berechnen, um die Koordinaten (Vk, Hk) des Punktbildes zu haben, um zu bestimmen, ob der Ort des Punktbildes, der durch die Koordinaten (Vk, Hk) dargestellt wird, in einem vorbestimmten Umfangsbereich D um die optische Achse L herum auf dem Bildsensor 44 eingeschlossen ist. Dadurch ist es möglich, zu beurteilen, ob die Dezentrierung des Aufnahmeobjektivs 16 zulässig ist oder nicht.
Nach Abschluß der zehnten Messung in der Meßposition S10 der vorderen Linse 38a, bewirkt die CPU 51, daß sich der Schrittmotor 46 in eine umgekehrte Richtung durch die Linsenpositionssteuerung 53 und dem Treiber 56 dreht, bis die vordere Linse 38a in die Anfangsposition 51 zurückgebracht ist. Danach wird, wenn der Schrittschalttisch 25 einen Schritt konstanter Schrittweite gedreht wird, um das nächste Werkstück oder den Hauptkörper 2 in der elften Station ST-11 anzuordnen, ein Indexsignal der CPU 51 eingegeben. Dann beginnt die Linsenprüfvorrichtung 30 die Prüfung des Aufnahmeobjektivs 16, das in dem Hauptkörper 2 angebracht ist, der in der elften Station ST-11 angeordnet ist.
Gemäß der oben beschriebenen Prüfung kann eine Abweichung des Brennpunkts oder der optischen Achse des Aufnahmeobjektivs 16 automatisch und schnell geprüft werden. Eine soiche Abweichung kann hervorgerufen werden, wenn irgendeines der Elemente 16a, 16b und 16c des Aufnahmeobjektivs nicht zusammengebaut oder falsch zusammengebaut ist, oder wenn die Genauigkeit dieser Elemente unzureichend ist. Weil die Objektivlinse 38 der Linsenprüfvorrichtung 30 von der vorderen und der hinteren Linse 38a und 38b gebildet ist, die afokal zueinander sind, wird die Vergrößerung des Punktbildes in der Brennebene konstant gehalten, selbst während die vordere Linse 38a verschoben wird. Daher wird ein Meßfehler, der durch eine Bildvergrößerungsänderung hervorgerufen würde, vermieden, und die Meßergebnisse sind stabil, selbst wenn ein optisches System zur Vergrößerung des Punktbildes hinter der Objektivlinse angeordnet wird.
Wenn verlangt wird, ein Objektiv zu prüfen, das eine unterschiedliche Brennweite hat, und somit sich der normale Brennpunkt des Objektivs entsprechend ändert, sollten geeignete Parameter in der Prüfparametereinstelleinheit 54 eingestellt werden. Auch ist die Anzahl der Meßpositionen der vorderen Linse 38a sowie die Verschiebungsgröße der Linse 38a zwischen den Meßpositionen geeignet auswählbar.
Obgleich das oben beschriebene Brennpunktbestimmungsverfahren Helligkeitsmaximumwerte des Punktbildes verwendet, die sich mit der Scharfeinstelsituation der Objektivlinse 38 in bezug auf den Brennpunkt P des Aufnahmeobjektivs 16 ändern, ist es statt dessen möglich, zur Linsenprüfung die Tatsache zu verwenden, daß der weiter entfernte Brennpunkt Q der vorderen Linse 38a von dem Brennpunkt P des Aufnahmeobjektivs 16 um so mehr abweicht, je weiter das auf dem Bildsensor 44 gebildete Bild außerhalb der Scharfeinstellung ist, und daß, je weiter das Punktbild außerhalb der Scharfeinstellung ist, um so größer der Fleckdurchmesser und um so niedriger der Helligkeitswert des Bildes sind.
Fig. 11 stellt die obigen Eigenschaften des Punktbildes dar, wobei eine ausgezogene Linie eine Helligkeitskurve Ko des Punktbildes im Scharfeinstellzustand zeigt, wohingegen eine Kurve K1 mit gestrichelter Linie, eine Kurve K2 mit strichpunktierter Linie und eine Kurve K3 mit Phantomlinie die Helligkeit des Punktbildes in drei unterschiedlichen Unscharfstellungen zeigen, wobei das Ausmaß der Unschärfe in der Reihenfolge von K1 zu K2 zu K3 größer wird.
Deshalb wird, wenn eine Fläche des Punktbildes, wo die Helligkeit oberhalb eines vorbestimmten Helligkeitswertes E ist, erfaßt wird, die Fläche kleiner, wenn sich das Punktbild dem Scharfeinstellzustand nähert. Andererseits kann der Bereich, mit einem gleichen oder größeren als dem vorbestimmten Helligkeitswert E, als die Anzahl der Bildpunkte des Bildsensors 44 bestimmt werden. Deshalb ist es, indem die Daten der Bildpunktanzahl, die in dem Bereich hoher Helligkeit des Punktbildes für jede Meßposition der vorderen Linse 38a enthalten sind, erfaßt werden und die Daten mit der Position der vorderen Linse korreliert werden, möglich, eine Position der vorderen Linse 38a zu bestimmen, in der der Bereich, der die vorbestimmte hohe Helligkeit aufweist, auf das Minimum verringert ist, wobei diese Position einer tatsächlichen Position eines Bildbrennpunkts eines Objektivs entspricht, das in Richtung der optischen Achse geprüft werden soll.
Es ist auch möglich, die Mitte des Bereiches hoher Helligkeit auf der Grundlage der Flächendaten zu berechnen und die Dezentrierung der zu prüfenden Linse in Abhängigkeit davon zu prüfen, ob die Mitte in dem zulässigen Bereich D auf dem Bildsensor 44 eingeschlossen ist.
Während die vorliegende Erfindung unter Bezugnahme auf die bevorzugten Ausführungsformen beschrieben worden ist, die in den Zeichnungen gezeigt sind, ist die vorliegende Erfindung nicht auf die oben beschriebene Ausführungsform begrenzt. Natürlich sind die oben beschriebenen Linsenprüfvorrichtungen allgemein auf irgendeine Linsenprüfung anwendbar, ganz zu schwiegen vin dem Aufnahmeobjektiv der mit einem Objektiv ausgerüsteten, photographischen Filmeinheit. Der Schrittschalttisch kann durch einen Linearförderer ersetzt werden. Der Laserkollimator kann durch eine andere Lichtquelle ersetzt werden, die ein paralleles Bündel von Lichtbündeln projizieren kann.

Claims

1. Ein Linsenprüfverfahren zur Prüfung einer Linse (16), das die Schritte umfaßt:

(a) Anordnen der genannten Linse (16) in einer vorbestimmten Prüfposition (ST-11) zwischen einer Lichtquelle (33) und einem Gegenstandsbrennpunkt (Q) einer Objektivlinse (38);

(b) Projizieren eines parallelen Lichtbündels (35) auf die genannte Linse (16) parallel zu einer optischen Achse (L) der genannten Objektivlinse (38);

(c) Bewegen der genannten Objektivlinse (38) schrittweise entiang der optischen Achse (L), damit der Objektivbrennpunkt (Q) in eine Mehrzahl Meßposition (S1-S10) innerhalb eines vorbestimmten, axialen Bereiches verschoben wird, der einen vorbestimmten, normalen Brennpunkt der genannten Linse (16) einschließt;

(d) Bilden eines Punktbildes von Licht von der genannten Objektivlinse (38) auf einem zweidimensionalen Bildsensor (44);

(e) Aufnehmen eines Bildsignals des genannten Punktbildes für jede der genannten Meßpositionen;

(f) Bestimmen eines tatsachlichen Brennpunkts (P) der genannten Linse (16) als eine Position auf der optischen Achse (L) auf der Grundlage von Heiligkeitsdaten des genannten Bildsignals;

dadurch gekennzeichnet, daß

(g) beurteilt wird, ob der genannte tatsächliche Brennpunkt (P) der genannten Linse (16) innerhalb eines vorbestimmten Bereiches (F) ist;

(h) Daten der Helligkeitsmaximalposition (Vn, Hn) des genannten Punktbildes auf dem genannten zweidimensionalen Bildsensor (44) für jede der genannten Meßpositionen (S1-S10) erfaßt werden; und

(i) auf der Grundlage der Positionsdaten (Vn, Hn) des Helligkeitsmaximums unter Bezugnahme auf die optische Achse (L) der genannten Objektivlinse (38) beurteilt wird, ob eine optische Achse der genannten Linse (16) innerhalb eines vorbestimmten Umfangsbereiches (D) um die optische Achse (L) der genannten Objektivlinse (38)herum ist.

2. Ein Linsenprüfverfahren, wie in Anspruch 1 angegeben, bei dem jede Meßposition (S1-S10) einer Verschiebungsposition der Objektivlinse (38) entspricht und für jede der Meßpositionen (S1-S10) die Objektivlinse (38) in der gleichen Position während der Aufnahme des Bildsignals bleibt.

3. Ein Linsenprüfverfahren, wie in Anspruch 2 angegeben, wobei der genannte Bestimmungsschritt die Schritte umfaßt:

Bestimmen von Daten des maximalen Helligkeitswerts (M1-M10) des genannten Punktbildes für jede der genannten Meßpositionen (S1-S10);

Korrelieren der maximalen Helligkeitswerte mit den Positionen der genannten Objektivlinse (38), um den genannten tatsächlichen Brennpunkt (P) als eine Position des Gegenstandsbrennpunkts (Q) der genannten Objektivlinse (38) zu bestimmen, an dem das genannte Punktbild einen maximalen Helligkeitsspitzenwert (Mk) aufweist.

4. Ein Linsenprüfverfahren, wie in Anspruch 2 angegeben, wobei der genannte Bestimmungsschritt die Schritte umfaßt:

Bestimmen der Anzahl Bildpunkte des genannten Bildsensors (44) an jeder der genannten Meßposition (S1-S10), die in einem Bereich eingeschlossen ist, in dem die Helligkeit des genannten Punktbildes oberhalb eines vorbestimmten Werts (E) ist; und

Korrelieren der genannten Bildpunktanzahl mit den Positionen der genannten Objektivlinse (38), um den genannten tatsächlichen Brennpunkt (P) der genannten Linse (16) als eine Position des Gegenstandsbrennpunkts (Q) zu bestimmen, bei der der genannte Bereich eine minimale Größe aufweist.

5. Ein Linsenprüfverfahren, wie in Anspruch 4 angegeben, das des weiteren die Schritte umfaßt

Berechnen einer Mitte des genannten Bereiches; und

Beurteilen, auf der Grundlage der genannten Mitte mit Bezugnahme auf die optische Achse (L) der genannten Objektivlinse (38), ob eine optische Achse der genannten Linse (16) innerhalb eines vorbestimmten Umfangsbereiches (D) um die optische Achse (L) herum ist oder nicht.

6. Eine Linsenprüfvorrichtung zur Prüfung einer Linse (16), die umfaßt:

(a) eine Objektivlinse (38);

(b) eine Lichtquelle (33), um ein paralleles Lichtbündel (35) koaxial zu der genannten Objektivlinse (38) zu projizieren;

(c) eine Positionierungseinrichtung (25), um die genannte Linse (16) in einer vorbestimmten Prüfstellung zwischen der genannten Lichtquelle (33) und einem Gegenstandsbrennpunkt (Q) der genannten Objektivlinse (38) anzuordnen;

(d) eine Linsenbewegungsvorrichtung (45, 46, 53, 56), um die genannten Objektivlinse (38) schrittweise entiang der optischen Achse (L) zu bewegen, damit der Gegenstandsbrennpunkt (Q) zu einer Mehrzahl Meßpositionen (S1-S10) innerhalb eines vorbestimmten, axialen Bereiches verschoben wird, der einen vorbestimmten, normalen Brennpunkt (P) der genannten Linse (16) einschließt;

(e) eine Bildformungslinse (41) zur Bildung eines Punktbildes von Licht von der genannten Objektivlinse (38);

(f) einen zweidimensionalen Bildsensor (44), der in einer Bildebene der genannten Bildformungslinse (41) angeordnet ist, wobei der genannte Bildsensor (44) ein Bildsignal des genannten Punktbildes für jede der genannten Meßpositionen aufnimmt; und

(g) eine Bildverarbeitungseinrichtung (49, 50, 51, 54), die mit dem genannten Bildsensor (44) zur Bestimmung eines tatsächlichen Brennpunkts (P) der genannten Linse (16) als eine Position auf der optischen Achse auf der Grundlage von Helligkeitsdaten des genannten Bildsignals verbunden ist;

dadurch gekennzeichnet, daß

(h) die genannte Bildverarbeitungseinrichtung (49, 50, 51, 54) eine Einrichtung zur Beurteilung umfaßt, ob der genannte tatsächliche Brennpunkt (P) innerhalb eines vorbestimmten Bereiches (F) ist;

(i) die genannte Bildverarbeitungseinrichtung (49, 50, 51, 54) des weiteren eine Helligkeitsmaximalpositionseinrichtung zur Bestimmung von Daten der maximalen Helligkeitsposition (Vn, Hn) des genannten Punktbildes auf dem genannten zweidimensionalen Bildsensor (44) für jede der genannten Meßpositionen (S1-S10) umfaßt; und

(j) eine Einrichtung zur Beurteilung, auf der Grundlage der Helligkeitsmaximalpositionsdaten (Vn, Hn) unter Bezugnahme auf die optische Achse (L) der genannten Objektivlinse (38), ob die optische Achse der genannten Linse (16) innerhalb eines vorbestimmten Umfangsbereichs (D) um die optische Achse (L) herum ist oder nicht.

7. Eine Linsenprüfvorrichtung, wie in Anspruch 6 angegeben, wobei die genannte Bildverarbeitungseinrichtung (49, 50, 51, 54) eine Helligkeitsmaximalwerteinrichtung zur Bestimmung von Daten des Helligkeitsmaximalwerts (M1-M10) des genannten Punktbilds für jede der genannten Meßposition (S1-S10) und eine Einrichtung zur Korrelierung der Helligkeitsmaximalwerte mit Positionen der genannten Objektivlinse (38) umfaßt, um den genannten tatsächlichen Brennpunkt (P) als eine Position des Gegenstandsbrennpunkts (Q) der genannten Objektivlinse (38) zu bestimmen, an dem das genannte Punktbild einen maximalen Heiligkeitsmaximalwert (Mk) aufweist

8. Eine Linsenprüfvorrichtung, wie in Anspruch 7 angegeben, wobei die genannte Bildverarbeitungseinrichtung (49, 50, 51, 54) eine Einrichtung zur Bestimmung der Anzahl von Bildpunkten des genannten Bildsensors (44) an jeder der genannten Meßpositionen (S1-S10) umfaßt, die in einen Bereich eingeschlossen sind, in dem die Helligkeit des genannten Punktbilds oberhalb eines vorbestimmten Werts (E) ist,

und eine Einrichtung zum Korrelieren der genannten Bildpunktanzahlen mit den Positionen der genannten Objektivlinse (38), um den genannten tatsächlichen Brennpunkt (P) der genannten Linse (16) als eine Position des Gegenstandsbrennpunkts (Q) der genannten Objektivlinse (38) zu bestimmen, an dem der genannte Bereich auf ein Minimum verringert ist.

9. Eine Linsenprüfvorrichtung, wie in Anspruch 8 angegeben, wobei die genannte Bildverarbeitungseinrichtung (49, 51, 54) eine Einrichtung zur Berechnung der Mitte des genannten Bereiches und einer Einrichtung zur Beurteilüng umfaßt, ob die optische Achse der genannten Linse (16) innerhalb eines vorbestimmten Umfangsbereiches (D) um die optische Achse (L) herum ist oder nicht auf der Grundlage der genannten Mitte mit Bezugnahme auf die optische Achse (L) der genannten Objektivlinse (38).

10. Eine Linsenprüfvorrichtung wie in Anspruch 6, wobei die genannte geprüfte Linse (16) ein Aufnahmeobjektiv einer mit einem Objektiv ausgerüsteten, photographischen Filmeinheit ist.

11. Eine Linsenprüfvorrichtung, wie in Anspruch 10 angegeben, wobei die Positionierungseinrichtung einen Förderer (25) einschließt, wobei der genannte Förderer so konstruiert ist, daß er aufeinanderfolgend einen Hauptkörper (2) der mit einem Objektiv ausgerüsteten, photographischen Filmeinheit zu der genannten vorbestimmten Bildposition (ST-11) in einem horizontalen Zustand fördert, nachdem das genannte Aufnahmeobjektiv an dem genannten Hauptkörper (2) befestigt worden ist und bevor eine rückwartige Abdeckung (4) der genannten mit einem Objektiv ausgerüsteten, photographischen Filmeinheit an dem genannten Hauptkörper (2) angebracht worden ist, wobei der genannte Förderer (25) ein Loch (36) für den Lichtdurchgang von dem genannte Aufnahmeobjektiv in Richtung zu der genannten Objektivlinse (38) in der genannten vorbestimmten Prüfposition (ST-11) aufweist.

12. Eine Linsenprüfvorrichtung, wie in Anspruch 11 angegeben, die des weiteren eine Einrichtung (32) umfaßt, um eine Verschlußlamelle (18) der genannten mit einem Objektiv ausgerüsteten, photographischen Filmeinheit in einer offenen Stellung zu halten, in der Licht durch das genannte Aufnahmeobjektiv hindurchgehen kann, das in dem genannten Hauptkörper (2) angebracht ist, wobei die genannte Verschlußlamelle (18) einen Abschnitt (18a) aufweist, der nach außerhalb der genannten mit einem Objektiv ausgerüsteten, photographischen Filmeinheit freigelegt ist, so daß die genannte Verschlußlamelle betatigt werden kann, um sie in die genannte offene Position zu bewegen.

13. Eine Linsenprüfvorrichtung, wie in einem der Ansprüche 6 bis 12 beansprucht, wobei die genannte Objektivlinse aus einem vorderen und hinteren Linsenelement (38a, 38b) gebildet ist, die afokal zueinander sind, und die genannte Linsenbewegungsvorrichtung (45, 46, 53, 56) das genannte vordere Linsenelement (38a) entlang der optischen Achse bewegt.