DE69405900T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Vakuumbehandlung - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Vakuumbehandlung

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    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65BMACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
    • B65B31/00Packaging articles or materials under special atmospheric or gaseous conditions; Adding propellants to aerosol containers
    • B65B31/02Filling, closing, or filling and closing, containers or wrappers in chambers maintained under vacuum or superatmospheric pressure or containing a special atmosphere, e.g. of inert gas
    • B65B31/024Filling, closing, or filling and closing, containers or wrappers in chambers maintained under vacuum or superatmospheric pressure or containing a special atmosphere, e.g. of inert gas specially adapted for wrappers or bags

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Vacuum Packaging (AREA)
  • Thermal Insulation (AREA)
  • Gas-Insulated Switchgears (AREA)

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuum-Behandlungs- bzw. Verarbeitungsmaschine sowie ein Verfahren zum Herstellen einer Vakuum-Isolierplatte aus einem gasundurchlässigen Sack und einem gasdurchlässigen Beutel, der mit einem mikroporösen Pulver gefüllt ist.
  • Vakuum-Isolierplatten sind in zahlreichen Anwendungen nützlich - insbesondere bei Kühlmöbeln wie Kühl- und Tiefkühlschränken, in deren Wände sie als Isolierplatten eingelegt sind.
  • Typischerweise weist eine Vakuum-Isolierplatte ein Isoliermaterial auf - typischerweise ein Pulver oder mikroporöse Folien aus Isolierstoff, die in einen undurchlässigen Sack eingebracht werden, den man nach dem Evakuieren dicht verschließt. Derartige Platten sowie ein Verfahren zu deren Herstellung sind in der US-PS 5 018 328 der Anmelderin sowie in den US-PSn 5 076 984 und 4 683 702 offenbart.
  • Gasdurchlässige Hüllen zur Aufnahme des Pulvers beim Evakuieren sind aus den letztgenannten beiden US-Patentschriften, die Verwendung mehrer Abteile bzw. Kammern in Isolierplatten aus der US-PS 5 018 328 bekannt.
  • Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum Herstellen von Vakuum-Isolierplatten in einer Vakuum-Behandlungsmaschine unter Verwendung eines gegenüber den bekannten erheblich verbesserten Verfahrens.
  • Nach einer Ausführungsform der hier offenbarten Erfindung weist eine Vakuum-Behandlungsmaschine ein luftdicht verschließbares Gehäuse auf. Im Gehäuse sind zwei im wesentlichen parallele Platten angeordnet. Das Gehäuse läßt sich öffnen, um einen gasundurchlässigen Sack zwischen die einander zugewandten Vorderseiten der Platten einzulegen. In den Sack werden mit einem mikroporösen Isolierpulver gefüllte poröse Beutel eingebracht. Nach dem dichten Verschließen des Gehäuses wird sein Inneres mit einem Unterdruck beaufschlagt, um Gase aus dem Sack und dem Beutel zu evakuieren. Im Gehäuse ist eine Schweißeinrichtung angeordnet, mit dem der Sack an einer offenen Kante nach dem Evakuieren der Gase aus dem Sack und dem Beutel dicht verschlossen wird. In einer optionalen Anordnung kann eine Düse in das Gehäuse eingeführt werden, um nach dem Evakuieren und vor dem Verschließen des Sacks eine Spurenmenge Helium (vorzugsweise unter 1 mm Hg Druck) in diesen einzubringen. Dadurch wird eine Leckprüfung der vollständigen Isolierplatte möglich.
  • Fig. 1 zeigt an einem Flußdiagramm schaubildlich eine Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens;
  • Fig. 2 zeigt an einem Flußdiagramm schaubildlich eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • Fig. 3a zeigt an einem Flußdiagramm schaubildlich die Herstellung des Pulverbeutels;
  • Fig. 3b zeigt an einem Flußdiagramm schaubildlich die Herstellung des Sperrschichtsacks;
  • Fig. 4 zeigt an einem Flußdiagramm die Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens;
  • Fig. 5 zeigt eine Ausführungsform einer Produktionslinie, die das erfindungsgemäße Verfahren anwendet;
  • Fig. 6 zeigt schaubildlich eine Vakuum-Füllmaschine, mit der der mikroporöse Beutel mit Isoliermaterial gefüllt und gepreßt wird;
  • Fig. 7 ist ein Seitenschnitt der Vakuum-Füllmaschine, die zum Füllen des mikroporösen Beutels und nachfolgenden Pressen eingesetzt wird;
  • Fig. 8 ist eine Schnittansicht von vorn der Vakuum-Behandlungsmaschine, mit der die Vakuumplatte evakuiert und verschlossen wird; und Fig. 9 ist eine seitliche Schnittansicht der Vakuum-Behandlungsmaschine, mit der die Vakuumplatte evakuiert und verschlossen wird.
  • Die Fig. 1 und 4 zeigen eine erste Ausführungsform eines Verfahrens zum Herstellen einer Vakuum-Isolierplatte. Bei dieser Platte dient als Isoliermaterial ein mikroporöses Pulver. Der Schritt 20 (Fig. 4) zeigt die Aufgabe des Pulvers aus einem Lieferfahrzeug oder Pulversäcken. Das Pulver wird im Schritt 22 in eine Bevorratungseinrichtung wie einen Bunker oder im Schritt 24 unter Verwendung eines Sackschneiders direkt aus den Säcken in den Trockner gegeben. Im Schritt 24 (Fig. 4)/Schritt 26 (Fig. 1) wird das Pulver durch Wärmebehandlung und/oder im Vakuum getrocknet, um Feuchtigkeit aus ihm zu entfernen. Das Erwärmen zum Entfernen von Feuchtigkeit kann bei Temperaturen bis zu 205ºC (400ºF) oder ggf. auch höher erfolgen. Das trockene Pulver wird im Schritt 28 (Fig. 1) an einen Bunker 60 (Fig. 6 und 7) übergeben, wo es unter trockenen Bedingungen - bspw. unter einer trockenen Stickstoff- oder Luftdecke (um die Reabsorption von Feuchtigkeit in das Pulver zu verhindern) - vorgehalten werden kann.
  • Sodann wird mit dem Pulver ein Pulverbeutel gefüllt, der mit den in der Fig. 3a gezeigten Schritten hergestellt worden ist. Im Schritt 30 wird der Beutelwerkstoff angeliefert und im Schritt 32 an eine angetriebene Rollenzufuhrmechanik übergeben. Im Schritt 34 wird der Beutel hergestellt und an drei Seiten verschlossen. Vorzugsweise wird auch die vierte Seite bis auf eine kleine Öffnung zum Beutelinneren verschlossen. In einer bevorzugten Ausführungsform werden die porösen Innenbeutel mit einem Schweißkopf in einer Spezialvorrichtung hergestellt, wobei eine kleine Öffnung zum Einbringen des mikroporösen Pulvers in den Beutel verbleibt.
  • Um zu verhindern, daß die Materiallagen aneinander haften, und ein Fortschalten der Maschine unter Heißkopfverschweißung zu ermöglichen, mußte eine spezielle Verfahrensweise entwickelt werden. Hierzu werden die beiden Folienlagen für den Innenbeutel zwischen zwei Teflontuchschichten eingelegt in die Schweißmaschine eingeführt. Die Beutelfolien zwischen den Teflonschichten schmelzen dabei und verschmelzen miteinander und werden beschnitten, ohne an den Teflonschichten zu haften.
  • Im Schritt 36 wird der fertige Beutel aus dem Beutelfertigungsbereich als fast vollständiger Beutel herausgeführt, wie im Schritt 38 gezeigt (Fig. 3a und 4). Der Pulverbeutel wird in eine Vakuum-Füllmaschine (VFM) 40 (Fig. 6) eingelegt. Die VFM 40 besteht aus einem luftdicht verschließbaren äußeren Gehäuse 42. Die Fig. 6 zeigt auch in der VFM 40 ein Gewindespindel-Preßsystem 59, eine Plattform 43 mit einer empfindlichen Waage sowie eine mit einem Mikroprozessor arbeitende programmierbare Steuerlogik 39.
  • Innerhalb des Gehäuses (vergl. die Fig. 7) befindet sich eine (obere) Lochplatte 44 und parallel dazu eine (untere) durchgehende Platte 46, zwischen die der Pulverbeutel 38 eingelegt wird. Ober der Lochplatte 44 befindet sich eine Vakuumhaube 43, die sich über den größten Teil der Platte 44 erstreckt. Die Löcher 47 verlaufen im gesamten Bereich unter der Vakuumhaube 43 von der Vorderseite 44a zu einer Hinterseite 44b der Platte. Die Platten 44, 46 sind vom Gehäuse 42 von einer oberen Kammer 48 (der Rückseite 44b und der Vakuumhaube 43 zugewandt) und einer unteren Kammer 49 (der Rückseite 46b zugewandt) beabstandet. Sowohl die obere als auch die untere Kammer 48, 49 sind mit flexiblen Gummidichtungen 45 abgedichtet, die von den Platten 44, 46 bis zum Gehäuse 42 verlaufen.
  • Die Kammern 48, 49 lassen sich durch eine Leitung 50, die zu einer Unterdruckquelle 52 führt, evakuieren. Ein Raum 51 zwischen den bewegbaren Platten 44, 46, in dem sich (bei geschlossenem Ober- und Unterteil des Gehäuses 42) der Beutel 38 befindet, läßt sich ebenfalls durch die Löcher 47 hindurch und über die Vakuumhaube 43 evakuieren. Die Vakuumhaube wird über die Leitung 50 aus der gleichen Unterdruckquelle 52 evakuiert. Im Gehäuse 42 befindet sich eine Öffnung 54, durch die eine Düse 56 eingeführt werden kann, die (über ein Ventil 53) an eine vom Bunker 60 heranführende Leitung 58 angeschlossen ist. Die Düse 56 steht bis in die Öffnung im Beutel 38 vor. Beim Anschalten des Unterdrucks 52 wird Pulver aus dem Bunker 60 in den Beutel 38 gezogen und füllt diesen infolge des im Raum 51 von der Vakuumhaube 43 durch die Löcher 47 hindurch erzeugten Saugzugs vollständig aus. Da die Kammern 48, 49 aus der gleichen Vakuumquelle 52 beaufschlagt werden, herrscht in den Kammern 48, 49 und im Raum 51 der gleiche Unterdruck.
  • Sobald der Beutel gefüllt ist, werden die Platten 44, 46 zueinander hin bewegt, und zwar durch die Ausfahrelemente 61, die vom Gewindespindelsystem 59 betätigt werden, um in einem Preßvorgang den Beutel zu verdichten und ihm die endgültige Gestalt, Solldicke und -Solldichte zu erteilen. Die VFM 40 kann Pulver in poröse Beutel verschiedener Dicke und Größe füllen. Die in den Beutel 38 jeweils eingefüllte Pulvermenge wird mit einer empfindlichen Waage auf der Plattform 43 (Fig. 6) unter Steuerung durch eine programmierbare Steuerlogik bestimmt. Sobald der Beutel gefüllt und zu seiner endgültigen Gestalt gepreßt worden ist, wird die Düse 56 aus der Öffnung in ihm abgezogen und diese mit einer Schweißvorrichtung 57 verschweißt (das Pressen kann auch nach dem Verschweißen erfolgen). Dieser Schritt des Füllens des Pulverbeutels ist im Schritt 62 gezeigt (Fig. 1 und 4).
  • Die VFM 40 kann optional auf der Rückseite der durchgehenden Platte 46 mit einem Heizelement 65 wie bspw. einem elektrischen Widerstandsheizer ausgerüstet sein, so daß, falls das aus dem Bunker 60 ankommende Pulver heiß ist, während des Füllens und Pressens der Beutel und sein Pulverinhalt sich wärmer als die Raumtemperatur halten lassen. Abhängig vom Beutelwerkstoff kann die Platte 46 auf eine Temperatur von 94ºC - 150ºC (200ºF - 300ºF) erwärmt werden. Da es verhältnismäßig schwierig und energieaufwendig ist, das aufbereitete Pulver im Bunker 60 heißzuhalten, wird in der bevorzugten Ausführungsform das Pulver mit Raumtemperatur (aber trocken) in die Beutel abgefüllt und weist die VFM 40 kein Heizelement 65 auf. Das Nacherwärmen des Pulvers gem. Schritt 64 erfolgt in einem auf eine Temperatur von 94ºC - 150ºC (200ºF - 300ºF) beheizten Ofen. Vor dem Einsetzen in die Säcke 68 werden die gefüllten, geformten und verschweißten Pulverbeutel etwa 30 min im Ofen vorgehalten.
  • Im nächsten Schritt 66 (Fig. 1) wird der Beutel 38 mit erhöhter Temperatur in einen nach den in Fig. 3b gezeigten Schritten hergestellten Sperrschichtsack eingebracht. Im Schritt 70 wird die Sperrschichtfolie angeliefert und im Schritt 72 an eine angetriebene Folienhaspel mit Produktabzug übergeben. Im Schritt 74 wird die Sperrschichtfolie teilweise hergestellt, indem die Ausgangslagen an zwei Seiten verschweißt werden. Hierzu dienen vorzugsweise flache Impulsschweißvorrichtungen. Im Schritt 76 wird eine dritte Seite verschweißt und der Sperrschichtsack auf die Sollänge zugeschnitten. Die vierte Sackseite bleibt offen, um den Pulverbeutel 38 aufzunehmen. In einer bevorzugten Ausführungsform besteht der Sack 58 aus zwei Kammern, die durch gleichzeitiges Verschweißen von drei Lagen Sperrschichtfolie (zwei metallbedampfte Kunststoffolien und ein Al-Folie/Kunststoffolie-Laminat) gleichzeitig hergestellt werden. Im Schritt 78 wird der Sperrschichtsack 68 an eine Vakuum- Behandlungsmaschine (VPM) 80 übergeführt (Fig. 8). Diese Maschine hat ein dicht verschließbares äußeres Gehäuse 82. Im Inneren des Gehäuses 82 befinden sich zwei parallele Platten 84, 86, zwischen die der Sperrschichtsack 68 eingelegt wird (Fig. 9). Der in Fig. 9 gezeigte Sperrschichtsack 68 hat innen zwei separate Kammern 88, 90, die jeweils einen Pulverbeutel 38 aufnehmen.
  • Das Einsetzen der Beutel in die Platte, wie im Schritt 66 (Fig. 1) und im Schritt 92 (Fig. 4) angegeben, erfolgt, während die Beutel 38 sich noch auf der erhöhten Temperatur befinden. Ober eine Leitung 92 wird das Innere des VPM-Gehäuses 82 an eine Vakuumquelle 94 angeschlossen, so daß sich Gase aus dem Gehäuseinneren und damit auch aus dem Sperrschichtsack 68 und den Pulverbeuteln 38 (Fig. 9) evakuieren lassen. Nach ausreichend langem Evakuieren des Gehäuseinneren, um den Soll-Unterdruck zu erreichen, wird vorzugsweise eine kleine Menge Helium (mit niedrigem Druck von bspw. 1 mm Hg oder weniger) aus einer Heliumquelle 96 eingebracht - bspw. durch Fluten des Gehäuseinneren über eine Leitung 98. Durch Schließen der Schweißelemente 100 wird der Sperrschichtsack dann dicht verschlossen. Diese Vakuumbehandlung ist im Schritt 102 (Fig. 1) und im Schritt 92 (Fig. 4) angegeben.
  • Nach dem Verschweißen des Sperrschichtsacks 68 hat die Vakuumplatte ihre endgültige Form. Die Platten 84, 86 werden unter Betätigung durch die Luftzylinder 105 (gegen das Gehäuseinnere abgedichtet) von den Ausfahreinrichtungen 106 auf die fertige Vakuumplatte gedrückt, und zwar mit einer Kraft von etwa einer halben Atmosphäre, um die Gestalt der Vakuumplatte vor dem Wiedereinlassen von Luft in das Innere des VPM-Gehäuse 82 zu stabilisieren. Sobald die Platte in der Sollage festgehalten wird, nimmt man den Unterdruck ab und läßt Luft in das Gehäuse 82 ein, so daß die fertigen Vakuumplatten herausgenommen und zu einem Leckprüfbereich geführt werden können, wie im Schritt 108 gezeigt (Fig. 1 und Fig. 4). Die Platten werden mittels auf Rollen 104 laufender Platten 86 in das Gehäuse 82 ein- und aus ihm abgeführt (Fig. 8). Nach dem Lecktest sind die Platten fertig; vergl. den Schritt 110 (Fig. 4).
  • Die Fig. 2 zeigt eine alternative Ausführungsform des Verfahrens. Im Schritt 120 wird ähnlich den Schritten 20, 22 (Fig. 4) Pulver in einen Vorratbunker gefüllt. Das Verfahren springt dann unmittelbar zum Vakuumfüllen des Beutels 38 im Schritt 122 entsprechend dem Schritt 26 der Fig. 1 und 4. Im Schritt 124 wird der gefüllte Beutel in einem Ofen (vorzugsweise einem Vakuumofen) erwärmt, um Feuchtigkeit aus dem Isolierstoff zu entfernen. Der warme und trockene Beutel wird dann im Schritt 126 (ähnlich dem Schritt 66 der Fig. 1) unmittelbar in einen Sperrschichtsack 68 eingebracht. Im Schritt 8 (identisch mit dem Schritt 102 der Fig. 1) erfolgt dann die Vakuumbehandlung des Sacks 68 und die Platte läuft im Schritt 30 (identisch mit dem Schritt 108 der Fig. 1) zur Heliumprüfung. In dieser Ausführungsform wird also das Pulver nur einmal, d.h. unmittelbar vor dem Einsetzen in den Sack erwärmt und feuchtigkeitshaltig, nicht trocken wie in der ersten Ausführungsform, in den Beutel eingefüllt.
  • In beiden Ausführungsformen wird das Isolierpulver im Beutel 38 im trockenen Zustand und mit erhöhter Temperatur in den Sperrschichtsack 68 eingebracht, um die für die Vakuumbehandlung der Platte erforderliche Zeit zu verkürzen und zu gewährleisten, daß sich in der resultierenden Platte der geforderte hohe Unterdruck verhältnismäßig schnell erreichen läßt.
  • Die Fig. 5 zeigt schaubildlich eine Anlage für eine automatisierte Version des in den Fig. 1 und 4 beschriebenen Verfahrens. Die das Isolierpulver enthaltenen Säcke werden mit einem automatischen Sackschneider 132 geöffnet. Das Pulver kann auch in Großgebinden angeliefert und in einem Silo gelagert werden. Zum ersten Trocknen geht das Pulver in einer Leitung 134 auf einen Vakuumtrockner 136. Das getrocknete Pulver läuft in einer Leitung 138 in einen Bunker 140, in dem eine trockene Stickstoffatmosphäre herrschen kann. Danach geht das Pulver in der Leitung 142 zu einer Vakuumfüllmaschine 144. Ein Förderer bringt die gefüllten Beutel 38 zu einer Vorwärmstation 146, die die trockenen Platten auf eine erhöhte Temperatur erwärmt. Die Beutel gehen nun in eine Luftschleuse 148, in der sie gruppenweise vakuumbehandelt werden, und dann in eine Evakuierkammer 150, wo sie im Vakuum und bei erhöhter Temperatur in Sperrschichtsäcke 68 eingesetzt werden, die durch eine Luftschleuse 154 zugeführt worden sind. Die Sperrschichtsäcke werden in der Station 156 verschlossen; die fertigen Platten sammeln sich in der Station 158, aus der sie erst in einen Lecktestbereich 160 und dann in einen Fertigstellungsbereich 162 laufen.
  • [Figurentexte:] Fig. 1
  • 26 Erste Wärmebehandlung, Trocknen, Aufbereiten
  • 28 Pulver in Bunker unter trockenem N&sub2; oder Luft überführen
  • 62 Vakuumfüllen des Beutels, Pressen, Verschließen
  • 64 Aufbereitetes Pulver im Beutel in einem Ofen erneut erwärmen
  • 66 Beutel im warmen Zustand in einen Sperrschichtsack einsetzen
  • 102 Vakuumbehandlung der Platte
  • 108 He-Test
  • Fig. 2
  • Feuchtigkeitshaltiges Pulver in Bunker füllen
  • 122 Beutel vakuumfüllen, pressen, verschließen
  • 124 Erwärmen des Pulvers im Beutel in einem Ofen, trocknen
  • 126 Beutel in einen Sperrschichtsack einsetzen
  • 128 Platte vakuumbehandeln
  • 130 He-Test
  • Fig. 3a
  • 30 Papier für inneren Pulverbeutel anliefern
  • 32 Übergabe an Haspel-/Produktabzugmechanik
  • 34 Inneren Pulverbeutel herstellen:
  • 3 Seiten verschließen, 4. Seite verschließen, aber kleine Öffnung belassen
  • 36 Zum Vakuumpacker überführen
  • 38 Fertiger Pulverbeutel
  • Fig. 3b
  • 70 Anliefern der Sperrschichtfolie
  • 72 Obergabe an Folienhaspel
  • 74 Sperrschichtfolie herstellen
  • 2 parallele Seiten verschießen
  • 76 Sperrschichtfolie fertigstellen
  • 3. Seite verschließen
  • Auf Sollänge zuschneiden
  • 78 Weiterführen
  • 68 Sperrschichtsack
  • Fig. 4
  • 20 Pulveranlieferung mit Lieferfahrzeug oder in Großgebinden
  • 22 Pulvervorrat
  • An Trockner überführen
  • 24 Pulverbehandlung
  • Pulver trocknen
  • Behandeltes Pulver in Bunker füllen
  • 38 Pulverbeutel
  • 62 Pulver weiterführen
  • Behandeltes Pulver an Vakuumpackermodul überführen
  • 64 Behandeln des Pulverbeutels
  • Pulverbeutel endgültige Gestalt erteilen
  • Pulverbeutel im Ofen wärmebehandeln
  • 68 Sperrschichtsack
  • 92 Verpacken
  • Warmen Pulverbeutel in Sperrschichtsack einsetzen
  • In Vorrichtung einbringen
  • Evakuieren/Helium in Spurenmenge (< 1mm Hg Druck) einbringen
  • 108 Lecktest
  • Fertige Platten auf Lecks prüfen
  • 110 Fertige Platten

Claims (10)

1. Vakuum-Verarbeitungsmaschine zum Herstellen einer Vakuum- Isolierplatte aus einem gasundurchlässigen Sack (68) und einem gasdurchlässigen, mit einem mikroporösen Pulver gefüllten Beutel (38), die
ein luftdicht abschließbares Gehäuse (82),
ein Paar im wesentlichen paralleler tragender Elemente (84, 86) mit einander zugewandten Vorderseiten, die im Gehäuseinneren angeordnet sind,
wobei das Gehäuse (82) öffenbar ist, um den Sack (68) zwischen den einander zugewandten Vorderseiten der Elemente (84, 86) aufzunehmen, mit
einer Einrichtung (72) zum Anschließen einer Unterdruckquelle an das Innere des Gehäuses (82) und
eine Verschließeinrichtung (100) aufweist, die im Gehäuse angeordnet ist, um eine Kante des Sacks (68) nach dem Evakuieren von Gasen aus dem Sack und dem Beutel dicht zu verschließen.
2. Vakuum-Verarbeitungsmaschine nach Anspruch 1, bei der die tragenden Elemente starre Platten (84, 86) sind.
3. Vakuum-Verarbeitungsmaschine nach Anspruch 2 weiterhin mit einer Unterdruckquelle (92), die an das Innere des Gehäuses anschließbar ist, um Gase aus dem Sack und dem Beutel zu evakuieren.
4. Vakuum-Verarbeitungsmaschine nach Anspruch 2 oder 3 weiterhin mit Einrichtungen (105, 106), um die Platten (84, 86) zueinander zu bewegen und auf den Sack (68) zu drücken, nachdem er evakuiert und verschlossen worden ist.
5. Vakuum-Verarbeitungsmaschine nach Anppruch 2, 3 oder 4, bei der die Platten (84, 86) im Gehäuse (82) waagerecht angeordnet sind.
6. Vakuum-Verarbeitungsmaschine nach einem der vorgehenden Ansprüche weiterhin mit einer Einrichtung (96, 98), um Helium in Spurenmengen in den Sack (68) einzuführen, nachdem er evakuiert und bevor er verschlossen worden ist
7. Vakuum-Verarbeitungsmaschine nach Ansprluch 6, bei der die Helium- Einführeinrichtung eine Düse (98) aufweist, die im Gehäuse angeordnet ist und in Strömungsverbindung mit einer Heliumquelle (96) steht.
8. Verfahren zum Herstellen einer Vakuum-Isolierplatte aus einem gasundurchlässigen Sack und einem gasdurchlässigen Beutel, der mit einem mikroporösen Pulver gefüllt ist, indem man
einen Sack (68) in ein luftdicht verschließbares Gehäuse (82) plaziert,
einen mit einem mikroporösen Isolierpulver gefüllten Beutel (38) in den Sack (68) einbringt,
das Gehäuse (82) verschließt,
eine Strömungsverbindung (92) zwischen einer Unterdruckquelle und dem Gehäuseinneren herstellt, um den Sack (68) und den Beutel (38) zu evakuieren, und
nach dem Evakuieren den Sack (68) dicht verschließt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, bei dem man nach dem Evakuieren und vor dem dichten Verschließen des Sacks (68) Helium (96) in einer Spurenmenge in diesen einbringt.
10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, bei dem das dichte Verschließen des Sacks (68) durch Verschweißen erfolgt.
DE69405900T 1993-03-23 1994-03-23 Verfahren und Vorrichtung zur Vakuumbehandlung Expired - Lifetime DE69405900T2 (de)

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DE69405900D1 DE69405900D1 (de) 1997-11-06
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