DE69125650T2

DE69125650T2 - Flache Anzeigevorrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben

Info

Publication number: DE69125650T2
Application number: DE69125650T
Authority: DE
Inventors: Kanji Imai; Yuichi Moriyama; Toshifumi Nakatani; Fumio Yamazaki
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1990-06-05
Filing date: 1991-06-03
Publication date: 1997-09-04
Anticipated expiration: 2011-06-04
Also published as: EP0460567A3; EP0460567B1; KR940009836B1; US5272413A; EP0460567A2; DE69125650D1; KR920001613A

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft Flachsichtanzeigevorrichtungen, die mit Elektronenstrahlen arbeiten und die eine besondere Elektrodenanordnung umfassen. Die vorliegende Erfindung betrifft ebenfalls ein Verfahren zur Herstellung der Elektrodenanordnung in Flachsichtanzeigevorrichtungen.
Im Stand der Technik wurde bisher für Flachsichtanzeigevorrichtungen Glasfritte mit niedrigem Schmelzpunkt verwendet, um wichtige Abschnitte der Elektroden der Elektronenstrahlsteuerung einzuschmelzen und zwischen den Elektroden dieser Elektronenstrahlsteuerung eine elektrische Isolierung zu schaffen. Bei einem solchen Aufbau nach dem Stand der Technik nimmt die elektrostatische Kapazität zwischen den Elektroden der Elektronenstrahlsteuerung im allgemeinen zu, was mit einer Erhöhung des Stromverbrauchs während der Ansteuerung einhergeht. Der erhöhte Stromverbrauch ist aus kommerzieller Hinsicht unerwünscht.
Als Versuch, das genannte, den bekannten Flachsichtanzeigevorrichtungen innewohnende Problem zu lösen, hat die Anmelderin der vorliegenden Erfindung in einer japanischen Patentanmeldung, Nr.1-33994, vorgeschlagen, eine Flachsichtanzeigevorrichtung zu schaffen, bei der die elektrostatische Kapazität wesentlich verringert wird. Anhand der Figur 12 der beigefügten Zeichnungen, die der Figur 6 der japanischen Patentanmeldung entspricht, soll die Problematik solcher Anzeigevorrichtungen diskutiert werden.
In Figur 12 bezeichnet 1 eine Vorderplatte mit einer Phosphorelemente enthaltenden Anode 2, die auf einer Innenfläche der Vorderplatte gebildet ist. Mit 3 ist eine hintere Metallabdeckung bezeichnet, deren peripherer Flansch an der Vorderplatte so befestigt ist, daß ein Innenraum mit einem Hochvakuum erreichbar ist. Mit 4 sind Drahtkathoden und mit 6, 7 und 8 Elektroden für die Elektronenstrahlsteuerung bezeichnet. Die Bezugszeichen 9, 10, 11 und 12 stellen generell ringförmige, isolierende Abstandhalter dar. 13 bezeichnet ein Elektrodensubstrat; 14 eine Trägerplatte für Elektroden und 15 Befestigungsstifte. Jeder der Befestigungsstifte 15 ist durch Preßpassung in die Trägerplatte 14 für Elektroden eingesetzt. Die dort dargestellte Flachsichtanzeigevorrichtung ist so ausgelegt und aufgebaut, daß von den Kathoden 4 emittierte Elektronenstrahlen 16 durch die Steuerelektroden 6, 7 und 8 hindurchgehen und anschließend auf die Anode 2 auftreffen, was bewirkt, daß die Anode Licht abgibt.
Bei der Flachsichtanzeigevorrichtung nach der genannten japanischen Patentanmeldung sind die Befestigungsstifte 15 durch das Elektrodensubstrat 13 hindurchgeführt und nach dem Hindurchführen durch die Elektronenstrahlsteuerelektroden 6, 7 und 8 dann in der Elektrodenträgerplatte 14 durch Preßpassung befestigt. Der Nachteil bei diesem Aufbau besteht darin, daß aufgrund des Einsetzens der Befestigungsstifte 15 in die Elektrodenträgerplatte 14 durch Preßpassung die Elektrodenträgerplatte 14 sich im allgemeinen so verformt, daß dadurch eine Veränderung bei der Verteilung der elektrischen Felder entsteht. Das hat zur Folge, daß die jeweiligen Wege der Elektrodenstrahlen 16 sich ändern, was zu einer Qualitätsminderung der wiedergegebenen Bilder führt.
Aus JP-A-2/213 034 ist eine Flachsichtanzeigevorrichtung bekannt, bei der eine Steuerelektrode gegenüber einer Anode angeordnet ist und die Steuerelektrode an eine Stützwand angrenzt, die sich um eine Vorderplatte herumzieht, um Fokusveränderungen der Elektronenstrahlen auszuschließen. Es werden Stäbe verwendet, um die Elektrodenpositionen zu fixieren. Diese Stäbe sind außerhalb der Stützwand oberhalb und unterhalb der Anode angeordnet.
Bei dem in JP-A-2/281 544 beschriebenen Flachsichtanzeigegerät enthält der Elektrodenaufbau einen Isolierstift, der durch Preßpassung mit einem Befestigungsring gesichert ist. Das untere Ende des Stiftes ist an der hinteren Platte gesichert.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine verbesserte Flachsichtanzeigevorrichtung vorzuschlagen, deren Elektrodenaufbau zur Stabilitätsverbesserung der Anordnung eine Mehrzahl von Befestigungsstiften umfaßt.
Diese Aufgabe wird durch eine Flachsichtanzeigevorrichtung gelöst, wie sie im Anspruch 1 definiert wird.
Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung eines Elektrodenaufbaus für eine Strahlsteuerung für eine Flachsichtanzeigevorrichtung nach Anspruch 4.
Bevorzugte Ausführungsformen werden in den abhängigen Ansprüchen definiert.
Detaillierte Merkmale der vorliegenden Erfindung werden anhand der nachfolgenden Beschreibung verdeutlicht, die sich auf eine bevorzugte Ausführungsform und die beigefügten Zeichnungen bezieht. Darin zeigt
Figur 1 eine geschnittene Ansicht eines wesentlichen Abschnittes einer Flachsichtanzeigevorrichtung mit der vorliegenden Erfindung,
Figur 2 eine geschnittene Ansicht von der Seite der Flachsichtanzeigevorrichtung mit der vorliegenden Erfindung,
Figur 3 einen Querschnitt entlang der Linie III-III der Figur 1,
Figuren 4 bis 11 stellen Herstellungssequenzen eines in der Flachsichtanzeigevorrichtung verwendeten Elektrodenaufbaus mit der vorliegenden Erfindung dar, wobei
Figur 4 eine geschnittene Teilansicht darstellt,
Figur 5 einen Fertigungsschritt darstellt, bei dem Elektroden übereinander gestapelt werden,
Figur 6 einen Fertigungsschritt darstellt, bei dem die Anordnung einem Druckmittel ausgesetzt sowie einem Laserschweißvorgang unterzogen wird,
Figur 8 eine geschnittene Teilansicht der Elektrodenanordnung 55 entlang einer durch den Pfeil D in Figur 6 angegebenen Richtung ist,
Figur 9 einen Laserschweißschritt und eine geschnittene Ansicht einer Elektrodenanordnung zeigt, die vollständig aufgebaut wurde,
Figur 10 das Anbringen der Elektrodenanordnung an einer gläsernen Vorderplatte zeigt,
Figur 11 die Befestigung einer hinteren Abdeckung an der die Elektrodenanordnung tragenden Vorderplatte zeigt, und
Figur 12 eine geschnittene Ansicht der bekannten Flachsichtanzeigevorrichtung darstellt.
In Figur 1 bezeichnet 30 eine Vorderplatte, deren Innenfläche mit einer Phosphorschicht 31 bedeckt ist, die als Anode dient. Mit 32 ist eine generell gewölbte hintere Abdeckung aus Metall bezeichnet, von der ein Umfangsflansch an der Vorderplatte 30 über eine Frittedichtung 33 angeschweißt ist, was eine hochgradig evakuierte Hülle schafft. Die Bezugszeichen 34a bis 34e stellen jeweils Elektrodenträgerstäbe dar, die, wie am besten aus Figur 3 hervorgeht, an einem Ende an der Vorderplatte 30 befestigt und außerhalb des äußeren Umfangs der Phosphorschicht 31 angeordnet sind. Wie am besten aus Figur 2 hervorgeht, sind die Elektrodenträgerstäbe 34a bis 34e unterschiedlich hoch, so daß, wenn sie in der Richtung des Pfeiles A in Figur 3 gesehen werden, die angrenzend an die jeweiligen Enden der Phosphorschicht 31 angeordneten Elektrodenträgerstäbe 34a und 34e am höchsten, während die zwischen den Elektrodenhalterungsstiften 34a und 34e angeordneten Elektrodenträgerstäbe 34c am niedrigsten sind.
Mit 35 ist ein Elektrodensubstrat bezeichnet, an dessen Rückfläche mit Hilfe von Befestigungsmitteln 37 Rippen 36 vorgesehen sind, um die Steifheit des Elektrodensubstrats 35 zu verbessern. Eine zur Anode, also der Phosphorschicht 31, gewandte Vorderfläche des Elektrodensubstrats 35 weist eine Mehrzahl von Stützen 38 aus elektrisch isolierendem Material auf, die darauf in einem vorbestimmten, regelmäßigen Abstand angeordnet sind. Mit 39 sind fadenartige Kathoden bezeichnet, die mit Hilfe von Federn 40 über die Stützen 38 gespannt sind. die Bezugszeichen 41, 42 und 43 stellen jeweils ringförmige Abstandhalter aus elektrisch isolierendem Material dar. Mit 44, 45 und 46 sind jeweils Strahlsteuerelektroden bezeichnet, von denen jede aus einer dünnen Metallplatte mit einer Vielzahl von feinen Perforationen für den Durchtritt von Elektronenstrahlen besteht.
48 bezeichnet Stifte, die auf die nachfolgend beschriebene Weise zur Halterung der Strahlsteuerelektroden 44, 45 und 46 verwendet werden. Die Elektrodenhalterungsstifte 48 und die Strahlsteuerelektrode 46 sind aus Metall gefertigt; ein Ende der Elektrodenhalterungsstifte 48 ist durch Laserschweißen starr mit der Strahlsteuerelektrode 46 verbunden oder verschweißt Die auf diese Weise an der Strahlsteuerelektrode 46 angeschweißten Elektrodenhalterungsstifte 48 erstrecken sich durch die anderen Strahlsteuerelektroden, 45 und 44, und ebenso durch das Elektrodensubstrat 35 und enden auf einer den Elektroden 44 und 46 entgegengesetzten Seite des Elektrodensubstrats 35. Es wird darauf hingewiesen, daß für jeden Elektrodenhalterungsstift 48 ein Abstandhalter 41 zwischen den fadenähnlichen Kathoden 39 und der Strahlsteuerelektrode 44 vorgesehen ist; ein Abstandhalter 42 für jeden Elektrodenhalterungsstift 48 zwischen der Strahlsteuerelektrode 44 und der Strahlsteuerelektrode 45 und ein Abstandhalter 43 für jeden Elektrodenhalterungsstift 48 zwischen der Strahlsteuerelektrode 45 und der Strahlsteuerelektrode 46 angeordnet ist. Die Elektrodenhalterungsstifte 48 erstrecken sich von der Strahlsteuerelektrode 46 durch die Strahlsteuerelektroden 45 und 44 und das Elektrodensubstrat 35 sowie durch die ringförmigen Abstandhalter 43, 42 und 41.
Das Bezugszeichen 49 stellt eine elektrisch isolierende Hülse dar, die auf jedem der Elektrodenhalterungsstifte 48 angeordnet ist. Mit 50 sind Ringe aus Metall bezeichnet, die auf den jeweiligen Elektrodenhalterungsstiften 48 in axialer Richtung gleitbar vorgesehen sind. Jeder dieser Ringe 50 dient als ein Halterungsmittel und weist einen Innendurchmesser auf, der in einem Bereich von etwa 0,01 bis etwa 0,06 mm größer ist als der Außendurchmesser des zugeordneten Elektrodenhalterungsstiftes 48, um ein axiales Gleiten gegenüber dem zugeordneten Elektrodenhalterungsstift 48 zu erleichtern. Es wird jedoch darauf hingewiesen, daß jeder dieser Ringe 50 nach dem Anbringen auf dem zugeordneten Elektrodenhalterungsstift 48 daran durch Laserschweißen befestigt wird, und zwar mit einem später noch zu beschreibenden erfindungsgemäßen Verfahren.
Die hier beschriebene Flachsichtanzeigevorrichtung ist so aufgebaut und funktioniert so, daß das Erwärmen der Kathode 39 zu einer Emission von Elektronen führt, die nachfolgend selektiv durch Perforationen in den Strahlsteuerelektroden 44, 45 und 46 geführt werden, um auf die Anode 2 aufzutreffen, der zu diesem Zeitpunkt eine hohe Spannung aufgeprägt wird, um Lichtstrahlen auszusenden. Die oben beschriebene Art einer Flachsichtanzeigevorrichtung ist neu und Fachleuten auf dem Gebiet bekannt; um der Kürze der Beschreibung willen soll ihre Wirkungsweise darum hier nicht wiederholt werden.
Der Zusammenbau der Flachsichtanzeigevorrichtung nach der vorliegenden Erfindung wird schrittweise anhand der Figuren 4 bis 11 dargestellt. In Figur 4 ist dargestellt, daß die Elektrodenhalterungsstifte 48 mit einem Ende an der metallenen Elektrodenplatte 46 angeschweißt werden. Im einzelnen heißt das, nachdem jeder Elektrodenhalterungsstift 48 auf der metallenen Elektrodenplatte 46 so angeordnet worden ist, daß er sich generell senkrecht davon erstreckt, wird ein Laserstrahl aus der durch den Pfeil C angedeuteten Richtung auf die Verbindungsstelle zwischen dem jeweiligen Elektrodenhalterungsstift 48 und Elektrodenplatte 46 gerichtet, um den jeweiligen Abschnitt von Elektrodenhalterungsstift 48 und Elektrodenplatte 46 durch Verschmelzen zu verbinden. Der verwendete Laserstrahl hat eine Energie von 4 Joule und wird in zwei Strahlschüssen abgegeben, von denen jeder 10 Impulse pro Sekunde hat.
Figur 5 stellt einen Fertigungsschritt dar, während dessen die Elektrodenplatte 46, auf der jeder Elektrodenhalterungsstift 48 wie in Figur 4 dargestellt aufgeschweißt ist, auf eine erste Stützplatte 60 gebracht wird. Diese Stützplatte dient als Schablone. Die elektrisch isolierenden Abstandhalter 43, 42, 41 und die Elektrodenplatten 45 und 46 werden abwechselnd auf die Elektrodenplatte 46 gelegt. Aus Figur 5 geht auch hervor, daß nach dem Anordnen des Elektrodensubstrats 35 jede elektrisch isolierende Hülse 49 an dem dazugehörigen Elektrodenhalterungsstift 48 und anschließend jeder Metallring 50 auf dem zugehörigen Elektrodenhalterungsstift 48 angebracht wird.
In Figur 6 ist dargestellt, wie über eine zweite Stützplatte 61 auf das Elektrodensubstrat 35 durch ein Druckmittel eine vorbestimmte Last in einer Richtung einwirkt, die die gesamte Dicke einschließt. Dieses Druckmittel umfaßt einen Auflagekörper 63 und daran befestigte Federn 62. Dieses Druckmittel wird in eine solche Stellung gebracht, daß auf jeden Ring 50 über die jeweilige Feder 62 axial zu dem dazugehörigen Elektrodenhalterungsstift 48 Druck ausgeübt wird. Dann folgt das Auftreffen eines Laserstrahls auf den Grenzbereich zwischen Ring 50 und dazugeht rigem Elektrodenhalterungsstift 48, während der Ring 50 auf dem dazugehörigen Elektrodenhalterungsstift 48 durch die Wirkung der jeweiligen Feder 62 gehalten wird. Der zum Aussenden dieses Laserstrahls verwendete Laser ist ein YAG-Laser, der Laserstrahlen von einer Energie von 1,1 Joule aussenden kann; der Laserstrahl wird in zwei Schüssen ausgestrahlt, von denen jeder 10 Impulse pro Sekunde hat, um ein gutes Ergebnis des Schweißvorganges zu erzielen.
In Figur 7 ist eine Draufsicht in Richtung des Pfeiles D in Figur 6 dargestellt. Das in Figur 7 dargestellte Schweißmuster, bei dem lediglich ein Teil eines freien Endes jedes metallenen Elektrodenhalterungsstiftes 48 gegenüber der Elektrodenplatte 46 mit dem dazugehörigen Ring 50 verschweißt ist, ist insofern vorteilhaft, als die Verwendung einer minimalen Strahlungsenergie ausreicht, im Gegensatz zu einem Schweißmuster, wo das Ende jedes Elektrodenhalterungsstiftes vollständig angeschweißt wird. Außerdem wird die Wärmeausdehnung jedes Elektrodenhalterungsstiftes in axialer Richtung, die sonst bei dem Verschmelzungsvorgang stattfände, auf ein Minimum reduziert, ebenso wie die axiale Kontraktion nach dem Verschmelzen. Weiterhin werden alle möglichen Veränderungen der bei der Halterung der gestapelten Elektroden auftretenden Kräfte minimiert. Es wird so eine sehr genau zusammengesetzte Elektrodenanordnung erreicht. Der Zusammenhalt zwischen jedem Elektrodenhalterungsstift und dem dazugehörigen Ring wird dadurch vergrößert, daß der Laserstrahl auch auf einen weiteren Abschnitt des freien Endes jedes Elektrodenhalterungsstiftes strahlt, um ihn zu verbinden. Wo, nachdem ein Abschnitt des freien Endes eines Elektrodenhalterungsstiftes mit dem dazugehörigen Ring verbunden ist, ein weiterer Abschnitt des freien Endes des jeweiligen Elektrodenhalterungsstiftes geschmolzen wird und mit demselben Ring in oben beschriebener Weise verbunden wird, ist jede dimensionale Abweichung eines Abschnittes, wo der jeweilige Elektrodenhalterungsstift befestigt wurde, im großen und ganzen unmöglich. Auch dadurch wird eine sehr genau zusammengesetzte Elektrodenanordnung möglich.
In Figur 8 ist dargestellt, wie ein Schweißvorgang, der im Zusammenhang mit Figur 6 für einen der Elektrodenhalterungsstifte und den dazugehörigen Ring beschrieben und dargestellt wurde, gleichzeitig an einer Mehrzahl von Elektrodenhalterungsstiften 48 und den dazugehörigen Ringen 50 ausgeführt wird. In der Praxis wird das Laserschweißen fortlaufend durchgeführt, während alle Ringe 50, wie in Figur 8 dargestellt, durch die jeweiligen Federn 62 in Position gehalten werden. Die bei dem in Figur 8 dargestellten Schritt verwendete Stützplatte 60 weist eine nach innen gewölbte Stützfläche auf, auf der die Strahlsteuerelektroden angeordnet werden. Die zweite Stützplatte 61 ist ähnlich gewölbt.
Figur 9 stellt eine vollständige Elektrodenanordnung nach dem Entfernen der ersten Stützplatte 60 und des Druckmittels, das den Auflagekörper 63 und die am Auflagekörper 63 befestigten Federn 62 umfaßt, dar. Figur 10 zeigt einen Zustand, wo die in Figur 9 dargestellte Elektrodenanordnung auf den Stützstäben 34a bis 34e angeordnet ist. Diese Stützstäbe sind, wie oben mit Bezug auf die Figur 3 beschrieben, an der Vorderplatte 30 gesichert. In Figur 11 wird dargestellt, wie die Anordnung nach Figur 10 durch eine metallene, generell gewölbt ausgebildete rückwärtige Abdeckung 32, die durch eine Glasfrittenabdichtung 33 und einen um den Umfang verlaufenden Flansch gegenüber der Vorderplatte hermetisch abdichtend angeordnet ist, umhüllt und damit die Flachsichtanzeigevorrichtung vervollständigt wird.
Aus der vorangegangenen Beschreibung der vorliegenden Erfindung geht klar hervor, daß die Strahlsteuerelektroden montiert und untereinander verbunden werden mit Hilfe der Elektrodenhalterungsstifte und der ringförmigen Abstandhalter. Bei der Ausführung der vorliegenden Erfindung wird ein Laserstrahl zur Schweißverbindung der Elektrodenhalterungsstifte und der Ringe bei der Verbindung von Strahlsteuerelektroden und den hindurchgeföhrten Elektrodenhalterungsstiften verwendet, nachdem die Elektrodenhalterungsstifte und die darauf gleitenden Ringe ohne Spannung und ohne irgendeine darin verursachte Deformation eingeführt wurden. Die vorliegende Erfindung bewirkt darum eine einfachere Herstellung von Elektrodenanordnungen, bei der während des Anbringens der Elektroden keine physische Spannung in den Elektroden entsteht. Dadurch wird eine Flachsichtanzeigevorrichtung mit sehr präzise aufgebauter Elektrodenanordnung geschaffen, die die Verwirklichung einer Bildwiedergabe von hoher Qualität bewirkt.

Claims

1. Flachsichtanzeigevorrichtung in einer luftleeren Hülle (30, 32), in der eine Elektronenquelle (39), eine Elektrodenanordnung zur Strahlsteuerung und eine Anode (30) mit einer Leuchtschirmhülle (31) untergebracht sind;

welche Elektrodenanordnung zur Strahlsteuerung ein Elektrodensubstrat (35) und eine Mehrzahl von Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46) enthält, von denen jede als dünne Metallplatte ausgebildet ist, sowie elektrisch isolierende, zwischen jeweils benachbarten Gliedern der Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46) angeordnete Abstandhalter (41, 42, 43) und ein Elektrodenhalterungsmittel (48, 50) enthält, das eine Mehrzahl von darauf angeordneten Metallstiften (48) umfaßt;

wobei Elektrodenhalterungsmittel (48, 50), die Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46) und das Elektrodensubstrat (35) von der Anode (30) aus gesehen in dieser Reihenfolge angeordnet sind;

welche Metallstifte (48) sich durch die Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46) bzw. die genannten isolierenden Abstandhalter (41, 42, 43) hindurch erstrecken, und welche Elektrodenanordnung

ein Befestigungsmittel (50) auf jedem der Metallstifte (48) zur Halterung der Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46) enthält, wobei jeder der Metallstifte (48) mit dem Befestigungsmittel (50) durch Laserschweißen verbunden ist.

2. Flachsichtanzeigevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Halterungsmittel (48, 50) für Elektroden den genannten Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46) gemeinsam zugeordnet ist.

3. Flachsichtanzeigevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Steifheit des genannten Elektrodensubstrats (35) größer ist als die der Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46).

4. Verfahren zur Herstellung einer Elektrodenanordnung zur Strahlsteuerung für eine Flachsichtanzeigevorrichtung, welche Elektrodenanordnung eine Mehrzahl von Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46) umfaßt, von denen jede als dünne Metallplatte ausgeführt ist, sowie eine Mehrzahl von elektrisch isolierenden Abstandhaltern (41, 42, 43) umfaßt, die zwischen den jeweils benachbarten Gliedern der Strahisteuerelektroden (44, 45, 46) angeordnet sind, weiter ein Elektrodensubstrat (35) und eine Mehrzahl von auf Elektrodenhalterungsmitteln (48, 50) angebrachten und sich von dort durch das Elektrodensubstrat (35) hindurch erstreckenden Metallstiften (48) umfaßt und ein Befestigungsmittel (50) umfaßt, das auf jedem Metallstift (48) von der Rückseite des Elektrodensubstrats (35) zur Halterung der Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46) angebracht ist,

welches Verfahren die Schritte enthält:

Stumpfes Anstoßen einer ersten Stützplatte (60) hoher Steifigkeit und vorbestimmter Form gegen die Strahlsteuerelektroden (44, 45, 46) und stumpfes Anstoßen einer zweiten Stützplatte (61) hoher Steifigkeit und vorbestimmter Form von der Rückseite des Elektrodensubstrats (35);

Anlegen einer vorbestimmten Last an den Elektrodenaufbau;

Anlegen einer vorbestimmten Last an das Befestigungsmittel (50), um letzteres in Richtung des Elektrodensubstrats (35) zu drücken, und

Anschweißen jedes Metallstiftes (48) an dem zugeordneten Befestigungsmittel (50) durch Laserschweißen.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stützplatten (60, 61) eine gebogene Form haben.

6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die auf das Befestigungsmittel (50) einwirkende Last geringer ist als die auf die Strahlsteuerelektrodenanordnung einwirkende Last.