DE69120517T2 - Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von durchsichtigen Objekten auf Fehler - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von durchsichtigen Objekten auf FehlerInfo
- Publication number
- DE69120517T2 DE69120517T2 DE69120517T DE69120517T DE69120517T2 DE 69120517 T2 DE69120517 T2 DE 69120517T2 DE 69120517 T DE69120517 T DE 69120517T DE 69120517 T DE69120517 T DE 69120517T DE 69120517 T2 DE69120517 T2 DE 69120517T2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- reference pattern
- light
- defect
- examination
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 42
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 23
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 8
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 6
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000007717 exclusion Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/90—Investigating the presence of flaws or contamination in a container or its contents
- G01N21/9036—Investigating the presence of flaws or contamination in a container or its contents using arrays of emitters or receivers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8829—Shadow projection or structured background, e.g. for deflectometry
- G01N2021/8832—Structured background, e.g. for transparent objects
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8854—Grading and classifying of flaws
- G01N2021/8877—Proximity analysis, local statistics
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
Description
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Untersuchung eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts, z. B. eines durchsichtigen Glasbehälters, auf das Vorliegen oder Fehlen eines Fehlers und zum Unterscheiden der Form, Art usw. eines solchen Fehlers.
- Verschiedene Verfahren zur Untersuchung eines Flaschenkörpers sind bereits bekannt. Ein solches Verfahren gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 ist z. B. in der EP-A-0344617 offenbart. Bei diesem Verfahren wird ein Flaschenkörper mit Licht mit einem Streifenmuster beleuchtet, und ein Durchlaßbild des Körpers wird fotoelektrisch durch eine zweidimensionale fotoelektrische Umwandlungsvorrichtung umgewandelt. Anschließend wird das Durchlaßbildsignal in Schrägrichtung zur Streifenrichtung des Streifenmusters abgetastet, und Helligkeitswerte an mindestens drei an die Abtastzeile angrenzenden Punkten werden miteinander verglichen. Danach wird ein beobachteter Punkt, der ein mittig positionierter Punkt der drei Punkte ist, als Defektpunkt detektiert, wenn sich der Helligkeitswert am beobachteten Punkt um einen größeren Wert als ein vorbestimmter Wert von Helligkeitswerten an den anderen Begrenzungspunkten auf den entgegengesetzten Seiten des beobachteten Punkts unterscheidet, und anschließend wird das Vorliegen oder Fehlen eines Defekts entsprechend dem so detektierten Defektpunkt bestimmt.
- Das Untersuchungsverfahren beruht kurz gesagt auffolgender Tatsache: Ist das Streifenmuster z. B. ein Muster, in dem sich weiße und schwarze Streifen oder Bänder abwechselnd wiederholen, wird bei einem Defekt einer Flasche durch eine lichtbiockierende oder lichtbrechende Eigenschaft eines solchen Defekts ein schwarzes Durchlaßbild nacheinander in einem weißen Streifen oder ein weißes Durchlaßbild nacheinander in einem schwarzen Streifen erzeugt; ist dagegen eine Flasche fehlerfrei, wird kein solches Bild erzeugt, oder solche Bilder werden nur vereinzelt erzeugt. übersteigen bei Bestimmung eines Punkts A als beobachteter Punkt von drei Punkten A, B und C in einem vorbestimmten Abstand zueinander beide Absolutwerte von Helligkeitsdifferenzen zwischen den Punkten A und B sowie zwischen den Punkten A und C einen voreingestellten Wert, wird der Punkt A als Defektpunkt bestimmt.
- Während sich beim herkömmlichen Untersuchungsverfahren das Vorliegen oder Fehlen eines lichtbiockierenden Defekts, z. B. eines Fremdkörpers oder einer Verschmutzung, oder eines lichtbrechenden Defekts, z. B. einer Blase, einer Linie oder einer Falte, detektieren läßt, können Art oder Form eines solchen Defekts nicht unterschieden werden. Hat zudem der Defekt eine kleine Größe, ist selbst eine Beurteilung des Vorliegens oder Fehlens eines solchen Defekts durch Bildverarbeitung schwierig. Defekte werden zwar grob in solche eingeteilt, die aus dem Glas selbst herrühren, und solche, die aus der Formgebung stammen; kann jedoch die Art und Form eines Defekts bestimmt werden, läßt sich eine Ursache oder ein Prozeß für die Entstehung eines solchen Defekts ausmachen, und folglich können Gegenmaßnahmen zur Unterbindung eines solchen Fehlers leicht und schnell ergriffen werden. Daher ist es sehr wichtig, Art und Form eines Defekts zu unterscheiden, um eine stabile Erzeugnisqualität zu gewährleisten.
- Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Untersuchung eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts auf einen Fehler vorzusehen, wobei sowohl ein lichtblockierender Fehler als auch ein lichtbrechender Fehler nicht nur im Hinblick auf ihr Vorliegen oder Fehlen, sondern auch ihre Form und Art unterschieden werden können.
- Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Untersuchung eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts auf einen Fehler vorzusehen, wobei auch bei einem kleinen Fehler dessen Unterscheidung mit hohem Genauigkeitsgrad erfolgen kann.
- Zur Lösung dieser Aufgaben weist das Verfahren der Erfindung die kennzeichnenden Merkmale von Anspruch 1 auf.
- Vorzugsweise wird der Schwellwert anhand eines Mittelwerts zwischen Daten zweier Bildelemente bestimmt, die zueinander einen Abstand haben, der gleich der Hälfte der detektierten Teilung ist. Vorzugsweise wird im Einstellschritt ein durch Addieren eines Korrekturwerts zum Mittelwert erhaltener Wert als oberer Schwellwert eingestellt, während ein weiterer durch Subtrahieren des Korrekturwerts vom Mittelwert erhaltener Wert als unterer Schwellwert eingestellt wird, und im Vergleichsschritt wird jedes der Bildelementdaten nacheinander mit dem oberen und unteren Schwellwert verglichen; fällt es zwischen den oberen und unteren Schwellwert, wird es als dunkel bestimmt, während es in jedem anderen Fall als hell bestimmt wird. Hierbei wird vorzugsweise im Einstelischritt nach Bestimmung jedes der Bildelementdaten nach hell und dunkel im Hinblick auf den oberen und unteren Schwellwert eine Anzahl von Bildelementen in einer Flächeneinheit um das Bildelement herum für jeweils hell und dunkel gezählt, und das Bildelement wird als hell oder dunkel entsprechend einer Differenz zwischen den Anzahlen der Bildelemente für hell und dunkel bestimmt.
- Erfindungsgemäß beruht die Detektion eines Defekts prinzipiell auffolgender Tatsache: Wird ein Referenzmuster, z. B. ein Moiré, in dem hell und dunkel nacheinander und regelmäßig mit vorbestimmter Teilung erscheinen, durch ein durchsichtiges oder durchscheinendes Objekt fotografiert, wird bei defektfreiem durchsichtigen oder durchscheinenden Objekt die Regelmäßigkeit des Referenzmusters in dem so fotografierten Bild beibehalten; hat dagegen das durchsichtige oder durchscheinende Objekt einen Defekt, nimmt ungeachtet dessen, ob der Defekt ein lichtbiockierender oder ein lichtbrechender Defekt ist, die Regelmäßigkeit des Referenzmusters Schaden oder geht verloren. Folglich wird die Teilung des Referenzmusters auf einen kleinen Wert im Vergleich zu einer Größe eines zu detektierenden Defekts eingestellt. In diesem Zusammenhang ist beim vorstehend beschriebenen herkömmlichen Kontrollverfahren die Bildverarbeitung schwierig, sofern nicht Breite und Teilung der Streifen des Streifenmusters auf vergleichsweise große Werte eingestellt werden, und die Genauigkeit bei der Detektion eines Defekts kleiner Größe verschlechtert sich entsprechend.
- Somit wird verfahrensgemäß eine Teilung eines Referenzmusters anhand von Daten detektiert, die sich ergeben, indem das Referenzmuster direkt oder durch einen defektfreien normalen durchsichtigen Artikel fotografiert wird. Das Referenzmuster wird durch ein zu kontrollierendes Objekt in Form eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts fotografiert, um Bildelementdaten zu erhalten, und die so erhaltenen Bildelementdaten werden in einem Speicher gespeichert und einzeln nach hell und dunkel beurteilt. Dabei wird ein Mittelwert zwischen Daten zweier Bildelemente, die zueinander einen Abstand haben, der z. B. gleich der Hälfte der Teilung des Referenzmusters ist, zuerst berechnet, und es wird ein Schwellwert zur Beurteilung nach hell und dunkel eingestellt. Stimmt die Verteilung von hell und dunkel für die Bildelementdaten mit der des Referenzmusters überein, so ist der Mittelwert der Daten der beiden Bildelemente, die einen Abstand von der Hälfte der Referenzmusterteilung haben, konstant, ohne durch Änderung einer Auflichtmenge zum Bildsensor beeinflußt zu sein. Somit wird ein Schwellwert anhand des so berechneten Mittelwerts eingestellt. In diesem Fall kann ein vorbestimmter Korrekturwert zum Mittelwert addiert oder von diesem subtrahiert werden, um einen oberen Schwellwert bzw. einen unteren Schwellwert zu erhalten.
- Anschließend kann jedes der Bildelementdaten vom Speicher mit einem solchen oberen und unteren Schwellwert verglichen werden, um es binär so zu digitalisieren, daß wenn es zwischen den oberen und unteren Schwellwert fällt, es als "0" (d. h., dunkel), in jedem anderen Fall aber als "1" (d. h., hell) bestimmt wird. Als Ergebnis einer solchen binären Digitalisierung werden Bildelemente in einem Abschnitt, in dem hell und dunkel regelmäßig entsprechend dem Referenzmuster auftreten, nahezu als "1" unterschieden, und folglich werden beinahe alle dunklen Abschnitte gelöscht. Kurz gesagt gilt: Während Elemente der Bildelementdaten, die sich aus dem Hell und Dunkel des Referenzmusters ergeben, nahezu entfernt werden, verbleiben die anderen Elemente, bei denen infolge des Vorliegens eines Defekts das Referenzmuster einen Abfall zeigt oder das Referenzmuster regellos erscheint. Danach wird jedes der Bildelemente abschließend nach hell und dunkel ("1" und "0") bestimmt. Hierbei werden Bildelemente in einer Flächeneinheit um das Bildelement herum herangezogen, und eine Anzahl solcher Bildelemente wird für jeweils hell und dunkel gezählt. Ist danach die Anzahl der als "1" (hell) bestimmten Bildelemente größer als die Anzahl der anderen als "0" (dunkel) bestimmten Bildelemente, so gilt die mittlere Helligkeit in der Flächeneinheit als hell, und folglich wird das Bildelement abschließend als "1" (hell) bestimmt, auch wenn es ursprünglich als "0" (dunkel) bestimmt wurde. Ist dagegen die Anzahl der als "0" (dunkel) bestimmten Bildelemente größer, so wird, da die mittlere Helligkeit in der Flächeneinheit dunkel ist, das Bildelement als "0" (dunkel) bestimmt, auch wenn es ursprünglich als "1" (hell) bestimmt wurde. Als Ergebnis einer solchen Filterung werden nur jene Bildelemente extrahiert, die durch einen Defekt dunkel werden. Abschließend wird die Anzahl solcher Bildelemente gezählt. Somit lassen sich aus einem Ergebnis einer solchen Zählung Vorliegen oder Fehlen eines Defekts und bei vorliegendem Defekt Form und Typ eines solchen Defekts leicht unterscheiden.
- Somit können mit dem Untersuchungsverfahren der Erfindung bei einem Fehler eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts unabhängig davon, ob der Fehler lichtblockierend oder lichtbrechend ist, nicht nur das Vorliegen eines solchen Fehlers, sondern auch Form und Art unterschieden werden. Zusätzlich kann der Fehler auch bei kleiner Größe mit hohem Genauigkeitsgrad unterschieden werden.
- Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird das Verfahren mit einer Vorrichtung zur Untersuchung eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts auf einen Fehler realisiert, die aufweist: einen Referenzmusterträger mit einem Referenzmuster darauf, z. B. einem Moiré, in dem hell und dunkel nacheinander und regelmäßig mit vorbestimmter Teilung erscheinen, eine Lichtquelle zum Anstrahlen des Referenzmusterträgers mit Licht, einen Bildsensor in Form eines Festkörper-Bildaufnahmeelements zum Empfangen von Licht des Referenzmuster, das durch den Referenzmusterträger durchgelassen wird, eine Speichereinrichtung zum Empfangen und Speichern von Daten von Bildelementen vom Bildsensor, eine Detektionseinrichtung für Referenzmusterteilung zum Detektieren der Teilung des Referenzmusters anhand von Anzahlen von Bildelementen für hell und dunkel von der Speichereinrichtung, die aus einem Bild des Referenzmusters erhalten wurden, das direkt oder über einen normalen durchsichtigen Artikel vom Bildsensor empfangen wird, eine Mittelwert-Berechnungseinrichtung zum Berechnen eines Mittelwerts zwischen jenen beiden Bildelementdaten des Referenzmusters von der Speichereinrichtung, die von einem Bild des Referenzmusters erhalten werden, das durch ein Objekt vom Bildsensor empfangen wird, die um eine vorbestimmte Anzahl von Bildelementen im Hinblick auf die Teilung beabstandet sind, die durch die Detektionseinrichtung für Referenzmusterteilung detektiert wird, eine Schwellwert-Einstelleinrichtung zum Einstellen eines oberen und unteren Schwellwerts anhand des Mittelwerts, eine Referenzmuster-Löscheinrichtung zum aufeinanderfolgenden Vergleichen der Bildelementdaten von der Speichereinrichtung mit dem oberen und unteren Schwellwert, um die Bildelementdaten als dunkel zu bestimmen, wenn die Bildelementdaten zwischen den oberen und unteren Schwellwert fallen, die Bildelementdaten aber in jedem anderen Fall als hell zu bestimmen, um Daten auf der Grundlage des Referenzmusters zu löschen, eine Hell/Dunkel-Bestimmungseinrichtung zum Zählen von Anzahlen von Daten jener Bildelemente in einer Flächeneinheit um jedes der Bildelemente herum, die als hell und dunkel bestimmt werden, und Bestimmen des Bildelements als hell oder dunkel in Übereinstimmung mit einer Differenz zwischen den so gezählten Anzahlen und eine Defektunterscheidungseinrichtung zum Unterscheiden eines Defekts anhand von Anzahlen von Daten von hellen und dunklen Bildelementen, die durch die Hell/Dunkel-Bestimmungseinrichtung bestimmt werden.
- Ungeachtet dessen, ob ein Defekt eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts lichtblockierend oder lichtbrechend ist, lassen sich folglich mit der Untersuchungsvorrichtung nicht nur das Vorliegen eines solchen Fehlers, sondern auch Form und Art unterscheiden. Zusätzlich kann der Fehler auch bei kleiner Größe mit hohem Genauigkeitsgrad unterschieden werden.
- Diese und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen aus den nachfolgenden Beschreibung und den beigefügten Ansprüchen im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen hervor, in denen gleiche Teile oder Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind.
- Fig. 1 ist ein Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Untersuchung eines durchsichtigen Objekts auf einen Fehler;
- Fig. 2 ist eine grafische Darstellung einer Untersuchung eines durchsichtigen Objekts gemäß einem Untersuchungsverfahren der Erfindung;
- Fig. 3 ist eine Veranschaulichung eines Referenzmusters zur Verwendung mit dem Untersuchungsverfahren;
- Fig. 4 ist eine grafische Darstellung einer Kontrollfläche eines durchsichtigen Objekts bei einer Untersuchung gemäß dem Untersuchungsverfahren;
- Fig. 5 ist eine grafische Darstellung eines Lichtwegs, wenn kein Fehler an einem durchsichtigen Objekt bei einer Untersuchung vorliegt;
- Fig. 6 ist eine ähnliche Ansicht, die jedoch einen Lichtweg bei Vorliegen eines Fehlers an einem durchsichtigen Objekt zeigt;
- Fig. 7 ist eine Ansicht eines fotografierten Bilds eines Referenzmusters und einer Ausgabewellenform eines Bildsensors der Vorrichtung von Fig. 1 in Gegenüberstellung;
- Fig. 8 ist eine Wellenformdarstellung einer Ausgabewellenform des Bildsensors, wenn kein Fehler an einem durchsichtigen Objekt vorliegt und die Ausgabewellenform eine Teilung darstellt, die einer Referenzteilung entspricht;
- Fig. 9 ist eine ähnliche Ansicht, die jedoch eine Ausgabewellenform des Bildsensors zeigt, wenn ein Fehler an einem durchsichtigen Objekt vorliegt und die Ausgabewellenform eine Teilung darstellt, die durch einen solchen Fehler verringert ist;
- Fig. 10 ist eine ähnliche Ansicht, die jedoch eine Ausgabewellenform des Bildsensors zeigt, wenn ein Fehler an einem durchsichtigen Objekt vorliegt und die Ausgabewellenform eine Teilung darstellt, die durch einen solchen Fehler vergrößert ist;
- Fig. 11 ist eine ähnliche Ansicht, die jedoch eine Ausgabewellenform des Bildsensors zeigt, wenn ein Fehler an einem durchsichtigen Objekt vorliegt und die Ausgabewellenform einen Abschnitt darstellt, in dem eine Welle oder Wellen einen Abfall durch einen solchen Fehler zeigt (zeigen);
- Fig. 12 ist eine Wellenformdarstellung zur Veranschaulichung eines Verfahrens zum Einstellen eines Schwellwerts und einer binären Digitalisierung gemäß dem Untersuchungsverfahren;
- Fig. 13 ist eine grafische Darstellung einer Technik einer Filterungsverarbeitung gemäß dem Untersuchungsverfahren;
- Fig. 14 ist eine Ansicht einer alternativen Technik einer Filterungsverarbeitung;
- Fig. 15 ist eine schematische Draufsicht zur Veranschaulichung eines Untersuchungsvorgangs mit einer Untersuchungsausrüstung, zu der die Untersuchungsvorrichtung von Fig. 1 gehört;
- Fig. 16 ist eine ähnliche Ansicht zur Veranschaulichung eines weiteren Untersuchungsvorgangs mit einer abgewandelten Untersuchungsausrustung;
- Fig. 17 ist eine ähnliche Ansicht zur Veranschaulichung eines weiteren Untersuchungsvorgangs mit einer weiteren abgewandelten Untersuchungsausrüstung;
- Fig. 18 ist eine Veranschaulichung eines alternativen Referenzmusters zur Verwendung mit dem Untersuchungsverfahren; und
- Fig. 19 ist eine grafische Darstellung einer alternativen erfindungsgemäßen Untersuchung, bei der eine Untersuchung unter Verwendung einer eindimensionalen CCD-Kamera erfolgt.
- Zunächst ist in Fig. 2 eine Möglichkeit veranschaulicht, wie ein durchsichtiges oder durchscheinendes Objekt gemäß einem Verfahren der Erfindung untersucht wird. Bei diesem Verfahren wird ein Referenzmusterträger 1, der ein Referenzmuster trägt, durch eine Streublitzlicht abstrahlende Lichtquelle 2 beleuchtet und mit einer zweidimensionalen CCD-Kamera (Kamera mit ladungsgekoppeltem Bauelement) 5 durch einen Körperabschnitt eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts 4 fotografiert, z. B. ein durchsichtiges Glas, das durch einen Förderer 3 zu einer Untersuchungsposition transportiert wird. Solche fotografischen Daten werden in eine Bildverarbeitungsvorrichtung 6 in zeitlich bestimmter Beziehung zur Lichtabstrahlung der Streublitzlicht abstrahlenden Lichtquelle 2 geladen und einer Bildverarbeitung durch die Bildverarbeitungsvorrichtung 6 unterzogen, um das durchsichtige Objekt 4 auf einen Fehler zu untersuchen. Die Bildverarbeitungsvorrichtung 6 weist eine CPU (Zentraleinheit), einen RAM (Direktzugriffspeicher), einen ROM (Lesespeicher) usw. auf, die nicht gezeigt sind.
- Fig. 3 zeigt ein Beispiel für ein Referenzmuster, das der Referenzmusterträger 1 tragen kann. Das gezeigte Referenzmuster 1a ist ein schräges Moiré, in dem helle Zonen oder Streifen 7 mit einer Breite W1 und dunkle Zonen oder Streifen 8 mit einer weiteren Breite W2 abwechselnd mit einer festen Teilung P angeordnet sind und parallel verlaufen. Die Maße der Breiten W1 und W2 und der Teilung P können z. B. betragen: W1 = 0,8 mm, W2 = 0,5 mm und P = 1,3 mm.
- Zur weitestgehenden Verringerung eines Einflusses von gebrochenem Licht, das durch ein gekrümmtes Profil des durchsichtigen Objekts 4 verursacht wird, und infolge eines eingeschränkten Sichtfelds der CCD-Kamera 5 wird ein Körperabschnitt des durchsichtigen Objekts 4 eines zu untersuchenden Objekts insgesamt dreimal untersucht. Insbesondere wird gemäß Fig. 4 bei jedem Untersuchungsvorgang der Körperabschnitt des durchsichtigen Objekts 4 nur innerhalb eines vorbestimmten Untersuchungsbereichs e an ihm untersucht, d. h., die zweidimensionale CCD-Kamera 5 empfängt und fotografiert Licht, das diametrale gebogene Abschnitte des Körperabschnitts des durchsichtigen Objekts 4 durchläuft, die über nahezu 60º um eine Mittelachse des durchsichtigen Objekts 4 verlaufen. Nach Abschluß des jeweiligen ersten und zweiten Untersuchungsvorgangs wird das durchsichtige Objekt 4 im Winkel um nahezu 60º gedreht, damit anschließend nächste diametrale gebogene Abschnitte des Körperabschnitts des durchsichtigen Objekts 4 im vorbestimmten Untersuchungsbereich θ untersucht werden können.
- Ist das durchsichtige Objekt 4 an seinem untersuchten Körperabschnitt fehlerfrei, folgt Licht aus der Streublitzlicht abstrahlenden Lichtquelle 2 einem Lichtweg gemäß Fig. 5; hat es z. B. aber einen lichtbrechenden defekten Abschnitt 9 gemäß Fig. 6, kann Licht einen Lichtweg gemäß Fig. 6 nehmen. Ist insbesondere gemäß Fig. 5 das durchsichtige Objekt 4 fehlerfrei, durchlaufen Lichtstrahlen mit einem Muster auf der Grundlage der hellen Streifen 7 und der dunklen Streifen 8 des Referenzmusters des Referenzmusterträgers 1 das durchsichtige Objekt 4 gerade und werden durch eine Linse 10 der CCD-Kamera 5 so kondensiert, daß sie als Moiré-Bild entsprechend dem Referenzmuster des Referenzmusterträgers 1, d. h., mit hellen Abschnitten oder Streifen 12 und dunklen Abschnitten oder Streifen 13, die auf einer Zeile mit ähnlicher Breite, Teilung und Neigung entsprechend der Regelmäßigkeit des Referenzmusters des Referenzmusterträgers 1 angeordnet sind, von einem zweidimensionalen Bildsensor 11 (Flächensensor) vom CCD-Typ empfangen werden. Hat dagegen das durchsichtige Objekt 4 einen lichtbrechenden fehlerhaften Abschnitt 9 wie in Fig. 6, werden Lichtstrahlen durch den defekten Abschnitt 9 gebrochen, wodurch ein vom zweidimensionalen Bildsensor 11 empfangenes Bild die hellen Abschnitte 12 und dunklen Abschnitte 13 an einem Abschnitt von ihm, der dem defekten Abschnitt 9 entspricht, nicht regelmäßig zeigt, so daß ihre Weite, Teilung und Neigung nicht dem Referenzmuster des Referenzmusterträgers 1 entsprechen. Ähnliches gilt, wenn der defekte Abschnitt 9 lichtblockierend ist.
- Wird bei Empfang eines Bilds des Referenzmusters des Referenzmusterträgers 1 gemäß Fig. 7 durch den Bildsensor 11 eine Ausgabe des Bildsensors 11 von Bildelementen (lichtempfangenden Elementen) z. B. an einer Geraden I-I herausgeführt, so zeigt an einem Abschnitt, an dem die Regelmäßigkeit der hellen Abschnitte 12 und dunklen Abschnitte 13 gewahrt bleibt, die Ausgabe eine im wesentlichen einer Sinuswelle ähnelnde Wellenform, aber an einem weiteren speziellen Abschnitt, an dem keine Regelmäßigkeit vorliegt, beispielsweise an einem Abschnitt, an dem z. B. gemäß Fig. 7 die dunklen Abschnitte 13 aufeinanderfolgend erscheinen, zeigt eine Signalwelle an diesem speziellen Abschnitt einen Abfall der Wellenform. Fig. 8 bis 11 sind Wellenformdarstellungen, wenn Bildelementausgaben des Bildsensors 11 an einer quer verlaufenden (waagerechten) Zeile oder Linie herausgeführt werden. Insbesondere zeigt Fig. 8 eine Wellenform, wenn das durchsichtige Objekt 4 fehlerfrei ist und ein Bild entsprechend dem Referenzmuster des Referenzmusterträgers 1 erhalten wird. Die Wellenform zeigt eine Sinuswelle, die sich mit einer festen Teilung P wiederholt. Fig. 9, 10 und 11 zeigen jeweils eine Wellenform, wenn ein Fehler vorliegt, wobei Fig. 9 eine Wellenform zeigt, wenn die Teilung infolge eines vorliegenden Fehlers verringert ist, Fig. 10 eine Wellenform, wenn die Teilung infolge eines vorliegenden Fehlers vergrößert ist, und Fig. 11 eine Wellenform bei Fehlen einer Welle.
- Ein allgemeiner Aufbau der Bildverarbeitungsvorrichtung 6 ist in Fig. 1 gezeigt, worin der Aufbau in Übereinstimmung mit durch die CPU zu steuernden Funktionen aufgeteilt ist. Die Bildverarbeitungsvorrichtung 6 weist auf: einen Analog- Digital-Wandler (A/D-Wandler) 14, einen Speicher 15, eine Detektionseinrichtung 16 für Referenzmusterteilung und -richtung, eine Mittelwert-Berechnungseinrichtung 17, eine Schwellwert-Einstelleinrichtung 18, eine Referenzmuster- Löscheinrichtung 19, eine Hell/Dunkel-Bestimmungseinrichtung 20 und eine Defektunterscheidungseinrichtung 21. Eine Ausgabe des zweidimensionalen Bildsensors 11 wird zunächst durch den A/D-Wandler 14 in digitale Daten umgewandelt und anschließend im Speicher 15 für jedes Bildelement gespeichert.
- Um eine Teilung P des Referenzmusters des Referenzmusterträgers 1 zu detektieren, wird zunächst das Referenzmuster direkt oder über einen fehlerfreien durchsichtigen Artikel durch die CCD-Kamera 5 fotografiert. Hierbei entspricht ein vom Bildsensor 11 der CCD-Kamera 5 empfangenes Bild der Regelmäßigkeit des Referenzmusters des Referenzmusterträgers 1 gemäß der vorstehenden Beschreibung, und eine Wellenform eines so herausgeführten Signals stellt eine Sinuswelle dar. Die Detektionseinrichtung 16 für Referenzmusterteilung und -richtung detektiert die Teilung P des Referenzmusters anhand einer Anzahl von Bildelementen entsprechend einer Wiederholungsperiode der Sinuswelle und außerdem eine Neigungsrichtung des Referenzmusters 1a. Eine Technik zur Bildverarbeitung anhand einer solchen Sinuswelle ist in Fig. 12 veranschaulicht. Hierbei ist zu beachten, daß die Bildverarbeitung eigentlich durch digitale Verarbeitung digitaler Daten für jedes Bildelement durchgeführt wird, das aus dem Bildsensor 11 herausgeführt, im Speicher 15 gespeichert und aus ihm ausgelesen wird, die Beschreibung der Einfachheit halber jedoch auf analoge Weise mit der Wellenform von Fig. 12 erfolgt.
- Nachdem die Teilung P und die Neigungsrichtung des Referenzmusters durch die Detektionseinrichtung 16 für Referenzmusterteilung und -richtung detektiert ist, werden durchsichtige oder durchscheinende Objekte 4 als zu untersuchende Objekte durch den Förderer 3 nacheinander und schrittweise zur Untersuchungsposition transportiert. An der Untersuchungsposition wird das Referenzmuster 1a durch ein durchsichtiges Objekt 4 vom Bildsensor 11 fotografiert. Vom Bildsensor 11 durch dieses Fotografieren gewonnene Daten werden für jedes Bildelement im Speicher 15 gespeichert. Die Mittelwert-Berechnungseinrichtung 17 verwendet die detektierte Teilung P (360º in der Sinuswellenphase) und Neigungsrichtung des Referenzmusters, führt Bildelementdaten zweier Punkte heraus, die um die halbe Teilung, also um P/2, in der Phase zueinander verschoben sind (180º), wiederholt dies für mehrere Stellen für die hellen und dunklen Abschnitte oder Streifen und berechnet einen Mittelwert von Bildelementdaten von den hellen Abschnitten (Mittelwert von maximalen Helligkeitswerten von den hellen Abschnitten) sowie einen Mittelwert von den dunklen Abschnitten (Mittelwert von minimalen Helligkeitswerten von den mehreren dunklen Abschnitten). Werden nun Helligkeitswerte an Punkten a und b, die um P/2 voneinander in einem Abschnitt beabstandet sind, in dem das Referenzmuster 1a in Fig. 12 vorliegt, durch Ha bzw. Hb dargestellt, so ergibt sich ein Mittelwert durch (Ha + Hb)/2. Werden zudem Helligkeitswerte an Punkten c und d, die um P/2 in einem weiteren Abschnitt beabstandet sind, in dem das Referenzmuster nicht vorliegt oder das Referenzmuster ungeordnet ist, durch Hc bzw. Hd dargestellt, so ergibt sich ein Mittelwert durch (Hc + Hd)/2. Zu beachten ist, daß die Teilung für die Mittelwertberechnung zwar vorzugsweise auf die Hälfte der Referenzmusterteilung P eingestellt wird, jedoch nicht auf einen solchen spezifischen Wert eingestellt zu sein braucht.
- Die Schwellwert-Einstelleinrichtung 18 addiert einen vorbestimmten Korrekturwert cx zum durch die Mittelwert-Be- rechnungseinrichtung 17 berechneten Mittelwert (Ha + Hb)/2 oder (Hc + Hd)/2, um einen oberen Schwellwert UTH = (Ha + Hb)/2 + α oder UTH = (Hc + Hd)/2 + cx einzustellen, und subtrahiert den Korrekturwert cx vom Mittelwert (Ha + Hb)/2 oder (Hc + Hd)/2, um einen unteren Schwellwert LTH = (Ha + Hb)/2 -α oder LTH = (Hc + Hd)/2 - cx einzustellen.
- Die Referenzmuster-Löscheinrichtung 19 vergleicht jedes der im Speicher 15 gespeicherten Bildelementdaten mit dem oberen Schwellwert UTH und dem unteren Schwellwert LTH, um die Bildelementdaten binär so zu digitalisieren, daß wenn die Bildelementdaten zwischen den oberen und unteren Schwellwert UTH und LTH fallen, sie gemäß Fig. 12 als "0" (d. h., dunkel) dargestellt werden, in jedem anderen Fall die Bildelementdaten jedoch als "1" (d. h., hell) dargestellt werden (solche binär digitalisierte Signale sind in einem unteren Abschnitt von Fig. 12 dargestellt).
- Bildelemente in einem Abschnitt, in dem helle und dunkle Abschnitte oder Streifen regelmäßig in waagerechter Richtung entsprechend dem Referenzmuster des Referenzmusterträgers 1 als Ergebnis einer solchen binären Digitalisierungsverarbeitung auftreten, werden nahezu als "1" unterschieden, und folglich werden beinahe alle dunklen Abschnitte des Referenzmusters 1a gelöscht. Kurz gesagt gilt: Während die durch das Referenzmuster gebildeten dunklen Abschnitte nahezu entfernt werden, verbleibt ein dunkler Abschnitt (0 als Binärzahl), in dem das Referenzmuster einen Abfall zeigt, oder ein weiterer dunkler Abschnitt, in dem das Referenzmuster infolge eines vorliegenden Fehlers regellos erscheint.
- Während dunkle Abschnitte (0 als Binärzahl) mit einer Regelmäßigkeit, die vom Referenzmuster des Referenzmusterträgers 1 herrührt, gemäß Fig. 12 in geringem Maß auch durch eine solche binäre Digitalisierung durch die Referenzmuster- Löscheinrichtung 19 gemäß der vorstehenden Beschreibung verbleiben, ist die Größe der verbleibenden dunklen Abschnitte (aufeinanderfolgende Anzahl von Bildelementen, für die ein Helligkeitswert als 0 unterschieden wird) kleiner als die Größe dunkler Abschnitte, die von einem Defekt herrühren. Somit bestimmt die Hell/Dunkel-Bestimmungseinrichtung 20 abschließend nach zeitweiliger binärer Digitalisierung durch die Referenzmuster-Löscheinrichtung 19 jedes Bildelement als hell oder dunkel durch eine Filterungsverarbeitung gemäß der folgenden Beschreibung anhand einer Beziehung zu mehreren umliegenden Bildelementen. Unterschiedliche Techniken für eine solche Filterung sind in Fig. 13 und 14 veranschaulicht.
- Gemäß Fig. 13 wird angenommen, daß ein bestimmtes Bildelement 22 zeitweilig als "0" als Ergebnis der binären Digitalisierung durch die Referenzmuster-Löscheinrichtung 19 unterschieden wird. Bei der abschließenden Bestimmung, ob das Bildelement 22 "1" oder "0" ist, werden eine Anzahl jener Bildelemente in einer Gruppe von Bildelementen je Flächeneinheit mit dem Bildelement 22 und Bildelementen 23 um das Bildelement 22 herum, die als "1" unterschieden werden, und eine weitere Anzahl jener Bildelemente der Gruppe von Bildelementen, die als "0" unterschieden werden, einzeln gezählt. Anschließend wird einer der Binärwerte mit größerer Zählzahl als Binärwert des Bildelements 22 bestimmt. Bei den Bildelementen in Fig. 13 überschreitet die Anzahl von Bildelementen mit "1" die Hälfte, so daß folglich für das Bildelement 22 gemäß Fig. 14 "0" zu "1" geändert wird. Anders ausgedrückt wird ein mittlerer Helligkeitswert für eine Gruppe von Bildelementen für eine Flächeneinheit berechnet, und ist dieser höher als ein vorbestimmter Helligkeitswert, so wird das Bildelement in der Mitte der Flächeneinheit als "1" (hell) bestimmt. Als Ergebnis einer solchen Verarbeitung werden die nach Verarbeitung durch die Referenzmuster-Löscheinrichtung 19 verbleibenden dunklen Abschnitte des Referenzmusters 1a entfernt, und es werden nur dunkle Abschnitte extrahiert, die von einem Defekt herrühren.
- Die Defektunterscheidungseinrichtung 21 zählt eine Anzahl von Bildelementen an dem Abschnitt von Bildelementen nach Hell/Dunkel-Bestimmung durch die Hell/Dunkel-Bestimmungseinrichtung 20, in dem "0" nacheinander in waagerechter und senkrechter Richtung und ferner in Schrägrichtung erscheint; ist der Zählwert höher als ein vorbestimmter Wert, unterscheidet die Defektunterscheidungseinrichtung 21 das Vorliegen eines Fehlers und gibt ein Ausschlußsignal zum Ausschließen des durchsichtigen Objekts 4 als zu untersuchendes Objekt aus. Ferner werden Form oder Art des Fehlers anhand der Anzahl der so gezählten Bildelemente nach einer bekannten Mustererkennungstechnik unterschieden.
- Fig. 15 bis 17 zeigen unterschiedliche Möglichkeiten für die Untersuchung und unterschiedliche Untersuchungsausrüstungen, auf die ein Untersuchungsverfahren der Erfindung angewendet ist. Zunächst weist gemäß Fig. 15 die gezeigte Untersuchungsausrüstung auf: drei Sätze aus Lichtquellen und CCD- Kameras mit einer ersten Lichtquelle 2a und einer ersten CCD- Kamera 5a, einer zweiten Lichtquelle 2b und einer zweiten CCD-Kamera 5b und einer dritten Lichtquelle 2c und einer dritten CCD-Kamera 5c. Die drei Sätze sind in einem Abstand voneinander in Transportrichtung eines Förderers 3 angeordnet, d. h., in die mit einem Pfeil bezeichnete Richtung, und erste und zweite Drehvorrichtungen 24 sind zwischen dem ersten und zweiten bzw. dem zweiten und dritten Satz eingebaut. Ein Drittel eines Körperabschnitts eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts 4 wird von der ersten CCD-Kamera 5a fotografiert, wonach das durchsichtige Objekt 4 zur ersten Drehvorrichtung 24 transportiert wird, an der es WIL 60º gedreht wird. Danach wird es wiederum zu einer Untersuchungsposition mit dem zweiten Satz transportiert, an der ein nächstes Drittel des durchsichtigen Objekts 4 von der zweiten CCD-Kamera 5b fotografiert wird. Dann wird das durchsichtige Objekt 4 zur zweiten Drehvorrichtung 24 transportiert und um weitere 60º gedreht, wonach es zu einer Untersuchungsposition mit dem dritten Satz transportiert und ein restliches Drittel des durchsichtigen Objekts 4 von der dritten CCD-Kamera 5c fotografiert wird. Zu beachten ist, daß die Bezugszahl 25 eine Geschwindigkeitsdetektionsvorrichtung zum Detektieren einer Geschwindigkeit des Förderers 3 und 26 eine Ausschlußvorrichtung zum Ausschließen eines durchsichtigen Objekts 4 vom Förderer 3 bezeichnet, das durch die Defektunterscheidungseinrichtung 21 als fehlerbehaftet unterschieden wurde.
- Bei der Untersuchungsausrüstung von Fig. 16 sind ein erster Satz aus einer Lichtquelle 2a und einer CCD-Kamera 5a und ein zweiter Satz aus einer Lichtquelle 2b und einer CCD- Kamera 5b so angeordnet, daß ihre optischen Achsen einen Winkel von 60º bilden und sich an einer Schnittposition auf einem Förderer 3 kreuzen, während ein dritter Satz aus einer Lichtquelle 2c und einer CCD-Kamera 5c in einem Abstand vom ersten und zweiten Satz angeordnet ist, so daß ein unterschiedliches Drittel eines Körperabschnitts eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts 4 zunächst an der Untersuchungsposition durch die jeweilige CCD-Kamera 5a und 5b des ersten und zweiten Satzes fotografiert und danach das durchsichtige Objekt 4 zu einer Drehvorrichtung 24 transportiert und durch diese um 90º gedreht wird, wonach das restliche Drittel des durchsichtigen Objekts durch die CCD-Kamera 5c des dritten Satzes fotografiert wird
- Bei der Untersuchungsausrüstung in Fig. 17 sind drei Sätze aus Lichtquellen und CCD-Kameras so angeordnet, daß sie einen Winkel von 60º zueinander bilden, so daß ein unterschiedliches Drittel eines Körperabschnitts eines durchsichtigen oder durchscheinenden Objekts 4 an der gleichen Untersuchungsposition durch jede von ihnen fotografiert werden kann.
- Nachdem die Erfindung nunmehr vollständig beschrieben wurde, wird dem Fachmann deutlich sein, daß viele Änderungen und Abwandlungen an ihr ohne Abweichung vorn hierin dargelegten Grundgedanken und Schutzumfang der Erfindung vorgenommen werden können. Beispielsweise ist zwar das Referenzmuster 1a des Referenzmusterträgers in der vorstehend anhand von Fig. 2 beschriebenen Untersuchungsvorrichtung ein schräges Moiré, es kann jedoch auch ein Muster ähnlich wie ein Schachbrettmuster gemäß Fig. 18 oder jedes andere Muster sein, in dem hell und dunkel nacheinander und regelmäßig mit vorbestimmter Teilung erscheinen. Während ferner zwei Schwellwerte mit einem oberen und einen unteren Schwellwert verwendet werden, kann eine Hell/Dunkel-Unterscheidung auch im Hinblick auf einen einzelnen Schwellwert vorgenommen werden. Während außerdem die zweidimensionale CCD-Kamera 5 zum Einsatz kommt und ein Kontrollvorgang in einem Zustand erfolgt, in dem der Referenzmusterträger 1 mit dem Referenzmuster und ein durchsichtiges oder durchscheinendes Objekt 4 jeweils feststehend sind, kann ein Untersuchungsvorgang auch durchgeführt werden, während ein durchsichtiges oder durchscheinendes Objekt 4 gedreht wird. Ferner kann ein Untersuchungsvorgang auf einen Fehler durch Verarbeitung ähnlich wie in der vorstehenden Beschreibung, aber auf andere Weise erfolgen, wobei mittels einer eindimensionalen CCD-Kamera 28 mit einem eindimensionalen Bildsensor (Zeilensensor) 27 gemäß Fig. 19 ein rohrförmiger Referenzmusterträger 30 mit einem Referenzmuster darauf um eine Lichtquelle 30 gedreht wird, während gleichzeitig ein durchsichtiges oder durchscheinendes Objekt 4 gedreht wird.
- Es wird davon ausgegangen, daß die beigefügten Ansprüche zunächst zur Recherche nach Artikel 92 Europaisches Patentübereinkommen (EPÜ) sowie, falls nicht vor Veröffentlichung nach Artikel 93 EPÜ geändert, zur Festlegung des angestrebten Schutzes nach Artikel 67 EPÜ vorgesehen sind. Insbesondere beabsichtigt der Anmelder nicht, daß die Ansprüche den Inhalt der Anmeldung nach Artikel 123(2) EPÜ einschränken sollen, die sich auf jede Erfindung erstrecken soll, die durch einen Anspruch festgelegt sein kann, der durch die technische Beschreibung -dieser Anmeldung gemäß Artikel 84 EPÜ gestützt ist.
Claims (1)
1. Verfahren zur Untersuchung eines durchsichtigen oder
durchscheinenden Objekts auf einen Fehler mit den
folgenden Schritten:
Projizieren von Licht mit einem Referenzmuster (Fig. 3;
Fig. 18), z. B. einem Moiré, in dem helle und dunkle
Abschnitte (7, 8) nacheinander und regelmäßig mit einer
vorbestimmten Teilung (P) erscheinen; Plazieren eines
Objekts (4) an einer Untersuchungsposition in einem Weg
des projizierten Lichtmusters;
Empfangen von durch das Objekt (4) durchgelassenem Licht
durch einen Bildsensor (11);
Vergleichen der Helligkeit von Licht, das von mehreren
Flächen des Objekts empfangen wird, die um eine
vorbestimmten Teilung (P) beabstandet sind, mit einem
Schwellwert;
Unterscheiden eines Fehlers (9) des Objekts (4) anhand
einer Beziehung zwischen der Helligkeit oder Dunkelheit
von Licht, das von den mehreren Flächen empfangen wird;
und
Entfernen des Objekts (4) von der Untersuchungsposition;
dadurch gekennzeichnet, daß das Verfahren ferner die
folgenden Schritte aufweist:
Empfangen des projizierten Lichtmusters entweder direkt
oder über einen fehlerfreien normalen durchsichtigen
Artikel durch einen Bildsensor (11) in Form eines
Festköper-Bildaufnahmeelements;
Detektieren der Teilung (P) des Referenzmusters des
Lichts anhand von Anzahlen von Bildelementen, die hellen
und dunklen Abschnitten (7, 8) des Lichtmusters
entsprechen, das direkt oder über den normalen Artikel durch
den Bildsensor (11) empfangen wird;
Empfangen des durch das Objekt (4) während der
Untersuchung durchgelassenen Lichts durch das
Festkörper-Bildaufnahmeelement (11);
Speichern von Daten von Bildelementen von dem Bildsensor
(11) in einem Speicher (15) während der Untersuchung;
Einstellen eines Schwellwerts (UTH, LTH), der anhand
eines Mittelwerts zwischen zwei Bildelementdaten von dem
Speicher (15) berechnet wird, die einen Abstand
zueinander haben, der einer vorbestimmten Anzahl von
Bildelementen im Hinblick auf die detektierte Teilung (P)
entspricht;
Vergleichen jedes der Bildelementdaten von dem Speicher
(15) mit dem Schwellwert (UTH, LTH), um jedes
Bildelement mit einer Lichtstärke zu detektieren, die eine
vorbestimmte Beziehung zu dem Schwellwert hat; und
Unterscheiden eines Fehlers in übereinstimmung mit einem
Muster von Bildelementen, für die detektiert wird, daß
sie die vorbestimmte Beziehung haben.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Schwellwert (UTH, LTH) anhand eines Mittelwerts
zwischen Daten zweier Bildelemente detektiert wird, die
einen Abstand zueinander haben, der gleich der Hälfte
(P/2) der detektierten Teilung (P) ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß in dem Einstelischritt ein durch Addieren eines
Korrekturwerts (α) zu dem Mittelwert erhaltener Wert als
ein oberer Schwellwert (UTH) eingestellt wird, während
ein weiterer durch Substrahieren des Korrekturwerts (α)
von dem Mittelwert erhaltener Wert als unterer
Schwellwert eingestellt wird, und in dem Vergleichsschritt
jedes der Bildelementdaten nacheinander mit dem oberen und
unteren Schwellwert (UTH, LTH) verglichen und nur dann
bestimmt wird, daß es die vorbestimmte Beziehung hat,
wenn es zwischen den oberen und unteren Schwellwert
(UTH, LTH) fällt.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß in dem Vergleichsschritt nach
Detektion jedes Bildelements, das die vorbestimmte Beziehung
hat, eine Anzahl von Bildelementen in einer
Flächeneinheit um das Bildelement herum und mit der gleichen
Beziehung gezählt und die Beziehung für jedes Bildelement
nur dann bestätigt wird, wenn die gezählte Anzahl einen
vorgegebenen Wert überschreitet.
5. Verfahren nach einem der vorausgegangenen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Entfernungsschritt
ein neues Objekt (4) an der Untersuchungsposition
plaziert wird und die Schritte von dem zweiten
Projizierschritt bis zu dem Entfernungsschritt wiederholt werden,
um eine Kontrolle des neuen Objekts (4) auf einen Fehler
durchzuführen.
6. Verfahren nach einem der vorausgegangenen Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß in dem Lichtprojizierschritt
während der Untersuchung Licht mit dem Referenzmuster
(Fig. 3; Fig. 18) diametral auf das Objekt (4) an der
Untersuchungsposition über einen Winkel von etwa 60º (θ)
um eine Achse des Objekts (4) so projiziert wird,
daßdas durch das Objekt (4) durchgelassene Licht durch den
Bildsensor (11) empfangen werden kann, und ferner nach
dem zweiten Lichtprojizierschritt oder nach einem
Schritt danach mit dem Schritt des zweifachen Drehens
des Objekts (4) um seine Achse um 60º, wobei die
Schritte vom Speicherschritt bis zum Unterscheidungsschritt
nach jeder Drehung des Objekts (4) um 60º wiederholt
werden, um eine Untersuchung des gesamten Objekts (4)
auf einen Fehler durchzuführen.
Vorrichtung zur Kontrolle eines durchsichtigen oder
durchscheinenden Objekts auf einen Fehler mit:
einer optischen Einrichtung zum Projizieren eines
Referenzmusters (Fig. 3; Fig. 18), z. B. eines Moirés, in
dem helle und dunkle Flächen nacheinander und regelmäßig
mit einer vorbestimmten Teilung (P) erscheinen;
einem Bildsensor (11) in Form eines
Festkörper-Bildaufnahmeelements zum Empfangen von Licht des
Referenzmusters (Fig. 3; Fig. 18);
einer Speichereinrichtung (15) zum Empfangen und
Speichern von Bildelementdaten von dem Bildsensor (11);
einer Detektionseinrichtung (16) für
Referenzmusterteilung zum Detektieren der Teilung (P) des Referenzmusters
(Fig. 3; Fig. 18) anhand von Anzahlen heller und dunkler
Bildelementdaten von der Speichereinrichtung (15), die
anhand eines Bilds des Referenzmusters (Fig. 3; Fig. 18)
erhalten wurden, das direkt oder über einen normalen
durchsichtigen Artikel durch den Bildsensor (11)
empfangen wird;
einer Mittelwert-Berechnungseinrichtung (17) zum
Berechnen eines Mittelwerts zwischen jenen beiden
Bildelementdaten des Referenzmusters (Fig. 3; Fig. 18) von der
Speichereinrichtung (15), die anhand eines Bilds des
Referenzmusters (Fig. 3; Fig. 18) erhalten wurden, das
durch ein Objekt (4) durch den Bildsensor (11) empfangen
wird, die um eine vorbestimmte Anzahl von Bildelementen
im Hinblick auf die Teilung (P) beabstandet sind, die
durch die Detektionseinrichtung (16) für
Referenzmusterteilung detektiert wird;
einer Schwellwert-Einstelleinrichtung (18) zum
Einstellen eines Schwellwerts (UTH, LTH), der anhand des
Mittelwerts berechnet wird;
einer Referenzmuster-Löscheinrichtung (19) zum
aufeinanderfolgenden Vergleichen der Bildelementdaten von der
Speichereinrichtung (15) mit dem Schwellwert (UTH, LTH),
um nur jene Bildelemente mit einer vorbestimmten
Beziehung mit dem Schwellwert zu detektieren; und
einer Fehlerunterscheidungseinrichtung (21) zum
Unterscheiden eines Fehlers (9) von einem Muster von
Bildelementen,
für die durch die
Referenzrnuster-Löscheinrichtung detektiert wird, daß sie die vorbestimmte Beziehung
haben.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, wobei die
Mittelwert-Berechnungseinrichtung (17) angeordnet ist, um einen
Mittelwert zwischen jenen beiden Bildelementdaten des
Referenzmusters (Fig. 3; Fig. 18) von der
Speichereinrichtung (15) zu detektieren, die anhand eines Bilds des
Referenzmusters (Fig. 3; Fig. 18) erhalten werden, das
durch ein Objekt (4) durch den Bildsensor (11) empfangen
wird, die einen Abstand zueinander haben, der gleich der
Hälfte (P/2) der detektierten Teilung (P) ist.
9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, wobei die
Schwellwert-Einstelleinrichtung (18) einen oberen und unteren
Schwellwert (UTH, LTH) durch Addieren und Substrahieren
eines Korrekturwerts (α) zu bzw. von dem Mittelwert
einstellt.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei die
Referenzmuster-Löscheinrichtung ferner aufweist: eine
Einrichtung (20) zum Zählen der Anzahl von Bildelementen
(22, 23) in einer Flächeneinheit, die jedes detektierte
Bildelement umgibt, das ebenfalls die vorbestimmte
Beziehung zu dem Schwellwert hat, und eine Einrichtung zum
Bestätigen der detektierten Beziehung nur dann, wenn die
Anzahl gezählter Bildelemente einen vorgegebenen Wert
überschreitet.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei die
optische Einrichtung einen Referenzmusterträger (1) mit
dem Referenzmuster darauf auf einer Lichtquelle (2) zum
Beleuchten des Musterträgers aufweist.
12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11 mit:
einer Einrichtung (3) zum aufeinanderfolgenden
Positionieren eines Objekts (4) an einer ersten, zweiten und
dritten Untersuchungsposition;
einem für die jeweilige erste, zweite und dritte
Untersuchungsposition vorgesehenen optischen System (5a, 2a,
5b, 2b, 5c, 2c) zum Projizieren von Licht eines
Referenzmusters (Fig. 3; Fig. 18) diametral auf ein Objekt
(4) an der Untersuchungsposition über einen Winkel von
etwa 60º um eine Achse des Objekts (4) und Fotografieren
von durch das Objekt (4) durchgelassenem Licht, um Daten
von Bildelementen eines Bilds des empfangenen Lichts zu
erhalten;
einer zwischen der ersten und zweiten
Untersuchungsposition sowie zwischen der zweiten und dritten
Untersuchungsposition eingefügten Drehvorrichtung (24) zum
Drehen eines Objekts um 60º in eine Richtung um seine
Achse; und
einer mit jedem oder allen der optischen Systeme (5a,
2a, 5b, 2b, 5c, 2c) verbundenen Bildverarbeitungsvor
richtung (6) zum Detektieren eines Fehlers (9) eines
Objekts (4) anhand der Daten von Bildelementen von dem
(den) optischen System(en) (5a, 2a, 5b, 2b, 5c, 2c).
13. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11 mit:
einer Einrichtung (3) zum aufeinanderfolgenden
Positionieren eines Objekts (4) an einem Paar
Untersuchungspositionen;
einem für eine der Untersuchungspositionen vorgesehenen
ersten und zweiten optischen System (5a, 2a, 5b, 2b) zum
Projizieren von Licht eines Referenzmusters (Fig. 3;
Fig. 18) diametral auf ein Objekt (4) an der
Untersuchungsposition über unterschiedliche aneinandergrenzende
Winkelbereiche (θ) von etwa 60º um eine Achse des
Objekts (4) und Fotografieren von durch das Objekt (4)
durchgelassenem Licht, um Daten von Bildelementen von
Bildern des empfangenen Lichts zu erhalten;
einem für die andere der Untersuchungspositionen
vorgesehenen dritten optischen System (5c, 2c) zum
Projizieren von Licht des gleichen Referenzmusters (Fig. 3; Fig.
18) diametral auf ein Objekt (4) an der
untersuchungsposition über einen Winkelbereich (e) von etwa 60º um eine
Achse des Objekts (4) und Fotografieren von durch das
Objekt (4) durchgelassenem Licht, um Daten von
Bildelementen eines Bilds des empfangenen Lichts zu erhalten;
einer zwischen den Untersuchungspositionen eingefügten
Drehvorrichtung (24) zum Drehen eines Objekts (4) um 60º
in eine Richtung um seine Achse, so daß das erste,
zweite und-dritte optische System (5a, 2a, 5b, 2b, 5c, 2c)
unterschiedliche aneinandergrenzende Winkelbereiche
eines Objekts (4) fotografieren können; und
einer mit jedem oder allen des ersten bis dritten
optischen Systems (5a, 2a, 5b, 2b, 5c, 2c) verbundenen
Bildverarbeitungsvorrichtung (6) zum Detektieren eines
Fehlers (9) eines Objekts (4) anhand der Daten von
Bildelementen von dem (den) optischen System(en) (5a, 2a, 5b,
2b, 5c, 2c).
14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 11 mit:
einer Einrichtung (3) zum aufeinanderfolgenden
Positionieren eines Objekts (4) an einer Untersuchungsposition;
einem für die Untersuchungsposition vorgesehenen ersten,
zweiten und dritten optischen System (5a, 2a, 5b, 2b,
5c, 2c) zum Projizieren von Licht eines Referenzmusters
(Fig. 3; Fig. 18) diametral auf ein Objekt (4) an der
Untersuchungsposition über unterschiedliche
aneinandergrenzende Winkelbereiche (θ) von etwa 60º um eine Achse
des Objekts (4) und Fotografieren von durch das Objekt
(4) durchgelassenem Licht, um Daten von Bildelementen
von Bildern des empfangenen Lichts zu erhalten; und
einer mit jedem oder allen des ersten bis dritten
optischen Systems (5a, 2a, 5b, 2b, 5c, 2c) verbundenen
Bildverarbeitungsvorrichtung (6) zum Detektieren eines
Fehlers (9) eines Objekts (4) anhand der Daten von
Bildelementen
von dem (den) optischen System(en) (5a, 2a, 5b,
2b, 5c, 2c).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2411634A JPH06100555B2 (ja) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | 透明物体の欠陥検査方法とその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69120517D1 DE69120517D1 (de) | 1996-08-01 |
DE69120517T2 true DE69120517T2 (de) | 1996-12-19 |
Family
ID=18520604
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69120517T Expired - Fee Related DE69120517T2 (de) | 1990-12-19 | 1991-12-17 | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von durchsichtigen Objekten auf Fehler |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5216481A (de) |
EP (1) | EP0491555B1 (de) |
JP (1) | JPH06100555B2 (de) |
KR (1) | KR0166593B1 (de) |
AU (1) | AU647558B2 (de) |
CA (1) | CA2057670A1 (de) |
DE (1) | DE69120517T2 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1241467A2 (de) † | 2001-03-14 | 2002-09-18 | Hitachi Engineering Co., Ltd. | Untersuchungsgerät und System zur Untersuchung von Fremdkörpern in mit Flüssigkeit gefüllten Behältern |
DE102004025948B3 (de) * | 2004-05-27 | 2006-03-16 | Krieg, Gunther, Prof. Dr.-Ing. | Verfahren und Vorrichtung zum Untersuchen von lichtdurchlässigen Objekten |
DE10006663B4 (de) * | 2000-02-15 | 2006-10-05 | Metronom Ag | Verfahren zur Vermessung von langwelligen Oberflächenstrukturen |
DE102022200614A1 (de) | 2022-01-20 | 2023-07-20 | Rodenstock Gmbh | Vorrichtung zur Untersuchung eines transparenten Werkstückes sowie die Verwendung einer solchen Vorrichtung als telezentrisches Messystem in Transmission |
DE102022104990A1 (de) | 2022-03-03 | 2023-09-07 | Emhart Glass Sa | VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM INSPIZIEREN VON GEFÄßEN |
Families Citing this family (64)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5243400A (en) * | 1992-04-27 | 1993-09-07 | Owens-Brockway Glass Container Inc. | Inspection of transparent containers |
JP2795595B2 (ja) * | 1992-06-26 | 1998-09-10 | セントラル硝子株式会社 | 透明板状体の欠点検出方法 |
JP3212389B2 (ja) * | 1992-10-26 | 2001-09-25 | 株式会社キリンテクノシステム | 固体上の異物検査方法 |
JPH0785061B2 (ja) * | 1993-04-12 | 1995-09-13 | 東洋ガラス株式会社 | 透明ガラス容器の裾底部の異物検査装置 |
US5442446A (en) * | 1994-08-19 | 1995-08-15 | Owens-Brockaway Glass Container Inc. | Inspection of transparent containers |
US6122048A (en) * | 1994-08-26 | 2000-09-19 | Pressco Technology Inc. | Integral field lens illumination for video inspection |
US5486692A (en) * | 1994-10-19 | 1996-01-23 | Emhart Glass Machinery Investments Inc. | Glassware inspection machine comprising diffused light sources and two-dimensional cameras |
US6148097A (en) * | 1995-06-07 | 2000-11-14 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical member inspecting apparatus and method of inspection thereof |
US5592286A (en) * | 1995-03-08 | 1997-01-07 | Alltrista Corporation | Container flange inspection system using an annular lens |
US5699152A (en) * | 1995-04-03 | 1997-12-16 | Alltrista Corporation | Electro-optical inspection system and method |
US5847822A (en) * | 1995-08-29 | 1998-12-08 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical element inspecting apparatus |
US5835207A (en) * | 1995-10-02 | 1998-11-10 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical member inspecting apparatus |
US5828500A (en) * | 1995-10-11 | 1998-10-27 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical element inspecting apparatus |
JP2976869B2 (ja) * | 1995-12-28 | 1999-11-10 | 日産自動車株式会社 | 表面欠陥検査装置 |
US5805279A (en) * | 1996-01-11 | 1998-09-08 | Alltrista Corporation | Method and apparatus for illuminating and imaging a can end coated with sealing material |
US6587581B1 (en) * | 1997-01-10 | 2003-07-01 | Hitachi, Ltd. | Visual inspection method and apparatus therefor |
US6034766A (en) * | 1997-03-05 | 2000-03-07 | Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical member inspection apparatus |
DE19741384A1 (de) * | 1997-09-19 | 1999-03-25 | Heuft Systemtechnik Gmbh | Verfahren zum Erkennen von diffus streuenden Materialien, Verunreinigungen und sonstigen Fehlern bei transparenten Gegenständen |
WO1999027491A1 (en) * | 1997-11-20 | 1999-06-03 | Cornell Research Foundation, Inc. | A fast method and system for determining local properties of striped patterns |
US7781723B1 (en) | 1998-02-19 | 2010-08-24 | Emhart Glass S.A. | Container inspection machine using light source having spatially cyclically continuously varying intensity |
US6618495B1 (en) * | 1998-02-19 | 2003-09-09 | Emhart Glass, S.A. | Container inspection machine |
DE19813073A1 (de) * | 1998-03-25 | 1999-09-30 | Laser Sorter Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der optischen Qualität und zur Detektion von Fehlern von Flachglas und anderen optisch transparenten Materialien, insbesondere von Drips, Fäden und Linien |
JP4147682B2 (ja) * | 1998-04-27 | 2008-09-10 | 旭硝子株式会社 | 被検物の欠点検査方法および検査装置 |
JP3284462B2 (ja) * | 1998-11-30 | 2002-05-20 | 株式会社キリンテクノシステム | 壜胴部の欠陥検出方法 |
EP1006350A1 (de) * | 1998-11-30 | 2000-06-07 | Kirin Techno-System Corporation | Verfahren zur Detektion von Fehlern in Flaschen |
US6208412B1 (en) * | 1999-06-14 | 2001-03-27 | Visteon Global Technologies, Inc. | Method and apparatus for determining optical quality |
US6424414B1 (en) * | 2000-10-16 | 2002-07-23 | Agr International, Inc. | Method and apparatus for detecting refractive defects in transparent containers |
US6532064B1 (en) * | 2001-10-16 | 2003-03-11 | Baader-Canpolar Inc. | Automatic inspection apparatus and method for simultaneous detection of anomalies in a 3-dimensional translucent object |
JP4072466B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2008-04-09 | 日本板硝子株式会社 | 板状体の光学的歪みを評価する装置および方法 |
KR20070121820A (ko) * | 2005-04-06 | 2007-12-27 | 코닝 인코포레이티드 | 유리 검사 시스템 및 이를 이용한 유리 검사 방법 |
TWI255337B (en) * | 2005-05-20 | 2006-05-21 | Primax Electronics Ltd | Method and device for judging the quality of an optical element |
ATE419519T1 (de) * | 2005-09-09 | 2009-01-15 | Sacmi | Verfahren und vorrichtung zur optischen inspektion eines gegenstands |
JP4671848B2 (ja) * | 2005-11-29 | 2011-04-20 | セントラル硝子株式会社 | ガラス板の折割切断不良の検出方法 |
JP4801457B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2011-10-26 | 株式会社リコー | 表面欠陥検査装置、表面欠陥検査方法及び表面欠陥検査プログラム |
DE102006025312A1 (de) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | GM Global Technology Operations, Inc., Detroit | Verfahren und Anordnung zur Erfassung der optischen Qualität einer transparenten Scheibe |
CN101382502B (zh) * | 2007-09-07 | 2011-07-27 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 表面污点检测***及其检测方法 |
DE102008053876A1 (de) * | 2008-10-30 | 2010-05-06 | Khs Ag | Flaschennaht- und Embossingausrichtung |
DE102009020919A1 (de) * | 2009-05-12 | 2010-11-18 | Krones Ag | Vorrichtung zum Erkennen von Erhebungen und/oder Vertiefungen auf Flaschen, insbesondere in einer Etikettiermaschine |
DE102010012570A1 (de) * | 2010-03-23 | 2011-09-29 | Krones Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Untersuchen von befüllten Behältnissen auf Fremdkörper |
FR2958751B1 (fr) * | 2010-04-13 | 2012-05-25 | Iris Inspection Machines | Procede de detection de defauts dans des articles verriers et installation pour la mise en oeuvre dudit procede |
FR2959864B1 (fr) * | 2010-05-06 | 2013-01-18 | Altatech Semiconductor | Dispositif et procede d'inspection de plaquettes semi-conductrices en mouvement. |
DE102010037448A1 (de) * | 2010-09-10 | 2012-03-15 | Wincor Nixdorf International Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Leergutbehältern |
DE102010043632B4 (de) * | 2010-11-09 | 2017-08-24 | Krones Aktiengesellschaft | Verfahren zur Funktionskontrolle einer Inspektionsvorrichtung und Vorrichtung zur Inspektion eines Produktsstroms |
DE102011002269A1 (de) * | 2011-04-26 | 2012-10-31 | Wincor Nixdorf International Gmbh | Erfassungs- und Kalibriereinheit für Leergutrücknahmeautomaten und Verfahren zur Kalibrierung |
DE102011083377A1 (de) * | 2011-09-26 | 2013-03-28 | Krones Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zum Ausrichten von Behältern |
FR2993662B1 (fr) | 2012-07-23 | 2015-05-15 | Msc & Sgcc | Procede et installation pour la detection notamment de defauts refractants |
US20140286563A1 (en) * | 2013-03-19 | 2014-09-25 | Industrial Video Solutions, Inc. | Accurate detection of low-contrast defects in transparent material |
US9329304B2 (en) | 2014-03-06 | 2016-05-03 | Microsoft Technology Licensing, Llc | Translucent object presence and condition detection based on detected light intensity |
JP6471437B2 (ja) * | 2014-09-16 | 2019-02-20 | 株式会社リコー | 撮像装置、測色装置および画像形成装置 |
JP6350158B2 (ja) * | 2014-09-16 | 2018-07-04 | 株式会社リコー | 撮像装置、媒体種別判定装置および画像形成装置 |
JP6373743B2 (ja) * | 2014-12-05 | 2018-08-15 | コマツNtc株式会社 | 面の評価方法および面の評価装置 |
US20160178535A1 (en) * | 2014-12-17 | 2016-06-23 | Xerox Corporation | Inspection Device And Method |
CN206583820U (zh) * | 2016-02-24 | 2017-10-24 | 贝克顿迪金森法国公司 | 用于检测透明量筒中的颗粒的检查*** |
BR102016028266A2 (pt) * | 2016-12-01 | 2018-06-19 | Autaza Tecnologia Ltda - Epp | Método e sistema para a inspeção automática de qualidade de materiais |
JP6913811B2 (ja) * | 2017-02-06 | 2021-08-04 | 東洋ガラス株式会社 | ガラスびんの検査装置 |
US20190096057A1 (en) | 2017-05-11 | 2019-03-28 | Jacob Nathaniel Allen | Object inspection system and method for inspecting an object |
US10402963B2 (en) * | 2017-08-24 | 2019-09-03 | Kla-Tencor Corporation | Defect detection on transparent or translucent wafers |
US10580615B2 (en) | 2018-03-06 | 2020-03-03 | Globalfoundries Inc. | System and method for performing failure analysis using virtual three-dimensional imaging |
JP6988592B2 (ja) * | 2018-03-13 | 2022-01-05 | オムロン株式会社 | 画像検査装置、画像検査方法及び画像検査プログラム |
CN111179248B (zh) * | 2019-12-27 | 2023-06-09 | 深港产学研基地 | 一种透明平滑曲面缺陷识别方法及检测装置 |
CN112179287B (zh) * | 2020-08-19 | 2022-01-11 | 成都飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种基于多视光源的快速测量装置及测量方法 |
BR102020024851A2 (pt) * | 2020-12-04 | 2022-06-21 | Autaza Tecnologia Ltda - Epp | Métodos e sistemas para a inspeção de qualidade de materiais e de superfícies tridimensionais em ambiente virtual |
WO2022271007A1 (en) * | 2021-06-22 | 2022-12-29 | Tt Vision Technologies Sdn. Bhd. | System and method of inspecting translucent object |
CN115937052B (zh) * | 2023-03-14 | 2023-05-16 | 四川福莱宝生物科技有限公司 | 一种凝胶电泳图像的处理方法、装置、设备及介质 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5546172A (en) * | 1978-09-29 | 1980-03-31 | Kirin Brewery Co Ltd | Detector for foreign material |
DE3237511A1 (de) * | 1982-10-09 | 1984-04-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Verfahren zur pruefung von glaserzeugnissen |
JPS61100604A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-19 | Hajime Sangyo Kk | 表面検査装置 |
US4691231A (en) * | 1985-10-01 | 1987-09-01 | Vistech Corporation | Bottle inspection system |
DE68923653T2 (de) * | 1988-05-30 | 1996-01-18 | Kirin Techno Syst Yokohama | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung der Seitenwände von Flaschen. |
-
1990
- 1990-12-19 JP JP2411634A patent/JPH06100555B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-12-13 CA CA002057670A patent/CA2057670A1/en not_active Abandoned
- 1991-12-17 US US07/808,620 patent/US5216481A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-12-17 EP EP91311715A patent/EP0491555B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-12-17 AU AU89773/91A patent/AU647558B2/en not_active Ceased
- 1991-12-17 DE DE69120517T patent/DE69120517T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-12-18 KR KR1019910023354A patent/KR0166593B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10006663B4 (de) * | 2000-02-15 | 2006-10-05 | Metronom Ag | Verfahren zur Vermessung von langwelligen Oberflächenstrukturen |
EP1241467A2 (de) † | 2001-03-14 | 2002-09-18 | Hitachi Engineering Co., Ltd. | Untersuchungsgerät und System zur Untersuchung von Fremdkörpern in mit Flüssigkeit gefüllten Behältern |
EP1241467B2 (de) † | 2001-03-14 | 2010-11-03 | Hitachi Information & Control Solutions, Ltd. | Untersuchungsgerät und System zur Untersuchung von Fremdkörpern in mit Flüssigkeit gefüllten Behältern |
DE102004025948B3 (de) * | 2004-05-27 | 2006-03-16 | Krieg, Gunther, Prof. Dr.-Ing. | Verfahren und Vorrichtung zum Untersuchen von lichtdurchlässigen Objekten |
DE102022200614A1 (de) | 2022-01-20 | 2023-07-20 | Rodenstock Gmbh | Vorrichtung zur Untersuchung eines transparenten Werkstückes sowie die Verwendung einer solchen Vorrichtung als telezentrisches Messystem in Transmission |
DE102022104990A1 (de) | 2022-03-03 | 2023-09-07 | Emhart Glass Sa | VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM INSPIZIEREN VON GEFÄßEN |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06100555B2 (ja) | 1994-12-12 |
AU8977391A (en) | 1992-06-25 |
AU647558B2 (en) | 1994-03-24 |
KR920012905A (ko) | 1992-07-28 |
US5216481A (en) | 1993-06-01 |
JPH04220551A (ja) | 1992-08-11 |
EP0491555A1 (de) | 1992-06-24 |
DE69120517D1 (de) | 1996-08-01 |
EP0491555B1 (de) | 1996-06-26 |
CA2057670A1 (en) | 1992-06-20 |
KR0166593B1 (ko) | 1999-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69120517T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von durchsichtigen Objekten auf Fehler | |
DE69128336T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung eines transparenten oder durchscheinenden Gegenstandes wie beispielsweise einer Flasche | |
DE69725021T2 (de) | Verfahren und system zum darstellen eines objektes oder musters | |
DE2938235C2 (de) | ||
DE69515646T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen von Fehlern in Textilbahnen und dergleichen | |
DE69129518T3 (de) | Abtaster für Druckmuster | |
DE69232279T2 (de) | Verfahren zur Verbesserung von zweidimensionalen Bildern | |
DE3228010C2 (de) | Fehlerprüfvorrichtung | |
DE69328533T2 (de) | Methode zum Prüfen eines Festkörpers auf Fremdstoffe | |
DE3532068C2 (de) | ||
DE3612233C2 (de) | ||
DE69218812T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion des Endes eines Objektes auf Defekte | |
DE3013244A1 (de) | Automatische fehlstellen-detektorvorrichtung | |
CH657489A5 (de) | Strukturerkennungsvorrichtung und verfahren zu ihrem betrieb. | |
DE3783852T2 (de) | Vorrichtung zum nachweis von defekten an einer flaschenmuendung mit schraubengewinde. | |
DE3304817C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Erkennung von Fehlern in Warenbahnen | |
DE2602001A1 (de) | Pruefverfahren zum getrennten erfassen von unterschiedlichen werkstueckoberflaechenfehlern und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE102006008840A1 (de) | Beleuchtungsvorrichtung für zylindrische Objekte, damit durchgeführtes Oberflächenuntersuchungsverfahren und Computerprogrammprodukt | |
DE102006017337A1 (de) | Verfahren zur optischen Erfassung von bewegten Objekten und Vorrichtung | |
DE3809221A1 (de) | Verfahren zum detektieren von fehlstellen an pressteilen oder anderen werkstuecken und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE3204086A1 (de) | Vorrichtung zur automatischen optischen beschaffenheitspruefung | |
DE69513385T2 (de) | Verfahren und Gerät zur Korrektur der Ausgangssignalen mehreren Photodetektoren | |
CH652506A5 (de) | Verfahren und inspektionsgeraet zum inspizieren eines gegenstandes, insbesondere einer flasche. | |
EP0708325B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Gegenständen, insbesondere von Flaschen | |
EP2851677B1 (de) | Mehrzeilen-Scantechnik |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |