DE69116433T2

DE69116433T2 - Magnetischer Aufzeichnungsträger

Info

Publication number: DE69116433T2
Application number: DE69116433T
Authority: DE
Inventors: Masanobu Kobayashi; Yoshinori Maeno; Kayoko Sato; Haruki Yamane
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1990-05-29
Filing date: 1991-05-28
Publication date: 1996-09-12
Anticipated expiration: 2011-05-29
Also published as: EP0459411A2; DE69116433D1; EP0459411B1; EP0459411A3

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG

Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft einen magnetischen Aufzeichnungsträger, der für die Erzeugung eines magnetischen latenten Bildes geeignet ist.

Beschreibung des Standes der Technik

Konventionell wurden magnetische Aufzeichnungsträger beispielsweise bei thermomagnetischen Druckern verwendet, wobei ein magnetisches latentes Bild auf einem magnetischen Aufzeichnungsträger erzeugt wird und das latente Bild zu einem sichtbaren Bild entwickelt wird (siehe Shunji Imamura, "Magnetography Printer", Kapitel 15, Seiten 159-168, aus "Nonimpact printing", CMC, Japan, 1986).
FIG. 1 ist eine Prinzipskizze, die das Druckverfahren eines konventionellen thermomagnetischen Druckers darstellt. In FIG. 1 dreht sich eine Aufzeichnungs-Magnettrommel 1 in der durch den Pfeil A angezeigten Richtung. Die Aufzeichnungs- Magnettrommel 1 weist auf ihrer Oberfläche einen aus einem CrO&sub2;-Dünnfilm oder dergleichen hergestellten magnetischen Aufzeichnungsträger zur Erzeugung eines magnetischen latenten Bildes darauf auf.
Bei dem Druckverfahren magnetisiert anfangs eine Löscheinrichtung 2 den magnetischen Aufzeichnungsträger in einer vorbestimmten Richtung. Danach erzeugt eine Magnetaufzeichnungseinrichtung 3 ein vorgesehenes magnetisches latentes Bild darauf, und eine Entwicklungseinrichtung 4 verarbeitet das latente Bild zu einem sichtbaren Bild, indem sie als Antwort auf das magnetische latente Bild Toner an der Oberfläche der Trommel 1 haften läßt. Der Toner haftet an Teilen, an denen vom magnetischen Streufeld auf der Oberfläche des magnetischen Aufzeichnungsträgers erzeugte Magnetkräfte die Oberfläche des magnetischen Aufzeichnungsträgers schneiden. Auf diese Weise wird das magnetische latente Bild zu einem sichtbaren Bild entwickelt.
Im Anschluß daran überträgt eine Übertragungseinrichtung 5 das sichtbare Bild auf Papier, und eine Fixiereinrichtung 6 fixiert es darauf. Schließlich entfernt eine Reinigungseinrichtung 7 übriggebliebenen Toner von dem magnetischen Aufzeichnungsträger, was das Druckverfahren abschließt.
Das magnetische latente Bild kann durch Verwendung eines Thermokopfs oder durch Bestrahlung mit einem Laserstrahl zum Erwärmen des Aufzeichnungsträgers auf dem Aufzeichnungsträger aufgezeichnet werden. Der magnetische Aufzeichnungsträger kann in zwei verschiedenen Richtungen magnetisiert werden, einer hauptsächlich entlang der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers (Longitudinalaufzeichnungsverfahren) und der anderen in der Richtung senkrecht zur Oberfläche des Aufzeichnungsträgers (Vertikalaufzeichnungsverfahren). Das Vertikalaufzeichnungsverfahren wird verwendet, wenn eine hohe Auflösung verlangt wird. Magnetische Aufzeichnungsträger für die Vertikalaufzeichnung werden mit Legierungsfilmen aus Elementen der Seltenerdfamilie und Eisenfamilie hergestellt, das heißt, mit RE-TM-Legierungsfilmen oder Co-Cr-Legierungsfilmen. Die RE-TM-Legierungsfilme werden hauptsächlich für magnetooptische Platten verwendet, die ein magnetisches Aufzeichnungsverfahren verwenden, und die Co-Cr-Legierungsfilme werden hauptsächlich für magnetische Platten verwendet, die ein Magnetkopf- Aufzeichnungsverfahren verwenden.
Heutzutage können Dünnfilme wie künstliche Co/Pt-Supergitter oder künstliche Co/Pd-Supergitter als Vertikalmagnetisierungsfilme zur Durchführung von magnetischer Aufzeichnung verwendet werden.
Diese magnetischen Aufzeichnungsträger weisen jedoch die folgenden Probleme auf: die Co-Cr-Legierungsfilme haben hohe Curie-Punkte, was es schwierig macht, die thermomagnetische Aufzeichnung durchzuführen, und die RE-TM-Legierungsfilme haben andererseits eine geringe Restflußdichte, was die Tonerhaftung unzureichend macht.
In bezug auf die künstlichen Co/Pt-Supergitter oder künstlichen Co/Pd-Supergitter sind außerdem die Rechteckigkeitsverhältnisse ihrer magnetischen Hysteresekurve zwar harmonisch, solange die Filme mit einigen hundert Angström extrem dünn sind, die Rechteckigkeitsverhältnisse sinken aber unter die Harmonie, wenn die Filmdicke einige tausend Angström beträgt, was nur eine unzureichende Restflußdichte für die magnetische Aufzeichnung liefert. Außerdem ist die Koerzitivfeldstärke gering, ungefähr 200 Oe.
Wie oben beschrieben, können Magnetdrucker, die Vertikalmagnetisierungsfilme zur Vertikalaufzeichnung verwenden, im Prinzip zwar eine zuverlässige Aufzeichnung mit einer hohen Auflösung erreichen und mit einem geringen Stromverbrauch arbeiten, sie weisen aber das Problem auf, daß es keine geeigneten Materialien für die Vertikalmagnetisierungsfilme gibt.
Patent Abstracts of Japan, Band 14, Nr.183, Seite 83 P 1035, offenbart einen magnetooptischen Aufzeichnungsträger, der aus einem künstlichen Co-Pt-Supergitter, das durch abwechselndes und periodisches Aufbringen von Co-Schichten und Pt-Schichten auf ein Substrat gebildet wird, und einem künstlichen Co-Pd- Supergitter besteht, das durch abwechselndes und periodisches Aufbringen von Co-Schichten und Pd-Schichten darauf gebildet wird.
Patent Abstracts of Japan, Band 14, Nr.248, Seite 48 E 933, offenbart einen senkrecht magnetisierten Film, der aus einem Oxidfilm (Co-O-Basisfilm) und einem künstlichen Co-Pt-Supergitter besteht, das durch abwechselndes und periodisches Aufbringen von Co-Schichten und Pt-Schichten darauf gebildet wird.

ABRISS DER ERFINDUNG

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen magnetischen Aufzeichnungsträger für Vertikalaufzeichnung zu schaffen, der eine hohe Restflußdichte, eine hohe Koerzitivfeldstärke und eine niedrige Curie-Temperatur aufweist, um so das Problem des konventionellen magnetischen Aufzeichnungsträgers zu beseitigen.
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein magnetischer Aufzeichnungsträger gemäß Anspruch 1 geschaffen.
Das künstliche Supergitter kann hier eine Co-Schicht, deren Dicke im Bereich von 0,1 nm (1 Angström) bis 1,5 nm (15 Angström) einschließlich liegt, und eine Pt- Schicht aufweisen, deren Dicke im Bereich von 0,2 nm (2 Angström) bis 3 nm (30 Angström) einschließlich liegt, und der metallische Dünnfilm ist ein solcher, der aus einer Gruppe ausgewählt ist, die aus einem Pt-, einem Pd- und einem Co- Dünnfilm besteht, und der eine Dicke im Bereich von 1 nm bis 100 nm einschließlich aufweisen kann. Die Pt- und Pd-Dünnfilme können eine Dicke im Bereich von 15 nm bis 100 nm einschließlich aufweisen, und der Co-Dünnfilm kann eine Dicke im Bereich von 10 nm bis 100 nm einschließlich aufweisen.
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein magnetischer Aufzeichnungsträger gemäß Anspruch 4 geschaffen.
Das künstliche Supergitter kann hier eine Co-Schicht, deren Dicke im Bereich von 0,1 nm (1 Angström) bis 1,5 nm (15 Angström) einschließlich liegt, und eine Pd- Schicht aufweisen, deren Dicke im Bereich von 0,2 nm (2 Angström) bis 3 nm (30 Angström) einschließlich liegt, und der metallische Dünnfilm ist ein solcher, der aus einer Gruppe ausgewählt ist, die aus einem Pt-, einem Pd- und einem Co- Dünnfilm besteht, und der eine Dicke im Bereich von 1 nm bis 100 nm einschließlich aufweisen kann. Die Pt- und Pd-Dünnfilme können eine Dicke im Bereich von 15 nm bis 100 nm einschließlich aufweisen, und der Co-Dünnfilm kann eine Dicke im Bereich von 10 nm bis 100 nm einschließlich aufweisen.
Gemäß der vorliegenden Erfindung können Vertikalmagnetisierungsfilme mit niedrigeren Curie-Punkten, höheren Restflußdichten und höheren Koerzitivfeldstärken erhalten werden. Durch Verwendung des Aufzeichnungsträgers beispielsweise bei thermomagnetischen Druckern können eine höhere Auflösung und ein geringerer Stromverbrauch erreicht werden.

KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN

Die Aufgaben und Merkmale der vorliegenden Erfindung ergeben sich noch deutlicher aus der folgenden detaillierten Beschreibung in Verbindung mit den angefügten Zeichnungen, in denen:
FIG. 1 eine Prinzipskizze ist, die ein Druckverfahren eines konventionellen thermomagnetischen Druckers darstellt;
FIG. 2A und 2B einen magnetischen Aufzeichnungsträger einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei FIG. 2A eine Querschnittsansicht des magnetischen Aufzeichnungsträgers ist und FIG. 2B eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger ist;
FIG. 3 eine Querschnittsansicht ist, die einen Vertikalmagnetisierungsfilm des magnetischen Aufzeichnungsträgers der Ausführungsformen eins bis vier zeigt;
FIG. 4 eine Prinzipskizze ist, die eine Vorrichtung zur Herstellung des magnetischen Aufzeichnungsträgers der vorliegenden Erfindung zeigt, wobei Teil (A) eine Vorderansicht der Vorrichtung ist und Teil (B) eine Draufsicht auf die Vorrichtung ist;
FIG. 5A und 5B Diagramme sind, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der ersten Ausführungsform darstellen, wobei FIG. 5A eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms zeigt, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pt-Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird, und FIG. 5B eine Kerr-Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der ersten Ausführungsform zeigt, der aus einem Mehrschicht- Film des künstlichen Co/Pt-Supergitters und einem Pt-Dünnfilm zusammengesetzt ist;
FIG. 6A und 6B Ansichten sind, die einen magnetischen Aufzeichnungsträger einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei FIG. 6A eine Querschnittsansicht des magnetischen Aufzeichnungsträgers ist und FIG. 6B eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger ist;
FIG. 7A und 7B Diagramme sind, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der zweiten Ausführungsform darstellen, wobei FIG. 7A eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms zeigt, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pd- Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird, und FIG. 7B eine Kerr-Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der zweiten Ausführungsform zeigt, der aus einem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pd-Supergitters und einem Pd-Dünnfilm zusammengesetzt ist;
FIG. 8A und 8B Ansichten sind, die einen magnetischen Aufzeichnungsträger einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei FIG. 8A eine Querschnittsansicht des magnetischen Aufzeichnungsträgers ist und FIG. 8B eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger ist;
FIG. 9A und 9B Diagramme sind, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der dritten Ausführungsform darstellen, wobei FIG. 9A eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms zeigt, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pt-Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird, und FIG. 9B eine Kerr-Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der dritten Ausführungsform zeigt, der aus einem Mehrschicht- Film des künstlichen Co/Pt-Supergitters und einem Pd-Dünnfilm zusammengesetzt ist;
FIG. 10A und 10B Ansichten sind, die einen magnetischen Aufzeichnungsträger einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei FIG. 10A eine Querschnittsansicht des magnetischen Aufzeichnungsträgers ist und FIG. 10B eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger ist;
FIG. 11A und 11B Diagramme sind, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der vierten Ausführungsform darstellen, wobei FIG. 11A eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms zeigt, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pd- Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird, und FIG. 11B eine Kerr-Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der vierten Ausführungsform zeigt, der aus einem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pd-Supergitters und einem Pt-Dünnfilm zusammengesetzt ist;
FIG. 12A und 12B Ansichten sind, die einen magnetischen Aufzeichnungsträger einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei FIG. 12A eine Querschnittsansicht des magnetischen Aufzeichnungsträgers ist und FIG. 12B eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger ist;
FIG. 13 eine Querschnittsansicht ist, die einen Vertikalmagnetisierungsfilm des magnetischen Aufzeichnungsträgers der Ausführungsformen fünf und sechs zeigt;
FIG. 14A und 14B Diagramme sind, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der fünften Ausführungsform darstellen, wobei FIG. 14A eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms zeigt, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pt- Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird, und FIG. 14B eine Kerr-Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der fünften Ausführungsform zeigt, der aus einem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pt-Supergitters und einem Co-Dünnfilm zusammengesetzt ist;
FIG. 15A und 15B Ansichten sind, die einen magnetischen Aufzeichnungsträger einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen, wobei FIG. 15A eine Querschnittsansicht des magnetischen Aufzeichnungsträgers ist und FIG. 15B eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger ist;
FIG. 16A und 16B Diagramme sind, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der sechsten Ausführungsform darstellen, wobei FIG. 16A eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms zeigt, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pd- Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird, und FIG. 16B eine Kerr-Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der sechsten Ausführungsform zeigt, der aus einem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pd-Supergitters und einem Co-Dünnfilm zusammengesetzt ist.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

ERSTE AUSFÜHRUNGSFORM

In FIG. 2A und 2B ist ein thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 10 durch Aufbringen eines Vertikalmagnetisierungsfilms auf ein frei biegbares, einige zehn bis hundert Mikrometer dickes Substrat 8 aus rostfreiem Stahl unter Verwendung eines RF(Radiofrequenz)-Sputterverfahrens gebildet. Der Vertikalmagnetisierungsfilm ist ein einige hundert Mikrometer dicker Mehrschicht-Film 9, der aus ein paar hundert Angström dicken künstlichen Co/Pt-Supergittern und einige zehn bis hundert Angström dicken Pt-Dünnfilmen zusammengesetzt ist, die abwechselnd aufgebracht werden. Der magnetische Aufzeichnungsträger 10 ist als ausgedehnte Fläche ausgebildet und auf ein Magnettrommel-Kernmaterial 11 aufgewickelt.
FIG. 3 ist eine Querschnittsansicht des Mehrschicht-Films 9. In der Figur liegen die Dicke dCo einer Co-Schicht, die das künstliche Co/Pt-Supergitter 9a bildet, im Bereich von 0,1 nm (1 Angström) bis 1,5 nm (15 Angström) einschließlich, die Dicke dPt einer Pt-Schicht, die das künstliche Co/Pt-Supergitter 9a bildet, im Bereich von 0,2 nm (2 Angström) bis 3 nm (30 Angström) einschließlich, und die Dicke DPt des Pt-Dünnfilms 9b im Bereich von 1 nm (10 Angstrtm) bis 100 nm (1.000 Angström) einschließlich.
FIG. 4 enthält eine Vorderansicht (A) und eine Draufsicht (B) einer Vorrichtung zur Herstellung des magnetischen Aufzeichnungsträgers der vorliegenden Erfindung. In der Figur bezeichnet das Bezugszeichen 8 ein Substrat, das auf einer rotierenden Platte 22 angeordnet ist und auf welches das künstliche Supergitter mittels des Sputterverfahrens aufzubringen ist. Das Bezugszeichen 24 bezeichnet ein Co- Target, das gegenüber dem Substrat 8 angeordnet ist, und ähnlich bezeichnet das Bezugszeichen 25 ein Pt-Target (oder Pd-Target), das gegenüber dem Substrat 8 angeordnet ist.
Zwischen dem Co-Target 24 und der rotierenden Platte 22 ist eine RF-Stromversorgung 26 zum Sputtern verbunden, und ähnlich ist zwischen dem Pt-Target (oder Pd-Target) 25 und der rotierenden Platte 22 eine RF-Stromversorgung 27 zum Sputtern verbunden. Außerdem ist zwischen das Co-Target 24 und das Pt- Target (oder Pd-Target) 25 eine Trennplatte 28 gelegt.
Bei der so angeordneten Spannungsaufdrück-RF-Mehrfachsputtervorrichtung dreht sich das Substrat 8 mit der Drehung der rotierenden Platte 22 über dem Co-Target 24 und dem Pt-Target (oder Pd-Target) 25, so daß periodisch und abwechselnd Pt (oder Pd) und Co aufgebracht werden, wodurch das künstliche Supergitter 9a gebildet wird. Im Anschluß daran wird der Pt-Dünnfilm 9b aufgebracht. Durch Wiederholung dieser Prozeduren wird der Mehrschicht-Film 9 gebildet.
Als nächstes werden die Ergebnisse einer Schätzung der magnetischen Kennwerte des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers 10 beschrieben. Bei dieser Schätzung wird ein Mehrschicht-Film 9 mit der folgenden Anordnung verwendet: das künstliche Co/Pt-Supergitter 9a, dessen Dicke D&sub1; 15 nm (150 Angström) ist, wird durch periodisches, abwechselndes Aufbringen von Co-Schichten, deren Dicke dCo 0,2 nm (2 Angström) ist, und Pt-Schichten gebildet, deren Dicke dPt 0,5 nm (5 Angström) ist; der Pt-Dünnfilm 9b wird so aufgebracht, daß seine Dicke DPt 15 nm (150 Angström) wird.
Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 10 wurde geschätzt: die Restflußdichte war mehr als 1.000 Gauß, was eine ausreichende Magnetkraft zum Anziehen von magnetischen Tonern bot; die Curie-Temperatur war niedrig, kleiner als 200 ºC; und die Koerzitivfeldstärke war ungefähr 3000 Oe.
FIG. 5A und 5B sind Diagramme, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der ersten Ausführungsform darstellen: FIG. 5A stellt eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms dar, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pt-Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird; und FIG. 5B stellt eine Kerr-Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der ersten Ausführungsform dar, der aus dem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pt-Supergitters und dem Pt-Dünnfilm zusammengesetzt ist. Diese Figuren zeigen, daß die Koerzitivfeldstärke in der ersten Ausführungsform sehr vergrößert ist.
Zwei andere Schätzungen lieferten ähnliche Ergebnisse. Bei diesen Schätzungen wurden ein erster thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 10 mit den Werten dCo = 0,1 nm (1 Angström), dPt = 0,2 nm (2 Angström) und DPt = 1 nm (10 Angström) und ein zweiter thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 10 mit den Werten dCo = 1,5 nm (15 Angström), dPt = 3 nm (30 Angström) und DPt = 100 nm (1.000 Angström) verwendet.

ZWEITE AUSFÜHRUNGSFORM

FIG. 6A und 6B sind Ansichten, die einen thermomagnetischen Aufzeichnungsträger einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen: FIG. 6A ist eine Querschnittsansicht des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers, und FIG. 6B ist eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger.
In FIG. 6A und 6B ist ein thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 13 durch Aufbringen eines Vertikalmagnetisierungsfilms auf ein frei biegbares, einige zehn bis hundert Mikrometer dickes Substrat 8 aus rostfreiem Stahl unter Verwendung eines RF(Radiofrequenz)-Sputterverfahrens gebildet. Der Vertikalmagnetisierungsfilm ist ein einige hundert Mikrometer dicker Mehrschicht-Film 12, der aus ein paar hundert Angström dicken künstlichen Co/Pd-Supergittern 12a und einige zehn bis hundert Angström dicken Pd-Dünnfilmen 12b zusammengesetzt ist, die abwechselnd aufgebracht werden, wie in FIG. 3 gezeigt. Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 13 ist als ausgedehnte Fläche ausgebildet und auf ein Magnettrommel-Kernmaterial 11 aufgewickelt.
Die Dicke dCo einer Co-Schicht, die das künstliche Co/Pd-Supergitter 12a bildet, liegt im Bereich von 0,1 nm (1 Angström) bis 1,5 nm (15 Angström) einschließlich, die Dicke dPd einer Pd-Schicht, die das künstliche Co/Pd-Supergitter 12a bildet, liegt im Bereich von 0,2 nm (2 Angström) bis 3 nm (30 Angström) einschließlich, und die Dicke DPd des Pd-Dünnfilms 12b liegt im Bereich von 1 nm (10 Angström) bis 100 nm (1.000 Angström) einschließlich.
Als nächstes werden die Ergebnisse einer Schätzung der magnetischen Kennwerte des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers 13 beschrieben. Bei dieser Schätzung wird ein Mehrschicht-Film 12 mit der folgenden Anordnung verwendet: das künstliche Co/Pd-Supergitter 12a, dessen Dicke D&sub1; 15 nm (150 Angström) ist, wird durch periodisches, abwechselndes Aufbringen von Co-Schichten, deren Dicke dCo 0,2 nm (2 Angström) ist, und Pd-Schichten gebildet, deren Dicke dPd 0,5 nm (5 Angström) ist; der Pd-Dünnfilm 12b wird so aufgebracht, daß seine Dicke DPd 15 nm (150 Angström) wird.
Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 13 wurde geschätzt: die Restflußdichte war mehr als 1.000 Gauß, was eine ausreichende Magnetkraft zum Anziehen von magnetischen Tonern bot; die Curie-Temperatur war niedrig, kleiner als 200 ºC; und die Koerzitivfeldstärke war ungefähr 3000 Oe.
FIG. 7A und 7B sind Diagramme, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der zweiten Ausführungsform darstellen: FIG. 7A zeigt eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pd- Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird; und FIG. 7B stellt eine Kerr- Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der zweiten Ausführungsform dar, der aus dem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pd-Supergitters und dem Pd- Dünnfilm zusammengesetzt ist. Diese Figuren zeigen, daß die Koerzitivfeldstärke in der zweiten Ausführungsform sehr vergrößert ist.
Zwei andere Schätzungen lieferten ähnliche Ergebnisse. Bei diesen Schätzungen wurden ein erster thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 13 mit den Werten dCo = 0,1 nm (1 Angström), dPd = 0,2 nm (2 Angström) und DPd = 1 nm (10 Angström) und ein zweiter thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 10 mit den Werten dCo = 1,5 nm (15 Angström), dPd = 3 nm (30 Angström) und DPd = 100 nm (1.000 Angström) verwendet.

DRITTE AUSFÜHRUNGSFORM

FIG. 8A und 8B sind Ansichten, die einen thermomagnetischen Aufzeichnungsträger einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen: FIG. 8A ist eine Querschnittsansicht des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers, und FIG. 8B ist eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger.
In FIG. 8A und 8B ist ein thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 15 durch Aufbringen eines Vertikalmagnetisierungsfilms auf ein frei biegbares, einige zehn bis hundert Mikrometer dickes Substrat 8 aus rostfreiem Stahl unter Verwendung eines RF(Radiofrequenz)-Sputterverfahrens gebildet. Der Vertikalmagnetisierungsfilm ist ein einige hundert Mikrometer dicker Mehrschicht-Film 14, der aus ein paar hundert Angström dicken künstlichen Co/Pt-Supergittern 14a und einige zehn bis hundert Angström dicken Pd-Dünnfilmen 14b zusammengesetzt ist, die abwechselnd aufgebracht werden, wie in FIG. 3 gezeigt. Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 15 ist als ausgedehnte Fläche ausgebildet und auf ein Magnettrommel-Kernmaterial 11 aufgewickelt.
Die Dicke dCo einer Co-Schicht, die das künstliche Co/Pt-Supergitter 14a bildet, liegt im Bereich von 0,1 nm (1 Angström) bis 1,5 nm (15 Angström) einschließlich, die Dicke dPt einer Pt-Schicht, die das künstliche Co/Pt-Supergitter 14a bildet, liegt im Bereich von 0,2 nm (2 Angström) bis 3 nm (30 Angström) einschließlich, und die Dicke DPd des Pd-Dünnfilms 14b liegt im Bereich von 1 nm (10 Angström) bis 100 nm (1.000 Angström) einschließlich.
Als nächstes werden die Ergebnisse einer Schätzung der magnetischen Kennwerte des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers 15 beschrieben. Bei dieser Schätzung wird ein Mehrschicht-Film 14 mit der folgenden Anordnung verwendet: das künstliche Co/Pt-Supergitter 14a, dessen Dicke D&sub1; 15 nm (150 Angström) ist, wird durch periodisches, abwechselndes Aufbringen von Co-Schichten, deren Dicke dCo 0,2 nm (2 Angström) ist, und Pt-Schichten gebildet, deren Dicke dPt 0,5 nm (5 Angström) ist; der Pd-Dünnfilm 14b wird so aufgebracht, daß seine Dicke DPd 15 nm (150 Angström) wird.
Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 15 wurde geschätzt: die Restflußdichte war mehr als 1.000 Gauß, was eine ausreichende Magnetkraft zum Anziehen von magnetischen Tonern bot; die Curie-Temperatur war niedrig, kleiner als 200 ºC; und die Koerzitivfeldstärke war ungefähr 3000 Oe.
FIG. 9A und 9B sind Diagramme, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der dritten Ausführungsform darstellen: FIG. 9A zeigt eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pt-Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird; und FIG. 9B stellt eine Kerr-Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der dritten Ausführungsform dar, der aus dem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pt-Supergitters und dem Pd-Dünnfilm zusammengesetzt ist. Diese Figuren zeigen, daß die Koerzitivfeldstärke in der dritten Ausführungsform sehr vergrößert ist.
Zwei andere Schätzungen lieferten ähnliche Ergebnisse. Bei diesen Schätzungen wurden ein erster thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 15 mit den Werten dCo = 0,1 nm (1 Angström), dPt = 0,2 nm (2 Angström) und DPd = 1 nm (10 Angström) und ein zweiter thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 15 mit den Werten dCo = 1,5 nm (15 Angström), dPt = 3 nm (30 Angström) und DPd = 100 nm (1.000 Angström) verwendet.

VIERTE AUSFÜHRUNGSFORM

FIG. 10A und 10B sind Ansichten, die einen thermomagnetischen Aufzeichnungsträger einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen: FIG. 10A ist eine Querschnittsansicht des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers, und FIG. 10B ist eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger.
In FIG. 10A und 10B ist ein thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 17 durch Aufbringen eines Vertikalmagnetisierungsfilms auf ein frei biegbares, einige zehn bis hundert Mikrometer dickes Substrat 8 aus rostfreiem Stahl unter Verwendung eines RF(Radiofrequenz)-Sputterverfahrens gebildet. Der Vertikalmagnetisierungsfilm ist ein einige hundert Mikrometer dicker Mehrschicht-Film 16, der aus ein paar hundert Angström dicken künstlichen Co/Pd-Supergittern 16a und einige zehn bis hundert Angström dicken Pt-Dünnfilmen 16b zusammengesetzt ist, die abwechselnd aufgebracht werden, wie in FIG. 3 gezeigt. Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 17 ist als ausgedehnte Fläche ausgebildet und auf ein Magnettrommel-Kernmaterial 11 aufgewickelt.
Die Dicke dCo einer Co-Schicht, die das künstliche Co/Pt-Supergitter 16a bildet, liegt im Bereich von 0,1 nm (1 Angström) bis 1,5 nm (15 Angström) einschließlich, die Dicke dPd einer Pd-Schicht, die das künstliche Co/Pd-Supergitter 16a bildet, liegt im Bereich von 0,2 nm (2 Angström) bis 3 nm (30 Angström) einschließlich, und die Dicke DPt des Pt-Dünnfilms 16b liegt im Bereich von 1 nm (10 Angström) bis 100 nm (1.000 Angström) einschließlich.
Als nächstes werden die Ergebnisse einer Schätzung der magnetischen Kennwerte des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers 17 beschrieben. Bei dieser Schätzung wird ein Mehrschicht-Film 16 mit der folgenden Anordnung verwendet: das künstliche Co/Pd-Supergitter 16a, dessen Dicke D&sub1; 15 nm (150 Angström) ist, wird durch periodisches, abwechselndes Aufbringen von Co-Schichten, deren Dicke dCo 0,2 nm (2 Angström) ist, und Pd-Schichten gebildet, deren Dicke dPd 0,5 nm (5 Angström) ist; der Pt-Dünnfilm 16b wird so aufgebracht, daß seine Dicke DPt 15 nm (150 Angström) wird.
Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 17 wurde geschätzt: die Restflußdichte war mehr als 1.000 Gauß, was eine ausreichende Magnetkraft zum Anziehen von magnetischen Tonern bot; die Curie-Temperatur war niedrig, kleiner als 200 ºC; und die Koerzitivfeldstärke war ungefähr 3000 Oe.
FIG. 11A und 11B sind Diagramme, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der vierten Ausführungsform darstellen: FIG. 11A zeigt eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms, der durch Aufbringen. eines künstlichen Co/Pd- Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird; und FIG. 11B stellt eine Kerr- Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der vierten Ausführungsform dar, der aus dem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pd-Supergitters und dem Pt- Dünnfilm zusammengesetzt ist. Diese Figuren zeigen, daß die Koerzitivfeldstärke in der vierten Ausführungsform sehr vergrößert ist.
Zwei andere Schätzungen lieferten ähnliche Ergebnisse. Bei diesen Schätzungen wurden ein erster thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 17 mit den Werten dCo = 0,1 nm (1 Angström), dPd = 0,2 nm (2 Angström) und DPt = 1 nm (10 Angström) und ein zweiter thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 17 mit den Werten dCo = 1,5 nm (15 Angström), dPd = 3 nm (30 Angström) und DPt = 100 nm (1.000 Angström) verwendet.

FÜNFTE AUSFÜHRUNGSFORM

FIG. 12A und 12B sind Ansichten, die einen thermomagnetischen Aufzeichnungsträger einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen: FIG. 12A ist eine Querschnittsansicht des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers, und FIG. 12B ist eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger.
In FIG. 12A und 12B ist ein thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 19 durch Aufbringen eines Vertikalmagnetisierungsfilms auf ein frei biegbares, einige zehn bis hundert Mikrometer dickes Substrat 8 aus rostfreiem Stahl unter Verwendung eines RF(Radiofrequenz)-Sputterverfahrens gebildet. Der Vertikalmagnetisierungsfilm ist ein einige hundert Mikrometer dicker Mehrschicht-Film 18, der aus ein paar hundert Angström dicken künstlichen Co/Pt-Supergittern 18a und einige zehn bis hundert Angström dicken Co-Dünnfilmen 18b zusammengesetzt ist, die abwechselnd aufgebracht werden, wie in FIG. 3 gezeigt. Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 19 ist als ausgedehnte Fläche ausgebildet und auf ein Magnettrommel-Kernmaterial 11 aufgewickelt.
FIG. 13 ist eine Querschnittsansicht des Mehrschicht-Films 18. In der Figur liegen die Dicke dCo einer Co-Schicht, die das künstliche Co/Pt-Supergitter 18a bildet, im Bereich von 0,1 nm (1 Angström) bis 1,5 nm (15 Angström) einschließlich, die Dicke dPt einer Pt-Schicht, die das künstliche Co/Pt-Supergitter 18a bildet, im Bereich von 0,2 nm (2 Angström) bis 3 nm (30 Angström) einschließlich, und die Dicke DCo des Co-Dünnfilms 18b im Bereich von 1 nm (10 Angström) bis 100 nm (1.000 Angström) einschließlich.
Als nächstes werden die Ergebnisse einer Schätzung der magnetischen Kennwerte des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers 19 beschrieben. Bei dieser Schätzung wird ein Mehrschicht-Film 18 mit der folgenden Anordnung verwendet: das künstliche Co/Pt-Supergitter 18a, dessen Dicke D&sub1; 15 nm (150 Angström) ist, wird durch periodisches, abwechselndes Aufbringen von Co-Schichten, deren Dicke dCo 0,5 nm (5 Angström) ist, und Pt-Schichten gebildet, deren Dicke dPt 1,5 nm (15 Angström) ist; der Co-Dünnfilm 18b wird so aufgebracht, daß seine Dicke DCo 10 nm (100 Angström) wird.
Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 19 wurde geschätzt: die Koerzitivfeldstärke war ungefähr 2.000 Oe; die Restflußdichte war ungefähr 1.000 Gauß, was eine ausreichende Magnetkraft zum Anziehen von magnetischen Tonern bot; und die Curie-Temperatur war niedrig, kleiner als 200 ºC.
FIG. 14A und 14B sind Diagramme, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der fünften Ausführungsform darstellen: FIG. 14A zeigt eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pt- Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird; und FIG. 14B stellt eine Kerr Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der fünften Ausführungsform dar, der aus dem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pt-Supergitters und dem Co- Dünnfilm zusammengesetzt ist. Diese Figuren zeigen, daß die Koerzitivfeldstärke in der fünften Ausführungsform sehr vergrößert ist.
Zwei andere Schätzungen lieferten ähnliche Ergebnisse. Bei diesen Schätzungen wurden ein erster thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 19 mit den Werten dCo = 0,1 nm (1 Angström), dPt = 0,2 nm (2 Angström) und DCo = 1 nm (10 Angström) und ein zweiter thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 19 mit den Werten dCo = 1,5 nm (15 Angström), dPt = 3 nm (30 Angström) und DCo = 100 nm (1.000 Angström) verwendet.

SECHSTE AUSFÜHRUNGSFORM

FIG. 15A und 15B sind Ansichten, die einen thermomagnetischen Aufzeichnungsträger einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigen: FIG. 15A ist eine Querschnittsansicht des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers&sub1; und FIG. 15B ist eine Seitenansicht einer Magnettrommel für den Aufzeichnungsträger.
In FIG. 15A und 15B ist ein thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 21 durch Aufbringen eines Vertikalmagnetisierungsfilms auf ein frei biegbares, einige zehn bis hundert Mikrometer dickes Substrat 8 aus rostfreiem Stahl unter Verwendung eines RF(Radiofrequenz)-Sputterverfahrens gebildet. Der Vertikalmagnetisierungsfilm ist ein einige hundert Mikrometer dicker Mehrschicht-Film 20, der aus ein paar hundert Angström dicken künstlichen Co/Pd-Supergittern 20a und einige zehn bis hundert Angström dicken Co-Dünnfilmen 20b zusammengesetzt ist, die abwechselnd aufgebracht werden, wie in FIG. 13 gezeigt. Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 21 ist als ausgedehnte Fläche ausgebildet und auf ein Magnettrommel-Kernmaterial 11 aufgewickelt.
Die Dicke dCo einer Co-Schicht, die das künstliche Co/Pd-Supergitter 20a bildet, liegt im Bereich von 0,1 nm (1 Angström) bis 1,5 nm (15 Angström) einschließlich, die Dicke dPd einer Pd-Schicht, die das künstliche Co/Pd-Supergitter 20a bildet, liegt im Bereich von 0,2 nm (2 Angström) bis 3 nm (30 Angström) einschließlich, und die Dicke DCo des Co-Dünnfilms 20b liegt im Bereich von 1 nm (10 Angström) bis 100 nm (1.000 Angström) einschließlich.
Als nächstes werden die Ergebnisse einer Schätzung der magnetischen Kennwerte des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers 21 beschrieben. Bei dieser Schätzung wird ein Mehrschicht-Film 20 mit der folgenden Anordnung verwendet: das künstliche Co/Pd-Supergitter 20a, dessen Dicke D&sub1; 15 nm (150 Angström) ist, wird durch periodisches, abwechselndes Aufbringen von Co-Schichten, deren Dicke dCo 0,5 nm (5 Angström) ist, und Pd-Schichten gebildet, deren Dicke dPd 1,5 nm (15 Angström) ist; der Co-Dünnfilm 20b wird so aufgebracht, daß seine Dicke DCo 10 nm (100 Angström) wird.
Der thermomagnetische Aufzeichnungsträger 21 wurde geschätzt: die Koerzitivfeldstärke war ungefähr 2.000 Oe; die Restflußdichte war ungefähr 1.000 Gauß, was eine ausreichende Magnetkraft zum Anziehen von magnetischen Tonern bot; und die Curie-Temperatur war niedrig, kleiner als 200 ºC.
FIG. 16A und 16B sind Diagramme, die vergleichsweise die Kerr-Schleifen der vierten Ausführungsform darstellen: FIG. 16A zeigt eine Kerr-Schleife eines Vertikalmagnetisierungsfilms, der durch Aufbringen eines künstlichen Co/Pd- Supergitters auf rostfreien Stahl gebildet wird; und FIG. 16B stellt eine Kerr- Schleife des Vertikalmagnetisierungsfilms der sechsten Ausführungsform dar, der aus dem Mehrschicht-Film des künstlichen Co/Pd-Supergitters und dem Co- Dünnfilm zusammengesetzt ist. Diese Figuren zeigen, daß die Koerzitivfeldstärke in der sechsten Ausführungsform sehr vergrößert ist.
Zwei andere Schätzungen lieferten ähnliche Ergebnisse. Bei diesen Schätzungen wurden ein erster thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 21 mit den Werten dCo = 0,1 nm (1 Angström), dPd = 0,2 nm (2 Angström) und DCo = 1 nm (10 Angström) und ein zweiter thermomagnetischer Aufzeichnungsträger 21 mit den Werten dCo = 1,5 nm (15 Angström), dPd = 3 nm (30 Angström) und DCo = 100 nm (1.000 Angström) verwendet.
Wenn ein künstliches Co/Pt- oder Co/Pd-Supergitter mit den Werten dCo = 0,2 nm (2 Angström) und dPt = 0,5 nm (5 Angström) oder dPd = 0,5 nm (5 Angström) in Verbindung mit einem Pt- oder Pd-Dünnfilm mit dem Wert DPt < 1 nm (10 Angström) oder DPd < 1 nm (10 Angström) als der thermomagnetische Aufzeichnungsträger verwendet wird, ist seine Koerzitivfeldstärke kleiner als 1.000 Oe, ist das Rechteckigkeitsverhältnis der Magnetisierungs-Hysteresekurve kleiner als harmonisch und ist die Restflußdichte gering.
Außerdem liefert ein thermomagnetischer Aufzeichnungsträger mit einem Mehrschicht-Film mit dem Wert DPt > 100 nm (1.000 Angström) oder DPd > 100 nm (1.000 Angström) eine geringe Koerzitivfeldstärke und Restflußdichte. Dieser Aufzeichnungsträger kann daher nicht vorzugsweise als thermomagnetischer Aufzeichnungsträger für thermomagnetische Drucker verwendet werden.
Wenn ferner ein Pt- oder Pd-Dünnfilm mit dem Wert DPt = 15 nm (150 Angström) oder DPd = 15 nm (150 Angström) in Verbindung mit einem künstlichen Co/Pt- oder Co/Pd-Supergitter mit den Werten dCo < 0,1 nm (1 Angström) und dPt < 0,2 nm (2 Angström) oder dPd < 0,2 nm (2 Angström) als der Mehrschicht-Film des thermomagnetischen Aufzeichnungsträgers verwendet wird, sind die Koerzitivfeldstärke und die Restflußdichte gering.
Außerdem liefert ein thermomagnetischer Aufzeichnungsträger, der einen Mehrschicht-Film mit einem künstlichen Co/Pt- oder Co/Pd-Supergitter mit den Werten dCo > 1,5 nm (15 Angström) und dPt > 3 nm (30 Angström) oder dPd > 3 nm (30 Angström) enthält, eine geringe Koerzitivfeldstärke und Restflußdichte. Dieser Aufzeichnungsträger kann daher nicht vorzugsweise als thermomagnetischer Aufzeichnungsträger für thermomagnetische Drucker verwendet werden.
Die vorliegende Erfindung wurde zwar unter Bezugnahme auf die einzelnen beispielhaften Ausführungsformen beschrieben, sie wird aber nicht durch diese Ausführungsformen beschränkt. Man erkennt, daß der Fachmann die Ausführungsformen ändern oder modifizieren kann, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Beispielsweise wird zwar in den obigen Ausführungsformen als Substrat der magnetischen Aufzeichnungsträger das Substrat 8 aus rostfreiem Stahl verwendet, man kann aber auch ein nichtmagnetisches Polyimidharz- Substrat verwenden.
Ferner wurden in den obigen Beispielen die magnetischen Aufzeichnungsträger zwar für thermomagnetische Drucker verwendet, sie können aber auch für andere Aufzeichnungsvorrichtungen verwendet werden, die eine Aufzeichnung unter Verwendung von Wärme- oder Lichtstrahlung durchführen. Außerdem waren zwar die Vertikalmagnetisierungsfilme einige hundert Mikrometer dick und war das Substrat 8 aus rostfreiem Stahl einige zehn bis hundert Mikrometer dick, deren Dicke kann aber je nach deren Anwendung geändert werden.

Claims

1. Magnetischer Aufzeichnungsträger mit einem Substrat (8) und einem Film für vertikale Magnetisierung (9, 14, 18), der auf das Substrat aufgebracht ist,

dadurch gekennzeichnet, daß

der Film für vertikale Magnetisierung (9, 14, 18) aus einer Vielzahl von künstlichen Supergittern (9a, 14a, 18a) und einer Vielzahl von metallischen Dünnfilmen (9b, 14b, 18b) zusammengesetzt ist,

der Film für vertikale Magnetisierung (9, 14, 18) durch abwechselndes und periodisches Aufbringen eines künstlichen Supergitters (9a, 14a, 18a) und eines metallischen Dünnfilms (9b, 14b, 18b) aufeinander gebildet ist,

jedes aus der Vielzahl von künstlichen Supergittern (9a, 14a, 18a) ein künstliches Co/Pt-Supergitter ist, das durch abwechselndes und periodisches Aufbringen einer Co-Schicht und einer Pt-Schicht aufeinander gebildet ist, und

der metallische Dünnfilm (9b, 14b, 18b) ein solcher ist, der aus einer Gruppe ausgewählt ist, die aus einem Pt- einem Pd- und einem Co-Dünnfilm besteht,

wobei die Dicke jeder Co-Schicht des künstlichen Supergitters (9a, 14a, 18a) im Bereich von 0,1 nm bis 1,5 nm einschließlich liegt und die Dicke jeder Pt-Schicht des künstlichen Supergitters (9a, 14a, 18a) im Bereich von 0,2 nm bis 3 nm einschließlich liegt, und

wobei jeder metallische Dünnfilm (9b, 14b, 18b) dicker als jede Co-Schicht des künstlichen Supergitters (9a, 14a, 18a) ist und dicker als jede Pt-Schicht des künstlichen Supergitters (9a, 14a, 18a) ist.

2. Magnetischer Aufzeichnungsträger gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke jedes metallischen Dünnfilms (9b, 14b, 18b) im Bereich von 1 nm bis 100 nm einschließlich liegt.

3. Magnetischer Aufzeichnungsträger gemäß Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der metallische Dünnfilm (9b, 14b, 18b) ein Pt-Dünnfilm ist, dessen Dicke im Bereich von 15 nm bis 100 nm einschließlich liegt, oder ein Pd-Dünnfilm ist, dessen Dicke im Bereich von 15 nm bis 100 nm einschließlich liegt, oder ein Co-Dünnfilm ist, dessen Dicke im Bereich von 10 nm bis 100 nm einschließlich liegt.

4. Magnetischer Aufzeichnungsträger mit einem Substrat (8) und einem Film für vertikale Magnetisierung (12, 16, 20), der auf das Substrat aufgebracht ist,

dadurch gekennzeichnet, daß

der Film für vertikale Magnetisierung (12, 16, 20) aus einer Vielzahl von künstlichen Supergittern (12a, 16a, 20a) und einer Vielzahl von metallischen Dünnfilmen zusammengesetzt ist,

der Film für vertikale Magnetisierung (12, 16, 20) durch abwechselndes und periodisches Aufbringen eines künstlichen Supergitters (12a, 16a, 20a) und eines metallischen Dünnfilms (12b, 16b, 20b) aufeinander gebildet ist, jedes aus der Vielzahl von künstlichen Supergittern (12a, 16a, 20a) ein künstliches Co/Pd-Supergitter ist, das durch abwechselndes und periodisches Aufbringen einer Co-Schicht und einer Pd-Schicht aufeinander gebildet ist, und der metallische Dünnfilm (12b, 16b, 20b) ein solcher ist, der aus einer Gruppe ausgewählt ist, die aus einem Pt- einem Pd- und einem Co-Dünnfilm besteht, wobei die Dicke jeder Co-Schicht des künstlichen Supergitters (12a, 16a, 20a) im Bereich von 0,1 nm bis 1,5 nm einschließlich liegt und die Dicke jeder Pd-Schicht des künstlichen Supergitters (12a, 16a, 20a) im Bereich von 0,2 nm bis 3 nm einschließlich liegt, und

wobei jeder metallische Dünnfilm (12b, 16b, 20b) dicker als jede Co-Schicht des künstlichen Supergitters (12a, 16a, 20a) ist und dicker als jede Pd-Schicht des künstlichen Supergitters (12a, 16a, 20a) ist.

5. Magnetischer Aufzeichnungsträger gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke jedes metallischen Dünnfilms (12b, 16b, 20b) im Bereich von 1 nm bis 100 nm einschließlich liegt.

6. Magnetischer Aufzeichnungsträger gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der metallische Dünnfilm (12b, 16b, 20b) ein Pt-Dünnfilm ist, dessen Dicke im Bereich von 15 nm bis 100 nm einschließlich liegt, oder ein Pd- Dünnfilm ist, dessen Dicke im Bereich von 15 nm bis 100 nm einschließlich liegt, oder ein Co-Dünnfilm ist, dessen Dicke im Bereich von 10 nm bis 100 nm einschließlich liegt.