DE3810269A1

DE3810269A1 - Magnetisches aufzeichnungsmedium

Info

Publication number: DE3810269A1
Application number: DE3810269A
Authority: DE
Inventors: Kenji Yazawa
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1987-03-25
Filing date: 1988-03-25
Publication date: 1988-10-06
Also published as: US4939046A; GB8806932D0; GB2202866B; FR2613110B1; GB2202866A; KR880011738A; FR2613110A1; JPS63237210A

Description

Gegenstand der Erfindung ist ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, bei dem eine ferromagnetische Schicht, die im wesentlichen aus Co, Ni, Fe oder eine Legierung davon besteht, als Magnetschicht benutzt wird.

Es ist auf dem Gebiet der magnetischen Aufzeichnung wichtig, die Schreibdichte zu verbessern: daher wird angestrebt, anstelle des herkömmlichen, beschichteten magnetischen Aufzeichnungsmediums ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit einer ferromagnetischen Schicht als Magnetschicht (nachfolgend als magnetisches Aufzeichnungsmedium des Dünnschichttyps bezeichnet) zu verwenden.

Das magnetische Aufzeichnungsmedium des Dünnschichttyps wird durch Aufbringen eines ferromagnetischen Metallmaterials wie Co-Ni durch physikalische Dampfabscheidung wie das Aufdampfungsverfahren im Vakuum in Form einer dünnen Schicht auf das Substrat unter Bildung der Magnetschicht hergestellt. Da in diesem anders als bei magnetischen Aufzeichnungsmedien des Beschichtungstyps kein hochmolekulares Bindemittel benötigt wird, wird eine hohe Restmagnetflußdichte erhalten, während die hohe Ausgangsleistung und das überlegene Ansprechverhalten auf kurze Wellenlängen aufgrund einer außergewöhnlich dünnen Schichtdicke der ferromagnetischen Schicht erreicht werden kann.

Es sei herausgestellt, daß es bei dem oben beschriebenen magnetischen Auzeichnungsmedium des Dünnschichttyps schwierig ist, die Koerzitivkraft durch einfaches Aufdampfen des ferromagnetischen Metallmaterials, wie Co-Ni, auf das nicht-magnetische Substrat zu erreichen, so daß es üblich ist, die ferromagnetische Schicht durch Schrägbedampfung zu bilden, wobei jedoch die niedrigere Aufdampfungswirkdamkeit in diesem Fall hinsichtlich der Produktivität nicht wünschenswert ist.

Im Falle eines scheibenförmigen magnetischen Aufzeichnungsmediums, das als Aufzeichnungsmedium für Computer in starkem Maße benutzt wird, treten Schwierigkeiten in den Ausrichtungseigenschaften auf, die durch die oben erwähnte Schrägbedampfung verursacht werden. Diese Ausrichtungseigenschaften sind in gewissem Grade bei einem länglichen magnetischen Aufzeichnungsmedium wie Magnetbändern annehmbar; bei den scheibenförmigen ferromagnetischen Aufzeichnungsmedien führen die Ausrichtungseigenschaften jedoch zu erhöhter Modulation in der Hüllkurvenform des Ausgangssignals.

Die Anmelderin hat in der offengelegten japanischen Patentanmeldung No. 2 04 831/1986 ein magnetisches Aufzeichnungsmedium vorgeschlagen, bei dem zunächst eine Schicht aus einem niedrigschmelzenden Metall (nicht-magnetisches Metall) abgeschieden und dann das ferromagnetische Metallmaterial in Form einer Schicht aus im wesentlichen senkrechter Richtung durch Vakuumaufdampfung abgeschieden wird. Dieses magnetische Aufzeichnungsmedium zeigt überlegene Eigenschaften bezüglich des Aufdamfpungswirkungsgrades und Ausrichtungseigenschaften wie auch der geforderten Koerzitivkraft.

Es ist unnötig zu sagen, daß ein stärkeres Rechteckverhalten der Hystereseschleife für magnetische Aufzeichnungsmedien gefordert wird, die auf dem Gebiet der digitalen magnetischen Aufzeichnungstechnologie zum Beispiel der Datenaufzeichnung Verwendung finden. Dies bedeutet, daß die Verteilung der Koerzitivkraft einheitlich sein muß. Es ist ohne weiteres ersichtlich, daß die Mehrzahl der Bemühungen zur Entwicklung des magnetischen Aufzeichnungsmediums sich in Richtung auf die Verbesserung dieser Eigenschaften bewegt.

Von diesem Standpunkt aus läßt das obengenannte magnetische Aufzeichnungsmedium zu wünschen übrig, so daß eine weitere Verbesserung angestrebt wird.

Die Aufgabe der vorliegendenn Erfindung besteht nun darin, ein magnetisches Aufzeichnungsmedium anzugeben, das eine hervorragende Koerzitivkraftverteilung und ein überlegenes Rechteckverhalten der Hystereseschleife aufweist.

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des magnetischen Aufzeichnungsmediums gemäß Anspruch 1 gelöst. Die Unteransprüche betreffen besonders bevorzugte Ausführungsformen dieses Erfindungsgegenstandes.

Es hat sich bei der Entwicklung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums mit überlegener Koerzitivkraftverteilung gezeigt, daß der Verteilungszustand der nicht-magnetischen Metalle in der ferromagnetischen Schicht entscheidend ist. Die Erfindung beruht auf der Grundlage dieser Erkenntnis und ist dadurch gekennzeichnet, daß das nicht-magnetische Metall und/oder das nicht-magnetische Metalloxid derart in der auf dem Substrat gebildeten ferromagnetischen Schicht verteilt werden, daß die Konzentrationsverteilung in der Dickenrichtung der Schicht im wesentlichen einheitlich oder gleichmäßig ist.

Erfindungsgemäß ist das nichtmetallische Metall derart in die ferromagnetische Schicht diffundiert, daß es eine im wesentlichen einheitliche Konzentrationsverteilung in der Dickenrichtung der Schicht aufweist, so daß auch die Koerzitivkraftverteilung der Schicht verringert wird und ein magnetisches Aufzeichnungsmedium erhalten wird, das sich in den elektromagnetischen Wandlereigenschaften und magnetischen Eigenschaften und vor allem im Rechteckigkeitsverhältnis als hervorragend erweist.

Die Erfindung sei im folgenden näher unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen erläutert.

In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine charakteristische Kurvendarstellung, die die Konzentrationsverteilung in der Dickenrichtung der ferromagnetischen Schicht des Beispiels widergibt, die durch Auger-Analyse gemessen worden ist.

Fig. 2 eine charakteristische Kurvendarstellung, die eine Magnetisierungskurve zeigt, anhand derer die gemessenen magnetischen Eigenschaften erläutert werden; und

Fig. 3 eine schematische Ansicht, die die Schichtstruktur der ferromagnetischen Schicht des Beispiels darstellt.

Erfindungsgemäß kann als ferromagnetisches Metallmaterial, das die ferromagnetische Schicht der Magnetschicht ausmacht, irgendein Material, welches üblicherweise für solche Aufzeichnungsmedien verwendet wird, eingesetzt werden, eingeschlossene Metalle wie Fe, Co oder Ni, Co-Ni-Legierungen, Fe-Co-Legierungen, Fe-Co-Ni-Legierungen, Fe-Co-B-Legierungen oder Co-Ni-Fe-B-Legierungen, die auch mit anderen Metallelementen wie Cr, Al, Pt, Ta, W oder V vermischt werden können.

Als nicht-magnetische Metalle, die in die oben genannte ferromagnetische Schicht eindiffundiert werden, können Bi, Sb, Pb, Sn, Ga, In, Cd, Ge, Si und Tl eingesetzt werden.

Erfindungsgemäß sind die oben erwähnten nicht-magnetischen Metalle und/oder Oxide dieser nicht-magnetischen Metalle in einer Konzentrationsverteilung, die in der Dickenrichtung der Schicht einheitlich ist, in die oben genannte ferromagnetische Schicht diffundiert. Obwohl die Konzentrationsverteilung einheitlich sein soll, liegen diese nicht-magnetischen Metalle nicht als feste Lösung in der ferromagnetischen Schicht vor, sondern das nichtmagnetische Metall ist in ungleichmäßiger Verteilung in den Korngrenzen z. B. der Co-Ni-Kristallkörner vorhanden, so daß die Konzentrationsverteilung als Ganzes in der Dickenrichtung der Schicht grundsätzlich einheitlich ist. Die Größe der Kristallkörner (sog. Korngröße) des ferromagnetischen Metallmaterials, das die ferromagnetische Schicht ausmacht, liegt vorzugsweise in dem Bereich von einigen nm bis 20 nm (einige 10Å bis 200Å). Bei zu großer Korngröße kann das Kristallkorn eine Vielzahl von magnetischen Domänen oder Bereichen aufweisen, die zu einer erhöhten magnetischen Wechselwirkung und einer Verringerten Koerzitivkraft führen.

Zur Erzeugung der oben genannten Schichtstruktur, wird zunächst die Grundschicht aus dem nicht-magnetischen Metall hergestellt, wonach die ferromagnetische Schicht durch Sputtern auf dieser Grundschicht abgeschieden wird. Die Schichtdicke der ferromagnetischen Schicht liegt in der Praxis im Bereich von etwa 10 bis 300 nm (100 bis 3000 Å), und bevorzugt im Bereich von 40 bis 100 nm (400 bis 1000 Å).

Während des Sputterns der ferromagnetischen Schicht kann durch Einstellen der Sputterbedingungen eine optimale Verteilung der Koerzitivkraft erreicht werden, wobei die elektromagnetische Wandlereigenschaften deutlich besser als jene sind, die durch Aufdampfen erreicht werden.

Beispielsweise liegt die Substrattemperatur während des Sputterns vorzugsweise nicht niedriger als 150°C. Bei einer Temperatur von nicht mehr als 150°C tritt die vorgeschriebene Diffusion nicht ein, so daß die magnetischen Eigenschaften der erzeugten ferromagnetischen Schicht sich verschlechtern. Vor allem ist es schwierig, die Koerzitivkraft zu erzeugen.

Die beim Sputtern angewandte Leistung liegt vorzugsweise nicht niedriger als 1000 W/62,5 cm². Bei einer Leistung von nicht weniger als 1000 W/62,5 cm² wird die oben genannte Schichtstruktur gebildet. Beträgt dagegen die Leistung weniger als 1000 W/62,5 cm², besitzen die gesputterten Teilchen eine verringerte Energie, so daß keine ausreichende Diffusion erfolgt, sondern sich die Konzentration des nicht-magnetischen Metalls an der Substratseite erhöht, so daß die Konzentration des nicht-magnetischen Metalls an der Substratseite erhöht, so daß es erneut schwierig wird, die angestrebten magnetischen Eigenschaften zu erreichen.

Der Druck beim Sputtern (Ar Gasdruck) ist nur dann ausreichend, wenn er das übliche Sputtern erlaubt, und wird gewöhnlicherweise derart eingestellt, daß er nicht höher als 1 × 10^-2 Pa liegt. Der Wert des Druckes zum Sputtern variiert geringfügig in Abhängigkeit von dem verwendeten Sputtersystem. Beispielsweise wird der Druck beim RF-Sputtern bzw. beim DC-Sputtern auf etwa 10^-2 bis 10^-1 Pa bzw. 10^-1 bis 1 Pa eingestellt.

Die Grundschicht aus dem nicht-magnetischen Metall besitzt eine Dicke von etwa 4 bis 10 nm (40 bis 100 Å), was von dem verwendeten Verfahren wie Sputtern oder Vakuumaufdampfen abhängt, von welchen Verfahren das Sputtern bevorzugt ist.

Wenn das Vakuum der Vorrichtung nach der Abscheidung des nicht-magnetischen Metalls aufgehoben wird, oxidiert die Oberfläche der nicht-magnetischen Metallschicht, wodurch das Fortschreiten der Diffusion unterdrückt wird. Daher wird das Ausmaß des Vakuums vorzugsweise so lange aufrechterhalten, bis die ferromagnetische Schicht abgeschieden ist.

Erfindungsgemäß diffundiert das nicht-magnetische Metall in die ferromagnetische Schicht und es wird eine Schichtstruktur erzeugt, in der das nicht- magnetische Metall ungleichmäßig an den Korngrenzen der Co-Ni-Kristallkörner vorhanden ist. In diesem Falle wird es vorgezogen, daß die Grundschicht des nicht-magnetischen Metalls vollständig diffundiert ist, wobei jedoch die Grundschicht auch in geringem Ausmaß zurückbleiben kann. Der Verteilungszustand des nicht-magnetischen Metalls in der Ebene ist vorzugsweise im wesentlichen einheitlich, jedoch ist dies nicht zwingend.

Zur Erzeugung der Schichtstruktur kann man neben dem oben genannten Verfahren des Sputterns der ferromagnetischen Schicht auf die als Grundschicht vorliegende nicht-magnetische Metallschicht auch ein Verfahren anwenden, bei dem das nicht-magnetische Metall und das ferromagnetische Metallmaterial gleichzeitig gesputtert oder aufgedampft werden. Jedoch werden in diesem Fall das nicht-magnetische Metall (wie Bi) und das ferromagnetische Metall (wie Co-Ni) einfach zusammengemischt, so daß es magnetisch schwierig wird, die Koerzitivkraft zu erreichen.

Obwohl die vorliegende Erfindung für alle Arten von magnetischen Aufzeichnungsmedien, wie bandförmige oder scheibenförmige Medien geeignet ist, ist die Wirkung bei scheibenförmigen magnetischen Aufzeichnungsmedien am größten.

Als nicht-magnetisches Substrat, auf das die ferromagnetische Schicht mit der Schichtstruktur aufgebracht wird, kann man elastische hochpolymere Substrate, wie Polyethylentherephthalat, Polyethylennaphthalat, aromatische Polyamid- oder Polyimid-Harze und starre Substrate wie solche aus Silizium, Glas oder Leichtmetalle, wie Aluminium und seine Legierungen verwenden. Für starre Substrate, die als sogenannte Festplatten Anwendung finden, ist es bevorzugt, daß sie sehr kleine Vorsprünge oder Vertiefungen auf der Oberfläche aufweisen. Z. B. bei Anwendung eines Substrates mit auf der Oberfläche vorliegenden Vertiefungen mit einem Durchmesser von etwa 0,1 µm oder weniger und einer Tiefe von 0,03 µm, wie Chromat-Aluminiumsulfat-Substraten, wird die ferromagnetische Schicht magnetisch durch die feine Oberflächenstruktur zerrieben, woraus sich ein höheres Signal/Rausch-Verhältnis (S/R-Verhältnis) ergibt.

Es ist festzuhalten, daß das magnetische Aufzeichnungsmedium der Erfindung im wesentlichen aus dem oben genannten Substrat und der ferromagnetischen Schicht aufgebaut ist, wobei es aber möglich ist, gewünschtenfalls eine übliche Rückseitenschicht, Grundschicht oder Deckschicht, Gleitmittel oder rostverhindernde Mittel eingeschlossen, vorzusehen, wie es die Umstände erfordern. Wenn die Platte eine Festplatte sein soll, kann eine harte Schutzschicht z. B. eine kohlenstoffhaltige Schutzschicht vorgesehen werden.

Der gesamte Vorgang verläuft folgendermaßen. Wenn die ferromagnetische Schicht (wie eine Co-Ni-Schicht) auf die Grundschicht aus nicht-magnetischem Metall (wie Bi) aufgesputtert wird, wird eine hohe Substrattemperatur angewandt, so daß die Bi-Schicht beweglich ist, und die Bi-Atome in die Co-Ni-Schicht diffundieren. Aufgrund der erhöhten Größe der Bi-Atome erfolgt die Diffusion durch das Co-Ni-Gitter über Schichtfehler, wie die strukturell schwachen Bereiche, namentlich die Korngrenzen.

Daher liegt Bi ungleichmäßig in den Kristallkorngrenzen der Co-Ni-Schicht vor. Einfach gesagt, dringen die diffundierten Bi-Atome in die Gefügefehler der Co-Ni-Schicht ein, so daß die Co-Ni-Schicht zu feinen Kristallkörnern zerkleinert wird.

Als Ergebnis sind vom Standpunkt des Magnetismus aus die ferromagnetischen Co-Ni-Körner durch das nicht-magnetische Bi verkleinert, so daß sie eine schwächere magnetische Wechselwirkung aufweisen, wobei sie als feine Partikel schwache Wechselwirkung zwischen den Partikeln zeigen. Auch die Co-Ni-Kristallkörner werden zu einzelnen magnetischen Domänen oder Bereichen zerkleinert, so daß die Koerzitivkraft vermutlich erhöht wird.

Wenn dagegen die ferromagnetische Schicht und das nicht-magnetische Metall gleichzeitig aufgedampft oder gesputtert werden, ist die Konzentrationsverteilung von Bi und Co-Ni ab der Erzeugung der Schicht einheitlich. Daher liegen keine Bedingungen für die Di-Diffusion vor, da die Konzentration und Hitze gleich sind, so daß die Bi ledigliche mit Co-Ni vermischt wird. Die Co-Ni-Kristallkörner sind Partikel mit vielfachen magnetischen Domänen, die größer als die Teilchen mit einer einzelnen magnetischen Domäne sind, so daß die Koerzitivkraft vermindert wird.

Die oben erwähnten und nachfolgenden Ausführungsformen und Vorteile der Erfindung werden in der nachfolgenden Beschreibung anhand des Beispiels und des Vergleichsbeispiels unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen näher erläutert.

Beispiel:

Bei Verwendung eines ringförmig gestalteten, Ni-P-beschichteten Aluminiumsubstrates mit einem äußeren Durchmesser von 95 mm und einem inneren Durchmesser von 25 mm und bei einer Substrattemperatur von 160°C und einem Argongasdruck von 4 × 10^-1 Pa, werden die Bi-Grundschicht, die Co-Ni-Schicht und die kohlenstoffhaltige Schutzschicht in dieser Reihenfolge durch Sputtern erzeugt. Die Schichtdicken der Bi-Grundschicht, der Co-Ni-Schicht und der kohlenstoffhaltigen Schutzschicht betragen 5,5 nm (55 Å), 55 nm (550 Å) bzw. 35 nm (350 Å). Die Zusammensetzung der Co-Ni-Schicht umfaßt 65 Atom% Co und 35 Atome% Ni.

Vergleichsbeispiel:

Unter Verwendung des gleichen Substrates, wie es in dem obigen Beispiel angewandt wurde und einer Substrattemperatur von 160°C werden in einer Vakuumaufdampfungseinrichtung die Bi-Grundschicht, die Co-Ni-Schicht und die kohlenstoffhaltige Schutzschicht in dieser Reihenfolge erzeugt, die Schichtdicken von 5,5 nm (55 Å), 55 nm (550 Å) bzw. 35 nm (350 Å) aufweisen.

Dann wurden die statischen magnetischen Eigenschaften der nach dem Beispiel und dem Vergleichsbeispiel erhaltenen Magnetplatten gemessen. Die gemessenen statischen magnetischen Eigenschaften sind die Koerzitivkraft H _c, das Rechteckigkeitsverhältnis R _s, das Koerzitivkraft-Rechteckigkeits-Verhältnis S*, die Restmagnetisierung m _r und die Sättigungsmagnetisierung m _s. Es ist festzuhalten, daß das Rechteckigkeitsverhältnis R _s und S* durch die folgende Gleichung auf der Grundlage der Werte von H _c, H _A, m _r und m _s, wie in Fig. 2 dargestellt, errechnet wurden.

R _s = m _r/m _s · 10(%) (1)

S* = H _A/H _C · 100(%) (2)

Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 angegeben.

Tabelle I

(Die Werte für die Rest- und Sättigungsmagnetisierung in der Tabelle sind pro Flächeneinheit angegeben.)

Weiterhin wurden die elektromagnetischen Wandlereigenschaften unter folgenden Bedingungen gemessen. Die elektromagnetischen Wandlereigenschaften wurden an dem äußeren Durchmesserbereich (Außendurchmesser: 90 Ø Position) und an dem inneren Durchmesserbereich (Innendurchmesser: 56 Ø Position) gemessen.

Testkopf:Mini-Verbundkopf Spurbreite Tw:18 µm Spaltbreite: 1 µm Kopfabstand: 0,35 µm Geschwindigkeit:10 m/sec

Der aufgezeichnete Strom an dem äußeren Durchmesserbereich beträgt 56 mA_p-p, wohingegen der des inneren Durchmesserbereichs 40 mA_p-p beträgt. Gemäß der Meßmethode, wurde ein Signal bei 1,25 MHz (1F) aufgezeichnet, um die Spuren-Durchschnittsamplitude (TAA) zu finden; anschließend wurde ein Signal bei 2,5 MHz (2F) aufgezeichnet, die Spuren-Durchschnittsamplitude TAA festgestellt und RES mit der folgenden Gleichung berechnet,

RES=2F TAA/1F TAA · 100(%) (3)

Die Ergebnisse sind in Tabelle 2 dargestellt.

Tabelle 2

Aus den Tabellen 1 und 2 wird der Unterschied zwischen den statischen magnetischen und elektromagnetischen Wandlereigenschaften der beiden Arten von Magnetplatten augenscheinlich. Vor allem bei dem Beispiel, bei dem die ferromagnetische Schicht durch das Sputterverfahren abgeschieden wird, sind die elektromagnetischen Wandlereigenschaften (RES) entscheidend verbessert.

Um festzustellen, ob oder ob nicht dieser Unterschied durch den Unterschied in der Schichtstruktur bedingt ist, wurde eine Elementaranalyse durch Auger- Analyse in der Dickenrichtung der Schicht durchgeführt. Dabei zeigte sich, daß die Schichtstruktur, mit der durch das Sputterverfahren abgeschiedenen ferromagnetischen Schicht, eine im wesentlichen konstante Konzentration in der Dickenrichtung der Schicht von Co, Ni und Bi aufweist, wie es in Fig. 1 gezeigt ist. Daher kann angenommen werden, daß die durch das Sputtern erhaltene Schicht eine einheitlichere Zusammensetzung längs der Schichtdickenrichtung aufweist, so daß die Schicht gleichmäßige magnetische Eigenschaften zeigt.

Um die Fälle der isotropen hohen Koerzitivkraft der ferromagnetischen Schicht zu klären, wurde weiterhin die Schichtstruktur durch Beobachtung mittels eines Transmissions-Elektronenmikroskops untersucht. Dabei erwies sich, wie in Fig. 3 gezeigt ist, daß die Schichtstruktur der ferromagnetischen Schicht so beschrieben werden kann, daß nicht-magnetisches amorphes Bi(2) (einschließlich der Oxide) in den Raum zwischen den Co-Ni-Kristallkörner hineindiffundiert ist (1).

Claims

1. Magnetisches Aufzeichnungsmedium, gekennzeichnet durch eine auf einem Substrat ausgebildete ferromagnetische Schicht, in die ein nicht-magnetisches Metall und/oder ein nicht-magnetisches Metalloxid derart eindiffundiert ist, daß die Konzentrationsverteilung in der Dickenrichtung der Schicht im wesentlichen einheitlich ist.

2. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das nicht-magnetische Metall und/oder das nicht-magnetische Metalloxid ungleichmäßig in den Kristallkorngrenzen der ferromagnetischen Schicht verteilt ist.

3. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ferromagnetische Schicht durch Sputtern auf die Grundschicht aus dem nicht-magnetischen Metall gebildet ist.

4. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die während des Sputterns angewandte Substrattemperatur nicht niedriger als 150°C liegt.

5. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die ferromagnetische Schicht mindestens einen Vertreter der Elemente Kobalt, Nickel und Eisen enthält.

6. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das nicht-magnetische Metall mindestens eines der Elemente Wismut, Antimon, Blei, Zinn, Gallium, Indium, Cadmium, Germanium, Silizium und Thallium umfaßt.

7. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es als nicht-magnetisches Metall Wismut enthält.