DE69112111T2 - Optisches Mikroskop mit variabler Vergrösserung. - Google Patents
Optisches Mikroskop mit variabler Vergrösserung.Info
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Description
- Die Erfindung betrifft ein optisches Mikroskop mit veränderlicher Vergrößerung.
- Bisher wurden verschiedene Arten von optischen Mikroskopen zum Untersuchen vergrößerter Bilder von Proben, zum Darstellen vergrößerter Bilder von Proben auf einem Fernseh-Monitorbildschirm und/oder zum Anfertigen von Photographien von vergrößerten Probenbildern entwickelt. Derartige Mikroskope sind in verschiedenen Gebieten vielfältig verwendet worden, beispielsweise in industriellen und biologischen Fabriken und Laboratorien.
- Bei den bekannten Mikroskopen, die in den oben genannten Bereichen verwendet werden, sind eine Anzahl Objektivlinsen mit unterschiedlichen Verstärkungen an einem drehbar eingerichteten Revolver (drehbarer Linsenhalter) befestigt, um jede beliebige Objektivlinse in die optische Untersuchungsachse zu schwenken, so daß die Vergrößerung eines Probenbilds verändert werden kann. Beim Wechseln der Vergrößerung des untersuchten Probenbilds wird normalerweise die Art der Probenbeleuchtung abhängig von der Drehung des Revolvers geändert, um die Probe in der wirkungsvollsten Weise zu beleuchten. Wird zudem von geringer Vergrößerung auf hohe Vergrößerung übergegangen, so muß vor dem Andern der Vergrößerung der Objekttisch bewegt werden, um zu verhindern, daß ein Teil der zu untersuchenden Probe aus dem Blickfeld entfernt wird, so daß der zu untersuchende Teil im wesentlichen in der Blickfeldmitte angeordnet wird.
- Führt jedoch der Benutzer all die oben genannten Abläufe von Hand aus, so dauert die Zeitspanne zum Justieren des Mikroskops leicht sehr lange, und die zum Untersuchen der Probe verfügbare Zeit wird dementsprechend geringer.
- In der japanischenpatentschrift Kokai Sho Nr. 59/177507 und 59/177508 ist ein Mikroskop offenbart, bei dem die Beleuchtungsart abhängig vom Wechsel der Objektivlinsen automatisch eingestellt wird. In der offengelegten japanischen Patentschrift Kokai Sho Nr. 60/118827 und der japanischen Gebrauchsmusterschrift Nr. 62/32244 ist ein weiteres, bekanntes Mikroskop beschrieben, bei dem der Revolver mit Hilfe eines Elektromotors gedreht wird. Zudem ist in der offenbarten japanischen Patentschrift Kokai Sho Nr. 60/8816 ein weiteres bekanntes Mikroskop offengelegt, bei dem eine elektromagnetische Antriebsvorrichtung den Probentisch bewegt.
- Bei diesen bekannten optischen Mikroskopen werden Teilabläufe zum Bedienen des Mikroskops mit Hilfe elektromagnetischer Antriebsvorrichtungen bewirkt. D. h., daß Elektromotore den Revolver und den Objekttisch antreiben. Um den Revolver und den Objekttisch zu bewegen, muß der Benutzer jedoch Schalter und dergleichen bedienen. D. h., daß bei bekannten Mikroskopen der Revolver und der Objekttisch nicht automatisch antreibbar sind.
- Daher wird der Betrieb des Probenhaltertisches mühsam und verlangt relativ viel Zeit, wenn die Vergrößerung von einem geringen Wert auf einen großen Wert geändert werden soll. Man beachte, daß auch dann, wenn ein gewünschter Teil der Probe in die Blickfeldmitte bewegt wird und dabei der Revolver gedreht wird, um eine Objektivlinse mit hoher Vergrößerung in die optische Untersuchungsachse zu schwenken, es möglich sein könnte, daß man den gewünschten Teil nicht sieht, da die Mikroskopteile, beispielsweise die Objektivlinsen und Revolver, sowohl bezüglich der Genauigkeit als auch durch den Zusammenbau Fehler aufweisen, so daß der Probenteil aus der Blickfeldmitte geschoben werden könnte. Daher muß in nahezu allen Fällen der Objekttisch exakt justiert werden, wenn die Vergrößerung hin zu hoher Vergrößerung verändert wird.
- Wird zudem das vergrößerte Bild eines gewünschten, zu untersuchenden Probenteils mit geringer Vergrößerung untersucht, ist es nötig, eine Objektivlinse mit höherer Vergrößerung zu wählen, indem die Abmessung des gewünschten Probenteils aufgrund des Bildes mit geringer Vergrößerung beurteilt wird. Dadurch entstehen manchmal Fehler beim Auswählen einer Objektivlinse und ein gewisses Geschick des Benutzers ist nötig. Konnte das gewünschte Probenteil nicht mit der gewünschten Vergrößerung untersucht werden, muß eine andere Objektivlinse gewählt werden. Somit wird beim herkömmlichen Mikroskop der Vorgang des Vergrößerungswechselns sehr mühselig.
- In der offengelegten japanischen Patentschrift Kokai Sho Nr. 1/53157 ist ein weiteres bekanntes Mikroskop offenbart, bei dem der Betrieb durch automatisches Probenuntersuchen verbessert wurde. Bei diesem bekannten Mikroskop werden vorbestimmte, aufeinanderfolgende Schritte zum Prüfen einer Probe automatisch ausgeführt, es ist jedoch nicht möglich, einen gewünschten Probenteil mit einer gewünschten Vergrößerung zu untersuchen.
- Dementsprechend ist es wünschenswert, ein optisches Mikroskop mit veränderbarer Vergrößerung bereitzustellen, wobei der gewünschte Probenteil mit einer gewünschten Vergrößerung einfacher und genauer als mit dem Stand der Technik untersucht werden kann.
- Erfindungsgemäß wird ein optisches Mikroskop mit veränderbarer Vergrößerung bereitgestellt, umfassend
- einen Hauptkörper,
- eine Anzahl Objektivlinsen, die unterschiedliche Vergrößerungen aufweisen,
- einen Revolver zum Halten der Anzahl Objektivlinsen, der auf dem Hauptkörper so drehbar angeordnet ist, daß jede Objektivlinse in eine optische Untersuchungsachse geschaltet werden kann,
- einen Objekttisch zum Halten einer zu untersuchenden Probe, der auf dem Hauptkörper beweglich in einer zur optischen Untersuchungsachse senkrechten Ebene angeordnet ist,
- eine Monitoreinrichtung, geeignet zum Aufnehmen eines Bilds der Probe mit Hilfe derjenigen Objektivlinse, die bei Gebrauch des Mikroskops in die optische Untersuchungsachse geschaltet ist, wobei die Monitoreinrichtung einen Monitorbildschirm enthält, auf dem das aufgenommene Probenbild dargestellt wird, und
- eine Antriebsvorrichtung, betreibbar zum Antreiben des Revolvers und des Objekttisches, gekennzeichnet durch eine Anzeigevorrichtung, geeignet zum Anzeigen eines gewünschten Bereichs im Bild der Probe, die auf dem Monitorbildschirm dargestellt ist, und
- eine Steuervorrichtung zum Berechnen der Steuerdaten, die einer nötigen Vergrößerung und/oder der nötigen Stellung des Objekttisches entsprechen zum Darstellen eines Bilds der Probe innerhalb des gewünschten Bereichs auf dem Monitorbildschirm mit im wesentlichen der nötigen Vergrößerung, so daß das Probenbild im gewünschten Bereich im wesentlichen auf der gesamten Fläche des Monitorbildschirms dargestellt wird, wobei die Antriebsvorrichtung gemäß der Steuerdaten betreibbar ist, die die Steuervorrichtung zum Antreiben des Revolvers und/oder des Objekttisches berechnet, so daß eine Objektivlinse mit einer Vergrößerung, die im wesentlichen gleich der nötigen Vergrößerung ist, automatisch in eine optische Untersuchungsachse geschaltet wird und/oder der Objekttisch so bewegt wird, daß der gewünschte Probenteil, der durch den gewünschten Bereich im dargestellten Probenbild bestimmt wird, automatisch im wesentlichen im Mittelteil des Blickfelds angeordnet wird.
- Es wird nun beispielhaft auf die begleitenden Zeichnungen Bezug genommen. Es zeigt:
- Fig. 1 eine schematische Ansicht eines ersten optischen Mikroskops, das die Erfindung ausführt;
- Fig. 2 ein Blockdiagramm, das schematisch den Aufbau einer Einrichtung zeigt, die einen Teil des Mikroskops nach Fig. 1 bildet;
- Fig. 3A und 3B Flußdiagramme zum Gebrauch beim Erklären des Betriebs der Einrichtung nach Fig. 2;
- Fig. 4 die Draufsicht einer anderen Einrichtung, die einen Teil des Mikroskops nach Fig. 1 bildet;
- Fig. 5 ein Diagramm, das beispielhaft Daten darstellt, die in einer Schaltung gespeichert sind, die einen Teil des Mikroskops nach Fig. 1 bildet;
- Fig. 6 ein Diagramm, das beispielhaft zusätzliche Daten darstellt, die in einer Schaltung gespeichert sind, die einen Teil des Mikroskops nach Fig. 1 bildet;
- Fig. 7A und 7B Diagramme zum Gebrauch beim Erklären der Beziehung zwischen Teilen des Mikroskops nach Fig. 1;
- Fig. 8 das schematische Diagramm eines Beispiels eines Probenbilds, das durch den Gebrauch des Mikroskops nach Fig. 1 erhalten wurde;
- Fig. 9 die Draufsicht einer weiteren Einrichtung, die einen Teil des Mikroskops nach Fig. 1 bildet;
- Fig. 10, Fig. 11 und Fig. 12 Diagramme zum Gebrauch beim Erklären eines Vergrößerungsvorgangs im Mikroskop nach Fig.1;
- Fig. 13 ein Diagramm, das beispielhaft weitere Daten darstellt, die im Mikroskop verwendet werden;
- Fig. 14 ein Blockdiagramm, das den Hauptaufbau eines Mikroskops darstellt, das die Erfindung ausführt;
- Fig. 15A und 15B Flußdiagramme zum Gebrauch beim Erklären eines Vorgangs im Mikroskop nach Fig. 1;
- Fig. 16 ein Blockdiagramm, das ein drittes optisches Mikroskop darstellt, das die Erfindung ausführt;
- Fig. 17 ein Blockdiagramm, das schematisch den Aufbau eines Linsensystems darstellt, das einen Teil des Mikroskops bildet, das die Erfindung ausführt; und
- Fig. 18A und 18B Diagramme, die den Aufbau eines Linsensystems darstellen, das einen Teil des Mikroskops nach Fig. 16 bildet.
- Fig. 1 isn ein Diagramm und zeigt im wesentlichen den Gesamtaufbau eines ersten optischen Mikroskops, das die Erfindung ausführt. Das Mikroskop gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung enthält im allgemeinen einen Hauptkörper 1, einen drehbar am Hauptkörper befestigten Revolver (drehbaren Linsenhalter) 2, geeignet zum Halten einer Anzahl Objektivlinsen O mit jeweils unterschiedlicher Vergrößerung, ein auf dem Hauptkörper 1 angebracht es Okular E und einen Objekttisch 3, geeignet zum Halten einer zu untersuchenden Probe. Der Objekttisch 3 ist auf dem Hauptkörper 1 beweglich in Richtung einer optischen Achse angeordnet, um eine Scharfeinstellung zu justieren in den beiden aufeinander senkrecht stehenden X- und Y-Richtungen in einer Ebene, die senkrecht zur optischen Achse ist. Auf dem Hauptkörper 1 ist ferner eine Fernsehkamera 4 angeordnet, geeignet zum Aufnehmen eines Probenbilds mit Hilfe einer in die optische Untersuchungsachse geschalteten Objektivlinse zum Erzeugen eines Bildsignals der Probe. Ferner sind bereitgestellt
- eine Revolverstellungs-Erkennungsvorrichtung 5 zum Erfassen der jeweiligen, im Revolver 2 gebildeten Löcher, geeignet zum lösbaren Befestigen der Objektivlinsen O,
- eine Dateneingabevorrichtung 6, geeignet zum Eingeben von Daten bezüglich der Vergrößerungen der am Revolver 2 befestigten Objektivlinsen O,
- eine Objekttischstellungs-Erkennungsvorrichtung 7, geeignet zum Erfassen der Stellung des Objekttisches 3 bezüglich des Hauptkörpers 1,
- eine Steuervorrichtung 8, geeignet zum Steuern der verschiedenen, oben genannten Einrichtungen,
- einen Fernsehmonitor 10, geeignet zum Darstellen des Probenbilds, das die Fernsehkamera 4 aufgenommen hat, und
- eine Maus 11, geeignet zum Bewegen eines Cursors, der auf dem Monitor 10 dargestellt ist.
- Fig. 2 ist ein Blockdiagramm und zeigt den Aufbau der Steuervorrichtung 8 nach Fig. 1. Die Steuervorrichtung 8 enthält eine Dateneingabeschaltung 12, geeignet zum Erfassen derrevolverstellungsdaten, die die Revolverstellungs-Erkennungsvorrichtung 5 abgibt, der Objekttischstellungsdaten, die die Objekttischstellungs-Erkennungsvorrichtung 7 abgibt, der Objektivlinsen-Vergrößerungsdaten, die die Dateneingabevorrichtung 6 abgibt, und der Mauskoordinatendaten, die die Maus 11 abgibt. Die Steuervorrichtung 8 umfaßt ferner
- eine Bildeingabeschaltung 13, geeignet zum Empfangen des Bildsignals, das die Fernsehkamera 4 abgibt,
- eine Steuerschaltung 14, geeignet zum Verarbeiten der verschiedenen Datensignale, die die Dateneingabeschaltung 12 abgibt, und des Bildsignals, das die Bildeingabeschaltung 13 abgibt,
- eine Rechenschaltung 15, geeignet zum Ausführen vorbestimmter Vorgänge auf Daten, die die Steuerschaltung 14 abgibt,
- eine Speicherschaltung 16, geeignet zum Speichern der Objektivlinsen-Vergrößerungsdaten, die die Dateneingabevorrichtung 6 eingibt, und von Daten, die die Rechenschaltung 15 zu verarbeiten hat,
- eine Treiberschaltung 17, geeignet zum Antreiben des sich drehenden Revolvers 2 und des Probentisches 3,
- eine Bildausgabeschaltung 18, geeignet zum Erzeugen eines zusammengesetzten Bildsignals, das auf dem Monitor 10 darzustellen ist, und
- einen Summer 25, geeignet zum Alarmgeben bei fehlerhaftem Betrieb.
- Der Betrieb des Mikroskops gemäß der vorgelegten Ausführungsform wird nun ausführlich mit Bezug auf die Flußdiagramme nach Fig. 3A und 3B beschrieben.
- Es wird vorausgesetzt, daß eine Anzahl Objektivlinsen O mit unterschiedlichen Vergrößerungen in den Revolver 2 eingesetzt wurden. Beim Einschalten der Hauptenergieversorgung des Mikroskops wird zuerst festgestellt, welche Objektivlinse in die optische Untersuchungsachse geschaltet ist. Dies kann mit Hilfe der Revolverstellungs-Erkennungsvorrichtung 5 durch Erfassen der Stellung des Revolvers 2 bewirkt werden. D. h., die Revolverstellungs-Erkennungsvorrichtung 5 erfaßt ein Loch im Revolver 2, worin eine Objektivlinse befestigt ist, die in die optische Untersuchungsachse geschaltet ist; die Vergrößerung der betreffenden Objektivlinse wird aus der Speicherschaltung 16 in der Steuervorrichtung 8 ausgelesen.
- Sind die Daten bezüglich der betreffenden Objektivlinse nicht in der Speicherschaltung 16 gespeichert worden, so werden die Daten der betreffenden Objektivlinse mit Hilfe der Dateneingabevorrichtung 6 eingegeben. Die Dateneingabevorrichtung 6 umfaßt, wie in Fig. 4 erläutert, eine Vergrößerungswählschaltung 19 und einen Setzknopf 20. Die Vergrößerungswählschaltung 19 weist eine Anzahl Druckknöpfe auf, wovon jeder eine verschiedene Vergrößerung anzeigt. Nachdem der Revolver 2 so gedreht wurde, daß ein gewünschtes Loch des Revolvers in die optische Untersuchungsachse geschaltet wurde, wird ein Vergrößerungswahlknopf gedrückt, der die gleiche Anzeige aufweist wie eine Objektivlinse, die am betreffenden Loch des Revolvers befestigt ist. Danach wird der Setzknopf 20 gedrückt, um die eingegebenen Vergrößerungsdaten in der Speicherschaltung 16 mit Hilfe der Dateneingabeschaltung 12 und der Steuerschaltung 14 der Steuervorrichtung 8 zu speichern. Auf diese Weise wird in der Speicherschaltung 16 eine Vergrößerungsdatentabelle gebildet, siehe Fig. 5. In einem in Fig. 5 gezeigten Beispiel ist eine Objektivlinse mit der Vergrößerung x1 im ersten Loch des Revolvers 2 befestigt, eine Objektivlinse mit der Vergrößerung x40 ist in das zweite Revolverloch eingesetzt, usw. Auf diese Weise können die Vergrößerungsdaten einer Anzahl Objektivlinsen, die in den Löchern des Revolvers 2 befestigt sind, in der Speicherschaltung 16 der Steuervorrichtung 8 gespeichert werden.
- Beim Speichern der Vergrößerungsdaten der Objektivlinsen O, die in den Revolver 2 eingesetzt sind, in der Speicherschaltung 16 werden in der Speicherschaltung ebenfalls Daten gespeichert, die die Abweichungen der optischen Achsen der Objektivlinsen bezüglich einer tatsächlichen optischen Achse darstellen. Die Abweichungsdaten kann man ableiten, indem eine Standardprobe auf den Objekttisch 3 gelegt und der Objekttisch so bewegt wird, daß ein Bezugspunkt auf der Standardprobe in den Mittelpunkt des Blickfelds gelangt. Die Objekttischstellungs-Erkennungsvorrichtung 7 liest dann die Koordinatendaten des Objekttisches 3 aus und speichert sie mit Hilfe der Dateneingabeschaltung 12 und der Steuervorrichtung 8 in der Speicherschaltung 16, siehe Fig. 6. Der obige Ablauf wird für die jeweiligen Objektivlinsen auf dem Revolver 2 ausgeführt. Die in Fig. 6 dargestellte Abweichungsdatentabelle zeigt, daß die im ersten Loch des Revolvers 2 befestigte Objektivlinse eine Abweichung hat, die durch die X-Koordinate von 0.508 m (0020?) und die Y-Koordinate 1.27 m (0050") dargestellt wird. Die Abweichung entsteht durch den Fehler in der Genauigkeit der Objektivlinsen selbst und durch den Revolver 2. Auf diese Weise können die Abweichungsdaten der jeweiligen Objektivlinsen abgeleitet und in der Speicherschaltung 16 gespeichert werden.
- Die Speicherschaltung 16 weist eine Datensicherungsfunktion auf, so daß der Inhalt der Speicherschaltung nicht verloren geht, selbst dann, wenn die Energieversorgung abgetrennt wird. Der oben genannte Datenspeichervorgang wird daher nicht notwendig jedesmal ausgeführt, wenn das Mikroskop mit elektrischer Energie versorgt wird. Wird die Objektivlinse ersetzt, so muß der oben erklärte Vorgang ausgeführt werden, so daß die Vergrößerungsdaten und die Abweichungsdaten der betreffenden Objektivlinse in der Speicherschaltung 16 gespeichert werden.
- Die Steuerschaltung 14 liest dann mit Hilfe der Objekttischstellungs-Erkennungsvorrichtung 7 und der Dateneingabeschaltung 12 die aktuellen Koordinaten des Objekttisches 3 und empfängt das Bildsignal, das die Fernsehkamera 4 mit Hilfe der Bildeingabeschaltung 13 erzeugt. Gleichzeitig empfängt die Steuerschaltung 14 mit Hilfe der Dateneingabeschaltung 12 das Koordinatensignal der Maus 11. Das so empfangene Koordinatensignal der Maus 11 wird an die Rechenschaltung 15 angelegt. Die Koordinaten der Maus werden in Koordinaten eines ersten Cursors auf dem Monitor 10 umgewandelt. Kann die Maus 11 beispielsweise innerhalb eines in Fig. 7A gezeigten Bereichs bewegt werden, und der Anzeigebildschirm des Monitors 10 besitzt einen breiteren Bereich (in Fig. 7 erläutert), so kann man die Koordinaten des ersten Cursors erhalten, indem die Koordinaten der Maus mit fünf multipliziert werden. Sind die Koordinaten der Maus 11 (50, 50), so sind die umgewandelten Koordinaten des ersten Cursors (250, 250).
- Nach dem Umsetzen der Koordinaten der Maus 11 in die Koordinaten des ersten Cursors erzeugt die Steuerschaltung 14 ein zusammengesetztes Bildsignal aus dem mit der Fernsehkamera 4 aufgenommenen Probenbild und dem Bild des ersten Cursors, das an einer Stelle angezeigt wird, die die umgewandelten Koordinaten angeben. Das so erzeugte, zusammengesetzte Bildsignal wird an den Fernsehmonitor 10 angelegt, um darauf das zusammengesetzte Bild nach Fig. 8 anzuzeigen. In Fig. 8 bezeichnet die Bezugszahl 21 den ersten Cursor. Die Maus 11 umfaßt eine linke Maustaste 22 und eine rechte Maustaste 23, siehe Fig. 9. Der oben genannte Vorgang zum Erzeugen des zusammengesetzten Bilds wird solange fortgesetzt, bis die linke Maustaste 22 gedrückt wird.
- Wird die Maus 11 nach oben und unten oder nach rechts und links bewegt, so wird der erste Cursor 21 auf dem Monitorbildschirm ebenfalls nach oben und unten oder nach rechts und links bewegt. Wird die Maus 11 betätigt, um den ersten Cursor 21 zu irgendeinem gewünschten Punkt des auf dem Monitorbildschirm dargestellten Probenbilds zu bewegen, so ist es möglich, einen gewünschten Bereich der Probe zu bezeichnen, der dann vergrößert dargestellt wird. Dieser Vorgang wird nun erklärt.
- Beispielsweise wird gewünscht, ein vergrößertes Bild eines Bereichs A des Bilds darzustellen, das auf dem Fernsehmonitor 10 angezeigt wird. Dazu wird zunächst der erste Cursor 21 in die linke, obere Ecke des rechteckigen Bereichs A bewegt, siehe Fig. 10. Dann wird die linke Maustaste 22 der Maus 11 gedrückt, um den ersten Cursor 21 an dieser Stelle festzuhalten. Gleichzeitig werden die X- und Y-Koordinaten der Maus 11 mit Hilfe der Dateneingabeschaltung 12 in die Steuerschaltung 14 eingespeist. Die Koordinaten des ersten Cursors 21 werden in der Steuerschaltung gespeichert. Man beachte, daß die Koordinaten der Maus 11 zu diesem Zeitpunkt mit (X&sub1;, Y&sub1;) bezeichnet werden.
- Wird die Maus 11 von neuem bewegt, so wird auf dem Monitor 10 ein zweiter Cursor 24 angezeigt, siehe Fig. 11. Die Steuerschaltung 14 wandelt die Koordinaten (X&sub2;, Y&sub2;) des zweiten Cursors 24 ausgehend von den Koordinaten (X&sub1;, Y&sub1;) des ersten Cursors 21 in die Koordinaten des Monitorbildschirms um, um ein Rechteck anzuzeigen, das in Fig. 11 mit gestrichelten Linien dargestellt ist. D. h., der erste Cursor 21 und der zweite Cursor 24 befinden sich an einander diagonal gegenüberliegenden Eckpunkten des Rechtecks. Dadurch ist es möglich, die Lage und die Größe des Rechtecks zu ändern, indem die Maus 11 nach oben und unten oder nach rechts und links bewegt wird. Wird ein Rechteck gebildet, das den gewünschten Bereich A der Probe umgibt, siehe Fig. 11, (in Fig. 11 ist der gewünschte Teil innerhalb des Bereichs A durch einen Stern dargestellt) wird die linke Maustaste 22 der Maus 11 nochmal gedrückt. Mit Hilfe der Dateneingabeschaltung 12 werden dann die Koordinaten (X&sub2;, Y&sub2;) des zweiten Cursors 24 in die Steuerschaltung 14 eingelesen.
- Nachdem die Koordinaten des ersten Cursors 21 und des zweiten Cursors 24, die den gewünschten Bereich A bestimmen, in die Steuerschaltung 14 eingegeben worden sind, berechnet die Rechenschaltung 15 ein Teilungsverhältnis des bezeichneten Bereichs A bezogen auf die Gesamtfläche B des Anzeigebildschirms auf dem Monitor 10. Die Berechnung des Teilungsverhältnisses erfolgt unabhängig für die X-Richtung und die Y-Richtung, und das größere Teilungsverhältnis wird als endgültiges Teilungsverhältnis gewählt. Der Grund für diese Vorgehensweise wird anhand der folgenden Erklärungen deutlich. Es wird nun vorausgesetzt, daß der größtmögliche Wert des Abzeigebildschirms mit (X&sub0;, Y&sub0;) bezeichnet ist. Das Teilungsverhältnis in X-Richtung kann dann aus (X&sub2;-X&sub1;)/X&sub0; berechnet werden und das Teilungsverhältnis in Y-Richtung aus (Y&sub2;-Y&sub1;)/Y&sub0;.
- Nach dem das Teilungsverhältnis ermittelt wurde, bestimmt die Rechenschaltung 15 eine gewünschte Vergrößerung, in unserem Beispiel eine größere Vergrößerung zum Anzeigen eines vergrößerten Probenbilds innerhalb des bezeichneten Bereichs A im wesentlichen auf der Gesamtfläche des Anzeigebildschirms des Monitors 10. Ist die Objektivlinse mit der Vergrößerung x1 in die optische Achse eingesetzt und die Teilungsverhältnisse in X- und Y-Richtung sind 1/2 bzw. 1/4, so wird das größere Teilungsverhältnis von 1/2 gewählt, und die gewünschte stärkere Vergrößerung wird zu x2 berechnet.
- Es wird nun anhand von Fig. 12 erklärt, warum das größere Teilungsverhältnis gewählt wird. Ist das Teilungsverhältnis in X-Richtung 1/2 und das in Y-Richtung 1/4, so wird der mit dem Rechteck A bezeichnete Bereich A&sub1;+A&sub2;. Wird die stärkere Vergrößerung ausgehend vom kleineren Teilungsverhältnis 1/4 bestimmt, so wird die Vergrößerung der Objektivlinse, die in die optische Achse zu setzen ist, x4. Es wird dann nur der Bereich A&sub1; stärker vergrößert, und der verbleibende Bereich A&sub2; wird aus dem Blickfeld entfernt. Daher muß die Vergrößerung der Objektivlinse gemäß dem größeren Teilungsverhältnis bestimmt werden.
- Ist es nicht möglich, eine Objektivlinse zu finden, deren Vergrößerung exakt gleich der gewünschten, durch das Teilungsverhältnis bestimmten Vergrößerung ist, so wird eine Objektivlinse gewählt, deren Vergrößerung der gewünschten Vergrößerung am nächsten kommt, die gewünschte Vergrößerung jedoch nicht übersteigt. Ist beispielsweise das Teilungsverhältnis 1/12 und die aktuelle Vergrößerung x1, so wird die Objektivlinse mit der Vergrößerung x10 gewählt.
- Nachdem die gewünschte Vergrößerung wie oben erklärt bestimmt wurde, wird dann die Größe der Verschiebung des Objekttisches 3 bestimmt, so daß der bezeichnete Bereich A in den Mittelpunkt des Blickfelds gelangt. Zuerst berechnet die Rechenschaltung 15 die Koordinaten des Mittelpunkts des bezeichneten Bereichs A. Die Koordinaten (X, Y) des Mittelpunkts des Bereichs A in X- und Y-Richtung können durch X = (X&sub2;-X&sub1;)/2 + X&sub1; bzw. Y = (Y&sub2;-Y&sub1;)/2 + Y&sub1; berechnet werden.
- Sodann wird durch x&sub0;/2-X und Y&sub0;/2-Y eine Verschiebung des Mittelpunkts des bezeichneten Bereichs A aus dem Mittelpunkt (X&sub0;/2, Y&sub0;/2) des Anzeigebildschirms berechnet.
- Als nächstes wird die Abweichung des Mittelpunkts des Bereichs A vom Mittelpunkt des Anzeigebildschirms in die Größe einer Bewegung des Objekttisches 3 umgesetzt. Man beachte, daß die Koordinaten des Anzeigebildschirms auch dann nicht geändert werden, wenn die Vergrößerung gewechselt wird; die Größe der Bewegung des Objekttisches 3 wird jedoch in Übereinstimmung mit der Vergrößerung der Objektivlinse geändert. Es wird nun angenommen, daß die Koordinaten des Anzeigebildschirms und die Koordinaten des Objekttisches 3 zueinander im Verhältnis 1:1 stehen, daß die Vergrößerung der aktuellen Objektivlinse x1 ist und daß die gewünschte Vergrößerung x2 ist. Eine Entfernung im Bild aus x1 wird dann im Bild x2 doppelt so lang. Es ist daher erforderlich, ein Korrekturverhältnis der Koordinaten auf dem Monitorbildschirm zu den Koordinaten des Probentisches 3 zu berechnen.
- Um das oben genannte Verhältnis zu berechnen, speichert die Speicherschaltung 16 eine Korrekturdatentabelle, siehe Fig. 13. Die Korrekturdatentabelle enthält Korrekturkoeffizienten der Bewegung des Objekttisches für die jeweiligen Objektivlinsen. Die Korrekturkoeffizienten werden ausgehend von der Vergrößerung x1 abgeleitet. Ein zu einer gewünschten Vergrößerung gehörender Korrekturkoeffizient wird aus der Speicherschaltung 16 ausgelesen, und die tatsächliche Bewegungsentfernung des Objekttisches wird aus dem ausgelesenen Korrekturkoeffizienten und den Koordinaten des Monitorbildschirms berechnet. Weist beispielsweise die aktuelle Objektivlinse die Vergrößerung x2 auf, und ist die Bewegungsentfernung auf dem Monitorbildschirm 0,508 m (20"), so wird der Korrekturkoeffizient 1/2 für die Vergrößerung x2 aus der Speicherschaltung 16 ausgelesen. Die Bewegungsentfernung wird durch 2 dividiert, um eine tatsächliche Bewegungsentfernung von 0,254 m (10") auf dem Objekttisch zu erhalten.
- Nachdem auf die oben erklärte Weise die gewünschte Vergrößerung der Objektivlinsen und die tatsächliche Bewegungsentfernung des Objekttisches bestimmt worden sind, wird der Revolver 2 gedreht, um die Objektivlinse mit der gewünschten Vergrößerung in die optische Achse zu schwenken. Der Objekttisch 3 wird in der gewünschten Richtung um die gewünschte Entfernung bewegt. Während der Bewegung des Objekttisches 3 liest die Objekttischstellungs-Erkennungsvorrichtung 7 die Objekttischkoordinatendaten aus und legt sie an die Steuervorrichtung 8 an, so daß die Objekttischbewegung geregelt ausgeführt wird. Die Steuervorrichtung 8 steuert die Drehung des Revolvers 2, während die Revolverstellungs-Erkennungsvorrichtung 5 die Stellung des Revolvers 2 erfaßt, so daß die Steuervorrichtung 8 die Anzahl der Drehteilungen gemäß der aktuellen Vergrößerung und der gewünschten Vergrößerung bestimmt. Ist beispielsweise die aktuelle Vergrößerung x40 und die gewünschte Vergrößerung x2, so wird der Revolver 2 um drei Teilungen gedreht.
- Nachdem der Revolver 2 gedreht worden ist, um die Objektivlinse mit der gewünschten Vergrößerung in die optische Untersuchungsachse zu schwenken und der Objekttisch 3 in die gewünschte Stellung bewegt worden ist, wird die Korrektur unter Verwendung der Abweichungsdaten durchgeführt. D. h., die Objekttischbewegung wurde ausgehend von der Annahme ausgeführt, daß die Objektivlinse keine Abweichung aufweist. In der Praxis weisen die Objektivlinsen jedoch Abweichungen auf, so daß die optischen Achsen der Objektivlinsen von der optischen Untersuchungsachse des Mikroskops abweichen könnten. Die Abweichungsdaten der vorhergehenden Objektivlinse und die Abweichungsdaten der Objektivlinse mit der gewünschten Vergrößerung werden aus der Speicherschaltung 16 ausgelesen. Dir Rechenschaltung 15 berechnet die Differenz zwischen beiden. Die Treiberschaltung 17 bewegt dann den Objekttisch gemäß der berechneten Differenz. Ist beispielsweise die aktuelle Objektivlinse im zweiten Loch des Revolvers 2 angebracht und hat eine Abweichung von X=50 und Y=60, und ist die gewünschte Objektivlinse im vierten Loch des Revolvers befestigt und hat eine Abweichung von X=10 und Y=5, so erhält man die Abweichung in X-Richtung zu 10-50 = -40 und in Y-Richtung zu 5-60 = 55. Daher wird der Objekttisch 3 gemäß den berechneten Abweichungs-Korrekturgrößen bewegt.
- Auf die oben erklärte Weise ist die Objektivlinse mit der gewünschten Vergrößerung in die optische Achse geschaltet worden und der Objekttisch 3 ist in die gewünschte Stellung bewegt worden. Das vergrößerte Bild des bezeichneten Bereichs A im Originalbild nach Fig. 10 kann nun auf dem Bildschirm des Fernsehmonitors 10 dargestellt werden. Dann kann auf dem Monitor ein neuer Bereich A im angezeigten Bild bezeichnet werden, indem der erste Cursor 21 bewegt wird. Falls die Objektivlinse mit größtmöglicher Vergrößerung in die optische Untersuchungsachse gebracht wurde, ist es nicht mehr möglich, ein noch weiter vergrößertes Bild anzuzeigen, so daß der Alarmsummer 25 betätigt wird, wenn die linke Maustaste 22 auf der Maus 11 gedrückt wird. Wird die rechte Maustaste 23 der Maus 11 gedrückt, so wird eine Objektivlinse mit kleinerer Vergrößerung als die aktuelle Objektivlinse in die optische Untersuchungsachse geschaltet. Beispielsweise kann eine Vergrößerung gewählt werden, die der aktuellen Vergrößerung am nächsten kommt. Hat die aktuelle Objektivlinse die Vergrößerung x40, dann wird die Objektivlinse mit der Vergrößerung x20 gewählt. In diesem Fall wird der Objekttisch nur zum Korrigieren der Abweichung der optischen Achse der neu eingeschalteten Objektivlinse bezüglich der optischen Untersuchungsachse bewegt.
- In dieser Ausführungsform ermöglicht es nur das Bedienen der Maus 11, wie oben erklärt, durch Bezeichnen eines gewünschten Bereichs A auf dem Bild, das auf dem Fernsehmonitor 10 dargestellt ist, daß eine Objektivlinse mit einer gewünschten Vergrößerung zum Anzeigen eines vergrößerten Bilds des bezeichneten Bereichs A automatisch gewählt und in die optische Untersuchungsachse geschaltet wird, und daß der Objekttisch 3 automatisch so bewegt wird, daß der Mittelpunkt des gewünschten Bereichs A mit der optischen Untersuchungsachse ausgerichtet wird. Dadurch konnte jeder mögliche Fehler beim manuellen Wählen der Vergrößerung vollständig beseitigt werden. Der mühsame manuelle Vorgang des Objekttischbewegens kann entfallen. Somit kann ein optisches Mikroskop, das die Erfindung ausführt, sehr wirkungsvoll und einfach bedient werden.
- Fig. 14 ist ein Blockdiagramm und zeigt den Aufbau der Steuervorrichtung 8 eines zweiten optischen Mikroskops, das die Erfindung ausführt. Bei dieser zweiten Ausführungsform der Erfindung ist eine Bildspeicherschaltung 26 bereitgestellt, geeignet zum Speichern eines Bildsignal der Probe, das mit der Fernsehkamera 8 aufgenommen wurde und mit Hilfe der Steuerschaltung 14 an die Bildeingabeschaltung 13 angelegt wird. Entspricht das berechnete Teilungsverhältnis nicht genau irgendeiner Vergrößerung des Objektivlinsensatzes auf dem Revolver 2, so wird das Vergrößerungsverhältnis des auf dem Bildschirm des Fernsehmonitors 10 dargestellten Bilds gemäß dem berechneten Teilungsverhältnis korrigiert. Der sonstige Aufbau des Mikroskops der zweiten Ausführungsform gleicht dem der ersten Ausführungsform. Entspricht in der ersten Ausführungsform das berechnete Teilungsverhältnis keiner der Vergrößerungen der Objektivlinsen, die auf den drehbaren Revolver 2 angeordnet sind, so wird die nächstkleinere Vergrößerung gewählt und ein von der Fernsehkamera 4 mit Hilfe der so gewählten Objektivlinse aufgenommenes Probenbild wird auf dem Fernsehmonitor 10 dargestellt, wie es ist. In dieser Ausführungsform wird jedoch, nachdem die nächstkleinere Vergrößerung gewählt wurde, das mit Hilfe der so gewählten Vergrößerung aufgenommene Bild gemäß dem Teilungsverhältnis der berechneten Vergrößerung korrigiert, und das so korrigierte Bild wird auf dem Monitor 10 dargestellt.
- Der Betrieb des Mikroskops der zweiten Ausführungsform wird nun mit Bezug auf die Flußdiagramme in Fig. 15A und 15B erklärt. Falls das Teilungsverhältnis der berechneten Vergrößerung in der gespeicherten Vergrößerungstabelle zu finden ist, gleicht der Betrieb demjenigen der ersten Ausführungsform vollständig, so daß hier der Betrieb erklärt wird, bei dem die gewünschte Vergrößerung nicht in der Vergrößerungstabelle zu finden ist.
- Es wird nun vorausgesetzt, daß die aktuelle, in die optische Untersuchungsachse geschaltete Objektivlinse die Vergrößerung x1 aufweist, und daß die gewünschte Vergrößerung x12 ist, jedoch eine Objektivlinse mit der Vergrößerung x12 nicht in den Revolver 2 eingesetzt ist, sondern daß eine Objektivlinse mit der Vergrößerung x10 im Revolver angebracht ist. In diesem Fall wird die Objektivlinse mit der Vergrößerung xlo gewählt. Man sollte beachten, daß das berechnete Teilungsverhältnis von 1/12 bedeutet, daß eine Objektivlinse mit der Vergrößerung x12 zu verwenden ist, um das Bild mit der Vergrößerung x12 auf der ganzen Größe des Anzeigebildschirms des Monitors 10 anzuzeigen.
- Nachdem das Drehen des Revolvers 2 und das Bewegen des Objekttisches 3 abgeschlossen worden ist, wird das von der Fernsehkamera 4 mit Hilfe der Objektivlinse mit der Vergrößerung xlo aufgenommene Bild über die Bildeingabeschaltung 13 und die Steuerschaltung 14 in der Bildspeicherschaltung 26 gespeichert. Im nächsten Schritt wird das Teilungsverhältnis (1/10), das mit der so gewählten Objektivlinse erhalten wurde, in der Steuerschaltung 14 mit dem berechneten Teilungsverhältnis 1/12 verglichen, und die Rechenschaltung 15 berechnet einen Anteil des auf dem Fernsehmonitor 10 dargestellten Bilds bezüglich des bezeichneten Gebiets A. Diese Berechnung kann ausgeführt werden, indem das berechnete Teilungsverhältnis durch das tatsächliche Teilungsverhältnis dividiert wird, d. h. (1/10)/(1/12). Im obigen Beispiel erhält man 83%.
- Die Steuerschaltung 14 entnimmt dann einen Teil des in der Bildspeicherschaltung 26 gespeicherten Bildsignals, so daß der Anteil 83% beträgt, wobei der Mittelpunkt des Bilds mit dem Mittelpunkt des entnommenen Bilds übereinstimmt. Das so entnommene Bildsignal wird mit Hilfe der Bildausgabeschaltung 18 an den Monitor 10 angelegt. Auf diese Weise ist es m6glich, das Bild mit dem berechneten Teilungsverhältnis 1/12 auf der gesamten Größe des Anzeigebildschirms des Monitors darzustellen.
- In der zweiten Ausführungsform ist es auf die oben erklärte Weise immer möglich, das Probenbild mit einer gewünschten stärkeren Vergrößerung darzustellen, auch dann, wenn die berechnete Vergrößerung keiner der Vergrößerungen der Objektivlinsen entspricht, die auf dem Revolver angeordnet sind.
- Fig. 16 ist eine schematische Darstellung und zeigt im wesentlichen den gesamten Aufbau eines dritten optischen Mikroskops, das die Erfindung ausführt. Fig. 17 ist ein Blockdiagramm und stellt den Aufbau der Steuervorrichtung nach Fig. 16 dar. Tu dieser dritten Ausführungsform der Erfindung ist eine Zoomlinse (Linse mit veränderlicher Brennweite) angebracht, um die Vergrößerung zwischen dem Mikroskop-Hauptkörper 1 und der Fernsehkamera 4 stufenlos zu verändern. Die Steuervorrichtung 8 umfaßt ferner eine Zoom-Antriebsschaltung 28, die, gesteuert durch die Steuervorrichtung 8, die Vergrößerung der Zoomlinse 27 ändert. Wird die berechnete Vergrößerung in der Vergrößerungsdatentabelle nicht gefunden, so wird die Vergrößerung der Zoomlinse 27 so eingestellt, daß das um das berechnete Teilungsverhältnis vergrößerte Bild auf der Gesamtbildschirmfläche des Fernsehmonitors 10 dargestellt werden kann. Der sonstige Aufbau der dritten Ausführungsform gleicht denjenigen der ersten und zweiten Ausführungs form.
- Der Betrieb des Mikroskops der dritten Ausführungsform der Erfindung wird nun erklärt.
- Ähnlich wie bei der zweiten Ausführungsform wird vorausgesetzt, daß die aktuelle Objektivlinse die Vergrößerung x1 aufweist und daß das berechnete Teilungsverhältnis 1/12 ist, daß jedoch keine Objektivlinse mit der berechneten Vergrößerung x12 vorhanden ist. Es wird dann die Objektivlinse mit der nächstkleineren Vergrößerung x10 gewählt und in die optische Untersuchungsachse geschaltet. Auf dem Bildschirm des Fernsehmonitors 10 wird daher ein Bild angezeigt, das größer ist als der bezeichnete Bereich A im Bild mit der Vergrößerung x1. U. h., der bezeichnete Bereich A nimmt nur 83% der Gesamtfläche des Anzeigebildschirms des Monitors 10 ein. In dieser Ausführungsform wird das berechnete Teilungsverhältnis (1/12) durch das tatsächliche Teilungsverhältnis (1/10) geteilt, um den Anteil des bezeichneten Gebiets A bezogen auf die Gesamtfläche des Monitorbildschirms zu bestimmen. Die Zoom-Antriebsschaltung 28 treibt dann, gesteuert von der Sceuerschaltung 14, die Zoomlinse 27 an, so daß das Bild mit dem berechneten Teilungsverhältnis von 1/12 auf dem Bildschirm des Fernsehmonitors 10 dargestellt wird. Das bedeutet, daß der gewünschte Bereich A auf der Gesamtfläche des Anzeigebildschirms des Fernsehmonitors 10 dargestellt wird.
- Fig. 18A und Fig. 18A zeigen den Aufbau der Zoomlinse 27. Die Zoomlinse 27 umfaßt eine Abbildungslinse 29, eine Verstellinse 30, eine Ausgleichslinse 31 und eine Übertragungslinse 32, wobei die Abbildungslinse und die Übertragungslinse feststehend sind, die Verstellinse und die Ausgleichslinse jedoch mit Hilfe eines von der Zoom-Antriebsschaltung 28 angetriebenen Motors in der optischen Achse bewegt werden. Werden die Verstellinse 30 und die Ausgleichslinse 31 aufeinander zu bewegt, siehe Fig. 18A, so wird die Vergrößerung groß. Werden diese Linsen jedoch auseinander bewegt, siehe Fig. 18B, so wird die Vergrößerung kleiner.
- Beim dritten optischen Mikroskop, das die Erfindung ausführt, ist es möglich, das Bild mit dem gewünschten Teilungsverhältnis auf dem gesamten Bildschirm des Fernsehmonitors 10 darzustellen, indem die zwischen dem Hauptkörper 1 und der Fernsehkamera 4 angeordnete Zoomlinse 27 gemäß dem Verhältnis des gewünschten Teilungsverhältnises zum tatsächlichen Teilungsverhältnis angetrieben wird. Vergleicht man die dritte Ausführungsform mit der zweiten Ausführungsform, so weist das angezeigte Bild eine höhere Auflösung auf, da in der zweiten Ausführungsform die elektrische Korrektur immer so ausgeführt wird, daß sie von einer Verschlechterung der Auflösung begleitet wird. Bei der optischen Korrektur tritt die Verschlechterung der Auflösung jedoch nicht ein.
- In den oben beschriebenen Ausführungsformen werden die gewünschte Vergrößerung und die gewünschte Stellung des Objekttisches stets berechnet. Gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung ist es jedoch auch möglich, nur eine dieser Größen zu berechnen. Wird beispielsweise nur die gewünschte Objekttischstellung berechnet und der Objekttisch automatisch bewegt, so kann die Vergrößerung durch Drehen des Revolvers von Hand gewählt werden. Weiterhin ist es auch möglich, die gewünschte Vergrößerung automatisch zu wählen und eine Objektivlinse mit der gewünschten Vergrößerung automatisch in die optische Untersuchungsachse zu schwenken. Der Objekttisch wird dann von Hand in die gewünschte Stellung bewegt. Auch in diesen Fällen können die manuellen Bedienschritte des Benutzers verglichen mit bekannten Mikroskopen vereinfacht werden. In den obigen Ausführungsformen wird der gewünschte, zu vergrößernde Bereich A mit der Maus 11 bezeichnet. Es ist jedoch zudem möglich, beliebige Arten von Koordinatenbezeichnungsvorrichtungen zu verwenden, beispielsweise einen Joystick (Steuerknüppel) oder einen Trackball (Rollkugel). Der Alarm kann auch nicht durch den Summer ausgelöst werden, sonder durch eine Anzeigevorrichtung, beispielsweise Leuchtdioden. Weiterhin wird in der dritten Ausführungsform die Vergrößerungskorrektur ausgeführt, indem die zwischen dem Hauptkörper und der Fernsehkamera angebrachte Zoomlinse angetrieben wird; üblicherweise wird jedoch ein photographisches Okular angebracht, wenn das Mikroskopbild von der Fernsehkamera aufgenommen wird. Die gleiche Funktion kann dann erhalten werden, indem die Vergrößerung des photographischen Okulars verändert wird. In diesem Fall ist es möglich, das Mikroskop zu betreiben, während das Probenbild durch Bereitstellen einer geeigneten Monitorvorrichtung innerhalb des Blickfelds des Mikroskop-Hauptkörpers beobachtet wird.
- Wie oben ausführlich erklärt wurde, wird gemäß einer Ausführungsform der Erfindung die Vergrößerung einer Objektivlinse und/oder die Stellung des Probentisches berechnet, um das Probenbild auf der Gesamtfläche des Monitorbildschirms darzustellen, indem ein gewünschter Bereich des auf der Monitorvorrichtung dargestellten Probenbilds bezeichnet wird. Die gewünschte Objektivlinse wird dann in die optische Untersuchungsachse eingesetzt, indem der Revolver gedreht und der Probentisch so bewegt wird, daß der Mittelpunkt des bezeichneten Bereichs mit dem Mittelpunkt des Anzeigebildschirms zusammenfällt. Daher ist es nun nicht mehr nötig, die sehr mühsame Handbedienung des Revolvers und des Probentisches auszuführen, so daß ein gewünschter Teil der Probe mit einer gewünschten Vergrößerung schnell und richtig zu sehen ist, und die Bedienung des Mikroskops sehr wirkungsvoll auszuführen ist.
Claims (8)
1. Optisches Mikroskop mit veränderbarer Vergrößerung,
umfassend einen Hauptkörper (1),
eine Anzahl Objektivlinsen (O), die unterschiedliche
Vergrößerungen aufweisen,
einen Revolver (2) zum Halten der Anzahl
Objektivlinsen (O), der auf dem Hauptkörper (1) so drehbar
angeordnet ist, daß jede Objektivlinse (O) in eine optische
Untersuchungsachse geschaltet werden kann,
einen Objekttisch (3) zum Halten einer zu
untersuchenden Probe, der auf dem Hauptkörper (1) beweglich
in einer zur optischen Untersuchungsachse senkrechten
Ebene angeordnet ist,
einemonitoreinrichtung (4, 10), geeignet zum
Aufnehmen eine Bilds der Probe mit Hilfe derjenigen
Objektivlinse (O), die bei Gebrauch des Mikroskops in die
optische Untersuchungsachse geschaltet ist, wobei die
Monitoreinrichtung einen Monitorbildschirm (10) enthält,
auf dem das aufgenommene Probenbild dargestellt wird,
und
eine Antriebsvorrichtung (17), betreibbar zum
Antreiben des Revolvers (2) und des Objekttisches (3),
gekennzeichnet durch
eine Auzeigevorrichtung (11), geeignet zum Anzeigen
eines gewünschten Bereichs im Bild der Probe, die auf
dem Monitorbildschirm (10) dargestellt ist, und
eine Steuervorrichtung (8) zum Berechnen der
Steuerdaten, die einer nötigen Vergrößerung und/oder der nötigen
Stellung des Objekttisches (3) entsprechen zum Darstellen
eines Bilds der Probe innerhalb des gewünschten Bereichs
auf dem Monitorbildschirm (10) mit im wesentlichen der
nötigen Vergrößerung, so daß das Probenbild im gewünschten
Bereich im wesentlichen auf der gesamten Fläche des
Monitorbildschirms (10) dargestellt wird, wobei die
Antriebsvorrichtung (17) gemäß der Steuerdaten betreibbar
ist, die die Steuervorrichtung (8) zum Antreiben des
Revolvers (2) und/oderdesObjekttisches (3) berechnet,
so daß eine Objektivlinse (O) mit einer Vergrößerung,
die im wesentlichen gleich der nötigen Vergrößerung ist,
automatisch in eine optische Untersuchungsachse geschaltet
wird und/oder der Objekttisch (3) so bewegt wird, daß
der gewünschte Probenteil, der durch den gewünschten
Bereich im dargestellten Probenbild bestimmt wird,
automatisch im wesentlichen im Mittelteil des Blickfelds
angeordnet wird.
2. Optisches Mikroskop nach Anspruch 1, wobei die
Steuervorrichtung (8) umfaßt eine Dateneingabevorrichtung (6)
geeignet zum Eingeben der jeweiligen Vergrößerungen der
in den Revolver (2) eingesetzten Objektivlinsen (O)
eine Speicherschaltung (16), geeignet zum Speichern
einer Vergrößerungsdatentabelle, die die Vergrößerungen
der Objektivlinsen (O) darstellt, die mit der
Dateneingabevorrichtung (6) eingegeben wurden,
eine Rechenschaltung (15), geeignet zum Berechnen
der nötigen Vergrößerung und/oder der nötigen Stellung
des Objekttisches (3) zum Anzeigen des Bilds des
gewünschten Bereichs auf der Gesamtfläche des
Monitorbildschirms (10) und
eine Steuerschaltung (14), geeignet zum Steuern
der Dateneingabevorrichtung (6), der Speicherschaltung
(16) und der Rechenschaltung (15).
3. Optisches Mikroskop nach Anspruch 2, wobei die
Rechenschaltung (15) ein Teilungsverhältnis berechnet, das
bestimmt ist durch das Verhältnis der Fläche des
gewünschten Bereichs zur Gesamtfläche des Monitorbildschirms
(10), und die Steuerschaltung (14) die Objektivlinse
(O) gemäß dem Teilungsverhältnis wählt.
4. Optisches Mikroskop nach Anspruch 3, wobei die
Steuerschaltung (14) die Objektivlinse (O) wählt, deren
Vergrößerung
der nötigen, durch das Teilungsverhältnis
bestimmten Vergrößerung am nächsten kommt, jedoch kleiner
ist als die nötige Vergrößerung.
5. Optisches Mikroskop nach Anspruch 3 oder 4, wobei die
Steuervorrichtung (8) zudem eine Bildspeicherschaltung
(26) umfaßt, geeignet zum Speichern eines mit der
Monitorvorrichtung (4, 10) aufgenommenen Bildsignals, wobei
die Steuerschaltung (14) einen Teil des in der
Bildspeicherschaltung (26) gespeicherten Bilds gemäß dem
Teilungsverhältnis entnimmt, so daß der entnommene Teil
des Bildsignals auf der Gesamtfläche des
Monitorbildschirms (10) angezeigt wird.
6. Optisches Mikroskop nach Anspruch 3 oder 4, wobei die
Monitorvorrichtung (4, 10) zudem eine Zoomlinse (27)
umfaßt, und die Steuervorrichtung (8) ferner eine Zoom-
Antriebsschaltung (28) umfaßt, geeignet zum Ändern der
Vergrößerung der Zoomlinse (27) gemäß dem
Teilungsverhältnis, so daß ein Bild des Probenteils mit der nötigen
Vergrößerung auf der Gesamtfläche des Monitorbildschirms
(10) angezeigt wird.
7. Optisches Mikroskop nach irgendeinem der Ansprüche 2
bis 6, wobei die Speicherschaltung (16) eine
Abweichungsdatentabelle speichert, die die Abweichungen der
optischen Achsen der in den Revolver (2) eingesetzten
Objektivlinsen (O) bezüglich der optischen
Untersuchungsachse darstellt, und die Steuerschaltung (14) die
Größe der Bewegung des Objekttisches (3) berechnet, um
die Abweichung der Objektivlinse (O), die in die optische
Untersuchungsachse geschaltet ist, gemäß der
Abweichungsdatentabelle zu korrigieren.
8. Optisches Mikroskop nach irgendeinem der vorhergehenden
Ansprüche, wobei die Steuervorrichtung (8) auch eine
Alarmeinrichtung (25) aufweist, geeignet zum Erzeugen
eines Alarms, wenn unter den in den Revolver (2)
eingesetzten Objektivlinsen (O) keine Objektivlinse (O)
gefunden werden kann, deren Vergrößerung im wesentlichen
gleich der nötigen Vergrößerung ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2097722A JP2925647B2 (ja) | 1990-04-16 | 1990-04-16 | 顕微鏡変倍装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE69112111D1 DE69112111D1 (de) | 1995-09-21 |
DE69112111T2 true DE69112111T2 (de) | 1996-01-18 |
Family
ID=14199786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE69112111T Expired - Lifetime DE69112111T2 (de) | 1990-04-16 | 1991-04-16 | Optisches Mikroskop mit variabler Vergrösserung. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5276550A (de) |
EP (1) | EP0453239B1 (de) |
JP (1) | JP2925647B2 (de) |
DE (1) | DE69112111T2 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999049348A1 (de) * | 1998-03-23 | 1999-09-30 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Verfahren zur video-mikroskopie |
DE10225193A1 (de) * | 2002-06-06 | 2004-01-08 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Verfahren zur Kalibrierung eines Stereomikroskops sowie kalibrierbares Stereomikroskop |
DE19637756B4 (de) * | 1995-09-15 | 2010-02-25 | Accumed Inc., Chicago | Multifunktionale Steuereinheit für ein Mikroskop |
EP2345920B1 (de) | 2008-10-02 | 2019-01-16 | Nikon Corporation | Mikroskopsystem und verfahren zur betrachtungskontrolle |
EP4067965A1 (de) * | 2021-03-31 | 2022-10-05 | PreciPoint GmbH | Verfahren zur bereitstellung eines zusammengesetzten bildes unter verwendung eines digitalmikroskops, digitalmikroskopsystem und programm zur bereitstellung eines zusammengesetzten bildes unter verwendung eines digitalmikroskops |
Families Citing this family (53)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0732640A3 (de) * | 1992-04-30 | 1996-12-04 | Becton Dickinson Co | Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung von Koordinatenverschiebungen einer Plattform |
JP3306972B2 (ja) * | 1993-02-26 | 2002-07-24 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置及びそれを用いた半導体素子の製造方法 |
CA2166464C (en) * | 1993-07-09 | 2002-01-01 | Louis A. Kamentsky | Computerized microscope specimen encoder |
US5587833A (en) * | 1993-07-09 | 1996-12-24 | Compucyte Corporation | Computerized microscope specimen encoder |
DE9321266U1 (de) * | 1993-12-24 | 1996-11-28 | Carl Zeiss Jena Gmbh, 07745 Jena | Optisches System mit variablem Abbildungsmaßstab |
DE69519623T2 (de) * | 1994-03-24 | 2002-05-23 | Koninklijke Philips Electronics N.V., Eindhoven | Operations-mikroskope |
CH689703A5 (de) * | 1994-05-18 | 1999-08-31 | Zeiss Carl Fa | Photomikroskop. |
JP3351115B2 (ja) * | 1994-08-05 | 2002-11-25 | 株式会社ニコン | 顕微鏡の回転レボルバ制御装置 |
JP3406987B2 (ja) * | 1995-01-30 | 2003-05-19 | 株式会社ニコン | 電動式顕微鏡 |
EP0731371B1 (de) * | 1995-03-06 | 2003-04-16 | Perkin-Elmer Limited | Kontrolle eines Mikroskopprobenträgers |
JP3656918B2 (ja) * | 1995-06-12 | 2005-06-08 | オリンパス株式会社 | 電動レボルバ制御装置 |
US5930732A (en) * | 1995-09-15 | 1999-07-27 | Accumed International, Inc. | System for simplifying the implementation of specified functions |
US6118581A (en) * | 1995-09-15 | 2000-09-12 | Accumed International, Inc. | Multifunctional control unit for a microscope |
US6091842A (en) * | 1996-10-25 | 2000-07-18 | Accumed International, Inc. | Cytological specimen analysis system with slide mapping and generation of viewing path information |
US5818637A (en) * | 1996-02-26 | 1998-10-06 | Hoover; Rex A. | Computerized video microscopy system |
DE69631475T2 (de) * | 1996-07-16 | 2005-01-13 | Perkin-Elmer Ltd., Beaconsfield | Kontrolle einer Mikroskopblende |
EP0819963B1 (de) * | 1996-07-16 | 2003-09-17 | Perkin-Elmer Limited | Kontrolle eines Infrarotmikroskops |
US6272235B1 (en) * | 1997-03-03 | 2001-08-07 | Bacus Research Laboratories, Inc. | Method and apparatus for creating a virtual microscope slide |
JPH1096848A (ja) * | 1996-09-20 | 1998-04-14 | Olympus Optical Co Ltd | 自動焦点検出装置 |
DE69841245D1 (de) * | 1997-03-03 | 2009-11-26 | Olympus America Inc | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines virtuellen Objektträgers für ein Mikroskop |
US6323995B1 (en) * | 1998-03-17 | 2001-11-27 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical element switching device and optical microscope loaded with the device |
JP3863993B2 (ja) * | 1998-03-18 | 2006-12-27 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡 |
US6847729B1 (en) | 1999-04-21 | 2005-01-25 | Fairfield Imaging Limited | Microscopy |
US6400395B1 (en) * | 1999-09-08 | 2002-06-04 | Rex A. Hoover | Computerized video microscopy system |
US20020051287A1 (en) * | 2000-07-25 | 2002-05-02 | Olympus Optical Co., Ltd. | Imaging apparatus for microscope |
JP2002090633A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-03-27 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡 |
JP4700794B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2011-06-15 | オリンパス株式会社 | 光学顕微鏡装置 |
JP2002148526A (ja) * | 2000-11-06 | 2002-05-22 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
JP4733845B2 (ja) * | 2001-03-05 | 2011-07-27 | オリンパス株式会社 | 画像取得装置 |
GB2398196B (en) * | 2003-02-05 | 2005-06-01 | Fairfield Imaging Ltd | Microscope system and method |
DE10324238A1 (de) * | 2003-05-28 | 2004-12-16 | Carl Zeiss Meditec Ag | Verfahren und Anordnung zur Feststellung der eingestellten Vergrößerungsstufe bei opthalmologischen Geräten, insbesondere Spaltlampen |
CN100340891C (zh) * | 2003-06-05 | 2007-10-03 | 北京普利生仪器有限公司 | 光学自动显微镜 |
US7756357B2 (en) * | 2003-07-01 | 2010-07-13 | Olympus Corporation | Microscope system for obtaining high and low magnification images |
JP2005114859A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
JP2005266083A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Olympus Corp | 観察装置及び観察方法 |
JP4838004B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2011-12-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡、顕微鏡の制御方法、及びプログラム |
JP2007034050A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Olympus Corp | 観察装置及びその制御方法 |
US20070236489A1 (en) * | 2006-01-30 | 2007-10-11 | Jung Edward K | Positional display elements |
JP4996304B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2012-08-08 | オリンパス株式会社 | 走査型顕微鏡とその調節方法 |
JP4979464B2 (ja) * | 2007-05-31 | 2012-07-18 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置、該制御プログラム、及び該制御方法 |
US8264768B2 (en) * | 2007-06-07 | 2012-09-11 | Olympus Corporation | Microscope system |
EP2328009B1 (de) | 2008-09-26 | 2019-01-02 | Olympus Corporation | Mikroskopsystem, speichermedium mit darauf gespeichertem steuerprogramm sowie steuerverfahren dafür |
WO2010038845A1 (ja) * | 2008-10-02 | 2010-04-08 | 株式会社ニコン | 顕微鏡システム |
JP5368821B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2013-12-18 | キヤノン株式会社 | カメラ制御装置、カメラ制御方法及びプログラム |
DE102009012707A1 (de) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | Carl Zeiss Microlmaging Gmbh | Mikroskop mit mehreren optischen Systemen im Abbildungsstrahlengang |
EP2246725A3 (de) * | 2009-04-30 | 2011-01-26 | Olympus Corporation | Mikroskop mit unbeweglicher Bildgebungseinrichtung und beweglichem Objektiv |
JP5467011B2 (ja) * | 2010-07-27 | 2014-04-09 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
CN101975987B (zh) * | 2010-09-27 | 2012-11-07 | 江苏大学 | 基于便携桥搭结构的显微镜自动控制台 |
JP2014002190A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-01-09 | Dainippon Printing Co Ltd | コンピュータ装置及びプログラム |
JP6278601B2 (ja) * | 2013-02-15 | 2018-02-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム及びプログラム |
JP5639252B2 (ja) * | 2013-11-22 | 2014-12-10 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
JP5639251B2 (ja) * | 2013-11-22 | 2014-12-10 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
JP5639250B2 (ja) * | 2013-11-22 | 2014-12-10 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2061856A (en) * | 1979-10-30 | 1981-05-20 | Metal Box Co Ltd | Apparatus and method for combining articles delivered in rows into a single output file |
JPS59172617A (ja) * | 1983-03-22 | 1984-09-29 | Olympus Optical Co Ltd | 自動制御式照明光学系を備えた顕微鏡 |
JPS59177508A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-08 | Olympus Optical Co Ltd | 自動焦点装置を備えた顕微鏡 |
JPS59177507A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-08 | Olympus Optical Co Ltd | 自動焦点装置を備えた顕微鏡 |
JPS608816A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Olympus Optical Co Ltd | 自動ステ−ジ間欠移動装置を備えた顕微鏡 |
JPS60118827A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-26 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | カメラの防塵プレ−ト製作方法 |
JPH0644278B2 (ja) * | 1984-03-27 | 1994-06-08 | 株式会社ニレコ | 画像解析による組織自動定量測定方法およびその装置 |
US4685140A (en) * | 1984-06-26 | 1987-08-04 | Kera Corporation | Keratograph autoscanner system |
US4725720A (en) * | 1985-05-27 | 1988-02-16 | Mitutoyo Manufacturing Co., Ltd. | Microscope with auto focus and light adjusting means |
JPS6232244A (ja) * | 1985-06-28 | 1987-02-12 | Nippon Denso Co Ltd | デイ−ゼルエンジンの制御装置 |
JPS63167313A (ja) * | 1986-12-27 | 1988-07-11 | Hitachi Ltd | 自動焦点制御方法 |
JPS6453157A (en) * | 1987-08-24 | 1989-03-01 | Shiseido Co Ltd | Method and instrument for measuring characteristic of cutaneous cell |
US4755874A (en) * | 1987-08-31 | 1988-07-05 | Kla Instruments Corporation | Emission microscopy system |
JPH0245734A (ja) * | 1988-08-05 | 1990-02-15 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 自動組織解析処理装置 |
US5033103A (en) * | 1988-12-09 | 1991-07-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Model of the lateral inhibition, energy normalization, and noise suppression processes in the retina |
EP0388812B1 (de) * | 1989-03-20 | 1995-08-16 | Olympus Optical Co., Ltd. | Mikroskop |
-
1990
- 1990-04-16 JP JP2097722A patent/JP2925647B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-04-15 US US07/685,183 patent/US5276550A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-04-16 DE DE69112111T patent/DE69112111T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1991-04-16 EP EP91303384A patent/EP0453239B1/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19637756B4 (de) * | 1995-09-15 | 2010-02-25 | Accumed Inc., Chicago | Multifunktionale Steuereinheit für ein Mikroskop |
WO1999049348A1 (de) * | 1998-03-23 | 1999-09-30 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Verfahren zur video-mikroskopie |
DE10225193A1 (de) * | 2002-06-06 | 2004-01-08 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Verfahren zur Kalibrierung eines Stereomikroskops sowie kalibrierbares Stereomikroskop |
DE10225193B4 (de) * | 2002-06-06 | 2004-08-12 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Verfahren zur Kalibrierung der Vergrößerung eines Mikroskops sowie kalibrierbares Mikroskop |
EP2345920B1 (de) | 2008-10-02 | 2019-01-16 | Nikon Corporation | Mikroskopsystem und verfahren zur betrachtungskontrolle |
EP4067965A1 (de) * | 2021-03-31 | 2022-10-05 | PreciPoint GmbH | Verfahren zur bereitstellung eines zusammengesetzten bildes unter verwendung eines digitalmikroskops, digitalmikroskopsystem und programm zur bereitstellung eines zusammengesetzten bildes unter verwendung eines digitalmikroskops |
WO2022207731A1 (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-06 | Precipoint Gmbh | Method of providing an assembled image using a digital microscope, digital microscope system, and program for providing an assembled image using a digital microscope |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69112111D1 (de) | 1995-09-21 |
EP0453239A1 (de) | 1991-10-23 |
JPH03296011A (ja) | 1991-12-26 |
JP2925647B2 (ja) | 1999-07-28 |
US5276550A (en) | 1994-01-04 |
EP0453239B1 (de) | 1995-08-16 |
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