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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine
Flüssigkristallvorrichtung, insbesondere eine
Flüssigkristallvorrichtung vom Matrix-Typ, die mit einer
Metall(Licht-)Abschirmmaske ausgestattet ist, um das Entweichen von
Licht durch den Raum zwischen Bildelementen zu verhindern,
wobei eine verbesserte Anzeigeeigenschaft bereitgestellt wird.
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Bis jetzt sind als herkömmliche Flüssigkristallvorrichtungen
solche unter Verwendung eines verdrillt nematischen
Flüssigkristalls, wie von M. Schadt und W. Helfrich in dem Artikel
"Voltage-Dependent Optical Activity of a Twisted Nematic
Liquid Crystal", Applied Physics Letters, Vol. 18, No. 4
(15. Feb. 1971), S. 127 bis 128 beschrieben, bekannt.
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Solch ein Flüssigkristall vom verdrillt nematischen Typ bringt
das Problem mit sich, daß er Übersprechen verursacht, wenn er
in eine Vorrichtung unter Verwendung einer
Matrix-Elektrodenstruktur eingebaut wird, die Bildelemente bzw. Pixel in einer
hohen Dichte bildet, und Antrieb im Multiplex-Betrieb
unterworfen wird, so daß die Anzahl der Bildelemente bzw. Pixel in
dieser Hinsicht beschränkt gewesen ist.
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Im Gegensatz dazu ist auch ein Typ einer Anzeigevorrichtung
bekannt gewesen, bei der jedes Bildelement mit einem
Dünnfilmtransistor zum Schalten ausgestattet ist. Dieser Typ von
Vorrichtung hat den Vorteil, daß er ein hohes Kontrastverhältnis
von 200 bis 300 bereitstellen kann, aber ist von den Problemen
begleitet, daß ein Schritt zur Bildung von
Dünnfilmtransistoren auf einem Träger sehr kompliziert ist und es schwierig
ist, eine Großflächen-Anzeigevorrichtung herzustellen.
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Als eine Lösung dieser Probleme haben Clark et al. eine
ferroelektrische Flüssigkristallvorrichtung vorgeschlagen (U. S.
Patent Nr. 4 367 924).
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Figur 4A ist eine schematische Veranschaulichung einer
ferroelektrischen Flüssigkristallzelle (Vorrichtung) zur Erklärung
ihres Betriebs. Bezugszeichen 21a und 21b bezeichnen Träger
(Glasplatten), auf denen eine transparente Elektrode aus
beispielsweise In&sub2;O&sub3;, SnO&sub2;, ITO (Indiumzinnoxid) usw. jeweils
angeordnet ist. Ein Flüssigkristall in einer SmC*-Phase (chiral
smektische C-Phase) oder SmH*-Phase (chiral smektische H-
Phase), in der Flüssigkristall-Molekülschichten 22 senkrecht
zu Oberflächen der Glasplatten ausgerichtet sind, ist
hermetisch zwischen den beiden Trägern angeordnet. Vollstriche 23
zeigen Flüssigkristallmoleküle. Jedes Flüssigkristallmolekül
23 hat ein Dipolmoment (P ) 24 in eine Richtung senkrecht zu
seiner Achse. Die Flüssigkristallmoleküle 23 bilden
kontinuierlich eine schraubenförmige Struktur in der
Ausbreitungsrichtung der Träger. Wenn eine Spannung höher als ein
bestimmtes Schwellenniveau zwischen Elektroden, die auf den Trägern
21a und 21b gebildet sind, angelegt wird, wird eine
schraubenförmige Struktur aus dem Flüssigkristallmolekül 23 ausgerollt
oder freigesetzt, wobei die Ausrichtungsrichtung der
jeweiligen Flüssigkristallmoleküle 23 verändert wird, so daß die
Dipolmomente (P ) 24 alle in die Richtung des elektrischen
Felds gerichtet sind. Die Flüssigkristallmoleküle 23 haben
eine längliche Form und zeigen Anisotropie der Brechung
zwischen ihrer Langachse und ihrer Kurzachse. Demgemäß ist
leichtzu verstehen, daß, wenn beispielsweise Polarisatoren, die in
einer Beziehung gekreuzter Nicols angeordnet sind, d. h. mit
sich einander kreuzenden Polarisationsrichtungen auf der
oberen und der unteren Oberfläche der Glasplatten angeordnet
sind, die so angeordnete Flüssigkristallzelle als eine
optische Flüssigkristall-Modulationsvorrichtung wirkt, deren
optische Eigenschaften in Abhängigkeit von der Polarität der
angelegten Spannung variieren.
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Ferner ist, wenn die Flüssigkristallzelle ausreichend dünn
gemacht wird (z. B. kleiner als ungefähr 10 um), die
schraubenförmige Struktur der Flüssigkristallmoleküle ausgerollt, wobei
eine nicht-schraubenförmige Struktur bereitgestellt wird,
selbst in der Abwesenheit eines elektrischen Felds, wodurch
das Dipolmoment einen der zwei Zustände annimmt, d. h. Pa in
einer oberen Richtung 34a oder Pb in einer unteren Richtung
34b, wie in Figur 4B gezeigt, womit eine bistabile Bedingung
bereitgestellt wird. Wenn ein elektrisches Feld Ea oder Eb
höher als ein bestimmtes Schwellenniveau und mit voneinander
verschiedener Polarität, wie in Figur 4B gezeigt, an eine
Zelle mit den vorstehend erwähnten Eigenschaften angelegt
wird, wird das Dipolmoment entweder in die obere Richtung 34a
oder in die untere Richtung 34b in Abhängigkeit von dem Vektor
des elektrischen Feldes Ea oder Eb gerichtet. Dementsprechend
werden die Flüssigkristallmoleküle sowohl in einen ersten
stabilen Zustand 33a als auch einen zweiten stabilen Zustand 33b
orientiert.
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Wenn der vorstehend erwähnte ferroelektrische Flüssigkristall
als ein optisches Modulationselement verwendet wird, ist es
möglich, zwei Vorteile zu erhalten. Der erste ist, daß die
Ansprechgeschwindigkeit sehr schnell ist. Der zweite ist, daß
die Orientierung des Flüssigkristalls Bistabilität zeigt. Der
zweite Vorteil wird weiter erklärt, z. B. mit Bezug auf Figur
4B. Wenn das elektrische Feld Ea an die
Flüssigkristallmoleküle angelegt wird, werden sie in dem ersten stabilen
Zustand 33a orientiert. Dieser Zustand wird stabil
zurückbehalten, selbst wenn das elektrische Feld entfernt wird.
Andererseits werden, wenn das elektrische Feld Eb, dessen Richtung
der des elektrischen Felds Ea entgegengesetzt ist, an den
Flüssigkristall angelegt wird, die Flüssigkristallmoleküle zu
dem zweiten stabilen Zustand 33b orientiert, wodurch die
Richtungen der Moleküle verändert werden. Dieser Zustand wird in
ähnlicher Weise stabil zurückbehalten, selbst, wenn das
elektrische Feld entfernt wird. Ferner sind, so lange die Größe
des angelegten elektrischen Felds Ea oder Eb nicht oberhalb
eines bestimmten Schwellenwertes ist, die
Flüssigkristallmoleküle in die jeweiligen
Orientierungszustände gesetzt. Um solch eine hohe Ansprechgeschwindigkeit
und Bistabilität zu realisieren, ist es bevorzugt, daß die
Dicke der Zelle so dünn wie möglich ist.
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Damit solch eine ferroelektrische Flüssigkristallvorrichtung
die erwünschten Betriebsleistungen zeigt, ist es erforderlich,
daß der ferroelektrische Flüssigkristall, der zwischen einem
Paar paralleler Träger angeordnet ist, eine molekulare
Anordnung hat, so daß die Moleküle effektiv zwischen den zwei
stabilen Zuständen unabhängig von dem Anlegen eines elektrischen
Feldes geschaltet werden können. Beispielsweise ist es
hinsichtlich eines ferroelektrischen Flüssigkristalls in einer
chiral smektischen Phase erforderlich, daß ein Bereich
(Monodomäne) gebildet wird, in dem
Flüssigkristall-Molekülschichten in der chiral smektischen Phase senkrecht zu den
Trägerflächen sind und daher die Flüssigkristall-Molekülachsen
parallel zu den Trägerflächen sind. In einer ferroelektrischen
Flüssigkristallvorrichtung, die bisher erhältlich war, ist ein
Flüssigkristall-Ausrichtungszustand mit solch einer
Monodomänen-Struktur jedoch nicht in zufriedenstellender Weise
verwirklicht worden, so daß aureichende Leistungen bis jetzt
nicht erreicht worden sind.
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Ferner ist es unmöglich gewesen, einen ausreichend großen
Winkel zwischen den Orientierungen der Flüssigkristallmoleküle 23
bei den vorstehend erwähnten zwei stabilen Zuständen zu
erhalten (Neigungswinkel), so daß eine Flüssigkristallvorrichtung
bei einem Kontrast-Verhältnis von ungefähr 80 bis 120
verwendet worden ist.
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Bis jetzt hat fast kein einfaches Flüssigkristall-Anzeigegerät
vom Matrix-Typ unter Verwendung solch einer
Flüssigkristallvorrichtung eine Lichtabschirmmaske zwischen Bildelementen,
unabhängig, ob es von einem Reflexions-Typ oder einem
Transmissions-Typ ist, verwendet. Kürzlich jedoch ist vorgeschlagen
worden, eine Lichtabschirmmaske zwischen Bildelementen
anzuordnen, um die hohe Auflösung und Anzeigequalität zu
verbessern. In der Japanischen Patentveröffentlichung (JP-B)
38689/1988 ist beispielsweise eine Struktur vorgeschlagen
worden, bei der Metallelektroden als Leitungselektroden in der
Form von Leitern auf transparenten Elektroden zur Anzeige auf
einem Träger angeordnet sind, so daß sie Lücken zwischen
Bildelementen auf dem Gegenträger abdecken. Ferner ist in JP-B-
653/1978 wie in Bezug auf Vorrichtungen, die mit einem
Farbfilter ausgestattet sind, vorgeschlagen worden, einen
Farbfilter zwischen Lichtabschirmschichten anzuordnen, und in JP-B-
1311/1990 ist vorgeschlagen worden, einen lichtundurchlässigen
Film an einer Grenze zwischen Farbfiltern anzuordnen und einen
transparenten Film darauf anzuordnen.
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Solch eine Metall-Lichtabschirmmaske ist mit einer
isolierenden Schicht beschichtet, die aus einem anorganischen Material
aus, z. B. einem Oxid wie beispielsweise SiO&sub2;, Ta&sub2;O&sub5; und Al&sub2;O&sub3;
oder einem organischen Material wie beispielsweise Polyimid
und Polyamid oder einem organischen Metalloxid zusammengesetzt
sein kann.
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Ferner kann der Farbfilter usw., der auf der
Metall-Lichtabschirmmaske gebildet ist, auch als eine Art von isolierendem
Film betrachtet werden.
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Als ein Farbfilter ist ein gefärbter Farbfilter bekannt, der
erhalten wird, indem man eine färbbare Schicht aus einem
hydrophilen Polymer wie beisielsweise Gelatine, Kasein, Leim
oder Polyvinylalkohol bildet und dann die färbbare Schicht
unter Bildung einer Farbschicht färbt.
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Solch ein gefärbter Farbfilter hat den Vorteil, daß viele
Farbstoffe erhältlich sind, so daß es einfach ist, eine
gewünschte Spektralcharakteristik zu erhalten, aber er ist mit
der Schwierigkeit einer schwachen Ausbeute verbunden, da das
Herstellungsverfahren einen Naß-Schritt mit sich bringt.
Dieser erfordert eine schwierige Steuerung des Eintauchens der
färbbaren Schicht in ein Färbebad, das einen in ihm gelösten
Farbstof enthält, und auch einen komplizierten Schritt, um
eine Zwischenschicht bereitzustellen, die Abfärben zwischen
jeweiligen Farben verhindert. Ferner ist die
Wärmebeständigkeit der erhältlichen Farbstoffe ungefähr 150 ºC oder darunter
und ist somit relativ niedrig, so daß dieses Verfahren nicht
anwendbar ist, wenn der Filter einer thermischen Behandlung
unterzogen wird, und der sich ergebende gefärbte Film ist von
einer schlechten Zuverlässigkeit in Hinblick auf
Wärmebeständigkeit und Lichtechtheit begleitet.
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Andererseits ist auch ein Typ von Farbfilter bekannt, der ein
gefärbtes Harz umfaßt, das durch Dispergieren eines bestimmten
Farbmittels oder Pigments in einem transparenten Harz erhalten
wird.
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Beispielsweise hat ein Farbfilter, der erhalten wird, indem
man ein Farbmittel mit einem Harz vom Polyamin-Typ (wie
beispielsweise in den Japanischen Offenlegungsschriften (JP-A)
46325/1983, 78401/1985, 184202/1985, 184203/1985, 184204/1985
und 184205/1985 beschrieben) vermischt, ausgezeichnete
Eigenschaften wie beispielsweise Wärmebeständigkeit und
Lichtechtheit. Da das Harz nicht lichtempfindlich ist, erfordert die
Strukturierung eines Farbfilters ein Druckverfahren, das für
Fein-Musterbildung nicht vorteilhaft ist, oder ein Verfahren,
das komplizierte Schritte zur Bildung einer Maske aus einem
Resist-Material auf einem gefärbten Harzfilm und dann Ätzen
des gefärbten Harzfilms mit sich bringt.
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Ferner läßt ein Farbfilter, der als ein gefärbter Harzfilm
gebildet ist, der erhalten wurde, indem man ein Farbmittel in
einem lichtempfindlichen Harz mischte (wie in JP-A 16407/1982,
74707/1982, 129707/1982 usw.), ein einfaches Verfahren der
Fein-Strukturierung mit nur einfachen photolithographischen
Schritten zu.
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In dem Fall der Bildung eines Farbfilters, indem man solch ein
gefärbtes Harz mit einer Mischung aus einem lichtempfindlichen
Harz und einem Farbmittel verwendet, hat jedoch das Farbmittel
per se im allgemeinen eine Lichtabsorption in dem
Belichtungs-Wellenlängenbereich,
so daß eine größere Belichtungsenergie
für die Photo-Härtung des lichtempfindlichen Harzes als in
einfachen Fällen erforderlich ist.
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Die Lichtintensität zur Zeit der Belichtung durch eine
lichtempfindliche Harzschicht nimmt im allgemeinen exponentiell mit
der Tiefe von der Lichteinstrahlungsoberfläche ab. Demgemäß
wird die Abschwächung der einfallenden Lichtintensität
bemerkenswert groß entlang der Tiefe von der
Lichteinstrahlungsoberfläche, wenn ein lichtabsorbierendes Farbmittel in dem
lichtempfindlichen Harz enthalten ist, so daß die Neigung
besteht, daß die Lichthärtung des lichtempfindlichen, gefärbten
Harzes in der Nachbarschaft des Bodens der Harzschicht nicht
ausreichend ist, d. h. an der Grenze mit dem Träger, womit in
einigen Fällen Abschälen der Harzschicht zur Zeit der
Entwicklung verursacht wird.
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Ferner kann, wenn die Belichtungsenergie bemerkenswert erhöht
wird, so daß die Abschwächung der einfallenden Lichtintensität
kompensiert wird, die Beeinträchtigung des Farbmittels per se
verursacht werden.
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Ferner kann der Einschluß eines Farbmittels eine Anrauhung der
gefärbten Harzfilmoberfläche verursachen, was zu einer
Beeinträchtigung der Farbfilterleistung aufgrund von Streuung an
der Farbfilteroberfläche und auch zu einer Unordnung der
Ausrichtung der Flüssigkristallmoleküle führt, wenn die
Farbfilterschicht auf der Innenseite der Flüssigkristallvorrichtung
angeordnet ist.
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Wie vorstehend beschrieben, hat die Herstellung eines
Farbfilters durch Verwendung eines gefärbten Mischungsharzes aus
einem lichtempfindlichen Harz und einem Farbmittel Probleme
hinsichtlich der Stabilität und Dauerhaftigkeit des sich
ergebenden Farbfilterfilms und der Leistung des Farbfilters
hinterlassen.
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Um die vorstehend erwähnten Probleme zu lösen, hat die mit der
vorliegenden Erfindung beschäftigte Forschungsgruppe einen
Farbfilter vorgeschlagen, der effektiv bei einer niedrigeren
Belichtungsenergie mit weniger Beeinträchtigung eines
Farbmittels zum Zeitpunkt der Entwicklung und mit weniger Fluktuation
der Lichthärtung in die Dickenrichtung strukturiert werden
kann, wobei ein farbiger Harzfilm mit einem glatteren
Oberflächenzustand bereitgestellt wird. Insbesondere ist der
Farbfilter einer mit einer Vielzahl von strukturierten
Farbharzschichten, die durch Verwendung eines farbigen Harzes gebildet
wurden, das durch Dispergieren von mindestens einem Farbstoff
in einem lichtempfindlichen Harz und Wiederholung
photolithographischer Schritte erhalten wurde und dadurch gekennzeichnet
ist, daß das Farbmittel in der farbigen Harzschicht in einer
schrittweise ansteigenden Menge von der Oberfläche zu dem
Boden der farbigen Harzschicht vorhanden ist.
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In den vorstehend beschriebenen zahlreichen Typen von
Flüssigkristalltafeln ist es allgemeine Praxis, eine
Lichtabschirmschicht zwischen jeweiligen Bildelementen anzuordnen, um einen
verbesserten Kontrast bereitzustellen. Insbesondere kann solch
eine Lichtabschirmschicht gebildet werden, indem man eine
Schicht aus einem lichtempfindlichen farbigen Harz durch
Rotationsbeschichten bildet und, nach Bedecken mit einem
Sauerstoff abschirmenden Film, die lichtempfindliche farbige
Harzschicht belichtet und entwickelt.
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Andererseits ist eine Metall-Lichtabschirmschicht auch
gebildet worden, so daß ein verstärkter Kontrast bereitgestellt
wird.
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Unter Rückbezug auf den vorstehend beschriebenen Stand der
Technik besteht, wenn Metall-Leitungselektroden in der Form
von Leitern auf Anzeigeelekroden angeordnet sind, so daß sie
eine Lichtabschirmmaske zwischen Bildelementen bilden, die
Neigung, daß beispielsweise ein ferroelektrischer
Flüssigkristall eine Ausrichtungs-Unordnung an einem von
Metallelektroden umgebenen Teil verursacht.
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Um solch einen Defekt zu mindern, ist bekannt gewesen, eine
Lichtabschirmmaske direkt auf einem Träger anzuordnen, wie
beispielsweise auf einer Glasplatte, und dann darauf einen
isolierenden Film, wie vorstehend beschrieben, anzuordnen.
Solch eine Lichtabschirmmaske ist allgemein an allen Teilen
außer dem wirksamen Anzeigebereich angeordnet. Wenn eine
Lichtabschirmmaske aus einem Metall, das einen hohen
Abschirmeffekt bei einer kleinen Dicke ergibt, an den Stellen außer
dem wirksamen Anzeigebereich angeordnet wird, besteht die
Neigung, daß ein Kurzschluß zwischen Elementen verursacht wird,
wenn nicht ein dazwischenliegender isolierender Film zwischen
der Lichtabschirmmaske und den Metallelektroden auf einem
Träger perfekt ist.
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Beispielsweise besteht in einem Fall, in dem solch eine
Lichtabschirmmaske über einer bestimmten Fläche angeordnet
ist, während nur ein Anzeigebereich in der Form von Fenstern
und mit einer isolierenden Schicht bedeckt gelassen wird, und
dann Anzeigeelektroden und Leitungselektroden darauf
angeordnet werden, die Neigung, daß ein Leitungsdefekt zwischen der
Lichtabschirmmaske bei der untersten Schicht und z. B. einer
Leitungselektrode aufgrund der Anwesenheit einer elektrisch
leitenden Verunreinigung in der isolierenden Schicht
auftrittt. Wenn solch ein Defekt an einem einzelnen Punkt
auftritt, oder an zwei Punkten auf einer bestimmten
Datenelektrode, die eine Elektrodenmatrix aufbaut, würde solch ein
Defekt kein ersthaftes Problem verursachen. Solch ein Defekt
kann jedoch eine Leitung zwischen zwei oder mehr unabhängigen
Bildelementen verursachen. In diesem Fall können Bilddaten,
die zu einem bestimmten Bildelement eingegeben worden sind,
auch durch die Metall-Lichtabschirmmaske zu einem anderen
Bildelement eingegeben werden, wobei eine fehlerhafte
Betätigung von solch einem anderen Bildelement verursacht wird.
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Ferner ist als ein weiterer Defekt gefunden worden, daß eine
Metall-Lichtabschirmmaske aus Mo, usw., die herkömmlich
verwendet wird, schlechtes Haftvermögen an einem Farbfilter
zeigt, so daß die Neigung besteht, daß sie während dem
Herstellungsverfahren abgeschält wird.
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Ein Typ von Flüssigkristallvorrichtung gemäß dem Oberbegriff
von Anspruch 1 ist in US-A-4 853 296 offenbart.
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Angesichts der vorstehend erwähnten Schwierigkeiten des
Standes der Technik ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
eine Flüssigkristallvorrichtung zur Verfügung zu stellen, die
mit einer Metall-Lichtabschirmmaske ausgestattet ist, die
getrennt für jedes Bildelement angeordnet ist, so daß ein
Kurzschluß mit einem anderen Bildelement selbst im Fall von
Unregelmäßigkeiten in einem isolierenden Film verhindert wird.
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Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine
Flüssigkristallvorrichtung bereitzustellen, die mit Metall-
Lichtabschirmmasken ausgestattet ist, die voneinander an einem
Teil in Ausrichtung mit einer Metall-Leitungselektrode
getrennt sind, die auf jedem Träger angeordnet ist, so daß das
Auftreten von Teilen ohne Metallabdeckung und eine Abnahme des
Kontrasts oder eine Beeinträchtigung der Anzeigequalität
aufgrund von entweichendem Licht verhindert wird.
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Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, eine
Flüssigkristallvorrichtung mit einer Lichtabschirmmaske aus
einem Metall, das gutes Haftvermögen selbst an einer
Farbfilterschicht zeigt, bereitzustellen.
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Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine
Flüssigkristallvorrichtung zur Verfügung gestellt, umfassend:
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einen ersten Träger mit einer Metall-Lichtabschirmmaske, einer
Vielzahl von länglichen ersten Anzeigeelektroden, jeweils mit
einer ersten Metall-Leitungselektrode, die entlang und in
elektrischem Kontakt mit diesen Elektroden angeordnet sind,
und einer isolierenden Schicht, die zwischen der Metall-
Lichtabschirmmaske und den ersten Anzeigeelektroden angeordnet
ist, auf dem ersten Träger;
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einen zweiten Träger mit einer Vielzahl von länglichen zweiten
Anzeigeelektroden, jeweils mit einer zweiten
Metall-Leitungselektrode, die entlang und in elektrischem Kontakt mit diesen
Elektroden angeordnet sind, auf dem zweiten Träger, wobei die
länglichen zweiten Anzeigeleelektroden so angeordnet sind, daß
sie sich mit den länglichen ersten Anzeigeelektroden
schneiden, und
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einen Flüssigkristall, der zwischen dem ersten und zweiten
Träger angeordnet ist, so daß ein Bildelement an jedem
Schnittpunkt der ersten Anzeigeelektroden und der zweiten
Anzeigeelektroden gebildet wird,
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wobei die Metall-Lichtabschirmmaske in eine Vielzahl einzelner
Metall-Abdeckfilme getrennt ist, die jeweils einem Bildelement
zugeteilt sind, und so geformt sind, daß sie im wesentlichen
alle Zwischenräume zwischen den Bildelementen abdecken, wobei
die Stelle der Trennung zwischen den Abdeckfilmen in
Ausrichtung mit mindestens einer von den ersten und zweiten Metall-
Leitungselektroden angeordnet ist.
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Die Metall-Lichtabschirmmaske umfaßt ein Lichtabschirmmaterial
und ist auf einem Träger angeordnet, so daß Zwischenräume
zwischen Anzeige-Bildelementen verdeckt werden. Die Metall-
Lichtabschirmmaske ist mit einer isolierenden Schicht bedeckt,
auf der die Anzeigeelektroden und die damit verbundenen
Metall-Leitungselektroden gebildet sind. Die
Metall-Lichtabschirmmaske ist ferner in einzelne Metall-Abdeckfilme
getrennt, so daß selbst, wenn einige elektrisch leitende
Verunreinigungen in der isolierenden Schicht vorhanden sind, wobei
sie Leitungsdefekte zwischen den Metall-Leitungselektroden und
den Metall-Abdeckfilmen bereitstellen, die Defekte auf
jeweilige Bildelemente begrenzt sind und daher daran gehindert
werden, einen Kurzschluß mit anderen Bildelementen zu
verursachen.
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Wenn die Trennung an einem beliebigen Teil gebildet wird,
können einige Teile mit fehlerhafter Lichtabschirmung auftreten,
wobei eine Abnahme des Kontrasts und eine Beeinträchtigung der
Anzeigequalität aufgrund von entweichendem Licht verursacht
werden. Gemäß der vorliegenden Erfindung ist jedoch die Stelle
der Trennung zwischen den Metall-Abdeckfilmen an einem Teil
angeordnet, der durch mindestens eine von den
Metall-Leitungselektroden (Daten-(Segment-)Elektroden und Abtast-
(gemeinsame )Elektroden (bzw. Zeilen- und Spaltenelektroden) )
abgeschirmt wird, so daß verhindert wird, daß eine Stelle
auftritt, an der ein Lichtabschirmfehler verursacht wird.
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Wenn die Abdeckfilme aus Chrom oder/und Chromoxid aufgebaut
sind, ist es möglich, Abschälen von einem Harz-Farbfilter, der
auf den Metall-Abdeckfilmen gebildet ist, zu verhindern.
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Diese und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der
vorliegenden Erfindung werden bei einer Betrachtung der folgenden
Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen der
vorliegenden Erfindung in Zusammenhang mit den begleitenden
Zeichnungen, in denen gleiche Bezugszeichen gleiche Teile bezeichnen,
deutlicher.
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Figur 1 ist eine schematische Draufsicht, die eine
Ausführungsform der Flüssigkristallvorrichtung gemäß der
vorliegenden Erfindung zeigt.
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Figur 2 ist eine schematische Querschnittsansicht, die eine
Querschnittsansicht einer Ausführungsform der
Flüssigkristallvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
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Figur 3 ist eine schematische Querschnittsansicht, die eine
Querschnittsansicht einer weiteren Ausführungsform der
Flüssigkristallvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
zeigt.
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Die Figuren 4A und 4B sind schematische perspektivische
Ansichten zur Veranschaulichung eines Arbeitsprinzips einer
ferroelektrischen Flüssigkristallvorrichtung.
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Figur 1 ist eine schematische teilweise Draufsicht einer
Ausführungsform der Flüssigkristallvorrichtung gemäß der
vorliegenden Erfindung. Bei Figur 1 umfaßt die
Flüssigkristallvorrichtung untere längliche Anzeigeelektroden 102a, die mit
einem Zwischenraum 103a zwischen ihnen auf einem unteren
Träger (101a, nicht gezeigt) angeordnet sind, obere längliche
Anzeigeelektroden 102b, die mit einem Zwischenraum 103b zwischen
ihnen auf einem oberen Träger (101b, nicht gezeigt) angeordnet
sind, Metall-Abdeckfilme 104 als ein ganzes, die eine Metall-
Lichtabschirmmaske aufbauen und mit einem Zwischenraum an
Trennpunkten 111 auf dem unteren Träger angeordnet sind,
untere Metall-Leitungselektroden 105a und obere
Metall-Leitungselektroden 105b, die entlang und in elektrischem Kontakt mit
den Anzeigeelektroden 102a bzw. 102b und jeweils auf dem
unteren und oberen Träger angeordnet sind. Weitere Teile sind hier
nicht gezeigt und werden unter Bezugnahme auf eine
Querschnittsansicht erklärt (Figur 2 oder 3, nachstehend erklärt).
Die Zwischenräume 103a und 103b zwischen den jeweiligen
Anzeigeelektroden 105a und 105b stellen auch Zwischenräume zwischen
Bildelementen dar, die an Schnittpunkten der länglichen
Anzeigeelektroden 105a und 105b gebildet sind.
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Figur 2 ist eine entsprechende Querschnittsansicht einer
Ausführungsform der Flüssigkristallvorrichtung, die nicht mit
einem Farbfilter ausgestattet ist. In Figur 2 umfaßt die
Flüssigkristallvorrichtung ferner untere und obere Träger 101a
und 101b, isolierende Schichten 106a und 106b jeweils auf den
Elektroden, eine isolierende Schicht 106c, die zwischen den
Metall-Abdeckfilmen 104a und den Anzeigeelektroden 102a
angeordnet ist, Ausrichtungsfilme 107a und 107b, und
Abstandshalter 108 zum Definieren einer Zellenlücke, die mit einem
Flüssigkristall 109 zwischen den Ausrichtungsfilmen 107a und
107b zu füllen ist.
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Insbesondere hinsichtlich der Figuren 1 und 2 umfaßt die
Flüssigkristallvorrichtung ein Paar Träger 101a und 101b, jede
aus beispielsweise einer Glasplatte oder einer
Kunststoffplatte zusammengesetzt, die voneinander mit Abstandshaltern
108 aus beispielsweise Siliziumdioxidkügelchen oder
Aluminiumoxidkügelchen angeordnet sind, so daß eine vorgeschriebene
Lücke von beispielsweise 0,1 um bis 3 um gelassen wird, unter
Bildung einer Zellenstruktur, in die ein Flüssigkristall 109
unter hermetischem Verschluß eingespritzt wird. Der untere
Träger 101a ist mit einer Metall-Lichtabschirmmaske mit einer
Vielzahl von einzelnen Metall-Abdeckfilmen 104, einer
isolierenden Schicht 106c, Anzeigeelektroden 102a,
Metall-Leitungselektroden 105a, einer isolierenden Schicht 106a und einem
Ausrichtungsfilm 107a, die in der aufgezählten Reihenfolge auf
dem unteren Träger 101a angeordnet sind, ausgestattet.
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Andererseits ist der obere Träger 101b mit Anzeigeelektroden
102b, Metall-Leitungselektroden 105b, einer isolierenden
Schicht 106b und einem Ausrichtungsfilm 107, die in der
aufgezählten Reihenfolge auf dem oberen Träger 101b angeordnet
sind, ausgestattet.
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In der in Figur 2 gezeigten Ausführungsform, die ohne
Farbfilter auf den Metall-Abdeckfilmen 104 ausgestattet ist. Die
Abdeckfilme 104 können geeigneterweise aus einem Metall wie
beispielsweise Chrom, Chromoxid, Aluminium oder Tantal
zusammengesetzt sein. Die Metall-Abdeckfilme 104 können durch ein
beliebiges Verfahren wie beispielsweise Zerstäuben bzw. Sputtern
oder Elektronenstrahlverdampfung in einer Dicke, die geeignet
ist, um eine erwünschte Lichtabschirmrate bereitzustellen,
beispielsweise 500 bis 1000 Å Chrom oder 500 bis 1200 Å
Molybdän zum Bereitstellen einer Lichtabschirmrate von
ungefähr 80 % oder höher und 800 bis 1000 Å Chrom oder 1000 bis
1200 Å Molybdän zum Bereitstellen einer Lichtabschirmrate von
ungefähr 99,5 % oder höher gebildet sein.
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Die isolierenden Schichten 106a, 106b und 106c können aus
einem Material wie beispielsweise TiO&sub2;, Ta&sub2;O&sub5;, SiO&sub2; oder Al&sub2;O&sub3;
in einer Dicke von beispielsweise 200 bis 1200 Å gebildet
sein.
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Die Anzeigeelektroden 102a und 102b können aus einem Material
wie beispielsweise In&sub2;O&sub3; oder ITO (Indiumzinnoxid) gebildet
sein.
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Die Metall-Leitungselektroden 105 und 105b können aus einem
Material wie beispielsweise Mo, Al, Cr oder einer Legierung
aus diesen Metallen in einer Dicke von beispielsweise 500 bis
5000 Å gebildet sein.
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Die Ausrichtungsfilme 107a und 107b können beispielsweise aus
einem anorganischen isolierenden Material wie beispielsweise
Siliziummonoxid, Siliziumdioxid, Aluminiumoxid,
Zirkoniumdioxid, Magnesiumfluorid, Ceroxid, Cerfluorid, Siliziumnitrid,
Siliziumcarbid und Bornitrid; oder einem organischen
isolierenden Material wie beispielsweise Polyvinylalkohol, Polyimid,
Polyamidimid, Polyesterimid, Polyparaxylylen, Polyester,
Polycarbonat, Polyvinylacetal, Polyvinylchldrid, Polyamid,
Polystyrol, Zelluloseharz, Melaminharz, Harnstoffharz und
Acrylharz in einer Dicke von beispielsweise 50 bis 1000 Å gebildet
sein.
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Die Ausrichtungsfilme 107a und 107b können mit uniaxialen
Orientierungsachsen, beispielsweise durch Reiben ausgestattet
sein. Die Richtungen der uniaxialen Orientierungsachsen, die
dem Filmpaar 107a und 107b zur Verfügung gestellt werden,
können in Abhängigkeit von den Anzeigemodi des verwendeten
Flüssigkristalls variieren, aber sie können zum Beispiel
geeigneterweise parallel und in einer gleichen Richtung für
einen ferroelektrischen Flüssigkristall sein.
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Der gemäß der vorliegenden Erfindung verwendete
Flüssigkristall 109 ist nicht grundlegend beschränkt und kann
selektiv aus zahlreichen Flüsssigkristallen inklusive nematische
Flüssigkristalle und smektische Flüssigkristalle ausgewählt
werden. Die vorliegende Erfindung kann jedoch am wirksamsten
auf einen smektischen Flüssigkristall angewendet werden,
insbesondere einen ferroelektrischen Flüssigkristall, mit einer
empfindlichen Ausrichtungseigenschaft.
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Insbesondere ist es möglich, einen Flüssigkristall in chiral
smektischer C Phase (SmC*), chiral smektischer G Phase (SmG*),
chiral smektischer F Phase (SmF*), chiral smektischer I Phase
(SmI*) oder chiral smektischer H Phase (SmH*) zu verwenden.
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Details von ferroelektrischen Flüssigkristallen sind
beispielsweise in LE JOURNAL DE PHYSIQUE LETTERS, 36 (L-69) 1975,
"Ferroelectric Liquid Crystals"; Applied Physics Letter, 36
(11), 1980, "Submicro-Second Bistable Electrooptic Switching
in Liquid Crystals"; Kotai Butsure (Solid State Physics), 16
(141), 1981, "Ekisho (Liquid Crystals)"; den
US-Patentschriften Nr. 4 561 726; 4 559 996; 4 592 558; 4 596 667;
4 613 209; 4 614 609 und 4 622 165 beschrieben. In diesen
Quellen beschriebene ferroelektrische Flüssigkristalle können
in der vorliegenden Erfindung verwendet werden.
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Spezifische Beispiele für ferroelektrische Flüssigkristalle
können umfassen:
Decyloxybenzyliden-p'-amino-2-methylbutylcinnamat (DOBAMBC),
Hexyloxybenzyliden-p'-amino-2-chlorpropylcinnamat (HOBACPC) und 4-0-(2-Methyl)butylresorcyliden-4'-
octylanilin (MBR8).
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Wie in Figur 1 gezeigt ist, sind in der vorliegenden Erfindung
die Metall-Abdeckfilme 104, die eine Metall-Lichtabschirmmaske
darstellen, voneinander an einem Teil 111 in Ausrichtung mit
mindestens einer der Metall-Leitungselektroden 105a und 105b
getrennt, so daß jeder einzelne Abdeckfilm 104 einem
Bildelement zugeordnet ist. Als ein Ergebnis kann jeder der
Zwischenräume 103a und 103b zwischen Bildelementen abgedeckt werden,
ohne daß Entweichen von Licht verursacht wird.
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Figur 3 ist eine schematische Querschnittsansicht einer
weiteren Ausführungsform der Flüssigkristallvorrichtung gemäß der
vorliegenden Erfindung. Die in Figur 3 gezeigte
Flüssigkristallvorrichtung unterscheidet sich von der in Figur
2 gezeigten nur in sofern, als daß eine Farbfilterschicht 110
mit Farbsegmenten R, G und B zwischen den Metall-Abdeckfilmen
104 und der isolierenden Schicht 106c eingeschoben ist. Die
anderen Strukturen sind identisch mit denen in Figur 2. In den
Figuren 2 und 3 sind gleiche Teile durch gleiche Bezugszeichen
bezeichnet.
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In der Ausführungsform kann der Farbfilter 110 vorzugsweise
ein farbiges Harz umfassen, das ein in einem
lichtempfindlichen Harz dispergiertes Farbmittel enthält.
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Das den Farbfilter aufbauende lichtempfindliche Harz kann
allgemein ein bekanntes sein, aber insbesondere bevorzugt ein
aromatisches Polyamidharz oder ein aromatisches Polyimidharz
mit einer lichtempfindlichen Gruppe, wie nachstehend gezeigt,
in seinem Molekül:
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(1) Benzoatester, dargestellt durch die Formel:
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, worin R&sub1; CHX=CY-COOZ bezeichnet, X -H oder C&sub6;H&sub5; bezeichnet,
Y -H oder -CH&sub3; bezeichnet, und Z eine Einfachbindung, eine
Ethylengruppe oder eine Glycidylengruppe bezeichnet;
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(2) Benzylacrylate, dargestellt durch die Formel:
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, worin Y -H oder -CH&sub3; bezeichnet;
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(3) Diphenylether, dargestellt durch die Formel:
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, worin R&sub2; eine Gruppe bezeichnet, die mindestens eine der
folgenden Gruppen enthält: CHX=CHY-CONH, CH&sub2;=CY-COO-(CH&sub2;)&sub2;-OCO
oder CH&sub2;=CY-COOCH&sub2;-, und X und Y dasselbe wie vorstehend sind;
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(4) Chalkone und ähnliche Verbindungen, die durch die
folgenden Formeln dargestellt werden:
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, worin R&sub3; H-, eine Alkylgruppe oder eine Alkoxygruppe
bezeichnet,
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Spezifische Beispiele für die aromatischen Polyamide und
Polyimide können solche umfassen, die unter den Handelsnamen
Lithocoat PA-1000 (erhältlich von Ube Kosan K. K.) und
Lithocoat PI-400 (erhältlich von Ube Kosan K. K.) erhältlich
sind.
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Andererseits kann das in einem farbigen Harz, das den
Farbfilter 10 aufbaut, dispergierte Farbmittel aus organischen
Pigmenten und anorganischen Pigmenten gemäß der gewünschten
Spektralcharakteristik ausgewählt sein, aber es kann vorzugsweise
aus organischen Pigmenten ausgewählt sein, von denen Beispiele
die folgenden umfassen können: Azofarbstoffe, wie
beispielsweise unlösliche Azofarbstoffe und kondensierte Azofarbstoffe,
Phthalocyaninpigmente, Indigos, Anthrachinone, Perylene,
Perynone, Dioxazine, Chinacridone, Isoindolinone, Phthalone,
Methine, Azomethine, weitere kondensierte polyzyklische
Pigmente mit Metallkomplexen und Mischungen aus diesen.
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Die Farbfilterschicht 10 kann durch Auftragen solch eines
farbigen Harzes beispielsweise durch Rotationsbeschichten oder
Walzenbeschichten und Strukturierung des farbigen Harzfilms in
erwünschte Muster aus Farbsegmenten R, G und B durch
photolithographische Schritte gebildet sein. Die Dicken der
jeweiligen Farbsegmente R, G und B, die die Farbfilterschicht 10
aufbauen, können in Abhängigkeit von ihren
Spektralcharakteristiken bestimmt werden, liegen aber gewöhnlich in dem Bereich
von ungefähr 0,5 bis 5 um, bevorzugt 1 bis 2 um.
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In einer Ausführungsform mit einer Farbfilterschicht 110 auf
Metall-Abdeckfilmen 104 ist es insbesondere bevorzugt, die
Abdeckfilme 104 mit Chrom oder/und Chromoxid aufzubauen, so daß
Abschälen zwischen den Abdeckfilmen und der Farbfilterschicht
110 verhindert wird.
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Nachstehend wird die vorliegende Erfindung genauer auf der
Grundlage von Beispielen erklärt.
Beispiel 1
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Eine Flüssigkristallvorrichtung, wie unter Bezugnahme auf
Figuren 1 und 2 in Kombination erklärt, wurde hergestellt.
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Zuerst wurde ein unterer Glasträger 101a mit den Maßen 300 mm
x 300 mm durch Zerstäuben bzw. Sputtern mit einer 700 Å dicken
Mo (Molybdän)-Schicht beschichtet, die dann durch
photolithographische Schritte in Mo-Abdeckfilme 104 strukturiert wurde.
Jeder Abdeckfilm 104 wurde in die Form eines "L" strukturiert,
so daß er sich entlang zwei Seiten eines zugeordneten
Bildelements erstreckte und Zwischenräume 103b und 103a von den
benachbarten zwei Bildelementen bedeckte, wie in Figur 1
gezeigt, wobei er eine Breite l von ungefähr 30 um hatte und von
einem anderen benachbarten Abdeckfilm 104 mit einem
Zwischenraum 111 von ungefähr 10 um getrennt war, der unter
Berücksichtigung einer Vorrichtungsgröße und Strukturiergenauigkeit
und Ausrichtung zwischen den Trägern 101a und 101b bestimmt
wurde. Die Stelle von jedem Zwischenraum 111 wurde so
bestimmt, so daß er in dieser Ausführungform in Ausrichtung mit
der Mitte einer Metall-Leitungselektrode 105b war. Die Breite
des Abdeckfilms 1 wurde so bestimmt, daß eine Randbreite von
ungefähr 10 um auf beiden Seiten der Zwischenräume 103a und
103b jeweils mit einer Breite von 10 um bereitgestellt wurde,
so daß sichergestellt war, daß Entweichen von Licht durch die
Zwischenräume verhindert wurde.
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Die Mo-Abdeckfilme 104 wurden dann mit einem ungefähr 1000 Å-
dicken SiO&sub2;-Film 106c durch Zerstäuben bzw. Sputtern
beschichtet. Von dem SiO&sub2;-Film ist allgemein bevorzugt, daß er eine
Dicke von mindestens 500 Å hat, so daß eine ausreichende
Haftfestigkeit an den Mo-Filmen 104a bereitgestellt wird.
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Dann wurde ein 1500 Å dicker, transparenter ITO-Elektrodenfilm
durch Zerstäuben bzw. Sputtern auf dem SiO&sub2;-Film 106c gebildet
und durch Ätzen unter Bildung eines Zwischenraums 103a
strukturiert, wobei 190 um breite Streifen-Anzeigeelektroden 102a
gelassen wurden, von denen man erwartete, daß sie als
Datenelektroden verwendet werden. Dann wurde ein 2000 Å dicker Mo-
Film abgeschieden, wobei er die Anzeigeelektroden 102a
bedeckte, und durch Ätzen unter Bildung einer 30 um breiten Mo-
Leitungselektrode 105a entlang einer Seite von jeder Streifen-
Anzeigeelektrode 102a strukturiert. Dann wurden die Elektroden
durch Sputtern bzw. Zerstäuben mit einem 500 Å dicken SiO&sub2;-
Film 106a als einem Isolierfilm zum Verhindern eines
Kurzschlusses zwischen gegenüberliegenden Elektroden bedeckt und
dann mit einem 100 Å dicken Polyimid-Ausrichtungsfilm 107a
beschichtet.
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Ein gegenüberliegender Träger 101b wurde in einer ähnlichen
Weise bereitgestellt, mit Streifen-Anzeigeelektroden 102b, von
denen man erwartete, daß sie als Abtastelektroden verwendet
werden, Mo-Leitungselektroden 105b, einem SiO&sub2;-Isolierfilm
106b und einem Polyimid-Ausrichtungsfilm 107b.
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Die zwei so behandelten Träger 101a und 101b wurden nach
Reiben der Ausrichtungsfilme 107a und 107b aufeinander
aufgetragen, mit SiO&sub2;-Kügelchen mit einer durchschnittlichen
Teilchengröße von 1,5 um, unter Bildung einer Rohzelle, die dann mit
einem ferroelektrischen Flüssigkristall vom Pyrimidin-Typ (der
eine Phasenübergang-Reihe von isotrop -> cholesterinisch ->
smektisch A -> chiral smektisch C zeigte) unter Bildung einer
Flüssigkristallvorrichtung gefüllt wurde.
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Die somit erhaltene Flüssigkristallvorrichtung zeigte einen
hohen Kontrast und einen guten schwarzen Anzeigezustand ohne
Entweichen von Licht durch den Raum zwischen Bildelementen und
Kurzschluß zwischen Bildelementen.
Beispiel 2
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Eine Flüssigkristallvorrichtung mit einem Farbfilter, wie
unter Bezugnahme auf die Figuren 1 und 3 erklärt, wurde
hergestellt.
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Eine 1,1 mm dicke Glasplatte 101a wurde erst mit einem 1000 Å
dicken Cr-Film beschichtet, der in einer ähnlichen Weise wie
in Beispiel 1 unter Bildung von Cr-Abdeckfilmen 104
strukturiert wurde. Darauf wurde eine Farbfilterschicht 110 gebildet,
indem man drei farbige Harze verwendete, die man erhielt,
indem man Pigmente von R, G bzw. B in einem lichtempfindlichen
Polyamidharz dispergierte und photolithographische Schritte
für die jeweiligen Farben wiederholte. Dann wurde die
Farbfilterschicht 110 mit einem 1,5 um dicken Polyamidfilm
106c als einer schützenden Isolierschicht bedeckt. Dann wurden
1500 Å dicke ITO-Anzeigeelektroden 102a und 1500 Å dicke Mo-
Leitungselektroden 105a in ähnlicher Weise wie in Beispiel 1
gebildet und dann mit einer 1500 Å dicken Ti/Si (1/1)
Isolierschicht 106a durch Naßauftragung und mit einem 200 Å dicken
Ausrichtungsfilm für den ferroelektrischen Flüssigkristall
107a bedeckt.
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Ein gegenüberliegender Träger 101b wurde in einer ähnlichen
Weise mit Streifen-Anzeigeelektroden 102b,
Mo-Leitungselektroden 105b, einem Ti/Si-Isolierfilm 106b und einem
Ausrichtungsfilm 107b ausgestattet.
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Die zwei so behandelten Träger 101a und 101b wurden nach
Reiben der Ausrichtungsfilme 107a und 107b aufeinander
aufgetragen, mit SiO&sub2;-Kügelchen mit einer durchschnittlichen
Teilchengröße von 1,3 um, unter Bildung einer Rohzelle, die dann mit
dem ferroelektrischen Flüssigkristall, der in Beispiel 1
verwendet worden war, unter Bildung einer
Flüssigkristallvorrichtung gefüllt wurde.
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Die somit erhaltene Flüssigkristallvorrichtung zeigte eine
verbesserte Haftfestigkeit an dem Polyamidharz-Farbfilter, da
die Abdeckfilme aus Cr zusammengesetzt waren, so daß keine
Defekte durch Abschälen während dem Herstellungsverfahren
verursacht wurden. Die Flüssigkristallvorrichtung zeigte auch einen
verbesserten Kontrast aufgrund des Lichtabschirmeffekts,
verbessertes Verhindern von Kurzschlüssen zwischen
Anzeige-Bildelementen und eine verbesserte Ansprecheigenschaft.
Vergleichsbeispiel
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Eine Flüssigkristallvorrichtung wurde in derselben Weise wie
in Beispiel 1 hergestellt, außer, daß eine Mo-Lichtabdeckmaske
in der Form einer verbundenen Netzwerkstruktur anstelle von
einzelnen Abdeckfilmen hergestellt wurde. Die so hergestellte
Flüssigkristallvorrichtung verursachte einen Kurzschluß
zwischen Bildelementen, womit es in einigen Fällen mißlang, eine
normale Bildanzeige zu bewirken.
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Für Vergleichszwecke wurden 8 Tafeln nach dem vorstehenden
Vergleichsbeispiel hergestellt und mit 240 Tafeln, die nach
Beispiel 1 hergestellt worden war, hinsichtlich des Auftretens
von Kurzschluß zwischen Bildelementen verglichen. Die
Ergebnisse sind in der folgenden Tabelle 1 zusammengefaßt.
Tabelle 1
Tafel Nr.
Anzahl der Kurzschlüsse
0 in allen Fällen
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Wie vorstehend beschrieben, wird gemäß der
Flüssigkristallvorrichtung der vorliegenden Erfindung, bei der eine Metall-
Lichtabschirmmaske in eine Vielzahl von einzelnen Filmen, die
jeweils einem Bildelement zugeteilt sind, getrennt ist,
Kurzschluß zwischen Bildelementen im wesentlichen verhindert,
selbst wenn elektrisch leitende Verunreinigungen in einer
isolierenden Schicht vorhanden sind, die zwischen der Metall-
Lichtabschirmmaske und den Anzeigeelektroden (und
Metall-Leitungselektroden) angeordnet ist. Ferner läßt man, durch
Anordnen der Stelle der Trennung zwischen den Abdeckfilmen in
Ausrichtung mit der Metall-Leitungselektrode, nicht zu, daß
irgendeine Stelle vorhanden ist, bei der die Lichtabschirmung
fehlerhaft ist, womit eine Abnahme im Kontrast oder eine
Erniedrigung der Bildqualität aufgrund von Entweichen von Licht
verhindert wird. Ferner wird durch den Aufbau von solch einem
Abdeckfilm mit einem auf Cr beruhenden Material eine gute
Haftfestigkeit sichergestellt, selbst im Kontakt mit einem
harzhaltigen Farbfilter.
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Eine Flüssigkristallvorrichtung wird hergestellt, indem man
einen Flüssigkristall zwischen einer Vielzahl länglicher
erster Anzeigeelektroden auf einem ersten Träger und einer
Vielzahl länglicher zweiter Anzeigeelektroden auf einem zweiten
Träger anordnet, so daß ein Bildelement an jedem Schnittpunkt
der ersten und zweiten Anzeigeelektrode gebildet wird. Die
Abstände zwischen den Bildelementen werden von einer Metall-
Lichtabschirmmaske abgedeckt, die als Laminat mit den ersten
Anzeigeelektroden mit einem dazwischenliegenden Isolierfilm
angeordnet ist. Die Metall-Lichtabschirmmaske ist in eine
Vielzahl von einzelnen Metall-Abdeckfilmen getrennt, die
jeweils einem Bildelement zugeteilt sind, an Teilen in
Ausrichtung mit mindestens einer von der ersten und zweiten Metall-
Leitungselektrode, die entlang und in elektrischem Kontakt mit
der ersten und zweiten Anzeigeelektrode angeordnet ist. Die
Struktur ist effektiv, um Entweichen von Licht durch einen
Zwischenraum zwischen Bildelementen zu verhindern, ohne einen
Kurzschluß zwischen Bildelementen, Unordnung der
Flüssigkristall-Ausrichtung oder Abschälen des Isolierfilms zu
verursachen.