DE69020992T2

DE69020992T2 - Magneto-optisches Aufzeichnungsmedium.

Info

Publication number: DE69020992T2
Application number: DE69020992T
Authority: DE
Inventors: Yoshimine Kato; Teruhisa Shimizu; Shinji Takayama; Hiroshi Tanaka
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: MediaTek Inc
Priority date: 1989-09-20
Filing date: 1990-09-17
Publication date: 1996-04-04
Anticipated expiration: 2010-09-18
Also published as: EP0419169B1; MY106198A; US5030512A; KR930009224B1; DE69020992D1; JPH03108144A; HK24096A; CA2017300A1; KR910006940A; CA2017300C; CN1050456A; CN1019242B; EP0419169A2; GB9014399D0; JP2646398B2; EP0419169A3

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein magneto-optisches Aufzeichnungsmediunt zum Aufzeichnen von Informationen unter Einsatz eines Laserstrahls, und insbesondere ein magnetooptisches Aufzeichnungsmedium, das unter kurzwelligem Licht einen hohen magneto-optischen Effekt aufweist und für hochdichte Aufzeichnung geeignet ist.
Das magneto-optische Aufzeichnen wurde durch die überschreibbare optische Aufzeichnung einer praktischen Lösung Zugeführt. Bis jetzt wurde eine einzige amorphe Seltenerde-Übergangsmetallschicht mit einer starken magnetischen Anisotropie in einer Richtung senkrecht auf die Schichtoberfläche als magneto-optische Aufzeichnungsschicht benutzt. Insbesondere wurden TbFeCo-Legierungssysteme für amorphe Schichten untersucht und für praktische Zwecke entwickelt. In der magnetooptischen Aufzeichnung gibt es einen Trend zur höheren Aufzeichnungsdichte, und die Anwendung eines kurzwelligen Lichts zum Lesen und Schreiben wird derzeit als mögliche Lösung untersucht. Zu diesem Zweck ist nun die Entwicklung von magneto-optischen Stoffen mit höheren magneto-optischen Effekten wie die Kerr-Rotation und Faraday-Rotation wesentlich, um künftig höher-dichte magneto-optische Aufzeichnungen zu erzielen.
In den amorphen Schichten der herkömmlichen TbFeCo-Legierungsreihe tendiert der magneto-optische Effekt mit dem Kürzerwerden der Laserstrahlen dazu, monoton abzunehmen. Somit läßt sich auf der Kurzwellenseite kein zufriedenstellend großer Kerr-Rotationswinkel oder Faraday-Rotationswinkel erzielen, und somit entsteht das Problem, daß der Ausgang beim Lesen mit dem Laserstrahl stark abnimmt. Vor kurzem wurde vorgeschlagen, daß eine Zweilagenverbundfolie als neue magneto-optische Schicht mit magnetischer Austauschkopplung zwischen den Lagen benutzt werden sollte. (Siehe z.B. die japanische ungeprüft veröffentlichte Patentanmeldung Nr. 60- 171652). Da es sich aber hier auch im wesentlichen um Schichtfolien aus TbFe-Legierungssystemen handelt, nimmt der Kerr-Rotationswinkel bei kürzeren Wellenlängen ab. Sie sind also nicht brauchbar zum Lesen/Schreiben auf Folien bei kürzeren Wellenlängen.
Eine amorphe Seltenerde-Übergangsmetallfolie bestehend in der Hauptsache aus Nd oder Pr ist bekannt. Siehe z.B. T.R. McGuire et al. "Magneto-optical Properties of Nd-Co and Nd-Fe alloys", J. Appl. Phys. 61 (1987) S. 3352-3354. Obwohl diese Folie einen charakteristisch höheren magneto-optischen Effekt für kurze Wellenlängen aufweist, handelt es sich nicht um eine senkrecht magnetisierte Folie mit starker magnetischer Anisotropie in der Richtung senkrecht auf die Folienoberfläche, sondern nur um eine in der Ebene magnetisierte Folie mit starker magnetischer Anisotropie in Richtung parallel zur Folienoberfläche. Somit läßt sich keine hochdichte Aufzeichnung erzielen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist das Bereitstellen eines magneto-optischen Aufzeichnungsmediums, das eine hinreichend hohe magneto-optische Wirkung auch für kurze Wellenlängen zeigt, eine starke magnetische Anisotropie in der Richtung senkrecht auf die Folienoberfläche aufweist und hochdichte Aufzeichnungen zuläßt.
Somit ist gemäß der vorliegenden Erfindung vorgesehen, ein magneto-optisches Aufzeichnungsmedium mit starker magnetischer Anisotropie in Richtung senkrecht auf die Oberfläche mit einer ersten Magnetlage zu erzeugen, die eine erste amorphe Seltenerde-Übergangsmetallegierung enthält, wobei die Seltenerdekomponente der ersten Legierung hauptsächlich ein leichtes Seltenerde-Element oder Seltenerde-Elemente enthält, das/die leichte/n Seltenerde-Element/e Nd und/oder Pr sind; eine zweite Magnetlage eine zweite amorphe zweite Seltenerde- Übergangsmetallegierung enthält, wobei die Seltenerdekomponente der zweiten Legierung Tb und/oder Dy ist.
Die EP-A-0333467 mit Priorität am 18. März 1988 offenbart ein solches Medium und ist Teil des Standes der Technik aufgrund Art. 54 (3) EPÜ für die Vertragsstaaten DE, FR, GB.
Das vorgeschlagene magneto-optische Aufzeichnungsmedium weist eine erste Magnetlage auf, die auf eine zweite Magnetlage aufgeschichtet ist, wobei die erste Magnetlage aus amorpher (Nd, Pr)-Übergangsmetallegierung einen hohen magneto-optischen Effekt bei kurzen Wellenlängen, jedoch eine geringe senkrechte Anisotropie aufweist, während die zweite Magnetlage aus amorpher (Tb, Dy)-Übergangsmetallegierung einen geringen magneto-optischen Effekt bei kurzen Wellenlängen, jedoch eine hohe senkrechte Anisotropie aufweist. Durch Ausüben einer magnetischen Austauschkopplung zwischen diesen beiden Lagen auf die erste Magnetlage zwecks Induzierens einer starken senkrechten Anisotropie in derselben, wird ein magnetisiertes magneto-optisches Aufzeichnungsmedium erhalten, das einen durchgehenden hohen magneto-optischen Effekt aufweist, auch bei kurzen Wellenlängen.
Die erste Magnetlage des vorgeschlagenen magneto-optischen Aufzeichnungsmediums ist vorzugsweise eine amorphe Seltenerde-Übergangsmetallfolie, deren Zusammensetzung durch die folgende allgemeine Formel ausgedrückt wird:
(A1-aBa)1(FebCo1-b)mTn, dabei ist A wenigstens ein Element aus der Gruppe der leichten Seltenerde-Elemente Nd und Pr, B ist mindestens ein Element aus einer Gruppe schwerer Seltenerde-Elemente, und T ist mindestens ein Element, das aus einer Gruppe Übergangsmetallelemente zur Verstärkung der Korrosionsfestigkeit ausgewählt wurde, 0 ≤ a ≤ 0,5, 0 ≤ b ≤ 1, und in Atomprozent: 10 ≤ 1 ≤ 50, 50 ≤ m ≤ 90, ≤ n ≤ 15, und l+m+n=100.
Nd und Pr werden spezifisch als leichte Seltenerde-Elemente für A gewählt, weil sie die Wirkung haben, die Kerr-Rotation für kurze Wellenlängen hoch zu machen. Man bemerke hier, daß die erste Magnetlage in der Hauptsache aus diesen leichten Seltenerde-Elementen zusammengesetzt ist. Die Beifügung eines schweren Seltenerde-Elements zu den leichten Seltenerde- Elementen Nd und Pr in der ersten Magnetlage erleichtert die magnetische Austauschkopplung zwischen der ersten Lage und der zweiten Lage, macht es leichter, eine senkrecht magnetisierte Folie zu erzeugen, und macht die Form der geschriebenen Magnetblase gleichmäßig, um das Datenträgerrauschen infolge der Magnetblasenform zu reduzieren. Schwere Seltenerde-Elemente für solche Zwecke können ausgewählt werden aus typischen schweren Seltenerde-Elementen wie Tb, Dy, Gd, Ho und Er. Als Alternative können schwere Seltenerde-Elemente auch ganz fehlen. Ein Übergangsmetallelement wie Ti, Zr, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Pd, Pt oder Al, das dafür bekannt ist, daß es die Eigenschaft der Verstärkung der Korrosionsfestigkeit hat, kann spezifisch für T gewählt werden.
Die zweite Magnetlage ist vorzugsweise eine amorphe Seltenerde-Übergangsmetallegierungsfolie, deren Zusammensetzung sich ausdrücken läßt als die allgemeine Formel RxMyUz, wobei R wenigstens ein Element aus einer Elementgruppe ist, die aus Tb und Dy besteht, M wenigstens ein Element aus einer Elementgruppe Fe und Co ist, und U wenigstens ein Element aus einer Gruppe von Übergangsmetallelementen zur Verstärkung der Korrosionsfestigkeit ist, und in Atomprozent 15 ≤ x ≤ 35, 65 ≤ y ≤ 85, 0 ≤ z ≤ 15, und x+y+z=100. Um eine höhere magnetische Anisotropie, höhere Korrosionsfestigkeit und höhere Schreib- und Leseleistung zu erhalten, ist die bevorzugte Zusammensetzung 20 ≤ x ≤ 30, 70 ≤ y ≤ 80, und 0 ≤ z ≤ 10, entweder auf der übergangsmetallreichen Seite, wo die Teilgittermagnetisierung der Übergangsmetalle vorherrscht, mit der Curie-Temperatur Tc im Bereich 150ºC bis 250ºC, oder auf der seltenerdereichen Seite, wo die Teilgittermagnetisierung der Seltenerde-Elemente vorherrscht, mit der Curie-Temperatur wie oben und der Kompensationstemperatur 50ºC bis 150ºC.
Ein Übergangsmetall, ähnlich dem obigen T, kann für U ausgewählt werden.
Um eine für die magneto-optische Aufzeichnung brauchbare Folie, die sich wie eine senkrecht magnetisierte Folie verhält mit einer Koerzitivkraft von insgesamt mindestens 1 kOe durch abwechselndes Aufschichten der ersten Magnetlage und der zweiten Magnetlage zu erhalten, um die magnetische Austauschkopplung zu benutzen, sollte das Verhältnis (t&sub1;/t&sub2;) der gesamten Foliendicke (t&sub1;) der magnetischen Lage zur Gesamtdicke (t&sub2;) der zweiten Magnetlage auf 0,5 oder weniger eingestellt werden, vorzugsweise auf den Bereich von 0,001 bis 0,2, so daß die Magnetaustauschkopplung die ganze erste Magnetlage erfaßt.
Die Anordnung einer Thermodiffusionsfolie aus einem Material wie Metall, Legierung oder Keramik mit hoher Wärmeleitung auf die vorgeschlagene Vielschichtenmagnet-Folie, entweder direkt oder durch eine transparente dielektrische Schutzschicht, ergibt eine optimales Aufzeichnungsmedium mit höherer Leistung, das zum Schreiben bei höherer Geschwindigkeit brauchbar ist.
Hier nachstehend werden Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnungen beschrieben, in diesen ist:
Fig. 1 eine Querschnittsansicht einer Ausführungsform des magneto-optischen Aufzeichnungsmediums.
Fig. 2 ist eine Kerr-Hysteresisschleife der Nd&sub2;&sub0;Co&sub8;&sub0; Einfachschicht;
Fig. 3 ist eine Kerr-Hysteresisschleife der Tb&sub2;&sub5;Fe&sub7;&sub5; Einfachschicht;
Fig. 4 ist ein Kerr-Hysteresisschleife des Nd&sub2;&sub0;Co&sub8;&sub0;/Tb&sub2;&sub5;Fe&sub7;&sub5; Verbundfolie;
Fig. 5 ist ein Graph, der die Zusammenhänge zwischen der Wellenlänge des Laserstrahls und dem Kerr-Rotationswinkel für die Nd&sub2;&sub0;Co&sub8;&sub0;/Tb&sub2;&sub5;Fe&sub7;&sub5; Verbundfolie zeigt;
Fig. 6 ist ein Graph, der die Zusammenhänge zwischen der Temperatur und der Koerzitivkraft für die Nd&sub2;&sub0;Co&sub8;&sub0;/Tb&sub2;&sub5;Fe&sub7;&sub5; Verbundfolie zeigt;
Fig. 7 ist ein Graph, der die Zusammenhänge zwischen der Temperatur und dem Kerr-Rotationswinkel für die Nd&sub2;&sub0;Co&sub8;&sub0;/Tb&sub2;&sub5;Fe&sub7;&sub5; Verbundfolie zeigt;
Fig. 8 ist ein Graph, der die Zusammenhänge zwischen dem Verhältnis der Koerzitivkraft Hc&sub0;/Hc&sub2; und dem Foliendickenverhältnis (t&sub1;/t&sub2;) und dem Verhältnis zwischen dem Kerr- Rotationswinkel und dem Foliendickenverhältnis (t&sub1;/t&sub2;) für eine erfindungsgemäße Ausführungsform zeigt, wobei die Dicke der ersten Magnetlage t&sub1;, die Dicke der zweiten Magnetlage t&sub2;, die Koerzitivkraft der einzigen zweiten Magnetlage allein Hc&sub2;, und die Koerzitivkraft der gesamten Verbundfolie Hc&sub0; ist.
Fig. 1 zeigt im Querschnitt den Aufbau der Verbundfolie einer erfindungsgemäßen Ausführungsform. Auf das Substrat 3 aus Glas oder Kunststoff wurde eine 100 Å dicke, in der Ebene magnetisierte Folie 1 aus Nd&sub2;&sub0;Co&sub8;&sub0; als erste magnetisierte Lage mittels eines bekannten Aufstäubungsprozesses oder einer Vakuumaufdampfmethode aufgebracht, und oben auf diese wurde eine 1000 Å dicke, senkrecht magnetisierte Folie 2 aus Tb&sub2;&sub5;Fe&sub7;&sub5; als zweite Magnetlage aufgebracht. Die Fig. 2 bis 4 zeigen die gemessenen Kerr-Hysteresisschleifen einer Nd&sub2;&sub0;Co&sub8;&sub0; Einlagenfolie, einer Tb&sub2;&sub5;Fe&sub7;&sub5; Einlagenfolie und der erfindungsgemäßen Verbundfolie. Für die Messung dieser Kerr- Hysteresisschleifen wurde ein He-Ne-Laserstrahl mit 630 nm Wellenlänge benutzt. Wie in Fig. 2 im Hinblick auf die Nd&sub2;&sub0;Co&sub8;&sub0; Einlagenfolie gezeigt wird, ist der erhaltene Kerr- Rotationswinkel groß, aber die senkrechte Anisotropie ist klein. Diese letztere Eigenschaft wird dadurch ersichtlich, daß die Koerzitivkraft klein ist und die Schleife fast schräg liegt. Wie in Fig. 3 gezeigt wird, ist der erhaltene Kerr- Rotationswinkel klein gegenüber der Tb&sub2;&sub5;Fe&sub7;&sub5; Einlagenfolie, aber die senkrechte Anisotropie ist hoch. Diese letztere Eigenschaft wird ersichtlich durch die große Koerzitivkraft und die Schleife, die die X-Achse nahezu rechtwinklig schneidet, d.h. durch die gute Rechteckform.
Fig. 4 zeigt im Gegensatz dazu, daß eine senkrecht magnetisierte Folie, die zum magneto-optischen Aufzeichnen mit guter Rechtwinkligkeit von 2 kOe Koerzitivkraft und einem großen Kerr-Rotationswinkel in dieser Ausführungsform erhalten wird. Solche Eigenschaften werden entsprechend als aus der magnetischen Austauschkopplung zwischen den zwei Lagen entstehend angesehen. In diesem Zusammenhang sei erwähnt, daß bereits in einigen Artikeln über die magnetische Austauschkopplung berichtet wird. Es wurde jedoch kein Fall berichtet, in dem die Kleinheit der senkrechten Anisotropie einer ersten Folie durch magnetische Austauschkopplung mit einer zweiten Folie ohne Veränderung der Größenordnung des magneto-optischen Effekts der ersten Folie überdenkt wird. In der ungeprüft veröffentlichten Japanischen Patentanmeldung Nr. 60-1712652, z.B. wurde nicht mehr als ein Versuch zur Stabilisierung von Grübchen durch die Zusammensetzung der Aufzeichnungsfolie aus zwei Lagen offenbart.
Fig. 5 vergleicht die Abhängigkeit des Kerr-Rotationswinkels der Verbundfolie der vorliegenden Erfindung mit der der amorphen Folie des herkömmlichen Materials Tb&sub2;&sub2;Fe&sub6;&sub8;Co&sub1;&sub0; von der Wellenlänge k. Wie aus der Figur ersichtlich, hat diese Mehrlagenverbundfolie einen viel größeren Kerr-Rotationswinkel als das herkömmliche Material, sogar bei einer Wellenlänge von 500 nm, und damit ergibt die hochdichte Aufzeichnung mit einem Kurzwellenlaser eine hohe Leseausbeute. Die Fig. 6 und 7 zeigen die Abhängigkeit der Koerzitivkraft Hc und der Kerr-Rotation k der Doppellagen-Verbundfolie von der Temperatur. Wie in Fig. 7 gezeigt wird, ist der Abfall des Ausgangs nur gering, auch wenn die Temperatur der Folie vom Laserstrahl beim Lesen erhöht wird, da sich ein großer Kerr-Rotationswinkel auch bei hohen Temperaturen erzielen läßt, was zu einem großen Träger/Rausch-Verhältnis führt. Der Wert, der im Graph bei einer Wellenlänge X nm als Kerr- Rotationswinkel gezeigt wird, ist der Wert des Kerr-Rotationswinkels, der erhalten wird durch Lesen mit einem Laserstrahl der Wellenlänge X nm nach Aufzeichnen mit einem Laserstrahl der gleichen Wellenlänge X nm. Im Experiment wurden die Daten erfaßt während die Wellenlänge des Laserstrahls laufend verändert wurde.

Ausführungsform 2.

Auf einem Polycarbonat-Substrat wird eine Verbundfolie ausgebildet bestehend aus einer 400 Å dicken Siliziumnitrid- Folie, einer 200 Å dicken amorphen Nd&sub2;&sub0;(Fe0,8Co0,2)&sub8;&sub0; Folie, einer 2000 Å dicken amorphen Tb&sub2;&sub2;Fe&sub6;&sub8;Co&sub1;&sub0; Folie, einer 1000 Å dicken Siliziumnitrid-Folie und einer 1000 Å dicken Al-Folie, um eine senkrecht magnetisierte Magnetfolie guter Rechtwinkligkeit wie in Ausführungsform 1 zu erzeugen. Sogar bei einer Wellenlänge von 500 nm verschlechtert sich die Kerr-Rotation nicht, und der Kerr-Rotationswinkel von 0,75º wird von der PC-Substratseite aus gemessen. Die Koerzitivkraft beträgt 10 kOe und das Material ist für praktische magneto-optische Aufzeichnung geeignet.

Ausführungsform 3.

Auf einem Glas-Substrat wird eine Verbundfolie ausgebildet enthaltend eine 450 Å dicke Siliziumnitrid-Folie, eine 20 Å dicke amorphe Nd&sub4;&sub0;(Co0,5Fe0,5)&sub5;&sub5;Cr&sub5; Folie, eine 2000 Å dicke amorphe Tb&sub2;&sub2;Fe&sub6;&sub0;Co&sub1;&sub0;Pt&sub8; Folie, und eine 1000 Å dicke Aluminiumnitrid-Folie, um eine senkrecht magnetisierte Magnetfolie guter Rechtwinkligkeit von 4 kOe Koerzitivkraft Hc wie in Ausführungsform 1 zu erzeugen. Sogar bei einer Wellenlänge von 400 nm verschlechtert sich die Kerr-Rotation nicht, und der Kerr-Rotationswinkel von 0,600 wird von der PC-Substratseite aus gemessen.

Ausführungsform 4.

Auf einer Polycarbonat-Folie wird eine Verbundfolie ausgebildet enthaltend eine 200 Å dicke Nd&sub1;&sub0;Pr&sub1;&sub5;Co&sub7;&sub2;Cr&sub3; Folie, eine 2000 Å dicke amorphe Tb&sub1;&sub8;Fe&sub6;&sub5;Co&sub1;&sub2;Cr&sub5; Folie, und eine 1000 Å dicke ZrO&sub2; Folie, um eine senkrecht magnetisierte Magnetfolie guter Rechtwinkligkeit von 4 kOe Koerzitivkraft Hc wie in Ausführungsform 1 zu erzeugen. Sogar bei einer Wellenlänge von 400 nm verschlechtert sich die Kerr-Rotation nicht, und ein so großer Wert wie 0,5º wird ohne Störschutzfolie erreicht.

Ausführungsform 5.

Auf einem Glas-Substrat werden abwechselnd eine 20 Å dicke amorphe Pr&sub2;&sub3;Co&sub7;&sub4;Ta&sub3; Folie und eine 100 Å dicke amorphe Tb&sub1;&sub8;Fe&sub6;&sub5;Co&sub1;&sub2;Cr&sub5; Folie aufgeschichtet bis zu einer Gesamtdicke von etwa 1000 Å. Die Ergebnisse des Experiments stellen sicher, daß eine senkrecht magnetisierte Folie guter Rechtwinkligkeit von 5 kOe (0,4 A/M) Koerzitivkraft Hc erhalten wird, wie in der Ausführungsform 1. Der Kerr-Rotationswinkel beträgt 0,45º bei 500 nm Wellenlänge.

Ausführungsform 6.

Auf einem Glas-Substrat werden nacheinander aufgeschichtet eine 200 Å dicke amorphe Pr&sub3;&sub0;Tb&sub1;&sub0;(Fe0,7Co0,3)&sub6;&sub0; Folie, eine 1000 Å dicke amorphe Dy&sub2;&sub0;(Fe0,8Co0,2)&sub7;&sub6;Nb&sub4; Folie und eine 1000 Å dicke SiN-Folie. Das ergibt eine senkrecht magnetisierte Folie guter Rechtwinkligkeit von 5 kOe (0,4 A/m) Koerzitivkraft Hc wie in der Ausführungsform 1. Der Kerr- Rotationswinkel beträgt 0,55º bei 500 nm Wellenlänge ohne Störschutzfolie.

Ausführungsform 7

Auf ein Glas-Substrat werden aufgebracht eine erste Lage einer amorphen 1000 Å dicken Tb&sub2;&sub2;Fe&sub6;&sub8;Co&sub1;&sub0; Folie, dann wird eine amorphe Nd&sub1;&sub8;Tb&sub2;(Fe0,7Co0,3)&sub8;&sub0; Folie unterschiedlicher Dicke aufgeschichtet, um neun Typen Doppellagenfolien auszubilden. Fig. 8 zeigt auf der Grundlage der erfaßten Daten in der Doppellage den restlichen Kerr-Rotationswinkel k und das Verhältnis der Koerzitivkraft der Doppellagenfolie zu der der einfachen zweiten Lage Hc&sub0;/Hc&sub2; allein in Abhängigkeit von dem Foliendickenverhältnis der ersten Lage zur zweiten Lage (t&sub1;/t&sub2;). Hier wird der restliche Kerr-Rotationswinkel gemessen unter Verwendung eines Laserstrahls mit einer Wellenlänge von 822 nm. Das Verhältnis der Koerzitivkraft zeigt eine gute Rechtwinkligkeit. Das heißt, sie zeigt das Ausmaß, bis zu welchem die Doppellagenfolie als ganzes die vorteilhafte Eigenschaft der Koerzitivkraft (und damit die Rechtwinkligkeit) der zweiten Lage übernimmt. Wie man aus der Figur ersieht, hat der restliche Kerr-Rotationswinkel k die höchsten Werte im Bereich der Foliendickenverhältnisse von 0,001 bis 0,2, während er stark abnimmt, sobald das Verhältnis über 0,5 steigt. Das Koerzitivkraftverhältnis Hc&sub0;/Hc&sub2; nimmt signifikant ab, wenn die Foliendicke über 0,5 steigt. Somit sollte, um eine senkrecht magnetisierte Folie zu erhalten, die für hochdichte magneto-optische Aufzeichnung geeignet ist, das Verhältnis der Foliendicken (t&sub1;/t&sub2;) auf 0,5 oder weniger eingestellt werden, vorzugsweise auf den Bereich von 0,001 bis 0,2.
Es wird ein magneto-optisches Aufzeichnungsmedium bereitgestellt, das hohe magneto-optische Effekte erzielt, auch unter einem kurzwelligen Licht, eine hohe Anisotropie in einer Richtung senkrecht auf die Folienoberfläche aufweist, und das hochdichte Aufzeichnungen ermöglicht.

Claims

1. Ein magneto-optisches Aufzeichnungsmedium mit starker magnetischer Anisotropie in einer Richtung senkrecht auf die Oberfläche mit einer ersten Magnetlage (1), die eine erste amorphe Seltenerde-Übergangsmetallegierung enthält, wobei der Seltenerdekomponente der ersten Legierung hauptsächlich ein leichtes Seltenerde-Element oder mehrerer Seltenerde-Elemente enthält, das/die leichte Seltenerde- Element/e Nd und/oder Pr sind; eine zweite Magnetlage (2) eine zweite amorphe zweite Seltenerde-Übergangsmetalllegierung enthält, wobei die Seltenerdekomponente der zweiten Legierung Tb und/oder Dy ist, wobei die Übergangsmetallkomponente der ersten Legierung und/oder der zweiten Legierung ein Übergangsmetall beinhaltet, das aus einer Gruppe von Übergangsmetallen zum Verstärken der Korrosionsfestigkeit gewählt wird, wobei die Gruppe der Übergangsmetallelemente zur Verstärkung der Korrosionsfestigkeit die Elemente Ti, Zr, V, Nb, Ta, Cr, Mo, W, Pd, Pt, Au und Al umfaßt.

2. Ein magneto-optisches Medium gemäß Anspruch 1, in dem das Verhältnis der Dicke der ersten Magnetlage (1) zur zweiten Magnetlage (2) 0,5 oder weniger beträgt.

3. Ein magneto-optisches Medium gemäß Anspruch 1, in dem das Verhältnis der Dicke der ersten Magnetlage (1) zur zweiten Magnetlage (2) im Bereich 0,001 bis 0,2 liegt.

4. Ein magneto-optisches Medium gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, worin die Übergangsmetallkomponenten der ersten und/oder der zweiten Legierung Fe und/oder Co enthalten.

5. Ein magneto-optisches Medium gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, worin die Zusammensetzung der ersten Legierung die allgemeine Formel(A1-aBa)1(FebCo1-b)mTn hat wobei A wenigstens eines, Nd und Pr ist, B mindestens ein Element aus einer Gruppe schwerer Seltenerde-Elemente, T mindestens ein Element aus einer Gruppe Übergangsmetallelemente zur Verstärkung der Korrosionsfestigkeit, 0 ≤ a ≤ 0,5, 0 ≤ b ≤ 1, und 0,1 ≤ 1 ≤ 0,5, 0,5 ≤ m ≤ 0,9 und l+m+n=1 ist, und worin die Zusammensetzung der zweiten Legierung die allgemeine Formel RxMyUz hat, wobei R wenigstens eines von Tb und Dy, M wenigstens eines von Fe und Co, U wenigstens ein Element aus einer Gruppe von Übergangsmetallelementen zur Verstärkung der Korrosionsfestigkeit ist, 0,15 ≤ x ≤ 0,35, 0,65 ≤ y ≤ 0,85, 0 ≤ z ≤ 0,15 und x+y+z=1 ist.

6. Ein magneto-optisches Aufzeichnungsmedium gemäß Anspruch 5, in dem die Gruppe der schweren Seltenerde-Elemente Tb, Dy, Gd, Ho und Er umfaßt.

7. Ein magneto-optisches Aufzeichnungsmedium gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, in dem die erste Legierung Nd0,2Fe0,75 und die zweite Legierung Tb0,25Fe0,75 ist.

8. Ein magneto-optisches Aufzeichnungsmedium gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, in dem die erste Legierung Nd0,4(Co0,5Fe0,5)0,55Cr0,05, und in dem die zweite Legierung Tb0,22Fe0,6Co0,1Pt0,08 ist.