DE69010450T2 - Programmierbare Integrationszeit für Photosensor. - Google Patents

Programmierbare Integrationszeit für Photosensor.

Info

Publication number
DE69010450T2
DE69010450T2 DE69010450T DE69010450T DE69010450T2 DE 69010450 T2 DE69010450 T2 DE 69010450T2 DE 69010450 T DE69010450 T DE 69010450T DE 69010450 T DE69010450 T DE 69010450T DE 69010450 T2 DE69010450 T2 DE 69010450T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrodes
transfer
blocking
charges
sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE69010450T
Other languages
English (en)
Other versions
DE69010450D1 (de
Inventor
Yvon Cazaux
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Teledyne e2v Semiconductors SAS
Original Assignee
Thomson SCF Semiconducteurs Specifiques
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thomson SCF Semiconducteurs Specifiques filed Critical Thomson SCF Semiconducteurs Specifiques
Application granted granted Critical
Publication of DE69010450D1 publication Critical patent/DE69010450D1/de
Publication of DE69010450T2 publication Critical patent/DE69010450T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/711Time delay and integration [TDI] registers; TDI shift registers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft Photosensoren und vor allem (jedoch nicht ausschließlich) die geradlinigen Reihenanordnungen lichtempfindlicher Elemente wie etwa diejenigen, die der zeilenweisen Analyse von Bildern dienen (für die Beobachtung von Bildern, die Übertragung von Bildern durch Fernkopieren, die Speicherung von Bildern usw.)
  • Eine Reihenanordnung ist normalerweise aus einer Zeile von M Elementarsensoren gebildet, wobei die Beobachtung des Bildes dadurch erfolgt, daß diese Reihenanordnung senkrecht zu ihrer Erstreckungsrichtung an ihm vorbei bewegt wird. Entweder wird die Reihenanordnung vor dein Bild oder das Bild vor der Reihenanordnung verschoben. Die Geschwindigkeit der Verschiebung ist grundsätzlich konstant.
  • Jeder Sensor erzeugt eine elektrische Ladung, die die Lichtintensität (die "Beleuchtung" genannt wird), die von dem vor ihm befindlichen Punkt einittiert wird, repräsentiert. Dieser Sensor erzeugt daher nacheinander elektrische Ladungen, die die jeweilige Beleuchtung eines jeden der aufeinanderfolgenden Punkte repräsentieren, welche sich vor ihm vorbeibewegen. Die Beobachtung eines Bildes besteht darin, die elektrischen Signale aufzunehmen, die die Beleuchtungen sämtlicher von der Reihenanordnung gesehenen Bildpunkte repräsentieren.
  • Um das Signal/Rausch-Verhältnis von Photosensoren zu verbessern, ist bereits ein Leseprinzip vorgeschlagen worden, das für die Beobachtung eines Bildpunktes nicht einen einzigen Elementarsensor, sondern eine Reihe von n elementaren Photozellen verwendet, welche sich nacheinander an diesem Punkt vorbeibewegen. Von der ersten Zelle wird eine zur Beleuchtung des Punktes proportionale elektrische Ladung erzeugt, während sie sich an dem Punkt vorbeibewegt; anschließend bewegt sich die zweite Zelle an dem Punkt vorbei, wobei eine zweite elektrische Ladung erzeugt wird; diese zwei Ladungen werden addiert, usw., bis sich die n elementaren Zellen am Punkt vorbeibewegt haben. Während jedoch die zweite Zelle den ersten Bildpunkt beobachtet, erfaßt die erste Zelle die Beleuchtung eines zweiten Bildpunktes, der vor ihr erscheint; selbstverständlich ist es notwendig, die Ladung, die sie dann erzeugt, nicht mit der Ladung zu vermischen, die sie im Verlauf der Beobachtung des ersten Punktes erzeugt hat. Daher ist ein System zur zeitlichen Verschiebung der Ladungen vor ihrer Addition vorgesehen, wobei diese zeitliche Verschiebung mit der relativen Vorbeibewegung des Sensors an dem zu beobachtenden Bild genau synchronisiert ist.
  • Diese Systeme werden Sensoren mit Ladungsintegration und -übertragung genannt (im Englischen sind sie bekannt unter dem Namen: "Time delay integration systems"): Für jeden Bildpunkt wird die Ladung, die von einer ersten Zelle erzeugt wird, wenn diese sich vor einem ersten Punkt befindet, integriert, anschließend wird sie in einem Zeitpunkt zur zweiten Zelle übertragen, in dem sich diese zweite Zelle am ersten Bildpunkt vorbeibewegt, usw. bis zur n-ten Zelle; die n-te Zelle liefert das Integral der in n aufeinanderfolgenden Zeitpunkten erzeugten Ladungen, wobei diese Zeitpunkte sämtlich demselben Bildpunkt entsprechen, der von n verschiedenen Zellen beobachtet wird.
  • Fig. 1 zeigt den Aufbau eines solchen Systems: Der Sensor ist eine Reihenanordnung von M in einer Zeile befindlichen Elementarsensoren. Jeder Sensor enthält jedoch tatsächlich n elementare Zellen, die sich in einer Spalte in Richtung der Bewegung der Reihenanordnung in bezug auf das zu analysierende Bild befinden. Die Richtung der relativen Vorbeibewegung ist in Fig. 1 durch einen Pfeil 10 angezeigt.
  • Die elementaren Photozellen sind durch benachbarte elementare Rechtecke symbolisiert. Unter diesen Rechtecken sammeln sich die Ladungen an, die durch die Beleuchtung eines vor dem Rechteck sich vorbeibewegenden Punkts erzeugt werden. Jedes Rechteck entspricht in der Praxis einem Oberflächenbereich eines Photo-Halbleiters, der von einer isolierenden Dünnschicht abgedeckt ist, die ihrerseits von wenigstens zwei benachbarten, lichtdurchlässigen Elektroden abgedeckt ist. Diese Elektroden dienen einerseits dazu, im Halbleiter Potentialtöpfe zu schaffen, um die erzeugten Ladungen zu speichern, und andererseits dazu, in Verbindung mit den Elektroden angrenzender Zellen Übertragungspotentiale zu schaffen, um diese Ladungen gemäß einem herkömmlichen Prinzip eines Schieberegisters mit Ladungsübertragung von einer Zelle zur folgenden (in Spaltenrichtung) zu bewegen. Die Anzahl der Elektroden pro Zelle hängt vom Typ des Registers ab, das verwirklicht werden soll.
  • Dieser Aufbau entspricht einem Sensor, dessen Zellen gleichzeitig die Aufgabe eines Photosensors und einer Schieberegisterzelle erfüllen, die Erfindung könnte jedoch auch auf Strukturen angewendet werden, in denen die Funktionen der Photoerfassung und der Übertragung zwischen den Zeilen voneinander getrennt sind.
  • Die M Sensoren einer Zeile (senkrecht zum Pfeil 10) sind physikalisch voneinander getrennt, damit keine Mischung der Ladungen stattfindet, die zwei seitlich benachbarten Sensoren entsprechen.
  • Somit sind parallel M spaltenförmige Schieberegister mit jeweils n Feldern vorhanden.
  • Diese M Register können sich an ihrem Ende in die Felder eines weiteren Schieberegisters RL, eines sogenannten "Leseregisters" entleeren, das sich in Richtung der Zeilen der Reihenanordnung erstreckt. Dieses Register mit M Feldern, mit parallelen Eingängen und mit seriellem Ausgang erlaubt durch Verschieben in einer Zeile der von den M Spalten ausgegebenen Ladungen die zyklische Entleerung zu einem Ausgangsverstärker. Eine Elektrode PT, die ein Übertragungsgatter bildet, ermöglicht synchron mit der Verschiebung der Spaltenregister die Entleerung der Spaltenregister in das Leseregister. Das Leseregister wird seinerseits in horizontaler Richtung sehr schnell zwischen jedem neuen Eintreffen von Ladungen von den Spaltenregistern entleert. Eine Leseschaltung CL, die im wesentlichen einen Ladungs/Spannungs-Umsetzer sowie einen Verstärker A enthält, ist am Ausgang des Registers RL angeordnet und liefert an ihrem Ausgang ein Videosignal, das zeilenweise das von der Anordnung analysierte Bild repräsentiert.
  • Das Leseregister könnte durch jedes andere System zum Lesen von von M Spalten ausgegebenen Ladungen ersetzt sein.
  • Es wird angemerkt, daß das Leseregister und das Übertragungsgatter PT maskiert sind (beispielsweise durch eine Aluminiumschicht), um kein Licht zu empfangen.
  • Im folgenden wird das Interesse nurmehr auf die Schieberegister mit n spaltenförmig angeordneten Feldern gerichtet, da die Erfindung nicht auf das Vorhandensein eines Leseregisters bezogen ist.
  • Wie bekannt, können die Schieberegister auf mehrere unterschiedliche Weisen gebildet sein, wobei nicht auf Einzelheiten ihrer Verwirklichung eingegangen wird. Es ist ausreichend, auf die herkömmliche Literatur zu verweisen, die die Schieberegister mit Ladungsübertragung betrifft: Es gibt sogenannte zweiphasige Register, in denen jedes Registerfeld zwei miteinander verbundene Elektroden enthält und die Elektroden zweier benachbarter Felder mit entgegengesetzter Phase gesteuert werden. Es gibt Register mit vier Phasen, in denen jedes Feld des Registers vier Elektroden enthält, die durch vier aufeinanderfolgende Phasen gesteuert werden, wobei die Phasen für die einander entsprechenden Elektroden zweier benachbarter Felder gleich sind. Es gibt außerdem Register, die im Dreiphasenmodus arbeiten, sowie Register, die in dem Modus arbeiten, der im Englischen unter dem Namen "Ripple clock"-Modus bekannt ist und der ins Deutsche mit Phasenfortpflanzungsmodus übersetzt werden kann.
  • In dem Beispiel von Fig. 1 wird angenommen, daß dieser letztgenannte Phasenfortpflanzungsmodus verwendet wird: Es sind zwei Elektroden pro Feld vorhanden, die jedoch elektrisch miteinander verbunden sind. Jedes lichtempfindliche Feld des Registers ist durch ein Rechteck dargestellt, das durch eine gestrichelte Linie zweigeteilt ist. Die beiden Elektroden entsprechen den beiden Hälften des Rechtecks. Ein einziger externer Anschluß steuert das Potential, das gleichzeitig an diese beiden Elektroden und außerdem gleichzeitig an sämtliche Elektroden derselben Zeile angelegt wird. Die Steuerfolge der Elektroden des Sensors enthält eine Reihe von aufeinanderfolgenden Impulsen, die an die aufeinanderfolgenden Zeilen der mehrzeiligen Anordnung angelegt werden: Ein erster Impuls φ1 wird an die erste Zeile angelegt, anschließend wird ein zweiter Impuls φ2 an die zweite Zeile angelegt usw. bis zu einem n-ten Impuls, der an die n-te Zeile angelegt wird, woraufhin ein neuer Zyklus von Impulsen beginnt.
  • Die Phasen φ1, φ2, ..., φn sind daher die aufeinanderfolgenden Impulse, die einander ohne gegenseitige Überdeckung gemäß einem Zyklus folgen, bei dem etwa ein neuer Impuls für die Phase φ1 nur dann erneut auftritt, wenn sämtliche Impulse, die den n Phasen entsprechen, nacheinander emittiert worden sind. Fig. 2 zeigt einen diesem Modus entsprechenden Zyklus von Impulsen für n = 8 Registerfelder.
  • Fig. 3 zeigt in ihrem oberen Teil das Register mit acht Spaltenfeldern mit zwei elektrisch miteinander verbundenen benachbarten Elektroden pro Feld; diese beiden Elektroden definieren unter sich Potentialtöpfe mit unterschiedlichen Tiefen infolge entweder einer unterschiedlichen Dotierung des Halbleiters, den sie bedecken, oder einer unterschiedlichen Isolierdicke zwischen jeder Elektrode und dem Halbleiter; im unteren Teil dieser schematischen Darstellung zeigt Fig. 3 die aufeinanderfolgenden Potentialtöpfe, die unter diesen Elektroden im Verlauf von acht aufeinanderfolgenden Phasen entstehen, sowie die Ladungen, die sich in diesen Töpfen ansammeln. Die Ansammlung ergibt sich aus zwei Phänomenen: einerseits der Beleuchtung der lichtempfindlichen Felder des Registers und andererseits der Ableitung der Ladungen von einem Topf in einen benachbarten Topf (und somit von einem Registerfeld zum folgenden) unter der Wirkung der Impulse, die nacheinander an eine Elektrode und dann an die benachbarte Elektrode angelegt werden.
  • Wie in Fig. 3 ersichtlich, verursacht die Phase φ1 die Ableitung der unter der letzten Elektrode des Registers angesammelten Ladungen zum Ausgang des Spaltenregisters (zum Zeilen-Leseregister). Dann verursacht die Phase φ2 die Ableitung der unter der vor letzten Elektrode angesammelten Ladungen unter diese letzte Elektrode usw., wobei sich die Position der Ableitungszone progressiv von rechts nach links bis zum Eingang des Registers verschiebt, woraufhin der Zyklus erneut beginnt. Während dieser progressiven Verschiebung wird jedoch die Beleuchtung der Photozellen, die aus den Registerfeldern aufgebaut sind, nicht unterbrochen, wobei die Zellen Ladungen ansammeln, die zu ihrer Beleuchtung proportional sind. Ein Feld wird somit während n Impulsen von einem Bildpunkt beleuchtet, wobei beim n-ten Impuls die angesammelten Ladungen in ein benachbartes Feld abgeleitet werden, das sich im Verlauf des folgenden Zyklus gegenüber eben diesem Bildpunkt befinden wird.
  • Die Beobachtung eines Punktes durch eine Elementarzelle dauert einen vollständigen Zyklus von n Phasen. Mit anderen Worten, die Geschwindigkeit der Vorbeibewegung des Bildes unter der Zelle ist derart, daß ein Punkt die Strecke zwischen zwei benachbarten Feldern des Registers während der Zeit durchläuft, die ein Zyklus von n Impulsen dauert.
  • Für diese mehrzeiligen Anordnungen mit Ladungsübertragung und Integration kann angemerkt werden, daß das Signal/Rausch-Verhältnis in bezug auf dasjenige einer einfachen, einzeiligen Anordnung von M Zellen verbessert ist. Bei hohem Signalpegel ist das vorherrschende Rauschen nämlich durch das Photonenrauschen gegeben, d.h. das Rauschen, das sich aus der Erzeugung von Elektronen-Loch-Paaren unter der Wirkung der Beleuchtung ergibt. Dieses Rauschen ist quadratisch und wird mit der Quadratwurzel von n multipliziert, wenn die Amplitude des Signals mit n multipliziert wird. Nun wird aber das Signal im Vergleich zu einem Signal, das anstatt von n Zellen, deren Signale addiert werden, von einer einzigen Zelle erzeugt wird, im Mittel mit n multipliziert. Bei hohem Pegel wird daher das Signal/Rausch-Verhältnis mit der Quadratwurzel von n multipliziert. Bei niedrigem Signalpegel ist das vorherrschende Rauschen durch das Leserauschen gegeben; nun ermöglicht aber das System, daß stets nur ein einziger Lesevorgang von Ladungen ausgeführt wird, wobei das Signal mit n multipliziert wird. Daher ist eine Verbesserung des Signal/Rausch-Verhältnisses durch ein Verhältnis gegeben, das bis zu n reicht.
  • Man bemerkt indessen, daß es schwierig ist, mit einem solchen System Beleuchtungen zu empfangen, die sich mit großer Dynamik ändern können. Die einzelnen Zellen müssen nämlich für die einfache Erfassung einer Beleuchtung dimensioniert sein, welche sie von einem Bildpunkt empfangen, selbst wenn die Beleuchtung schwach ist. Um jedoch die Auflösung zu verbessern, ist die Größe der Elementarzellen auf den kleinstmöglichen Wert eingeschränkt. Diese Zellen müssen jedoch auch so dimensioniert sein, daß sie durch Übertragung die Summe der Beleuchtungen empfangen können, die von sämtlichen Zellen derselben Spalte empfangen werden. Sobald die Beleuchtung verhältnismäßig groß ist, besteht die Gefahr einer Sättigung der Elementarzellen: Diese Sättigung wird n mal schneller erreicht als dies mit einer einzigen Zelle der Fall wäre. Das Problem ist umso ernsthafter, je größer n ist (wenn eine starke Verbesserung des Signal/Rausch-Verhältnisses gewünscht ist) und je kleiner die Größe der Elementarzellen ist (wenn eine gute Bildauflösung gewünscht ist).
  • Ein Ziel der Erfindung ist, diesen Nachteil soweit wie möglich zu vermeiden und den Kompromiß zwischen der Auflösung, der Dynamik und dem Signal/Rausch-Verhältnis zu verbessern.
  • Es wird vorgeschlagen, die Anzahl n der bei der Übertragung und der Integration von Ladungen verwendeten Zeilen zu programmieren, um ihr entweder den Wert n oder einen Wert k, der kleiner als n ist, zuzuteilen.
  • Es wird insbesondere dafür gesorgt, daß die Anzahl der Zeilen reduziert werden kann, wenn die Beleuchtung sehr groß ist. Im Stand der Technik sind bereits Mittel vorgeschlagen worden, um die Anzahl der aktiven Zeilen zu modifizieren; diese verwendeten Mittel sind jedoch wenig praktisch.
  • In der FR-A-2417899 wird eine Matrix verwendet, die in zwei Untermatrizen unterteilt sind, die von Leitern mit unterschiedlichen Taktsignalen für jede Matrix versorgt werden: je nachdem, ob die Taktsignale in die eine Untermatrix oder in die andere eingegeben werden, wird die Anzahl der Zeilen modifiziert.
  • In der US-A-4 280 141 geschieht das gleiche mit drei Untermatrizen.
  • In der EP-A-0 281 178 werden zusätzliche Sperrelektroden verwendet, die zwischen den normalen Elektroden verschachtelt angeordnet sind. Außerdem besteht der Zwang, eine seitlich angeordnete Ableitungssenke vorzusehen. Schließlich bewegen sich die Ladungen unabhängig von der Anzahl der programmierten Zeilen im gesamten Register, außerdem findet keine Trennung der Matrix zwischen zwei Zonen ohne mögliche Übertragung zwischen den Zonen statt.
  • Gemäß der Erfindung werden ganz einfach die Elektroden des Schieberegisters verwendet, die die Verschiebung der erzeugten und gespeicherten Ladungen in der Spalte ermöglichen. Anstelle der systematischen Steuerung dieser Elektroden zur Ausführung der periodischen Verschiebung werden gewisse der Elektroden in der Weise gesteuert, daß systematisch gewisse Übertragungen verboten sind, um die Additionen und Übertragungen der Ladung auf eine Anzahl k kleiner als n einzuschränken, wenn die Beleuchtung sehr groß ist. Es kann dafür gesorgt werden, daß sich die Anzahl k in Abhängigkeit von der Beleuchtung verändert. Es sind somit Sperrelektroden vorhanden, die getrennt von den anderen gesteuert werden. Diese Elektroden können jedoch physikalisch dieselben Elektroden sein, die auch den Verschiebungen dienen: Wenn sie als Sperrelektroden dienen, verhindern sie die Übertragungen, um die Ladungsadditionen auf k einzuschränken; wenn sie als Übertragungselektroden dienen, werden sie zyklisch entsprechend den Verschiebungszyklen gesteuert, die für die Ladungsübertragungen notwendig sind.
  • Eine mögliche Definition der Erfindung ist die folgende:
  • Ein im Integrationsmodus und mit Ladungsübertragung arbeitender mehrzeiliger Photosensor mit n Zeilen, der in n Zeilen und M Spalten lichtempfindlicher Elementarzellen organisiert ist, mit einer Programmierung der Anzahl k der bei der Integration und der Ladungsübertragung effektiv benutzten Zeilen, wobei jede Spalte ein Schieberegister bildet und der Sensor Zeilenregisterelektroden enthält, die die Übertragung von gespeicherten Ladungen einer Zeile zur angrenzenden nächsten Zeile für alle Register und die Übertragung von Ladungen der letzten Zeile der Zellen zu einer Lesestufe ermöglichen, mit für alle diese Zeilen gemeinsamen Taktsignalen zur Verursachung dieser Übertragungen, dadurch gekennzeichnet, daß ferner Mittel vorgesehen sind, um an gewisse dieser Elektroden, sogenannte "Sperrelektroden", entweder die Taktsignale zur Ermöglichung der Übertragung oder ein Sperrpotential zum Verhindern jeder Übertragung bei dieser Elektrode anzulegen, während die zwischen dieser Elektrode und der Lesestufe liegenden anderen Elektroden weiterhin die die Übertragung ermöglichenden Potentiale empfangen, wobei die Sperrelektroden Elektroden sind, die auf jeden Fall vorgesehen wären, wenn keine Programmierung der Anzahl von Zeilen vorhanden ist.
  • Es können dann mehrere Elektroden vorgesehen sein, die somit dazu geeignet sind, gemäß zweier verschiedener Betriebsarten gesteuert zu werden; die Position derjenigen der Elektroden, die effektiv als Sperrelektrode verwendet wird, bestimmt die Anzahl k (kleiner als n) der Zeilen, zwischen denen die Additionen und Übertragungen der Ladungen ausgeführt werden: Die Elektroden, die sich auf der anderen Seite der ausgewählten Sperrelektrode befinden, tragen zu den Ladungsübertragungen nicht bei.
  • Die Sperrung wird ab einem Zeitpunkt bewerkstelligt, in dem die mittlere Beleuchtung einen bestimmten Schwellenwert übersteigt. Die Position der ausgewählten Sperrelektrode (falls mehrere möglich sind) ändert sich dann in Abhängigkeit vom Beleuchtungspegel. Diese Beleuchtung kann am Ausgang der Lesestufe gemessen werden, in der Praxis wird sie am Ausgang des Verstärkers gemessen, der das das Bild repräsentierende Signal liefert, es sind jedoch auch andere Meßsysteme vorstellbar, beispielsweise mittels eines speziellen Sensors, der die mittlere Beleuchtung des Bildes oder des vom Sensor analysierten Bildabschnittes mißt.
  • Vorzugsweise wird dafür gesorgt, daß die Zeilen der auf der anderen Seite der ausgewählten Sperrelektrode befindlichen Zellen die Ladungen, die sie ansammeln, zu einer Ableitungssenke ableiten. Diese Senke ist vorzugsweise in bezug auf die Zeilen der Zellen zur Lesestufe entgegengesetzt angeordnet.
  • Es wird angemerkt, daß die Tatsache, daß die Elektroden, welche in jedem Fall für die Übertragung zwischen den Zeilen notwendig sind, als Sperrelektroden verwendet werden, ermöglicht, die Schrittweite des Registers von einem Ende zum anderen desselben unverändert zu lassen, d.h. sowohl dort, wo die Sperrelektroden vorhanden sind, als auch dort, wo sie nicht vorhanden sind. Folglich ermöglicht die Erfindung nicht nur, die Schrittweite zwischen den Zeilen (in bezug auf die Schrittweite eines Registers, das keine Programmierung der Anzahl der Zeilen besitzt) unverändert zu lassen, sondern auch ein Konstanthalten dieser Schrittweite über die gesamte Länge, was besonders in dem Fall wichtig ist, in dem die Zellen des Registers Photozellen sind.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden deutlich beim Lesen der folgenden genauen Beschreibung, die mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen gegeben wird, in denen:
  • - Fig. 1, die bereits beschrieben worden ist, eine mehrzeilige lichtempfindliche Anordnung mit Ladungsintegration und -übertragung zeigt;
  • - Fig. 2 eine Zeitablaufdiagramm der Steuerphasen der Spaltenregister der Anordnung von Fig. 1 im Phasenfortpflanzungsmodus ("Ripple clock") mit acht Phasen zeigt;
  • - Fig. 3 ein Diagramm ist, das die Potentialtöpfe und Ladungsansammlungen zeigt, die sich im Verlauf der verschiedenen Betriebsphasen des Sensors von Fig. 1 bilden;
  • - Fig. 4 schematisch eine gemäß der vorliegenden Erfindung modifizierte mehrzeilige Anordnung zeigt;
  • - Fig. 5 ein Diagramm zeigt, das demjenigen von Fig. 3 entspricht, jedoch durch die Verwendung der Erfindung modifiziert ist.
  • Im folgenden wird nicht nochmals darauf eingegangen, was hinsichtlich der Funktionsweise der mehrzeiligen Anordnungen mit Ladungsintegration und -übertragung im einzelnen beschrieben worden ist: Diese Beschreibung bleibt für die Ausführung der Erfindung gültig, mit den Abwandlungen, die nun erläutert werden.
  • In Fig. 4 ist schematisch eine Ausführungsform der Anordnung der Erfindung gezeigt.
  • Das Prinzip besteht darin, daß Mittel vorgesehen sind, um die Anzahl der Zeilen der mehrzeiligen Anordnung je nach Wunsch auf einen Wert k, der kleiner als n ist, einzuschränken, um eine Ladungsübertragung nur in k Zeilen auszuführen, wenn die Beleuchtung sehr groß ist, und in n Zeilen auszuführen, wenn die Beleuchtung verhältnismäßig schwach ist.
  • Im einfachsten Beispiel der Register, die im zweiphasigen Modus oder im Phasenfortpflanzungsmodus arbeiten, werden hierzu gewisse der Zeilenelektroden verwendet, indem sie von der benachbarten Elektrode abgekoppelt werden, mit der sie in diesen Registern normalerweise verbunden sind.
  • Mit anderen Worten, wenn eine Zeile des Registers zwei normalerweise miteinander verbundene Elektroden enthält, um dasselbe Potential zu empfangen, das sich gemäß einem Zyklus verändert, der die Ladungsübertragungen ermöglicht, schlägt die Erfindung vor, daß die beiden Elektroden gewisser der Zeilen des Registers (selbst sämtliche Zeilen, wenn dies gewünscht ist) voneinander abgekoppelt sind, so daß sie getrennt gesteuert werden können.
  • Wenn die Beleuchtung derart ist, daß keine Gefahr einer Sättigung der Felder des Spaltenregisters oder der Felder des Leseregisters besteht, werden die abgekoppelten Elektroden "wieder angekoppelt", d.h., daß zwei abgekoppelte, benachbarte Elektroden durch dasselbe Potential in der Weise gesteuert werden, daß Ladungsübertragungen auf genau gleiche Weise wie in den mehrzeiligen Anordnungen des Standes der Technik ausgeführt werden.
  • Wenn dagegen die Beleuchtung zu intensiv ist, wird an eine der beiden Elektroden einer Zeile, in der die Elektroden voneinander abgekoppelt sind, ein Potential angelegt, das jegliche Übertragung von Ladungen zum Ort dieser Zeile verhindert. Die Integration und die Übertragung von Ladungen werden dann auf die k Zeilen eingeschränkt, die sich zwischen dieser Sperrzeile und dem Leseregister befinden. Je nach Position der betätigten Sperrelektrode ist k mehr oder weniger groß. Wenn mehrere Zeilen vorhanden sind, deren Elektroden auf diese Weise als Sperrelektroden dienen können, kann k verändert werden. Dann wird eine Wahl des Wertes von k und somit der Position der im Sperrmodus zu betreibenden Zeile in Abhängigkeit vom Beleuchtungspegel ausgeführt, wobei k um so kleiner sein muß, je größer die Beleuchtung ist.
  • Fig. 4 gibt ein Ausführungsbeispiel an, in dem zwei mögliche Sperrelektroden ES1 und ES2 vorhanden sind, wobei die erste die Einschränkung auf drei Zeilen der mehrzeiligen Anordnung und die zweite auf sechs Zeilen ermöglicht.
  • Wenn eine Sperrelektrode auf diese Weise im Sperrmodus betrieben wird, werden die Zeilen des Registers, die sich zwischen dieser Elektrode und dem Leseregister befinden, im Ladungsübertragungsmodus betrieben, wodurch eine Funktion mit Ladungsübertragung und -integration ermöglicht wird. Die anderen Elektroden, die sich jenseits der Sperrelektrode befinden, können jedoch den Empfang von herkömmlichen Ladungsübertragungspotentialen fortsetzen oder nicht; falls sie fortgesetzt betrieben werden, um Übertragungen auszuführen, sind diese Übertragungen jedenfalls ohne Wirkung und modifizieren die zum Leseregister übertragenen Ladungen nicht.
  • Vorzugsweise ist vorgesehen, daß sich längs der am weitesten vom Leseregister entfernt befindlichen Zeile von Zellen eine Ladungsableitungssenke DR befindet, so daß es möglich ist, daß die in den jenseits der Sperrelektrode befindlichen Zeilen erzeugten Ladungen selbständig beseitigt werden und daß nicht die Gefahr besteht, daß sie dazu gezwungen werden, sich unter der Sperrelektrode anzusammeln. Selbstverständlich ist vorgesehen, daß das an die Sperrelektrode angelegte Sperrpotential dann, wenn diese den Sensor in eine aktive Zone und in eine inaktive Zone trennen soll, ausreichend niedrig ist, um einen Potentialwall zu bilden, der keine Übertragung zwischen den beiden Zonen zuläßt. Es ist insbesondere niedriger als diejenigen Potentiale, die an die verschiedenen Elektroden im herkömmlichen Übertragungsmodus angelegt werden.
  • Fig. 5 zeigt auf gleiche Weise wie Fig. 3 einerseits die physikalische Anordnung der Elektroden eines Spaltenregisters, wobei an einem Ende des Registers eine Senke DR vorgesehen ist, und andererseits die Potentiale, die in dein Halbleiter unter den verschiedenen Elektroden im Verlauf der verschiedenen Arbeitsphasen der Anordnung erzeugt werden. In dem gezeigten Beispiel ist angenommen worden, daß die Elektrode ES2 im Sperrbetrieb betrieben wird und einen hohen Potentialwall erzeugt, der den Sensor in zwei Zonen trennt, eine inaktive Zone (links) und eine aktive Zone (rechts).
  • In der aktiven Zone finden die Ansammlung der Ladungen unter der Wirkung der Beleuchtung sowie die Übertragungen zwischen den Zellen normal statt, sie ist jedoch auf k = 6 Zeilen der Zellen eingeschränkt.
  • In der inaktiven Zone ist schnell, am Ende von einigen Zyklen von n Phasen, eine Sättigung der Zellen erreicht, die Ableitungssenke DR verhindert jedoch eine übermäßige Ansammlung, die zu einem Überlaufen über die Sperrelektrode führen könnte.
  • Wenn die Beleuchtung verschwindet, beispielsweise bei der Beobachtung eines anderen Bildes oder eines dunkleren Teils desselben Bildes, wird die Steuerung der Elektrode ES2 mit niedrigem Sperrpotential beendet, außerdem wird sie wieder mit der benachbarten Elektrode, die derselben Zeile der Zellen entspricht, gekoppelt, um erneut durch die herkömmlichen Verschiebungsimpulse des Phasenfortpflanzungsmodus gesteuert zu werden.
  • Für die Bestimmung, ob eine Sperrelektrode im Sperrmodus betrieben werden soll, und für die Bestimmung, welche der Sperrelektroden verwendet werden soll, wird die mittlere Beleuchtung des Bildes oder des beobachteten Bildabschnittes gemessen. Die mittlere Beleuchtung kann durch Filterung des Ausgangssignals der Leseschaltung CL mit einer Zeitkonstante gemessen werden, welche eine ausreichend schnelle Reaktion ermöglicht (höchstens die Zeit von einigen Bildanalysezeilen) sobald die Gefahr besteht, daß der Beleuchtungspegel eine Sättigung verursacht.
  • Die erfaßte mittlere Beleuchtung kann mit Schwellenwerten verglichen werden, die jeweils der Verwendung einer bestimmten Sperrelektrode entsprechen.
  • Die Beleuchtung kann auch durch einen getrennten Sensor gemessen werden, der die mittlere Gesamtbeleuchtung des gesamten Bildes oder des gesamten Bildabschnittes im Verlauf der Analyse mißt.
  • Die Erfindung ist selbstverständlich auf mehrzeilige Sensoren anwendbar, in denen die Zellen in der Weise gebildet sind, daß andere Verschiebungsmodi als der Phasenfortpflanzungsmodus verwirklicht sind.
  • Wenn die Elektroden so beschaffen sind, daß sie ein Register vom zweiphasigen Typ ergeben, sei daran erinnert, daß jede Zellenzeile zwei angrenzende Elektroden enthält, die dasselbe Potential empfangen (wie im Fall des Phasenfortpflanzungsmodus). Die an die Elektroden angelegten Potentiale enthalten zwei komplementäre Phasen φ1 und φ2 (und nicht n Phasen), außerdem empfangen die Elektroden einer Zeile ein Potential, das zu dem an die Elektroden der benachbarten Zeilen angelegten Potential gegenphasig ist. Gemäß der Erfindung ist eine Sperrelektrode dadurch gebildet, daß die beiden Elektroden einer Zeile elektrisch voneinander getrennt ist und daß an eine von ihnen ein Sperrpotential angelegt wird, während die anderen Elektroden weiterhin die Übertragungspotentiale gemäß den beiden Phasen φ1 und φ2 empfangen.
  • Wenn in einem weiteren Beispiel die Elektroden so angeordnet sind, daß ein Schieberegister vom Vierphasentyp gebildet wird, sei daran erinnert, daß jede Zelle vier Elektroden enthält, die von vier aufeinanderfolgenden Phasen φ1 bis φ4 gespeist werden; die Elektroden der folgenden Zelle empfangen dieselben Phasen φ1 bis φ4. Von diesen Elektroden wird kraft einer Logikschaltung eine Sperrelektrode gebildet, die wahlweise ermöglicht, an diese Elektrode ein Sperrpotential oder die normale Phase anzulegen.
  • Die Erfindung kann auf andere Typen von Registern angewendet werden, insbesondere auf Register vom dreiphasigen Typ und auf Register mit Phasenfortpflanzungsmodus, in denen die Anzahl der Phasen des Zyklus nicht gleich der Anzahl n der Zeilen des Sensors ist (beispielsweise sind 16 Zeilen vorhanden, die in zwei Gruppen zu je acht Zeilen angeordnet sind und die jeweils gemäß einem Zyklus mit acht Phasen arbeiten).

Claims (6)

1. Im Integrationsmodus und mit Ladungsübertragung arbeitender mehrzeiliger Photosensor mit n Zeilen, der in n Zeilen und M Spalten lichtempfindlicher Elementarzellen organisiert ist, mit einer Programmierung der Anzahl k der bei der Integration und der Ladungsübertragung effektiv benutzten Zeilen, wobei jede Spalte ein Schieberegister bildet und der Sensor Zeilenregisterelektroden enthält, die die Übertragung von gespeicherten Ladungen einer Zeile zur angrenzenden nächsten Zeile für alle Register und die Übertragung von Ladungen der letzten Zeile der Zellen zu einer Lesestufe (RL) ermöglichen, mit für alle diese Leitungen gemeinsamen Takt signalen zur Verursachung dieser Übertragungen, dadurch gekennzeichnet, daß ferner Mittel vorgesehen sind, um an gewisse dieser Elektroden, sogenannte "Sperrelektroden" (ES1, ES2), entweder die Taktsignale zur Ermöglichung der Übertragung oder ein Sperrpotential zum Verhindern jeder Übertragung bei dieser Elektrode anzulegen, während die zwischen dieser Elektrode und der Lesestufe liegenden anderen Elektroden weiterhin die die Übertragung ermöglichenden Potentiale empfangen, wobei die Sperrelektroden Elektroden sind, die auf jeden Fall vorgesehen wären, wenn keine Programmierung der Anzahl von Zeilen vorhanden ist.
2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er mehrere Sperrelektroden an bestimmten Zeilenpositionen im Sensor enthält, und Mittel enthält, um eine dieser Elektroden, die abhängig von der Beleuchtung ausgewählt ist, im Sperrbetrieb arbeiten zu lassen.
3. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schrittweite der Zeilen entsprechend den Registerelektroden für alle Zeilen einschließlich der, die Sperrelektroden enthalten, konstant ist.
4. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei auf der Seite des Sensors liegender Lesestufe auf der anderen Seite ein Ladungsableitausgang (DR) vorgesehen ist, der das Überlaufen von Ladungen über die Sperrelektrode vermeidet.
5. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Programmierung der Anzahl k von Leitungen, die bei der Integration und der Übertragung von Ladungen angewendet wird, von der Beleuchtung des analysierten Bildes abhängt, die durch Filterung von durch den Sensor erzeugten Ladungen am Ausgang einer Lesestufe gemessen wird.
6. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Programmierung der Anzahl k der bei der Integration und der Übertragung von Ladungen angewendet wird, von der Beleuchtung des analysierten Bildes oder eines Abschnittes des analysierten Bildes abhängt, die von einem speziellen Sensor gemessen wird.
DE69010450T 1989-10-24 1990-10-19 Programmierbare Integrationszeit für Photosensor. Expired - Fee Related DE69010450T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8913907A FR2653626A1 (fr) 1989-10-24 1989-10-24 Capteur photosensible a temps d'integration programmable.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69010450D1 DE69010450D1 (de) 1994-08-11
DE69010450T2 true DE69010450T2 (de) 1994-11-17

Family

ID=9386709

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE69010450T Expired - Fee Related DE69010450T2 (de) 1989-10-24 1990-10-19 Programmierbare Integrationszeit für Photosensor.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5114237A (de)
EP (1) EP0425348B1 (de)
DE (1) DE69010450T2 (de)
FR (1) FR2653626A1 (de)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2668303B1 (fr) * 1989-03-14 1993-04-23 Thomson Composants Milit Spaci Capteur optique a faible diaphotie.
US5369357A (en) * 1992-06-18 1994-11-29 Eastman Kodak Company CCD imager with test structure
DE4443823A1 (de) * 1994-12-09 1996-06-20 Telefunken Microelectron Verfahren und Vorrichtung zur Bildaufnahme
US5990503A (en) * 1998-01-14 1999-11-23 Dalsa, Inc. Selectable resolution CCD sensor
US6100552A (en) * 1998-01-14 2000-08-08 Dalsa, Inc. Multi-tapped bi-directional CCD readout register
US6472653B1 (en) 1999-03-22 2002-10-29 Sarnoff Corporation Method and apparatus to extend dynamic range of time delay and integrate charge coupled devices
FI120328B (fi) * 2005-04-12 2009-09-15 Planmeca Oy CCD-sensori ja menetelmä CCD-sensorin dynamiikan laajentamiseksi
FR2932635B1 (fr) * 2008-06-17 2011-03-18 Centre Nat Etd Spatiales Capteur d'image du type tdi a dynamique auto adaptee par point image

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2417899A2 (fr) * 1978-02-21 1979-09-14 Aerospatiale Procede et systeme pour la prise de vues aeriennes ou spatiales
US4280141A (en) * 1978-09-22 1981-07-21 Mccann David H Time delay and integration detectors using charge transfer devices
JPS5931056A (ja) * 1982-08-13 1984-02-18 Mitsubishi Electric Corp 固体撮像素子
FR2538650A1 (fr) * 1982-12-28 1984-06-29 Thomson Csf Procede d'analyse d'un dispositif photosensible a transfert de ligne
FR2559957B1 (fr) * 1984-02-21 1986-05-30 Thomson Csf Barrette multilineaire a transfert de charge
JPS6170869A (ja) * 1984-09-14 1986-04-11 Fuji Photo Film Co Ltd 固体撮像装置および固体光センサ装置
US4775798A (en) * 1985-05-30 1988-10-04 Thomson-Csf Device for detection with time delay and phase integration
NL8700372A (nl) * 1987-02-16 1988-09-16 Optische Ind De Oude Delft Nv Beeldopneeminrichting.
US4900943A (en) * 1989-01-03 1990-02-13 Honeywell Inc. Multiplex time delay integration

Also Published As

Publication number Publication date
US5114237A (en) 1992-05-19
FR2653626A1 (fr) 1991-04-26
DE69010450D1 (de) 1994-08-11
EP0425348B1 (de) 1994-07-06
EP0425348A1 (de) 1991-05-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2936703C2 (de)
EP0517303B1 (de) Anordnung mit einer Sensormatrix und einer Rücksetzanordnung
DE2857564C2 (de) Steuerschaltung für eine Bildaufnahmeeinrichtung
DE68914239T2 (de) Verfahren zum Lesen von lichtempfindlichen Zellen mit zwei in Reihe angeordneten Dioden und mit entgegenwirkenden Durchlassrichtungen.
DE3120458C2 (de) Festkörper-Bildwandler
DE2833218C2 (de) Festkörper-Abbildungsvorrichtung
DE3039264C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ladungsübertragung bei einer Festkörper-Bildabtastvorrichtung
DE3345215C2 (de) Festkörper-Bildaufnahmewandler
DE2834761C2 (de) Steuerschaltung für eine Bildaufnahmeeinrichtung
DE1289549B (de) Bildwandlersystem
DE3006267C2 (de) Festkörper-Abbildungsanordnung
DE3521917C2 (de) Festkörper-Bildsensor
DE102020118999A1 (de) TDI-Bildsensor mit Fähigkeit zur Belichtungssteuerung und Steuerungssystem mit diesem Sensor
DE2939518C2 (de)
DE69010450T2 (de) Programmierbare Integrationszeit für Photosensor.
DE68907486T2 (de) Photoempfindliche Matrix mit drei Dioden pro Punkt ohne Rückstellung.
DE2933412C3 (de) Festkörper-Abbildungsvorrichtung
CH665910A5 (de) Vorrichtung zum beruehrungslosen erfassen von bewegungsgroessen eines bewegten objekts.
DE3432994C2 (de) Festkörper-Bildaufnahmewandler
DE3506066A1 (de) Festkoerper-abbildungsvorrichtung
DE3789988T2 (de) Festkörpersbildsensor.
DE10156629A1 (de) Anordnung von Steuerelementen
DE3644266C2 (de)
DE2939403C2 (de)
DE3105910C2 (de)

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee