DE68906315T2 - Gas-laserrohr. - Google Patents

Gas-laserrohr.

Info

Publication number
DE68906315T2
DE68906315T2 DE8989111858T DE68906315T DE68906315T2 DE 68906315 T2 DE68906315 T2 DE 68906315T2 DE 8989111858 T DE8989111858 T DE 8989111858T DE 68906315 T DE68906315 T DE 68906315T DE 68906315 T2 DE68906315 T2 DE 68906315T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cathode
hollow metal
spring
gas laser
laser tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE8989111858T
Other languages
English (en)
Other versions
DE68906315D1 (de
Inventor
Hiroyuki Ishihara
Makoto Kinoshita
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP8742288U external-priority patent/JPH029459U/ja
Priority claimed from JP16192788U external-priority patent/JPH0711478Y2/ja
Application filed by NEC Corp, Nippon Electric Co Ltd filed Critical NEC Corp
Publication of DE68906315D1 publication Critical patent/DE68906315D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE68906315T2 publication Critical patent/DE68906315T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/03Constructional details of gas laser discharge tubes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Gaslaserohr, und insbesondere auf eine Konstruktion zum Halten und Fixieren einer Kathode desselben.
  • Bei einem Gaselaserohr, z.B. einer He-Ne-Gaselaserröhre, wird eine Kaltkatode aus Aluminium verwendet. Diese Katode besitzt in der Regel eine zylindrische Form und überlappt in Längsrichtung eine Kapillarenladungsröhre innerhalb einer Glasummantelung. Gemäß der am 19. Januar 1982 erteilten US-PS 4,311,969 von William P. Kolb weist eine zylinderförmige Aluminiumkatode eine langgestreckte zylindrische Zunge auf, die in einer Mittelöffnung einer Anschlußplatte aus Ni-Fe-Legierung für eine Umhüllung einsetzbar ist. Diese Anschlußplatte ist so konstruiert, daß sie einen sich in Achsrichtung erstreckenden mittleren Halsbereich aufweist, in dem die Mittelöffnung ausgebildet ist. Die axiale Erstreckung der Katodenzunge ist größer als die axiale Länge der Öffnung im Halsbereich der Abschlußplatte, so daß das Ende der Zunge so über den Halsbereich gehämmert werden kann, daß sowohl über die Abschlußplatte ein elektrischer Kontakt hergestellt wird als auch gleichzeitig die Zunge mechanisch gut abgestützt werden kann.
  • Der unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizient bei Aluminium und einer Ni-Fe-Legierung beeinträchtigt jedoch die Zuverlässigkeit der dazwischen hergestellten elektrischen Verbindung. Temperaturänderungen treten auf, wenn in einer Spiegelhalterung mit niedrigschmelzendem Glas ein Resonatorspiegel eingesiegelt ist, oder wenn die gesamte Gaslaserröhre in einem Oben gesintert wird, um Glas aus der Umhüllung abzuziehen.
  • Der Wärmeausdehnungskoeffizient von Aluminium ist mehr als dreimal höher als bei einer Ni-Fe-Legierung. Beispielsweise beträgt der Wärmeausdehnungskoeffizient bei einer sogenannten 426-Legierung 90 x 10&supmin;&sup7;/ºC bei einer Temperatur zwischen 30 und 300 ºC, während der Wärmeausdehnungskoeffizient von Al 29 x 10&supmin;&sup6;/ºC, bei einer Temperatur von 0 bis 600 ºC beträgt. Bei Erwärmung auf eine hohe Temperatur besteht somit bei einer Aluminiumkatode die Neigung zur Ausdehnung nach außen, doch da die Abschlußplatte sich nicht so stark ausdehnt wie die Katode, wirkt auf die Kontaktstelle eine innen wirksame Kraft. Da Aluminium viel weicher ist als die 426-Legierung, wird die Stelle, auf die die Kraft einwirkt, im Vergleich zu anderen Stellen, an denen keine Kraft einwirkt, offensichtlich nach innen verformt. Sinkt die Temperatur von solchen Zustand auf die normale Betriebstemperatur ab (mehrere ºC 10), wird die Katode deutlich nach innen zusammengedrückt und darunter leidet die Ausrichtung zwischen der Katode und der Innenfläche der Abschlußplatte.
  • Wie bereits erwähnt wirkt sich die vorstehend genannte Konstruktion zur Fixierung der Katode insofern nachteilig aus, als infolge der thermischen Hysterese die Ausrichtung und die elektrische Kontaktierung der Katode beeinträchtigt werden, und wenn auf die Röhre Schwingungen oder Stöße einwirken, wird ein elektrischer Entladungsvorgang augenblicklich unterbrochen.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Die Erfindung wurde mit dem Ziel entwickelt, Probleme dieser Art, wie sie beim Stand der Technik anzutreffen sind, zu umgehen, wobei die Aufgabe gestellt wurde, eine Gaslaserröhre zu schaffen, die nicht zur thermischen Hysterese bei der Konstruktion zur Fixierung der Katode neigt, und die gegenüber Schwingungen und Stößen hochwiderstandsfähig ist. Zur Lösung dieser Aufgabe ist erfindungsgemäß eine Gaslaserröhre vorgesehen, die ein erstes hohles Metallteil aufweist, das mit einem ersten Spiegel an einem Ende befestigt ist, sowie ein hohles Katodenteil, dessen eines Ende in eine Öffnung am anderen Ende des ersten hohlen Metallteils eingesetzt und dort abgestützt ist, eine Kapillarenladungsröhre, deren eines Ende in der Öffnung am anderen Ende des Katodenteils (5) angeordnet ist, ein Außengehäuse (7), welches die Kapillarentladungsröhre und das Katodenteil (5) enthält, sowie ein zweites hohles Metallteil, auf dem Außengehäuse auf der Seite der anderen Seite der Entladungsröhre angeordnet ist, welch einen darauf fixierten zweiten Spiegel abstützt, der zusammen mit dem ersten Spiegel einen optischen Resonator bildet, und die gekennzeichnet ist durch eine elektrisch leitfähiges Federteil, welches das Katodenteil mit dem ersten hohlen Metallteil elektrisch und auch mechanisch verbindet.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Fig. 1 ist eine Schnittansicht mit der Darstellung des ersten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Gaslaserröhre;
  • Fig. 2 ist eine vergrößerte Ansicht aus Fig. 1 mit der Darstellung von Einzelheiten des Teils A in Fig. 1;
  • Fig. 3A zeigt in Draufsicht ein erfindungsgemäßes Metallteil 8;
  • Fig. 3B und 3C sind jeweils Teilschnittansichten zur Erläuterung des Vorgangs der Abstützung/Fixierung der Katode mit dem Metallteil 8 aus Fig. 3A;
  • Fig. 4 zeigt in Draufsicht das zweite Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Metallteils;
  • Fig. 5 ist ein Querschnitt durch das dritte Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Gaslaserröhre;
  • Fig. 6 ist ein vergrößerter Ausschnitt aus Fig. 5 mit der Darstellung von Einzelheiten des Teils B in Fig. 5;
  • Fig. 7A zeigt in Draufsicht das Metallteil 82 aus Fig. 5;
  • Fig. 7B ist eine Seitenansicht des Metallteils 82 aus Fig. 7A; und
  • Fig. 8 ist eine Teilschnittansicht mit der Darstellung des vierten Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Gaslaserröhre.
  • BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
  • Gemäß Fig. 1 bis 3 wird jeweils ein Paar Spiegel 11, 12 für einen optischen Resonator mittels hohler Metallstützteils 21, 22 fixiert und abgestützt, die an den beiden Enden eines Glaskolbens 7 über Abschlußplatten bzw. Metalldichtscheiben 31, 32 angebracht sind. Der Glaskolben 7 ist ein Teil eines Außengehäuses. Es ist eine zylinderförmige Aluminiumkatode 5 vorgesehen, die sich an einem Ende nach außen öffnet und eine geformte Konstruktion aufweist, welche einen größeren Teil ihres anderen Endes abschließt. Auf die Metallscheibe 32 ist ein Absaugrohr 4 aus Metall aufgelötet, während auf einem Stützteil 22 aus Ni-Fe- Legierung eine langgestreckte zylindrische Zunge 51 der hohlen Aluminumkatode 5 befestigt ist.
  • Die Katode 5 wird dem folgenden Verfahren fest mit dem Metallstützteil 22 kontaktiert. Gemäß Fig. 3B wird die Zunge 51 der Aluminiumkatode 5 in Öffnungen im Metallteil 8 und im Metallstützteil 22 eingeschoben. Das Metallteil 8 wird zuvor durch Punktschweißen an den mit X bezeichneten Stellen am Metallstützteil 22 auf einer Stirnfläche nahe der Katode angebracht.
  • Anschließend wird, wie Fig. 3C dies zeigt, eine Preßlehre 9 unter Druck eingeführt, während die Spitze der Aluminiumkatode 5 unter Kraftaufwand so verformt wird, daß sie sich an die Form der Spritze der Lehre 9 anpaßt, damit die Katode 5 und eine Innenwandung des Teils 22 jeweils in festen und enganliegenden Kontakt gebracht werden.
  • Die Aluminiumkatode 5 wird in die mit einem Pfeil in Fig. 3C angedeutete Richtung durch die Federkraft des Teils 8 so gezogen daß sie fest in das Stützteil an einem Schulterbereich 221 angepaßt ist. Da die aus Aluminium bestehende Katode 5 weicher ist als das Teil 8 aus Edelstahl, stehen die Vorsprünge 10 auf dem Teil 8 und der Aluminiumkatode in ausreichendem Eingriff miteinander, um eine Abweichung voneinander in Drehrichtung zu verhindern. Auch wenn somit eine thermische Hysterese gegeben ist, wirkt sich dies kaum negativ auf den engen Kontakt der Aluminiumkatode aus, und damit ist die elektrische Verbindung zwischen der Aluminiumkatode 5 und dem Metallstüzteil 22 gewährleistet.
  • Das Metallteil 8 weist nicht unbedingt Vorsprünge auf, und es kann, wie Fig. 4 dies zeigt, ein Metallteil 81 in Form eines runden Wulstes sein, dessen Innendurchmesser kleiner ist als der Außendurchmesser des Kathodenendes, während es am Innenumfang so eingeschnitten ist, daß eine Reihe von Schlitzen bzw. Kerben gebildet wird.
  • Die vorstehend beschreibenen Ausführungsbeispiels der Erfindung verbessern deutlich die Betriebssicherheit der Gaslaserröhre, da die elektrische Verbindung zwischen den Metallstützteilen und der Katode sowie die Fixierung der Katode daran auch nach Temperaturveränderungen aufrechterhalten werden können, indem ein Metallteil in Form eines Rundwulstes mit mehreren Vorsprüngen auf seinem Innenumfang mit einem Metallstützteil ausgestattet wird, das auf einer Stirnfläche, die näher zur Katode hin liegt, angesetzt ist, und indem die Aluminiumkatode mit Hilfe der Federkraft der Vorsprünge sowie unter Ausnutzung des Eingriffs zwischen der weichen Aluminiumkatode und den starren Vorsprüngen fixiert und abgestützt wird.
  • Fig. 5 bis 7 zeigen das dritte erfindungsgemäße Ausführungsbeispiel. In den Fig. 7, 8 und 9 sind gleiche Teile auch mit den gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 1 angegeben. Aus Fig. 5 und 6 wird deutlich, daß zum Zusammenbau einer Laserröhre eine Zunge 51 einer Aluminiumkatode 5 in ein Metallstützteil 22 eingesetzt wird, und daß danach ein Federteil 82 in das Teil 22 von außen (d.h. von der Seite der Spiegel her) eingesetzt wird, das dann mit Preßpassung in eine Vertiefung innerhalb des Teils 22 eingesetzt wird. Damit wird die Aluminiumkatode 5 durch das eingesetzte Federteil 82 so verformt, daß es fest in die im Teil 22 ausgebildete Vertiefung bzw. Nut 222 paßt. Infolge der Federkraft des Teils 82 wirkt auf die Kontaktstelle konstant eine nach außen gerichtete Kraft ein.
  • Besteht das Federteil 82 aus einem Metall, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient kleiner ist als bei Aluminium, z. B. aus Federstahl, so kann auch nach Temperaturänderungen sowohl der elektrische als auch der mechanische Kontakt zwischen der Aluminiumkatode 5 und dem Metallstützteil 22 aufrechterhalten werden.
  • Fig. 8 zeigt das vierte Ausführungsbeispiel der Erfindung. Hierbei wurde das Federteil zuvor mechanisch auf einer Aluminiumkatode 5 fixiert, beispielsweise durch Einsetzen eines Paars Stifte 831 des Federteils 83 in ein Paar Löcher auf einem verjüngten Ende der Aluminiumkatode 5. Wird die Katode 5 in das Metallstützteil 22 mit dem darauf fixierten Federteil eingesetzt, so wird das Federteil 83 in eine konische Nut 223 eingepaßt, die auf der Innenseite des Teils 2 ausgebildet ist. Dieses Ausführungsbeispiel ist insofern von Vorteil, als die Form der Nut auf der Innenseite des Metallstützteils 22 einfacher sein kann.
  • Das Verfahren zur Fixierung der Katode einer erfindungsgemäßen He-Ne-Laserröhre besteht darin, daß die Katode auch nach dem Auftreten von Temperaturveränderungen im Verlauf der Fertigung der Gaslaserröhren fehlzentriert ist, da die Kathode konstant unter der Kraft des Federteils zu den Metallstützteilen hin gedrückt wird. Besteht das Federteil 8 aus einem Metall, dessen Wärmeausdehnungskoeffizient kleiner ist als bei Aluminium - z.B. aus Federstahl - so wird der elektrische und der mechanische Kontakt zwischen der Aluminiumkatode 5 und dem Metallstützteil 22 sicher aufrechterhalten, auch wenn die Röhre infolge der Wärmeeinwirkung sich verformt, während die elektrischen Entladungsvorgänge auch wenn nicht unterbrochen werden, wenn auf die Röhre Schwingungen oder Stöße einwirken.

Claims (6)

1. Gaslaserröhre mit einem ersten hohlen Metallteil (22), das mit einem ersten Spiegel (12) an einem Ende befestigt ist, einem hohlen Kathodenteil (5), dessen eines Ende in eine Öffnung am anderen Ende des ersten hohlen Metallteils eingesetzt und dort abgestützt ist, einer Kapillarentladungsröhre (6), deren eines Ende in der Öffnung am anderen Ende des Kathodenteils (5) angeordnet ist, einem Außengehäuse (7), welches die Kapillarentladungsröhre (6) und das Kathodenteil (5) enthält, sowie mit einem zweiten hohlen Metallteil (21), das mit einem zweiten Spiegel (11), befestig und auf dem Außengehäuse (7) auf der Seite der anderen Seite der Kapillarentladungsröhre (6) angeordnet ist, wobei der zweite Spiegel (11) so angeordnet ist, daß er zusammen mit dem ersten Spiegel (12) einen optischen Resonator bildet, gekennzeichnet durch ein leitfähiges Federteil (8), welches das Kathodenteil (5) mit dem ersten hohlen Metallteil (22) elektrisch und auch mechanisch verbindet.
2. Gaslaserröhre nach Anspruch 1, bei welcher das leitfähige Federteil ringförmig ausgebildet ist, der Umfang des Ringteils elektrisch und auch mechanisch mit dem anderen Ende des ersten hohlen Metallteils verbunden ist, das Ringteil federartige Vorsprünge auf seinem Innenumfang zur elektrischen und auch mechanischen Verbindung mit der Außenfläche des Kathodenteils aufweist, und das Kathodenteil unter Einwirkung der in der Erstreckung der Röhre durch die elastischen Vorsprünge ausgeübten Federkraft an seinem einen Ende auf die Innenwandung des ersten hohlen Metallteils gepreßt ist.
3. Gaslaserröhre nach Anspruch 1, bei welcher das Federteil trichterförmig ist und eine Mittelöffnung aufweist, der Außenumfang des trichterförmig Teils so eingeschnitten ist, daß mehrere Schlitze gebildet werden, wodurch es federartig auf dem Außenumfang so zusammengedrückt wird, wenn es in die an einem Ende des Kathodenteils gebildete Öffnung eingepreßt wird, wodurch das Kathodenteil an seinem einen Ende gegen die Innenwandung des ersten hohlen Metallteils unter dessen Druck/Dehn-Kraft gepreßt wird.
4. Gaslaserröhre nach Anspruch 3, bei welcher auf der Innenfläche des ersten hohlen Metallteils eine Nut zur Positionierung des Federteils ausgebildet ist.
5. Gaslaserröhre nach Anspruch 1, bei welcher das Federteil ein hohles zylindrisches Teil ist, dessen eines Ende elektrisch und auch mechanisch mit einem Ende des Kathodenteils verbunden ist, und bei welcher das anderen Ende des zylindrischen Teils gegen die Innenwandlung des ersten hohlen Metallteils mit einer Federkraft gepreßt ist, die über den Durchmesser der Öffnung am anderen Ende des ersten hohlen Metallteils hinaus aufweitet.
6. Gaslaserröhrenach Anspruch 5, bei welcher auf der Innenfläche des ersten hohlen Metallteils eine Nut zur Positionierung des Federteils ausgebildet ist.
DE8989111858T 1988-06-30 1989-06-29 Gas-laserrohr. Expired - Fee Related DE68906315T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8742288U JPH029459U (de) 1988-06-30 1988-06-30
JP16192788U JPH0711478Y2 (ja) 1988-12-13 1988-12-13 ガスレーザ管

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE68906315D1 DE68906315D1 (de) 1993-06-09
DE68906315T2 true DE68906315T2 (de) 1993-08-12

Family

ID=26428701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8989111858T Expired - Fee Related DE68906315T2 (de) 1988-06-30 1989-06-29 Gas-laserrohr.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4947403A (de)
EP (1) EP0348974B1 (de)
AU (1) AU612095B2 (de)
DE (1) DE68906315T2 (de)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2233814B (en) * 1989-07-10 1994-06-22 Toshiba Kk Laser apparatus
JPH03293786A (ja) * 1990-04-12 1991-12-25 Koito Mfg Co Ltd ホロー陰極型金属蒸気レーザー
JPH0513838A (ja) * 1991-07-02 1993-01-22 Nec Corp ガスレーザ管
GB2346007B (en) 1999-01-21 2004-03-03 Imaging & Sensing Tech Corp Getter flash shield

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2129142A1 (de) * 1971-06-11 1972-12-28 Patra Patent Treuhand Gaslaser
US4081762A (en) * 1975-02-18 1978-03-28 Siemens Aktiengesellschaft Gas laser with a laser capillary positioned in a discharge tube
US4203080A (en) * 1976-05-24 1980-05-13 Spectra Physics, Inc. Method and apparatus for producing laser plasma tube and product
US4311969A (en) * 1980-01-23 1982-01-19 Zoomar Corp. Gas laser assembly
US4352185A (en) * 1980-07-18 1982-09-28 Uniphase Corporation Gas laser having improved stability against environmental conditions
DE3329872A1 (de) * 1983-08-18 1985-03-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Gaslaser mit einer federgestuetzten kapillare
US4644554A (en) * 1983-12-12 1987-02-17 Spectra-Physics, Inc. Capillary bore suspension
US4823356A (en) * 1987-08-13 1989-04-18 Spectra-Physics, Inc. Capillary bore tube support structure

Also Published As

Publication number Publication date
AU3719689A (en) 1990-01-04
DE68906315D1 (de) 1993-06-09
US4947403A (en) 1990-08-07
AU612095B2 (en) 1991-06-27
EP0348974A1 (de) 1990-01-03
EP0348974B1 (de) 1993-05-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE68916766T2 (de) Stift mit rohrförmigem, elliptischem, nachgiebigem Teil und Verfahren zum Anbringen in entsprechender Hülse.
DE2647934C3 (de) Gaslaserröhre
DE3616330A1 (de) Kurzbogenlampe
DE69115407T2 (de) Zusammensetzung einer Steckdosekontakt mit enger Zugang
DE19801540C2 (de) Gefederte Fühlerbaugruppe
DE68909102T2 (de) Zündkerze.
EP0637053B1 (de) Elektronenröhre
DE68906315T2 (de) Gas-laserrohr.
DE2314669C2 (de) Zündkerze
DE60101759T2 (de) Steckverbinder
DE19718107C2 (de) Vakuumschaltrohr
DE3320672C2 (de) Metallischer Verbindungsstift
DE3506327C2 (de)
EP0378749A1 (de) Vorrichtung zur Befestigung der Einlage von Hohlladungen oder projektilbildenden Ladungen
DE69200180T2 (de) Gas-Laser-Rohr.
DE3329872A1 (de) Gaslaser mit einer federgestuetzten kapillare
DE2840828A1 (de) Verbindungselement fuer gedruckte schaltungen
EP0400352B1 (de) Gaslaser
EP0217084A1 (de) Gasentladungsrohr für einen Ionenlaser
DE4429379C2 (de) Vakuumschaltröhre mit isoliert gehaltertem Dampfschirm
DE3932256A1 (de) Gaslaser
DE3872504T2 (de) Vorrichtung zum befestigen von zwei bauteilen mittels einer eingeschobenen, unter grossem druck gequetschten abdichtung.
DE3700510A1 (de) Anschlussbuchse
DE19715198B4 (de) Vakuumventil
EP0396888B1 (de) Gaslaser

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee