DE60320718D1 - Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Oberflächenprofilen - Google Patents
Vorrichtung und Verfahren zum Messen von OberflächenprofilenInfo
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US7784195B1 (en) * | 2009-02-20 | 2010-08-31 | Gm Global Technology Operations, Inc. | Method of displaying contours of a surface of a bearing |
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