DE60312261T2 - Lösung zur stromlosen Nickel-Plattierung - Google Patents

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Description

  • Technisches Gebiet der Erfindung
  • Diese Erfindung bezieht sich auf wässrige Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren und insbesondere auf Nickelplattierungslösungen auf Basis von Nickelsalzen von Alkylsulfonsäuren als die Quelle der Nickelionen.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Stromloses Nickelplattieren ist ein weitreichend verwendeter Plattierungsprozess, der ein kontinuierliches Abscheiden eines Nickelmetall- oder Nickellegierungsüberzugs auf metallischen oder nicht-metallischen Substraten ohne das Erfordernis nach einem externen elektrischen Plattierungsstrom bietet. Stromloses Plattieren ist als ein kontrollierter autokatalytischer chemischer Reduktionsprozess zur Abscheidung von Metallen beschrieben worden. Der Prozess beinhaltet einen kontinuierlichen Aufbau eines Nickelüberzugs auf einem Substrat durch Eintauchen des Substrats in ein geeignetes Nickelplattierungsbad unter geeigneten Bedingungen zum stromlosen Plattieren. Die Plattierungsbäder umfassen im Allgemeinen ein Nickelsalz zur stromlosen Abscheidung und ein Reduktionsmittel. Einige Bäder zum stromlosen Nickelplattieren verwenden Hypophosphitionen als ein Reduktionsmittel und während des Prozesses werden die Hypophosphitionen zu Orthophosphitionen oxidiert und die Nickelkationen in dem Plattierungsbad werden unter Bildung einer Nickelphosphorlegierung als eine Abscheidung auf der gewünschten Substratoberfläche reduziert. Mit fortschreitender Reaktion nimmt die Konzentration der Orthophosphitionen in dem Bad zu und die Orthophosphitionen werden häufig aus den Plattierungslösungen als unlösliche Me tallorthophosphite abgeschieden. Die Abscheidung von unlöslichen Orthophosphiten aus den Plattierungslösungen kann eine „Rauhigkeit" auf dem überzogenen Gegenstand erzeugen. Typischerweise hat die Quelle der Nickelionen in den stromlosen Plattierungsbädern, die im Stand der Technik beschrieben worden sind, Nickelchlorid, Nickelsulfat, Nickelbromid, Nickelfluoroborat, Nickelsulfonat, Nickelsulfamat sowie Nickelalkylsulfonate beinhaltet.
  • Die US-PS 5,258,061 bezieht sich auf eine wässrige Lösung zum stromlosen Nickelplattieren, die beispielsweise Nickelmethansulfonat und beispielsweise Hypophosphit als ein Reduktionsmittel umfasst. Diese beiden Komponenten müssen aus zwei Listen aus den Ansprüchen ausgewählt werden.
  • Die US-PS 6,099,624 bezieht sich auf eine Zusammensetzung zur Herstellung von Nickel-Phosphor-Elektroabscheidungsüberzügen, wobei die Zusammensetzung ein wässriges, Sulfat-freies Elektroplattierungsbad ist, das Nickelalkansulfonat mit etwa 150 bis 300 g/l, phosphorige Säure mit etwa 5 bis 40 g/l, Phosphorsäure mit etwa 10-50 g/l und hypophosphorige Säure mit etwa 5 bis 25 g/l umfasst.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren unter Verwendung von Nickelsalzen von Alkylsulfonsäuren und auf Verfahren zum Plattieren von Substraten unter Verwendung der Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren der vorliegenden Erfindung gemäß den unabhängigen Ansprüchen. Die Lösungen zum Nickelplattieren gemäß der vorliegenden Erfindung erzeugen annehmbare Nickelabscheidungen über einen ausgedehnten Zeitraum und mit einer hohen Plattierungsgeschwindigkeit. Insbesondere zeigen die Plattierungsbäder der vorliegenden Erfindung längere Plattierungs haltbarkeiten und schnellere Plattierungsgeschwindigkeiten als herkömmliche Elektrolyte zum stromlosen Nickelplattieren auf Basis von Nickelsulfat.
  • In einer Ausführungsform umfassen die erfindungsgemäßen wässrigen Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren
    • (A) ein Nickelsalz einer Alkylsulfonsäure und
    • (B) hypophosphorige Säure oder ein Bad-lösliches Salz davon, das aus Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit und Ammoniumhypophosphit ausgewählt ist,
    wobei die Lösung frei von zugesetztem Nickelhypophosphit und frei von Alkalimetall- oder Erdalkalimetallionen, die dazu in der Lage sind, ein unlösliches Orthophosphit zu bilden, ist.
  • In einer anderen Ausführungsform sind die erfindungsgemäßen wässrigen Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren hergestellt aus:
    • (A) einem Nickelsalz einer Alkylsulfonsäure und
    • (B) hypophosphoriger Säure oder einem Bad-löslichen Salz davon, das aus Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit und Ammoniumhypophosphit ausgewählt ist,
    wobei die Lösung frei von zugesetztem Nickelhypophosphit und frei von Alkalimetall- oder Erdalkalimetallionen, die dazu in der Lage sind, ein unlösliches Orthophosphit zu bilden, ist.
  • In einer anderen Ausführungsform bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren zur stromlosen Abscheidung von Nickel auf einem Substrat aus einer Nickelplattierungslösung, das das Inkontaktbringen des Substrats mit einer Lösung umfasst, die hergestellt worden ist aus:
    • (A) einem Nickelsalz einer Alkylsulfonsäure und
    • (B) hypophosphoriger Säure oder einem badlöslichen Salz davon, das aus Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit und Ammoniumhypophosphit ausgewählt ist,
    wobei die Lösung frei von zugesetztem Nickelhypophosphit und frei von Alkalimetall- oder Erdalkalimetallionen, die dazu in der Lage sind, ein unlösliches Orthophosphit zu bilden, ist.
  • In einer anderen Ausführungsform bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Verfahren zur stromlosen Abscheidung von Nickel auf einem Substrat mit einer Nickelplattierungslösung, wobei das Verfahren die folgenden Stufen umfasst:
    • (A) Herstellen einer Nickelplattierungslösung, umfassend
    • (i) ein Nickelsalz einer Alkylsulfonsäure, die durch die Formel
      Figure 00040001
      gekennzeichnet ist, worin R'' Wasserstoff oder eine Niederalkylgruppe ist, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, Br oder I, CF3 oder -SO3H substituiert ist, R und R' jeweils unabhängig voneinander Wasserstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder eine Niederalkylgruppe sind, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder -SO3H substituiert ist, a, b und c jeweils unabhängig voneinander für eine ganze Zahl von 1 bis 3 stehen, y für eine ganze Zahl von 1 bis 3 steht und die Summe a + b + c + y = 4 ist, und
    • (ii) hypophosphorige Säure oder ein Bad-lösliches Salz davon, das aus Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit und Ammoniumhypophosphit ausgewählt ist, wobei die Nickelplattierungslösung frei von zugesetztem Nickelhypophosphit und frei von Alkalimetall- oder Erdalkalime tallionen, die dazu in der Lage sind, ein unlösliches Orthophosphit zu bilden, ist, und
    • (B) Inkontaktbringen des Substrats mit der in (A) hergestellten Plattierungslösung.
  • Beschreibung der Ausführungsformen der Erfindung
  • In einer Ausführungsform umfassen die wässrigen Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren
    • (A) ein Nickelsalz einer Alkylsulfonsäure und
    • (B) hypophosphorige Säure oder ein Bad-lösliches Salz davon, das aus Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit und Ammoniumhypophosphit ausgewählt ist, wobei die Lösung frei von zugesetztem Nickelhypophosphit und frei von Alkalimetall- oder Erdalkalimetallionen, die dazu in der Lage sind, ein unlösliches Orthophosphit zu bilden, ist.
  • In einer Ausführungsform kann die Alkylsulfonsäure des Nickelsalzes durch die Formel
    Figure 00050001
    gekennzeichnet werden, worin R'' Wasserstoff oder eine Niederalkylgruppe ist, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, Br oder I, CF3 oder -SO3H substituiert ist,
    R und R' jeweils unabhängig voneinander Wasserstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder eine Niederalkylgruppe sind, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder -SO3H substituiert ist, a, b und c jeweils unabhängig voneinander für eine ganze Zahl von 1 bis 3 stehen,
    y für eine ganz Zahl von 1 bis 3 steht und die Summe a + b + c + y = 4 ist.
  • In einer Ausführungsform ist die Alkylsulfonsäure eine Alkylmonosulfonsäure oder eine Alkyldisulfonsäure (d.h., y = 1 oder 2). In einer anderen Ausführungsform enthält jede der Niederalkylgruppen R, R' und R'' unabhängig voneinander 1 bis etwa 4 Kohlenstoffatome.
  • Repräsentative Sulfonsäuren beinhalten die Alkylmonosulfonsäuren wie Methansulfonsäure, Ethansulfonsäure und Propansulfonsäuren sowie die Alkylpolysulfonsäuren wie Methandisulfonsäure, Monochlormethandisulfonsäure, Dichlormethandisulfonsäure, 1,1-Ethandisulfonsäure, 2-Chlor-1,1-ethandisulfonsäure, 1,2-Dichlor-1,1-ethandisulfonsäure, 1,1-Propandisulfonsäure, 3-Chlor-1,1-propandisulfonsäure, 1,2-Ethylendisulfonsäure und 1,3-Propylendisulfonsäure.
  • Wegen der Zugänglichkeit sind Methansulfonsäure (MSA) und Methandisulfonsäure (MDSA) die Sulfonsäuren der Wahl. In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung kann der gesamte Nickelgehalt des Bads zum stromlosen Nickelplattieren in der Form der Alkylsulfonsäuresalze zugeführt sein.
  • In den erfindungsgemäßen Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren beträgt die Betriebskonzentration an Nickelionen typischerweise von etwa 1 bis zu etwa 18 Gramm pro Liter (g/l). In einigen Ausführungsformen werden Konzentrationen von etwa 3 bis etwa 9 g/l verwendet. Anders ausgedrückt wird die Konzentration des Nickelkations im Bereich von 0,02 bis 0,3 mol/l oder in einer anderen Ausführungsform im Bereich von etwa 0,05 bis etwa 0,150 mol/l liegen.
  • Die Nickelalkylsulfonate, die als die Quelle der Nickelkationen in den erfindungsgemäßen Plattierungslösungen verwendet werden, können durch dem Fachmann auf dem Gebiet bekannte Methoden hergestellt werden. In einer Methode kann eine gesättigte Lösung einer Nickelalkylsulfonsäure wie Nickelmethansulfonat bei Raumtemperatur durch Auflösen von Nickelcarbonat in MSA hergestellt werden. Die Reaktion läuft folgendermaßen ab: NiCO3 + 2CH3SO3H → Ni(CH3SO3)2 + H2O + 2CO2
  • Ein anderer chemischer Prozess zur Herstellung eines Nickelalkylsulfonats beinhaltet die Umsetzung von Nickel mit bspw. MSA. Diese Reaktion läuft folgendermaßen ab:
    Figure 00070001
  • Ein Nickelalkylsulfonat wie Nickelmethansulfonat kann auch auf elektrochemischem Weg hergestellt werden. Der elektrochemische Weg kann folgendermaßen dargestellt werden:
    Figure 00070002
  • Die Herstellung von Nickelmethansulfonat aus Nickelpulver durch die chemische Vorgehensweise wird folgendermaßen veranschaulicht. Ein Gemisch wird durch Zugeben von 236 Gewichtsteilen MSA zu 208 Gewichtsteilen desionisiertem Wasser hergestellt und das Gemisch wird auf 50°C erwärmt. Nickelpulver (60 Gewichtsteile) wird dem Gemisch zugesetzt und das Gemisch wird bei 60°C gehalten, wobei eine leicht exotherme Reaktion auftritt. Dementsprechend sollte das Nickelpulver nicht zu schnell zugesetzt werden. Nachdem das gesamte Nickelpulver zugesetzt ist und die exotherme Reaktion abgeklungen ist, lässt man Sauerstoff durch die Lösung perlen, um die Reaktion aufrechtzuerhalten und den pH-Wert am Ende der Reaktion zu erhöhen. Der pH-Wert des Reaktionsgemisches wird durch den Überschuss an Nickel und Sauerstoff erhöht. Nachdem die Reaktion vollständig ist und der pH-Wert in der Mischvorrichtung zwischen 4 und 5 liegt, wird der Sauerstoffstrom beendet. Man lässt das Gemisch abkühlen, wobei sich überschüssiges Nickelpulver am Boden des Reaktors absetzt. Nach dem Absetzen über Nacht wird die Lösung durch einen 1 μm-Filter filtriert und danach lässt man das Gemisch 6 Stunden lang durch einen neuen 1 μm-Filter zirkulieren, um jegliches zusätzliche feine Nickelmaterial zu entfernen. Es ist möglich, die Nickelfeinmaterialien aus der Lösung unter Verwendung eines Magnetfilters zu entfernen, und die zurückgewonnenen Nickelfeinmaterialien können in einer anderen Reaktion verwendet werden.
  • In einigen Ausführungsformen kann es wünschenswert sein, gereinigte MSA bei der Herstellung des Nickelsalzes zu verwenden. Im Handel erhältliche MSA kann durch Behandeln mit Wasserstoffperoxid gereinigt werden. Beispielsweise wird ein Gemisch aus 45 Gallonen 70%iger MSA und 170 Gramm 50%igem Wasserstoffperoxid eine Stunde lang auf 60°C erwärmt. Das Gemisch wird dann durch Aktivkohle filtriert und das Filtrat ist die gewünschte gereinigte MSA.
  • Die erfindungsgemäßen Nickelplattierungslösungen enthalten auch als ein Reduktionsmittel Hypophosphitionen, die aus hypophosphoriger Säure oder einem Bad-löslichen Salz davon wie z.B. Natriumhypophosphit, Kaliumphypophosphit und Ammoniumhypophosphit stammen.
  • Die in dem Plattierungsbad verwendete Menge des Reduktionsmittels ist zumindest dazu ausreichend, die Nickelkationen in der Reaktion zum stromlosen Nickelabscheiden stöchiometrisch zu freiem Nickelmetall zu reduzieren, und eine derartige Konzentration liegt üblicherweise im Bereich von etwa 0,05 bis etwa 1,0 mol/l. Anders ausgedrückt werden die reduzierenden Hypophosphitionen eingeführt, um eine Hypophosphitionenkonzentration von etwa 2 bis zu etwa 40 g/l oder von etwa 12 bis 25 g/l oder sogar von etwa 15 bis etwa 20 g/l zu liefern. Als eine herkömmliche Praxis wird das Reduktionsmittel während der Reaktion wieder ergänzt.
  • Es ist im Stand der Technik vorgeschlagen worden, das Nickelhypophosphit ein effizienter Weg zur Einführung von Nickel und Hypophosphit in ein Bad zum stromlosen Nickelplattieren ist, weil beide verbraucht werden und Hypophosphit als Nebenprodukt durch Zugabe von beispielsweise Calciumhydroxid oder Calciumhypophosphit entfernt werden kann. Jedoch ist Nickelhypophosphit bei der Herstellung der erfindungsgemäßen Plattierungslösungen nicht zu verwenden, weil es wünschenswert ist, dass die Plattierungslösungen frei von Nickelhypophosphit und frei von Alkalimetall- oder Erdalkalimetallionen, die dazu in der Lage sind, ein unlösliches Orthophosphit wie Calciumorthophosphit zu bilden, sind. Daher können die Nickelplattierungslösungen der vorliegenden Erfindung als frei von Nickelhypophosphit und frei von jeglichem zugesetzten Nickelhypophosphit gekennzeichnet werden. Wie angemerkt worden ist, sind die Plattierungslösungen der vorliegenden Erfindung auch frei von Alkalimetall- oder Erdalkalimetallionen, die dazu in der Lage sind, ein unlösliches Orthophosphit zu bilden. Derartige Metallionen sind Lithiumionen, Calciumionen, Bariumionen, Magnesiumionen und Strontiumionen. Im Zusammenhang der vorliegenden Erfindung soll der Begriff „frei von" bedeuten, dass die Plattierungslösungen im Wesentlichen frei von den angegebenen Materialien sind, diese Materialien jedoch in sehr geringen Mengen vorhanden sein können, die die Plattierungslösung oder die abgeschiedene Nickelplattierung nicht nachteilig beeinflussen. Beispielsweise können derartige Materialien in Mengen von weniger als 0,5 g/l oder 500 ppm oder sogar weniger als 0,1 g/l oder 100 ppm vorhanden sein, ohne dass das Plattierungsbad oder die Nickelabscheidung nachteilig beeinflusst werden. Wie voranstehend angemerkt worden ist, wird in einer Ausführungsform Nickelhypophosphit dementsprechend weder bei der Herstellung der erfindungsgemäßen Lösungen zum Nickelplattieren verwendet noch wird Nickelhypophosphit den Plattierungslösungen der vorliegenden Erfindung zugesetzt. Auch werden den Plattierungslösungen keine Alkalimetall- oder Erdalkalimetallionen, die dazu in der Lage sind, ein unlösliches Orthophosphit zu bilden, zugesetzt oder sind absichtlich darin enthalten.
  • In einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung sind die Plattierungslösungen auch frei von Nickelsalzen von mehrwertigen anorganischen Anionen und im Besonderen frei von Nickelsalzen von anorganischen zweiwertigen Anionen. Beispiele derartiger Nickelsalze beinhalten Nickelsulfat, Nickelfluoroborat, Nickelsulfonat und Nickelsulfamat. In einer anderen Ausführungsform sind die Plattierungslösungen der vorliegenden Erfindung auch frei von Nickelsalzen von einwertigen anorganischen Anionen wie Nickelchlorid und Nickelbromid.
  • Die Plattierungslösungen der vorliegenden Erfindung, die Nickel und die Phosphorreduktionsmittel wie Hypophosphite oder die Natrium-, Kalium- oder Ammoniumsalze davon enthalten, bieten eine kontinuierliche Abscheidung eines Nickel-Phosphor-Legierungsüberzugs auf metallischen oder nichtmetallischen Substraten. Die stromlos erhaltenen, Phosphor-enthaltenden Nickellegierungsabscheidungen, die durch das Verfahren der vorliegenden Erfindung hergestellt worden sind, sind wertvolle Industriebeschichtungsabscheidungen mit wünschenswerten Eigenschaften wie Korrosionsbeständigkeit und Härte. Hohe Konzentrationen an Phosphor, im Allgemeinen über 10 Gew.-% und bis zu etwa 14 Gew.-%, sind häufig für viele industrielle Anwendungen wie Aluminium-Memory disks erwünscht. Derartig hohe Phosphorkonzentrationen können erhalten werden, indem der Plattierungsarbeitsschritt bei einem pH-Wert zwischen etwa 3 bis etwa 5 durchgeführt wird. In einer anderen Ausführungsform wird der Plattierungsarbeitsschritt bei einem pH-Wert von etwa 4,3 bis etwa 4,8 durchgeführt, um eine Legierungsabscheidung mit einem hohen Phosphorgehalt zu liefern.
  • In einigen Ausführungsformen können die durch das Verfahren der vorliegenden Erfindung erhaltenen Nickel-Phosphor-Legierungsabscheidungen auch als Legierungen mit mittlerem Phosphorgehalt gekennzeichnet werden. Die Legierungen mit mittlerem Phosphorgehalt werden eine Phosphorkonzentration von etwa 4 bis etwa 9 Gew.-%, häufiger von etwa 6 bis etwa 9 Gew.-% aufweisen. Legierungen mit mittlerem Phosphorgehalt können erhalten werden, indem die Lösungszusammensetzung eingestellt wird, wie es dem Fachmann auf dem Gebiet bekannt ist. Beispielsweise können Nickelabscheidungen, die einen mittleren Phosphorgehalt enthalten, erhalten werden, indem der Plattierungslösung bestimmte Säuren und Stabilisatoren zugesetzt werden. In einer Ausführungsform führt die Gegenwart von Schwefel-basierten Stabilisatoren wie Thioharnstoff zu einer Legierungsabscheidung mit mittlerem Phosphorgehalt.
  • Andere Materialien können in den erfindungsgemäßen Lösungen zum Nickelplattieren enthalten sein, wie z.B. Puffer, Chelat- oder Komplexbildner, Netzmittel, Beschleuniger, Inhibitoren, Glanzbildner usw. Diese Materialien sind im Stand der Technik bekannt.
  • Daher kann in den Plattierungslösungen der vorliegenden Erfindung in einer Ausführungsform ein Komplexbildner oder ein Gemisch von Komplexbildnern enthalten sein. Die Komplexbildner werden im Stand der Technik auch als Chelatbildner bezeichnet. Die Komplexbildner sollten in den Plattierungslösungen in Mengen enthalten sein, die dazu ausreichend sind, die in der Lösung vorhanden Nickelionen zu komplexieren und die während des Plattierungsverfahrens gebildeten Hypophosphitabbauprodukte weiterhin zu solubilisieren. Die Komplexbildner verhindern im Allgemeinen das Präzipitieren von Nickelionen aus der Plattierungslösung als unlösliche Salze wie Phosphite, indem sie einen stabileren Nickelkomplexes mit den Nickelionen bilden. Im Allgemeinen werden die Komplexbildner in Mengen von bis zu etwa 200 g/l verwendet, wobei Mengen von etwa 15 bis etwa 15 g/l eher typisch sind. In einer anderen Ausführungsform sind die Komplexbildner in Mengen von etwa 20 bis etwa 40 g/l vorhanden.
  • In einer Ausführungsform können Carbonsäuren, Polyamine oder Sulfonsäuren oder Gemische davon als die Nickelkomplexbildner oder Nickelchelatbildner eingesetzt werden. Nützliche Carbonsäuren beinhalten die Monocarbonsäuren, Dicarbonsäuren, Tricarbonsäuren und Tetracarbonsäuren. Die Carbonsäuren können mit verschiedenartigen Substituentengruppierungen wie Hydroxyl- oder Aminogruppen substituiert sein und die Säuren können in die Plattierungslösungen als ihre Natrium-, Kalium-, oder Ammoniumsalze eingeführt werden. Einige Komplexbildner wie Essigsäure können beispielsweise auch als ein Puffer fungieren und die geeignete Konzentration derartiger Additivkomponenten kann für jede Plattierungslösung nach Erwägen ihrer Doppelfunktionalität optimiert werden.
  • Beispiele derartiger Carbonsäuren, die als die Nickelkomplexbildner oder Nickelchelatbildner in den erfindungsgemäßen Lösungen nützlich sind, beinhalten: Monocarbonsäuren wie Essigsäure, Hydroxyessigsäure (Glykolsäure), Aminoessigsäure (Glycin), 2-Aminopropansäure (Alanin), 2-Hydroxypropansäure (Milchsäure); Dicarbonsäuren wie Bernsteinsäure, Aminobernsteinsäure (Asparaginsäure), Hydroxybernsteinsäure (Äpfelsäure), Propandisäure (Malonsäure), Weinsäure; Tricarbonsäuren wie 2-Hydroxy-1,2,3-propantricarbonsäure (Zitronensäure); sowie Tetracarbonsäuren wie Ethylendiamintetraessigsäure (EDTA). In einer Ausführungsform werden Gemische von zwei oder mehr der voranstehend genannten Komplexbildner/Chelatbildner in den Nickelplattierungslösungen der vorliegenden Erfindung verwendet.
  • Beispiele von Polyaminen, die als die Komplexbildner oder Chelatbildner in den erfindungsgemäßen Bädern zum stromlosen Nickelplattieren verwendet werden können, beinhalten beispielsweise Guanidin, Dimethylamin, Diethylamin, Dimethylaminopropylamin, Tris(hydroxymethyl)aminomethan, 3-Dimethylamino-1-propan und N-Ethyl-1,2-dimethylpropylamin. Beispiele für Sulfonsäuren, die als Komplexbildner nützlich sind, beinhalten Taurin, 2-Hydroxyethansulfonsäure, Cyclohexylaminoethansulfonsäure, Sulfaminsäure usw.
  • Die erfindungsgemäßen wässrigen Bäder zum stromlosen Nickelplattieren können über einen weiten PH-Bereich wie z.B. von etwa 4 bis etwa 10 betrieben werden. Für ein saures Bad kann der pH-Wert im Allgemeinen von etwa 4 bis etwa 7 reichen. In einer Ausführungsform beträgt der pH-Wert der Lösung etwa 4 bis etwa 6. Für ein alkalisches Bad kann der pH-Wert von etwa 7 bis etwa 10 oder von etwa 8 bis etwa 9 reichen. Da die Plattierungslösung eine Tendenz dazu besitzt, während ihres Betriebs aufgrund der Bildung von Wasserstoffionen stärker sauer zu werden, kann der pH-Wert periodisch oder kontinuierlich durch Zugabe von Bad-löslichen und Bad-kompatiblen alkalischen Substanzen wie Natrium-, Kalium- oder Ammoniumhydroxiden, -Carbonaten und -Bicarbonaten eingestellt werden. Die Stabilität des Betriebs-pH-Werts der Plattierungslösungen der vorliegenden Erfindung kann durch den Zusatz von verschiedenartigen Pufferverbindungen wie Essigsäure, Propionsäure, Borsäure oder dergleichen in Mengen von bis zu etwa 30 g/l verbessert werden, wobei Mengen von etwa 2 bis 10 g/l typisch sind. Wie voranstehend angemerkt worden ist, können einige der Pufferverbindungen wie Essigsäure und Propionsäure auch als Komplexbildner fungieren.
  • Die erfindungsgemäßen Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren können auch organische und/oder anorganische Stabilisatoren von bislang im Stand der Technik bekannten Arten enthalten, was Bleiionen, Cadmiumionen, Zinnionen, Bismuthionen, Antimonionen und Zinkionen beinhaltet, die günstigerweise in der Form von Bad-löslichen und kompatiblen Salzen wie den Acetaten usw. eingeführt werden. Organische Stabilisatoren, die in den erfindungsgemäßen Lösungen zum stromlosen Plattieren nützlich sind, beinhalten Schwefel-enthaltende Verbindungen wie beispielsweise Thioharnstoff, Mercaptane, Sulfonate, Thiocyanate usw. Die Stabilisatoren werden in geringen Mengen wie von 0,1 bis etwa 5 ppm der Lösung und häufiger in Mengen von etwa 0,5 bis 2 oder 3 ppm verwendet.
  • Die Plattierungslösungen der vorliegenden Erfindung können gegebenenfalls ein oder mehr Netzmittel einer beliebigen aus den verschiedenartigen, bislang bekannten Arten, die in den anderen Radbestandteilen löslich und mit diesen kompatibel sind, eingesetzt werden. In einer Ausführungsform verhindert oder erschwert die Verwendung von derartigen Netzmitteln die Lochfraßkorrosion der Nickellegierungsabscheidung und die Netzmittel können in Mengen von bis zu etwa 1 g/l eingesetzt werden.
  • In Übereinstimmung mit dem Verfahren der vorliegenden Erfindung wird ein zu plattierendes Substrat mit der Plattierungslösung bei einer Temperatur von mindestens etwa 40°C bis zum Siedepunkt der Lösung in Kontakt gebracht. Bäder zum stromlosen Nickelplattieren eines sauren Typs werden in einer Ausführungsform bei einer Temperatur von etwa 70°C bis etwa 95°C und häufiger bei einer Temperatur von etwa 80°C bis etwa 90°C eingesetzt. Bäder zum stromlosen Nickelplattieren auf der al kalischen Seite werden im Allgemeinen innerhalb des breiten Betriebsbereichs betrieben, im Allgemeinen jedoch bei einer niedrigeren Temperatur als die sauren Lösungen zum stromlosen Plattieren.
  • Die Dauer des Kontakts der Lösung zum stromlosen Nickelplattieren mit dem Substrat, das plattiert wird, ist eine Funktion, die von der gewünschten Dicke der Nickel-Phosphor-Legierung abhängt. Typischerweise kann die Kontaktzeit von einer so geringen Zeit wie etwa 1 Minute bis zu mehreren Stunden oder sogar mehreren Tagen reichen. Herkömmlicherweise hat eine Plattierungsabscheidung mit etwa 5-38 μm (0,2 bis etwa 1,5 mil) eine normale Dicke für viele kommerzielle Anwendungen. Wenn Verschleißfestigkeit erwünscht ist, können dickere Abscheidungen bis zu etwa 0,13 mm (5 mil) aufgetragen werden.
  • Während der Abscheidung der Nickellegierung wird im Allgemeinen ein leichtes Rühren eingesetzt und sein Rühren kann ein leichtes Luftrühren, mechanisches Rühren, eine Badzirkulation durch Pumpen, eine Rotation einer Trommel für das Trommelgalvanisieren usw. sein. Die Plattierungslösung kann auch einer periodischen oder kontinuierlichen Filtrationsbehandlung unterzogen werden, um den Grad an darin enthaltenen Verunreinigungen zu verringern. Ein Nachfüllen der Bestandteile des Bads kann ebenso in einigen Ausführungsformen auf periodischer oder kontinuierlicher Basis durchgeführt werden, um die Konzentration der Bestandteile und insbesondere die Konzentration an Nickelionen und Hypophosphitionen sowie das pH-Niveau innerhalb der gewünschten Grenzen aufrechtzuerhalten.
  • Die folgenden Beispiele veranschaulichen die erfindungsgemäßen Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren. Sofern in den folgenden Beispielen nichts anderes angegeben ist, sind sämtliche Teilangaben und Prozentangaben in der Beschreibung und in den Ansprüche auf das Gewicht bezogen, Temperaturangaben erfolgen in °C und der Druck ist Atmosphärendruck oder nahe dazu. Beispiel 1
    Nickel als Nickelmethansulfonat 6 g/l
    Natriumhypophosphit 30 g/l
    Äpfelsäure 5 g/l
    Milchsäure 30 g/l
    Bernsteinsäure 5 g/l
    Blei 1 ppm
    Thioharnstoff 1 ppm
    Beispiel 2
    Nickel als Nickelmethansulfonat 6 g/l
    Natriumhypophosphit 25 g/l
    Äpfelsäure 20 g/l
    Milchsäure 10 g/l
    Essigsäure 2 g/l
    Borsäure 5 g/l
    Blei 1 ppm
  • Die erfindungsgemäßen Lösungen zum stromlosen Nickelplattieren können durch Abscheiden der Nickellegierung auf einer Vielzahl von Substraten eingesetzt werden, bei welchen es sich um Metall- oder Nichtmetallsubstrate handeln kann. Beispiele von Metallsubstraten beinhalten Aluminium-, Kupfer- oder Eisenlegierungen, Beispiele von Nichtmetallsubstraten beinhalten Kunststoffe und Leiterplatten.
  • Während die vorliegende Erfindung in Bezug auf ihre bevorzugten Ausführungsformen erläutert worden ist, versteht es sich, dass verschiedenartige Modifikationen davon dem Fachmann auf dem Gebiet beim Lesen der Beschreibung ersichtlich werden. Daher versteht es sich, dass die hierin offenbarte Erfindung derartige Modifikationen abdecken soll, sofern sie in den Umfang der beigefügten Ansprüche fallen.

Claims (26)

  1. Wässrige Lösung zum stromlosen Nickelplattieren umfassend: (A) ein Nickelsalz einer Alkylsulfonsäure und (B) hypophosphorige Säure oder ein Bad-lösliches Salz davon, das aus Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit und Ammoniumhypophosphit ausgewählt ist, wobei die Lösung frei von zugesetztem Nickelhypophosphit und frei von Lithiumionen, Calciumionen, Bariumionen, Magnesiumionen und Strontiumionen ist.
  2. Lösung nach Anspruch 1, wobei die Alkylsulfonsäure durch die Formel
    Figure 00180001
    gekennzeichnet ist, worin R'' Wasserstoff oder eine Niederalkylgruppe ist, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, Br oder I, CF3 oder -SO3H substituiert ist, R und R' jeweils unabhängig voneinander Wasserstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder eine Niederalkylgruppe sind, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder -SO3H substituiert ist, a, b und c jeweils unabhängig voneinander für eine ganze Zahl von 1 bis 3 stehen, y für eine ganze Zahl von 1 bis 3 steht und die Summe a + b + c + y = 4 ist.
  3. Lösung nach Anspruch 1, wobei die Alkylsulfonsäure eine Alkylmonosulfonsäure oder eine Alkyldisulfonsäure ist.
  4. Lösung nach Anspruch 2, wobei jede der Niederalkylgruppen R, R' und R'' unabhängig 1 bis etwa 4 Kohlenstoffatome enthält.
  5. Lösung nach Anspruch 1, wobei die Alkylsulfonsäure Methansulfonsäure oder Methandisulfonsäure ist.
  6. Lösung nach Anspruch 1, die auch einen oder mehr Puffer, Stabilisatoren, Komplexbildner, Beschleuniger, Inhibitoren oder Aufheller enthält.
  7. Lösung nach Anspruch 1, die ebenso frei von Nickelsalzen anorganischer mehrwertiger Anionen ist.
  8. Lösung nach Anspruch 1, die ebenso frei von Nickelsalzen anorganischer zweiwertiger Anionen ist.
  9. Wässrige Lösung zum stromlosen Nickelplattieren, die hergestellt worden ist aus: (A) einem Nickelsalz einer Alkylsulfonsäure und (B) hypophosphoriger Säure oder einem Bad-löslichen Salz davon, das aus Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit und Ammoniumhypophosphit ausgewählt ist, wobei die Lösung frei von zugesetztem Nickelhypophosphit und frei von Lithiumionen, Calciumionen, Bariumionen, Magnesiumionen und Strontiumionen ist.
  10. Lösung nach Anspruch 9, wobei die Alkylsulfonsäure durch die Formel
    Figure 00200001
    gekennzeichnet ist, worin R'' Wasserstoff oder eine Niederalkylgruppe ist, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, Br oder I, CF3 oder -SO3H substituiert ist, R und R' jeweils unabhängig voneinander Wasserstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder eine Niederalkylgruppe sind, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder -SO3H substituiert ist, a, b und c jeweils unabhängig voneinander für eine ganze Zahl von 1 bis 3 stehen, y für eine ganze Zahl von 1 bis 3 steht und die Summe a + b + c + y = 4 ist.
  11. Lösung nach Anspruch 9, wobei die Alkylsulfonsäure eine Alkylmonosulfonsäure oder eine Alkyldisulfonsäure ist.
  12. Lösung nach Anspruch 10, wobei jede der Niederalkylgruppen R, R' und R'' unabhängig 1 bis etwa 4 Kohlenstoffatome enthält.
  13. Lösung nach Anspruch 9, wobei die Alkylsulfonsäure Methansulfonsäure oder Methandisulfonsäure ist.
  14. Lösung nach Anspruch 9, die auch einen oder mehr Puffer, Stabilisatoren, Chelatbildner, Beschleuniger, Inhibitoren oder Aufheller enthält.
  15. Lösung nach Anspruch 9, die ebenso frei von Nickelsalzen anorganischer zweiwertiger Anionen ist.
  16. Verfahren zur stromlosen Abscheidung von Nickel auf einem Substrat aus einer Nickelplattierungslösung, das das Inkontaktbringen des Substrats mit einer Lösung umfasst, die hergestellt worden ist aus: (A) einem Nickelsalz einer Alkylsulfonsäure und (B) hypophosphoriger Säure oder einem Bad-löslichen Salz davon, das aus Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit und Ammoniumhypophosphit ausgewählt ist, wobei die Lösung frei von zugesetztem Nickelhypophosphit und frei von Lithiumionen, Calciumionen, Bariumionen, Magnesiumionen und Strontiumionen ist.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, wobei die Alkylsulfonsäure durch die Formel
    Figure 00210001
    gekennzeichnet ist, worin R'' Wasserstoff oder eine Niederalkylgruppe ist, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, Br oder I, CF3 oder -SO3H substituiert ist, R und R' jeweils unabhängig voneinander Wasserstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder eine Niederalkylgruppe sind, die unsubstituiert oder mit Sauerstoff, Cl, F, Br, I, CF3 oder -SO3H substituiert ist, a, b und c jeweils unabhängig voneinander für eine ganze Zahl von 1 bis 3 stehen, y für eine ganze Zahl von 1 bis 3 steht und die Summe a + b + c + y = 4 ist.
  18. Verfahren nach Anspruch 17, wobei jede der Niederalkylgruppen R, R' und R'' unabhängig 1 bis etwa 4 Kohlenstoffatome enthält.
  19. Verfahren nach Anspruch 16, wobei die Alkylsulfonsäure eine Alkylmonosulfonsäure oder eine Alkyldisulfonsäure ist.
  20. Verfahren nach Anspruch 16, wobei die Alkylsulfonsäure Methansulfonsäure oder Methandisulfonsäure ist.
  21. Verfahren nach Anspruch 16, wobei die Lösung auch eines oder mehr aus den Folgenden enthält: Puffer, Stabilisatoren, Chelatbildner, Beschleuniger, Inhibitoren oder Aufheller.
  22. Verfahren nach Anspruch 16, wobei die Lösung ebenso frei von Nickelsalzen anorganischer zweiwertiger Anionen ist.
  23. Verfahren zur stromlosen Abscheidung von Nickel auf einem Substrat mit einer Nickelplattierungslösung, das Folgendes umfasst: (A) Herstellen einer Nickelplattierungslösung, umfassend (i) ein Nickelsalz von Methansulfonsäure oder Methandisulfonsäure, (ii) hypophosphorige Säure oder ein Bad-lösliches Salz davon, das Natriumhypophosphit, Kaliumhypophosphit und Ammoniumhypophosphit ausgewählt ist, wobei die Nickelplattierungslösung frei von zugesetztem Nickelhypophosphit und frei von Lithiumionen, Calciumionen, Bariumionen, Magnesiumionen und Strontiumionen ist und (B) Inkontaktbringen des Substrats mit der in (A) hergestellten Plattierungslösung.
  24. Verfahren nach Anspruch 23, wobei (i) ein Nickelsalz von Methansulfonsäure ist.
  25. Verfahren nach Anspruch 23, wobei die in (A) hergestellte Lösung frei von Thioharnstoff ist.
  26. Verfahren nach Anspruch 23, wobei die Plattierungslösung (A) frei von Nickelsalzen zweiwertiger Anionen ist.
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Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10052960C9 (de) * 2000-10-25 2008-07-03 AHC-Oberflächentechnik GmbH & Co. OHG Bleifreie Nickellegierung
WO2004101847A1 (en) * 2003-05-14 2004-11-25 Century Circuits Inc. Method and apparatus for converting metal ion in solution to the metal state
ES2293340T3 (es) * 2003-08-19 2008-03-16 Mallinckrodt Baker, Inc. Composiciones decapantes y de limpieza para microelectronica.
US20060225605A1 (en) * 2005-04-11 2006-10-12 Kloeckener James R Aqueous coating compositions and process for treating metal plated substrates
EP1919703B1 (de) 2005-08-12 2013-04-24 Modumetal, LLC Verbundwerkstoffe mit modulierter zusammensetzung und verfahren zu deren herstellung
JP4965959B2 (ja) * 2005-10-25 2012-07-04 株式会社荏原製作所 無電解めっき装置
US7780772B2 (en) * 2005-11-25 2010-08-24 Lam Research Corporation Electroless deposition chemical system limiting strongly adsorbed species
JP2009210552A (ja) * 2008-02-07 2009-09-17 Seiko Epson Corp 接触部品および時計
CA2730229C (en) 2008-07-07 2017-02-14 John D. Whitaker Property modulated materials and methods of making the same
ATE503037T1 (de) * 2008-10-17 2011-04-15 Atotech Deutschland Gmbh Spannungsreduzierte ni-p/pd-stapel für waferoberfläche
KR101058635B1 (ko) * 2008-12-23 2011-08-22 와이엠티 주식회사 무전해 니켈 도금액 조성물, 연성인쇄회로기판 및 이의 제조 방법
CA2764887C (en) 2009-06-08 2018-09-11 Modumetal Llc Electrodeposited, nanolaminate coatings and claddings for corrosion protection
EP2449148B1 (de) * 2009-07-03 2019-01-02 MacDermid Enthone Inc. Beta-aminosäure mit elektrolyt und verfahren zur ablagerung einer metallschicht
CN101851752B (zh) * 2010-06-09 2013-01-09 济南德锡科技有限公司 一种长寿、高速的酸性环保光亮化学镀镍添加剂及其使用方法
WO2012001134A2 (de) * 2010-06-30 2012-01-05 Schauenburg Ruhrkunststoff Gmbh Verfahren zur abscheidung einer nickel-metall-schicht
JP2013544952A (ja) 2010-07-22 2013-12-19 モジュメタル エルエルシー ナノ積層黄銅合金の電気化学析出の材料および過程
US8585811B2 (en) * 2010-09-03 2013-11-19 Omg Electronic Chemicals, Llc Electroless nickel alloy plating bath and process for depositing thereof
US20120061698A1 (en) * 2010-09-10 2012-03-15 Toscano Lenora M Method for Treating Metal Surfaces
US20120061710A1 (en) * 2010-09-10 2012-03-15 Toscano Lenora M Method for Treating Metal Surfaces
JP2012087386A (ja) * 2010-10-21 2012-05-10 Toyota Motor Corp 無電解ニッケルめっき浴およびそれを用いた無電解ニッケルめっき法
US8632628B2 (en) 2010-10-29 2014-01-21 Lam Research Corporation Solutions and methods for metal deposition
EP3255176B1 (de) * 2011-01-11 2019-05-01 MacDermid Enthone America LLC Verfahren zur beschichtung eines teilchenförmigen materials
US20120247223A1 (en) * 2011-03-30 2012-10-04 Canada Pipeline Accessories, Co. Ltd. Electroless Plated Fluid Flow Conditioner and Pipe Assembly
KR101297774B1 (ko) * 2012-03-12 2013-08-20 포항공과대학교 산학협력단 선도장 강판 절단면 부식방지를 위한 비전해질 니켈-인 코팅
KR102014088B1 (ko) * 2012-03-20 2019-08-26 엘지이노텍 주식회사 메모리카드, 메모리 카드용 인쇄회로기판 및 이의 제조 방법
JP5890236B2 (ja) * 2012-04-10 2016-03-22 東洋鋼鈑株式会社 ハードディスク用基板の製造方法
US9752231B2 (en) * 2012-05-11 2017-09-05 Lam Research Corporation Apparatus for electroless metal deposition having filter system and associated oxygen source
TWI455750B (zh) * 2012-06-04 2014-10-11 Arps Inc 表面處理濕製程含磷無電鎳之鍍液成分的循環利用系統
US8936672B1 (en) 2012-06-22 2015-01-20 Accu-Labs, Inc. Polishing and electroless nickel compositions, kits, and methods
CA2905548C (en) 2013-03-15 2022-04-26 Modumetal, Inc. Nanolaminate coatings
EA201500947A1 (ru) 2013-03-15 2016-03-31 Модьюметл, Инк. Устройство и способ электроосаждения нанослоистого покрытия
CN105189828B (zh) 2013-03-15 2018-05-15 莫杜美拓有限公司 具有高硬度的镍铬纳米层压涂层
WO2014145771A1 (en) 2013-03-15 2014-09-18 Modumetal, Inc. Electrodeposited compositions and nanolaminated alloys for articles prepared by additive manufacturing processes
EP2823890A1 (de) * 2013-07-11 2015-01-14 FRANZ Oberflächentechnik GmbH & Co KG Verfahren und Anlage zum nasschemischen Abscheiden von Nickelschichten
US10246778B2 (en) * 2013-08-07 2019-04-02 Macdermid Acumen, Inc. Electroless nickel plating solution and method
US11685999B2 (en) * 2014-06-02 2023-06-27 Macdermid Acumen, Inc. Aqueous electroless nickel plating bath and method of using the same
US9708693B2 (en) 2014-06-03 2017-07-18 Macdermid Acumen, Inc. High phosphorus electroless nickel
BR112017005534A2 (pt) 2014-09-18 2017-12-05 Modumetal Inc métodos de preparação de artigos por processos de eletrodeposição e fabricação aditiva
EP3194642A4 (de) 2014-09-18 2018-07-04 Modumetal, Inc. Verfahren und vorrichtung zum kontinuierlichen auftragen von nanolaminierten metallbeschichtungen
EP3026143A1 (de) * 2014-11-26 2016-06-01 ATOTECH Deutschland GmbH Plattierbad und Verfahren zur stromlosen Abscheidung von Nickelschichten
CN104561948B (zh) * 2015-01-28 2015-08-05 哈尔滨三泳金属表面技术有限公司 一种环保型铝合金快速化学镀镍-磷添加剂
JP6450017B2 (ja) 2015-03-05 2019-01-09 ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. 3次元物体の生成
CA3036191A1 (en) 2016-09-08 2018-03-15 Modumetal, Inc. Processes for providing laminated coatings on workpieces, and articles made therefrom
US11293272B2 (en) 2017-03-24 2022-04-05 Modumetal, Inc. Lift plungers with electrodeposited coatings, and systems and methods for producing the same
EP3612669A1 (de) 2017-04-21 2020-02-26 Modumetal, Inc. Rohrförmige artikel mit galvanischen beschichtungen und systeme und verfahren zur herstellung derselben
WO2019210264A1 (en) 2018-04-27 2019-10-31 Modumetal, Inc. Apparatuses, systems, and methods for producing a plurality of articles with nanolaminated coatings using rotation
US20200045831A1 (en) * 2018-08-03 2020-02-06 Hutchinson Technology Incorporated Method of forming material for a circuit using nickel and phosphorous
US11505867B1 (en) 2021-06-14 2022-11-22 Consolidated Nuclear Security, LLC Methods and systems for electroless plating a first metal onto a second metal in a molten salt bath, and surface pretreatments therefore

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3953624A (en) 1974-05-06 1976-04-27 Rca Corporation Method of electrolessly depositing nickel-phosphorus alloys
US4397812A (en) 1974-05-24 1983-08-09 Richardson Chemical Company Electroless nickel polyalloys
US4483711A (en) 1983-06-17 1984-11-20 Omi International Corporation Aqueous electroless nickel plating bath and process
US5221328A (en) 1991-11-27 1993-06-22 Mcgean-Rohco, Inc. Method of controlling orthophosphite ion concentration in hyphophosphite-based electroless plating baths
US5258061A (en) 1992-11-20 1993-11-02 Monsanto Company Electroless nickel plating baths
BR9707124A (pt) * 1996-11-14 1999-07-20 Atotech Deutschland Gmbh Bando de niquelação sem corrente elétrica e processo aperfeiçoado que utiliza este banho
US5944879A (en) * 1997-02-19 1999-08-31 Elf Atochem North America, Inc. Nickel hypophosphite solutions containing increased nickel concentration
US6099624A (en) 1997-07-09 2000-08-08 Elf Atochem North America, Inc. Nickel-phosphorus alloy coatings
US6020021A (en) 1998-08-28 2000-02-01 Mallory, Jr.; Glenn O. Method for depositing electroless nickel phosphorus alloys

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Publication number Publication date
TWI248477B (en) 2006-02-01
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ATE356229T1 (de) 2007-03-15
DE60312261D1 (de) 2007-04-19

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